KR101324717B1 - 스크러빙 기능을 구비하는 흄 후드 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 스크러빙 기능을 구비하는 흄 후드 장치에 관한 것으로서, 장치의 외관을 형성하는 장치본체; 상기 장치본체의 일부 영역에 구획 배치되며, 내부에 배플이 설치되어 유해가스가 유입되는 후드부; 및 상기 후드부의 후방에 배치되어 상기 후드부에서 전달되는 유해가스를 스크러빙(scrubbing)하는 스크러빙부를 포함한다.

Description

스크러빙 기능을 구비하는 흄 후드 장치{hume hood apparatus having scrubbing function}
본 발명은, 스크러빙 기능을 구비하는 흄 후드 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 스크러빙(scrubbing) 기능이 내장됨에 따라 종전처럼 별도의 스크러버를 설치하여 운용할 필요가 없어 설치공간을 감소시킬 수 있음은 물론 유해가스의 처리시간을 대폭 줄일 수 있으며, 설치비와 운용비를 종래보다 현저하게 감소시킬 수 있는 스크러빙 기능을 구비하는 흄 후드 장치에 관한 것이다.
스크러버(Scrubber)는 예컨대, 반도체 공정의 클린룸이나 실험실 등에서 발생되는 유해가스를 처리하는 역할을 한다.
이러한 스크러버는 흄 후드(hume hood) 및 덕트(duct)와 연계되어 하나의 유기적인 시스템으로 활용된다.
즉 반도체 공정의 클린룸이나 실험실 등에서 발생되는 유해가스는 독립적으로 배치되는 흄 후드를 통해 유입되며, 흄 후드 내의 유해가스는 별도로 연결 설치되는 덕트를 통해 스크러버로 이송되어 스크러버에서 스크러빙(scrubbing), 즉 정화 처리된 다음에 송풍장치를 통해 배기되는 시스템을 구현한다.
그런데, 이러한 종래 구조의 경우, 흄 후드와 스크러버가 분리되어 덕트로 연결되는 구조를 가지기 때문에 이들을 설치하기 위해서는 넓은 설치공간이 필요함은 물론 유해가스의 처리시간이 지연되는 문제점이 있다.
뿐만 아니라 흄 후드와 스크러버가 분리되고 덕트로 연결되어 운용되는 형태를 가지기 때문에 흄 후드 1대당 스크러버 1대가 반드시 필요하여 장비의 가격이 2배로 소요됨은 물론 관리비와 운용비가 증가되는 문제점이 있다.
대한민국특허청 출원번호 제10-2010-0084455호
본 발명의 목적은, 스크러빙(scrubbing) 기능이 내장됨에 따라 종전처럼 별도의 스크러버를 설치하여 운용할 필요가 없어 설치공간을 감소시킬 수 있음은 물론 유해가스의 처리시간을 대폭 줄일 수 있으며, 설치비와 운용비를 종래보다 현저하게 감소시킬 수 있는 스크러빙 기능을 구비하는 흄 후드 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적은, 장치의 외관을 형성하는 장치본체; 상기 장치본체의 일부 영역에 구획 배치되며, 내부에 배플이 설치되어 유해가스가 유입되는 후드부; 및 상기 후드부의 후방에 배치되어 상기 후드부에서 전달되는 유해가스를 스크러빙(scrubbing)하는 스크러빙부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크러빙 기능을 구비하는 흄 후드 장치에 의해 달성된다.
상기 후드부와 상기 스크러빙부 사이에 배치되며, 상기 배플에 형성되는 타공구멍들 또는 상기 배플의 하부 영역을 통하여 상승되는 유해가스를 상기 스크러빙부로 가이드하는 가이드 유로를 더 포함할 수 있다.
상기 배플은 해당 위치에서 착탈 가능하게 결합되는 착탈식 배플일 수 있다.
상기 후드부와 상기 스크러빙부 사이에는 구획판이 설치되며, 상기 구획판에는 도어가 설치될 수 있다.
상기 스크러빙부는, 상기 장치본체 내의 일측에 마련되며, 내부에 물이 충전되는 물탱크; 상기 물탱크와 연결되어 상부로 유동되는 상기 유해가스를 향해 물을 분사하는 다수의 스프레이 노즐; 상기 스프레이 노즐의 상부에 배치되며, 상기 스프레이 노즐에 의해 분사되는 물에 의해 상변화된 증기 속의 수분을 제거하는 데미스터(demister); 및 상기 스프레이 노즐의 하부에 배치되며, 상기 스프레이 노즐로부터 분사되는 물에 의해 흡착된 흡착물질을 수집하는 다수의 폴링(polling)을 구비하는 수집실을 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 스크러빙(scrubbing) 기능이 내장됨에 따라 종전처럼 별도의 스크러버를 설치하여 운용할 필요가 없어 설치공간을 감소시킬 수 있음은 물론 유해가스의 처리시간을 대폭 줄일 수 있으며, 설치비와 운용비를 종래보다 현저하게 감소시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크러빙 기능을 구비하는 흄 후드 장치의 정면 외관도,
도 2는 도 1의 평면도,
도 3은 도 1의 부분적인 내부 구조도,
도 4는 도 4의 측면 구조도,
도 5는 도 4의 A-A선에 따른 단면도이다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크러빙 기능을 구비하는 흄 후드 장치의 정면 외관도, 도 2는 도 1의 평면도, 도 3은 도 1의 부분적인 내부 구조도, 도 4는 도 4의 측면 구조도, 그리고 도 5는 도 4의 A-A선에 따른 단면도이다.
이들 도면을 참조하면, 본 실시예의 스크러빙 기능을 구비하는 흄 후드 장치는 장치본체(100)와, 장치본체(100)의 내부에 배치되는 후드부(110) 및 스크러빙부(120)를 포함한다.
이처럼 본 실시예의 흄 후드 장치는 종전과 달리 장치본체(100) 내에 후드부(110) 및 스크러빙부(120)가 일체로 마련되는 구조를 가지기 때문에, 즉 스크러빙(scrubbing) 기능이 내장됨에 따라 종전처럼 별도의 스크러버(미도시)를 설치하여 운용할 필요가 없어 설치공간을 감소시킬 수 있음은 물론 유해가스의 처리시간을 대폭 줄일 수 있으며, 설치비와 운용비를 종래보다 현저하게 감소시킬 수 있다.
우선, 장치본체(100)는 장치의 외관을 이룬다. 장치본체(100)의 하부에는 푸트부재(101,102)가 마련된다.
푸트부재(101,102)들 중에서 하나는 구름 이동용 휠(101)이고 다른 하나는 스토퍼(102)일 수 있다. 스토퍼(102)에는 높이 조절 기능이 부가될 수 있다.
장치본체(100)의 내부 중앙 영역에는 배플(baffle, 103)이 배치된다. 도시하지는 않았으나 배플(103)에는 다수의 타공구멍들이 형성된다.
본 실시예에서 배플(103)은 착탈식 배플(103)로 마련된다. 이는 장치본체(100)의 뒤편에 배치되는 스크러빙부(120)에 폴링(polling, 128)을 채워 넣기 위해 구획판(104)의 도어(104a)가 개방될 때, 작업을 용이하게 하기 위한 것이다. 즉 도어(104a)의 볼트(B)를 풀고 폴링(128)을 넣을 수 있는데, 이때 작업이 용이해질 수 있도록 배플(103)을 분리시켜 작업할 수 있다.
도 3을 참조하면, 장치본체(100)에는 관찰창(105)과 제어반(106)이 마련된다. 관찰창(105)을 통해 내부의 상황을 관찰할 수 있는 이점이 있다. 관찰창(105)은 스크러빙부(120) 쪽에 배치될 수 있다.
장치본체(100)의 상부에는 스크러빙이 완료된 즉, 정화 처리가 완료된 처리가스가 배출되는 배출부(107)가 형성된다. 배출부(107)에는 배출부(107)를 개폐하는 댐퍼(108)가 마련될 수 있다.
다음으로, 후드부(110)는 후드부(110)는 반도체 공정의 클린룸이나 실험실 등에서 발생되는 유해가스가 유입되는 장소를 이루는 것으로, 장치본체(100) 내 일부 영역에 배치되며, 배플(103)이 설치된다. 배플(103)에는 다수의 타공구멍이 형성되어 유해가스가 유입될 수 있게 된다.
장치본체(100)의 외부에 배치되는 블로워가 동작됨에 따라 반도체 공정의 클린룸이나 실험실 등에서 발생되는 유해가스가 후드부(110)를 통해 빨려 들어가면서 유입될 수 있다.
마지막으로, 스크러빙부(120)는 장치본체(100) 내에서 후드부(110)의 후방에 배치되며, 후드부(110)에서 전달되는 유해가스를 스크러빙(scrubbing)하는, 즉 정화 처리하는 역할을 한다.
종전과 달리, 본 실시예에서 스크러빙부(120)는 장치본체(100) 내의 후방 공간에 일체로 갖춰진다. 본 실시예에서 있어서, 도 2에 도시된 바와 같이 장치본체(100)의 후방 공간은 스크러빙부(120)와 가이드 유로(130)로 구분되어 사용된다. 즉 후드부(110)로부터 흡입된 유해가스는 도 2에 도시된 화살표와 같이 먼저 가이드 유로(130)로 유입된다. 가이드 유로(130)로 유입된 유해가스는 하방으로 안내되어 스크러빙부(120)로 전달된 후 스크러빙되어 배출부(107)를 통하여 배출되는 구조를 취하게 된다.
각 부를 구체적으로 설명하면, 먼저 스크러빙부(120)는 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 물탱크(123), 스프레이 노즐(125), 데미스터(demister, 126), 그리고 폴링(polling, 128)을 구비하는 수집실(127)을 포함한다.
물탱크(123)는 장치본체(100) 내의 하부 영역에 배치된다. 내부에는 물이 충전된다. 물탱크(123) 내의 물은 파이프(P)를 통해 스프레이 노즐(125)로 향한다.
하부에 배치되는 물탱크(123) 내의 물이 상부에 배치되는 스프레이 노즐(125)로 향할 수 있도록 펌프(124)가 갖춰진다.
스프레이 노즐(125)은 물탱크(123)와 연결되어 상부로 유동되는 상기 유해가스를 향해 물을 분사하는 역할을 한다. 파이프(P) 상에 스프레이 노즐(125)은 다수 개가 배치되어 하방을 향해 물을 분사할 수 있다.
스프레이 노즐(125)의 하부 영역에는 수집실(127)이 마련된다. 수집실(127) 내에는 스프레이 노즐(125)로부터 분사되는 물에 의해 흡착된 흡착물질을 수집하는 다수의 폴링(128)이 갖춰진다.
그리고 스프레이 노즐(125)의 상부에는 스프레이 노즐(125)에 의해 분사되는 물에 의해 상변화된 증기 속의 수분을 제거하는 데미스터(demister, 126)가 마련된다.
데미스터(126)는 그물코(網目)를 여러 겹 포갠 것과 같은 구조를 갖는데, 이러한 구조의 데미스터(126)를 통과하는 증기 속의 수분이 제거될 수 있다.
가이드 유로(130)는 스크러빙부(120)로 후드부(110) 측의 유해가스가 잘 전달되도록 하기 위해 구비되는 것으로서, 가이드 유로(130)는 후드부(110)와 스크러빙부(120) 사이에 배치되며, 도 4처럼 배플(103)에 형성되는 타공구멍들 또는 배플(103)의 하부 영역을 통하여 상승되는 유해가스를 스크러빙부(120)로 가이드하는 역할을 한다. 즉 가이드 유로(130)는 후드부(110)로부터 유입되는 유해가스를 하방으로 가이드하여, 하방에서 인접하여 형성된 스크러빙부(120)로 전달하는 역할을 수행하게 된다.
따라서, 유해가스는 장치본체(100)의 외부에 배치되는 블로워의 동작에 의해 후드부(110)로 유입된 후에 배플(103)을 거쳐 가이드 유로(130)에 의해 가이드된 다음 스크러빙부(120)로 전달되어 스크러빙되는 플로를 형성할 수 있다. 스크러빙 완료된 처리가스는 배출부(107)를 통해 배출된다.
이러한 구성을 갖는 스크러빙 기능을 구비하는 흄 후드 장치의 작용에 대해 살펴본다.
반도체 공정의 클린룸이나 실험실 등에서 발생되는 유해가스는 장치본체(100)의 외부에 배치되는 블로워의 동작에 의해 후드부(110)로 빨려 들어오면서 유입된다.
이처럼 후드부(110)로 유입되는 유해가스는 후드부(110)와 스크러빙부(120) 사이에 배치되는 가이드 유로(130)를 통해 하방으로 안내되어 스크러빙부(120)로 전달된다. 즉 후드부(110)로 유입되는 유해가스는 배플(103)에 형성되는 타공구멍들 또는 배플(103)의 하부 영역을 통하여 상승된 후에 가이드 유로(130)를 통해 하방으로 가이드된 후 스크러빙부(120)로 전달된다.
스크러빙부(120)로 전달되는 유해가스는 블로어의 흡입력에 의하여 상부로 향하게 되는데, 이때 스크러빙부(120)의 스프레이 노즐(125)들이 유해가스를 향해 물을 분사한다.
스프레이 노즐(125)들을 통한 물의 분사로 인해 흡착된 흡착물질은 수집실(127) 내의 폴링(128)에 수집되고, 증기는 데미스터(126)로 향하여 그 속의 수분이 제거된다.
이와 같은 작용으로 유해가스의 처리가 완료된 처리가스는 장치본체(100)의 상부 영역에 마련되는 배출부(107)를 통해 배출될 수 있다.
이와 같은 구조와 작용을 갖는 본 실시예에 따르면, 스크러빙(scrubbing) 기능이 내장됨에 따라 종전처럼 별도의 스크러버(미도시)를 설치하여 운용할 필요가 없다.
때문에 그 설치공간을 감소시킬 수 있음은 물론 유해가스의 처리시간을 대폭 줄일 수 있으며, 설치비와 운용비를 종래보다 현저하게 감소시킬 수 있게 된다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100 : 장치본체 101,102 : 푸트부재
103 : 배플 104 : 도어
105 : 관찰창 106 : 제어반
107 : 배출부 108 : 댐퍼
110 : 후드부 120 : 스크러빙부
123 : 물탱크 125 : 스프레이 노즐
126 : 데미스터 127 : 수집실
128 : 폴링 130 : 가이드 유로

Claims (5)

  1. 장치의 외관을 형성하는 장치본체;
    상기 장치본체의 일부 영역에 구획 배치되며, 내부에 배플이 설치되어 유해가스가 유입되는 후드부;
    상기 후드부의 후방에 배치되어 상기 후드부에서 전달되는 유해가스를 스크러빙(scrubbing)하는 스크러빙부; 및
    상기 후드부와 상기 스크러빙부 사이에 배치되며, 상기 배플에 형성되는 타공구멍들 또는 상기 배플의 하부 영역을 통하여 상승되는 유해가스를 상기 스크러빙부로 가이드하는 가이드 유로를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크러빙 기능을 구비하는 흄 후드 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 배플은 해당 위치에서 착탈 가능하게 결합되는 착탈식 배플인 것을 특징으로 하는 스크러빙 기능을 구비하는 흄 후드 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 후드부와 상기 스크러빙부 사이에는 구획판이 설치되며, 상기 구획판에는 도어가 설치되는 것을 특징으로 하는 스크러빙 기능을 구비하는 흄 후드 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 스크러빙부는,
    상기 장치본체 내의 일측에 마련되며, 내부에 물이 충전되는 물탱크;
    상기 물탱크와 연결되어 상부로 유동되는 상기 유해가스를 향해 물을 분사하는 다수의 스프레이 노즐;
    상기 스프레이 노즐의 상부에 배치되며, 상기 스프레이 노즐에 의해 분사되는 물에 의해 상변화된 증기 속의 수분을 제거하는 데미스터(demister); 및
    상기 스프레이 노즐의 하부에 배치되며, 상기 스프레이 노즐로부터 분사되는 물에 의해 흡착된 흡착물질을 수집하는 다수의 폴링(polling)을 구비하는 수집실을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크러빙 기능을 구비하는 흄 후드 장치.
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