KR102239190B1 - Apparatus for Substrate treatment - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 기판처리장치는, 내부에 피처리물을 처리공간이 형성되는 공정챔버와, 상기 공정챔버 상부에 설치되고, 상기 공정챔버의 상측방향을 따라 복수의 플레이트가 적층되며, 독립적으로 개폐가능하도록 이루어진 다단 도어를 포함하여, 설비의 유지보수가 용이해질 수 있다.The substrate processing apparatus according to the present invention includes a process chamber in which a processing space is formed for an object to be processed, and a plurality of plates are stacked along the upper direction of the process chamber, and are independently opened and closed. Including a multi-stage door made possible, the maintenance of the facility can be facilitated.

Description

기판처리장치{Apparatus for Substrate treatment}Substrate treatment apparatus {Apparatus for Substrate treatment}

본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 공정 챔버에 복층으로 이루어져 독립적으로 개폐가능한 도어가 구비되어 설비의 유지보수가 용이한 기판처리장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate processing apparatus, and more particularly, to a substrate processing apparatus that is provided with a door that can be opened and closed independently made up of multiple layers in a process chamber to facilitate maintenance of the facility.

일반적으로 급속열처리 장치는 고속 열처리(Rapid Thermal Anealing), 고속 열세정(Rapid Thermal Cleaning), 고속 열화학 증착(Rapid Thermal Vap. or Deposition) 등의 기판의 열처리를 위한 장비이다. In general, a rapid heat treatment apparatus is an equipment for heat treatment of a substrate such as rapid thermal anealing, rapid thermal cleaning, and rapid thermal vapor deposition.

이러한 급속열처리 장치는 한국등록특허공보 10-0807120에 개시된 바와 같이, 가열램프에서 방사되는 가열광을 석영 윈도우에 통과시켜 공정챔버 내의 기판에 열을 전달한다. As disclosed in Korean Patent Publication No. 10-0807120, this rapid heat treatment apparatus transmits heat to a substrate in a process chamber by passing heating light radiated from a heating lamp through a quartz window.

그런데, 종래의 급속열처리 장치를 분해하는 과정에서 파손이 발생할 수 있다. 예를 들어, 가열램프를 교체하거나 공정챔버를 청소하기 위해서는 급속열처리 장치를 분해해야 한다. 이때, 석영 윈도우가 깨지기 쉽기 때문에 분해작업을 진행할 때 파손될 수 있다. 석영 윈도우가 파손되면, 기판에 대한 열처리 작업을 수행할 수 없고 석영 윈도우 전체를 교체하기 때문에, 작업의 효율이 감소하고 수리비가 증가하는 문제가 생길 수 있다.However, damage may occur in the process of disassembling the conventional rapid heat treatment apparatus. For example, in order to replace the heating lamp or clean the process chamber, the rapid heat treatment unit must be disassembled. At this time, since the quartz window is fragile, it may be damaged when disassembling is performed. When the quartz window is damaged, the heat treatment operation for the substrate cannot be performed and the entire quartz window is replaced, so that the efficiency of the operation decreases and the repair cost may increase.

또한, 급속열처리 장치를 분해하면서 구성요소들을 체결해주는 체결볼트를 분실하여 장치를 다시 조립하지 못하는 문제가 발생할 수 있다.In addition, while disassembling the rapid heat treatment device, a problem in that the device cannot be reassembled may occur due to the loss of the fastening bolts that fasten the components.

한국등록특허공보 제10-0807120호Korean Registered Patent Publication No. 10-0807120

본 발명은 복층으로 이루어져 독립적으로 개폐가능한 도어가 구비되는 기판처리장치를 제공한다.The present invention provides a substrate processing apparatus comprising a double layer and provided with a door that can be opened and closed independently.

본 발명은 설비의 유지보수가 용이한 기판처리장치를 제공한다.The present invention provides a substrate processing apparatus that facilitates maintenance of equipment.

본 발명은, 내부에 피처리물을 처리공간이 형성되는 공정챔버와, 상기 공정챔버 상부에 설치되고, 상기 공정챔버의 상측방향을 따라 복수의 플레이트가 적층되며, 독립적으로 개폐가능하도록 이루어진 다단 도어를 포함한다.The present invention provides a process chamber in which a processing space is formed for an object to be processed, and a multi-stage door installed on the process chamber, in which a plurality of plates are stacked along the upper direction of the process chamber, and can be opened and closed independently. Includes.

상기 공정챔버 내부로 가열광을 통과시키는 윈도우와, 상기 윈도우를 통해 가열광을 방사하는 가열램프를 포함하고,A window for passing heating light into the process chamber, and a heating lamp for emitting heating light through the window,

상기 다단 도어는, 내부에 상기 윈도우가 수납되는 공간이 형성되는 제1 플레이트와, 상기 제1 플레이트 상부에 배치되고 내부에 가열램프가 수납되는 공간이 형성되는 제2 플레이트를 포함한다.The multi-stage door includes a first plate having a space in which the window is accommodated, and a second plate disposed above the first plate and having a space for receiving a heating lamp therein.

상기 제2 플레이트는, 상기 가열램프가 관통하고 상기 가열광을 상기 처리공간으로 반사시키는 제1 서브플레이트와 상기 가열램프를 지지해주는 제2 서브플레이트를 포함하고, 상기 제1 서브플레이트와 상기 제2 서브플레이트는 독립적으로 개폐가능하하다.The second plate includes a first subplate through which the heating lamp passes and reflects the heating light to the processing space, and a second subplate supporting the heating lamp, and the first subplate and the second The subplate can be opened and closed independently.

상기 제1 서브플레이트 하부면의 상기 가열램프가 관통하는 부분이 오목하게 형성된다.A portion of the lower surface of the first subplate through which the heating lamp passes is formed to be concave.

상기 제1 서브플레이트 하부면에는 반사층이 코팅된다.A reflective layer is coated on the lower surface of the first subplate.

상기 다단 도어에 온도를 측정하는 온도센서가 구비되고, 상기 온도센서의 측정값이 설정값 이상이면 이상 신호를 발생시킨다.A temperature sensor for measuring temperature is provided in the multi-stage door, and an abnormal signal is generated when the measured value of the temperature sensor is greater than or equal to a set value.

상기 다단 도어에 상기 제1 플레이트, 상기 제1 서브플레이트, 또는 상기 제2 서브플레이트의 개폐여부를 감지하는 감지센서가 구비된다.The multi-stage door is provided with a detection sensor that detects whether the first plate, the first subplate, or the second subplate is opened or closed.

상기 공정챔버와 상기 제1 플레이트를 관통하여 상기 공정챔버와 상기 제1 플레이트를 체결하는 제1 스프링볼트, 및 상기 제2 서브플레이트와 상기 제1 서브플레이트를 관통하여, 상기 제1 플레이트에 체결되는 제2 스프링볼트를 포함한다.A first spring bolt that penetrates the process chamber and the first plate to fasten the process chamber and the first plate, and penetrates the second subplate and the first subplate, and is fastened to the first plate. Includes a second spring bolt.

상기 제1 플레이트의 상기 제1 스프링볼트가 관통하는 부분과 상기 제2 서브플레이트의 상기 제2 스프링이 볼트가 관통하는 부분에 턱이 형성되고,A jaw is formed at a portion of the first plate through which the first spring bolt passes and a portion through which the second spring of the second subplate passes through the bolt,

상기 제1 스프링볼트의 헤드와 상기 제1 플레이트의 턱 사이에 탄성력을 가지는 제1 스프링이 구비되며, 상기 제1 스프링볼트의 체결부가 상기 제1 플레이트의 턱에 걸리고,A first spring having an elastic force is provided between the head of the first spring bolt and the jaw of the first plate, and the fastening portion of the first spring bolt is caught on the jaw of the first plate,

상기 제2 스프링볼트의 헤드와 상기 제2 서브플레이트의 턱 사이에 탄성력을 가지는 제2 스프링이 구비되며, 상기 제2 스프링볼트의 체결부가 상기 제2 서브플레이트의 턱에 걸린다.A second spring having an elastic force is provided between the head of the second spring bolt and the jaw of the second subplate, and a fastening portion of the second spring bolt is caught by the jaw of the second subplate.

상기 제1 서브플레이트와 상기 제2 서브플레이트는 체결볼트로 연결된다.The first subplate and the second subplate are connected by fastening bolts.

상기 제1 플레이트에 공정가스를 분사하는 분사홀이 형성된다.An injection hole for injecting a process gas is formed in the first plate.

상기 다단 도어에 상기 가열램프를 냉각시키는 냉각가스가 유입되는 냉각공간이 형성된다.A cooling space through which a cooling gas for cooling the heating lamp is introduced is formed in the multi-stage door.

상기 윈도우는 석영 윈도우를 포함하고, 상기 제1 플레이트는 상기 윈도우와 함께 이동한다.The window includes a quartz window, and the first plate moves together with the window.

본 발명의 실시 예에 따른 기판처리장치는, 공정챔버 상부에 복층으로 이루어진 도어가 구비될 수 있다. 따라서, 분해작업시 설비가 파손되는 것을 억제하거나 방지할 수 있다.In the substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention, a door made of a double layer may be provided above the process chamber. Therefore, it is possible to suppress or prevent damage to the equipment during the disassembly operation.

도어는 석영 윈도우를 구비하는 플레이트와 가열램프를 구비하는 플레이트로 분리될 수 있다. 따라서, 공정챔버 내부 청소시 석영 윈도우를 별도로 분리하지 않고 석영 윈도우를 구비하는 도어를 개방시키기 때문에, 작업자가 직접 석영 윈도우를 만지지 않아 석영 윈도우가 파손되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 가열램프에 대한 교체작업시에도 가열램프를 구비하는 부분만 개방하여 교체작업을 진행하기 때문에 공정챔버 내부의 오염을 방지하고 진공을 유지할 수 있다. 이에, 설비의 유지보수가 용이해질 수 있다. The door may be divided into a plate having a quartz window and a plate having a heating lamp. Therefore, since the door including the quartz window is opened without separating the quartz window when cleaning the inside of the process chamber, it is possible to prevent the quartz window from being damaged by a worker not directly touching the quartz window. In addition, even when the heating lamp is replaced, only the portion provided with the heating lamp is opened to perform the replacement, so that contamination inside the process chamber can be prevented and vacuum can be maintained. Accordingly, maintenance of the facility can be facilitated.

또한, 복수의 플레이트를 체결해주는 체결볼트가 외부로 돌출되는 것을 방지하는 구조로 형성되어 볼트 분해시 볼트의 분실위험이 감소할 수 있다.In addition, since it is formed in a structure that prevents the fastening bolts that fasten the plurality of plates from protruding to the outside, the risk of loss of the bolts when disassembling the bolts can be reduced.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판처리장치를 나타내는 도면.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 다단 도어를 나타내는 도면.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 제2 스프링볼트를 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 다단 도어의 작동을 나타내는 도면.1 is a view showing a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a view showing a multi-stage door according to an embodiment of the present invention.
3 is a view showing a second spring bolt according to an embodiment of the present invention.
4 is a view showing the operation of a multi-stage door according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 발명을 상세하게 설명하기 위해 도면은 과장될 수 있고, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in a variety of different forms, only the present embodiments make the disclosure of the present invention complete, and the scope of the invention to those of ordinary skill in the art It is provided to inform you. In order to describe the invention in detail, the drawings may be exaggerated, and the same numerals refer to the same elements in the drawings.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판처리장치를 나타내는 도면이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 다단 도어(200)를 나타내는 도면이고, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 제2 스프링볼트(520)를 나타내는 도면이고, 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 다단 도어(200)의 작동을 나타내는 도면이다.1 is a view showing a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view showing a multi-stage door 200 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a second diagram according to an embodiment of the present invention. It is a view showing the spring bolt 520, Figure 4 is a view showing the operation of the multi-stage door 200 according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 기판처리장치는 내부에 피처리물을 처리공간이 형성되는 공정챔버(100)와, 상기 공정챔버(100) 상부에 설치되고, 상기 공정챔버(100)의 상측방향을 따라 복수의 플레이트가 적층되어 독립적으로 개폐가능하도록 이루어진 다단 도어(200)를 포함한다. 또한, 공정챔버(100) 내부로 가열광을 통과시키는 윈도우(300)와, 상기 윈도우(300)를 통해 가열광을 방사하는 가열램프(400)를 포함할 수 있다.1, a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a process chamber 100 in which a processing space is formed for an object to be processed, and is installed above the process chamber 100, and the process chamber ( A plurality of plates are stacked along the upper direction of 100) to include a multistage door 200 configured to be independently opened and closed. In addition, a window 300 for passing heating light into the process chamber 100 and a heating lamp 400 for emitting heating light through the window 300 may be included.

공정챔버(100)는 피처리물 즉, 기판의 열처리 공간인 내부공간을 가지는데, 열처리 공간 내부에 기판이 안착된다. 공정챔버(100)는 내부가 비어있는 사각형 통 형상으로 제작될 수 있다. 공정챔버(100)의 일측면 및 타측면 각각에는 기판의 출입을 위한 출입구(미도시)가 마련되며, 어느 하나의 출입구는 이송 모듈(미도시)과 연결될 수 있다. 또한, 공정챔버(100)의 상부가 개방될 수 있다. 따라서, 공정챔버(100) 내부를 청소할 때, 공정챔버(100) 상부의 개방된 부분을 통해 청소작업을 수행할 수 있다. 그러나 공정챔버(100)의 구조와 형상은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다. The process chamber 100 has an internal space that is a heat treatment space of an object to be processed, that is, a substrate, and a substrate is seated in the heat treatment space. The process chamber 100 may be manufactured in the shape of a square tube with an empty inside. Each of the one side and the other side of the process chamber 100 is provided with an entrance (not shown) for entering and exiting the substrate, and any one of the entrances may be connected to a transfer module (not shown). In addition, the upper portion of the process chamber 100 may be opened. Therefore, when cleaning the inside of the process chamber 100, the cleaning operation can be performed through the open portion of the upper portion of the process chamber 100. However, the structure and shape of the process chamber 100 are not limited thereto and may be various.

윈도우(300)는 공정챔버(100)의 개방된 부분에 배치되어 가열램프(400)와 후술될 제1 서브플레이트(221)에서 반사되는 가열광을 투과시켜 기판에 전달한다. 윈도우(300)는 다단 도어(200)와 공정챔버(100) 사이에서 공정챔버(100)의 기밀을 유지시켜 공정챔버(100) 내부가 진공이 유지되도록 할 수 있다. 따라서, 외부 환경 예를 들어, 압력, 가스, 오염물질 등으로부터 공정챔버(100)를 보호할 수 있다. 또한, 윈도우(300)는 가열램프(400)를 보호하고, 가열램프(400)에서 발생하는 열로 인해서 생기는 부산물이 공정챔버(100) 내부의 열처리 공간에 위치한 기판으로 떨어지는 것을 막아줄 수 있다. 이때, 윈도우(300)는 석영 윈도우일 수 있다. 그러나, 윈도우(300)의 재질은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.The window 300 is disposed in the open portion of the process chamber 100 to transmit the heating light reflected from the heating lamp 400 and the first subplate 221 to be described later to the substrate. The window 300 may maintain the airtightness of the process chamber 100 between the multi-stage door 200 and the process chamber 100 so that a vacuum is maintained inside the process chamber 100. Accordingly, it is possible to protect the process chamber 100 from an external environment, for example, pressure, gas, and pollutants. In addition, the window 300 may protect the heating lamp 400 and prevent by-products generated by heat generated from the heating lamp 400 from falling to the substrate located in the heat treatment space inside the process chamber 100. In this case, the window 300 may be a quartz window. However, the material of the window 300 is not limited thereto and may be various.

가열램프(400)는 윈도우(300) 상측에 복수개가 배치되어 공정챔버(100)를 향하여 가열광을 방사할 수 있다. 가열램프(400)가 배치되는 위치에 대해서는 후술되는 내용에서 상세히 설명하기로 한다.A plurality of heating lamps 400 may be disposed above the window 300 to emit heating light toward the process chamber 100. The position where the heating lamp 400 is disposed will be described in detail in the following description.

도 2를 참조하면, 다단 도어(200)는, 내부에 상기 윈도우(300)가 수납되는 공간이 형성되는 제1 플레이트(210)와, 상기 제1 플레이트(210) 상부에 배치되고 내부에 가열램프(400)가 수납되는 공간이 형성되는 제2 플레이트(220)를 포함한다. 이때, 다단 도어(200) 내부에 냉각가스가 이동하는 냉각유로가 형성될 수 있다. 따라서, 가열램프(400)가 과열되어 녹거나 파손되기 전에 가열램프(400)를 냉각시켜 가열램프(400)가 파손되는 것을 방지할 수 있다.Referring to FIG. 2, the multi-stage door 200 includes a first plate 210 in which a space in which the window 300 is accommodated is formed, and a heating lamp is disposed above the first plate 210 and has a heating lamp therein. And a second plate 220 in which a space in which the 400 is accommodated is formed. In this case, a cooling passage through which the cooling gas moves may be formed in the multi-stage door 200. Therefore, it is possible to prevent the heating lamp 400 from being damaged by cooling the heating lamp 400 before the heating lamp 400 is overheated and melted or damaged.

제1 플레이트(210)는 상하부가 개방되고 내부에 윈도우(300)가 장착된다. 그리고, 제1 플레이트(210)는 공정챔버(100) 상부의 개방된 부분에 밀착되어 공정챔버(100) 내부를 개방하거나 밀폐시킬 수 있다. 즉, 제1 플레이트(210)는 공정챔버(100)의 개폐기 역할하여 회전 또는 이동하면서 공정챔버(100)를 개폐할 수 있다. 이에, 제1 플레이트(210)가 이동하면 윈도우(300)도 일체로 함께 이동하기 때문에, 파손되기 쉬운 윈도우(300)에 대한 별도의 해체작업 없이 공정챔버(100)의 내부를 개방할 수 있다. 또한, 제1 플레이트(210)에는 공정가스를 분사하는 분사홀(미도시)이 형성될 수 있다. 즉, 기판을 처리하기 위한 공정가스를 분사하기 위해, 공정챔버(100) 내부와 접촉하는 제1 플레이트(210) 하부에 분사홀이 형성될 수 있다. 그러나, 제1 플레이트(210)의 구조는 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.The upper and lower portions of the first plate 210 are opened and a window 300 is mounted therein. In addition, the first plate 210 may be in close contact with the open portion of the upper portion of the process chamber 100 to open or seal the inside of the process chamber 100. That is, the first plate 210 can open and close the process chamber 100 while rotating or moving by acting as an open/closer of the process chamber 100. Accordingly, when the first plate 210 moves, the window 300 also moves integrally, so that the inside of the process chamber 100 can be opened without a separate disassembly operation for the window 300 that is likely to be damaged. In addition, an injection hole (not shown) for injecting a process gas may be formed in the first plate 210. That is, in order to inject a process gas for processing a substrate, a spray hole may be formed under the first plate 210 in contact with the inside of the process chamber 100. However, the structure of the first plate 210 is not limited thereto and may be various.

이때, 제1 스프링볼트(510)가 공정챔버(100)와 제1 플레이트(210)를 관통하여, 공정챔버(100)와 제1 플레이트(210)를 체결할 수 있다. 제1 플레이트(210)의 제1 스프링볼트(510)가 관통하는 부분에 턱이 형성될 수 있다. 즉, 제1 플레이트(210)의 턱이 형성된 부분의 관통구 직경이 관통구의 다른 직경보다 좁아질 수 있다. 제1 스프링볼트(510)는 공정챔버(100)와 체결되는 체결부 및 제1 플레이트(210)의 턱과 제1 스프링볼트(510) 사이에 구비되는 제1 스프링을 포함한다. 제1 스프링은 탄성력을 가지고 있고 제1 스프링볼트(510)를 상측으로 이동시키려고 한다. 따라서, 제1 스프링볼트(510)의 체결부를 제1 스프링의 탄성력보다 강하게 공정챔버(100)에 체결하면 제1 스프링의 높이가 감소할 수 있다. 한편, 체결부를 공정챔버(100)에서 풀어주면 제1 스프링의 높이가 증가하면서 제1 스프링볼트(510)를 상측으로 이동시켜 공정챔버(100)와 제1 플레이트(210)를 분리할 수 있다. 그러나, 제1 스프링볼트(510)의 체결부가 제1 플레이트(210)의 턱에 걸려, 제1 스프링볼트(510)가 제1 플레이트(210) 외부로 돌출되는 것을 방지할 수 있다. 이에, 제1 스프링볼트(510)를 풀어주더라도 제1 스프링볼트(510)의 분실위험이 감소할 수 있다.In this case, the first spring bolt 510 may pass through the process chamber 100 and the first plate 210 to fasten the process chamber 100 and the first plate 210. A jaw may be formed in a portion of the first plate 210 through which the first spring bolt 510 passes. That is, the diameter of the through hole of the portion where the jaws of the first plate 210 is formed may be narrower than other diameters of the through hole. The first spring bolt 510 includes a fastening portion fastened to the process chamber 100 and a first spring provided between the jaws of the first plate 210 and the first spring bolt 510. The first spring has an elastic force and tries to move the first spring bolt 510 upward. Accordingly, when the fastening part of the first spring bolt 510 is fastened to the process chamber 100 to be stronger than the elastic force of the first spring, the height of the first spring may be reduced. On the other hand, when the fastening part is released from the process chamber 100, the height of the first spring increases and the first spring bolt 510 is moved upward to separate the process chamber 100 and the first plate 210. However, it is possible to prevent the first spring bolt 510 from protruding to the outside of the first plate 210 because the fastening portion of the first spring bolt 510 is caught in the jaw of the first plate 210. Accordingly, even if the first spring bolt 510 is loosened, the risk of loss of the first spring bolt 510 may be reduced.

제2 플레이트(220)는, 상기 가열램프(400)가 관통하고 상기 가열광을 상기 처리공간으로 반사시키는 제1 서브플레이트(221)와 상기 가열램프(400)가 관통되고 상기 가열램프(400)를 지지해주는 제2 서브플레이트(222)를 포함한다. 이때, 제1 서브플레이트(221)와 제2 서브플레이트(222)는 서로 분리가능할 수 있다.The second plate 220 passes through the heating lamp 400 and the first sub-plate 221 for reflecting the heating light to the processing space and the heating lamp 400 through the heating lamp 400. It includes a second subplate 222 for supporting. In this case, the first subplate 221 and the second subplate 222 may be separable from each other.

제1 서브플레이트(221)는 제1 플레이트(210) 상부에 배치된다. 가열램프(400)가 제1 서브플레이트(221)를 관통하고, 제1 서브플레이트(221)의 가열램프(400)가 관통하는 부분이 오목하게 형성될 수 있다. 즉, 가열램프(400)의 가열광을 공정챔버(100)로 반사하기 위해 제1 서브플레이트(221)의 가열램프(400)가 관통하는 부분이 오목한 모양으로 형성될 수 있다. 이때, 제1 서브플레이트(221) 하부면에는 반사층이 코팅될 수 있다. 이러한 코팅층은 가열광에 대한 반사효율을 향상시켜 기판에 대한 열처리효율이 향상될 수 있다. 그러나, 제1 서브플레이트(221)의 구조는 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.The first subplate 221 is disposed above the first plate 210. The heating lamp 400 may pass through the first sub-plate 221 and a portion of the first sub-plate 221 through which the heating lamp 400 passes may be formed to be concave. That is, in order to reflect the heating light of the heating lamp 400 to the process chamber 100, a portion of the first subplate 221 through which the heating lamp 400 passes may be formed in a concave shape. In this case, a reflective layer may be coated on the lower surface of the first subplate 221. Such a coating layer can improve the reflection efficiency of the heating light, thereby improving the heat treatment efficiency of the substrate. However, the structure of the first subplate 221 is not limited thereto and may be various.

제2 서브플레이트(222)는 제1 서브플레이트(221) 상부에 배치된다. 가열램프(400)가 제2 서브플레이트(222)를 관통하고, 제2 서브플레이트(222)의 내부에는 냉각공간(222a)이 형성될 수 있다. 즉, 제2 서브플레이트(222)의 냉각공간(222a)으로 냉각가스를 공급하여 이를 관통하는 가열램프(400)를 직접으로 냉각시킬 수 있다. 냉각가스는 제1 서브플레이트(221) 하부로 공급되어 제1 서브플레이트(221)의 가열램프(400)가 관통하는 부분을 통해 제2 서브플레이트(222) 내부에 형성된 냉각공간(222a)으로 유입된다. 그리고 냉각가스는 냉각공간(222a) 내에서 복수의 가열램프(400)와 직접 접촉하여 가열램프(400)를 냉각시키고, 제2 서브플레이트(222)에 형성되는 배출구(미도시)를 통해 냉각공간(222a) 외부로 배출될 수 있다. 따라서, 하나의 공간에서 복수의 가열램프(400)를 냉각하기 때문에, 가열램프(400)를 냉각하기 위해 가열램프(400)마다 개별적으로 냉각가스가 이동하는 유로를 형성할 때보다 플레이트들의 가공이 용이해질 수 있다.The second subplate 222 is disposed above the first subplate 221. The heating lamp 400 may pass through the second subplate 222, and a cooling space 222a may be formed inside the second subplate 222. That is, the cooling gas may be supplied to the cooling space 222a of the second subplate 222 to directly cool the heating lamp 400 passing therethrough. The cooling gas is supplied to the lower portion of the first sub plate 221 and flows into the cooling space 222a formed inside the second sub plate 222 through the portion through which the heating lamp 400 of the first sub plate 221 passes. do. In addition, the cooling gas directly contacts the plurality of heating lamps 400 in the cooling space 222a to cool the heating lamps 400, and the cooling space through an outlet (not shown) formed in the second subplate 222. (222a) Can be discharged to the outside. Therefore, since the plurality of heating lamps 400 are cooled in one space, processing of the plates is more difficult than when a flow path through which the cooling gas moves individually for each heating lamp 400 is formed to cool the heating lamp 400. It can be facilitated.

또한, 냉각가스가 가열램프(400)를 용이하게 냉각시켜 가열램프(400)가 과열되어 파손되거나 주위의 설비가 파손되는 것을 방지할 수 있다. 냉각가스는 부도체이기 때문에, 도체 또는 반도체인 냉각수를 이용하여 가열램프(400) 등의 전기부품을 냉각할 때보다 쇼트의 위험이 감소할 수 있다. 이에, 설비의 수명이 향상될 수 있다. 그러나, 가열램프(400)를 냉각시키는 방법은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.In addition, the cooling gas can easily cool the heating lamp 400 to prevent damage to the heating lamp 400 due to overheating or damage to surrounding facilities. Since the cooling gas is a non-conductor, the risk of a short circuit may be reduced compared to when an electric component such as the heating lamp 400 is cooled using cooling water, which is a conductor or a semiconductor. Accordingly, the life of the facility can be improved. However, the method of cooling the heating lamp 400 is not limited thereto and may be various.

도 3을 참조하면, 제2 스프링볼트(520)가 제1 서브플레이트(221)와 제2 서브플레이트(222)를 관통하여 제1 플레이트(210)에 체결될 수 있다. 제2 서브플레이트(222)의 제2 스프링볼트(520)가 관통하는 부분에 턱이 형성될 수 있다. 즉, 제2 서브플레이트(222)의 턱이 형성된 부분의 관통구 직경이 관통구의 다른 직경보다 좁아질 수 있다. 제2 스프링볼트(520)는 제1 플레이트(210)와 체결되는 체결부(521) 및 제2 서브플레이트(222)의 턱과 제2 스프링볼트(520) 사이에 구비되는 제2 스프링(522)을 포함한다. 체결부(521)에는 제1 플레이트(210)에 형성되는 홈의 깊이만큼 나사산이 형성되어 제1 서브플레이트(221)와는 체결되지 않고 관통할 수 있다. 이에, 제2 스프링볼트(520)를 풀어주면, 제2 스프링볼트(520)의 체결부(521)가 제1 플레이트(210)에서 분리되어 제1 서브플레이트(221) 내에서 상하로 이동할 수 있다. 제2 스프링(522)은 탄성력을 가지고 있고 제2 스프링볼트(520)를 상측으로 이동시키려고 한다. 따라서, 제2 스프링볼트(520)의 체결부(521)를 제2 스프링(522)의 탄성력보다 강하게 제1 플레이트(210)에 체결하면 제2 스프링(522)의 높이가 감소할 수 있다. Referring to FIG. 3, a second spring bolt 520 may pass through the first subplate 221 and the second subplate 222 to be fastened to the first plate 210. A jaw may be formed in a portion of the second subplate 222 through which the second spring bolt 520 passes. That is, the diameter of the through hole of the portion where the jaws of the second subplate 222 is formed may be narrower than other diameters of the through hole. The second spring bolt 520 includes a fastening part 521 fastened to the first plate 210 and a second spring 522 provided between the jaws of the second subplate 222 and the second spring bolt 520 Includes. The fastening part 521 is formed with a thread as much as the depth of the groove formed in the first plate 210 to penetrate the first subplate 221 without being fastened. Thus, when the second spring bolt 520 is loosened, the fastening part 521 of the second spring bolt 520 is separated from the first plate 210 and can move up and down in the first subplate 221. . The second spring 522 has an elastic force and tries to move the second spring bolt 520 upward. Accordingly, when the fastening portion 521 of the second spring bolt 520 is fastened to the first plate 210 to be stronger than the elastic force of the second spring 522, the height of the second spring 522 may be reduced.

이때, 체결볼트(530)가 제1 서브플레이트(221)와 제2 서브플레이트(222)를 관통하여 제1 서브플레이트(221)와 제2 서브플레이트(222)에 체결될 수 있다. 따라서, 제2 스프링볼트(522)를 풀어주더라도 제1 서브플레이트(221)와 제2 서브플레이트(222)가 분리되지 않을 수 있다. 그리고, 체결볼트(530)를 풀어주거나 조여주면, 제1 서브플레이트(221)와 제2 서브플레이트(222)를 분리하거나 조립할 수 있다. 따라서, 제2 서브플레이트(222) 내부에 냉각공간(222a)을 가공한 후 제2 서브플레이트(222)와 제1 서브플레이트(221)를 조립할 수 있어 제2 서브플레이트(222) 내부에 냉각공간을 가공하기가 용이해질 수 있다. 즉, 제1 서브플레이트(221)와 제2 서브플레이트(222)가 일체로 제작되면, 플레이트 내부에 냉각공간을 가공하기가 어려워질 수 있다. 그러나, 제1 서브플레이트(221)와 제2 서브플레이트(222)의 연결방법은 이에 한정되지 않고 다양할 수 있다.In this case, the fastening bolt 530 may pass through the first subplate 221 and the second subplate 222 to be fastened to the first subplate 221 and the second subplate 222. Therefore, even if the second spring bolt 522 is loosened, the first subplate 221 and the second subplate 222 may not be separated. In addition, when the fastening bolt 530 is loosened or tightened, the first subplate 221 and the second subplate 222 may be separated or assembled. Therefore, after processing the cooling space 222a inside the second subplate 222, the second subplate 222 and the first subplate 221 can be assembled, so that the cooling space inside the second subplate 222 It may be easier to process. That is, when the first subplate 221 and the second subplate 222 are integrally manufactured, it may be difficult to process the cooling space inside the plate. However, the connection method of the first subplate 221 and the second subplate 222 is not limited thereto and may be various.

한편, 체결부(521)를 제1 플레이트(210)에서 풀어주면 제2 스프링(522)의 높이가 증가하면서 제2 스프링볼트(520)를 상측으로 이동시켜 제1 서브플레이트(221)와 제2 서브플레이트(222)를 제1 플레이트(210)에서 분리할 수 있다. 그러나, 제2 스프링볼트(520)의 체결부(521)가 제2 서브플레이트(522)의 턱에 걸려, 제2 스프링볼트(520)가 제2 서브플레이트(222) 외부로 돌출되는 것을 방지할 수 있다. 이에, 제2 스프링볼트(520)를 풀어주더라도 제2 스프링볼트(520)의 분실위험이 감소할 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고 다양한 방법으로 제1 플레이트(210), 제1 서브플레이트(221), 제2 서브플레이트(222)를 서로 체결하거나 분리할 수 있다.On the other hand, when the fastening part 521 is released from the first plate 210, the height of the second spring 522 increases, and the second spring bolt 520 is moved upward so that the first subplate 221 and the second The subplate 222 may be separated from the first plate 210. However, the fastening portion 521 of the second spring bolt 520 is caught in the jaw of the second subplate 522, and prevents the second spring bolt 520 from protruding out of the second subplate 222. I can. Accordingly, even if the second spring bolt 520 is loosened, the risk of loss of the second spring bolt 520 may be reduced. However, the present invention is not limited thereto, and the first plate 210, the first subplate 221, and the second subplate 222 may be fastened or separated from each other in various ways.

또한, 제2 서브플레이트(222)는 힌지부(240)와 연결되어 개폐역할을 할 수 있다. 힌지부(240)의 일단은 공정챔버(100)에 고정되고, 타단은 제2 서브플레이트(222)와 회전가능하게 연결된다. 예를 들어, 제1 스프링볼트(510)를 풀고 제2 서브플레이트(222)가 힌지부(240)를 통해 이동하면, 이와 체결된 제1 서브플레이트(221)와 제1 플레이트(210)도 함께 이동하여 공정챔버(100)가 개방되거나 밀폐될 수 있다. 한편, 제2 스프링볼트(520)를 풀고 제2 서브플레이트(222)가 힌지부(240)를 통해 이동하면, 이와 체결된 제1 서브플레이트(221)도 함께 이동하고, 제1 플레이트(210)는 공정챔버(100) 내부를 계속 밀폐시켜줄 수 있다.In addition, the second subplate 222 may be connected to the hinge part 240 to open/close. One end of the hinge part 240 is fixed to the process chamber 100 and the other end is rotatably connected to the second subplate 222. For example, when the first spring bolt 510 is loosened and the second subplate 222 moves through the hinge part 240, the first subplate 221 and the first plate 210 fastened thereto are also By moving, the process chamber 100 may be opened or closed. On the other hand, when the second spring bolt 520 is loosened and the second subplate 222 moves through the hinge part 240, the first subplate 221 fastened thereto also moves together, and the first plate 210 May keep the inside of the process chamber 100 sealed.

제2 서브플레이트(222)의 상부에 케이스(230)가 구비될 수 있다. 케이스(230)는 내부공간을 가지고 제2 서브플레이트(222)의 상부를 덮을 수 있다. 이에, 제2 서브플레이트(222) 상부로 돌출되는 가열램프(400) 등의 전기단자들을 덮어 외부로부터 보호해줄 수 있다.The case 230 may be provided on the second subplate 222. The case 230 may have an internal space and may cover the upper portion of the second subplate 222. Accordingly, electrical terminals such as the heating lamp 400 protruding above the second subplate 222 may be covered and protected from the outside.

제1 서브플레이트(221) 또는 제2 서브플레이트(222) 중 적어도 어느 한 부분에 온도센서(미도시)가 구비될 수 있다. 온도센서는 제1 서브플레이트(221) 또는 제2 서브플레이트(222)의 내부나 가열램프(400)의 온도를 측정한다. A temperature sensor (not shown) may be provided in at least one of the first subplate 221 and the second subplate 222. The temperature sensor measures the temperature of the inside of the first subplate 221 or the second subplate 222 or of the heating lamp 400.

다단 도어(200)에는 제1 플레이트(210), 제1 서브플레이트(221), 또는 제2 서브플레이트(222)의 개폐여부를 감지하는 감지센서(250)가 구비될 수 있다.The multi-stage door 200 may be provided with a detection sensor 250 that detects whether the first plate 210, the first sub plate 221, or the second sub plate 222 is opened or closed.

제어기(미도시)는 온도센서 또는 감지센서(250)와 연결되어 다단 도어(200)나 가열램프(400)의 작동을 제어할 수 있다. 온도센서에서 측정된 값이 제어기에 미리 설정된 값 이상이면 이상 신호를 발생시킬 수 있다. 예를 들어, 제어기는 작업자가 다단 도어(200)를 개방하다가 화상 등의 부상을 당하는 것을 방지하기 위해 힌지부(250)의 작동을 제어하여 다단 도어(200)가 개방되는 것을 막을 수 있다. 또는, 가열램프(400)가 과열되어 파손되는 것을 방지하기 위해, 가열램프(400)가 일정온도 이상으로 뜨거워지면 가열램프(400)의 작동을 중단시켜 설비의 파손을 방지할 수 있다. The controller (not shown) may be connected to the temperature sensor or the detection sensor 250 to control the operation of the multi-stage door 200 or the heating lamp 400. If the value measured by the temperature sensor is more than the preset value in the controller, an abnormal signal may be generated. For example, the controller may prevent the multi-stage door 200 from being opened by controlling the operation of the hinge unit 250 to prevent an operator from being injured such as a burn while opening the multi-stage door 200. Alternatively, in order to prevent the heating lamp 400 from being damaged due to overheating, when the heating lamp 400 becomes hot above a certain temperature, the operation of the heating lamp 400 may be stopped to prevent damage to the facility.

그리고, 제어기가 감지센서(250)로부터 제1 플레이트(210), 제1 서브플레이트(221), 또는 제2 서브플레이트(222)가 개방되었다는 신호를 받으면, 가열램프(400)가 작동하지 못하게 할 수 있다. 즉, 플레이트들(210,221,222)이 개방된 상태에서 기판처리작업을 수행하면, 주변 설비나 작업자의 안전에 위협이 되기 때문에, 가열램프(400)가 작동하지 못하게 하여 작업자 또는 설비의 사고를 방지할 수 있다.
In addition, when the controller receives a signal from the detection sensor 250 that the first plate 210, the first subplate 221, or the second subplate 222 is open, the heating lamp 400 is prevented from operating. I can. In other words, if the substrate processing work is performed in the open state of the plates 210, 221, 222, it is a threat to the safety of nearby facilities or workers, so that the heating lamp 400 does not operate, thereby preventing an accident of the worker or the facility. have.

하기에서는 다단 도어(200)의 개폐방법에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, a method of opening and closing the multi-stage door 200 will be described.

가열램프(400)를 교체하는 경우, 다단 도어(200)의 가열램프(400)를 수납하는 제1 서브플레이트(221)와 제2 서브플레이트(222)만 개방할 수 있다. 따라서, 도 4a와 같이, 제2 스프링볼트(520)를 풀어줄 수 있다. 그러면, 제1 플레이트(210)에 체결되었던 제2 스프링볼트(520)가 제2 스프링에 의해 상승한다. 그런 다음, 제1 서브플레이트(221) 또는 제2 서브플레이트(222)를 들어올리면, 힌지부에 의해 제1 서브플레이트(221)와 제2 서브플레이트(222)가 함께 상측으로 회전하여, 제1 플레이트(210)를 이동시키지 않고 가열램프(400)를 교체할 수 있다. 따라서, 공정챔버(100)는 제1 플레이트(210)에 의해 밀폐된 상태를 유지하기 때문에, 내부의 오염을 방지하고 진공을 유지할 수 있다. 이에, 설비의 유지보수가 용이해질 수 있다. 또한, 제2 스프링볼트(520)가 제1 서브플레이트(221)에 형성된 턱에 걸리기 때문에, 제2 스프링볼트(520)의 분실위험이 감소할 수 있다.When the heating lamp 400 is replaced, only the first subplate 221 and the second subplate 222 accommodating the heating lamp 400 of the multi-stage door 200 may be opened. Accordingly, as shown in FIG. 4A, the second spring bolt 520 can be released. Then, the second spring bolt 520 fastened to the first plate 210 is raised by the second spring. Then, when the first sub-plate 221 or the second sub-plate 222 is lifted, the first sub-plate 221 and the second sub-plate 222 are rotated upward together by the hinge part, and the first The heating lamp 400 can be replaced without moving the plate 210. Therefore, since the process chamber 100 is kept closed by the first plate 210, internal contamination can be prevented and vacuum can be maintained. Accordingly, maintenance of the facility can be facilitated. In addition, since the second spring bolt 520 is caught on the jaw formed in the first subplate 221, the risk of loss of the second spring bolt 520 may be reduced.

공정챔버(100) 내부를 청소하기 위해 다단 도어(200)를 개방하는 경우, 다단 도어(200) 전체를 개방할 수 있다. 따라서, 도 4b와 같이, 제1 스프링볼트(510)를 풀어줄 수 있다. 그러면, 공정챔버(100)에 체결되었던 제1 스프링볼트(510)가 제1 스프링에 의해 상승한다. 그런 다음, 다단 도어(200)를 들어올리면, 힌지부에 의해 다단 도어(200)가 상측으로 회전하여 공정챔버(100) 내부가 개방되어 청소작업을 수행할 수 있다. 이때, 윈도우(300)에 대한 별도의 해체작업을 수행하지 않아 해체작업을 하면서 윈도우(300)가 파손되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 제1 스프링볼트(510)가 제1 플레이트(210)에 형성된 턱에 걸려 제1 스프링볼트(510)의 분실위험이 감소할 수 있다.
When the multistage door 200 is opened to clean the inside of the process chamber 100, the entire multistage door 200 may be opened. Accordingly, as shown in FIG. 4B, the first spring bolt 510 can be released. Then, the first spring bolt 510 fastened to the process chamber 100 is raised by the first spring. Then, when the multi-stage door 200 is lifted, the multi-stage door 200 is rotated upward by the hinge portion to open the inside of the process chamber 100 to perform a cleaning operation. In this case, since a separate disassembly operation for the window 300 is not performed, the window 300 may be prevented from being damaged while the disassembly operation is performed. In addition, the risk of loss of the first spring bolt 510 may be reduced because the first spring bolt 510 is caught by the jaw formed on the first plate 210.

이와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능하다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며, 아래에 기재될 특허청구범위뿐만 아니라 이 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.As described above, in the detailed description of the present invention, specific embodiments have been described, but various modifications may be made without departing from the scope of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should not be defined by being limited to the described embodiments, and should be defined by the claims to be described below as well as the claims and their equivalents.

100: 공정챔버 200: 다단 도어
210: 제1 플레이트 220: 제2 플레이트
221: 제1 서브플레이트 222: 제2 서브플레이트
510: 제1 스프링볼트 520: 제2 스프링볼트100: process chamber 200: multi-stage door
210: first plate 220: second plate
221: first subplate 222: second subplate
510: first spring bolt 520: second spring bolt

Claims (13)

내부에 피처리물의 처리공간이 형성되는 공정챔버와;
상기 공정챔버 내부로 가열광을 통과시킬 수 있는 윈도우;
상기 윈도우를 통해 상기 공정챔버 내부로 가열광을 방사할 수 있는 가열램프; 및
상기 공정챔버 상부에 설치되고, 내부에 상기 상기 윈도우를 수납하는 제1 플레이트와, 내부에 상기 가열램프를 수납하는 제2 플레이트가 상하로 적층되어 형성되며, 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트가 독립적으로 개폐가능하도록 이루어진 다단 도어를; 포함하고,
상기 제2 플레이트는,
상기 가열램프에서 방사되는 가열광을 상기 처리공간으로 반사할 수 있도록, 상기 가열램프가 관통하여 설치되는 제1 서브플레이트,
상기 가열램프를 지지해주고, 상기 제1 서브플레이트와 독립적으로 개폐 가능한 제2 서브플레이트,
상기 제1 서브플레이트와 상기 제2 서브플레이트 중 적어도 어느 하나에 설치되어 온도를 측정할 수 있는 온도센서, 및
상기 온도센서의 측정결과에 따라 상기 다단 도어의 개방을 제한할 수 있는 제어기를 포함하는 기판처리장치.A process chamber in which a processing space of the object to be processed is formed therein;
A window through which heating light can pass into the process chamber;
A heating lamp capable of emitting heating light into the process chamber through the window; And
A first plate installed above the process chamber and accommodating the window therein, and a second plate accommodating the heating lamp therein are stacked up and down, and the first plate and the second plate are A multi-stage door made to be opened and closed independently; Including,
The second plate,
A first subplate through which the heating lamp is installed so that the heating light radiated from the heating lamp can be reflected to the processing space,
A second subplate supporting the heating lamp and capable of opening and closing independently of the first subplate,
A temperature sensor installed on at least one of the first subplate and the second subplate to measure temperature, and
A substrate processing apparatus comprising a controller capable of limiting opening of the multi-stage door according to a measurement result of the temperature sensor. 삭제delete 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 제1 서브플레이트 하부면의 상기 가열램프가 관통하는 부분이 오목하게 형성되는 기판처리장치.The method according to claim 1,
A substrate processing apparatus in which a portion of the lower surface of the first subplate through which the heating lamp passes is formed to be concave. 청구항 1에 있어서,
상기 제1 서브플레이트 하부면에는 반사층이 코팅되는 기판처리장치.The method according to claim 1,
A substrate processing apparatus in which a reflective layer is coated on a lower surface of the first subplate. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 다단 도어에 상기 제1 플레이트, 상기 제1 서브플레이트, 또는 상기 제2 서브플레이트의 개폐여부를 감지하는 감지센서가 구비되는 기판처리장치.The method according to claim 1,
A substrate processing apparatus comprising a detection sensor configured to detect whether the first plate, the first subplate, or the second subplate is opened or closed on the multi-stage door. 청구항 1에 있어서,
상기 공정챔버와 상기 제1 플레이트를 관통하여 상기 공정챔버와 상기 제1 플레이트를 체결하는 제1 스프링볼트, 및 상기 제2 서브플레이트와 상기 제1 서브플레이트를 관통하여, 상기 제1 플레이트에 체결되는 제2 스프링볼트를 포함하는 기판처리장치.The method according to claim 1,
A first spring bolt penetrating through the process chamber and the first plate to fasten the process chamber and the first plate, and through the second subplate and the first subplate, and fastened to the first plate. A substrate processing apparatus including a second spring bolt. 청구항 8에 있어서,
상기 제1 플레이트의 상기 제1 스프링볼트가 관통하는 부분과 상기 제2 서브플레이트의 상기 제2 스프링이 볼트가 관통하는 부분에 턱이 형성되고,
상기 제1 스프링볼트의 헤드와 상기 제1 플레이트의 턱 사이에 탄성력을 가지는 제1 스프링이 구비되며, 상기 제1 스프링볼트의 체결부가 상기 제1 플레이트의 턱에 걸리고,
상기 제2 스프링볼트의 헤드와 상기 제2 서브플레이트의 턱 사이에 탄성력을 가지는 제2 스프링이 구비되며, 상기 제2 스프링볼트의 체결부가 상기 제2 서브플레이트의 턱에 걸리는 기판처리장치.The method of claim 8,
A jaw is formed in a portion of the first plate through which the first spring bolt passes and a portion through which the second spring of the second subplate passes through the bolt,
A first spring having an elastic force is provided between the head of the first spring bolt and the jaw of the first plate, and the fastening portion of the first spring bolt is caught on the jaw of the first plate,
A substrate processing apparatus comprising a second spring having an elastic force between the head of the second spring bolt and the jaw of the second sub-plate, and a fastening portion of the second spring bolt caught on the jaw of the second sub-plate. 청구항 9에 있어서,
상기 제1 서브플레이트와 상기 제2 서브플레이트는 체결볼트로 연결되는 기판처리장치.The method of claim 9,
The first subplate and the second subplate are connected to each other by fastening bolts. 청구항 1에 있어서,
상기 제1 플레이트에 공정가스를 분사하는 분사홀이 형성되는 기판처리장치.The method according to claim 1,
A substrate processing apparatus in which a spray hole for spraying a process gas is formed in the first plate. 청구항 1에 있어서,
상기 다단 도어에 상기 가열램프를 냉각시키는 냉각가스가 유입되는 냉각공간이 형성되는 기판처리장치.The method according to claim 1,
A substrate processing apparatus in which a cooling space through which a cooling gas for cooling the heating lamp is introduced into the multi-stage door is formed. 청구항 1에 있어서,
상기 윈도우는 석영 윈도우를 포함하고, 상기 제1 플레이트는 상기 윈도우와 함께 이동하는 기판처리장치.The method according to claim 1,
The window includes a quartz window, and the first plate moves together with the window.
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