KR101326861B1 - The Gate Covering And Openning Device Used As Board Disposal - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기판 처리에 이용되는 게이트 개폐 장치에 관한 것으로, 상부에 챔버를 결합하고, 하부에 펌프를 결합하여 챔버 내의 기판을 진공 상태에서 처리할 수 있게 개구부를 차폐하는 몸체를 구비하며, 상기 몸체의 상부 일측과 결합되어 몸체 내에 삽설된 상.하판슬라이드를 작동시켜 개구부를 차폐하도록 하는 구동수단을 마련함에 있어 전후로 구동되는 실린더, 상기 실린더의 구동에 따라 전후 구동되는 래크기어, 상기 래크기어에 치차되어 래크기어의 전후 구동에 따라 정역 회동되는 피니언기어를 구비하고, 상기 피니언기어 하부에 장착되어 피니언기어와 함께 회동하는 회동부재와 상기 회동부재에 슬라이딩 연결수단인 제1링크를 고정결합하여 회동부재의 정역 회동에 따라 구동하는 제1링크, 상기 제1링크와 힌지되어 제1링크의 구동에 따라 구동되는 제2링크, 상기 제2링크와 힌지되어 제2링크의 구동에 따라 몸체의 슬라이딩 장홈에 수용된 채, 몸체 내부를 슬라이드 하는 서로 포개진 상.하판슬라이드를 구비하며, 슬라이드 과정에서 발생되는 단차에 의해 더욱 슬라이드 되는 하판슬라이드에 의해 상판슬라이드가 개구부를 차폐하게 되고, 상기 하판슬라이드의 구동에 따른 상하좌우의 유동을 방지하는 수직롤러 및 수평롤러를 하판슬라이드의 좌우측면에 교번으로 장착하는 것을 포함하여 구성됨으로써 개구부를 기밀히 차폐함과 아울러 상하판슬라이드의 고장을 줄여 유지 및 보수의 용이함을 구현하기 위한 기판 처리에 이용되는 게이트 개폐 장치를 제공하고자 하는 것이다.The present invention relates to a gate opening and closing device used for substrate processing, comprising a body coupled to the upper portion, a pump coupled to the lower portion having a body for shielding the opening to process the substrate in the chamber in a vacuum state, the body The cylinder which is driven back and forth in providing the drive means for operating the upper and lower plate slides inserted into the body coupled to the upper one side of the body to shield the opening, the rack gear driven back and forth according to the driving of the cylinder, the rack gear And a pinion gear which is rotated forward and backward according to the forward and backward driving of the rack gear, and is fixed to the pivot member mounted under the pinion gear to rotate together with the pinion gear and the first link, which is a sliding connection means to the pivot member. A first link driven according to the forward and reverse rotation of the pivot member, and hinged with the first link to drive the first link. The second link is driven, and the upper and lower plate slides which slide inside the body while being accommodated in the sliding long groove of the body hinged with the second link and slide the inside of the body, the step generated during the slide process The upper plate slide shields the opening by the lower plate slide which is further slid by the vertical slide, and vertically and horizontal rollers are installed on the left and right sides of the lower plate slide alternately to prevent the up, down, left and right flow due to the driving of the lower plate slide. It is to provide a gate opening and closing device that is used in the substrate processing for airtight shielding the opening and reducing the failure of the upper and lower plate slide to implement the ease of maintenance and repair.
Description
본 발명은 기판 처리에 이용되는 게이트 개폐장치에 관한 것으로, 상세하게는, 기판을 진공 하에서 처리하는 챔버실 하부에 결합장착되어 챔버실 내부의 공기를 차폐하는 게이트 개폐 장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gate opening and closing device used for substrate processing, and more particularly, to a gate opening and closing device that is coupled to a lower portion of a chamber chamber for processing a substrate under vacuum to shield air in the chamber chamber.
종래에는 일반적으로 태양전지나 액정 디스플레이로 대표되는 플랫 패널 디스플레이 등의 제조 과정에 있어서 대형의 유리기판에 에칭 혹은 성막 등의 소정의 처리를 실시하게 되는 기판 처리 시스템으로서 일본국 특허공개공보 평성 5-196150호의 "복수의 처리실을 구비한 멀티 챔버 타입의 기판 처리 시스템"이 알려져 있다.(특허문헌 1)Conventionally, as a substrate processing system in which a predetermined process such as etching or film formation is performed on a large glass substrate in the manufacturing process of a flat panel display such as a solar cell or a liquid crystal display generally, Japanese Patent Laid-Open Publication No. 5-196150 "Multi-chamber type substrate processing system provided with several process chambers" of the arc is known. (Patent Document 1)
상기 특허문헌 1은 기판(피처리체)을 반송하는 반송장치가 마련된 공통반송실을 갖고 이 공통 반송실의 주위에, 처리실이나, 공통 반송실과 대기압 분위기의 사이에서 미처리의 기판과 처리후의 기판을 교환하는 로드록실 등을 구비하고 있다. 이들 공통 반송실, 처리실 및 로드록실은 진공 장치이며, 이들 진공장치는 배기 기구를 이용해서 배기함으로써 내부가 소정의 감압 상태하로 되는데 이때 진공장치는 기밀하게 구성된 용기 본체를 구비하고, 이 용기 본체에는 피처리체를 반입 및 반출하기 위한 개구부가 마련된다.The said patent document 1 has a common conveyance room provided with the conveying apparatus which conveys a board | substrate (process object), and exchanges the unprocessed board | substrate and the board | substrate after a process between this process chamber, a common conveyance chamber, and atmospheric pressure atmosphere around this common conveyance chamber. A load lock chamber and the like are provided. These common conveyance chambers, processing chambers, and load lock chambers are vacuum apparatuses, and these vacuum apparatuses are evacuated using an exhaust mechanism to bring the interior into a predetermined pressure-reduced state, wherein the vacuum apparatus includes a hermetically sealed container body. Openings for carrying in and out of the object are provided.
개구부는 게이트밸브를 이용해서 개폐된다. 개구부를 게이트밸브에 의해 닫으면, 용기본체의 내부는 기밀하게 밀폐되고, 용기본체의 내부의 압력을 소정의 프로세스 압력까지 감압하거나, 대기 상태와 감압 상태의 상호간에서 변환하는 것이 가능하게 되어 있다. 게이트 밸브의 구조 예는 상기 특허문헌 1에 기재되어 있다.The opening is opened and closed using a gate valve. When the opening is closed by the gate valve, the inside of the container body is hermetically sealed, so that the pressure inside the container body can be reduced to a predetermined process pressure, or it can be switched between the atmospheric state and the reduced pressure state. The structural example of a gate valve is described in the said patent document 1.
상기 특허문헌 1에 기재되는 게이트 밸브에서는 유압실린더에 의해서 승강하는 판형상의 게이트 베이스를 마련하고, 게이트 베이스와 밸브체의 양 측면을 링크에 의한 연결로 회전운동하여 밸브체의 지지 및 가압을 실행하고 있다.In the gate valve described in Patent Document 1, a plate-shaped gate base which is lifted and lowered by a hydraulic cylinder is provided, and both sides of the gate base and the valve body are rotated by a linkage connection to support and pressurize the valve body. have.
이와 같은 링크기구를 이용한 게이트 밸브는 링크가 밸브체에 대해 비스듬한 상태일 때, 밸브체를 개구부 주위로부터 떼어놓고, 링크가 밸브체에 대해 수평인 상태일 때 밸브체를 압출해서 밸브체를 개구부 주위에 밀착시킨다.The gate valve using such a link mechanism separates the valve body from the periphery of the opening when the link is oblique to the valve body, and extrudes the valve body by the extrusion of the valve body when the link is horizontal to the valve body. In close contact.
그러나 상기 특허문헌 1에 기재된 링크 기구를 이용하는 게이트 밸브에 있어서는 밸브체의 중량이 증가하면 링크에 의해 밸브체를 유지하는 것이 곤란하게 된다. 또한 밸브체를 양 측면으로부터 가압하게 되기 때문에, 개구부의 사이즈가 커지는 것에 의해, 밸브체의 상부 및 하부에 대한 가압이 부족하다는 염려가 있다. 또한, 가압방향에 대해 반대측의 압력이 높은 상태(역압 상태)에 있어서는 링크기구가 수평상태에서 약간이라도 어긋나 버리면, 밸브체와 개구부 주위의 사이에서 누설이 발생하여, 게이트 밸브의 기밀성이 저하되기 쉬운 문제점을 안고 있다.However, in the gate valve using the link mechanism of the said patent document 1, when the weight of a valve body increases, it will become difficult to hold a valve body by a link. In addition, since the valve body is pressed from both sides, there is a fear that the pressurization of the upper and lower parts of the valve body is insufficient due to the increase in the size of the opening. In the state where the pressure on the opposite side to the pressing direction is high (back pressure state), if the link mechanism is slightly shifted from the horizontal state, leakage occurs between the valve body and the periphery of the opening, which tends to reduce the airtightness of the gate valve. I have a problem.
이러한 문제점들은 개구부가 클수록, 즉 밸브체가 클수록 현저해지고, 역압 상태에서 받는 압력이 크며, 밸브체를 되누르려고 하는 힘이 강하고, 또한 밸브체의 휘어지는 정도도 커지기 때문이다.These problems are because the larger the opening, that is, the larger the valve body is, the greater the pressure received in the back pressure state, the stronger the force is to press the valve body, and the greater the degree of deflection of the valve body.
따라서, 이러한 상기 문제점들을 해소하기 위하여 밸브체의 사이즈가 커져도 기밀성이 저하되기 어려운 근래 공개된 공개특허 10-2011-0014118호의 "게이트 밸브 및 그것을 이용한 기판 처리 시스템" (특허문헌 2)을 제안하게 되었고 상기 특허문헌 2는 피처리체가 반입 및 반출되는 개구부의 주위에 가압되는 밸브체와, 상기 밸브체의 면내에 상기 개구부를 따라 마련된 가압부와, 상기 개구부의 개구면에 대해 평행한 방향으로 슬라이드하는 메인슬라이더와, 상기 메인슬라이더에 마련되며, 상기 가압부를 가압하는 가압기구를 구비하고, 상기 가압기구는 상기 밸브체를 상기 개구부의 주위에 가압하는 돌기부와, 상기 돌기부로부터 아래 방향으로 경사지는 경사부를 포함한 캡으로 구성되며, 상기 가압기구가 상기 밸브체를, 상기 개구부에 정면으로 마주보게 한 상태에서, 상기 개구부의 개구면에 대해 수직인 방향으로 압출하고, 상기 밸브체를 상기 개구부의 주위에 가압하는 것을 특징으로 하는 기술로서 제안된바 있다.Therefore, in order to solve such problems, a recently disclosed "gate valve and a substrate processing system using the same" (Patent Document 2) of Patent Publication No. 10-2011-0014118, which is difficult to reduce the airtightness even when the size of the valve body is increased, has been proposed. The said patent document 2 slides in the direction parallel to a valve body pressurized around the opening part into which a to-be-processed object is carried in and carried out, the press part provided along the said opening in the surface of the said valve body, and the opening surface of the said opening part. A main slider and a press mechanism provided on the main slider, the press mechanism for pressurizing the press portion, wherein the press mechanism includes a protrusion for pressing the valve body around the opening, and an inclined portion inclined downward from the protrusion. And a pressurizing mechanism facing the valve element in front of the opening. In addition, it has been proposed as a technique characterized by extruding in a direction perpendicular to the opening face of the opening, and pressing the valve body around the opening.
상기 특허문헌 2에서는 메인슬라이더의 슬라이드 시, 돌기부가 밸브체의 가압부를 가압하게 되는데, 이때 돌기부에서 경사진 경사부를 따라 가압부의 롤러가 회동되다가 돌기부에서 회동을 멈추며 밸브체가 개구부를 기밀히 밀폐하는 구조다.In Patent Document 2, when the main slider slides, the protrusion presses the pressurization portion of the valve body. At this time, the roller of the pressurization portion rotates along the inclined portion inclined from the protrusion portion, and the rotation stops at the protrusion portion, and the valve body tightly seals the opening portion. All.
하지만, 롤러가 경사부를 따라 회동을 하다가 돌기부에 진입하기 위해서는 절곡된 각을 넘어야 하는데 이때 롤러에 전달되는 압력이 매우 크고 이로 인하여 롤러의 구동에 잔고장 또는 흠이나 하자가 자주 발생한다.However, while the roller rotates along the inclined portion, the bending angle must be exceeded in order to enter the protrusion. At this time, the pressure transmitted to the roller is very large, which causes frequent trouble or scratches or defects in the driving of the roller.
또한, 메인슬라이더에 부착된 연결부재가 가이드레일을 따라 슬라이드하게 되는데 이때 양측에 배치된 2개의 실린더로 구동할 경우 2 실린더의 구동 속도차 발생의 경우 연결부재의 파손 및 하자가 발생하는 문제점을 갖게 되며 전력을 낭비한다.In addition, when the connecting member attached to the main slider slides along the guide rail, when driving with two cylinders disposed on both sides, the connecting member may have a problem such as breakage or defect of the connecting member in the case of a driving speed difference between the two cylinders. And wastes power.
또한, 메인슬라이더에 돌기부가 구성되고, 경사부를 형성하여 슬라이드 작동 과정에서 돌기부 및 경사부의 파손이나 하자가 발생할 경우 메인슬라이더 전체를 교체해야 하는 문제점을 안고 있다.In addition, the protrusion is formed in the main slider, the inclined portion is formed, there is a problem that the entire main slider should be replaced in the event of breakage or defects of the protrusion and the inclined portion in the slide operation process.
또한 가이드레일을 따라 슬라이드 하는 연결부재에 있어서도 전체적으로 슬라이딩 시의 마찰계수가 크고, 실시 제조에 있어 메인슬라이드와 밸브체 뿐 아니라 필요할 때는 이탈기구로서 서브슬라이더 및 신축체와 유지가이드기구로써 안내기구와 샤프트 및 플랜지부 등을 별도로 두어야 하는 구성이 복잡하여 어느 하나의 일부 구성에 문제 및 하자가 많이 발생하고 이로 인하여 슬라이딩 구현에 따른 문제점이 잦음에 따라 유지 및 보수의 어려움을 갖게 된다.
In addition, even in the connecting member sliding along the guide rail, the coefficient of friction at the time of sliding is large. And the configuration of the flange portion and the like is complicated to have a lot of problems and defects in any one part configuration, and this causes a difficulty in maintenance and repair as frequent problems due to the sliding implementation.
전술된 문제점을 해소하고자 본 발명에 따른 기판 처리에 이용되는 게이트 개폐 장치는, 밸브체 개구부 주위의 공기 누설을 방지하면서 기밀한 차폐를 이루기 위함이 목적이고, 개구부의 면적 크기와 관계없이 밸브체의 휨 방지를 제공하기 위함이며, 경사부를 따라 회동하는 롤러에 전달되는 압력을 감소하고 전체적으로 잔고장 방지와 함께 유지 보수의 용이성을 동시에 제공하고자 함이 목적이다.In order to solve the above-mentioned problems, the gate opening and closing device used in the substrate processing according to the present invention is to achieve airtight shielding while preventing air leakage around the valve body opening, The purpose of the present invention is to provide bending prevention, and to reduce pressure transmitted to the roller that rotates along the inclined portion and simultaneously provide ease of maintenance with prevention of trouble.
또한, 하판슬라이드의 제1장공에 단차부를 타압기의 타격에 의해 끼움 장착되게 하여 단차부 저면에 형성된 라운딩면에 이물질이 묻을 경우, 구동부의 롤러 작동 과정에서 라운딩면의 스크래치가 발생하는데 이때, 해당되는 문제의 단차부만 교체할 수 있도록 함으로써 하판슬라이드의 전체적 교체를 방지하고 이에 따른 교체 비용을 절감함과 아울러 교체의 신속성 및 투입되는 노동력을 줄이고자 함에 목적이 있다.In addition, when the stepped portion is fitted to the first hole of the lower plate slide by hitting the pressurizer, and foreign matter gets on the rounding surface formed on the bottom surface of the stepped portion, the rounding surface is scratched during the roller operation of the driving unit. The purpose of the present invention is to prevent the overall replacement of the lower plate slides, thereby reducing the replacement cost, and to reduce the speed of replacement and the labor cost.
또한, 텐션수단의 결합을 견고히 함으로써 스프링의 파단을 예방하고, 설령 스프링 파단이 있을 경우에도 해당되는 문제의 텐션수단만을 교체가능함에 따라 상.하판슬라이드의 전체적 교체를 방지함으로써 교체 비용을 절감하며 교체의 신속성 및 투입된 노동력을 줄이고자 함에 목적이 있다. In addition, it is possible to prevent the breakage of the spring by firmly tightening the tension means, and even if there is a spring breakage, it is possible to replace only the tension means in question. The aim is to reduce the speed of labor and reduce labor.
아울러, 몸체에 확장부를 형성케 하여 구동수단과 슬라이딩 연결수단의 흠이나 하자 발생시, 단번에 교체가 이루어질 수 있도록 함에 목적이 있다.
In addition, there is an object to form an extension in the body so that when a defect or a defect of the drive means and the sliding connection means, it can be replaced at once.
전술된 목적을 달성하고자 본 발명에 따른 기판 처리에 이용되는 게이트 개폐 장치는,Gate opening and closing device used in the substrate processing according to the present invention to achieve the above object,
상부에 챔버를 결합하고 하부에 펌프를 결합하여 챔버 내의 기판을 진공 상태에서 처리할 수 있게 개구부를 차폐하는 몸체;A body for coupling the chamber to the upper part and the pump to the lower part to shield the opening so as to process the substrate in the chamber in a vacuum state;
상기 몸체의 상부 일측과 결합되어 몸체 내에 삽설된 상.하판슬라이드를 작동시켜 개구부를 차폐하도록 하는 구동수단;Drive means coupled to the upper one side of the body to operate the upper and lower plate slide inserted in the body to shield the opening;
상기 구동수단 및 몸체 내부에 장착되어 슬라이딩 연결수단을 고정 결합한 채 구동수단의 구동에 의해 정.역 방향으로 회동하는 회동부재;A rotating member mounted inside the driving means and the body to rotate in the forward and reverse directions by driving the driving means while fixedly coupling the sliding connecting means;
상기 회동부재에 고정결합되어 회동부재의 정.역 회동에 따라 동시에 정.역 회동하여 상.하판슬라이드를 몸체 내부에 전후로 슬라이드 하게 하는 슬라이딩 연결수단;A sliding connection means fixedly coupled to the pivot member to allow the upper and lower plate slides to slide back and forth within the body at the same time as the forward and reverse pivots of the pivot member;
상기 슬라이딩 연결수단과 연결되어 몸체 내부에 전후로 슬라이드 되어 몸체 개구부를 차폐 및 개구하는 상.하판슬라이드;Upper and lower plate slides connected to the sliding connection means and slide back and forth within the body to shield and open the body opening;
상기 상.하판슬라이드 사이의 좌우측 단부에 1쌍 1조로 각각 배치되어 상판슬라이드가 개구부를 차폐 및 개구시, 상.하판슬라이드에 텐션을 제공하며 탈리를 방지하는 텐션수단;Tension means for providing a tension to the upper and lower plate slides when the upper and upper plate slides are arranged in pairs at left and right ends between the upper and lower plate slides to shield and open the opening;
을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
And a control unit.
또한, 상기 몸체의 상부 일측에 결합되는 구동수단은,In addition, the driving means coupled to the upper one side of the body,
결착 플랜지와 결합되는 플레이트;A plate coupled with a binding flange;
상기 플레이트의 일측과 일체된 실린더;A cylinder integrated with one side of the plate;
상기 실린더의 피스톤과 연결되어 플레이트 내에 삽설된 채 피스톤의 운동에 따라 전후 작동되는 래크기어;A rack gear connected to the piston of the cylinder and inserted into the plate and operated back and forth according to the movement of the piston;
상기 래크기어와 연결되어 래크기어의 전후 운동에 따라 정.역방향으로 회동되는 피니언기어;A pinion gear connected to the rack gear and rotated in the forward and reverse directions according to the forward and backward motion of the rack gear;
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
Characterized in that comprises a.
또한, 상기 슬라이딩 연결수단은,In addition, the sliding connecting means,
회동부재의 단턱홈에 삽입되어 단턱홈 중앙에 형성된 볼트구멍과 체결된 와셔 및 삽입볼트에 의하여 일측이 고정되고, 타측은 제2링크의 일측과 볼베어링 연결로 힌지되는 제1링크;A first link inserted into the stepped groove of the rotation member and fixed to one side by a washer and an insertion bolt fastened to a bolt hole formed at the center of the stepped groove, the other side of which is hinged by a ball bearing connection with one side of the second link;
상기 제1링크의 타측과 일측이 힌지되고, 타측은 하판슬라이드의 선단부 상면부인 함몰부 중앙과 힌지되어 하판슬라이드를 슬라이딩케 하는 제2링크;A second link hinged to the other side and one side of the first link, the other side of the first link being hinged with the center of the depression, which is the upper end of the lower plate slide, to slide the lower plate slide;
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
Characterized in that comprises a.
또한, 상기 상판슬라이드는,In addition, the top plate slide,
몸체 내부로 슬라이딩 시, 선단부 및 저면부에 대칭된 상태로 돌출되어 하판슬라이드의 단독 슬라이딩 시, 하판슬라이드의 선단부 상면 함몰부에 삽입고정된 단턱편에 걸려 롤러에 충격을 가하지 않도록 하는 돌기부;Protruding portion to protrude in a state symmetrical to the front end portion and the bottom portion when sliding into the body, so that when the sole sliding of the lower plate slide, the projection portion is caught on the stepped portion fixed to the upper surface recessed portion of the lower plate slide so as not to impact the roller;
몸체 내부로 슬라이딩 시 선단부에 돌출되어 몸체 후내벽에 닿을 때 하판슬라이드에 단차를 발생하게 하는 단차롤러;A step roller which protrudes from the tip when sliding into the body and generates a step in the lower plate slide when it contacts the rear inner wall of the body;
저면부에 원 형태로 다수개 배열 형성된 채, 발생된 단차 만큼 슬라이드 진행하는 하판슬라이드의 단차부에 의해 상방향으로 위치 이동되어 개구부를 기밀히 차폐하도록 하는 구동부;A driving unit which is moved upwardly by a stepped portion of the lower plate slide which slides as much as the generated stepped portion while being arranged in a circle shape in the bottom portion and is hermetically sealed;
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
Characterized in that comprises a.
또한, 상기 구동부는,In addition, the driving unit,
대칭된 걸이부;Symmetrical hook portion;
상기 걸이부에 삽입되어 걸이부 사이로 삽입된 축봉을 고정결합하는 나사;A screw inserted into the hook portion to fix the shaft rod inserted between the hook portions;
상기 나사에 결합고정되어 걸이부 사이에 삽입되는 축봉;A shaft rod fixed to the screw and inserted between the hook portions;
상기 축봉에 삽입되어 하판슬라이드의 단차부 라운딩을 따라 회동하는 롤러;A roller inserted into the shaft to rotate along the step rounding of the lower plate slide;
를 포함하여 구성됨으로써 롤러의 고장 및 하자 발생 시 교체가 신속 용이한 것을 특징으로 한다.
It is characterized by being configured to include a quick and easy replacement in the event of failure and defect of the roller.
또한, 하판슬라이드는,In addition, the bottom plate slide,
제2링크의 타측과 힌지되어 몸체 슬라이딩 장홈에서의 제2링크 구동에 자유로움을 제공하도록 하는 제2링크의 두께만큼 함몰되는 함몰부;A depression recessed with the other side of the second link to be recessed by the thickness of the second link to provide freedom to drive the second link in the body sliding long groove;
선단부 상면부에 대칭된 채로 함몰되어 상판슬라이드의 돌기부를 수용하게 되는 함몰부;A depression that is recessed while being symmetric with the top surface of the tip to accommodate the protrusion of the top plate slide;
상기 함몰부의 후미에 삽입고정되어 슬라이딩 시, 상판슬라이드의 돌기부가 걸리도록 하는 단턱편;A stepped piece which is inserted into and fixed to the rear end of the recessed part so that the protrusion part of the upper plate slide is caught when sliding;
좌우측면에 장착된 채 몸체의 슬라이딩 장홈 좌우측면에 형성된 단턱돌조 사이에 삽입되어 단턱돌조 면을 따라 이동하면서 상하 유동을 방지하게 하는 수직롤러;A vertical roller inserted between the stepped protrusions formed on the left and right sides of the sliding long groove of the body while being mounted on the left and right sides to move along the stepped protrusion surface to prevent vertical flow;
좌우측면에 장착된 채 상기 단턱돌조 사이의 좌우내벽을 따라 이동하면서 좌우 유동을 방지하게 하는 수평롤러;Horizontal rollers mounted on left and right sides to prevent left and right flow while moving along the left and right inner walls between the stepped protrusions;
상판슬라이드의 구동부 배열과 동일하게 원 형태로 다수개 배열되어 발생된 단차만큼 슬라이딩 시, 상기 상판슬라이드의 구동부를 상방향으로 이동시켜 상판슬라이드가 개구부를 차폐유도하는 단차부;A step portion in which the top plate slide induces an opening by moving the driving portion of the top plate slide upward when sliding by a step difference generated by a plurality of circular arrangements identical to the driving unit arrangement of the top slide;
상기 상판슬라이드의 구동부와 동일한 원 형태로 다수개 배열 형성된 채, 타압기의 타격에 의해 상기 단차부를 끼움 걸착하는 제1장공;A first long hole which is fitted with the stepped portion by the hitting of a pressurizer while being formed in a plurality in the same circle shape as the driving portion of the upper plate slide;
좌우측 단부에서 상면과 저면을 연통한 채 1쌍 1조로 각각 배치되어 텐션수단의 삽탈구를 수용하면서 삽탈구 간섭이 없는 확장부를 형성한 제2장공;A second long hole arranged in a pair of pairs while communicating with the top and bottom surfaces at the left and right ends to accommodate the insertion and exit of the tension means and form an extension without insertion and exit interference;
을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
And a control unit.
또한, 상기 단차부는,In addition, the step portion,
타압기의 타격에 의해 전후면 하방향 순으로 다단 형성되어 하판슬라이드의 제1장공에서 상기 제1장공 내주면인 전후면 하방향 순으로 다단 형성된 제1단턱과 제2단턱에 끼움 안착되는 제1절곡부 및 제2절곡부와;The first bend is formed in the first step and the second step of the lower plate slide formed in multiple stages in the order of the front and rear downwards by hitting the pressure presser, and are fitted in the first step and the second step formed in the front and rear downward direction, the inner circumferential surface of the first long hole. A part and a second bent part;
발생된 단차만큼 하판슬라이드의 슬라이딩 시, 상판슬라이드 구동부의 롤러 회동을 유연하게 유도하여 롤러에 충격을 제공하지 않는 채 롤러와 함께 상판슬라이드를 상방향으로 위치 이동하게 하는 저면에 라운딩을 형성하되,When sliding the lower plate slide by the generated step, the round plate is formed on the bottom surface of the upper slide plate to move the upper plate slide upwardly without providing an impact on the roller by flexibly inducing the roller rotation of the upper plate slide drive.
상기 라운딩은,The rounding is,
롤러의 하방향 위치 이동으로 개구부를 상판슬라이드가 개구하도록 유도하는 저점부와;A bottom point for guiding the upper plate slide to open the opening by moving the roller downward;
롤러의 상방향 위치 이동으로 개구부를 상판슬라이드가 차폐하도록 유도하는 고점부로;A high point portion that guides the top plate slide to shield the opening by moving the roller in an upward position;
이루어지는 것을 특징으로 한다.
Characterized in that made.
또한, 수직롤러 및 수평롤러는,In addition, the vertical roller and the horizontal roller,
하판슬라이드의 좌우측면에 교번으로 장착되어 하판슬라이드의 슬라이딩 시, 하판슬라이드의 상하좌우 유동을 동시에 방지하도록 한 것을 특징으로 한다.
It is alternately mounted on the left and right sides of the lower plate slide, characterized in that to prevent the flow of the upper and lower left and right at the same time when the lower plate slide sliding.
또한, 상기 구동수단에 장착되는 회동부재는,In addition, the rotating member mounted to the drive means,
피니언기어와 결합된 채, 중앙에 제1링크의 일측을 고정하기 위한 단턱홈을 형성하되;While combined with the pinion gear, to form a stepped groove for fixing one side of the first link in the center;
상기 단턱홈 중앙에 삽입볼트를 삽입하기 위한 볼트구멍을; A bolt hole for inserting an insertion bolt in the center of the stepped groove;
형성함을 특징으로 하는 기판처리에 이용되는 게이트 개폐장치.
A gate opening and closing device used for substrate processing, characterized in that the forming.
또한, 텐션수단은,In addition, the tension means,
상판슬라이드의 저면 좌우측 단부에 각각 대칭되어 결합 고정된 돌출편과;Protrusions symmetrically coupled to the bottom left and right ends of the top plate slide, respectively;
상기 각 돌출편 사이에 각각 삽입된 축봉과;Shafts respectively inserted between the protrusions;
상기 축봉에 삽입된 채, 전후방으로 회전하고, 내부에 나사산이 형성되어 체결나사를 체결고정하는 체결구와;A fastener which is inserted into the shaft and rotates back and forth, and has a screw thread formed therein to fasten the fastening screw;
상기 체결구 하방향에 위치하여 하판슬라이드의 제2장공에 수용된 채, 하판슬라이드 저면의 상기 제2장공 근처에 볼트로 결합고정된 좌우 고정편의 홈에 좌우 돌기부가 삽입 걸착되어 고정을 이루면서 전후방으로 회전하고, 스프링과 체결나사를 순차적으로 수용하되, 상기 체결나사를 관통하게 하는 삽탈구와;The left and right protrusions are inserted into the grooves of the left and right fixing pieces which are bolted to the vicinity of the second long hole of the bottom plate slide and are fixed to the second long hole of the bottom plate slide while being located in the fastener downward direction, thereby rotating forward and backward. And inserting the spring and the fastening screw accommodating sequentially, and through the fastening screw through;
상기 삽탈구 내부로 삽설되어 일측부는 삽탈구와 걸림을 이루고 타측부는 체결나사와 걸림을 이룬 채, 상판슬라이드의 개구부 차폐 및 개구시, 체결나사의 상하 이동에 의해 압축 및 인장 되면서 상.하판슬라이드에 텐션을 제공하는 스프링과;The insert is inserted into the insertion outlet so that one side is engaged with the insertion outlet and the other side is engaged with the fastening screw, while the opening and closing of the upper plate slide is compressed and tensioned by the up and down movement of the fastening screw. A spring providing tension to the spring;
상기 스프링에 삽설되어 삽탈구를 관통한 채, 타측부는 상기 스프링과 걸림을 이루고 일측부는 나사산이 형성되어 체결구에 체결고정되어, 상기 체결구의 상하 이동에 의해 스프링을 압축 및 인장하며 삽탈구 내에서 상하 이동하는 체결나사와;The other side is engaged with the spring and the other side is engaged with the spring while the other side is inserted into the spring, and a thread is formed and fastened to the fastener, and the spring is compressed and tensioned by the vertical movement of the fastener. Fastening screw to move up and down in the;
상기 하판슬라이드의 제2장공 근처 좌우측 저면에 볼트로 결합고정되어 삽탈구의 좌우측 돌기부를 삽입하여 힌지 고정하는 홈을 내부면에 형성한 고정편;A fixing piece having a groove formed on the inner surface of the lower plate slide, the groove being fixed to the left and right bottom surfaces near the second long hole by inserting the left and right protrusions of the insertion hole into the hinge to fix the hinge;
을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.And a control unit.
상술된 바와 같이, 본 발명의 기판 처리에 이용되는 게이트 개폐 장치는, 개구부를 기밀히 차폐하여 공기 누설을 방지할 수 있는 효과와 함께 마찰계수를 줄일 수 있는 효과가 있다.As described above, the gate opening and closing apparatus used in the substrate processing of the present invention has the effect of reducing the coefficient of friction along with the effect of tightly shielding the opening to prevent air leakage.
또한, 개폐를 이루기 위한 구현 수단들의 잔고장 및 하자를 줄이고, 일부 파손으로 인한 전체를 교체하지 않음에 따라 유지보수 비용을 절감하는 효과와 아울러, 잔고장 및 하자를 줄임에 따른 장치의 유지 및 보수의 용이함과 교체시 투입되는 노동력을 동시에 줄일 수 있는 효과가 있다.
In addition, it is possible to reduce the trouble and defect of the implementation means to achieve the opening and closing, to reduce the maintenance cost by not replacing the whole due to some damage, and to facilitate the maintenance and repair of the device by reducing the trouble and defect It is effective in reducing labor input at the same time.
도 1은 본 발명의 사시도.
도 2는 본 발명의 분리 사시도.
도 3은 본 발명의 연결 사시도.
도 4는 본 발명의 상. 하판슬라이드의 상세 구성도.
도 5는 본 발명의 몸체 상세도.
도 6은 본 발명의 상판슬라이드 작동 상태도.
도 7은 본 발명의 상.하판슬라이드 작동상태도.
도 8,9는 도 5에 도시된 A-A' 절개선인 텐션수단의 단면 및 작동상태도.
도 10은 도 5에 도시된 B-B' 절개선인 단차부의 결착 단면도.
도 11은 본 발명의 몸체 확장부 내부를 도시한 확장부 측단면도.1 is a perspective view of the present invention.
2 is an exploded perspective view of the present invention.
3 is a perspective view of the connection of the present invention.
4 is an image of the present invention. Detailed construction diagram of the bottom plate slide.
Figure 5 is a detailed view of the body of the present invention.
Figure 6 is a top slide operation state diagram of the present invention.
Figure 7 is an operating state of the upper and lower plate slide of the present invention.
8, 9 is a cross-sectional view and an operating state of the AA 'incision line shown in FIG.
FIG. 10 is a cross-sectional view of the binding of the stepped portion, taken along line BB ′, shown in FIG. 5.
Figure 11 is an enlarged side cross-sectional view showing the inside of the body extension of the present invention.
이하 첨부된 도면을 참고로 하여 상세히 설명된다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail.
본 발명에 따른 기판 처리에 이용되는 게이트 개폐 장치에 관한 것으로, 도 1, 2, 3에 도시된 바와 같이,Regarding the gate opening and closing apparatus used in the substrate processing according to the present invention, as shown in Figures 1, 2, 3,
기판을 진공상태 하에서 처리하기 위한 챔버실 하단에 장착되어 이용되는 것으로서 다이(10)에 몸체(20)가 구비형성되고, 상기 몸체(20)의 일측면에는 슬라이딩 장홈(21)을 형성한 채 개구부(27)와 연통을 이루고 있다.The
상기 슬라이딩 장홈(21)에 있어서 좌우내벽(23)에는 단턱돌조(22)를 형성하게 되고, 몸체(20)의 상면 일측에 형성된 결착플랜지(25)에는 구동수단(30)의 플레이트(32) 저부가 결합되며, 상면 타측에 형성된 상부플랜지(26)와 저면의 하부플랜지(28)를 형성하여 상기 상부플랜지(26)가 챔버실(미도시)과 결합을 이루게 되고, 상기 하부플랜지(28)가 진공펌프(미도시)와 결합을 이루게 된다.In the sliding
상기 상부플랜지(26)와 하부플랜지(28) 사이로는 개구부(27)를 형성하게 되고, 상기 개구부(27)는 슬라이딩 장홈(21)과 연통되어 있다.An
따라서, 진공펌프로 챔버실의 공기를 빨아들인 후 챔버실 내부가 진공 하에 있도록 개구부(27)를 차폐하는 것이 본 발명의 게이트 개폐 장치이다.
Therefore, it is the gate opening and closing apparatus of the present invention to shield the
본 발명의 게이트 개폐장치는, 상기와 같이 다이(10)에 형성된 몸체(20)에 있어, 슬라이딩 장홈(21) 내부로는 상판슬라이드(60)와 하판슬라이드(70)가 수용되면서 슬라이딩 장홈(21) 내부를 슬라이딩하게 되는데, 이때 상판슬라이드(60)와 하판슬라이드(70)를 슬라이드하기 위한 구동수단(30)이 마련된다.The gate opening and closing device of the present invention, in the
상기 구동수단(30)은 몸체(20)의 상부 일측에 마련되는데 상세하게는 실린더(31)와 플레이트(32)가 일체되고, 상기 플레이트(32) 내부에는 실린더(31)의 피스톤과 연결되는 래크기어(33)가 내설되며, 상기 래크기어(33)에는 피니언기어(34)가 치차된다.The driving means 30 is provided on one side of the upper portion of the
상기 피니언기어(34) 하부인 플레이트(32) 하부에는 피니언기어(34)와 결합을 이룬 회동부재(40)가 구비되고, 상기 회동부재(40)의 중앙에는 단턱홈(40b)을 형성하며, 상기 단턱홈(40b) 중앙에는 볼트구멍(40a)을 형성한다.The rotating
상기 상판슬라이드(60)와 하판슬라이드(70)를 슬라이드 하기 위한 구동수단(30)과 함께 슬라이딩 연결수단(50)이 마련되는데, 상세하게는 제1링크(51)가 구비되고, 상기 제1링크(51)의 일측에는 중앙에 통공(51a)을 형성하며, 상기 제1링크(51)의 타측은 제2링크(53)와 힌지로 연결됨에 있어, 볼베어링(52)에 의한 연결로 회동의 매끄러움을 구현하게 되고, 상기 제1링크(51)와 힌지된 제2링크(53)의 타측은 하판슬라이드(70) 후부와 힌지되어 연결된다.Sliding connecting
상기 구동수단(30)과 함께 상기 구동수단(30)과 연결되는 슬라이딩 연결수단(50)의 제1링크(51)는 도 11에 도시된 바와 같이, 몸체(20)의 확장부(20a) 내부에서 체결되는 구조로서 구동수단(30) 및 슬라이딩 연결수단(50)의 제1링크(51)에서 발생하는 결함 및 흠결 또는 고장으로 인하여 교체가 필요한 경우에는 몸체(20) 확장부(20a) 구성에 의해 교체의 신속성이 이뤄질 수 있다.As shown in FIG. 11, the
몸체(20)의 슬라이딩 장홈(21)에 수용되어 몸체(20) 내부에 슬라이딩 되는 상판슬라이드(60)와 하판슬라이드(70)의 구성을 상세히 살펴보자면, 먼저 몸체(20) 내부에서 슬라이딩 시, 상판슬라이드(60)는 하판슬라이드(70)와 포개진 상태에서 몸체(20) 내부에서 슬라이딩을 이루게 된다.To see the configuration of the
도 4, 5, 6, 7에 도시된 바와 같이,As shown in Figs. 4, 5, 6, and 7,
상판슬라이드(60)는 상면부에 고무링(60a)을 형성하고, 상판슬라이드(60)의 슬라이드 진행방향인 선단부 및 저면부에 좌우 대칭된 돌기부(61)를 형성하며, 상기 돌기부(61)에는 단차롤러(61a)가 구비되고, 저면부에는 원형태로 일정한 간격을 이뤄 배열된 다수의 구동부(62)가 마련되고, 상기 구동부(62)에 있어 대칭된 걸이부(62a)를 형성하며, 상기 걸이부(62a) 사이에 놓이는 축봉(62c)은 나사(62b)에 의해 고정되고, 상기 축봉(62c)에는 롤러(62d)가 삽입되어 회동하는 구조다.The upper plate slide 60 forms a
또한, 도 5 및 도 8, 9에 도시된 바와 같이, 상.하판슬라이드(60) 사이의 좌우측 단부에 1쌍 1조로 각각 배치되어 상판슬라이드(60)가 개구부(27)를 차폐 및 개구시, 상.하판슬라이드(60)(70)에 텐션을 제공하며 탈리를 방지하는 텐션수단(63)은, 상판슬라이드(60)의 저면 좌우측 단부에 각각 대칭되어 결합 고정된 돌출편(64)을 형성하고, 상기 각 돌출편(64) 사이에 각각 삽입되는 축봉(65)을 구비하며, 상기 축봉(65)에 삽입된 채 전후방으로 회전하고 내부에 나사산이 형성되어 체결나사(68b)를 체결고정하는 체결구(66)를 구비한다.In addition, as shown in FIGS. 5, 8, and 9, the pair of pairs are disposed at the left and right ends between the upper and lower plate slides 60 so that the upper plate slides 60 shield and open the
상기 체결구(66) 하방향에는 하판슬라이드(60)의 제2장공(76)에 수용된 채 하판슬라이드(60) 저면의 상기 제2장공(76) 근처에 볼트로 결합고정된 좌우 고정편(69)의 홈(69a)에 좌우 돌기부(67a)가 삽입 걸착되어 고정을 이루면서 전후방으로 회전하고, 스프링(68a)과 체결나사(68b)를 순차적으로 수용하되 상기 체결나사(68b)를 관통하게 하는 삽탈구(67)를 구비한다.The left and right fixing
상기 삽탈구(67) 내부로 삽설되어 일측부는 삽탈구(67)와 걸림을 이루고 타측부는 체결나사(68b)와 걸림을 이룬 채, 상판슬라이드(60)의 개구부(27) 차폐 및 개구시, 체결나사(68b)의 상하 이동에 의해 압축 및 인장 되면서 상.하판슬라이드(60)(70)에 텐션을 제공하는 스프링(68a)을 구비한다.When the insert is inserted into the
상기 스프링(68a)에 삽설되어 삽탈구(67)를 관통한 채, 타측부는 상기 스프링(68a)과 걸림을 이루고 일측부는 나사산이 형성되어 체결구(66)에 체결고정되어 상기 체결구(66)의 상하 이동에 의해 스프링(68a)을 압축 및 인장하며 삽탈구(67) 내에서 상하 이동하는 체결나사(68b)를 구비한다.The other side is engaged with the
상기 하판슬라이드(70)의 제2장공(76) 근처 좌우측 저면에 볼트로 결합고정되어 삽탈구(67)를 고정한 채, 삽탈구(67)의 전후방 회전시 회전반경을 제어하는 고정편(69)을 구비하여 포함한 텐션수단(63)을 마련하게 되는 것이다.Fixing
상기 고정편(69)은, 좌우측 고정편(69)의 내부면 길이 어느 부위에 형성되어 삽탈구(67)의 좌우측 돌기부(67a)를 삽입하여 힌지 고정하는 삽탈구(67) 탈리를 방지하는 홈(69a)으로 이루어진다.The fixing
따라서, 상판슬라이드(60)와 하판슬라이드가(70)가 서로 포개어질 때 상판슬라이드(60) 저면에 구성된 돌출편(64)과 축봉(65) 및 체결구(66)와 하판슬라이드(70)의 저면에 결합된 고정편(69)에 힌지 고정된 삽탈구(67)가 하판슬라이드(70)의 제2장공(76)에 수용되고, 상기 돌출편(64)은 제2장공(76)의 확장부(76a)에 위치하여, 상판슬라이드(60)가 상방향으로 이동시에 체결구(66)도 함께 상방향으로 이동하며 체결구(66)에 일측이 결합고정된 체결나사(68b)도 함께 상방향으로 이동하는데 이때 체결나사(68b)는 스프링(68a) 타측을 가압한 채 스프링(68a)을 상방향으로 압축하여 삽탈구(67) 내에서 상방향으로 이동함과 동시에 상기 삽탈구(67)는 제2장공(76)에서 하판슬라이드(70)가 발생된 단차만큼 전방으로 슬라이딩 될 때 후방으로 젖혀진다.Accordingly, when the
반대로 하판슬라이드(70)가 다시 후방으로 슬라이딩 될 때 삽탈구(67)는 전방으로 젖혀지게 되고 하방향으로 이동하는 상판슬라이드(60)에 의해 체결구(66)가 하방향으로 이동되면서 삽탈구(67)내에 삽설된 체결나사(68b) 또한 하방향으로 이동하면서 스프링(68a)의 타측부 또한 탄성력에 의해 하방향으로 복귀되는 것이다.On the contrary, when the
상판슬라이드(60)의 저면부가 포개지는 하판슬라이드(70)는 제2링크(53) 타측과 힌지되는 부근인 후부의 상면부 일부가 함몰부(70a)를 형성하고, 선단부 상면부에는 상기 상판슬라이드(60)의 돌기부(61)와 동일한 좌우로 대칭된 함몰부(70b)를 형성하며, 상기 함몰부(70b)에는 단턱편(71)이 삽입고정되고, 좌우측면에는 수직방향의 수직롤러(72)와 수평방향인 수평롤러(73)가 교번되어 장착을 이루며, 상판슬라이드(60)의 구동부(62) 배열과 동일하게 단차부(74)가 상면부에서 원형태로 다수개가 배치된다.The
즉, 도 5 및 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 단차부(74)는 하판슬라이드(70)의 제1장공(75)에 끼움 장착시, 타압기로 단차부(74)를 제1장공(75) 방향으로 타격하여 끼움 체결하는데, 이때 단차부(74)의 전후 외면이 하방향으로 다단 형성된 제1절곡부(74a)와 제2절곡부(74b)가 마련되기 때문에 단차부(74)의 제1,2절곡부(74a)(74b)가 상기 제1장공(75)의 전후 외면 하방향으로 다단 형성된 제1,2단턱(75a)(75b)에 착설되어 단차부(74)의 고정이 이루어진다.That is, as shown in FIGS. 5 and 10, when the
따라서, 상기 다수개의 단차부(74) 중 단차부(74) 저면부에 형성된 라운딩(74c)에 이물질이 묻어 스크래치 또는 흠결이 발생할 경우, 해당되는 문제의 단차부(74)만 교체가능하여 하판슬라이드(70) 전체를 교체해야 하는 번거로움을 줄이고, 교체 비용 또한 줄일 수 있으며, 교체시의 투입 노동력도 절감되는 특징을 갖는다.Therefore, when foreign matter is deposited on the rounding 74c formed at the bottom of the stepped
또한, 상기 단차부(74)는 상판슬라이드(60) 구동부(62)의 롤러(62d) 회동에 유연함을 제공하기 위하여 라운딩(74c)을 형성하고, 하판슬라이드(70)의 슬라이딩 시, 상기 라운딩(74c)에는 상기 상판슬라이드(60) 구동부(62)의 롤러(62d)를 하방향으로 위치 이동케 하는 저점부(74d)를 형성하며, 상판슬라이드(60) 구동부(62)의 롤러(62d)를 상방향으로 위치 이동케 하는 고점부(74e)를 형성하게 된다.In addition, the
즉, 롤러(62d)가 저점부(74d)에 있을 경우, 상판슬라이드(60)는 개구부(27)를 개구한 상태가 되고, 롤러(62d)가 고점부(74c)에 있을 경우, 상판슬라이드(60)는 개구부(27)를 차폐한 상태가 되는 것이다.That is, when the
따라서 몸체(20)의 일측에 형성된 슬라이딩 장홈(21)으로 포개진 상판슬라이드(60)와 하판슬라이드(70)가 수용되고, 이때 하판슬라이드(70)의 좌우측에 교번으로 장착된 수직롤러(72)는 슬라이딩 장홈(21)의 좌우측에 형성된 단턱돌조(22) 면을 따라 회동하게 되고, 수평롤러(73)는 상기 단턱돌조(22) 사이의 몸체(20) 좌우내벽(23)을 따라 회동하게 되어 상하좌우로의 하판슬라이드(70) 유동을 방지하게 된다.Therefore, the
즉 회동부재(40)의 단턱홈(40b)이 제1링크(51)의 일측을 고정하는 역할을 수행하게 되고, 상기 단턱홈(40b) 중앙에 형성된 볼트구멍(40a)과 제1링크(51)의 일측에 형성된 통공(51a)으로 삽입되는 삽입볼트(80)와 와셔(81)에 의해 회동부재(40)가 제1링크(51)의 일측을 고정한 채 결합을 이루게 된다.
That is, the stepped
이하에서는 본 발명의 작동 상태를 설명하고자 한다.Hereinafter will be described the operating state of the present invention.
도 1 내지 5를 참고로 하면서, 도 6, 7, 8, 9에 도시된 바와 같이, 본 발명에 있어 실린더(31)의 피스톤(미도시)이 전진할 경우 래크기어(33)가 전진하게 되고, 상기 래크기어(33)에 치차된 피니언기어(34)는 정방향으로 회동을 하게 되는데, 이때 피니언기어(34)에 장착된 회동부재(40)도 피니언기어(34)와 동일하게 정방향 회동을 이루게 된다.Referring to FIGS. 1 to 5, as shown in FIGS. 6, 7, 8, and 9, in the present invention, the
상기 회동부재(40)에 결합고정된 제1링크(51)가 회동을 하게 되면서 타측에 힌지된 제2링크(53)의 구동을 유도하게 되고, 곧 제2링크(53)가 작동되면서 제2링크(53)와 힌지된 하판슬라이드(70)가 몸체(20)의 일측 슬라이딩 장홈(21)에 수용된 채 슬라이딩 구동을 시작하면서 몸체(20) 내부의 후내벽(24) 방향으로 진행하게 된다.As the
이때 하판슬라이드(70)의 상면부에는 상판슬라이드(60)가 포개진 채 하판슬라이드(70)와 함께 몸체(20) 내부의 후내벽(24) 방향으로 진행하게 되고, 소정의 슬라이드 진행이 이뤄지다가 몸체(20) 내부 후내벽(24)에 상판슬라이드(60)의 단차롤러(62d)(61a)(61a)가 닿게 되면 상판슬라이드(60)는 더 이상 슬라이드 진행을 멈추게 되며, 곧 하판슬라이드(70)와 후내벽(24)의 단차 발생으로 단차 거리만큼 하판슬라이드(70)가 후내벽(24) 방향으로 슬라이드 진행을 하게 된다.At this time, the upper plate of the
이때 하판슬라이드(70)의 단차부(74)에 있어 라운딩(74c)의 저점부(74d)에 위치하고 있던 상판슬라이드(60) 구동부(62)의 롤러(62d)가 단차 발생만큼 슬라이드 진행하는 하판슬라이드(70)로 인하여 라운딩(74c)을 따라 회동하게 되면서 라운딩(74c)의 고점부(74e)로 위치 이동을 이루게 되어 상판슬라이드(60)가 상방향으로 위치 이동되면서 상판슬라이드(60) 상면에 형성된 고무링(60a)이 개구부(27)를 기밀히 차폐하게 된다.At this time, the lower plate slide in which the
이때 상기 단차부(74)의 라운딩(74c)은 롤러(62d)의 매끄럽고 유연한 회동을 제공하게 됨으로써 롤러(62d) 주변의 구동부(62) 파손 및 하자를 방지하는 역할을 수행하게 되고, 상판슬라이드(60)와 하판슬라이드(70)를 연결하고 있는 텐션수단(63)의 스프링(68a)은 상.하판슬라이드(60)(70)의 탈리 및 들뜸을 방지하는 역할을 수행하게 되며, 또한 하판슬라이드(70)의 함몰부에 삽입고정된 단턱편(71)은 상판슬라이드(60)의 돌기부(61)와 걸려 더 이상 슬라이드 진행을 멈추게 하여 롤러(62d)의 충격을 방지하는 역할을 함께 수행하게 된다.At this time, the rounding 74c of the
상기 텐션수단(63)의 작동 상태를 좀 더 상세히 부연 설명하자면, 상판슬라이드(60)의 롤러(62d)가 하판슬라이드(70)의 라운딩(74c)을 따라 회동하여 고점부(74e)로 이동시에 상판슬라이드(60) 저면에 구성된 체결구(66)가 상판슬라이드(60)와 함께 상방향으로 이동하게 되는데 이때 상기 체결구(66)에 일측이 고정 결합된 채 삽탈구(67)에 삽설된 채 관통하고 있는 체결나사(68b)가 체결구(66)의 상방향 이동으로 함께 상방향으로 이동함과 동시에 상기 체결나사(68b)의 상방향 이동에 의해 스프링(68a) 일측도 상방향으로 가압되면서 압축을 이루게 되고, 하판슬라이드(70)에 형성된 제2장공(76)에서 삽탈구(67)는 후방으로의 젖힘이 이루어진다.To explain in more detail the operating state of the tension means 63, when the
반대로 상판슬라이드(60)의 롤러(62d)가 하판슬라이드(70)의 라운딩(74c)을 따라 회동하여 저점부(74d)로 이동시에는, 체결구(66)가 하방향으로 이동되면서 체결나사(68b) 또한 삽탈구(67) 내에서 하방향으로 이동하면서 스프링(68a)도 탄성력에 의해 복귀되고 삽탈구(67)는 다시 제2장공(76)에서 전방으로의 젖힘이 이루어진다.
On the contrary, when the
이와 같이, 본 발명에 따른 기판처리에 이용되는 게이트 개폐장치는, 상술된 바와 같이, 개구부를 기밀히 차폐하여 공기 누설을 방지할 수 있는 효과와 함께 마찰계수를 줄일 수 있게 된다.As described above, the gate opening and closing apparatus used for the substrate processing according to the present invention can reduce the coefficient of friction with the effect of preventing air leakage by hermetically shielding the opening.
또한 개폐를 이루기 위한 구현 수단들의 잔고장 및 하자를 줄이고, 일부 파손으로 인한 전체를 교체하지 않음에 따라 유지보수 비용을 절감하는 효과와 아울러, 잔고장 및 하자를 줄임에 따른 장치의 유지 및 보수의 용이함과 이에 따른 교체의 신속성과 교체시 투입되는 노동력 절감을 동시에 이룰 수 있는 효과가 있다.
In addition, to reduce the trouble and defect of the implementation means to achieve the opening and closing, and to reduce the maintenance cost by not replacing the whole due to some damage, and to facilitate the maintenance and repair of the device by reducing the trouble and defect Accordingly, there is an effect that it is possible to achieve the prompt replacement of the replacement and labor savings during the replacement.
*** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ***
10 : 다이
20 : 몸체 20a: 확장부
21 : 슬라이딩 장홈
22 : 단턱돌조 23 : 좌우내벽
24 : 후내벽 25 : 결착플랜지
26 : 상부플랜지 27 : 개구부
28 : 하부플랜지
30 : 구동수단
31 : 실린더 32 : 플레이트
33 : 래크 기어 34 : 피니언기어
40 : 회동부재 40a : 볼트구멍
40b : 단턱홈
50 : 슬라이딩 연결수단
51 : 제1링크 51a : 통공
52 : 볼베어링 53 : 제2링크
60 : 상판슬라이드 60a: 고무링
61 : 돌기부 61a : 단차롤러
62 : 구동부 62a: 걸이부
62b: 나사 62c: 축봉
62d : 롤러
63 : 텐션수단
64 : 돌출편 65 : 축봉
66 : 체결구
67 : 삽탈구 67a: 돌기부
68a : 스프링 68b : 체결나사
69 : 고정편 69a: 홈
70 : 하판슬라이드
70a: 함몰부
70b: 함몰부 71: 단턱편
72 : 수직롤러 73 : 수평롤러
74 : 단차부 74a: 제1절곡부
74b: 제2절곡부 74c: 라운딩
74d: 저점부 74e: 고점부
75 : 제1장공 75a: 제1단턱
75b: 제2단턱
76 : 제2장공 76a: 확장부
80 : 삽입볼트 81 : 와셔DESCRIPTION OF THE REFERENCE SYMBOLS
10: die
20:
21: sliding long groove
22: stepped stone 23: left and right inner wall
24: posterior inner wall 25: binding flange
26: upper flange 27: opening
28: lower flange
30: Driving means
31
33: rack gear 34: pinion gear
40: rotating
40b: stepped groove
50: sliding connection means
51:
52: ball bearing 53: second link
60:
61:
62: drive
62b:
62d: roller
63: tension means
64: protrusion 65: shaft
66: fastener
67:
68a:
69: fixing
70: bottom plate slide
70a: depression
70b: depression 71: stepped piece
72: vertical roller 73: horizontal roller
74: stepped
74b:
74d:
75:
75b: second step
76: Chapter 2 76a: Expansion
80: insertion bolt 81: washer
Claims (10)
상기 몸체(20)의 상부 일측과 결합되어 몸체(20) 내에 삽설된 상.하판슬라이드(60)(70)를 작동시켜 개구부(27)를 차폐하도록 하는 구동수단(30);
상기 구동수단(30) 및 몸체(20) 내부에 장착되어 슬라이딩 연결수단(50)을 고정 결합한 채 구동수단(30)의 구동에 의해 정.역방향으로 회동하는 회동부재(40);
상기 회동부재(40)에 고정결합되어 회동부재(40)의 정.역 회동에 따라 동시에 정.역 회동하여 상.하판슬라이드(60)(70)를 몸체(20) 내부에 전후로 슬라이드 하게 하는 슬라이딩 연결수단(50);
상기 슬라이딩 연결수단(50)과 연결되어 몸체(20) 내부에 전후로 슬라이드 되어 몸체(20) 개구부(27)를 차폐 및 개구하는 상.하판슬라이드(60)(70);
상기 상.하판슬라이드(60)(70) 사이의 좌우측 단부에 1쌍 1조로 각각 배치되어 상판슬라이드(60)가 개구부(27)를 차폐 및 개구시, 상.하판슬라이드(60)(70)에 텐션을 제공하며 탈리를 방지하는 텐션수단(63);을 포함하여 구성되고;
상기 구동수단(30)에 장착되는 회동부재(40)는, 피니언기어(34)와 결합된 채, 중앙에 제1링크(51)의 일측을 고정하기 위한 단턱홈(40b)을 형성하고, 상기 단턱홈(40b) 중앙에 삽입볼트(90)를 삽입하기 위한 볼트구멍(40a)을, 형성함을 특징으로 하는 기판처리에 이용되는 게이트 개폐장치.
A body 20 for coupling the chamber to the upper part and the pump to the lower part to shield the opening 27 so as to process the substrate in the chamber in a vacuum state;
A driving means (30) coupled to the upper one side of the body (20) to operate the upper and lower plate slides (60) and (70) inserted into the body (20) to shield the opening (27);
A rotating member 40 mounted inside the driving means 30 and the body 20 to rotate in the forward and reverse directions by driving the driving means 30 while fixedly coupling the sliding connecting means 50;
Sliding is fixed to the rotating member 40 to simultaneously swing forward and reverse according to the forward and reverse rotation of the rotating member 40 to slide the upper and lower plate slides (60) and (70) back and forth inside the body (20). Connecting means 50;
Upper and lower plate slides 60 and 70 connected to the sliding connection means 50 to slide back and forth inside the body 20 to shield and open the body 20 opening 27;
The upper and lower plate slides 60 and 70 are arranged in pairs at the left and right ends, respectively, so that the upper and lower plate slides 60 and 70 are provided when the upper plate slide 60 shields and opens the opening 27. And tension means (63) for providing tension and preventing detachment;
The rotating member 40 mounted to the driving means 30 forms a stepped groove 40b for fixing one side of the first link 51 in the center while being coupled to the pinion gear 34. And a bolt hole (40a) for inserting the insertion bolt (90) in the center of the stepped groove (40b).
결착 플랜지(25)와 결합되는 플레이트(32);
상기 플레이트(32)의 일측과 일체된 실린더(31);
상기 실린더(31)의 피스톤과 연결되어 플레이트(32) 내에 삽설된 채 피스톤의 운동에 따라 전후 작동되는 래크기어(33);
상기 래크기어(33)와 연결되어 래크기어(33)의 전후 운동에 따라 정.역방향으로 회동되는 피니언기어(34);
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리에 이용되는 게이트 개폐 장치.According to claim 1, The drive means 30 is coupled to the upper one side of the body 20,
A plate 32 engaged with the binding flange 25;
A cylinder 31 integrated with one side of the plate 32;
A rack gear 33 connected to the piston of the cylinder 31 and operated back and forth according to the movement of the piston while being inserted into the plate 32;
A pinion gear 34 connected to the rack gear 33 and rotated in the forward and reverse directions according to the forward and backward motion of the rack gear 33;
Gate opening and closing device used for substrate processing, characterized in that comprising a.
회동부재(40)의 단턱홈(40b)에 삽입되어 단턱홈(40a) 중앙에 형성된 볼트구멍(40a)과 체결된 와셔(81) 및 삽입볼트(80)에 의하여 일측이 고정되고, 타측은 제2링크(53)의 일측과 볼베어링(52) 연결로 힌지되는 제1링크(51);
상기 제1링크(51)의 타측과 일측이 힌지되고, 타측은 하판슬라이드(70)의 선단부 상면부인 함몰부(70a) 중앙과 힌지되어 하판슬라이드(70)를 슬라이딩케 하는 제2링크(53);
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리에 이용되는 게이트 개폐장치.The method of claim 1, wherein the sliding connecting means 50,
One side is fixed by the washer 81 and the insertion bolt 80 inserted into the stepped groove 40b of the rotation member 40 and fastened to the bolt hole 40a formed at the center of the stepped groove 40a. A first link 51 hinged by one side of the two links 53 and a ball bearing 52 connection;
The second link 53 which hinges the other side and one side of the first link 51 and the other side is hinged with the center of the recess 70a which is the upper end of the lower plate slide 70 to slide the lower plate slide 70. ;
Gate opening and closing device used for substrate processing, characterized in that comprising a.
몸체(20) 내부로 슬라이딩 시 선단부 및 저면부에 대칭된 상태로 돌출되어 하판슬라이드(70)의 단독 슬라이딩 시 하판슬라이드(70)의 선단부 상면 함몰부(70b)에 삽입고정된 단턱편(71)에 걸려 롤러(62d)에 충격을 가하지 않도록 하는 돌기부(61);
몸체(20) 내부로 슬라이딩 시 선단부에 돌출되어 몸체(20) 후내벽(24)에 닿을 때 하판슬라이드(70)에 단차를 발생하게 하는 단차롤러(61a);
저면부에 원 형태로 다수개 배열 형성된 채, 발생된 단차 만큼 슬라이드 진행하는 하판슬라이드(70)의 단차부(74)에 의해 상방향으로 위치 이동되어 개구부(27)를 기밀히 차폐하도록 하는 구동부(62);
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리에 이용되는 게이트 개폐장치.The top plate slide of claim 1,
When sliding into the body 20 protrudes in a symmetrical state in the front end and the bottom portion when the sole sliding of the lower plate slide 70 is inserted into the upper end recessed portion 70b of the front end of the lower plate slide 70 A projection portion 61 which does not catch the roller 62d and impinge the impact on the roller 62d;
A step roller (61a) which protrudes at the tip when sliding into the body (20) to generate a step on the lower plate slide (70) when it contacts the body inner wall (24);
The driving part which is moved upwardly by the step part 74 of the lower plate slide 70 which slides as much as the generated step | step while being arranged in circular form at the bottom part, and airtightly shields the opening part 27 ( 62);
Gate opening and closing device used for substrate processing, characterized in that comprising a.
대칭된 걸이부(62a);
상기 걸이부(62a)에 삽입되어 걸이부(62a) 사이로 삽입된 축봉(62c)을 고정결합하는 나사(62b);
상기 나사(62b)에 결합고정되어 걸이부(62a) 사이에 삽입되는 축봉(62c);
상기 축봉(62c)에 삽입되어 하판슬라이드(70)의 단차부(74) 라운딩(74c)을 따라 회동하는 롤러(62d);
를 포함하여 구성됨으로써 롤러의 고장 및 하자 발생 시 교체가 신속 용이한 것을 특징으로 하는 기판 처리에 이용되는 게이트 개폐장치.The method of claim 4, wherein the drive unit 62,
Symmetrical hook portion 62a;
A screw 62b inserted into the hook portion 62a to securely couple the shaft rod 62c inserted between the hook portions 62a;
A shaft rod 62c fixedly coupled to the screw 62b and inserted between the hook portions 62a;
A roller 62d inserted into the shaft rod 62c and rotating along a step 74 rounding 74c of the lower plate slide 70;
The gate opening and closing device used in the substrate processing, characterized in that the replacement is easy in the event of a failure and defect of the roller by being configured to include.
제2링크(53)의 타측과 힌지되어 몸체(20) 슬라이딩 장홈(21)에서의 제2링크(53) 구동에 자유로움을 제공하도록 하는 제2링크(53)의 두께만큼 함몰되는 함몰부(70a);
선단부 상면부에 대칭된 채로 함몰되어 상판슬라이드(60)의 돌기부(61)를 수용하게 되는 함몰부(70b);
상기 함몰부(70b)의 후미에 삽입고정되어 슬라이딩 시 상판슬라이드(60)의 돌기부(61)가 걸리도록 하는 단턱편(71);
좌우측면에 장착된 채 몸체(20)의 슬라이딩 장홈(21) 좌우측면에 형성된 단턱돌조(22) 사이로 삽입되어 단턱돌조(22) 면을 따라 이동하면서 상하 유동을 방지하게 하는 수직롤러(72)(62d);
좌우측면에 장착된 채 상기 단턱돌조(22) 사이의 좌우내벽(23)을 따라 이동하면서 좌우 유동을 방지하게 하는 수평롤러(73)(62d);
상판슬라이드(60)의 구동부(62) 배열과 동일하게 원 형태로 다수개 배열되어 발생된 단차 만큼 슬라이딩 시, 상기 상판슬라이드(60)의 구동부(62)를 상방향으로 이동시켜 상판슬라이드(60)가 개구부(27)를 차폐유도하는 단차부(74);
상기 상판슬라이드(60)의 구동부(62)와 동일한 원 형태로 다수개 배열 형성된 채, 타압기의 타격에 의해 상기 단차부(74)를 끼움 걸착하는 제1장공(75);
좌우측 단부에서 상면과 저면을 연통한 채 1쌍 1조로 각각 배치되어 텐션수단(63)의 삽탈구(67)를 수용하면서 삽탈구(67) 간섭이 없는 확장부(76a)를 형성한 제2장공(76);
을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리에 이용되는 게이트 개폐장치.The lower plate slide 70 of claim 1,
A recess recessed with the other side of the second link 53 to be recessed by the thickness of the second link 53 to provide freedom for driving the second link 53 in the sliding long groove 21 of the body 20 ( 70a);
A depression 70b recessed while being symmetric with the top surface of the tip portion to accommodate the protrusion 61 of the upper slide 60;
A stepped piece 71 inserted into and fixed to the rear end of the recess 70b so that the protrusion 61 of the upper slide 60 is caught when sliding;
Vertical rollers 72, which are inserted between the stepped protrusions 22 formed on the left and right sides of the sliding long groove 21 of the body 20 while being mounted on the left and right sides, and move along the surface of the stepped protrusions 22 to prevent vertical flow. 62d);
Horizontal rollers 73 and 62d mounted on left and right sides to prevent left and right flow while moving along the left and right inner walls 23 between the stepped protrusions 22;
In the same way as the arrangement of the driving unit 62 of the upper plate slide 60, when the slide is generated by a plurality of steps generated by the circular form, the upper plate slide 60 by moving the driving unit 62 of the upper plate slide upwards A stepped portion 74 which guides the shielding opening 27;
A first long hole (75) fitted with the step portion (74) by striking the other pressurizer while being formed in the same circular shape as the driving portion (62) of the upper plate slide (60);
The second chapter, which is arranged in a pair of pairs while communicating the upper surface and the bottom surface at the left and right ends to accommodate the insertion and exit ports 67 of the tension means 63 and to form the expansion portion 76a without interference with the insertion and exit ports 67. (76);
Gate opening and closing device used for substrate processing, characterized in that comprising a.
타압기의 타격에 의해 전후면 하방향 순으로 다단 형성되어 하판슬라이드(70)의 제1장공(75)에서 상기 제1장공(75) 내주면인 전후면 하방향 순으로 다단 형성된 제1단턱(75a)과 제2단턱(75b)에 끼움 안착되는 제1절곡부(74a) 및 제2절곡부(74b)와;
발생된 단차만큼 하판슬라이드(70)의 슬라이딩 시, 상판슬라이드(60) 구동부(62)의 롤러(62d) 회동을 유연하게 유도하여 롤러(62d)에 충격을 제공하지 않는 채 롤러(62d)와 함께 상판슬라이드(60)를 상방향으로 위치 이동하게 하는 저면에 라운딩(74c)을 형성하되,
상기 라운딩(74c)은,
롤러(62d)의 하방향 위치 이동으로 개구부(27)를 상판슬라이드(60)가 개구하도록 유도하는 저점부(74d)와;
롤러(62d)의 상방향 위치 이동으로 개구부(27)를 상판슬라이드(60)가 차폐하도록 유도하는 고점부(74e)로;
이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 처리에 이용되는 게이트 개폐장치.The method of claim 6, wherein the step portion 74,
The first stepped portion 75a which is formed in multiple stages in the order of the front and rear downwards by hitting the pressurizer and is formed in the stage of the front and rear downwards which is the inner circumferential surface of the first long hole 75 in the first long hole 75 of the lower plate slide 70. ) And the first bent portion 74a and the second bent portion 74b that are fitted to the second stepped portion 75b;
When sliding the lower plate slide 70 by the generated step, the roller 62d of the upper plate slide 60 drive unit 62 is flexibly guided so that the roller 62d does not provide an impact to the roller 62d together with the roller 62d. Rounding (74c) is formed on the bottom surface to move the upper plate slide 60 in the upward direction,
The rounding 74c is,
A bottom portion 74d for guiding the upper plate slide 60 to open the opening 27 by the downward positional movement of the roller 62d;
A high point portion 74e for guiding the upper plate slide 60 to shield the opening 27 by the upward positional movement of the roller 62d;
A gate opening and closing device used for substrate processing, characterized in that made.
하판슬라이드(70)의 좌우측면에 교번으로 장착되어 하판슬라이드(70)의 슬라이딩 시, 하판슬라이드(70)의 상하좌우 유동을 동시에 방지하도록 한 것을 특징으로 하는 기판 처리에 이용되는 게이트 개폐장치.The vertical rollers (72, 62d) and the horizontal rollers (73), (62d),
Gate alternately mounted on the left and right sides of the lower plate slide 70 to prevent the upper, lower, left and right flow of the lower plate slide 70 at the time of sliding of the lower plate slide 70, the gate opening and closing device used for processing.
상판슬라이드(60)의 저면 좌우측 단부에 각각 대칭되어 결합 고정된 돌출편(64)과;
상기 각 돌출편(64) 사이에 각각 삽입된 축봉(65)과;
상기 축봉(65)에 삽입된 채, 전후방으로 회전하고, 내부에 나사산이 형성되어 체결나사(68b)를 체결고정하는 체결구(66)와;
상기 체결구(66) 하방향에 위치하여 하판슬라이드(60)의 제2장공(76)에 수용된 채, 하판슬라이드(60) 저면의 상기 제2장공(76) 근처에 볼트로 결합고정된 좌우 고정편(69)의 홈(69a)에 좌우 돌기부(67a)가 삽입 걸착되어 고정을 이루면서 전후방으로 회전하고, 스프링(68a)과 체결나사(68b)를 순차적으로 수용하되, 상기 체결나사(68b)를 관통하게 하는 삽탈구(67)와;
상기 삽탈구(67) 내부로 삽설되어 일측부는 삽탈구(67)와 걸림을 이루고 타측부는 체결나사(68b)와 걸림을 이룬 채, 상판슬라이드(60)의 개구부(27) 차폐 및 개구시, 체결나사(68b)의 상하 이동에 의해 압축 및 인장 되면서 상.하판슬라이드(60)(70)에 텐션을 제공하는 스프링(68a)과;
상기 스프링(68a)에 삽설되어 삽탈구(67)를 관통한 채, 타측부는 상기 스프링(68a)과 걸림을 이루고 일측부는 나사산이 형성되어 체결구(66)에 체결고정되어, 상기 체결구(66)의 상하 이동에 의해 스프링(68a)을 압축 및 인장하며 삽탈구(67) 내에서 상하 이동하는 체결나사(68b)와;
상기 하판슬라이드(70)의 제2장공(76) 근처 좌우측 저면에 볼트로 결합고정되어 삽탈구(67)의 좌우측 돌기부(67a)를 삽입하여 힌지 고정하는 홈(69a)을 내부면에 형성한 고정편(69);
을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판처리에 이용되는 게이트 개폐장치.According to claim 1, the tension means 63,
Protrusions 64 symmetrically coupled to the bottom left and right ends of the upper plate slide 60, respectively;
Shaft rods 65 respectively inserted between the protruding pieces 64;
A fastener 66 which is inserted into the shaft bar 65 and rotates back and forth and has a screw thread formed therein to fasten the fastening screw 68b;
Left and right fixed to the fastener (66), while being accommodated in the second long hole (76) of the lower plate slide 60, the left and right fixed to the bolt near the second long hole (76) of the bottom surface of the lower plate slide (60) The left and right protrusions 67a are inserted into the grooves 69a of the piece 69 and rotated back and forth while being fixed, thereby accommodating the spring 68a and the fastening screw 68b in sequence, and accepting the fastening screw 68b. An insertion and discharging outlet 67 for penetrating;
When the insert is inserted into the insertion outlet 67, one side is engaged with the insertion outlet 67 and the other side is engaged with the fastening screw 68b, while shielding and opening the opening 27 of the upper plate slide 60, A spring 68a which provides tension to the upper and lower plate slides 60 and 70 while being compressed and tensioned by the up and down movement of the fastening screw 68b;
The other side is engaged with the spring 68a while the other side is inserted into the spring 68a and penetrates through the insertion outlet 67, and one side is formed with a screw thread to be fastened and fastened to the fastener 66. A fastening screw 68b which compresses and tensions the spring 68a by vertical movement of the 66 and moves up and down within the insertion and discharging opening 67;
Fixed to form a groove (69a) in the inner surface of the lower plate slide 70 is fixed to the left and right bottom near the second long hole (76) to insert the left and right projections (67a) of the insertion hole 67 and hinged Piece 69;
Gate opening and closing device used for substrate processing, characterized in that comprises a.
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