KR101322326B1

KR101322326B1 - Vibration isolation apparatus for table

Info

Publication number: KR101322326B1
Application number: KR1020110116831A
Authority: KR
Inventors: 조양근; 양명
Original assignee: 주식회사 고려에프앤디
Priority date: 2011-11-10
Filing date: 2011-11-10
Publication date: 2013-10-28
Also published as: KR20130051600A

Abstract

본 발명은 제진장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 사용자가 원하는 장소에 올려놓고 용이하게 사용할 수 있도록 한 탁상용 제진장치에 관한 것이다.
그 구성은, 상부 플레이트; 상기 플레이트 하부에 배치되는 복수(複數)의 에어스프링; 및 상기 각 에어스프링과 연결되고, 상기 플레이트의 기울기에 따라 상기 각 에어스프링에 공급되는 압축공기를 조절하여 상기 플레이트의 수평을 유지케 하는 레벨링유닛; 을 포함하되,
상기 에어스프링은
상기 레벨링유닛과 연결되는 에어탱크, 하방 개구된 내부 수용공간부를 갖는 바디, 상기 에어탱크 내부와 상기 바디의 수용공간부를 연통시키는 오리피스부, 상기 바디의 수용공간부를 가로지르게 배치되어 상기 수용공간부에 상부 신축공간부를 형성시키게 되고, 외측단부에 상기 오리피스부를 통해 상기 신축공간부로 공급되는 압축공기에 의한 가변(可變)부를 갖는 멤브레인, 그리고 상기 멤브레인 하부에 배치되고, 상기 바디를 설치대상체 상면으로부터 이격되게 지지하게 되는 레그를 포함하여 이루어진다.
이와 같은 구성에 의하면, 레그에 의해 에어스프링과 설치대상체 상면의 접촉면적이 작아지게 됨으로써, 설치대상체 상면이 다소 불균일하더라도 장치가 안정적으로 고정될 수 있을 뿐만 아니라,
상기 레그와 멤브레인이 지지하게 되는 하중이 증가하게 됨으로써 제진 성능이 향상되는 효과가 있다.The present invention relates to a vibration suppression apparatus, and more particularly, to a table-based vibration suppression apparatus to be placed on the user's desired place and to be easily used.
The configuration includes an upper plate; A plurality of air springs disposed under the plate; And a leveling unit connected to each of the air springs to maintain horizontality of the plate by adjusting compressed air supplied to the respective air springs according to the inclination of the plate. Including,
The air spring is
An air tank connected to the leveling unit, a body having an inner receiving space portion opened downward, an orifice portion communicating the inside of the air tank with the receiving space portion of the body, and disposed across the receiving space portion of the body, A membrane having an upper elastic space portion is formed, a membrane having a variable portion by compressed air supplied to the elastic space portion through the orifice portion at an outer end thereof, and disposed below the membrane, wherein the body is spaced apart from an upper surface of the installation object. And legs to be supported.
According to such a configuration, the contact area between the air spring and the upper surface of the installation object is reduced by the legs, so that the device can be stably fixed even if the upper surface of the installation object is somewhat uneven.
As the load supported by the legs and the membrane is increased, the damping performance is improved.

Description

Desktop vibration damper {VIBRATION ISOLATION APPARATUS FOR TABLE}

본 발명은 제진장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 사용자가 원하는 장소에 올려놓고 용이하게 사용할 수 있도록 한 탁상용 제진장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a vibration suppression apparatus, and more particularly, to a table-based vibration suppression apparatus to be placed on the user's desired place and to be easily used.

일반적으로 제진장치는 정밀측정장비나 반도체제조장비와 같이 진동에 취약한 장비를 사용함에 있어, 외부 진동의 영향으로 장비 고유의 기능이 저하됨을 방지하기 위해 외부 진동을 차단하기 위해 사용되는 것이다.In general, the vibration damping device is used to block external vibration in order to prevent deterioration of the inherent function of the equipment due to the influence of external vibration in the use of equipment vulnerable to vibration, such as precision measurement equipment or semiconductor manufacturing equipment.

그리고 제진장치에는 기본적으로 상부 테이블의 수평 유지를 위한 레벨링(leveling)수단이 구비된다.
In addition, the vibration suppression apparatus is basically provided with a leveling means for leveling the upper table.

한편, 이러한 제진장치 중 탁상용 제진장치에 관한 기술로는,On the other hand, as a technology related to the tabletop vibration damper of the vibration damper,

대한민국실용신안공보 실1996-0003882호(1996년 05월 14일 공고, 이하 '선행기술'이라고 함) 『제진장치』가 제시되어 있다.Korean Utility Model Publication No. 1996-0003882 (announced May 14, 1996, hereinafter referred to as `` advanced technology '') `` vibration damper '' is presented.

상기 선행기술은,The prior art,

직사각형으로 고감쇠용 강판이나 알루미늄판으로 이루어지고, 윗면에 놓인 초정밀기기를 안정되게 받혀주는 테이블;A rectangular table made of a high damping steel sheet or aluminum plate, the table for stably supporting the ultra-precision equipment placed on the upper surface;

상기 테이블을 받혀주고 일체화되는 제진장치프레임;A vibration damper frame which supports the table and is integrated;

상기 테이블과 제진장치프레임 사이의 내부 4모서리에 각각 설치되고, 얇은 고무막의 보강재로 구성된 다이아후람형 에어스프링부재;A diaphragm type air spring member disposed at each of four inner corners between the table and the vibration damper frame and configured of a reinforcement material of a thin rubber film;

상기 에어스프링부재 중에서 로우드시 동일 형태로 내부의 판스프링과 지렛대부재가 작동되어 오리피스로 에어댐핑시켜 에어탱크의 압축공기를 평형유지해 주도록 해당 3모서리의 에어스프링부재 내에 각각 설치되는 레벨링밸브;A leveling valve installed in each of the air spring members of the three corners to maintain the compressed air of the air tank by operating the inner leaf spring and the lever member in the same shape as the one in the air spring member to air damping the orifice;

상기 각 레벨링밸브 사이에 설치되는 에어탱크;An air tank installed between each leveling valve;

를 포함하여 이루어진 것으로서,And,

테이블에 탑재되는 장비의 하중이 변동되거나 설치위치가 이동되어 편심하중이 작용하더라도 이를 적절히 평형 유지시켜 설치고정에 따른 일련의 작업과정을 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 진동차단과 작업능률을 높이고 운반 및 이동설치가 용이하도록 한 기술이다.
Even if the load on the table is changed or the installation position is shifted, the eccentric load can be properly balanced to reduce the sequence of work due to the fixation of the installation. It is a technology that facilitates installation.

상기 선행기술은 테이블의 하부 4모서리에 각각 에어스프링부재를 설치함으로써 테이블의 수평이 유지될 수 있도록 하고는 있으나,The prior art is to maintain the horizontal level of the table by installing the air spring member on each of the four lower corners of the table,

상기 에어스프링부재를 지지하기 위하여 에어스프링마운트가 구비되어야 하고, 이 에어스프링마운트는 구조적으로 하면이 넓은 면적을 차지하게 됨으로써 설치대상체 상면이 다소 균일하지 못할 경우 제진장치가 안정적으로 고정되지 못하는 문제가 있다.
An air spring mount should be provided to support the air spring member, and this air spring mount has a large area of the bottom surface of the structure, so that the vibration damping device cannot be stably fixed when the upper surface of the installation object is somewhat uneven. have.

상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 탁상용 제진장치는,In order to solve the above problems, the tabletop vibration damper according to the present invention,

상부 플레이트;Upper plate;

상기 플레이트 하부에 배치되는 복수(複數)의 에어스프링; 및A plurality of air springs disposed under the plate; And

상기 각 에어스프링과 연결되고, 상기 플레이트의 기울기에 따라 상기 각 에어스프링에 공급되는 압축공기를 조절하여 상기 플레이트의 수평을 유지케 하는 레벨링유닛;A leveling unit connected to each of the air springs and maintaining horizontality of the plate by adjusting compressed air supplied to each of the air springs according to the inclination of the plate;

을 포함하되,&Lt; / RTI >

상기 에어스프링은The air spring is

상기 레벨링유닛과 연결되는 에어탱크,An air tank connected to the leveling unit,

하방 개구된 내부 수용공간부를 갖는 바디,A body having an inner receiving space opened downward;

상기 에어탱크 내부와 상기 바디의 수용공간부를 연통시키는 오리피스부,Orifice portion for communicating the inside of the air tank and the receiving space of the body,

상기 바디의 수용공간부를 가로지르게 배치되어 상기 수용공간부에 상부 신축공간부를 형성시키게 되고, 외측단부에 상기 오리피스부를 통해 상기 신축공간부로 공급되는 압축공기에 의한 가변(可變)부를 갖는 멤브레인, 그리고Membrane is disposed across the receiving space of the body to form an upper expansion space in the receiving space portion, the outer end of the membrane having a variable portion by the compressed air supplied to the expansion space through the orifice portion, and

상기 멤브레인 하부에 배치되고, 상기 바디를 설치대상체 상면으로부터 이격되게 지지하게 되는 레그A leg disposed below the membrane and supporting the body apart from an upper surface of the installation object.

를 포함하여 이루어진다.
.

그리고 상기 멤브레인과 상기 레그에 대한 상호 정위치수단이 더 구비될 수 있다.
And the mutual positioning means for the membrane and the leg may be further provided.

또한, 상기 레그 하면에는 환형(環形) 서포트가 구비될 수 있다.
In addition, the lower surface of the leg may be provided with an annular support.

또한, 상기 레벨링유닛은In addition, the leveling unit

상기 플레이트 하부 또는 상기 에어스프링의 바디에 결합되며, 에어호스에 의해 상기 에어탱크와 연결되고, 하부 스위치를 갖는 압축공기 조절밸브,Compressed air control valve coupled to the lower part of the plate or the body of the air spring, connected to the air tank by an air hose, having a lower switch,

상기 조절밸브 하부에 선회 가능하게 결합되고, 선회 동작 시 상기 조절밸브의 스위치를 작동시키게 되는 레버부재, 그리고A lever member rotatably coupled to the lower portion of the control valve and operating a switch of the control valve in a turning operation; and

상기 레버부재 단부에 고정되고, 하단부가 설치대상체 상면과 접하게 되는 콘택팅부재A contact member fixed to an end of the lever member and having a lower end in contact with an upper surface of the installation object;

를 포함하여 이루어질 수 있다.
. &Lt; / RTI >

본 발명에 의한 탁상용 제진장치는,Desktop dust removal apparatus according to the present invention,

레그에 의해 에어스프링과 설치대상체 상면의 접촉면적이 작아지게 됨으로써, 설치대상체 상면이 다소 불균일하더라도 장치가 안정적으로 고정될 수 있을 뿐만 아니라, The contact area between the air spring and the upper surface of the installation object is reduced by the legs, so that the device can be stably fixed even if the upper surface of the installation object is somewhat uneven.

상기 레그와 멤브레인이 지지하게 되는 하중이 증가하게 됨으로써 제진 성능이 향상되는 효과가 있다.
As the load supported by the legs and the membrane is increased, the damping performance is improved.

또한, 정위치수단이 구비됨에 따라 상기 멤브레인과 상기 레그의 상호 유동을 방지할 수 있는 효과가 있다.
In addition, there is an effect that can prevent the mutual flow of the membrane and the leg as the position means is provided.

또한, 상기 레그 하면에 서포트가 구비됨에 따라 장치가 더욱 안정적으로 고정될 수 있는 효과가 있다.
In addition, as the support is provided on the lower surface of the leg, the device can be more stably fixed.

도 1은 본 발명의 실시예에 의한 탁상용 제진장치의 단면도.
도 2는 도 1에서 플레이트를 제외하여 도시한 평면도.
도 3은 도 1에서 에어스프링의 단면도 및 레벨링유닛의 측면도.
도 4는 도 3에서 레벨링유닛의 정면도.
도 5는 도 3에서 에어스프링의 바디가 하강된 상태를 도시한 에어스프링의 단면도 및 레벨링유닛의 측면도
도 6은 도 5에서 레벨링유닛의 정면도.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 의한 탁상용 제진장치의 단면도.
도 8은 도 7에서 플레이트를 제외하여 도시한 평면도.1 is a cross-sectional view of the tabletop vibration suppression apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a plan view excluding the plate in FIG.
3 is a cross-sectional view of the air spring in Figure 1 and a side view of the leveling unit.
4 is a front view of the leveling unit in FIG.
Figure 5 is a cross-sectional view of the air spring and the side view of the leveling unit showing a state in which the body of the air spring is lowered in FIG.
6 is a front view of the leveling unit in FIG.
7 is a cross-sectional view of the tabletop vibration suppression apparatus according to another embodiment of the present invention.
8 is a plan view excluding the plate of FIG.

이하 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 8에서와 같이, 본 발명의 실시예에 의한 탁상용 제진장치는 크게 플레이트(100), 에어스프링(200) 및 레벨링유닛(300)으로 이루어진다.1 to 8, the tabletop vibration suppression apparatus according to the embodiment of the present invention comprises a plate 100, an air spring 200 and a leveling unit 300.

이하 각 구성에 대해 살펴보면,
Looking at each configuration below,

상기 플레이트(100)는The plate 100 is

제진장치 상부에 배치되어 제진이 요구되는 장비를 지지하게 된다.
It is disposed above the vibration isolator to support the equipment that requires vibration.

상기 플레이트(100)는 정반(定盤)으로 이루어지되, 지지하게 되는 장비에 따라 석정반 또는 허니컴(honeycomb)정반으로 이루어질 수 있다.
The plate 100 is made of a surface plate, but may be made of a stone surface plate or a honeycomb surface plate according to the equipment to be supported.

한편, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 상기 플레이트(100)의 외측단부에는 커버(400)가 결합될 수 있다.Meanwhile, as illustrated in FIGS. 1 and 2, the cover 400 may be coupled to an outer end of the plate 100.

상기 커버(400)는 상기 플레이트(100) 하부에 볼트결합되어 후술될 에어스프링(200) 및 레벨링유닛(300)을 가리게 된다.
The cover 400 is bolted to the lower portion of the plate 100 to cover the air spring 200 and the leveling unit 300 to be described later.

상기 에어스프링(200)은The air spring 200 is

복수(複數)가 구비되되, 상기 플레이트(100) 하부에 배치되는 것으로서,A plurality (複數) is provided, which is disposed below the plate 100,

도 3에 도시된 바와 같이,As shown in Figure 3,

상기 레벨링유닛(300)과 연결되는 에어탱크(210),An air tank 210 connected to the leveling unit 300,

하방 개구된 내부 수용공간부(221)를 갖는 바디(220),Body 220 having a lower opening of the inner receiving space 221,

상기 에어탱크(210) 내부와 상기 바디(220)의 수용공간부(221)를 연통시키는 오리피스부(230),Orifice portion 230 for communicating the interior of the air tank 210 and the receiving space portion 221 of the body 220,

상기 바디(220)의 수용공간부(221)를 가로지르게 배치되어 상기 수용공간부(221)에 상부 신축공간부(221a)를 형성시키게 되고, 외측단부에 상기 오리피스부(230)를 통해 상기 신축공간부(221a)로 공급되는 압축공기에 의한 가변(可變)부(241)를 갖는 멤브레인(240), 그리고It is arranged to cross the receiving space 221 of the body 220 to form an upper expansion space 221a in the receiving space 221, the outer end in the expansion through the orifice portion 230 The membrane 240 having the variable part 241 by the compressed air supplied to the space part 221a, And

상기 멤브레인(240) 하부에 배치되고, 상기 바디(220)를 설치대상체 상면으로부터 이격되게 지지하게 되는 레그(250)A leg 250 disposed below the membrane 240 and supporting the body 220 spaced apart from an upper surface of the installation object.

를 포함하여 이루어진다.
.

여기서 설치대상체란 본 발명의 제진장치를 설치하기 위한 각종 테이블이나 지면 등이 해당된다.
Here, the installation object corresponds to various tables, ground, etc. for installing the vibration suppression apparatus of the present invention.

그리고 도 2에 도시된 바에 의하면, 상기 에어스프링(200)은 네 개가 구비되어 상기 플레이트(100)의 각 모서리부에 배치되고, 상기 레벨링유닛(300)으로부터 압축공기를 공급받아 승강 동작하게 된다.
As shown in FIG. 2, four air springs 200 are provided and disposed at each corner of the plate 100, and are supplied with compressed air from the leveling unit 300 to move up and down.

상기 바디(220)는 상하 분반(分半)된 탑블록(220a) 및 바텀블록(220b)이 상호 볼트결합되어 이루어지며,The body 220 is formed by bolting the top block 220a and the bottom block 220b, which are divided into upper and lower sides, mutually.

상기 바텀블록(220b) 상면에는 환형(環形) 리세스(recess)(222)가 형성된다.
An annular recess 222 is formed on an upper surface of the bottom block 220b.

상기 멤브레인(240)에는 상기 가변부(241) 외측에 하방 돌출부(242)가 형성되는데, 상기 돌출부(242)는 상기 탑블록(220a) 및 바텀블록(220b)의 상호 결합 시 상기 리세스(222)에 배치되어 상기 멤브레인(240)이 고정되게 한다.The membrane 240 has a lower protrusion 242 formed outside the variable portion 241, wherein the protrusion 242 is recessed when the top block 220a and the bottom block 220b are coupled to each other. ) To secure the membrane 240.

그리고 상기 가변부(241)는 상기 수용공간부(221) 내에 배치되며, 상기 오리피스부(230)를 통해 상기 신축공간부(221a)로 공급되는 압축공기에 의해 휘어지거나 펼쳐질 수 있도록 원호(圓弧) 형태로 이루어진다.
In addition, the variable part 241 is disposed in the accommodation space 221, and may be bent or unfolded by compressed air supplied to the expansion space 221a through the orifice 230. ) Form.

상기 오리피스부(230)는 상기 에어탱크(210)에 체결되는 오리피스볼트(260)에 관통 형성되며, 상기 에어탱크(210) 내부와 상기 신축공간부(221a) 간의 압축공기 흐름을 교축시킴으로써, 상기 플레이트(100)에 외력이 가해지거나 하중 이동 시 발생하는 진동을 신속하게 감쇠시켜 주게 된다.
The orifice portion 230 is formed through the orifice bolt 260 that is fastened to the air tank 210, by condensing the compressed air flow between the inside of the air tank 210 and the expansion space 221a, The external force is applied to the plate 100 or quickly attenuates the vibration generated when the load moves.

상기 레그(250)는 상단부(上端部)가 상기 멤브레인(240) 중앙에 배치되되, 상기 가변부(241) 내측에 위치하게 되고, 하단부(下端部)가 상기 바디(220)보다 하측에 배치되어 상기 바디(220), 에어탱크(210), 플레이트(100), 커버(400) 및 레벨링유닛(300)을 지지하게 된다.
The leg 250 has an upper end disposed in the center of the membrane 240, positioned inside the variable part 241, and a lower end disposed below the body 220. The body 220, the air tank 210, the plate 100, the cover 400 and the leveling unit 300 are supported.

그리고 상기 멤브레인(240)과 상기 레그(250)에는 상호 정위치수단(500)이 구비될 수 있다.In addition, the membrane 240 and the leg 250 may be provided with mutual positioning means 500.

상기 정위치수단(500)은 상기 멤브레인(240) 하부에 형성된 하방 돌출형 고정부(510)와, 상기 레그(250) 상부에 형성되어 상기 고정부(510)가 위치하게 되는 하방 요입형 대응고정부(520)로 이루어져, 상기 멤브레인(240)과 상기 레그(250)의 상호 유동을 방지하게 된다.
The positioning means 500 is a downward recessed fixing portion 510 formed under the membrane 240 and the lower recessed type corresponding height formed on the leg 250 to position the fixing portion 510. It consists of a government 520, to prevent the flow of the membrane 240 and the leg 250 mutual.

결국, 상술한 바와 같은 에어스프링(200)의 구조에 의하면 상기 레그(250) 및 상기 멤브레인(240)이 지지하게 되는 하중이 증가하게 되는데, 이에 따라 진동발생 시 제진장치에서 유동하게 되는 부분의 무게가 증가하게 됨으로써 제진 성능이 더욱 향상될 수 있다.
As a result, according to the structure of the air spring 200 as described above, the load to support the legs 250 and the membrane 240 is increased, accordingly, the weight of the portion flowing in the vibration suppression device when vibration occurs By increasing the damping performance can be further improved.

또한, 상기 레그(250)에 의해 설치대상체 상면과의 접촉면적이 최소화될 수 있는데, 이에 따라 설치대상체 상면이 다소 불균일하더라도 제진장치가 안정적으로 고정될 수 있다.In addition, the contact area with the upper surface of the object to be installed may be minimized by the leg 250. Thus, even if the upper surface of the object to be installed is somewhat uneven, the vibration damping device may be stably fixed.

그리고 이때 제진장치가 더욱 안정적으로 고정될 수 있도록 상기 레그(250) 하면에 서포트(251)가 더 구비될 수 있다.
In this case, the support 251 may be further provided on the bottom surface of the leg 250 so that the vibration suppression apparatus may be more stably fixed.

한편, 상기 에어스프링(200)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 에어탱크(210)가 상기 플레이트(100)와 상기 바디(220)에 개재되는 형태로 이루어지거나,On the other hand, the air spring 200 is shown in Figure 1 and 2, the air tank 210 is made of a form that is interposed in the plate 100 and the body 220,

도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 에어탱크(210)와 상기 바디(220)가 상기 플레이트(100) 하부에 고정되되, 상기 에어탱크(210)가 상기 바디(220) 측면에 배치되는 형태로 이루어질 수 있다.As shown in Figure 7 and 8, the air tank 210 and the body 220 is fixed to the lower portion of the plate 100, the air tank 210 is disposed on the side of the body 220 It may be made in the form.

전자(前者)의 경우 상기 에어탱크(210)를 배치하기 위한 공간확보와 제작이 용이한 장점이 있으며,In the former case, there is an advantage of ensuring space and easy manufacturing of the air tank 210.

후자(後者)의 경우 제진장치를 더욱 슬림(slim)하게 제작할 수 있는 장점이 있다.
In the latter case, there is an advantage of making the vibration suppression device slimmer.

상기 레벨링유닛(300)은The leveling unit 300 is

상기 각 에어스프링(200)과 연결되고, 상기 플레이트(100)의 기울기에 따라 상기 각 에어스프링(200)에 공급되는 압축공기를 조절하여 상기 플레이트(100)의 수평을 유지케 하는 것으로서,Is connected to each of the air springs 200, by adjusting the compressed air supplied to the respective air springs 200 in accordance with the inclination of the plate 100 to maintain the horizontal of the plate 100,

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이,As shown in Figures 3 and 4,

상기 플레이트(100) 하부 또는 상기 에어스프링(200)의 바디(220)에 결합되며, 에어호스(600, 도 2 참조)에 의해 상기 에어탱크(210)와 연결되고, 하부 스위치(311)를 갖는 압축공기 조절밸브(310),Is coupled to the lower portion of the plate 100 or the body 220 of the air spring 200, is connected to the air tank 210 by an air hose 600 (see Fig. 2), having a lower switch 311 Compressed air control valve (310),

상기 조절밸브(310) 하부에 선회 가능하게 결합되고, 선회 동작 시 상기 조절밸브(310)의 스위치(311)를 작동시키게 되는 레버부재(320), 그리고A lever member 320 rotatably coupled to the lower portion of the control valve 310 to operate the switch 311 of the control valve 310 during the swing operation; and

상기 레버부재(320) 단부에 고정되고, 하단부가 설치대상체 상면과 접하게 되는 콘택팅부재(330)The contact member 330 is fixed to the end of the lever member 320, the lower end is in contact with the upper surface of the installation object

를 포함하여 이루어진다.
.

도 2를 참조하면 본 발명의 제진장치에는 세 개의 레벨링유닛(300)이 구비되는데,Referring to Figure 2, the vibration suppression apparatus of the present invention is provided with three leveling unit 300,

이에 따라 도면상 우측에 배치된 두 에어스프링(200)에는 상기 레벨링유닛(300)이 각각 연결되며,Accordingly, the leveling unit 300 is connected to the two air springs 200 disposed on the right side of the drawing, respectively.

도면상 좌측에 배치된 두 에어스프링(200)에는 하나의 레벨링유닛(300)이 연결되되, 이에 연결된 에어호스(600)가 에어분배기(700)에 의해 분기(分岐)되어 상기 좌측 두 에어스프링(200)에 각각 연결된다.One air leveling unit 300 is connected to the two air springs 200 disposed on the left side of the drawing, and the air hose 600 connected thereto is branched by an air distributor 700 so that the left two air springs ( 200 respectively.

즉, 좌측에 배치된 하나의 레벨링유닛(300)은 이에 연결된 좌측 두 에어스프링(200)에 공급되는 압축공기를 조절하게 된다.
That is, one leveling unit 300 disposed on the left side controls the compressed air supplied to the left two air springs 200 connected thereto.

그리고 상기 커버(400)에는 압력조정기(800)가 설치되며, 이 압력조정기(800)는 별도로 구비된 컴프레서(compressor)와 연결되어 상기 각 레벨링유닛(300)의 조절밸브(310)로 압축공기를 공급하게 된다.
In addition, the cover 400 is provided with a pressure regulator 800, the pressure regulator 800 is connected to a compressor provided separately (compressor) to the compressed air to the control valve 310 of each leveling unit 300 Will be supplied.

도시된 바에 의하면, 상기 조절밸브(310)는 상기 에어스프링(200)의 바디(220)에 결합되지만, 필요에 따라 상기 플레이트(100) 하부에 결합되어도 무방하다.As shown, the control valve 310 is coupled to the body 220 of the air spring 200, but may be coupled to the lower portion of the plate 100 as necessary.

즉, 상기 조절밸브(310)는 상기 레그(250) 및 상기 멤브레인(240)에 지지되어 상기 플레이트(100)와 함께 유동될 수 있는 범위 내에서 다양한 구조로 배치될 수 있다.
That is, the control valve 310 may be arranged in various structures within the range that can be supported by the leg 250 and the membrane 240 to flow with the plate 100.

결국, 상기 조절밸브(310)는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 플레이트(100)에 탑재되는 장비의 하중이 변동되거나 설치위치가 이동되어 상기 플레이트(100)가 기울어질 때, 상기 에어스프링(200)의 바디(220)와 함께 하강하게 되고,As a result, the control valve 310 as shown in Figures 5 and 6, when the load of the equipment mounted on the plate 100 is changed or the installation position is moved and the plate 100 is tilted, It is lowered with the body 220 of the air spring 200,

이때 상기 레버부재(320)는 하강되는 상기 조절밸브(310)에 대하여 선회 동작하게 됨으로써 상기 스위치(311)를 가압하여 작동시키게 되는 것이다.At this time, the lever member 320 is to be rotated with respect to the control valve 310 is lowered to operate by pressing the switch 311.

그리고 상기 레버부재(320)에는 상기 조절밸브(310)의 하강 시 상기 스위치(311)가 원활하게 작동될 수 있도록 상기 스위치(311)와 마주하게 되는 누름부재(321)가 구비될 수 있다.
In addition, the lever member 320 may be provided with a pressing member 321 facing the switch 311 so that the switch 311 can be smoothly operated when the control valve 310 is lowered.

한편, 상술한 바와 같이 상기 플레이트(100)가 기울어짐에 따라 상기 스위치(311)가 작동되면 상기 조절밸브(310)는 상기 에어탱크(210)로 압축공기를 공급하게 되는데,On the other hand, as described above, when the switch 311 is operated as the plate 100 is inclined, the control valve 310 supplies compressed air to the air tank 210.

이에 따라 상기 신축공간부(221a)는 상기 오리피스부(230)를 통해 공급되는 압축공기에 의해 팽창하게 되고, 결국 상기 멤브레인(240)의 가변부(241)가 펼쳐지면서 상기 바디(220)를 상승시키게 된다.
Accordingly, the expansion space 221a is expanded by the compressed air supplied through the orifice portion 230, and eventually the variable portion 241 of the membrane 240 is expanded to raise the body 220. Let's go.

이후, 상기 바디(220)가 일정 높이만큼 상승하여 상기 플레이트(100)가 수평 상태가 되면, 상기 조절밸브(310)가 함께 상승됨에 따라 상기 스위치(311)의 작동이 해제되고, 따라서 상기 에어스프링(200)으로 공급되는 압축공기가 차단됨으로써 상기 플레이트(100)가 수평 상태를 유지하게 되는 것이다.
Then, when the body 220 is raised by a certain height and the plate 100 is in a horizontal state, the operation of the switch 311 is released as the control valve 310 is raised together, thus the air spring Compressed air supplied to the (200) is cut off to maintain the plate 100 in a horizontal state.

이상에서 본 발명을 설명함에 있어 첨부된 도면을 참조하여 특정 형상과 구조를 갖는 "탁상용 제진장치"를 위주로 설명하였으나 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 보호범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다.
In the above description of the present invention with reference to the accompanying drawings, a description has been made mainly on the "desktop vibration damper" having a specific shape and structure, the present invention can be variously modified and changed by those skilled in the art, such modifications and changes are the present invention It should be interpreted as falling within the protection scope of.

100 ; 플레이트
200 ; 에어스프링
210 ; 에어탱크
220 ; 바디
221 ; 수용공간부
221a ; 신축공간부
222 ; 리세스
230 ; 오리피스부
240 ; 멤브레인
241 ; 가변부
242 ; 돌출부
250 ; 레그
251 ; 서포트
260 ; 오리피스볼트
300 ; 레벨링유닛
310 ; 조절밸브
311 ; 스위치
320 ; 레버부재
321 ; 누름부재
330 ; 콘택팅부재
400 ; 커버
500 ; 정위치수단
510 ; 고정부
520 ; 대응고정부100; plate
200; Air spring
210; Air tank
220; body
221; Housing space
221a; New space
222; Recess
230; Orifice part
240; Membrane
241; Variable part
242; projection part
250; Leg
251; support
260; Orifice Bolts
300; Leveling unit
310; Control valve
311; switch
320; Lever member
321; The pressing member
330; Contacting member
400; cover
500; Positioning means
510; [0035]
520; Response

Claims

Upper plate 100;
A plurality of air springs 200 disposed below the plate 100; And
A leveling unit 300 connected to each of the air springs 200 and maintaining horizontality of the plate 100 by adjusting compressed air supplied to the respective air springs 200 according to the inclination of the plate 100. Including;
The air spring 200 is
An air tank 210 connected to the leveling unit 300,
Body 220 having a lower opening of the inner receiving space 221,
Orifice portion 230 for communicating the interior of the air tank 210 and the receiving space portion 221 of the body 220,
It is arranged to cross the receiving space 221 of the body 220 to form an upper expansion space 221a in the receiving space 221, the outer end in the expansion through the orifice portion 230 The membrane 240 having the variable part 241 by the compressed air supplied to the space part 221a, And
Is disposed below the membrane 240, and comprises a leg 250 for supporting the body 220 spaced apart from the upper surface of the installation object,
In the membrane 240 and the leg 250, a downwardly protruding fixing part 510 formed below the membrane 240 and an upper part of the leg 250 are positioned to place the fixing part 510. It is provided with a mutually precise positioning means 500 consisting of a lower recessed type corresponding fixing part 520,
The lower surface of the leg 250 is provided with an annular support (251),
The air tank 210 and the body 220 is fixed to the lower portion of the plate 100, the air tank 210 is a tabletop vibration suppressor, characterized in that disposed on the side of the body (220).

The method of claim 1,
The leveling unit 300 is
Compressed air control valve coupled to the lower portion of the plate 100 or the body 220 of the air spring 200, connected to the air tank 210 by an air hose 600, and having a lower switch 311 (310),
A lever member 320 rotatably coupled to the lower portion of the control valve 310 to operate the switch 311 of the control valve 310 during the swing operation; and
The contact member 330 is fixed to the end of the lever member 320, the lower end is in contact with the upper surface of the installation object
Desktop vibration suppression apparatus comprising a.

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