KR101327382B1 - Motor box for particle shatterproof - Google Patents

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KR101327382B1 KR1020120151838A KR20120151838A KR101327382B1 KR 101327382 B1 KR101327382 B1 KR 101327382B1 KR 1020120151838 A KR1020120151838 A KR 1020120151838A KR 20120151838 A KR20120151838 A KR 20120151838A KR 101327382 B1 KR101327382 B1 KR 101327382B1
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봉하영
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주식회사 케이씨텍
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    • H02K7/08—Structural association with bearings

Abstract

The present invention relates to a motor box for preventing particle spreading comprising a housing, a bearing, an upper cap, and a combination unit. A motor is received to the housing. The bearing is located inside the upper part of the housing and rotates a driving shaft of the motor. The upper cap covers the bearing and the upper part of the housing, and comprises an upper and lower through-hole and a collection unit. The upper and lower through-hole enables the driving shaft to be protruded to the outside. The collection unit is arranged around the upper and lower through-hole and collects particles. The combination unit is connected to the end unit of the driving shaft. The lower part of the combination unit is inserted into the collection unit. The present invention locates the collection unit in a particle emission path by changing the structure of the upper cap and prevents the spreading of the particles by filling collection water in the collection unit.

Description

파티클 비산 방지 모터 박스{Motor box for particle shatterproof}Particle Shatterproof Motor Box {Motor box for particle shatterproof}

본 발명은 파티클 배출이 방지되는 모터 박스에 관한 것으로, 보다 상세하게는 청정 룸 내에서 장비의 구동을 위한 모터를 밀폐하는 파티클 비산 방지 모터 박스에 관한 것이다.
The present invention relates to a motor box in which particle discharge is prevented, and more particularly, to a particle scatter prevention motor box that seals a motor for driving equipment in a clean room.

일반적으로 대면적 기판의 이송장치의 구동부에는 모터에 의해 회전하는 구동축과, 그 구동축의 기어에 의해 대면적 기판의 저면에 접촉되는 이송축들을 동기화하여 회전시킴으로써 대면적 기판을 일방향으로 이송하게 된다.
In general, the drive unit of the large area substrate transfer device transfers the large area substrate in one direction by synchronizing and rotating the drive shaft rotated by the motor and the transfer shafts in contact with the bottom surface of the large area substrate by the gear of the drive shaft.

본 발명의 출원인의 등록특허 10-0672964호에는 이와 같은 구조가 명시되어 있으나, 구체적으로 모터에서 발생하는 이물이 배출되는 것을 방지하기 위하여 모터는 박스 내에 위치하게 된다.
In the applicant's Patent No. 10-0672964 of the present invention, such a structure is specified, but specifically, in order to prevent foreign substances generated from the motor from being discharged, the motor is located in a box.

도 1은 종래 모터 박스의 구성도이다.1 is a block diagram of a conventional motor box.

도 1을 참조하면 종래 모터 박스는, 모터(10)가 수용되는 하우징(16)과, 상기 하우징(16)의 상부 내측에 마련되어 상기 모터(10)의 구동샤프트(15)를 회전 가능한 상태로 지지하는 베어링(14)과, 상기 베어링(14)과 하우징(16)의 상부를 덮되, 상기 구동샤프트(15)가 외부로 돌출될 수 있는 통공을 가지는 상부캡(11)과, 상기 상부캡(11)의 외측으로 돌출된 구동샤프트(15)의 끝단측에 결합된 결합부(13) 및 상기 결합부(13)의 타면에 고정되어 모터(10)의 구동력을 전달하는 기어(12)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a conventional motor box is provided in a housing 16 in which the motor 10 is accommodated, and is provided inside the upper portion of the housing 16 to support the drive shaft 15 of the motor 10 in a rotatable state. The upper cap 11 and the upper cap 11 covering the upper portion of the bearing 14, the bearing 14 and the housing 16, the drive shaft 15 can protrude to the outside Coupling portion 13 is coupled to the end of the drive shaft 15 protruding out of the () and the gear 12 is fixed to the other surface of the coupling portion 13 to transfer the driving force of the motor 10 .

상기 구조에서 모터(10)와 구동샤프트(15)의 사이에는 감속기어 등이 위치할 수 있다.
In the above structure, a reduction gear or the like may be positioned between the motor 10 and the drive shaft 15.

상기와 같이 구성되는 종래 모터 박스는, 모터(10)에 의해 구동되는 구동샤프트(15)의 상부측이 베어링(14)에 의해 고정되어 있고, 그 베어링(14)의 마모에 의해 파티클이 발생하게 된다.In the conventional motor box configured as described above, the upper side of the drive shaft 15 driven by the motor 10 is fixed by the bearing 14 so that particles are generated by the wear of the bearing 14. do.

상기 모터(10)를 수용하는 하우징(16)은 구동샤프트(15)의 일부를 노출시키기 위하여 상면이 개방되어 있는 것이며, 상기 구동샤프트(15)가 회전할 수 있도록 상부캡(11)과 구동샤프트(15)는 서로 밀착되지 않은 상태이다.The housing 16 accommodating the motor 10 has an upper surface open to expose a portion of the drive shaft 15, and the upper cap 11 and the drive shaft to rotate the drive shaft 15. 15 is a state which is not in close contact with each other.

이때 베어링(14)에서 발생된 파티클은 상기 상부캡(11)과 구동샤프트(15)의 사이와 연결부(13)의 사이를 통하는 유출경로(17)를 따라 외부로 유출될 수 있다.
At this time, the particles generated in the bearing 14 may be discharged to the outside along the outflow path 17 between the upper cap 11 and the drive shaft 15 and between the connection portion 13.

즉, 종래 모터 박스는 구동샤프트(15)를 원활하게 회전시킬 수 있도록 하기 위하여, 그 구동샤프트(15)의 주변이 개방되어 있어 베어링(14)이나 앞서 설명한 바와 같이 모터(10)와 구동샤프트(15)를 연결하는 감속기어에서 발생된 이물이 하우징(16)의 외부로 배출될 수 있다.That is, in order to smoothly rotate the drive shaft 15, the conventional motor box has an open periphery of the drive shaft 15 so that the bearing 14 or the motor 10 and the drive shaft ( Foreign matter generated in the reduction gear connecting 15 may be discharged to the outside of the housing 16.

외부로 배출되는 파티클은 이송되는 기판 등을 오염시키는 원인이 되는 문제점이 있었다.
Particles discharged to the outside had a problem of causing contamination of the substrate to be transferred.

또한 종래 모터 박스는 내부에 존재하는 이물의 양을 확인할 수 있는 수단이 없어, 이물에 의해 모터(10) 등이 손상될 수 있는 문제점이 있었다.
In addition, the conventional motor box does not have a means for checking the amount of foreign matter present in the inside, there was a problem that the motor 10 and the like can be damaged by the foreign matter.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 과제는, 내부에서 발생되는 파티클이 외부로 배출되는 것을 방지할 수 있는 파티클 비산 방지 모터 박스를 제공함에 있다.An object of the present invention for solving the above problems is to provide a particle scattering prevention motor box that can prevent the particles generated from the inside to be discharged to the outside.

또한 본 발명의 다른 과제는, 모터 박스 내부의 이물을 육안으로 확인할 수 있는 파티클 비산 방지 모터 박스를 제공함에 있다.
In addition, another object of the present invention is to provide a particle scatter prevention motor box that can visually check the foreign matter inside the motor box.

상기와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명 파티클 비산 방지 모터 박스는, 파티클 비산 방지 모터 박스에 관한 것으로, 모터가 수용되는 하우징과, 상기 하우징의 상부 내측에 마련되어 상기 모터의 구동샤프트를 회전 가능한 상태로 지지하는 베어링과, 상기 베어링과 하우징의 상부를 덮되, 상기 구동샤프트가 외부로 돌출될 수 있는 상하 통공을 가지며, 상기 통공의 주변에 배치되어 포집수로 파티클을 포집하는 포집부가 마련된 상부캡과, 상기 상부캡의 외측으로 돌출된 구동샤프트의 끝단에 결합되며, 하부가 상기 포집부 내에 삽입되는 결합부를 포함한다.
Particle scattering prevention motor box of the present invention for achieving the above object, relates to a particle scattering prevention motor box, the housing in which the motor is accommodated, and is provided inside the upper portion of the housing in a state capable of rotating the drive shaft of the motor An upper cap having a bearing to support, an upper cap covering the upper portion of the bearing and the housing, the upper and lower holes through which the drive shaft can protrude to the outside, and a collecting part disposed around the through holes to collect particles with the collecting water; It is coupled to the end of the drive shaft protruding to the outside of the upper cap, the lower portion includes a coupling portion inserted into the collecting portion.

본 발명은, 상부캡의 구조를 변경하여 파티클 배출 경로에 포집부를 두고, 포집부에 포집수를 충진하여 파티클이 기류를 타고 비산되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.The present invention has the effect of changing the structure of the upper cap to place the collecting portion in the particle discharge path, and filling the collecting water in the collecting portion to prevent the particles from flying in the air flow.

또한 본 발명은 하우징의 일부를 투명한 창으로 하여, 작업자가 박스 내부에 이물량을 육안으로 확인할 수 있도록 하여, 이물에 의한 모터 손상 등을 예방할 수 있는 효과가 있다.
In addition, the present invention has a part of the housing as a transparent window, the operator can visually check the amount of foreign matter inside the box, there is an effect that can prevent the motor damage due to foreign matters.

도 1은 종래 모터 박스의 단면 구성도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 파티클 비산 방지 모터 박스의 단면 구성도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 파티클 비산 방지 모터 박스의 단면 구성도이다.1 is a cross-sectional view of a conventional motor box.
2 is a cross-sectional view of a particle scatter prevention motor box according to a preferred embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of a particle scatter prevention motor box according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명 파티클 비산 방지 모터 박스에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.
Hereinafter, the particle scattering prevention motor box of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 파티클 비산 방지 모터 박스의 단면 구성도이다.2 is a cross-sectional view of a particle scatter prevention motor box according to a preferred embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 파티클 비산 방지 모터 박스는, 모터(10)가 수용되는 하우징(20)과, 상기 하우징(20)의 상부 내측에 마련되어 상기 모터(10)의 구동샤프트(60)를 회전 가능한 상태로 지지하는 베어링(30)과, 상기 베어링(30)과 하우징(20)의 상부를 덮되, 상기 구동샤프트(60)가 외부로 돌출될 수 있는 통공을 가지며, 상기 통공의 주변으로 포집부(43)가 마련된 상부캡(40)과, 상기 상부캡(40)의 외측으로 돌출된 구동샤프트(60)의 끝단측에 결합된 결합부(50) 및 상기 결합부(50)의 타면에 고정되어 모터(10)의 구동력을 외부로 전달하는 기어(70)를 포함한다.
Referring to FIG. 2, a particle scattering prevention motor box according to a preferred embodiment of the present invention includes a housing 20 in which the motor 10 is accommodated, and an inner side of an upper portion of the housing 20 to drive the motor 10. A bearing 30 supporting the shaft 60 in a rotatable state and an upper portion of the bearing 30 and the housing 20, and having a through hole through which the drive shaft 60 may protrude to the outside; The upper cap 40 provided with a collecting portion 43 around the through hole, the coupling portion 50 and the coupling portion coupled to the end side of the drive shaft 60 protruding outwardly of the upper cap 40. It is fixed to the other surface of 50 includes a gear 70 for transmitting the driving force of the motor 10 to the outside.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 파티클 비산 방지 모터 박스의 구성과 작용에 대하여 보다 상세히 설명한다.
Hereinafter, the configuration and operation of the particle scattering prevention motor box according to a preferred embodiment of the present invention configured as described above will be described in more detail.

먼저, 하우징(20)은 모터(10)를 수용하며, 하우징(20)의 내측 상부에는 상기 모터(10)에 의해 구동되는 구동샤프트(60)를 회전 가능한 상태로 지지하는 베어링(30)이 마련되어 있다.
First, the housing 20 accommodates the motor 10, and a bearing 30 for supporting the drive shaft 60 driven by the motor 10 in a rotatable state is provided at an inner upper portion of the housing 20. have.

상기 하우징(20)은 구동샤프트(60)의 끝단이 하우징(20) 외측으로 연장되어 노출될 수 있도록 상부가 개방된 구조이며, 상기 하우징(20)의 상부 개방부와 베어링(30)의 상부측에는 상부캡(40)이 결합된다.The housing 20 has a structure in which an upper end of the driving shaft 60 is extended to be exposed to the outside of the housing 20 so as to be exposed, and an upper opening of the housing 20 and an upper side of the bearing 30 are provided. The upper cap 40 is coupled.

상기 상부캡(40)의 중앙은 상기 구동샤프트(60)가 외부로 노출되도록 상하 통공이 마련된 것이며, 그 상하 통공의 주변으로 포집부(43)가 마련되어 있다.
The center of the upper cap 40 is provided with a vertical through-hole so that the drive shaft 60 is exposed to the outside, the collecting portion 43 is provided around the upper and lower through-holes.

또한 상기 상부캡(40)의 외부로 노출된 구동샤프트(60)의 끝단에는 연결부(50)가 결합된다. 상기 연결부(50)의 형상은 저면, 즉 상부캡(40) 방향이 개방된 원통형의 구조로서, 그 끝단은 측면측에서 상기 포집부(43)와 중첩되도록 결합된다.In addition, the connection portion 50 is coupled to the end of the drive shaft 60 exposed to the outside of the upper cap 40. The connection portion 50 has a cylindrical shape having a bottom surface, that is, an upper cap 40 in an open direction, and an end thereof is coupled to overlap the collecting portion 43 at the side surface.

상기 포집부(43)의 구성은 상기 상부캡(40) 중앙의 상하 통공 주변에서 상부로 돌출된 내측격벽(41)과, 상기 내측격벽(41)으로부터 주변으로 소정 거리 이격되어 상부로 돌출되는 외측격벽(42)을 포함한다.The collection part 43 has an inner partition 41 which protrudes upward from the upper and lower periphery of the center of the upper cap 40 and an outer side that is spaced a predetermined distance from the inner partition 41 to the periphery. The partition 42 is included.

상기 내측격벽(41)과 외측격벽(42)의 사이에는 액상의 포집수(44)가 충진되는 홈이 마련된 것이며, 그 홈측으로 상기 연결부(50)의 하단이 삽입된다.Between the inner partition 41 and the outer partition 42 is provided with a groove that is filled with the liquid collecting water 44, the lower end of the connecting portion 50 is inserted into the groove side.

이때 연결부(50)와 포집부(42)는 접촉되지 않는다.
At this time, the connecting portion 50 and the collecting portion 42 are not in contact.

상기 포집수(44)는 상기 모터(10)의 회전력을 기어(70)를 통해 전달받는 외부의 구성요소의 구동 안정성을 위하여 공급되는 구동수 일 수 있다. 포집수(44)는 포집부(43)에 지속적으로 공급되어 외측으로 오버플로우(over flow)될 수 있다.
The collecting water 44 may be a driving water supplied for driving stability of an external component that receives the rotational force of the motor 10 through the gear 70. The collecting water 44 may be continuously supplied to the collecting part 43 to overflow to the outside.

이와 같은 구성에서 베어링(30)의 마모에 의해 발생되는 파티클은 하우징(20) 내부에서 형성되는 기류에 의해 상기 상부캡(40)의 중앙부 상하 통공을 통해 배출될 수 있으며, 그 파티클은 상기 결합부(50)와 포집부(43)가 이루는 공간으로 배출된다.Particles generated by the wear of the bearing 30 in such a configuration may be discharged through the upper and lower openings in the center of the upper cap 40 by the air flow formed in the housing 20, the particles are the coupling portion It is discharged to the space formed by the 50 and the collecting part 43.

이때 포집부(43)에 공급되는 포집수(44)에 의해 파티클은 기류에 따라 비산되지 못하고, 포집수(44)에 포집되고, 그 포집수(44)가 오버플로우 됨에 따라 함께 배출되어 제거된다.
At this time, the particles are not scattered according to the airflow by the collecting water 44 supplied to the collecting part 43, are collected in the collecting water 44, and the collected water 44 is discharged together and removed as it overflows. .

이때 포집수(44)와 함께 배출되는 파티클은 비산되지 않기 때문에 타 부품이나 기판에 영향을 주지 않게 되어, 공정 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
At this time, since the particles discharged together with the collecting water 44 are not scattered, other particles or substrates are not affected, and process reliability can be improved.

상기 모터(10)가 구동되면서 구동샤프트(60)가 회전하면 진동이 발생될 수 있으며, 이 진동에 의하여 상기 포집수(44)가 상부캡(40)의 중앙부 상하 통공을 통해 하우징(20)의 내부로 유입되는 것을 방지하기 위하여, 상기 내측격벽(41)의 높이를 외측격벽(42)의 높이에 비하여 더 높게 할 수 있다.When the driving shaft 60 is rotated while the motor 10 is driven, vibration may be generated. The collection water 44 of the housing 20 is formed through the upper and lower openings of the upper portion of the upper cap 40 by the vibration. In order to prevent the inflow into the inside, the height of the inner partition 41 may be higher than the height of the outer partition 42.

따라서 발생되는 진동 또는 포집수(44)의 지속적인 공급에도 불구하고, 포집수(44)가 하우징(20) 내로 유입되어 모터(10)를 손상시키는 것을 방지할 수 있게 된다.
Accordingly, despite the vibration or the continuous supply of the collected water 44, the collected water 44 can be prevented from entering the housing 20 and damaging the motor 10.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 파티클 비산 방지 모터 박스의 단면 구성도이다.3 is a cross-sectional view of a particle scatter prevention motor box according to another embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면 본 발명의 다른 실시예에 따른 파티클 비산 방지 모터 박스는, 상기 도 2를 참조하여 설명한 구성에서 하우징(20)의 측면 일부를 개방하고, 그 개방부에 투명한 확인창(21)을 결합한 구조이다.Referring to FIG. 3, the particle scattering prevention motor box according to another exemplary embodiment of the present invention may open a part of the side surface of the housing 20 in the configuration described with reference to FIG. 2, and the confirmation window 21 may be transparent to the opening part. It is a structure that combines.

이와 같은 구성은 확인창(21)을 통해 작업자가 하우징(20) 내부의 이물 발생정도를 육안 확인할 수 있도록 하는 것으로, 이물의 양을 수시로 감시하여 모터(10)가 이물에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있게 된다.
Such a configuration allows the operator to visually check the degree of foreign matter generation in the housing 20 through the confirmation window 21, and to prevent the motor 10 from being damaged by the foreign matter by monitoring the amount of foreign matter at any time. It becomes possible.

상기 확인창(21)의 재질은 투명한 PVC를 사용할 수 있으며, 이물의 배출 방지를 위하여 오링(22)을 사용하여 상기 하우징(20)과 기밀이 유지되도록 결합한다.
The material of the confirmation window 21 may use a transparent PVC, it is coupled to maintain the airtight with the housing 20 using the O-ring 22 to prevent the discharge of foreign matter.

전술한 바와 같이 본 발명에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, And this also belongs to the present invention.

10:모터 20:하우징
21:확인창 22:오링
30:베어링 40:포집부
41:내측격벽 42:외측격벽
43:포집부 44:포집수
50:결합부 60:구동샤프트
70:기어10: motor 20: housing
21: confirmation window 22: O-ring
30: bearing 40: collecting part
41: inner partition 42: outer partition
43: collection part 44: collection number
50: coupling part 60: drive shaft
70: gear

Claims (5)

모터가 수용되는 하우징;
상기 하우징의 상부 내측에 마련되어 상기 모터의 구동샤프트를 회전 가능한 상태로 지지하는 베어링;
상기 베어링과 하우징의 상부를 덮되, 상기 구동샤프트가 외부로 돌출될 수 있는 상하 통공을 가지며, 상기 통공의 주변에 배치되어 포집수로 파티클을 포집하는 포집부가 마련된 상부캡; 및
상기 상부캡의 외측으로 돌출된 구동샤프트의 끝단에 결합되며, 하부가 상기 포집부 내에 삽입되는 결합부를 포함하는 파티클 비산 방지 모터 박스.
A housing in which the motor is accommodated;
A bearing provided inside the upper part of the housing to support the driving shaft of the motor in a rotatable state;
An upper cap covering an upper portion of the bearing and the housing, the upper shaft having upper and lower holes through which the driving shaft can protrude to the outside, and disposed around the through hole to collect particles by collecting water; And
Particle scattering prevention motor box is coupled to the end of the drive shaft protruding to the outside of the upper cap, the coupling portion is inserted into the collecting portion.
제1항에 있어서,
상기 포집부는,
상기 상하 통공의 주변에서 상향 돌출된 내측격벽 및 상기 내측격벽의 주변부로부터 소정거리 이격된 위치에서 상향 돌출된 외측격벽을 포함하며,
상기 내측격벽 및 외측격벽 사이의 홈에 상기 포집수가 공급되는 것을 특징으로 하는 파티클 비산 방지 모터 박스.
The method of claim 1,
The collecting unit collects,
An inner bulkhead protruding upward from the periphery of the upper and lower holes and an outer bulkhead protruding upward at a position spaced a predetermined distance from a periphery of the inner bulkhead,
Particle scattering prevention motor box, characterized in that the collecting water is supplied to the groove between the inner partition and the outer partition.
제2항에 있어서,
상기 내측격벽이 상기 외측격벽에 비하여 더 높게 구성된 것을 특징으로 하는 파티클 비산 방지 모터 박스.
3. The method of claim 2,
Particle scattering prevention motor box, characterized in that the inner partition is configured higher than the outer partition.
제1항에 있어서,
상기 하우징은,
측면 일부가 투명한 확인창인 것을 특징으로 하는 파티클 비산 방지 모터 박스.
The method of claim 1,
The housing includes:
Particle-scattering motor box, characterized in that the side portion is a transparent confirmation window.
제4항에 있어서,
상기 투명한 확인창과 상기 하우징의 사이에는 기밀을 유지하기 위한 오링이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 파티클 비산 방지 모터 박스.
5. The method of claim 4,
Particle scattering prevention motor box, characterized in that it further comprises an O-ring for maintaining airtightness between the transparent confirmation window and the housing.
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