KR20090011382A - Substrate conveyor - Google Patents

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KR20090011382A
KR20090011382A KR1020070074895A KR20070074895A KR20090011382A KR 20090011382 A KR20090011382 A KR 20090011382A KR 1020070074895 A KR1020070074895 A KR 1020070074895A KR 20070074895 A KR20070074895 A KR 20070074895A KR 20090011382 A KR20090011382 A KR 20090011382A
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Abstract

A substrate transport apparatus is provided to improve the production efficiency of the overall substrate by horizontally moving the supporting roller and opening the fork ramp and to reduce the transfer of the substrate. The substrate transport apparatus comprises the conveying unit(20) and the variable roller unit(30). The conveying unit more includes the fork ramp(25) and a plurality of roller parts for the transfer of substrate. The variable roller unit operates in the horizontal direction to the conveying unit and opens the fork ramp. A plurality of roller parts includes the driving part, the axis of rotation, and the transferring roller. The variable roller unit more includes the supporting roller which is arranged in the fork ramp, and the drive unit for operating the supporting roller.

Description

기판이송장치{Substrate conveyor}Substrate conveyor

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치를 나타내는 사시도이다. 1 is a perspective view showing a substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 기판이송장치의 분해사시도이다.2 is an exploded perspective view of the substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 기판이송장치에 포함되는 이송유닛을 나타내는 사시도이고, 3 is a perspective view showing a transfer unit included in the substrate transfer apparatus according to the present invention;

도 4는 본 발명에 따른 기판이송장치에 포함되는 가변롤러유닛을 나타내는 사시도이다.4 is a perspective view showing a variable roller unit included in the substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 5(a),(b)는 본 발명에 따른 기판이송장치의 동작을 나타내는 단면도이다.5 (a) and 5 (b) are sectional views showing the operation of the substrate transfer apparatus according to the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호 설명** Description of symbols on the main parts of the drawings *

10 : 프레임 20 : 이송유닛10 frame 20 transfer unit

21,22 : 지지대 24 : 롤러부21,22: support 24: roller

24a : 회전축 24b : 이송롤러24a: rotating shaft 24b: feed roller

24c : 구동부 25 : 포크진입부24c: drive portion 25: fork entry portion

30 : 가변롤러유닛 31 : 고정프레임30: variable roller unit 31: fixed frame

32 : 보조롤러 33 : 구동장치32: auxiliary roller 33: drive device

본 발명은 기판이송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 액정표시장치에 사용되는 기판을 이송하기 위한 기판이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus for transferring a substrate used in the liquid crystal display device.

최근 들어 정보처리기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보처리속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보처리기기는 정보를 표시하기 위해 디스플레이장치를 가진다. 종래에 사용된 디스플레이장치로는 브라운관(Cathode ray tube)모니터가 사용되어 왔으나, 최근 들어 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판디스플레이의 사용이 급격히 증가되고 있다. 이러한 평판디스플레이는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력소모와 부피가 적고 저전압 구동형인 액정표시장치(Liquid crystal display;LCD)가 널리 사용되고 있다. Recently, information processing devices have been rapidly developed to have various types of functions and faster information processing speeds. Such an information processing apparatus has a display device for displaying information. As a display device used in the related art, a cathode ray tube monitor has been used, but in recent years, with the rapid development of semiconductor technology, the use of a flat panel display which is light and occupies a small space is rapidly increasing. There are various types of such flat panel displays, and among them, a liquid crystal display (LCD) having a low power consumption, a low volume, and a low voltage driving type is widely used.

액정표시장치의 제작을 위해서는 복수의 단위공정이 수행되는데, 이러한 복수의 단위공정을 수행하기 위해서는 각 단위공정간 이송유닛이 구비된 기판이송장치를 통해 기판(Glass substrate)을 이송하게 된다.A plurality of unit processes are performed to fabricate a liquid crystal display, and in order to perform the plurality of unit processes, a glass substrate is transferred through a substrate transfer device having a transfer unit between each unit process.

한편, 기판이송장치에는 이송유닛을 통해 이송되는 기판을 후속 공정이 수행되는 위치로 반송시키기 위한 반송로봇이 마련된다. 이와 같은 반송로봇에는 기판을 지지하여 반송하는 포크가 끝단에 마련되는데, 이때 기판이송장치의 롤러와 롤러사이는 반송로봇의 포크가 진입할 수 있는 공간을 확보하도록 소정거리 이격되어 배치된다.On the other hand, the substrate transport apparatus is provided with a transport robot for transporting the substrate transported through the transport unit to the position where the subsequent process is performed. Such a transport robot is provided with a fork for supporting and transporting the substrate at the end. In this case, the roller and the roller of the substrate transport device are spaced apart a predetermined distance to secure a space for entering the fork of the transport robot.

이와 같은 롤러사이의 간격으로 인하여 기판의 처짐이 발생하고 이러한 기판의 처짐은 기판에 충격을 야기한다. 이를 방지하기 위해서는 롤러사이의 간격을 좁 혀야 하는데 롤러사이의 간격을 좁히는 경우 포크의 진입이 어려워지는 문제가 있다.Such gaps between the rollers cause sagging of the substrate and the sagging of the substrate causes an impact on the substrate. In order to prevent this, the distance between the rollers should be narrowed, but when the gap between the rollers is narrowed, there is a problem that entry of the fork becomes difficult.

따라서 이를 해결하기 위해 롤러사이의 간격을 좁힌 상태에서 별도의 장치를 마련하여 반송로봇의 포크의 삽입이 가능하도록 한다.Accordingly, in order to solve this problem, a separate device is provided in a state in which the distance between the rollers is narrowed to enable insertion of the fork of the transport robot.

즉, 기판이송장치에는 승강프레임과, 이 승강프레임을 승강시키는 승강부를 포함하는 승강유닛이 마련되어 포크의 진입 시 포크가 기판이송장치와 충돌하는 것을 방지한다.That is, the substrate transfer device is provided with a lifting unit including a lifting frame and a lifting unit for lifting the lifting frame to prevent the fork from colliding with the substrate transfer device when the fork enters.

그러나, 종래의 기판이송장치에서는 기판의 반송 시 승강유닛을 승강시키는데 소요되는 시간만큼 기판의 반송이 지연되어 물류상에 있어서 전체의 주원인으로 작용하고 생산성 저하의 원인이 된다.However, in the conventional substrate transfer apparatus, the transfer of the substrate is delayed by the time required for elevating the elevating unit during the conveyance of the substrate, which acts as a main cause of the overall logistics and causes a decrease in productivity.

또한, 이를 방지하기 위해 승강유닛이 승강되는 속도를 높이게 되면 승강유닛과 기판의 접촉 시 충격이 발생되어 기판이 손상되는 원인이 되는 문제점이 있다.In addition, in order to prevent this, increasing the speed at which the lifting unit is lifted has a problem in that an impact occurs when the lifting unit is in contact with the substrate, causing damage to the substrate.

또한 승강유닛의 상하이동으로 인하여 기판이송장치의 두께가 두꺼워지게 되는데, 이와 같이 기판이송장치의 두께가 두꺼워지면 기판이송장치를 수직으로 배치하는 경우 그 배치간격이 좁아져 기판이송장치의 설치 및 유지보수가 어려워 지는 문제점이 있다. In addition, due to the lifting and lowering of the lifting unit, the thickness of the substrate transfer device becomes thick. When the thickness of the substrate transfer device becomes thick, when the substrate transfer device is placed vertically, the intervals between the installation and the substrate transfer device become narrow, the installation and maintenance of the substrate transfer device occurs. There is a problem that becomes difficult to repair.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 기판의 처짐을 방지하며 기판의 이송 및 반송속도를 향상시킬 수 있 는 기판이송장치를 제공하는 데 있다.Accordingly, the present invention is to solve the conventional problems as described above, an object of the present invention to provide a substrate transfer apparatus that can prevent the sag of the substrate and improve the transfer and transfer speed of the substrate.

본 발명의 다른 목적은 두께를 얇게 할 수 있는 기판이송장치를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus capable of reducing the thickness.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 기판이송장치는 기판의 이송을 위한 복수의 롤러부와, 포크의 진입이 가능하도록 포크진입부를 구비한 이송유닛; 상기 이송유닛에 대해 수평방향으로 구동하여 상기 포크진입부를 개폐하는 가변롤러유닛;을 포함한다.In order to achieve the above object, a substrate transfer apparatus according to the present invention comprises: a transfer unit having a plurality of roller portions for transferring the substrate and a fork entry portion to allow entry of the fork; And a variable roller unit for opening and closing the fork entry part by driving in the horizontal direction with respect to the transfer unit.

또한, 상기 복수의 롤러부는 구동부와, 상기 구동부와 결합된 회전축과, 상기 회전축의 회전에 따라 회전하는 이송롤러를 포함하고, 상기 가변롤러유닛은 상기 포크진입부에 이동 가능하게 배치되는 보조롤러와, 상기 보조롤러를 구동시키는 구동장치를 포함한다.The plurality of rollers may include a driving unit, a rotating shaft coupled to the driving unit, and a feeding roller rotating according to the rotation of the rotating shaft, wherein the variable roller unit may include an auxiliary roller disposed to be movable to the fork entry part. And a driving device for driving the auxiliary roller.

또한, 상기 보조롤러의 상단은 상기 회전롤러의 상단보다 소정높이 낮게 배치된다.In addition, the upper end of the auxiliary roller is disposed a predetermined height lower than the upper end of the rotating roller.

또한, 상기 기판의 이송시 상기 보조롤러는 상기 포크진입부에 배치되어 상기 기판의 이송을 원활하게 하고, 상기 포크의 진입시 상기 보조롤러를 구동하여 상기 포크진입부를 개방한다.In addition, when the substrate is transported, the auxiliary roller is disposed in the fork inlet to facilitate the transfer of the substrate, and when the fork enters, the auxiliary roller is driven to open the fork inlet.

그리고, 다른 측면에서 바라본 본 발명은 기판을 이송시키며 포크의 진입이 가능하도록 포크진입부가 형성된 이송유닛; 상기 기판의 이송시 상기 포크진입부상에 배치되어 상기 기판의 이송을 지지하고, 상기 포크의 진입시 상기 포크진입부를 개방하는 가변롤러유닛;을 포함한다.In addition, the present invention as viewed from the other side is a fork entry portion formed to transfer the substrate and the fork entry is possible; And a variable roller unit disposed on the fork inlet to support the transfer of the substrate and opening the fork inlet when the fork enters the substrate.

또한, 상기 가변롤러유닛은 상기 이송유닛에 대해 수평방향으로 이동한다. In addition, the variable roller unit moves in the horizontal direction with respect to the transfer unit.

이하에서는 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention will be described in detail.

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치를 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 기판이송장치의 분해사시도이다. 또한, 도 3은 본 발명에 따른 기판이송장치에 포함되는 이송유닛을 나타내는 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 기판이송장치에 포함되는 가변롤러유닛을 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view showing a substrate transfer apparatus according to the present invention, Figure 2 is an exploded perspective view of the substrate transfer apparatus according to the present invention. 3 is a perspective view showing a transfer unit included in the substrate transfer apparatus according to the present invention, and FIG. 4 is a perspective view showing the variable roller unit included in the substrate transfer apparatus according to the present invention.

본 발명에 따른 기판이송장치는 도1,2에 도시된 바와 같이, 프레임(10)과, 프레임(10)의 상부에 배치되어 기판(A)을 일 방향으로 이송시키며 포크(B)의 진입이 가능하도록 포크진입부(25)가 마련된 이송유닛(20)과, 이송유닛(20)의 하부에 배치되어 포크진입부(25)를 개폐하는 가변롤러유닛(30)을 포함하여 이루어진다.1 and 2, the substrate transfer apparatus according to the present invention is disposed on the frame 10 and the upper portion of the frame 10 to transfer the substrate A in one direction, and the entry of the fork B is performed. It comprises a transfer unit 20 is provided with a fork entry portion 25, and a variable roller unit 30 is disposed in the lower portion of the transfer unit 20 to open and close the fork entry portion 25.

이송유닛(20)은 도 3에 도시된 바와 같이 프레임(10)의 상면 양측에 각각 마련되는 한쌍의 지지대(21,22)와, 한쌍의 지지대(21,22) 사이에 마련되어 기판(A)을 이송시키는 복수의 롤러부(24)를 포함한다.As shown in FIG. 3, the transfer unit 20 is provided between the pair of supports 21 and 22 provided on both sides of the upper surface of the frame 10 and the pair of supports 21 and 22 to form the substrate A. It comprises a plurality of rollers 24 for conveying.

지지대(21,22)는 그 일측에 복수의 롤러부(24)의 회전축을 회전시키기 위한 구동부(24c)가 마련되며, 지지대(21)의 타측은 후술할 반송로봇의 포크(B)가 삽입 가능하도록 포크(B)에 대응하여 포크삽입구(21a)가 형성된다.The support (21, 22) is provided with a drive unit (24c) for rotating the rotating shaft of the plurality of rollers 24 on one side thereof, the other side of the support 21 can be inserted into the fork (B) of the transport robot to be described later The fork insertion hole 21a is formed corresponding to the fork B so that it may become.

한쌍의 지지대(21,22)사이에는 회전축(24a)의 처짐을 방지하기 위한 보조지지부(23)가 마련된다.An auxiliary support 23 is provided between the pair of supports 21 and 22 to prevent sagging of the rotation shaft 24a.

롤러부(24)는 복수로 마련되는데, 각 롤러부(24)는 복수의 회전축(24a)과, 각 회전축(24a) 상에 설치되어 구동부(24c)에 의한 회전축(24a)의 회전과 함께 회전하는 이송롤러(24b)를 포함한다. The roller part 24 is provided in plurality, and each roller part 24 is provided on the some rotation shaft 24a and each rotation shaft 24a, and rotates with rotation of the rotation shaft 24a by the drive part 24c. It includes a feed roller 24b.

이와 같은 복수의 롤러부(24)는 회전축(24a)을 회전시키는 구동부(24c)를 더 포함하는데, 구동부(24c)는 복수의 회전축(24a) 각각에 연결되어 복수의 회전축(24a)을 회전시킬 수 있는 복수의 구동모터로 이루어질 수 있으며, 복수의 회전축(24a)을 기어나 풀리 등의 동력전달부재로 연결시킴으로써 단일의 구동모터를 이용하여 복수의 회전축(24a)을 회전시킬 수 있음은 물론이다.The plurality of roller parts 24 further include a driving part 24c for rotating the rotating shaft 24a. The driving part 24c is connected to each of the plurality of rotating shafts 24a to rotate the plurality of rotating shafts 24a. It may be composed of a plurality of drive motors, by connecting a plurality of rotary shafts (24a) to the power transmission member, such as gears or pulleys can be rotated using a single drive motor a plurality of rotary shafts (24a), of course. .

본 발명의 일 실시예에서는 구동부(24c)는 마그넷 드라이브와 같은 비접촉 구동전달장치로 이루어지고, 회전축(24a)은 비접촉 구동전달장치와 연결되어 회전함으로써 이송롤러(24b)를 회전시키게 된다. 이러한 비접촉 구동전달장치는 본 발명의 기술분야에 속하는 당업자에게 자명한 구성으로 그 설명은 생략하도록 한다. In one embodiment of the present invention, the drive unit 24c is made of a non-contact drive transmission device such as a magnet drive, the rotating shaft 24a is connected to the non-contact drive transmission device to rotate the feed roller 24b. Such a non-contact drive transmission device is obvious to those skilled in the art of the present invention, the description thereof will be omitted.

각각의 롤러부(24)에 포함되는 복수의 회전축(24a)은 한쌍의 지지대(21,22)사이에 회전 가능하게 결합되는데, 각각의 롤러부(24)사이에는 이송유닛(20)에 의해 이송되는 기판(A)을 후속 공정이 수행되는 위치로 반송시키는 반송로봇(미도시)의 포크(B)가 진입 가능한 공간을 형성하도록 소정거리 이격된 포크진입부(25)가 마련된다.A plurality of rotation shafts 24a included in each roller portion 24 are rotatably coupled between a pair of supports 21 and 22, and are transported by a transfer unit 20 between each roller portion 24. A fork inlet 25 spaced a predetermined distance is provided to form a space into which a fork B of a transport robot (not shown) for transporting the substrate A to a position where a subsequent process is performed.

포크진입부(25)는 타측 지지대(21)에 형성된 포크삽입구(21a)와 대응하는 위치에 형성되어, 포크(B)가 포크삽입구(21a)를 통하여 포크진입부(25)로 진입 가능하게 배치된다. The fork inlet 25 is formed at a position corresponding to the fork inlet 21a formed in the other side support 21, and the fork B is disposed to enter the fork inlet 25 through the fork inlet 21a. do.

이와 같이 형성된 포크진입부(25)로 인하여 각 롤러부(24)사이에 공간이 형성되는데, 기판(A)이 이송 중 이러한 공간을 통과하게 되면 기판(A)의 자중으로 인한 처짐이 발생하고, 이로 인하여 기판(A)에 충격이 가해질 우려가 높아진다.A space is formed between the rollers 24 due to the fork inlet 25 formed as described above. When the substrate A passes through the space during transportation, sagging due to the weight of the substrate A occurs. For this reason, the possibility that an impact is applied to the board | substrate A becomes high.

기판(A)의 처짐을 방지하기 위해 본 발명에서는 도 1과 같이 포크진입부(25)상에 가변롤러유닛(30)을 배치하는데, 이와 같은 가변롤러유닛(30)의 보조롤러(32)가 포크진입부(25)상에 배치되기 때문에 포크(B)의 진입을 방해하게 되는 문제점이 있다.In order to prevent sagging of the substrate A, in the present invention, the variable roller unit 30 is disposed on the fork entry portion 25 as shown in FIG. 1, and the auxiliary roller 32 of the variable roller unit 30 is Since the fork entry portion 25 is disposed there is a problem that obstructs the entry of the fork (B).

따라서 본 발명에 따른 기판이송장치에 포함되는 가변롤러유닛(30)은 포크(B)의 진입시 포크(B)의 진입공간을 확보하기 위해 보조롤러(32)를 구동할 수 있도록 구성된다.Therefore, the variable roller unit 30 included in the substrate transfer apparatus according to the present invention is configured to drive the auxiliary roller 32 to secure the entry space of the fork B when the fork B enters.

가변롤러유닛(30)은 도 4에 도시된 바와 같이 고정프레임(31)과, 고정프레임(31)에 고정 설치되며 롤러부(24)의 사이에 배치되는 보조롤러(32)와, 고정프레임(31)을 이동시켜 보조롤러(32)를 진퇴시키는 구동장치(33)와, 고정프레임(31) 하면에 마련되어 고정프레임(31)의 이동을 가이드하는 가이드(34)와, 가변롤러유닛(30)을 프레임(10)에 안착시키기 위한 베이스(35)를 포함하여 이루어진다. As shown in FIG. 4, the variable roller unit 30 is fixed to the fixed frame 31, the auxiliary roller 32 fixedly installed on the fixed frame 31, and disposed between the roller units 24, and the fixed frame ( 31, a drive device 33 for advancing and retreating the auxiliary roller 32, a guide 34 provided on the lower surface of the fixed frame 31 to guide the movement of the fixed frame 31, and the variable roller unit 30. It comprises a base 35 for seating on the frame 10.

고정프레임(31)은 복수의 종방향바(31a)와 복수의 횡방향바(31b)로 이루어지며, 복수의 횡방향바(31b) 각각은 포크진입부(25)에 위치할 수 있도록 포크진입부(25)의 간격과 대응되는 간격으로 형성된다.The fixed frame 31 is composed of a plurality of longitudinal bars 31a and a plurality of transverse bars 31b, and each of the plurality of transverse bars 31b is positioned at the fork entry part 25. It is formed at an interval corresponding to the interval of the portion 25.

보조롤러(32)는 횡방향바(31b) 각각에 마련되어 롤러부(24)사이에 각각 배치되는데, 기판(A)의 이송시 기판(A)이 처지는 것을 방지하고, 이송롤러(24b)에 의한 기판(A)의 이송을 원활하게 할 수 있도록 이송롤러(24b)의 방향과 동일한 방향으로 배치된다.The auxiliary rollers 32 are provided on each of the horizontal bars 31b and disposed between the rollers 24, respectively, to prevent the substrate A from sagging during the transfer of the substrate A, and by the feed roller 24b. It arrange | positions in the same direction as the direction of the feed roller 24b so that the transfer of the board | substrate A may be made smooth.

이때 보조롤러(32)의 상단은 기판(A)의 처짐을 고려하여 롤러부(24)의 이송롤러(24b)의 상단보다 소정높이(대략 1mm 내지 3mm)정도 낮게 형성하여 기판(A)의 하부에 흠이 발생하지 아니하도록 한다.At this time, the upper end of the auxiliary roller 32 is formed to a predetermined height (about 1mm to 3mm) lower than the upper end of the feed roller 24b of the roller portion 24 in consideration of the deflection of the substrate (A) to lower the substrate (A) Do not let the flaw occur.

구동장치(33)는 횡방향바(31b)를 진퇴시킴으로써 이송롤러(24b)가 포크진입부(25)를 개방하거나 폐쇄하도록 한다. 이때의 구동장치(33)는 에어실린더 또는 유압실린더 일 수 있으며, 직선왕복운동을 가능하게 하는 다양한 구동장치가 사용될 수 있다. 이러한 구동장치의 구조는 공지된 것으로 그 구체적 설명은 생략하도록 한다.The drive device 33 causes the feed roller 24b to open or close the fork entry part 25 by advancing and retracting the lateral bar 31b. In this case, the driving device 33 may be an air cylinder or a hydraulic cylinder, and various driving devices for enabling a linear reciprocating motion may be used. The structure of such a driving device is well known and its detailed description will be omitted.

또한 구동부(24c)의 구동으로 인하여 고정프레임(31)과 일체로 이송롤러(24b)가 이송유닛(20)에 대해 이동하게 되는데, 이때 이송롤러(24b)가 이송유닛(20)에 대해 경사지게 이동될 수도 있으나, 바람직하게는 이송롤러(24b)가 이송유닛(20)이 형성하는 면에 대해 수평하게 이동될 수 있도록 한다. 이와 같이 수평이동 즉, 횡방향 이동하도록 함으로써 기판이송장치의 두께를 최소화할 수 있게 된다. In addition, due to the driving of the drive unit 24c, the feed roller 24b moves integrally with the fixed frame 31 with respect to the transfer unit 20, in which the feed roller 24b moves inclined with respect to the transfer unit 20. It may be, but preferably the feed roller 24b to be moved horizontally with respect to the surface formed by the transfer unit (20). As such, the thickness of the substrate transfer apparatus can be minimized by horizontal movement, that is, horizontal movement.

이때 수평이동은 완전한 수평상태의 이동이 아니라 대략 수평을 이룰 정도로 소정각도 경사지게 이동하는 경우도 포함한다. At this time, the horizontal movement is not a movement of the complete horizontal state, but also includes a case in which the predetermined angle is moved to be approximately horizontal.

이하 도5를 참조하여 본 발명에 따른 기판이송장치의 동작과 작용효과를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to Figure 5 will be described the operation and effect of the substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 5a,5b는 본 발명에 따른 기판이송장치의 동작을 나타내는 단면도이다.5A and 5B are cross-sectional views showing the operation of the substrate transfer apparatus according to the present invention.

본 발명에 따른 기판이송장치에서 기판을 후속 공정이 수행되는 위치로 이송하기 위해서는 도 5a에 도시된 바와 같이 가장 먼저 이송유닛(20)을 통해 이송되는 기판(A)을 반송로봇(미도시)이 설치된 이송유닛(20)의 위치로 이송한다. In order to transfer the substrate to a position where a subsequent process is performed in the substrate transfer apparatus according to the present invention, as shown in FIG. 5A, a transfer robot (not shown) first transfers the substrate A transferred through the transfer unit 20. Transfer to the position of the transfer unit 20 is installed.

상기와 같이 기판(A)이 반송로봇(미도시)이 설치된 이송유닛(20)의 위치로 이송하는 과정은 구동부(24c)가 구동하여 이 구동부(24c)와 연결된 회전축(24a)이 회전하고, 이 회전축(24a)이 회전함에 따라 이송롤러(24b)가 회전하여 이송롤러(24b)의 상면에 접촉되는 기판(A)이 일방향으로 이송되고, 이때 보조롤러(32)는 포크진입부(25)에 마련되어 이송되는 기판(A)을 지지한다.As described above, in the process of transferring the substrate A to the position of the transfer unit 20 in which the transfer robot (not shown) is installed, the driving unit 24c is driven to rotate the rotary shaft 24a connected to the driving unit 24c, As the rotary shaft 24a rotates, the feed roller 24b is rotated so that the substrate A, which is in contact with the upper surface of the feed roller 24b, is transferred in one direction, and the auxiliary roller 32 is the fork inlet 25. The substrate A provided to the substrate is supported.

이 후 도 5b에 도시된 바와 같이 기판(A)의 이송이 완료되면 가변롤러유닛(30)의 구동장치(33)를 작동시켜 고정프레임(31)을 수평방향으로 밀어 주게 된다. 이와 같이 수평방향으로 밀린 횡방향바(31b)에 고정된 보조롤러(32)는 고정프레임(31)과 일체로 수평방향으로 이동하여 롤러부(24)와 인접하게 된다. 따라서 포크진입부(25)가 개방되게 된다.Thereafter, as shown in FIG. 5B, when the transfer of the substrate A is completed, the driving device 33 of the variable roller unit 30 is operated to push the fixed frame 31 in the horizontal direction. As such, the auxiliary roller 32 fixed to the horizontal bar 31b pushed in the horizontal direction moves in a horizontal direction integrally with the fixing frame 31 to be adjacent to the roller part 24. Therefore, the fork entry portion 25 is opened.

이와 같이 포크진입부(25)가 개방되면 포크(B)가 진입하여 기판(A)의 하면을 지지하여 후속 공정이 수행되는 위치로 기판(A)을 반송하게 된다.As such, when the fork entry part 25 is opened, the fork B enters and supports the lower surface of the substrate A to convey the substrate A to a position where a subsequent process is performed.

따라서 기판(A)의 이송시 보조롤러(32)는 포크진입부(25)에 위치하도록 하여 롤러부(24)사이의 이격공간에 의한 기판(A)의 처짐을 방지할 수 있으며, 기판(A)의 반송시 포크(B)가 포크진입부(25)에 진입하여야 하는 경우 구동장치(33)가 고정프레임(31)을 밀어줌으로써 고정프레임(31)에 고정 설치된 보조롤러(32) 역시 이동하 게 되어 포크진입부(25)를 개방하게 되어 기판(A)을 반송시키는데 소요되는 시간이 단축시킬 수 있으므로 전반적인 기판의 생산효율을 증대시킬 수 있다. 이때 보조롤러(32)의 상단은 이송롤러(24b)의 상단에 비해 소정높이 낮게 설치되기 때문에 보조롤러(32)가 수평 이동하여 포크진입부(25)를 개방하는 경우에도 기판(A)의 하부에 흠이 발생하는 것을 방지할 수 있다.Therefore, when the substrate A is transferred, the auxiliary roller 32 may be positioned at the fork entry part 25 to prevent sagging of the substrate A due to the spaced space between the roller parts 24. When the fork (B) should enter the fork entry portion 25 at the time of conveyance of the drive), the driving device 33 pushes the fixing frame 31 so that the auxiliary roller 32 fixedly fixed to the fixing frame 31 is also moved. Since the fork entry portion 25 is opened, the time required for transporting the substrate A can be shortened, so that the overall substrate production efficiency can be increased. At this time, since the upper end of the auxiliary roller 32 is lower than the upper end of the feed roller 24b by a predetermined height, even when the auxiliary roller 32 moves horizontally to open the fork entrance 25, the lower portion of the substrate A The flaw can be prevented from occurring.

또한 보조롤러(32)가 수평으로 이동하여 포크진입부(25)를 개폐하기 때문에 종래기술에 비해 기판이송장치의 두께를 얇게 할 수 있어 공간 활용성을 향상시킬 수 있다.In addition, since the auxiliary roller 32 moves horizontally to open and close the fork entrance 25, the thickness of the substrate transfer device can be reduced compared to the prior art, thereby improving space utilization.

상기의 설명에서와 같이, 본 발명에 의한 기판이송장치는 보조롤러를 수평 이동시켜 포크진입부를 개방하기 때문에 기판을 반송시키는데 소요되는 시간이 단축시킬 수 있으므로 전반적인 기판의 생산효율을 증대시킬 수 있으며 기판이송장치를 컴팩트하게 구성할 수 있는 효과가 있다.As described above, the substrate transfer apparatus according to the present invention can increase the production efficiency of the overall substrate because the time required to transport the substrate can be shortened because the fork entrance is opened by moving the auxiliary roller horizontally. There is an effect that can be configured in a compact conveying device.

상기에서 설명한 것은 본 발명에 의한 기판이송장치를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다.What has been described above is only one embodiment for implementing the substrate transfer apparatus according to the present invention, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and having ordinary knowledge in the art within the technical spirit of the present invention Of course, various modifications are possible by the user.

Claims (6)

기판의 이송을 위한 복수의 롤러부와, 포크의 진입이 가능하도록 포크진입부를 구비한 이송유닛;A transfer unit having a plurality of roller portions for transferring the substrate and a fork entry portion to allow entry of the fork; 상기 이송유닛에 대해 수평방향으로 구동하여 상기 포크진입부를 개폐하는 가변롤러유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.And a variable roller unit which opens and closes the fork entry part by driving in the horizontal direction with respect to the transfer unit. 제 1항에 있어서, 상기 복수의 롤러부는 구동부와, 상기 구동부와 결합된 회전축과, 상기 회전축의 회전에 따라 회전하는 이송롤러를 포함하고,According to claim 1, wherein the plurality of rollers comprises a drive unit, a rotating shaft coupled with the drive unit, a feed roller that rotates in accordance with the rotation of the rotating shaft, 상기 가변롤러유닛은 상기 포크진입부에 이동 가능하게 배치되는 보조롤러와, 상기 보조롤러를 구동시키는 구동장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.The variable roller unit includes a sub-roller disposed to be movable in the fork entry portion, and a driving device for driving the sub-roller. 제 2항에 있어서, 상기 보조롤러의 상단은 상기 회전롤러의 상단보다 소정높이 낮게 배치되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치. 3. The substrate transport apparatus of claim 2, wherein an upper end of the auxiliary roller is disposed at a predetermined height lower than an upper end of the rotating roller. 제 2항에 있어서, 상기 기판의 이송시 상기 보조롤러는 상기 포크진입부에 배치되어 상기 기판의 이송을 원활하게 하고, 상기 포크의 진입시 상기 보조롤러를 구동하여 상기 포크진입부를 개방하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치. The method of claim 2, wherein the auxiliary rollers are disposed in the fork inlet to facilitate the transfer of the substrate, and the fork inlet is opened by driving the auxiliary rollers when the fork enters. Substrate transfer device. 기판을 이송시키며 포크의 진입이 가능하도록 포크진입부가 형성된 이송유닛;A transfer unit having a fork entry portion to transfer the substrate and allow entry of the fork; 상기 기판의 이송시 상기 포크진입부상에 배치되어 상기 기판의 이송을 지지하고, 상기 포크의 진입시 상기 포크진입부를 개방하는 가변롤러유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치. And a variable roller unit disposed on the fork inlet to support the transfer of the substrate and opening the fork inlet when the fork enters the substrate. 제 5항에 있어서, 상기 가변롤러유닛은 상기 이송유닛에 대해 수평방향으로이동하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치. 6. The substrate transfer apparatus of claim 5, wherein the variable roller unit moves in a horizontal direction with respect to the transfer unit.
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