KR101330456B1 - Equipment for manufacturing flexible display and method for manufacturing flexible display by using the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 플렉서블 디스플레이에 포함된 박막들이 박리 공정 중 손상되는 문제를 개선할 수 있는 플렉서블 디스플레이의 제조 장치 및 이를 이용한 플렉서블 디스플레이의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for manufacturing a flexible display and a method for manufacturing a flexible display using the same, which can improve a problem in which thin films included in the flexible display are damaged during a peeling process.

본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이의 제조 방법은 점착제를 사이에 두고 지지 기판 상에 플렉서블 기판을 점착하는 단계와; 상기 플렉서블 기판 상에 표시소자를 형성하는 단계와; 상기 지지 기판을 스테이지에 고정시키는 단계와; 상기 점착제를 상기 점착제의 표면과 수평한 방향으로 지나는 하나 이상의 필링 와이어로 상기 플렉서블 기판을 상기 지지 기판 및 점착제로부터 박리하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a flexible display according to the present invention includes the steps of adhering a flexible substrate on a support substrate with an adhesive therebetween; Forming a display element on the flexible substrate; Securing the support substrate to a stage; Peeling the flexible substrate from the support substrate and the pressure-sensitive adhesive with one or more peeling wires passing the pressure-sensitive adhesive in a direction parallel to the surface of the pressure-sensitive adhesive.

Description

플렉서블 디스플레이의 제조 장치 및 이를 이용한 플렉서블 디스플레이의 제조 방법{Equipment for manufacturing flexible display and method for manufacturing flexible display by using the same}Manufacturing apparatus of flexible display and manufacturing method of flexible display using same {Equipment for manufacturing flexible display and method for manufacturing flexible display by using the same}

도 1a 내지 도 1c는 종래 플렉서블 디스플레이의 제조 방법을 나타내는 도면.1A to 1C illustrate a method of manufacturing a conventional flexible display.

도 2는 종래 플렉서블 디스플레이의 제조 방법 중 박리 공정에서 발생하는 문제점을 나타내는 도면.2 is a view showing a problem occurring in the peeling process of the conventional method of manufacturing a flexible display.

도 3은 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이의 제조 방법을 나타내는 순서도.3 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a flexible display according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이의 제조 장치 중 박리 장치에 투입될 기판의 모습을 나타내는 도면.4 is a view showing a state of a substrate to be put into a peeling apparatus of the manufacturing apparatus of the flexible display according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 박리 장치를 나타내는 도면.5 shows a peeling apparatus according to the invention.

도 6은 본 발명에 따른 필링 와이어를 이용한 박리 공정을 상세히 설명하기 위한 도면.Figure 6 is a view for explaining in detail the peeling process using a peeling wire according to the present invention.

도 7은 박리 공정 후 상부에 박막 패턴들이 형성된 플렉서블 기판이 후속 장비로 이동하는 모습을 나타내는 도면.FIG. 7 is a diagram illustrating a state in which a flexible substrate having thin film patterns formed thereon moves to subsequent equipment after a peeling process; FIG.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1, 41 : 지지 기판 3, 43 : 점착제1, 41: support substrate 3, 43: adhesive

5, 25 : 플렉서블 기판 7, 47 : 박막 패턴들5, 25: flexible substrate 7, 47: thin film patterns

51 : 스테이지 53 : 진공홀51: stage 53: vacuum hole

55 : 필링 와이어 57 : 수평 이동 수단55: peeling wire 57: horizontal moving means

59 : 수직 이동 수단 61, 63 : 가열 수단59: vertical movement means 61, 63: heating means

본 발명은 플렉서블 디스플레이의 제조 장치 및 이를 이용한 플렉서블 디스플레이의 제조 방법에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 플렉서블 디스플레이에 포함된 박막들이 박리 공정 중 손상되는 문제를 개선할 수 있는 플렉서블 디스플레이의 제조 장치 및 이를 이용한 플렉서블 디스플레이의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for manufacturing a flexible display and a method for manufacturing a flexible display using the same. In particular, the present invention relates to an apparatus for manufacturing a flexible display and a method of manufacturing a flexible display using the same, which can improve a problem in which thin films included in the flexible display are damaged during a peeling process.

표시장치 시장은 CRT(Cathode-Ray Tube)를 대신해 평판 디스플레이(Flat Panel Display:이하 "FPD"라 함) 위주로 급속히 변화해 왔다. FPD에는 액정표시장치(LCD:Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP:Plasma Display Panel), 유기 발광 표시장치(OLED:Organic Electro Luminescence Display)등이 있다. 이러한 FPD는 CRT에 비해 경량 박형이고 대형화에 유리한 장점이 있다. 반면 FPD는 제조 공정 중 발생하는 높은 열을 견딜 수 있도록 유리 기판을 사용하므로 경량 박형화 및 유연성을 부여하는데 한계가 있다. 따라서 최근 기존의 유연성이 없는 유리기판 대신에 플라스틱등과 같이 유연성 있는 재료를 사용하여 종이처럼 휘어져도 표시 성능을 그대로 유지할 수 있게 제조된 플렉서블(flexible) 표시장치가 차세대 표시장치로 급부상중이다.The display device market has been rapidly shifting to flat panel displays instead of Cathode-Ray Tubes (CRTs). FPDs include liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), organic electroluminescent displays (OLEDs), and the like. Such FPD is advantageous in light weight and thinness compared to CRT. FPD, on the other hand, uses glass substrates to withstand the high heat generated during the manufacturing process, thereby limiting light weight thinning and flexibility. Therefore, recently, a flexible display device manufactured to maintain display performance even when bent like a paper using a flexible material such as plastic instead of a glass substrate without conventional flexibility is emerging as a next generation display device.

도 1a 내지 도 1d는 종래 플렉서블 표시장치의 제조 방법을 단계적으로 설명하기 위한 도면이다. 도 1a 내지 도 1d를 참조하면, 종래 플렉서블 표시장치의 제조 방법은 크게 점착공정, 표시소자 형성 공정 및 박리 공정으로 나뉜다.1A to 1D are diagrams for explaining a method of manufacturing a conventional flexible display device in steps. 1A to 1D, a method of manufacturing a conventional flexible display device is largely divided into an adhesion process, a display element forming process, and a peeling process.

점착 공정은 도 1a에 도시된 바와 같이 공정상 취급이 용이하도록 플렉서블 표시장치의 기판인 플렉서블 기판(5)의 배면에 점착제(3)를 이용하여 비가요성(non-flexible)인 지지 기판(rigid substrate)(1)을 점착하는 공정이다. 지지 기판(1)은 플렉서블 기판(5)의 배면에 점착되어, 플렉서블 기판(5)이 공정 중에 쉽게 휘거나 뒤틀리지 않고 고정되도록 한다. 이와 같이 점착 공정을 통해 형태가 고정된 플렉서블 기판(5) 상에서는 이어지는 표시소자 형성 공정이 보다 정밀하고 안정적으로 진행될 수 있다.The adhesion process is a non-flexible support substrate using an adhesive 3 on the back side of the flexible substrate 5, which is a substrate of the flexible display device, to facilitate handling in a process as illustrated in FIG. 1A. (1) is a process of adhering. The supporting substrate 1 is adhered to the rear surface of the flexible substrate 5 so that the flexible substrate 5 is fixed without being easily bent or twisted during the process. As described above, the subsequent display device forming process may be performed on the flexible substrate 5 having a fixed shape through the adhesion process.

표시소자 형성 공정은 도 1b에 도시된 바와 같이 플렉서블 표시장치를 구성하는 박막들(7)을 형성하는 공정을 포함한다. 예를 들어, 플렉서블 표시장치가 박막 트랜지스터 어레이를 포함하여 구동되는 경우, 플렉서블 기판(5) 상에는 표시소자 형성 공정을 통해 박막 트랜지스터 어레이가 형성된다.The display element forming process includes forming the thin films 7 constituting the flexible display device as shown in FIG. 1B. For example, when the flexible display device includes a thin film transistor array, the thin film transistor array is formed on the flexible substrate 5 through a display element forming process.

박리 공정은 도 1c에 도시된 바와 같이 표시소자 형성 공정 후 플렉서블 기 판(5)으로부터 점착제(3) 및 지지 기판(1)을 박리하는 공정이다. 플렉서블 표시장치가 유연성을 가지도록 하기 위해서는 표시소자 형성 공정 완료 후, 점착 공정을 통해 플렉서블 기판(5)에 점착된 지지 기판(1)을 박리하는 공정이 필수적이다. 이러한 박리 공정은 각종 박막들(7)이 형성된 플렉서블 기판(5)의 일측에서 상부방향으로 힘을 가함으로써 이루어진다. 이와 같이 플렉서블 기판(5)을 박리하는 과정에서 플렉서블 기판(5)은 상부 방향으로 박리하는 힘에 의해 휘어질 수 있다. 이때 플렉서블 기판(5)이 휘어짐에 따라 생기는 곡률 반경은 박리하는 힘에 비례한다. 따라서 박리하는 힘이 너무 크면, 플렉서블 기판(5)의 곡률 반경이 너무 커져서 도 1c 및 도 2의 A영역에 도시된 바와 같은 현상이 발생한다. 도 1c 및 도 2에 도시된 A영역은 박리하는 힘이 너무 커서 플렉서블 기판(5)이 심하게 휘어진 부분이다. 이러한 A영역을 상세히 살펴보면, 플렉서블 기판(5)이 심하게 휘어지게 되면 플렉서블 기판(5)상에 형성된 박막 패턴(7)은 도 1c에 도시된 바와 같이 플렉서블 기판(5)으로부터 박리되거나, 도 2에 도시된 바와 같이 박막 패턴(7)의 일부가 손상될 수 있다. 이러한 문제를 해결하기 위하여 외부에서 물리적인 힘을 가하지 않고 플렉서블 기판(5)을 점착제(3)로부터 쉽게 박리할 수 있도록 한 특수 점착제에 대해 개발하고 있다. 이러한 특수 점착제는 그 개발에 어려움이 있으며, 플렉서블 디스플레이의 제조 비용을 증가시키는 원인이 된다.The peeling process is a process of peeling the adhesive 3 and the supporting substrate 1 from the flexible substrate 5 after the display element forming process as shown in FIG. 1C. In order for the flexible display device to have flexibility, a process of peeling the supporting substrate 1 adhered to the flexible substrate 5 through an adhesion process is essential after the display element forming process is completed. This peeling process is performed by applying a force upward from one side of the flexible substrate 5 on which the various thin films 7 are formed. As described above, in the process of peeling the flexible substrate 5, the flexible substrate 5 may be bent by a force peeling upward. At this time, the radius of curvature generated as the flexible substrate 5 is bent is proportional to the peeling force. Therefore, if the peeling force is too large, the radius of curvature of the flexible substrate 5 is too large, a phenomenon as shown in the region A of FIGS. 1C and 2 occurs. Region A shown in FIGS. 1C and 2 is a portion where the flexible substrate 5 is severely bent due to a large peeling force. Looking at the area A in detail, when the flexible substrate 5 is bent severely, the thin film pattern 7 formed on the flexible substrate 5 is peeled from the flexible substrate 5 as shown in FIG. 1C, or in FIG. 2. As shown, part of the thin film pattern 7 may be damaged. In order to solve this problem, a special pressure-sensitive adhesive has been developed that allows the flexible substrate 5 to be easily peeled from the pressure-sensitive adhesive 3 without applying a physical force from the outside. Such a special pressure-sensitive adhesive is difficult to develop, causing a increase in the manufacturing cost of the flexible display.

본 발명의 목적은 플렉서블 디스플레이에 포함된 박막들이 박리 공정 중 손 상되는 문제를 개선할 수 있는 플렉서블 디스플레이의 제조 장치 및 이를 이용한 플렉서블 디스플레이의 제조 방법을 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide an apparatus for manufacturing a flexible display and a method of manufacturing a flexible display using the same that can improve the problem that the thin film included in the flexible display is damaged during the peeling process.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이의 제조 장치는 표시소자가 구비된 플렉서블 기판이 점착된 지지 기판이 안착되는 스테이지와; 상기 스테이지 상부 표면과 수평하게 이동하는 필링 와이어와; 상기 필링 와이어의 운동방향을 제어하는 이동 수단을 포함한다.In order to achieve the above object, an apparatus for manufacturing a flexible display according to the present invention includes a stage on which a support substrate to which a flexible substrate provided with a display element is attached is seated; A peeling wire moving horizontally with said stage upper surface; And moving means for controlling a movement direction of the peeling wire.

상기 스테이지는 상기 지지 기판을 고정하는 다수의 진공홀을 포함한다.The stage includes a plurality of vacuum holes for fixing the support substrate.

상기 스테이지는 상기 스테이지를 가열하는 가열 수단을 포함한다.The stage comprises heating means for heating the stage.

상기 필링 와이어는 상기 스테이지 상부 표면과 수평한 방향으로 이동시키는 수평 이동수단과 체결된다.The peeling wire is engaged with horizontal moving means for moving in a direction parallel to the stage upper surface.

상기 필링 와이어는 상기 스테이지 상부 표면과 수직한 방향으로 이동시키는 수직이동 수단과 체결된다.The peeling wire is engaged with vertical movement means for moving in a direction perpendicular to the stage upper surface.

상기 필링 와이어는 상기 필링 와이어를 가열하는 가열 수단과 연결된다.The peeling wire is connected with heating means for heating the peeling wire.

또한 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이의 제조 방법은 점착제를 사이에 두고 지지 기판 상에 플렉서블 기판을 점착하는 단계와; 상기 플렉서블 기판 상에 표시소자를 형성하는 단계와; 상기 지지 기판을 스테이지에 고정시키는 단계와; 상기 점착제를 상기 점착제의 표면과 수평한 방향으로 지나는 하나 이상의 필링 와이 어로 상기 플렉서블 기판을 상기 지지 기판 및 점착제로부터 박리하는 단계를 포함한다.In addition, the method of manufacturing a flexible display according to the present invention comprises the steps of adhering a flexible substrate on a support substrate with an adhesive therebetween; Forming a display element on the flexible substrate; Securing the support substrate to a stage; Peeling the flexible substrate from the support substrate and the adhesive with one or more peeling wires passing the adhesive in a direction parallel to the surface of the adhesive.

상기 지지 기판을 스테이지에 고정시키는 단계 및 상기 점착제를 상기 점착제의 표면과 수평한 방향으로 지나는 하나 이상의 필링 와이어로 상기 플렉서블 기판을 상기 지지 기판 및 점착제로부터 박리하는 단계 사이에는 상기 점착제를 가열하여 상기 점착제에 유동성을 부여하는 단계를 포함한다.The pressure sensitive adhesive is heated between the step of fixing the support substrate to a stage and the step of peeling the flexible substrate from the support substrate and the pressure sensitive adhesive with one or more peeling wires passing in the direction horizontal to the surface of the pressure sensitive adhesive. Imparting fluidity to the.

상기 지지 기판을 스테이지에 고정시키는 단계 및 상기 점착제를 상기 점착제의 표면과 수평한 방향으로 지나는 하나 이상의 필링 와이어로 상기 플렉서블 기판을 상기 지지 기판 및 점착제로부터 박리하는 단계 사이에는 상기 필링 와이어가 상기 점착제의 위치와 동일하도록 상기 필링 와이어를 상하방향으로 조정하는 단계를 포함한다.Between the fixing of the support substrate to the stage and the step of peeling the flexible substrate from the support substrate and the pressure-sensitive adhesive with one or more peeling wires that pass the pressure-sensitive adhesive in a direction horizontal to the surface of the pressure-sensitive adhesive the adhesive of the pressure-sensitive adhesive And adjusting the peeling wire in the up and down direction to be the same as the position.

상기 점착제를 상기 점착제의 표면과 수평한 방향으로 지나는 하나 이상의 필링 와이어로 상기 플렉서블 기판을 상기 지지 기판 및 점착제로부터 박리하는 단계 후 상기 플렉서블 기판은 상기 필링 와이어에 얹혀져서 후속 장비로 이동되는 단계를 포함한다.After the step of peeling the flexible substrate from the support substrate and the pressure-sensitive adhesive with one or more peeling wires passing in the direction parallel to the surface of the pressure-sensitive adhesive, the flexible substrate is mounted on the peeling wire and moved to subsequent equipment. do.

상기 목적외에 본 발명의 다른 목적 및 이점들은 첨부 도면을 참조한 본 발명의 바람직한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and advantages of the present invention will become apparent from the following description of preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings.

이하 본 발명의 바람직한 실시 예들을 도 3 내지 도 7을 참조하여 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 7.

도 3은 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 제조 방법을 단계적으로 설명하 기 위한 도면이다. 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 제조 방법은 크게 점착공정(S1), 표시소자 형성 공정(S3) 및 필링(peeling) 와이어를 이용한 박리 공정(S5)으로 나뉜다.3 is a view for explaining step-by-step a manufacturing method of a flexible display device according to the present invention. Referring to FIG. 3, the method of manufacturing the flexible display device according to the present invention is largely divided into an adhesion process S1, a display element forming process S3, and a peeling process S5 using a peeling wire.

점착 공정(S1)은 공정상 취급이 용이하도록 플렉서블 표시장치의 기판인 플렉서블 기판의 배면에 점착제를 이용하여 비가요성(non-flexible)인 지지 기판(rigid substrate)을 점착하는 공정이다. 지지 기판은 플렉서블 기판의 배면에 점착되어, 플렉서블 기판이 공정 중에 쉽게 휘거나 뒤틀리지 않고 고정되도록 한다. 이와 같이 점착 공정을 통해 형태가 고정된 플렉서블 기판 상에서는 이어지는 표시소자 형성 공정(S3)이 보다 정밀하고 안정적으로 진행될 수 있다. 여기서 플렉서블 기판으로는 폴리 에틸렌 나프탈레이트(polyethylene naphthalate), 폴리 에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate), 폴리 카보네이트(polycarbonate), 폴리 에테르 술폰(Polyethersulfone)등을 포함하는 플라스틱 및 스테인레스(SUS : Stainless Steel) 등을 포함하는 메탈 호일(Metal foil) 등이 이용된다. 그리고 지지 기판으로는 주로 두꺼운 유리 기판이 이용된다.The adhesion process S1 is a process of adhering a non-flexible rigid substrate to the back of the flexible substrate, which is a substrate of the flexible display device, to facilitate handling. The support substrate is adhered to the back side of the flexible substrate, so that the flexible substrate is fixed without being easily bent or twisted during the process. As described above, on the flexible substrate having a fixed shape through the adhesive process, the subsequent display device forming process S3 may be performed more precisely and stably. Herein, the flexible substrate may include polyethylene and other materials such as polyethylene naphthalate, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethersulfone, and the like. Metal foil (metal foil) and the like are used. And a thick glass substrate is mainly used as a support substrate.

표시소자 형성 공정(S3)은 플렉서블 표시장치를 구성하는 박막들을 형성하는 공정을 포함한다. 예를 들어, 플렉서블 표시장치가 액정표시장치인 경우, 표시소자 형성 공정(S3)은 박막 트랜지스터 어레이 기판 패터닝과 칼라 필터 어레이 기판 패터닝으로 구분되어 진행된다. 또는 플렉서블 표시장치가 유기 전계발광 표시장치인 경우, 표시소자 형성 공정(S3)을 통해 유기 전계발광 표시장치의 신호 배선을 구성하는 박막들이 형성된다. 또한 플렉서블 표시장치가 전기영동 표시장치인 경 우, 표시소자 형성 공정(S3)을 통해 박막 트랜지스터 어레이 및 박막 트랜지스터 어레이와 접속된 전극을 포함하는 박막들이 형성된다. 즉, 표시소자 형성 공정(S3) 후 도 4에 도시된 바와 같이 플렉서블 기판(45) 상에는 표시소자를 구성하는 각종 박막들(47)이 형성된다. The display element forming step S3 includes a step of forming thin films constituting the flexible display device. For example, when the flexible display device is a liquid crystal display device, the display element forming process S3 is divided into a thin film transistor array substrate patterning and a color filter array substrate patterning. Alternatively, when the flexible display device is an organic electroluminescent display, thin films constituting the signal line of the organic electroluminescent display are formed through the display element forming process (S3). In addition, when the flexible display device is an electrophoretic display device, thin films including a thin film transistor array and an electrode connected to the thin film transistor array are formed through the display element forming process S3. That is, after the display element forming process S3, various thin films 47 constituting the display element are formed on the flexible substrate 45 as illustrated in FIG. 4.

필링 와이어를 이용한 박리 공정(S5)은 표시소자 형성 공정(S3) 후, 필링 와이어를 구비하는 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이 제조 장치(이하, "박리 장치"라 함.)에 지지 기판(41)을 고정시키고, 플렉서블 기판(45)으로부터 점착제(43) 및 지지 기판(41)을 박리하는 공정이다. 본 발명에 따른 박리 장치는 박리 공정(S5) 진행시 플렉서블 기판(45) 상에 형성된 박막들(47)이 외력에 의해 큰 곡률 반경으로 휘어지는 현상이 발생하지 않도록 한 것이다. 이하 도 5을 참조하여 본 발명에 따른 박리 장치에 대해 상세히 설명하기로 한다.In the peeling step S5 using the peeling wire, after the display element forming step S3, the support substrate 41 is placed on the flexible display manufacturing apparatus (hereinafter, referred to as "peeling device") according to the present invention having a peeling wire. It is a process of fixing and peeling the adhesive 43 and the support substrate 41 from the flexible substrate 45. The peeling apparatus according to the present invention prevents the thin film 47 formed on the flexible substrate 45 from bending at a large radius of curvature due to external force during the peeling process S5. Hereinafter, a peeling apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to FIG. 5.

도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 박리 장치는 지지 기판(41)이 안착되는 스테이지(51) 및 상기 스테이지(51) 상부에서 수평으로 이동 가능한 하나 이상의 필링 와이어(55)를 포함한다. 스테이지(51)는 표시소자 형성 공정(S3) 후 지지 기판(41)의 배면이 안착되는 부분이다. 스테이지(51)에 안착되는 지지 기판(41) 상에는 도 4에 도시된 바와 같이 점착제(43)를 통해 플렉서블 기판(45)이 점착되고, 그 플렉서블 기판(45) 상에 표시소자를 구성하는 박막들(47)이 형성된 상태이다. 필링 와이어(55)는 점착제(43) 및 플렉서블 기판(45) 사이를 수평방향으로 통과하여 플렉서블 기판(45)을 점착제(43)로부터 박리시키는 부분이다.Referring to FIG. 5, the peeling apparatus according to the present invention includes a stage 51 on which the supporting substrate 41 is seated, and one or more peeling wires 55 that are horizontally movable above the stage 51. The stage 51 is a portion where the rear surface of the support substrate 41 is seated after the display element forming step S3. As shown in FIG. 4, the flexible substrate 45 is adhered to the support substrate 41 seated on the stage 51 by the adhesive 43, and the thin films constituting the display element on the flexible substrate 45. 47 is formed. The peeling wire 55 is a portion which passes between the adhesive 43 and the flexible substrate 45 in a horizontal direction to peel the flexible substrate 45 from the adhesive 43.

스테이지(51)는 지지 기판(41)이 고정될 수 있도록 다수 진공홀(53)을 포함 한다. 또한 스테이지(51)는 제1 가열 수단(61)을 포함함으로써 스테이지(51)에 고정된 지지 기판(41) 상의 점착제(43)를 가열하여 상기 점착제(43)가 유동성을 가질 수 있도록 한다. 상기 스테이지(51)는 수평방향으로 이동될 수 있도록 형성되어 필링 와이어(55)가 배치된 방향으로 이동하여 점착제(43) 및 지지 기판(41)으로부터 플렉서블 기판(45)을 박리될 수 있도록 한다. The stage 51 includes a plurality of vacuum holes 53 to fix the supporting substrate 41. In addition, the stage 51 includes the first heating means 61 to heat the pressure-sensitive adhesive 43 on the support substrate 41 fixed to the stage 51 so that the pressure-sensitive adhesive 43 has fluidity. The stage 51 is formed to be movable in the horizontal direction so that the flexible substrate 45 may be peeled off from the adhesive 43 and the supporting substrate 41 by moving in the direction in which the peeling wire 55 is disposed.

필링 와이어(55)는 하나 이상으로 형성되어 점착제(43) 및 플렉서블 기판(45) 사이를 수평방향으로 통과하여 플렉서블 기판(45)을 점착제(43)로부터 박리시킴과 동시에 박리된 플렉서블 기판(45)이 하나 이상의 필링 와이어(55) 상에 얹혀질 수 있도록 한다. 필링 와이어(55) 상에 얹혀진 플렉서블 기판(45)은 필링 와이어(55)를 통해 후속 공정 장비로 이동된다. 이러한 필링 와이어(55)의 움직임은 필링 와이어(55)와 체결된 수평 이동 수단(59) 및 수직 이동 수단(57)에 의해 제어된다. 수평 이동 수단(59)은 수평방향으로 움직이며, 필링 와이어(55)가 점착제(43) 및 플렉서블 기판(45) 사이를 수평방향으로 통과할 수 있도록 한다. 뿐만 아니라 수평 이동 수단(49)은 점착제(43)로부터 박리된 플렉서블 기판(45)을 후속 장비 쪽으로 이동시키는 역할을 한다. 수직 이동 수단(57)은 상하로 움직이며, 필링 와이어(55)의 위치가 점착제(43)의 위치와 일치하도록 필링 와이어(55)를 상하방향으로 조정하는 역할을 한다. 또한 필링 와이어(55)는 제2 가열 수단(63)과 연결되어 필링 와이어(55)가 점착제(43) 및 플렉서블 기판(45) 사이를 통과하면서 점착제(43)에 열을 가함으로써 점착제(43)가 유동성이 있는 상태가 되도록 할 수도 있다.The peeling wire 55 is formed of at least one, and passes between the pressure-sensitive adhesive 43 and the flexible substrate 45 in a horizontal direction to peel the flexible substrate 45 from the pressure-sensitive adhesive 43 and at the same time the flexible substrate 45 It may be placed on one or more peeling wires 55. The flexible substrate 45 mounted on the peeling wire 55 is moved to the subsequent process equipment through the peeling wire 55. The movement of the peeling wire 55 is controlled by the horizontal moving means 59 and the vertical moving means 57 which are engaged with the filling wire 55. The horizontal movement means 59 moves in the horizontal direction, and allows the peeling wire 55 to pass between the adhesive 43 and the flexible substrate 45 in the horizontal direction. In addition, the horizontal movement means 49 serves to move the flexible substrate 45 peeled off from the pressure-sensitive adhesive 43 toward the subsequent equipment. The vertical movement means 57 moves up and down, and serves to adjust the peeling wire 55 in the up and down direction so that the position of the peeling wire 55 coincides with the position of the pressure-sensitive adhesive 43. In addition, the peeling wire 55 is connected to the second heating means 63 so that the peeling wire 55 passes through the pressure-sensitive adhesive 43 and the flexible substrate 45 to apply heat to the pressure-sensitive adhesive 43. May be in a state of fluidity.

도 6은 필링 와이어(55)를 통해 점착제(43)로부터 플렉서블 기판(45)을 박리하는 모습을 나타낸 도면이다. 도 6을 참조하면, 필링 와이어(55)는 점착제(43)를 수평방향(화살표 방향)으로 통과하기 때문에 박리 공정(S5) 진행시 플렉서블 기판(45) 상에 형성된 박막들(47)이 큰 곡률 반경으로 휘어지는 현상이 발생하지 않는다. 또한 본 발명에 따른 박리 장치는 도 5에서 상술한 바와 같이 스테이지(51)가 제1 가열 수단(61)에 의해 핫플레이트가 되거나, 필링 와이어(55)가 제2 가열 수단(63)에 의해 열선이 되어 점착제(43)를 유동성이 있는 상태로 만들수 있다. 유동성이 있는 점착제(43)는 필링 와이어(55)가 용이하게 통과할 수 있으므로 플렉서블 기판(45) 및 그 상부의 박막들(47)이 필링 와이어(55)에 의해 받을 수 있는 스트레스를 줄이면서 플렉서블 기판(45)을 점착제(43) 및 지지 기판(41)로부터 쉽게 박리 할 수 있다. FIG. 6 is a diagram illustrating a state in which the flexible substrate 45 is peeled from the pressure-sensitive adhesive 43 through the peeling wire 55. Referring to FIG. 6, since the peeling wire 55 passes the adhesive 43 in the horizontal direction (arrow direction), the thin films 47 formed on the flexible substrate 45 have a large curvature during the peeling process S5. The bending of the radius does not occur. In addition, in the peeling apparatus according to the present invention, as described above with reference to FIG. 5, the stage 51 is hot plated by the first heating means 61, or the peeling wire 55 is heated by the second heating means 63. This makes the pressure-sensitive adhesive 43 in a fluid state. The flexible adhesive 43 may be easily passed by the peeling wire 55, thereby reducing the stress that the flexible substrate 45 and the thin films 47 thereon may be received by the peeling wire 55. The substrate 45 can be easily peeled from the adhesive 43 and the supporting substrate 41.

도 7은 필링 와이어(55)에 의해 점착제(43) 및 지지 기판(41)로부터 안정적으로 박리된 플렉서블 기판(45)의 모습을 나타내는 것이다. 도 7에 도시된 바와 같이 다수의 필링 와이어(55)를 통해 점착제(43) 및 지지 기판(41)로부터 박리된 플렉서블 기판(45)은 필링 와이어(55)에 얹혀져서 후속 공정 장비쪽으로 운반될 수 있다.7 shows the state of the flexible substrate 45 stably peeled from the pressure-sensitive adhesive 43 and the support substrate 41 by the peeling wire 55. As shown in FIG. 7, the flexible substrate 45 peeled off from the adhesive 43 and the support substrate 41 through the plurality of peeling wires 55 may be mounted on the peeling wires 55 and transported to subsequent processing equipment. have.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이의 제조 장치 및 이를 이용한 플렉서블 디스플레이의 제조 방법은 필링 와이어를 수평이동시킴으로써 플 렉서블 기판을 점착제 및 지지기판으로부터 박리할 수 있다. 따라서 본 발명은 박리 공정 중 플렉서블 기판 및 그 상부에 형성된 박막들은 큰 곡률 반경으로 휘어질 문제가 없으므로 플렉서블 디스플레이에 포함된 박막들이 박리 공정 중 손상되는 문제를 개선할 수 있다. 그리고 본 발명은 필링 와이어를 이용하여 박리하므로 특수 점착제를 개발할 필요가 없으므로 플렉서블 디스플레이의 제조비용을 절감할 수 있다.As described above, in the apparatus for manufacturing the flexible display according to the present invention and the method for manufacturing the flexible display using the same, the flexible substrate may be peeled from the adhesive and the support substrate by horizontally moving the peeling wire. Therefore, the present invention can improve the problem that the thin film formed in the flexible display is damaged during the peeling process because the flexible substrate and the thin films formed thereon have no problem of bending with a large radius of curvature. In addition, since the present invention peels using a peeling wire, there is no need to develop a special adhesive, thereby reducing the manufacturing cost of the flexible display.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification, but should be defined by the claims.

Claims (10)

플렉서블 기판이 점착제를 통해 점착된 지지 기판이 안착되는 스테이지;A stage on which the support substrate to which the flexible substrate is attached through the adhesive is seated; 상기 스테이지의 상부 표면과 수평하게 이동하는 필링 와이어;A peeling wire moving horizontally with an upper surface of the stage; 상기 필링 와이어를 가열하는 가열 수단;Heating means for heating the peeling wire; 상기 필링 와이어의 양끝을 지지하는 지지수단;Support means for supporting both ends of the peeling wire; 상기 필링 와이어의 운동방향을 제어하는 이동 수단을 포함하며,It includes a moving means for controlling the direction of movement of the peeling wire, 상기 지지수단은 상기 필링 와이어의 한쪽 끝을 지지하는 바 형상의 제1 지지수단과 상기 필링 와이어의 다른쪽 끝을 지지하는 바 형상의 제2 지지수단으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이의 제조 장치.The support means is a manufacturing apparatus of a flexible display, characterized in that the bar-shaped first support means for supporting one end of the peeling wire and the bar-shaped second support means for supporting the other end of the peeling wire . 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스테이지는 상기 지지 기판을 고정하는 다수의 진공홀을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이의 제조장치.The stage includes a plurality of vacuum holes for fixing the support substrate manufacturing apparatus of the flexible display. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스테이지는 상기 스테이지를 가열하는 가열 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이의 제조장치.And said stage comprises a heating means for heating said stage. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 필링 와이어는 상기 스테이지 상부 표면과 수평한 방향으로 이동시키는 수평 이동수단과 체결된 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이의 제조장치.The peeling wire is an apparatus for manufacturing a flexible display, characterized in that coupled with the horizontal movement means for moving in a horizontal direction with the upper surface of the stage. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 필링 와이어는 상기 스테이지 상부 표면과 수직한 방향으로 이동시키는 수직이동 수단과 체결된 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이의 제조장치.The peeling wire is a manufacturing apparatus of a flexible display, characterized in that coupled with the vertical movement means for moving in a direction perpendicular to the upper surface of the stage. 삭제delete 점착제를 사이에 두고 지지 기판 상에 플렉서블 기판을 점착하는 단계와;Adhering a flexible substrate on a support substrate with an adhesive therebetween; 상기 플렉서블 기판 상에 표시소자를 형성하는 단계와;Forming a display element on the flexible substrate; 상기 지지 기판을 스테이지에 고정시키는 단계와;Securing the support substrate to a stage; 상기 점착제의 표면과 수평한 방향으로 지나는 하나 이상의 필링 와이어로 상기 플렉서블 기판을 상기 지지 기판 및 점착제로부터 박리하는 단계를 포함하고,Peeling the flexible substrate from the support substrate and the adhesive with one or more peeling wires passing in a direction parallel to the surface of the adhesive; 상기 지지 기판을 스테이지에 고정시키는 단계 및 상기 점착제의 표면과 수평한 방향으로 지나는 하나 이상의 필링 와이어로 상기 플렉서블 기판을 상기 지지 기판 및 점착제로부터 박리하는 단계 사이에는 Between the step of securing the support substrate to the stage and the step of peeling the flexible substrate from the support substrate and the pressure sensitive adhesive with one or more peeling wires passing in a direction parallel to the surface of the pressure sensitive adhesive; 상기 필링 와이어를 가열하는 단계, 상기 점착제를 가열하여 상기 점착제에 유동성을 부여하는 단계 및 상기 필링 와이어의 위치가 상기 점착제의 위치와 동일하도록 상기 필링 와이어를 상하방향으로 조정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조 방법.Heating the peeling wire, heating the pressure-sensitive adhesive to impart fluidity to the pressure-sensitive adhesive, and adjusting the peeling wire in a vertical direction so that the position of the peeling wire is the same as the position of the pressure-sensitive adhesive. A method of manufacturing a flexible display device. 삭제delete 삭제delete 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 가열된 필링 와이어로 상기 플렉서블 기판을 상기 지지 기판 및 점착제로부터 박리하는 단계 후After the peeling of the flexible substrate from the support substrate and the adhesive with the heated peeling wire 상기 플렉서블 기판은 상기 필링 와이어에 얹혀져서 후속 장비로 이동되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이의 제조방법.And the flexible substrate is mounted on the peeling wire and moved to subsequent equipment.
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