KR101321471B1 - 태양광 발전용 모듈의 전면 유리기판에 미세돌기 구조를 형성하는 방법 - Google Patents

태양광 발전용 모듈의 전면 유리기판에 미세돌기 구조를 형성하는 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 태양광 발전용 모듈의 전면 유리기판에 미세돌기 구조를 형성하는 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 유리기판에 열경화성 레진을 도포하고 경화시킨 후, 자체 제작한 X-Y 테이블 장치를 이용하여 미세돌기 형상을 형성시킴으로써, 고가의 식각기술, 장비 등을 요하지 않고, 미세돌기 구조의 형성 공정이 간단하며, 저비용으로 전면 유리기판의 반사율을 낮출 수 있을 뿐만 아니라, 플라즈마 기술을 응용하여 소수성 코팅을 함으로써 셀프 클리닝 기능으로 오염에 의한 발전효율 감소를 방지하여, 모듈 자체에 세정장치를 추가하거나 외부에 세정시스템을 별도로 설치할 필요가 없는 태양광 발전용 모듈의 전면 유리기판에 미세돌기 구조를 형성하는 방법에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명은 (a) 유리기판의 표면에 접착력 향상을 위한 플라즈마 코팅을 수행하는 단계; (b) 상기 유리기판을 히터 위에 장착하고, 투명하고 일정 경도 이상을 갖는 열경화성 레진을 도포하는 단계; (c) 상기 히터로 상기 유리기판을 가열하여 상기 열경화성 레진을 경화시키는 단계; (d) 상기 (c)단계에 의해 경화된 상기 열경화성 레진 상에 요철이 형성된 X-Y 테이블 장치를 통과시켜 미세돌기 구조를 형성하는 단계; 및 (e) 상기 (d)단계의 결과물에 플라즈마 소수성 코팅을 수행하여 셀프 클리닝(self-cleaning) 기능을 부여하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양광 발전용 모듈의 전면 유리기판에 미세돌기 구조를 형성하는 방법을 제공한다.

Description

태양광 발전용 모듈의 전면 유리기판에 미세돌기 구조를 형성하는 방법{Method for making micro projections to front glass plate of solar energy module}
본 발명은 태양광 발전용 모듈의 전면 유리기판에 미세돌기 구조를 형성하는 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 유리기판에 열경화성 레진을 도포하고 경화시킨 후, 자체 제작한 X-Y 테이블 장치를 이용하여 미세돌기 형상을 형성시킴으로써, 고가의 식각기술, 장비 등을 요하지 않고, 미세돌기 구조의 형성 공정이 간단하며, 저비용으로 전면 유리기판의 반사율을 낮출 수 있을 뿐만 아니라, 플라즈마 기술을 응용하여 소수성 코팅을 함으로써 셀프 클리닝 기능으로 오염에 의한 발전효율 감소를 방지하여, 모듈 자체에 세정장치를 추가하거나 외부에 세정시스템을 별도로 설치할 필요가 없는 태양광 발전용 모듈의 전면 유리기판에 미세돌기 구조를 형성하는 방법에 관한 것이다.
최근 화석연료의 고갈과 원자력 발전의 위험성에 대한 인식이 제고됨에 따라, 태양광 발전과 같은 신재생에너지에 관한 관심이 더욱 높아지고 있다.
양광을 이용한 발전방식 중 대표적인 것으로 태양전지가 있다. 태양전지는 무한한 청정 에너지인 태양광 에너지를 에너지원으로 하여 전기에너지를 생산해 내는 것으로, 대체적으로 반도체 소자를 이용하고 있다.
국내 신재생 에너지원별 분석을 참조하면 태양광발전 시스템이 가장 큰 비중을 차지하고 있어, 향후에도 지속적으로 증가할 것으로 예상된다. 따라서, 태양광 발전시스템의 효율향상과 저비용화가 시급한 상황이다.
태양광 발전 모듈은 일반적으로 백시트(Back sheet), 후면 충진재, 태양전지 셀, 전면 충진재, 전면 유리기판으로 이루어져 있다. 태양전지 셀은 반도체 소자로 구성되어 있어 옥외에 설치할 경우 반디시 실장을 해 주어야 하므로, 태양광 발전 모듈에서 전면 유리기판은 필수 소재 중의 하나이다. 전면 유리기판은 태양광이 투과해야 하기 때문에 투명하고 투과율과 내후성이 우수한 강화유리를 일반적으로 사용하고 있다.
하지만, 이러한 일반적인 강화유리 전면 유리기판은 표면이 평탄한 관계로, 상대적으로 태양고도가 낮을 경우 태양광과 유리기판 표면이 이루는 각이 작아져 상대적으로 반사율이 높아지는 문제점이 있다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 유기 기판의 표면에 화학적 식각, 플라즈마 식각, 사진인쇄법 등을 이용하여 특정한 구조를 형성시키는 기술이 소개되어 있다. 그러나, 이러한 방식들은 고비용으로 인해 양산성이 떨어지는 문제점이 있다.
또한, 이러한 일반적인 강화유리 전면 유리기판은 분진, 황사먼지 등으로 인해 유리기판 표면이 오염되고 그에 따라 전력손실이 발생하고 발전효율이 감소되는 문제점이 있다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 모듈 자체에 세정장치를 설치하거나 외부에 설치하여 오염물을 인위적으로 세정함으로써 효율을 향상시키는 기술이 소개되어 있다. 그러나, 이러한 방식들은 설치비가 고가인 문제점이 있다.
태양광 발전 시스템에 있어서 태양광 발전 모듈 가격이 차지하는 비중이 크고 시스템 설치시 소요되는 모듈 설치비용, 설치에 필요한 부지 비용, 유지관리비 등 태양전지 이외의 비용이 태양전지의 총 면적에 비례하기 때문에, 태양광 발전 시스템의 효율증가는 태양광 발전 시스템의 제조단가를 낮출 뿐만 아니라 발전단가를 낮추는 중요한 변수에 해당한다.
따라서, 고가의 식각기술과 장비 등을 사용하지 않고 적은 비용으로 유리기판 표면에 특정 구조를 형성시켜 태양고도가 낮을 경우에도 반사율을 낮추고, 별도의 세정장치를 설치하지 않고도 표면을 오염시키는 분진 등을 제거함으로써 태양광 발전의 효율을 극대화하고 제조단가 및 발전단가를 낮출 수 있는 기술에 대한 개발 필요성이 대두된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 특히 고가의 식각기술, 장비 등을 요하지 않고도 저비용으로 전면 유리기판의 반사율을 낮출 수 있고, 모듈 자체에 세정장치를 추가하거나 외부에 세정시스템을 별도로 설치할 필요가 없이 분진, 황사먼지 등의 세정이 가능한 태양광 발전용 모듈의 전면 유리기판에 미세돌기 구조를 형성하는 방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위해 안출된 본 발명에 따른 태양광 발전용 모듈의 전면 유리기판에 미세돌기 구조를 형성하는 방법은 (a) 유리기판의 표면에 접착력 향상을 위한 플라즈마 코팅을 수행하는 단계; (b) 상기 유리기판을 히터 위에 장착하고, 투명하고 일정 경도 이상을 갖는 열경화성 레진을 도포하는 단계; (c) 상기 히터로 상기 유리기판을 가열하여 상기 열경화성 레진을 경화시키는 단계; (d) 상기 (c)단계에 의해 경화된 상기 열경화성 레진 상에 요철이 형성된 X-Y 테이블 장치를 통과시켜 미세돌기 구조를 형성하는 단계; 및 (e) 상기 (d)단계의 결과물에 플라즈마 소수성 코팅을 수행하여 셀프 클리닝(self-cleaning) 기능을 부여하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 (d)단계의 상기 X-Y 테이블 장치는 막대에 금속 와이어를 감아 X-Y 테이블에 장착시킨 것일 수 있다.
또한, 상기 (a)단계의 플라즈마 코팅과 상기 (e)단계의 플라즈마 소수성 코팅은 플라즈마 코팅장치에 의해 수행되며, 상기 플라즈마 코팅장치는 진공챔버; 상기 진공챔버 내부에 한 쌍이 서로 마주보도록 배치되는 제1 전극과 제2 전극; 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 중 어느 하나의 일측면에 장착되는 히터; 상기 진공챔버의 일측에 구비되어 상기 진공챔버 내부를 진공으로 만들기 위한 통로를 제공하는 펌핑관(Gas outlet pumping); 상기 진공챔버의 타측에 구비되어 외부로부터 가스가 투입되는 통로를 제공하는 가스 투입관; 상기 가스 투입관을 통해 기화된 전구체와 캐리어 가스(carrier gas)를 투입하기 위해 상기 전구체를 기화시키는 기화기(Vaporizer); 및 상기 전구체를 상기 기화기로 정량 투입하기 위한 액체 유량 제어기(LMFC)를 포함할 수 있다.
본 발명에 의하면 유리기판에 열경화성 레진을 도포하고 경화시킨 후, 자체 제작한 X-Y 테이블 장치를 이용하여 미세돌기 형상을 형성시킴으로써, 고가의 식각기술, 장비 등을 요하지 않고, 미세돌기 구조의 형성 공정이 간단하며, 저비용으로 전면 유리기판의 반사율을 낮출 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의하면 플라즈마 기술을 응용하여 소수성 코팅을 함으로써 셀프 클리닝 기능으로 오염에 의한 발전효율 감소를 방지하여, 모듈 자체에 세정장치를 추가하거나 외부에 세정시스템을 별도로 설치할 필요가 없는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 태양광 발전용 모듈의 전면 유리기판에 미세돌기 구조를 형성하는 방법의 흐름도,
도 2는 도 1의 흐름도에 따라 전면 유리기판에 미세돌기 구조를 형성하는 과정을 도시한 사시도.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 태양광 발전용 모듈의 전면 유리기판에 미세돌기 구조를 형성하는 방법에서 플라즈마 코팅을 위한 플라즈마 코팅장치의 구조를 도시한 개념도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 변형되어 다양하게 실시될 수 있음은 물론이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 태양광 발전용 모듈의 전면 유리기판에 미세돌기 구조를 형성하는 방법의 흐름도이고, 도 2는 도 1의 흐름도에 따라 전면 유리기판에 미세돌기 구조를 형성하는 과정을 도시한 사시도이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 태양광 발전용 모듈의 전면 유리기판에 미세돌기 구조를 형성하는 방법은, 도 1 및 도 2를 참조하면, 로딩(Loading) 단계, 클리닝 단계, 코팅액 도포단계, 이송 및 압착단계, 열경화 단계, 미세돌기 구조 형성단계, 플라즈마 소수성 코팅단계, 및 언로딩(Unloading) 단계를 포함하여 이루어진다.
로딩 단계는 전면 유리기판을 플라즈마 코팅장치에 장착하여 플라즈마 코팅을 준비하는 단계이다.
클리닝 단계는 유리기판의 표면에 접착력 향상을 위한 플라즈마 코팅을 수행하는 단계이다. 클리닝 단계를 통해 유리기판에 열경화성 레진을 도포하기 전에 유리기판과 열경화성 레진의 접착력을 향상시키게 된다. 플라즈마 코팅에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다.
코팅액 도포단계는 유리기판(120)을 히터(100) 위에 장착하고, 투명하고 일정 경도 이상을 갖는 열경화성 레진(140)을 도포하는 단계이다. 이때, 열경화성 레진은 경화된 상태를 기준으로 대략 5~6 H 이상의 경도를 갖는 것이 바람직하며, 여기서 열경화성 레진의 경도를 한정하는 것은 아니다. 열경화성 레진의 도포는 코팅액 도포기(130)를 이용하여 수행할 수 있으며, 여기서 열경화성 레진의 도포방식을 한정하는 것은 아니다.
이송 및 압착단계는 유리기판(120)을 롤러(115)에 의해 압착시키면서 이송하는 단계이다.
열경화 단계는 히터(100)로 유리기판(120)을 가열하여 열경화성 레진(140)을 경화시키는 단계이다.
미세돌기 구조 형성단계는 열경화 단계에 의해 경화된 열경화성 레진(140) 상에 요철(155)이 형성된 X-Y 테이블 장치(150)를 통과시켜 열경화성 레진(140)의 표면에 미세돌기 구조(160)를 형성하는 단계이다. 이때 X-Y 테이블 장치(150)는 막대에 금속 와이어를 감아 X-Y 테이블에 장착시키는 형태로 제조될 수 있으며, 여기서 X-Y 테이블 장치의 세부구조를 한정하는 것은 아니다.
유리기판의 표면에 직접 특정 구조를 형성하기 위해서는 화학적 식각, 플라즈마 식각, 사진인쇄법 등 고가의 공정과 장비가 필요하다. 그러나, 본 발명에서는 유리기판의 표면에 직접 특정 구조를 형성시키는 대신, 유리기판에 투명한 열경화성 레진을 도포하여 경화시킨 후 직접 제작한 저비용의 X-Y 테이블 장치로 경화된 레진에 미세돌기 구조를 형성시킨다. 이를 통해 반사율을 감소시켜 발전 효율을 향상시킬 수 있다.
플라즈마 소수성 코팅단계는 미세돌기 구조가 형성된 유리기판에 플라즈마 소수성 코팅을 수행하여 셀프 클리닝(self-cleaning) 기능을 부여하는 단계이다. 플라즈마 코팅에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다. 플라즈마 소수성 코팅은 태양광 발전 시스템의 관리 및 유지를 위한 막대한 비용을 절감하기 위한 것으로, 유리기판에 분진, 황사먼지 등이 빗물 등에 의해 스스로 떨어져 세정될 수 있는 효과를 제공한다.
이와 같이 플라즈마 기술을 응용하여 소수성 코팅을 함으로써 셀프 클리닝 기능으로 오염에 의한 발전효율 감소를 방지하여, 모듈 자체에 세정장치를 추가하거나 외부에 세정시스템을 별도로 설치할 필요가 없다.
언로딩(Unloading) 단계는 플라즈마 소수성 코팅이 완료된 유리기판을 플라즈마 코팅장치로부터 분리해내는 단계이다.
언로딩 단계가 완료되면 표면에 미세돌기 구조가 형성된 전면 유리기판이 제조되며, 이러한 전면 유리기판을 이용하여 태양광 발전 모듈을 구성하면 된다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 태양광 발전용 모듈의 전면 유리기판에 미세돌기 구조를 형성하는 방법에서 플라즈마 코팅을 위한 플라즈마 코팅장치의 구조를 도시한 개념도이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 태양광 발전용 모듈의 전면 유리기판에 미세돌기 구조를 형성하는 방법에서 플라즈마 코팅을 위한 플라즈마 코팅장치는, 도 3을 참조하면, 진공챔버(10), 제1 전극(12), 제2 전극(14), 히터(16), 백시트(18), 펌핑관(20), 가스 투입관(22), 기화기(24), 전구체(26), 액체 유량 제어기(LMFC, Liquid Mass Flow Controller)(28), 및 유량 제어기(MFC, Mass Flow Controller)(30, 32)를 포함하여 이루어진다.
진공챔버(10)에는 전극(12, 14)에 전압을 인가하기 위한 전원 공급부가 전극(12, 14)과 전기적으로 연결된다.
제1 전극(12)과 제2 전극(14)은 진공챔버(10) 내부에 한 쌍이 서로 마주보도록 배치된다. 제1 전극(12)과 제2 전극(14)은 외부의 전원 공급부로부터 전압을 인가받아 진공챔버(10) 내부에 투입된 기화된 전구체를 이온화하여 플라즈마를 발생시킨다.
히터(16)는 제2 전극(14)의 일측면에 장착되어, 제2 전극(14)과 진공챔버(10) 내부를 가열한다.
전면 유리기판(18)은 제2 전극(14)의 타측면에 장착되며, 발생된 플라즈마가 전면 유리기판(18)의 표면에 증착되어 접착력 향상을 위한 코팅막과, 셀프 클리닝을 위한 소수성 코팅막이 형성된다.
펌핑관(20)은 진공챔버(10)의 일측에 구비되어 진공챔버(10) 내부를 진공으로 만들기 위한 통로를 제공한다.
가스 투입관(22)은 진공챔버(10)의 타측에 구비되어 외부로부터 가스가 투입되는 통로를 제공한다. 외부로부터 투입되는 가스로는 기화된 전구체와 캐리어 가스(carrier)가 있다.
가스 투입관(22)을 통해 기화된 전구체와 캐리어 가스를 투입하기 위해 기화기(24)는 액상의 전구체(26)를 기화시킨다.
전구체(26)는 진공챔버(10) 내부에 플라즈마를 발생시키기 위해 액상의 상태로 기화기(24)에 투입된다.
액체 유량 제어기(28)는 전구체(26)를 기화기(24)로 정량 투입되도록 한다.
유량 제어기(30, 32)는 효과적인 플라즈마 코팅을 위한 캐리어 가스로 사용될 가스(편의상 'A' gas와 'B' gas로 도시하였음)의 유량을 제어하여 가스 투입관(22)을 통해 정량 투입되도록 한다.
이와 같은 플라즈마 코팅장치를 이용하여 전면 유리기판에 플라즈마 코팅막을 형성하는 과정은 다음과 같다.
먼저, 플라즈마 코팅장치의 진공챔버(10) 내부에 전면 유리기판 또는 미세돌기 구조를 가진 레진이 형성된 전면 유리기판(18)을 장착하고, 펌핑관(20)을 이용하여 진공챔버(10) 내부를 진공 상태로 만든다.
다음으로, 액체 유량 제어기(28)를 이용하여 기화기(24)에 전구체(26)를 정량으로 투입하여 기화시킨다.
다음으로, 기화기(24)에 의해 기화된 전구체 가스를 가스 투입관(22)을 통해 진공챔버(10) 내부로 투입한다. 이때, 기화된 전구체와 함께, 유량 제어기(30, 32)를 이용하여 캐리어 가스를 정량으로 가스 투입관(22)을 통해 진공챔버(10) 내부로 투입한다. 즉, 기화된 전구체 가스와 캐리어 가스가 가스 투입관(22)을 통해 진공챔버(10) 내부로 동시에 투입된다.
다음으로, 진공챔버(10) 내부로 투입된 기화된 전구체가 진공챔버(10) 내부에서 안정화되면 진공챔버(10) 내부의 전극(12, 14)에 전압을 인가하여 플라즈마를 발생시킴으로써, 전면 유리기판(18)에 코팅막을 형성한다.
이와 같이 본 발명은 유리기판에 열경화성 레진을 도포하고 경화시킨 후, 자체 제작한 X-Y 테이블 장치를 이용하여 미세돌기 형상을 형성시킴으로써, 고가의 식각기술, 장비 등을 요하지 않고, 미세돌기 구조의 형성 공정이 간단하며, 저비용으로 전면 유리기판의 반사율을 낮출 수 있다.
태양광 발전 시스템 모듈은 유지 관리를 위해 세정장치 등 막대한 비용이 소요되는데, 본 발명은 플라즈마 소수성 코팅으로 셀프 클리닝 기능을 부여함으로써 비용을 절감시킬 수 있다. 이러한 플라즈마 코팅 기술을 활용한 소수성 코팅에 의한 셀프 클리닝 기술은 전체 태양광 발전 모듈 시장의 저비용화 흐름에 부합되며 동시에 효율을 향상시키고, 다른 에너지 부문에서도 큰 에너지 절감효과를 가져올 수 있을 것으로 예상된다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
2 - 태양전지 셀 4 - EVA 층
6 - 유리기판 8 - 백시트
10 - 진공챔버 12 - 제1 전극
14 - 제2 전극 16 - 히터
18 - 백시트 20 - 펌핑관
22 - 가스 투입관 24 - 기화기
26 - 전구체 28 - LMFC
30, 32 - MFC 100 - 히터
115 - 롤러 120 - 유리기판
130 - 코팅액 도포기 140 - 열경화성 레진
150 - X-Y 테이블 장치 160 - 미세돌기 구조

Claims (3)

  1. (a) 유리기판의 표면에 접착력 향상을 위한 플라즈마 코팅을 수행하는 단계;
    (b) 상기 유리기판을 히터 위에 장착하고, 투명하고 일정 경도 이상을 갖는 열경화성 레진을 도포하는 단계;
    (c) 상기 히터로 상기 유리기판을 가열하여 상기 열경화성 레진을 경화시키는 단계;
    (d) 상기 (c)단계에 의해 경화된 상기 열경화성 레진 상에 요철이 형성된 X-Y 테이블 장치를 통과시켜 미세돌기 구조를 형성하는 단계; 및
    (e) 상기 (d)단계의 결과물에 플라즈마 소수성 코팅을 수행하여 셀프 클리닝(self-cleaning) 기능을 부여하는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양광 발전용 모듈의 전면 유리기판에 미세돌기 구조를 형성하는 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 (d)단계의 상기 X-Y 테이블 장치는 막대에 금속 와이어를 감아 X-Y 테이블에 장착시킨 것임을 특징으로 하는 태양광 발전용 모듈의 전면 유리기판에 미세돌기 구조를 형성하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 (a)단계의 플라즈마 코팅과 상기 (e)단계의 플라즈마 소수성 코팅은 플라즈마 코팅장치에 의해 수행되며, 상기 플라즈마 코팅장치는
    진공챔버;
    상기 진공챔버 내부에 한 쌍이 서로 마주보도록 배치되는 제1 전극과 제2 전극;
    상기 제1 전극과 상기 제2 전극 중 어느 하나의 일측면에 장착되는 히터;
    상기 진공챔버의 일측에 구비되어 상기 진공챔버 내부를 진공으로 만들기 위한 통로를 제공하는 펌핑관(Gas outlet pumping);
    상기 진공챔버의 타측에 구비되어 외부로부터 가스가 투입되는 통로를 제공하는 가스 투입관;
    상기 가스 투입관을 통해 기화된 전구체와 캐리어 가스(carrier gas)를 투입하기 위해 상기 전구체를 기화시키는 기화기(Vaporizer); 및
    상기 전구체를 상기 기화기로 정량 투입하기 위한 액체 유량 제어기(LMFC)
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양광 발전용 모듈의 전면 유리기판에 미세돌기 구조를 형성하는 방법.


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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH09153634A (ja) * 1995-11-29 1997-06-10 Sony Corp 太陽電池用電極内蔵透明基板およびその製造方法ならびに太陽電池装置
JP2009302109A (ja) 2008-06-10 2009-12-24 Citizen Holdings Co Ltd 太陽電池とその製造方法

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