KR101041591B1 - Apparatus for maintaining horizontality provided with a disturbance control plate - Google Patents

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Abstract

본 발명은 제진대 수평유지장치에 관한 것으로서, 그 주요 구성은 수평 유지할 장비를 지지하는 제진대; 상기 제진대의 저면에 부착되어 상기 제진대 위의 하중 변화에 따라 내부 압력이 변화하면서 상기 제진대를 평형상태로 유지하도록 되어 있는 복수의 공압스프링; 및 지지 하중의 변화로 인해 상기 제진대에 움직임이 발생한 때 상기 공압스프링의 내부 압력을 변화시켜 상기 공압스프링이 상기 제진대를 평형상태로 유지할 수 있도록 하는 복수의 제어밸브 조립체;로 이루어지며, 상기 제어밸브 조립체는, 외체를 이루는 케이스; 압력공급라인을 개폐함으로써 개방 시 상기 공압스프링의 공기압을 증대시키도록 되어 있는 가압밸브; 압력배출라인 중에 설치되어 상기 압력배출라인을 개폐함으로써 개방 시 상기 공압스프링의 공기압을 감소시키도록 되어 있는 감압밸브; 및 상기 가압밸브 또는 상기 감압밸브를 개폐하도록 되어 있는 푸시로드;로 구성되며, 위와 같은 구성에 따르면 제진대 위에 지지된 각종 장비에 내적인 또는 외적인 요인으로 인해 하중 변화가 발생하더라도 신속하게 이를 제거 또는 보완할 수 있으며, 이에 필요한 각종 부품을 단순화, 합리화시켜 제조단가와 유지관리비용을 절감할 수 있게 된다.The present invention relates to a vibration damper horizontal holding device, the main configuration of the vibration damper for supporting the equipment to be horizontal; A plurality of pneumatic springs attached to a bottom surface of the vibration isolator and configured to maintain the vibration damper in an equilibrium state while the internal pressure is changed in accordance with a load change on the vibration isolator; And a plurality of control valve assemblies configured to change the internal pressure of the pneumatic spring when the movement of the vibration damping zone occurs due to a change in the support load so that the pneumatic spring maintains the vibration damping table in an equilibrium state. The control valve assembly includes a case forming an outer body; A pressure valve configured to increase the air pressure of the pneumatic spring when opened by opening and closing a pressure supply line; A pressure reducing valve installed in the pressure discharge line to reduce the air pressure of the pneumatic spring when opened by opening and closing the pressure discharge line; And a push rod configured to open and close the pressure valve or the pressure reducing valve. According to the above configuration, even if a load change occurs due to internal or external factors in various equipment supported on the vibration damper, In addition, various parts required for this purpose can be simplified and rationalized to reduce manufacturing cost and maintenance cost.

수평유지, 제진, 평형, 공압스프링 Leveling, Damping, Balanced, Pneumatic Springs

Description

제진대 수평유지장치{Apparatus for maintaining horizontality provided with a disturbance control plate}Apparatus for maintaining horizontality provided with a disturbance control plate}

본 발명은 제진대 수평유지장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평형 유지가 필수적인 각종 장비를 설치할 때 장비를 지지하는 데 사용함으로써 동작 등 내적인 요인이나 하중 변화 등 외적인 요인으로 인해 평형이 깨지더라도 신속히 장비의 수평상태를 복원할 수 있도록 해주는 제진대 수평유지장치에 관한 것이다.The present invention relates to a vibration damper horizontal leveling device, and more specifically, to use the equipment to support the equipment when the equilibrium is required to maintain the equilibrium, even if the balance is broken due to internal factors such as movement or external factors such as load change. The present invention relates to a vibration damper horizontal leveling device that allows to restore the level of equipment.

지금까지, 반도체와 같은 초정밀 제품을 제조하는 데 있어서 계측이나 측정 장비 뿐 아니라 연마장치 등 제품 생산과 관련되는 대부분의 장비가 제품의 높은 품질을 확보하기 위해 수평을 유지하는 것이 매우 중요한 과제로 대두되어 왔으며, 이러한 과제를 해결하기 위해 제안된 수단의 하나가 제진장치이다.Until now, in manufacturing ultra-precision products such as semiconductors, it has become a very important task to maintain leveling to ensure high quality of products as well as measuring and measuring equipment, as well as most of the equipment related to the production of grinding equipment. In order to solve this problem, one of the proposed means is a vibration damper.

일반적으로 제진장치는 도 1에 도면부호 101로 도시된 것처럼, 4개의 공기스프링(103) 위에 놓인 제진테이블(105) 상에 지지하고자 하는 각종 장비를 놓아두도록 되어 있는 바, 각각의 공기스프링(103)은 유로를 통하여 연결된 압축공기공급원(107)으로부터 공기압력을 받도록 되어 있으며, 지지대(2)에는 제진테이블(105) 의 진동을 감지하는 진동감지센서(109)가 구비되어 제진테이블(105)의 진동을 감지하도록 되어 있다.Generally, the vibration damping device is arranged to place various equipment to be supported on the vibration damping table 105 placed on the four air springs 103, as shown by reference numeral 101 in FIG. ) Is to receive air pressure from the compressed air supply source 107 connected through the flow path, the support (2) is provided with a vibration sensor 109 for detecting the vibration of the vibration damping table 105 of the vibration damping table 105 It is designed to detect vibration.

따라서, 진동감지센서(109)에서 검출된 제진테이블(105)의 진동량에 따라 제어밸브(111)를 개폐하여 압축공기공급원(107)의 압축공기를 공기스프링(103)으로 공급하거나 공기스프링(103)에서 빼내 압력을 증감시킴으로써 제진테이블(105)의 진동을 제어하게 된다.Therefore, the control valve 111 is opened and closed in accordance with the vibration amount of the vibration damping table 105 detected by the vibration detecting sensor 109 to supply the compressed air of the compressed air supply source 107 to the air spring 103 or the air spring ( The vibration of the vibration damping table 105 is controlled by extracting from the 103 and increasing or decreasing the pressure.

그런데, 종래의 제진장치(101)는 위와 같이 제진테이블(105)의 진동을 제어하기 위해 기계식의 진동감지센서(109)를 구비하고 있으며, 또 이러한 진동감지센서(109) 기계적인 감지값을 전기적으로 변화시켜 제어밸브(111)를 전기적으로 제어하도록 되어 있는 바, 진동을 감지하기 위해서는 반드시 진동감지센서(109)를 필요로 하며, 따라서 진동감지센서(109)로 인해 제조단가와 유지관리 수요가 증대되고, 진동감지센서(109)에 의해 진동을 감지하는 과정에서 감지값의 정확도가 떨어질 수 있는 등 성능저하가 우려되는 문제점이 있었다. By the way, the conventional vibration suppression apparatus 101 is provided with a mechanical vibration sensor 109 to control the vibration of the vibration damping table 105 as described above, and further provides a mechanical detection value of the vibration sensor 109 In order to control the control valve 111 to be electrically controlled, the vibration detection sensor 109 is necessary to detect vibration. Therefore, the manufacturing cost and maintenance demand are increased due to the vibration detection sensor 109. Increased, there is a problem that the performance degradation is concerned, such as the accuracy of the detection value may be reduced in the process of detecting the vibration by the vibration sensor 109.

본 발명은 위와 같은 종래의 제진장치가 가지고 있는 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 장비를 설치하도록 되어 있는 제진대의 평형상태를 별도의 감지센서 없이 제어밸브 조립체에 의해 직접적으로 유지하도록 함으로써 제진대의 제어 응답성을 높이고, 감지센서로 인한 제조단가와 유지관리 비용의 상승을 억제할 수 있도록 하는 데 그 목적이 있다.The present invention has been proposed to solve the problems of the conventional vibration damper as described above, by maintaining the equilibrium state of the vibration damper that is to install the equipment directly by the control valve assembly without a separate sensor The purpose is to increase the control responsiveness of the control panel and to suppress the increase in manufacturing cost and maintenance cost due to the sensor.

따라서, 본 발명은 위와 같은 목적을 달성하기 위해, 수평 유지할 장비를 지지하는 제진대; 상기 제진대의 저면에 부착되어 상기 제진대 위의 하중 변화에 따라 내부 압력이 변화하면서 상기 제진대를 평형상태로 유지하도록 되어 있는 복수의 공압스프링; 및 지지 하중의 변화로 인해 상기 제진대에 움직임이 발생한 때 상기 공압스프링의 내부 압력을 변화시켜 상기 공압스프링이 상기 제진대를 평형상태로 유지할 수 있도록 하는 복수의 제어밸브 조립체;로 이루어지며, 상기 제어밸브 조립체는, 외체를 이루는 케이스; 공압원에서 상기 공압스프링으로 이어진 압력공급라인 중에 설치되어 상기 압력공급라인을 개폐함으로써 개방 시 상기 공압스프링의 공기압을 증대시키도록 되어 있는 가압밸브; 상기 가압밸브와 상기 공압스프링을 연결하는 압력배출라인 중에 설치되어 상기 압력배출라인을 개폐함으로써 개방 시 상기 공압스프링의 공기압을 감소시키도록 되어 있는 감압밸브; 및 상기 제진대에 의해 가압되도록 상기 케이스에 장착되어 상기 제진대의 움직임에 따라 이동하면서 상기 가압밸브 또는 상기 감압밸브를 개폐하도록 되어 있는 푸시로드;로 구성되고, 상기 가압밸브와 상기 감압밸브는 상기 외체 내에 서로 마주보도록 위치하고 있으며, 상기 가압밸브는 제1 밸브스템의 상단을 가압 또는 해제하도록 상기 감압밸브와 마주보는 외벽면에 제1 푸시암이 힌지 결합되어 있고, 상기 감압밸브는 제2 밸브스템의 상단을 가압 또는 해제하도록 상기 가압밸브와 마주보는 외벽면에 상기 제1 푸시암에 대해 도립된 상태로 제2 푸시암이 힌지 결합되어 있으며, 상기 푸시로드는 평형상태에서 중립에 위치하며, 중립위치에서 상하 어느 한 쪽 방향으로 가압되기 시작할 때 상기 제1 푸시암을 가압하여 상기 가압밸브의 개방을 개시하도록 되어 있고, 중립위치에서 상하 다른 한 쪽 방향으로 가압되기 시작할 때 상기 제2 푸시암을 가압하여 상기 감압밸브의 개방을 개시하도록 되어 있는 제진대 수평유지장치를 제공한다.Therefore, the present invention, in order to achieve the above object, a vibration damper for supporting the equipment to be horizontal; A plurality of pneumatic springs attached to a bottom surface of the vibration isolator and configured to maintain the vibration damper in an equilibrium state while the internal pressure is changed in accordance with a load change on the vibration isolator; And a plurality of control valve assemblies configured to change the internal pressure of the pneumatic spring when the movement of the vibration damping zone occurs due to a change in the support load so that the pneumatic spring maintains the vibration damping table in an equilibrium state. The control valve assembly includes a case forming an outer body; A pressure valve installed in a pressure supply line from a pneumatic source to the pneumatic spring to increase or decrease the air pressure of the pneumatic spring when opened by opening and closing the pressure supply line; A pressure reducing valve installed in a pressure discharge line connecting the pressure valve and the pneumatic spring to reduce the air pressure of the pneumatic spring by opening and closing the pressure discharge line; And a push rod mounted on the case so as to be pressurized by the vibration isolator and configured to open and close the pressure valve or the pressure reducing valve while moving in accordance with the movement of the vibration isolator. Located in the outer body to face each other, the pressure valve is coupled to the first push arm on the outer wall surface facing the pressure reducing valve to press or release the upper end of the first valve stem, the pressure reducing valve is a second valve stem The second push arm is hinged in an inverted state with respect to the first push arm on the outer wall facing the pressure valve to press or release the upper end of the push rod, the push rod is neutral in equilibrium, neutral Pressurizes the first push arm to start opening of the pressure valve when the pressure starts to press in one of the two directions; To is, and it begins to pressure in one direction different from the vertical neutral position inasmuch claim which is arranged to initiate the opening of the pressure reducing valve by pressing the second push arm provides a gimbal.

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또한, 상기 푸시로드는 상기 가압밸브와 상기 감압밸브 사이에 위치하는 중앙 부분에 반경방향으로 돌출되도록 가압링이 장착되어 있으며, 상기 제1 푸시암 및 제2 푸시암은 자유단의 외면에 수압돌기가 각각 돌출되어 상기 가압링에 의해 보다 확실하게 가압되도록 되어 있는 것이 바람직하다.In addition, the push rod is equipped with a pressure ring to protrude radially in the central portion located between the pressure valve and the pressure reducing valve, the first push arm and the second push arm is a hydraulic projection on the outer surface of the free end It is preferable that they respectively protrude and are pressurized by the said press ring more reliably.

또한, 상기 푸시로드는 상단 스토퍼와 상기 케이스 상면 사이에 압축 반발스프링이 끼워져, 상기 제진대에 의해 눌릴 때 상기 상단 스토퍼로 상기 압축 반발스프링을 압축하도록 되어 있는 것이 바람직하다.In addition, the push rod is preferably a compression rebound spring is inserted between the upper stopper and the upper surface of the case, so that the compression reaction spring is compressed by the upper stopper when pressed by the vibration damper.

또한, 상기 푸시로드는 하단 스토퍼와 상기 케이스 저면 사이에 인장 반발스프링이 끼워져, 상기 제진대가 이격되어 올라갈 때 상기 하단 스토퍼에 부착된 상기 인장 반발스프링에 의해 끌려올라가도록 되어 있는 것이 바람직하다.In addition, the push rod is preferably a tension rebound spring is inserted between the bottom stopper and the bottom of the case, and is pulled by the tension rebound spring attached to the bottom stopper when the vibration damper is spaced up.

따라서, 본 발명의 제진대 수평유지장치에 의하면, 고도의 정밀작업을 요하는 각종 장비의 수평을 평형상태에서 유지할 수 있으며, 이들 장비를 지지하는 제진대에 장비 내적인 또는 외적인 요인으로 인해 하중 변화가 발생하고, 이로 인해 과도적으로 평형상태가 깨지더라도 이를 신속하게 이를 제거 또는 보완하여 장비를 빠르게 평형상태로 복귀시킬 수 있게 된다.Therefore, according to the vibration damper horizontal holding device of the present invention, it is possible to maintain the horizontal level of the various equipment requiring a high precision work in the equilibrium state, load changes due to the internal or external factors in the vibration damping table for supporting these equipment This results in a transient breakage of equilibrium, so that it can be quickly removed or supplemented to quickly return the equipment to equilibrium.

또한, 위와 같이 신속하게 장비의 수평자세를 복원함에 있어 제진대에 의해 공압스프링의 압력을 제어하는 제어밸브 조립체를 직접적으로 제어할 수 있으므로, 제어동작의 신속성을 보다 향상시킬 수 있음은 물론이고, 수평 여부를 판단하는 감지센서의 존재가 필요치 않으므로, 전체적인 제조단가와 유지관리 비용을 상당 수준 절감할 수 있게 된다.In addition, in order to quickly restore the horizontal posture of the equipment as described above, it is possible to directly control the control valve assembly for controlling the pressure of the pneumatic spring by the vibration damper, it is, of course, to improve the speed of the control operation more, Since there is no need for the presence of a sensor to determine the level, it is possible to significantly reduce the overall manufacturing cost and maintenance costs.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제진대 수평유지장치를 첨부도면을 참조로 상세히 설명한다.Hereinafter, a vibration isolator horizontal holding apparatus according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 제진대 수평유지장치는 도 2 및 도 3에 도면부호 1로 도시된 바와 같이, 크게 제진대(3), 복수의 공압스프링(5), 및 제어밸브 조립체(7)로 이루어져 있는 바, 먼저 상기 제진대(3)는 수평 유지를 요하는 각종 장비(10)를 설치할 수 있도록 넓게 펼쳐져 있는 판재로 되어 있다.As shown in FIG. 2 and FIG. 3, the vibration isolator horizontal holding device of the present invention comprises a vibration damper 3, a plurality of pneumatic springs 5, and a control valve assembly 7. First, the vibration damping table 3 is made of a plate that is widely spread so that various equipments 10 requiring horizontal maintenance can be installed.

또한, 상기 공압스프링(5)은 바닥(20) 위에 놓여져 적어도 두 지점 이상에서 제진대(3)를 지지하는 공압실린더로서 에어실린더라고도 하며, 바람직하게는 도 2 및 도 3에 도시된 것처럼 세 지점에서 제진대(3)를 지지하도록 되어 있는 바, 제진대(3)의 저면에 부착되어 제진대(3) 위의 하중 변화에 따라 내부 압력이 변화하면서 제진대(3)를 평형상태로 유지하도록 되어 있다. 이때 공압스프링(5) 자체의 구성은 이미 공압실린더로서 공지된 기술이므로, 여기에서는 그 상세한 설명을 생략한다. 다만, 도 4 내지 도 6에 개략적으로 도시된 바와 같이, 공압스프링(5)은 압 력공급라인(13)에 연결된 실린더부(51)와 상단에 제진대(3)가 부착되는 피스톤부(53)로 이루어진다. The pneumatic spring 5 is also referred to as an air cylinder as a pneumatic cylinder placed on the bottom 20 to support the vibration damping table 3 at least two points, preferably three points as shown in FIGS. 2 and 3. Bar is attached to the bottom surface of the vibration isolator 3 so that the internal pressure is changed according to the load change on the vibration isolator 3 so that the vibration isol 3 remains in equilibrium. It is. At this time, since the configuration of the pneumatic spring 5 itself is already known as a pneumatic cylinder, its detailed description is omitted here. 4 to 6, the pneumatic spring 5 has a cylinder part 51 connected to the pressure supply line 13 and a piston part 53 to which the vibration damping table 3 is attached to the upper end. )

끝으로, 상기 제어밸브 조립체(7)는 도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 각각의 공압스프링(5)에 일대일 대응하도록 장착되어 지지 하중의 변화로 인해 제진대(3)가 움직일 때 공압스프링(5)의 내부 압력을 변화시켜 공압스프링(5)이 제진대(3)를 평형상태로 유지하게 하는 과도응답(transient response) 수단으로서, 크게 케이스(11), 가압밸브(21), 감압밸브(23), 및 푸시로드(25)로 이루어져 있다.Finally, the control valve assembly 7 is mounted so as to correspond to each pneumatic spring 5 one-to-one, as shown in Figs. 2 to 6, so that the pneumatic pressure when the vibration damping table 3 is moved due to the change in the supporting load. As a transient response means for changing the internal pressure of the spring 5 so that the pneumatic spring 5 keeps the vibration damping table 3 in an equilibrium state, the case 11, the pressure valve 21, and the pressure reduction are large. It consists of a valve 23 and a push rod 25.

여기에서, 상기 케이스(11)는 도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 내부 구성을 둘러싸고 있는 하나의 함체로서 상자 형태로 되어 있으며 연결블록(41)을 통해 바닥(20)에 부착되어 있다.Here, the case 11, as shown in Figures 2 to 6, has a box shape as an enclosure surrounding the internal configuration and is attached to the bottom 20 through the connection block 41.

상기 가압밸브(21)는 공압원(P)에서 공압스프링(5)으로 이어진 압력공급라인(13) 중에 설치되어 이 압력공급라인(13)을 개폐하는 수단으로서, 도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 감압밸브(23)와 함께 서로 마주보도록 케이스(11) 내에 설치되어 있으며, 따라서 개방되었을 때 공압원(P)으로부터 공급되는 공기압에 의해 공압스프링(5) 내부 압력을 증대시키도록 되어 있다.The pressure valve 21 is installed in the pressure supply line 13 connected from the pneumatic source P to the pneumatic spring 5, and is a means for opening and closing the pressure supply line 13, as shown in FIGS. As described above, the pressure reducing valve 23 is provided in the case 11 so as to face each other, so that the pressure inside the pneumatic spring 5 is increased by the air pressure supplied from the pneumatic source P when opened. .

여기에서, 가압밸브(21)는 통상의 개폐밸브와 동일한 내부 구조를 가지므로 그 상세한 설명은 생략한다. 다만, 개폐를 위해 외부에서 동작시키도록 되어 있는 제1 밸브스템(22)은 도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 푸시암(31)에 의해 가압 또는 해제되도록 그리고, 가압 시 가압밸브(21)를 개방하고, 해제 시 폐쇄하도록 가압밸브(21) 내에 탄력적으로 장착되어 가압밸브(21)의 외벽 밖으로 돌출되 어 있다. 이때, 제1 푸시암(31)은 감압밸브(23)와 마주보는 외벽면 상단에 힌지 결합되어 푸시로드(25)에 의해 가압될 때 피벗 회전하여 제1 밸브스템(22)을 가압함으로써 가압밸브(21)를 개방하고, 반대로 푸시로드(25)에 의한 가압이 해제될 때 제1 밸브스템(22)에 의해 원위치로 복귀하여 가압밸브(21)를 폐쇄하게 된다. Here, since the pressure valve 21 has the same internal structure as a normal on-off valve, its detailed description is omitted. However, as shown in FIGS. 2 to 6, the first valve stem 22 configured to be operated externally for opening and closing is pressurized or released by the first push arm 31, and is pressurized when pressurized. (21) is elastically mounted in the pressure valve 21 to open and close when released, and protrudes out of the outer wall of the pressure valve (21). At this time, the first push arm 31 is hinged to the upper end of the outer wall facing the pressure reducing valve 23 is pivoted when the pressure is pushed by the push rod 25 to press the first valve stem 22 to pressurize the valve (21) is opened and, on the contrary, when the pressure by the push rod 25 is released, the pressure is returned to the original position by the first valve stem 22 to close the pressure valve 21.

또한, 상기 감압밸브(23)는 가압밸브(21)와 공압스프링(5)을 연결하는 압력배출라인(15) 중에 설치되어 이 압력배출라인(15)을 개폐하는 수단으로서, 도 6에 도시된 바와 같이, 개방되었을 때 제진대(3)가 평형상태에 이를 때까지 공압스프링(5)의 공기압을 압력배출라인(15)을 통해 외부로 배출하여 공압스프링(5) 내부의 압력을 감소시키도록 되어 있다. 이때, 압력배출라인(15)의 말단에는 소음기(43)를 장착하여 압력배출라인(15)에서 작동유체가 빠져나갈 때 발생하는 소음을 제거 또는 감소시키는 것이 바람직하다.In addition, the pressure reducing valve 23 is installed in the pressure discharge line 15 connecting the pressure valve 21 and the pneumatic spring (5) as a means for opening and closing the pressure discharge line 15, as shown in FIG. As described above, when opened, the air pressure of the pneumatic spring 5 is discharged to the outside through the pressure discharge line 15 until the vibration damper 3 reaches an equilibrium state so as to reduce the pressure inside the pneumatic spring 5. It is. At this time, it is preferable to remove or reduce the noise generated when the working fluid exits from the pressure discharge line 15 by mounting a silencer 43 at the end of the pressure discharge line 15.

여기에서, 감압밸브(23)도 통상의 개폐밸브와 동일한 내부 구조를 가지므로 그 상세한 설명은 생략하나, 도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 제2 밸브스템(24)이 개폐를 위해 몸체 밖으로 돌출되어 제2 푸시암(33)에 의해 가압 또는 해제되도록 그리고, 가압 시 감압밸브(23)를 개방하고, 해제 시 폐쇄하도록 감압밸브(23) 내에 탄력적으로 장착되어 있다. 이때, 제2 푸시암(33)은 제1 푸시암(31)과 반대로 가압밸브(21)와 마주보는 외벽면 하단에 힌지 결합되어 푸시로드(25)에 의해 가압될 때 피벗 회전하여 제2 밸브스템(24)을 가압함으로써 감압밸브(23)를 개방하고, 푸시로드(25)에 의한 가압이 해제될 때 제2 밸브스템(24)에 의해 원위치로 복귀하여 감압밸브(23)를 폐쇄하게 된다. Here, since the pressure reducing valve 23 also has the same internal structure as a general on-off valve, a detailed description thereof will be omitted, but as shown in FIGS. 2 to 6, the second valve stem 24 has a body for opening and closing. It protrudes outward and is elastically mounted in the pressure reducing valve 23 to be pressurized or released by the second push arm 33, to open the pressure reducing valve 23 when pressurized, and to close when released. In this case, the second push arm 33 is hinged to the lower end of the outer wall facing the pressure valve 21 opposite to the first push arm 31 and pivotally rotates when the second push arm 33 is pressed by the push rod 25. The pressure reducing stem 23 is opened by pressurizing the stem 24, and when the pressure by the push rod 25 is released, the pressure reducing valve 23 returns to its original position by the second valve stem 24 to close the pressure reducing valve 23. .

또한, 상기 푸시로드(25)는 위와 같이 가압밸브(21) 또는 감압밸브(23)를 개폐하는 밸브 작동수단으로서, 제진대(3) 저면에 부착되어 케이스(11)의 중앙에 상하로 관통 삽입됨으로써 제진대(3)의 움직임에 따라 이동하도록 되어 있는 바, 도 4에 도시된 바와 같이 평형상태에서 중립에 위치하며, 중립위치에서 예컨대 아래로 가압되기 시작할 때 제1 푸시암(31)을 가압하여 가압밸브(21)의 개방을 개시하도록 되어 있고, 하사점에서 도 5에 도시된 것처럼 제1 푸시암(31)을 최대로 가압함으로써 가압밸브(21)를 완전 개방하게 된다. 반대로, 중립위치에서 위로 가압되기 시작하면 제2 푸시암(33)을 가압하여 감압밸브(23)의 개방을 개시하도록 되어 있으며, 상사점에서 도 6에 도시된 것처럼 제2 푸시암(33)을 최대로 가압함으로써 감압밸브(23)를 완전 개방하게 된다.In addition, the push rod 25 is a valve operating means for opening and closing the pressure valve 21 or the pressure reducing valve 23 as described above, is attached to the bottom surface of the damping table (3) is inserted through the center of the case 11 up and down This is to move in accordance with the movement of the damping table (3), as shown in Figure 4 is located in a neutral state in equilibrium, pressurizing the first push arm (31) when starting to press down in the neutral position, for example The pressure valve 21 is started to open, and the pressure valve 21 is fully opened by pressing the first push arm 31 to the maximum as shown in FIG. 5 at the bottom dead center. On the contrary, when the pressure starts to be pushed upward from the neutral position, the second push arm 33 is pressurized to start the opening of the pressure reducing valve 23. At the top dead center, the second push arm 33 is opened as shown in FIG. By fully pressurizing, the pressure reduction valve 23 is fully opened.

이와 같이 푸시로드(25)는 제진대(3)와 연동시키기 위해 제진대(3) 저면에 직접 부착하거나 연결돌기(45)를 통해 부착할 수 있으며, 바람직하게는 도 2 내지 도 6에 도시된 것처럼, 제진대(3)에 부착된 연결돌기(45)의 하단에 장착된 롤러(47)를 통해 미끄럼 접촉시킬 수 있다. 다만, 이때 푸시로드(25)를 탄력적으로 지지하기 위해, 푸시로드(25)의 상단에는 압축 반발스프링(35)이, 하단에는 인장 반발스프링(37)이 각각 끼워져 있으며, 푸시로드(25)의 상단에는 상단 스토퍼(27)가, 하단에는 하단 스토퍼(28)가 각각 반경방향으로 돌출되어 있으며, 이에 따라 상단 스토퍼(27)와 케이스(11)의 상면 사이에 압축 반발스프링(35)이, 하단 스토퍼(28)와 케이스(11)의 저면 사이에 인장 반발스프링(37)이 각각 지지되는 바, 압축 반발스프링(35)은 상단 스토퍼(27)에 의해 눌리도록 되어 있는 반면, 인장 반발 스프링(37)은 하단 스토퍼(28)에 의해 아래로 늘어나도록 되어 있다. 따라서, 푸시로드(25)는 제진대(3)에 의해 눌렸을 때 상단 스토퍼(27)를 통해 위쪽으로 반발하는 힘을 받으며, 반대로 제진대(3)가 위로 올라갔을 때 하단 스토퍼(28)를 통해 위로 밀려올라가는 힘을 받게 된다.In this way, the push rod 25 may be directly attached to the bottom surface of the vibration isolator 3 or through a connecting protrusion 45 to interlock with the vibration isolator 3, and preferably shown in FIGS. 2 to 6. As can be, the sliding contact can be made through the roller 47 mounted on the lower end of the connecting projection 45 attached to the vibration damping table (3). However, in this case, in order to elastically support the push rod 25, the compression rebound spring 35 is fitted at the upper end of the push rod 25, and the tension rebound spring 37 is fitted at the lower end of the push rod 25. An upper stopper 27 is provided at the upper end and a lower stopper 28 protrudes in the radial direction at the lower end thereof. As a result, the compressed rebound spring 35 is disposed between the upper stopper 27 and the upper surface of the case 11. The tension rebound springs 37 are respectively supported between the stopper 28 and the bottom of the case 11, while the compression rebound springs 35 are adapted to be pressed by the upper stopper 27, while the tension rebound springs 37 ) Is extended downward by the lower stopper 28. Accordingly, the push rod 25 receives a force of repulsing upward through the upper stopper 27 when pressed by the vibration damper 3, and conversely, when the vibration damper 3 rises up, the lower stopper 28 is lifted up. You are encouraged to push upward through it.

아울러, 푸시로드(25)는 가압밸브(21)나 감압밸브(23)에 대한 가압 성능을 높이기 위해 가압밸브(21)와 감압밸브(23) 사이에 위치하는 중앙 부분에 푸시로드(25)의 반경방향으로 돌출된 가압링(39)을 장착하는 것이 바람직하며, 푸시로드(25)와 접촉하는 제1 푸시암(31) 및 제2 푸시암(33)은 자유단의 외면에 수압돌기(32,34)가 각각 돌출되어 가압링(39)에 의한 가압을 보다 확실하게 하는 것이 바람직하다.In addition, the push rod 25 of the push rod 25 in the central portion located between the pressure valve 21 and the pressure reducing valve 23 to increase the pressure performance to the pressure valve 21 or the pressure reducing valve 23. It is preferable to mount the radially protruding pressure ring 39, the first push arm 31 and the second push arm 33 in contact with the push rod 25, the hydraulic projection 32 on the outer surface of the free end It is preferable that 34 each protrude so that pressurization by the press ring 39 is more certain.

이제, 위와 같이 구성된 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제진대 수평유지장치(1)의 작용을 설명한다.Now, the operation of the vibration damper horizontal holding device 1 according to the preferred embodiment of the present invention configured as described above will be described.

본 발명의 제진대 수평유지장치(1)는 도 2에 도시된 것처럼 제진대(3)에 장비(10)가 놓여 지면, 장비(10)의 중량(W)으로 인해 복수의 공압스프링(5)에 균분된 가압력이 작용한다. When the equipment 10 is placed on the vibration damping table 3 as shown in FIG. 2, the vibration damping table horizontal holding apparatus 1 of the present invention has a plurality of pneumatic springs 5 due to the weight W of the equipment 10. The pressure applied evenly is applied.

이때, 공압스프링(5) 내에는 도 4에 A로 도시된 바와 같이, 초기압력(P1)이 작용하여 장비의 중량(W)과 일차 평형상태(P1=W)를 이루게 되며, 제어밸브 조립체(7) 및 푸시로드(25)는 중립위치에 있게 되고, 따라서 가압 및 감압밸브(21,23)는 모두 폐쇄 상태를 유지하게 된다. 이때, 압축 및 인장 반발스프링(35,37)은 각각 상단 및 하단 스토퍼(27,28)에 의해 중간 정도의 힘으로 압축 또는 인장된 상태 를 유지하게 된다.At this time, in the pneumatic spring (5) as shown in Figure 4, the initial pressure (P1) acts to achieve a first equilibrium state (P1 = W) of the weight (W) of the equipment, the control valve assembly ( 7) and the push rod 25 is in the neutral position, so that the pressure and pressure reducing valves 21 and 23 are both kept closed. At this time, the compression and tension rebound springs (35, 37) is maintained in a compressed or tensioned state with a medium force by the upper and lower stoppers (27, 28), respectively.

위와 같은 최초의 일차 평형상태에서 도 2에 화살표로 표시된 것처럼, 제진대(3)의 일측에 예컨대, 작업자가 올라서는 등의 하중(F)이 발생하면, 제진대(3)는 하중(F)이 작용하는 쪽으로 기울어지기 시작하며, 이때 순간적으로 공압스프링(5)을 내리 누르게 된다. 이와 동시에, 제진대(3)는 연결돌기(45)와 롤러(47)를 통해 접촉된 푸시로드(25)를 하중(F)에 의해 눌리는 쪽에서 아래로 가압하기 시작한다.As indicated by the arrows in FIG. 2 in the first primary equilibrium as described above, if a load F occurs on one side of the damping table 3, for example, an operator climbs, the damping table 3 is loaded with a load F. FIG. It starts to lean toward this side, which momentarily pushes down the pneumatic spring 5. At the same time, the damping table 3 starts to push down the push rod 25 contacted through the connecting protrusion 45 and the roller 47 from the side pressed by the load F.

이에 따라, 푸시로드(25)는 점차 하향 이동하면서 가압링(39)에 의해 수압돌기(32)를 눌러 제1 푸시암(31)을 시계방향으로 회전 가압하고, 가압된 제1 푸시암(31)을 통해 제1 밸브스템(22)을 내리누르게 되며, 도 5에 도시된 것처럼 하사점에 이르러 가압밸브(21)를 최대로 개방하게 된다. 이와 같이 가압밸브(21)가 개방되기 시작하여 최대로 개방될 때까지 공압스프링(5)에는 공압원(P)으로부터 압력공급라인(13)을 통해 고압의 작동유체가 공급되면서 내부 압력(P1+△P)은 최종값(P2)이 도 4에 B로 표시된 것처럼, 장비의 중량(W)과 외란 하중(F)의 합과 같아져 이차 평형상태(P2=W+F)가 될 때까지 점차 증대된다. 이에 따라 공압스프링(5)은 다시 팽창하여 도 4에 도시된 원래의 상태로 되돌아가고, 이와 같이 공압스프링(5)이 팽창함에 따라 제진대(3)도 순간적으로 눌려 내려가다가 압축 반발스프링(35)의 반발력에 의해 밀려 올라와 원래의 수평상태를 되찾게 되며, 푸시로드(25)도 제진대(3)를 따라 도 4에 도시된 것처럼, 원래의 중립위치로 복귀하게 된다.Accordingly, the push rod 25 by pressing the hydraulic projections 32 by the pressure ring 39 while gradually moving downward to rotate and press the first push arm 31 in the clockwise direction, the first push arm 31 is pressed The first valve stem 22 is pushed down through), and the pressure valve 21 is opened to the maximum by reaching the bottom dead center as shown in FIG. 5. As such, the high pressure working fluid is supplied from the pneumatic source P through the pressure supply line 13 to the pneumatic spring 5 until the pressure valve 21 starts to open up to the maximum opening. P) is gradually increased until the final equilibrium state (P2 = W + F) becomes equal to the sum of the weight (W) and the disturbance load (F) of the equipment, as indicated by B in FIG. do. Accordingly, the pneumatic spring 5 is expanded again to return to the original state shown in FIG. 4, and as the pneumatic spring 5 is expanded, the vibration damping table 3 is also momentarily pushed down and the compressed rebound spring 35. It is pushed back by the repulsive force of the) to restore the original horizontal state, the push rod 25 is also returned to the original neutral position, as shown in Figure 4 along the damping table (3).

이와 같은 이차 평형상태(P2=W+F)에서, 작업자가 제진대(3)로부터 뛰어내리는 등 외란에 의한 하중(F)이 갑자기 제거되면, 평형상태는 무너지게 되고(P2 〉 W), 공압스프링(5)의 내부압력(P2)이 설비 중량(W)을 웃도는 만큼 공압스프링(5)은 제진대(3)를 밀어 올리게 된다.In this secondary equilibrium state (P2 = W + F), if the load F caused by disturbance is suddenly removed, such as an operator jumping off the vibration damping table 3, the equilibrium state is collapsed (P2> W), As the internal pressure P2 of the spring 5 exceeds the facility weight W, the pneumatic spring 5 pushes up the damping table 3.

이에 따라, 푸시로드(25)는 가압 해제 상태로 되며, 인장 반발스프링(37)의 복원력에 의해 점차 상향 이동하면서 가압링(39)에 의해 수압돌기(34)를 밀어 제2 푸시암(33)을 시계방향으로 회전 가압하며, 가압된 제2 푸시암(33)을 통해 제2 밸브스템(24)을 내리누르게 되고, 최종적으로 도 6에 도시된 것처럼 상사점에 이르러 감압밸브(23)를 최대로 개방하게 된다. 감압밸브(23)가 개방되기 시작하면서 압력배출라인(15)을 통해 공압스프링(5) 내의 작동유체를 외부로 방출하게 되면, 공압스프링(5)은 내부압력(P2-△P)이 P1이 될 때까지 인장 반발스프링(37)을 다시 인장시키면 점차 낮아져 일차 평형상태(P1=W)로 되돌아가게 된다.Accordingly, the push rod 25 is released from the pressurized state, and the second push arm 33 pushes the hydraulic projection 34 by the pressure ring 39 while gradually moving upward by the restoring force of the tension rebound spring 37. Rotationally pressurizes clockwise, presses the second valve stem 24 through the pressurized second pusharm 33, and finally reaches the top dead center as shown in FIG. 6 to maximize the pressure reducing valve 23. Will be opened. When the pressure reducing valve 23 starts to open and the working fluid in the pneumatic spring 5 is discharged to the outside through the pressure discharge line 15, the pneumatic spring 5 has an internal pressure (P2-ΔP) of P1. When the tension rebound spring 37 is retensioned until it is lowered, it gradually lowers to return to the primary equilibrium state (P1 = W).

이와 같이 순간적으로 팽창되던 공압스프링(5)이 압축됨에 따라 제진대(3)도 순간적으로 위로 올라갔다가 다시 내려와 원래의 수평상태를 되찾게 되며, 푸시로드(25)도 제진대(3)를 따라 도 4에 도시된 것처럼, 원래의 중립위치로 복귀하게 된다.As the pneumatic spring (5) expanded in this moment is compressed, the vibration damping table (3) also momentarily rises up and down again to restore its original horizontal state. As shown in Figure 4, it will return to its original neutral position.

도 1은 종래의 제진장치를 도시한 개략도. 1 is a schematic view showing a conventional vibration suppression apparatus.

도 2는 본 발명에 따른 제진대 수평유지장치의 일실시예를 도시한 사시도.Figure 2 is a perspective view showing an embodiment of a vibration damper horizontal maintenance apparatus according to the present invention.

도 3은 도 2의 정면도.3 is a front view of FIG. 2;

도 4는 최초의 일차 평형상태에서 도 2에 도시된 제어밸브 조립체와 공압스프링을 개략적으로 도시한 도면. 4 is a schematic illustration of the control valve assembly and pneumatic spring shown in FIG. 2 in an initial primary equilibrium state;

도 5는 도 4에서 푸시로드가 하사점으로 이동하여 가압밸브가 완전 개방된 상태를 도시한 도면.FIG. 5 is a view illustrating a state in which the push rod moves to the bottom dead center in FIG. 4 and the pressure valve is fully opened.

도 6은 도 4에서 푸시로드가 상사점으로 이동하여 감압밸브가 완전 개방된 상태를 도시한 도면.FIG. 6 is a view illustrating a state in which the pressure reducing valve is fully opened because the push rod moves to the top dead center in FIG. 4.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 > Description of the Related Art

1 : 수평유지장치 3 : 제진대1: horizontal holding device 3: vibration suppression table

5 : 공압스프링 7 : 제어밸브 조립체5: pneumatic spring 7: control valve assembly

10 : 장비 11 : 케이스10: Equipment 11: Case

13 : 압력공급라인 15 : 압력배출라인13 pressure supply line 15 pressure discharge line

20 : 바닥 21 : 가압밸브20 bottom 21 pressure valve

23 : 감압밸브 25 : 푸시로드23: pressure reducing valve 25: push rod

27, 28 : 상하단 스토퍼 31, 33: 제1 및 제2 푸시암27, 28: upper and lower stoppers 31, 33: first and second push arms

32, 34 : 수압돌기 35, 37 : 압축 및 인장 반발스프링 32, 34: hydraulic projection 35, 37: compression and tension rebound spring

39 : 가압링 43 : 소음기39: pressure ring 43: silencer

45 : 연결돌기 47 : 롤러45: connecting projection 47: roller

Claims (5)

삭제delete 수평 유지할 장비(10)를 지지하는 제진대(3);A vibration damper (3) for supporting the equipment (10) to be leveled; 상기 제진대(3)의 저면에 부착되어 상기 제진대(3) 위의 하중 변화에 따라 내부 압력이 변화하면서 상기 제진대(3)를 평형상태로 유지하도록 되어 있는 복수의 공압스프링(5); 및A plurality of pneumatic springs (5) attached to the bottom of the vibration isolator (3) and configured to maintain the vibration isolator (3) in an equilibrium state while the internal pressure is changed in accordance with the load change on the vibration isolator (3); And 지지 하중의 변화로 인해 상기 제진대(3)에 움직임이 발생한 때 상기 공압스프링(5)의 내부 압력을 변화시켜 상기 공압스프링(5)이 상기 제진대(3)를 평형상태로 유지할 수 있도록 하는 복수의 제어밸브 조립체(7);로 이루어지며,When the movement of the vibration damping table (3) due to the change in the supporting load changes the internal pressure of the pneumatic spring (5) so that the pneumatic spring (5) can maintain the vibration damping table (3) in an equilibrium state It consists of a plurality of control valve assembly (7), 상기 제어밸브 조립체(7)는,The control valve assembly 7, 외체를 이루는 케이스(11);A case 11 forming an outer body; 공압원(P)에서 상기 공압스프링(5)으로 이어진 압력공급라인(13) 중에 설치되어 상기 압력공급라인(13)을 개폐함으로써 개방 시 상기 공압스프링(5)의 공기압을 증대시키도록 되어 있는 가압밸브(21);Pressurized to be installed in the pressure supply line 13 from the pneumatic source (P) to the pneumatic spring (5) to increase the air pressure of the pneumatic spring (5) when opening by opening and closing the pressure supply line (13) Valve 21; 상기 가압밸브(21)와 상기 공압스프링(5)을 연결하는 압력배출라인(15) 중에 설치되어 상기 압력배출라인(15)을 개폐함으로써 개방 시 상기 공압스프링(5)의 공기압을 감소시키도록 되어 있는 감압밸브(23); 및Is installed in the pressure discharge line 15 connecting the pressure valve 21 and the pneumatic spring (5) to reduce the air pressure of the pneumatic spring (5) when opening by opening and closing the pressure discharge line (15). Pressure reducing valve 23; And 상기 제진대(3)에 의해 가압되도록 상기 케이스(11)에 장착되어 상기 제진대(3)의 움직임에 따라 이동하면서 상기 가압밸브(21) 또는 상기 감압밸브(23)를 개폐하도록 되어 있는 푸시로드(25);로 구성되고,A push rod mounted on the case 11 to be pressurized by the vibration damping table 3 to open and close the pressure valve 21 or the pressure reducing valve 23 while moving in accordance with the movement of the vibration damping table 3. Consisting of 25; 상기 가압밸브(21)와 상기 감압밸브(23)는 상기 케이스(11) 내에 서로 마주보도록 위치하고 있으며, The pressure valve 21 and the pressure reducing valve 23 are located to face each other in the case 11, 상기 가압밸브(21)는 제1 밸브스템(22)의 상단을 가압 또는 해제하도록 상기 감압밸브(23)와 마주보는 외벽면에 제1 푸시암(31)이 힌지 결합되어 있고, The pressure valve 21 is hinged to the first push arm 31 on the outer wall facing the pressure reducing valve 23 to pressurize or release the upper end of the first valve stem 22, 상기 감압밸브(23)는 제2 밸브스템(24)의 상단을 가압 또는 해제하도록 상기 가압밸브(21)와 마주보는 외벽면에 상기 제1 푸시암(31)에 대해 도립된 상태로 제2 푸시암(33)이 힌지 결합되어 있으며,The pressure reducing valve 23 pushes a second pusher in an inverted state with respect to the first push arm 31 on an outer wall surface facing the pressure valve 21 so as to pressurize or release an upper end of the second valve stem 24. Arm 33 is hinged, 상기 푸시로드(25)는 평형상태에서 중립에 위치하며, 중립위치에서 상하 어느 한 쪽 방향으로 가압되기 시작할 때 상기 제1 푸시암(31)을 가압하여 상기 가압밸브(21)의 개방을 개시하도록 되어 있고, 중립위치에서 상하 다른 한 쪽 방향으로 가압되기 시작할 때 상기 제2 푸시암(33)을 가압하여 상기 감압밸브(23)의 개방을 개시하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 제진대 수평유지장치.The push rod 25 is located in a neutral state in an equilibrium state, and presses the first push arm 31 to start opening of the pressure valve 21 when it starts to press in one of the up and down directions in the neutral position. And pressurize the second push arm (33) to start opening of the pressure reducing valve (23) when it starts to press in the other direction from the neutral position. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 푸시로드(25)는 상기 가압밸브(21)와 상기 감압밸브(23) 사이에 위치하는 중앙 부분에 반경방향으로 돌출되도록 가압링(39)이 장착되어 있으며, 상기 제1 푸시암(31) 및 제2 푸시암(33)은 자유단의 외면에 수압돌기(32,34)가 각각 돌출되어 상기 가압링(39)에 의해 보다 확실하게 가압되도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 제진대 수평유지장치.The push rod 25 is mounted with a pressure ring 39 so as to protrude radially in the central portion located between the pressure valve 21 and the pressure reducing valve 23, the first push arm 31 And a second push arm (33), wherein the hydraulic projections (32, 34) are projected on the outer surface of the free end, respectively, so as to be reliably pressurized by the pressure ring (39). 제3 항에 있어서,The method of claim 3, 상기 푸시로드(25)는 상단 스토퍼(27)와 상기 케이스(11) 상면 사이에 압축 반발스프링(35)이 끼워져, 상기 제진대(3)에 의해 눌릴 때 상기 상단 스토퍼(27)로 상기 압축 반발스프링(35)을 압축하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 제진대 수평유지장치.The push rod 25 has a compression reaction spring 35 fitted between an upper stopper 27 and an upper surface of the case 11, and the compression reaction rebounds to the upper stopper 27 when pressed by the vibration damper 3. Vibration damper horizontal holding device, characterized in that for compressing the spring (35). 제3 항에 있어서,The method of claim 3, 상기 푸시로드(25)는 하단 스토퍼(28)와 상기 케이스(11) 저면 사이에 인장 반발스프링(37)이 끼워져, 상기 제진대(3)가 이격되어 올라갈 때 상기 하단 스토퍼(28)에 부착된 상기 인장 반발스프링(37)에 의해 끌려올라가도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 제진대 수평유지장치.The push rod 25 is a tension rebound spring 37 is inserted between the lower stopper 28 and the bottom surface of the case 11, and is attached to the lower stopper 28 when the damping table 3 is spaced up. A vibration damper horizontal maintenance device characterized in that it is drawn up by the tension rebound spring (37).
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