KR101321914B1 - 진공증착 코팅장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공증착 코팅장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 제1코팅물질을 용융시켜 피코팅체에 코팅층을 형성하기 위한 제1증착원이 내부에 마련되는 내부케이스; 내부에 진공증착 챔버가 마련되고, 상기 내부케이스를 감싸도록 상기 내부케이스 외부에 마련되며, 제2코팅물질을 용융시켜 상기 피코팅체에 코팅층을 형성하기 위한 제2증착원이 설치되는 외부케이스; 및 상기 외부케이스와 내부케이스 사이에 배치되며 상기 피코팅체가 부착되는 지그를 포함하고, 상기 내부케이스는, 내부와 외부를 서로 연통시키도록 개구가 마련되는 고정커버와, 상기 고정커버의 개구를 상기 외부케이스에 대하여 개방 또는 폐쇄시킬 수 있도록 이동하는 이동커버와, 상기 이동커버를 이동시키는 구동원을 포함하되, 상기 이동커버가 상기 고정커버의 개구를 개방시켰을 때 상기 제1증착원으로부터 증발된 제1코팅물질이 상기 피코팅체에 도달가능하고, 상기 이동커버가 상기 고정커버의 개구를 폐쇄하였을 때 상기 제1증착원으로부터 증발된 제1코팅물질이 상기 피코팅체로 도달하지 않는 것을 특징으로 하는 진공증착 코팅장치에 대한 것이다.

Description

진공증착 코팅장치{Vacuum plating coating apparatus}
본 발명은 진공증착 코팅장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 내부케이스에 고정커버의 개구를 개방 및 폐쇄할 수 있는 이동커버를 설치함으로서 외부의 오염물질이 내부케이스 내부로 진입함으로서 오염시키는 것을 최소화할 수 있는 진공증착 코팅장치에 대한 것이다.
플라스틱 제품 또는 유리제품은 휴대폰이나 컴퓨터, 가전제품 및 기타 산업용 전기 전자제품들에 많이 사용되고 있다.
현재 플라스틱 제품 또는 유리 제품과 같은 피코팅체에 대한 코팅은 대부분이 화학적 건식 동코팅 후 습식 코팅을 진행하거나 혹은 스프레이 코팅방식을 채택하고 있는 실정이다.
이러한 코팅방식은 조작이 복잡하고 막두께의 불균일성과 환경오염을 가중시키고 시간이 경과함에 따라 코팅층이 분리되는 등의 문제점들이 발생하고 있다.
일반적으로 널리 사용되고 있는 전기, 전자, 통신기기의 부품은 정밀코팅 또는 유해 전자파를 차단하기 위한 실드코팅을 수행하고 있는 데, 이러한 코팅에 스프레이 방식을 적용하는 경우에는 전도성 금속분말을 섞어서 스프레이하게 되므로 작업성이 좋지 않게 되고 전기 저항이 크므로 코팅두께를 두껍게 하여야 하는 문제점과 더불어 코팅된 두께가 불균일하게 되는 등의 문제점이 있다.
최근에 들어서는 이동 가능한 대차에 피코팅체를 거치할 수 있는 지그와, 코팅물질을 용융시켜 피코팅체에 코팅층을 형성하기 위한 증착원을 포함하는 진공증착 코팅장치가 널리 사용되고 있다. 구체적으로는 외부 케이스 내에 코팅을 위한 스퍼터링 타겟을 설치하고, 이동가능한 대차 위에 공자전을 수행할 수 있는 지그 및 내부케이스를 설치하며, 그 내부케이스의 가운데에는 코팅물질을 용융시켜 피코팅체에 코팅층을 형성하기 위한 증착원을 설치한 진공증착 코팅장치가 사용되고 있다. 이때 이동대차는 외부 케이스 내부 및 외부 사이에서 자유롭게 이동할 수 있다. 그러나, 종래기술에 따른 진공증착 코팅장치는, 피코팅체에 서로 다른 2개의 코팅층을 형성하는 경우에 유용하게 사용된다. 예를 들어, 내부케이스 외부에 설치되는 증착원으로부터 증발된 코팅물질이 피코팅체의 코팅층을 형성하고, 내부케이스 내부에 설치되는 증착원으로부터 증발된 코팅물질이 피코팅체에 또 다른 코팅층을 형성함으로서, 단일의 장치로서 서로 다른 2개의 코팅층을 형성하도록 구성된다. 한편, 이러한 기존의 장치에는 내부케이스 외부에 설치되는 피코팅체를 코팅층을 형성시키기 위하여 개구가 설치되어 있게 된다.
피코팅체에 코팅층을 형성하기 위하여 먼저 내부케이스 외부에 배치되는 증착원을 동작시켜 상기 피코팅체에 1차 코팅층을 형성하고, 그 후에 내부케이스 내부에 배치되는 증착원을 동작시켜 피코팅체에 2차 코팅층을 형성하게 됨으로서 2층의 코팅층이 형성되도록 한다. 한편, 코팅이 완료된 후에는 상기 이동대차를 외부케이스로부터 빠져나오게 한다.
이러한 종래기술에 따른 진공증착 코팅장치는, 내부케이스의 외부에 배치된 증착원으로부터 코팅물질이 비산 및 스퍼터될 때 그 코팅물질이 피코팅체에만 부착시키는 것이 아니라 내부케이스의 개구를 통하여 내부케이스 내부의 공간으로 유입되어 내부케이스 내부에 배치되는 증착원의 표면을 오염시키게 된다.
이와 같이 내부케이스 내부에 배치된 증착원이 오염되는 경우에는 피코팅체에 코팅되는 코팅층이 원하는 형태로 형성되지 않게 된다는 문제점이 있게 된다.
1. 대한민국 공개특허 제10-2003-0063265호 (2003. 7. 28)
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 코팅과정에서 내부케이스 외부에 배치되는 증착원으로부터 비산되어 스퍼터된 코팅물질이 내부케이스 내부에 유입되는 것을 방지하는 진공증착 코팅장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 진공증착 코팅장치는, 제1코팅물질을 용융시켜 피코팅체에 코팅층을 형성하기 위한 제1증착원이 내부에 마련되는 내부케이스;
내부에 진공증착 챔버가 마련되고, 상기 내부케이스를 감싸도록 상기 내부케이스 외부에 마련되며, 제2코팅물질을 용융시켜 상기 피코팅체에 코팅층을 형성하기 위한 제2증착원이 설치되는 외부케이스; 및
상기 외부케이스와 내부케이스 사이에 배치되며 상기 피코팅체가 부착되는 지그를 포함하고,
상기 내부케이스는,
내부와 외부를 서로 연통시키도록 개구가 마련되는 고정커버와, 상기 고정커버의 개구를 상기 외부케이스에 대하여 개방 또는 폐쇄시킬 수 있도록 이동하는 이동커버와, 상기 이동커버를 이동시키는 구동원을 포함하되,
상기 이동커버가 상기 고정커버의 개구를 개방시켰을 때 상기 제1증착원으로부터 증발된 제1코팅물질이 상기 피코팅체에 도달가능하고, 상기 이동커버가 상기 고정커버의 개구를 폐쇄하였을 때 상기 제1증착원으로부터 증발된 제1코팅물질이 상기 피코팅체로 도달하지 않는 것을 특징으로 한다.
상기 진공증착 코팅장치에서,
상기 이동커버는 고정커버의 중심축에 대하여 회전이동할 수 있다.
상기 진공증착 코팅장치에서,
상기 구동원은,
상기 고정커버의 상측에 배치되어 있으며,
직선적으로 운동하는 피스톤로드를 가지는 실린더와, 상기 피스톤로드의 직선운동을 회전운동으로 변환시키며 상기 이동커버와 연결된 회전변환수단을 포함할 수 있다.
상기 진공증착 코팅장치에서,
상기 이동커버와 고정커버의 사이에는, 일단이 상기 이동커버에 부착되고 타단이 상기 고정커버에 부착되어 상기 이동커버를 상기 개구의 개방방향으로 탄성바이어스시키는 탄성바이어스수단이 마련될 수 있다.
상기 진공증착 코팅장치에서,
상기 이동커버와 고정커버의 사이에는, 상기 이동커버가 일정각도 이상 회전하는 것을 방지하는 스토퍼 수단이 마련될 수 있다.
상기 진공증착 코팅장치에서,
상기 스토퍼 수단은, 상기 이동커버에 설치되어 상기 이동커버와 함께 회전하는 제1몸체부와, 상기 고정커버에 설치되고, 상기 제1몸체부의 회전경로 상에 배치되며 상기 제1몸체부와 접촉하였을 때 상기 제1몸체부의 회전을 억제하는 제2몸체부를 포함하여 구성되되,
상기 제1몸체부 및 제2몸체부 중 적어도 어느 하나는 길이조정할 수 있다.
상기 진공증착 코팅장치에서,
상기 제2증착원은, 상기 내부케이스에 대하여 개방되거나 폐쇄될 수 있는 수용공간 내에 배치되어 있으며, 상기 내부케이스의 이동커버가 개방된 상태에 있을 때에 상기 제2증착원은 내부케이스에 대하여 폐쇄되도록 구성되어 있어 제1코팅물질이 제2증착원에 접촉되지 않도록 할 수 있다.
본 발명에 따른 진공증착 코팅장치는, 내부케이스를 개방 및 폐쇄가능한 이동커버를 구비함으로서, 내부케이스 외부로부터 비산되어 스퍼터된 코팅물질이 내부케이스 내부에 유입됨으로서, 내부케이스 내부를 오염시키는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공증착 코팅장치의 개략도.
도 2는 도 1의 작동도.
도 3은 도 1의 진공증착 코팅장치의 일부구성을 도시하고 있는 사시도.
도 4는 도 3의 일부확대사시도.
도 5는 도 3의 작동도.
도 6은 도 5의 일부확대사시도.
도 7은 도 1의 진공증착 코팅장치의 내부케이스 하부의 설계도.
도 8 은 도 1의 진공증착 코팅장치의 내부케이스를 위에서 바라본 도면.
도 9는 도 8의 내부케이스의 상부의 설계도.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공증착 코팅장치를 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.
본 발명에 따른 진공증착 코팅장치(10)는, 내부케이스(20), 외부케이스(30) 및 지그(40)를 포함하여 구성된다.
상기 내부케이스(20)는, 상기 외부케이스(30) 내부에 배치되며 이동대차(70)에 설치되는 것이다.
이러한 내부케이스(20)는, 고정커버(21)와, 이동커버(22), 구동원(23) 및 제1증착원(24)을 포함한다.
상기 고정커버(21)는, 대략 원통형상으로 이루어지되 측벽에는 상하방향으로 길게 연장되며 원주방향을 따라서 서로 일정간격 이격되어 배치되는 다수의 개구(211)를 마련하고 있다. 상기 개구(211)는 제1증착원(24)으로부터 비산되어 스퍼터된 제1코팅물질이 내부케이스(20) 외부에 배치되는 피코팅체(41)에 코팅될 수 있도록 안내하는 통로이다. 구체적으로는 내부케이스(20) 내부와 외부를 서로 연통시키는 구멍이다.
상기 고정커버(21)의 내부에는, 제1코팅물질을 용융시켜 피코팅체(41)에 코팅층을 형성하기 위한 제1증착원(24)이 마련되는데, 제1증착원(24)은 진공증착 장치에서 통상으로 채택되는 기술이므로 구체적인 설명은 생략한다.
상기 이동커버(22)는, 상기 고정커버(21)의 개구(211)를 상기 외부케이스(30)에 대하여 개방 또는 폐쇄시킬 수 있도록 이동하는 것으로서, 상기 이동커버(22)가 상기 고정커버(21)의 개구(211)를 개방시켰을 때 상기 제1증착원(24)으로부터 비산되어 스퍼터된 제1코팅물질이 상기 피코팅체(41)에 도달가능하게 하고, 상기 이동커버(22)가 상기 고정커버(21)의 개구(211)를 폐쇄하였을 때 상기 제1증착원(24)으로부터 증발된 제1코팅물질이 상기 피코팅체(41)로 도달하지 않는 것을 특징으로 한다. 한편, 이에 한정되는 것은 아니며, 고정커버(21)의 개구(211)가 폐쇄되었을 때 외부로부터 코팅물질이 유입되는 것도 방지할 수 있게 되는 것이다.
이러한 이동커버(22)는, 상기 고정커버(21)의 중심축에 대하여 회전이동될 수 있다. 구체적으로, 상기 이동커버(22)는 상기 고정커버(21)와 대응되는 형상을 가지되 적어도 일부분이 상기 고정커버(21)를 감싸도록 배치되어 있어 상기 이동커버(22)가 소정각도 일방향으로 회전하면 상기 고정커버(21)의 개구(211)를 개방시키고, 소정각도 타방향으로 회전하면 상기 고정커버(21)의 개구(211)를 폐쇄하도록 구성된다. 이러한 이동커버(22)는, 도 7에 도시된 바와 같이 그 하부가 고정커버(21)의 하단부에 X축 및 Y축으로 볼베어링(221)에 의하여 축지지되어 있어 회전중 흔들림이 적어지고 작은 힘으로도 회전이 가능하도록 구성되어 있다.
한편, 상기 이동커버(22)와 고정커버(21)의 사이에는 일단이 상기 이동커버(22)에 부착되고 타단이 상기 고정커버(21)에 부착되어 상기 이동커버(22)를 상기 개구(211)의 개방방향으로 탄성바이어스 시키는 탄성바이어스수단(50)이 마련되어 있게 된다. 구체적으로 상기 탄성바이어스수단(50)은, 상기 이동커버(22)의 상단에 마련된 회전판(222)과 상기 고정커버(21)의 상단에 각각 단부가 부착되어 있으며 상기 이동커버(22)가 폐쇄방향으로 이동하였을 때 상기 이동커버(22)를 개방향으로 탄성지지하도록 구성된다.
또한, 상기 이동커버(22)와 상기 고정커버(21)의 사에는 이동커버(22)가 일정각도 이상 회전하는 것을 방지하는 스토퍼 수단(60)이 마련되어 있게 된다. 구체적으로 도 8에 도시된 바와 같이, 스토퍼 수단(60)은, 이동커버(22)의 회전판(222)에 설치되어 이동커버(22)와 함께 회전하는 제1몸체부(61)와, 상기 고정커버(21)에 설치되며 상기 제1몸체부(61)의 회전경로 상에 배치되며 상기 제1몸체부(61)와 접촉하였을 때 상기 제1몸체부(61)의 회전을 억제하는 제2몸체부(62)를 포함하여 구성된다.
구체적으로 상기 제1몸체부(61)는 상기 이동커버(22)의 상단에 마련되는 회전판에 부착되어 있으며, 상기 제2몸체부(62)는 상기 제1몸체부(61)의 회전경로상에 돌출되어 배치된다. 상기 제1몸체부(61) 및 제2몸체부(62) 중 적어도 어느 하나는 길이조정가능하게 구성된다. 구체적으로, 상기 제2몸체부(62)는, 상기 고정커버(21)에 설치되는 브라켓(621)과, 상기 브라켓(621)에 고정되는 나사봉(622)과, 상기 나사봉(622)에 끼워져서 제1몸체부(61)와 접촉하는 너트(623)를 포함하여 구성된다. 상기 너트(623)가 상기 나사봉(622)에 대하여 길이방향으로 이동함에 따라서 전체적인 제2몸체부(62)의 길이를 조정할 수 있다.
이와 같이 스토퍼 수단(60)이 마련되는 경우에는 상기 이동커버(22)가 탄성바이어스수단(50)에 의하여 고정커버(21)의 폐쇄위치로 이동하는 경우에 상기 이동커버(22)가 폐쇄된 상태를 그대로 유지하게 하거나, 이동커버(22)가 상기 개방위치로 이동하는 경우에 상기 이동커버(22)가 개방위치를 벗어나서 폐쇄위치로 과도하게 회전하는 것을 제한하는 기능을 수행하게 된다.
상기 구동원(23)은, 이동커버(22)를 이동시킬 수 있는 것으로서, 구체적으로는 고정커버(21)의 상측에 배치되어 있으며, 직선적으로 운동하는 피스톤로드를 가지는 가스 실린더(231)와, 상기 피스톤로드의 직선운동을 회전운동으로 변환시키며 상기 이동커버(22)와 연결된 회전변환수단(232)을 포함한다. 상기 피스톤로드가 길이방향으로 신축함에 따라서 상기 회전변환수단(232)과 연결된 이동커버(22)는 고정커버(21)의 중심축에 대하여 회전될 수 있다.
상기 외부케이스(30)는 내부에 진공증착 챔버가 마련되고, 상기 내부케이스(20)를 감싸도록 상기 내부케이스(20) 외부에 배치된다. 상기 내부케이스(20)와 외부케이스(30) 사이에는 피코팅체(41)를 부착하는 지그(40)가 마련될 수 있도록 소정의 작업공간이 마련된다.
이러한 외부케이스(30)는 힌지식으로 개방 및 폐쇄될 수 있도록 구성되어 있으며, 하면에는 이동대차(70)가 내외부로 이동할 수 있는 레일이 설치될 수 있다.
상기 외부케이스(30)에는 진공증착을 위한 진공펌프와 연결되어 챔버 내부의 공기를 빼내는 배출관과, 외부의 공기를 유입시키는 유입관이 설치되나 이는 통상의 구조이므로 구체적인 설명은 생략한다.
상기 외부케이스(30)에는, 제2코팅물질을 용융시켜 상기 피코팅체(41)에 코팅층을 형성하기 위한 제2증착원(31)이 마련된다. 이러한 제2증착원(31)은 진공증착 장치에서 통상적으로 사용되는 구성이므로 구체적인 설명은 생략한다. 한편, 제2증착원(31)은, 내부케이스(20)에 대하여 개방되거나 폐쇄될 수 있는 수용공간(32) 내부에 배치되어 있는데, 상기 수용공간(32)에는 이동가능한 개폐수단(33)이 부착되어 있게 된다. 이에 따라서 내부케이스(20)의 이동커버(22)가 개방된 상태에 있을 때에는, 상기 제2증착원(31)은 상기 내부케이스(20)에 대하여 폐쇄되도록 구성되어 있어 제1코팅물질이 제2증착원(31)에 접촉되지 않도록 한다.
상기 지그(40)는, 외부케이스(30)와 내부케이스(20) 사이에 배치되며 상기 피코팅체(41)가 부착되는 것으로서, 이동대차(70)에 설치되어 있으며 상기 내부케이스(20)의 둘레는 따라서 상기 내부케이스(20)와 일정간격 이격되어 설치된다. 이러한 지그(40)는 자전가능하게 설치되어 있게 된다.
이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 진공증착 코팅장치(10)는 다음과 같은 작용효과를 가진다.
먼저, 이동대차(70)를 외부케이스(30)의 내부에 이동시켜 외부케이스(30) 내에 내부케이스(20) 및 지그(40)가 위치될 수 있도록 한 후에, 외부케이스(30) 내부가 진공상태에 이르도록 한다. 이후에 구동원(23)을 동작시켜 개방위치에 배치되어 있는 이동커버(22)를 폐쇄위치로 회전이동되게 한다. 이와 같이 내부케이스(20)가 폐쇄되면 제2증착원(31)을 동작시켜 제2코팅물질이 비산하면서 스퍼터링되어 피코팅체(41)의 표면에 소정의 코팅층이 형성되도록 한다.
이후에, 외부케이스(30)의 제2증착원(31)이 수용공간(32) 내에 폐쇄되도록 하고, 구덩원을 동작시켜 폐쇄위치에 있는 이동커버(22)가 개방위치로 회전이동되게 한다. 이와 같이 내부케이스(20)가 오픈되면 제1증착원(24)을 동작시켜 제1코팅물질이 비산하면서 스퍼터링되어 피코팅체(41)의 표면에 새로운 코팅층이 형성되도록 한다. 코팅이 완료되면 진공상태의 내부챔버를 대기압 조건으로 변경하고 외부케이스(30)를 개방하여 이동대차(70)를 외부로 빼내게 된다.
이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 진공증착 코팅장치는 다음과 같은 효과를 가진다.
먼저, 제2증착원이 가동되는 동안에는 내부케이스의 내부공간이 폐쇄되어 제2코팅물질이 상기 내부케이스의 내부공간 내에 들어오는 일이 없으며 이에 따라서 내부케이스의 제1증착원이 오염되는 일이 없다. 제1증착원에 불필요한 제2코팅물질이 형성되는 경우에는 원하는 코팅이 제대로 이루어지지 않기 때문이다.
또한, 내부케이스의 이동커버는 탄성바이어스수단에 의하여 일반적으로는 개방상태에 있기 때문에, 별도의 구동없이도 내부케이스 자체만으로 진공증착이 가능하다는 장점이 있다. 한편, 스터퍼 수단이 마련되어 있어 개방상태 및 폐쇄상태가 조정될 수 있어 개방상태를 지나쳐서 이동커버가 회전하는 경우가 없도록 하는 장점이 있다.
또한, 이동커버는 볼베어링에 의하여 X축 및 Y 축으로 축지지되어 있기 때문에, 회전운동시 흔들림이 최소화되고 최소의 힘으로 구동이 가능한 장점이 있다.
또한, 구동원이 이동커버의 상측에 배치되어 있어 이동대차가 이동할 때에는 간섭이 없다는 장점이 있다.
이상에서 실시예 및 다양한 변형예를 들어 본 발명을 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예들 및 변형예에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다.
10...진공증착 코팅장치 20...내부케이스
21...고정커버 211...개구
22...이동커버 221...볼베어링
23...구동원 231...구동원
232...회전변환수단 24...제1증착원
30...외부케이스 31...제2증착원
32...수용공간 33...개폐수단
40...지그 41...피코팅체
50...탄성바이어스수단 60...스토퍼 수단
61...제1몸체부 62...제2몸체부
70...이동대차

Claims (7)

  1. 제1코팅물질을 용융시켜 피코팅체에 코팅층을 형성하기 위한 제1증착원이 내부에 마련되는 내부케이스;
    내부에 진공증착 챔버가 마련되고, 상기 내부케이스를 감싸도록 상기 내부케이스 외부에 마련되며, 제2코팅물질을 용융시켜 상기 피코팅체에 코팅층을 형성하기 위한 제2증착원이 설치되는 외부케이스; 및 상기 외부케이스와 내부케이스 사이에 배치되며 상기 피코팅체가 부착되는 지그를 포함하고,
    상기 내부케이스는,
    내부와 외부를 서로 연통시키도록 개구가 마련되는 고정커버와, 상기 고정커버의 개구를 상기 외부케이스에 대하여 개방 또는 폐쇄시킬 수 있도록 상기 고정커버의 중심축에 대하여 회전이동하는 이동커버와, 상기 이동커버를 이동시키는 구동원을 포함하고,
    상기 구동원은, 상기 고정커버의 상측에 배치되어 있으며, 직선적으로 운동하는 피스톤로드를 가지는 실린더와, 상기 피스톤로드의 직선운동을 회전운동으로 변환시키며 상기 이동커버와 연결된 회전변환수단을 포함하되,
    상기 이동커버가 상기 고정커버의 개구를 개방시켰을 때 상기 제1증착원으로부터 증발된 제1코팅물질이 상기 피코팅체에 도달가능하고, 상기 이동커버가 상기 고정커버의 개구를 폐쇄하였을 때 상기 제1증착원으로부터 증발된 제1코팅물질이 상기 피코팅체로 도달하지 않는 것을 특징으로 하는 진공증착 코팅장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 이동커버와 고정커버의 사이에는, 일단이 상기 이동커버에 부착되고 타단이 상기 고정커버에 부착되어 상기 이동커버를 상기 개구의 개방방향으로 탄성바이어스시키는 탄성바이어스수단이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 진공증착 코팅장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 이동커버와 고정커버의 사이에는, 상기 이동커버가 일정각도 이상 회전하는 것을 방지하는 스토퍼 수단이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 진공증착 코팅장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 스토퍼 수단은,
    상기 이동커버에 설치되어 상기 이동커버와 함께 회전하는 제1몸체부와,
    상기 고정커버에 설치되고, 상기 제1몸체부의 회전경로 상에 배치되며 상기 제1몸체부와 접촉하였을 때 상기 제1몸체부의 회전을 억제하는 제2몸체부를 포함하여 구성되되,
    상기 제1몸체부 및 제2몸체부 중 적어도 어느 하나는 길이조정가능한 것을 특징으로 하는 진공증착 코팅장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제2증착원은, 상기 내부케이스에 대하여 개방되거나 폐쇄될 수 있는 수용공간 내에 배치되어 있으며, 상기 내부케이스의 이동커버가 개방된 상태에 있을 때에 상기 제2증착원은 내부케이스에 대하여 폐쇄되도록 구성되어 있어 제1코팅물질이 제2증착원에 접촉되지 않도록 하는 것을 특징으로 하는 진공증착 코팅장치.
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