KR101314639B1 - 살균처리시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 순수 또는 초순수 보관탱크 및/또는 배관라인에 전기분해장치를 설치하여 살균을 행하도록 한 시스템을 제공하도록 하되, 상기 전기분해장치를 사용하여, 순수 또는 초순수의 ORP와 PH를 조절하는 것에 의해, 순수 또는 초순수 보관탱크 및 배관라인 내를 미생물이 생존할 수 없는 영역으로 설계하도록 한 것을 기술적 특징으로 한다.

초순수, ORP, PH, 배관 라인, 순환 라인, 살균

Description

살균처리시스템{STERILIZING SYSTEM}

본 발명은 살균처리시스템에 관한 것으로, 특히 순수 및 초순수를 제공하는 보관탱크 및 배관 라인을 살균하기 위한 살균처리시스템에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체용 실리콘 기판, 액정용 유리 기판 등의 세척, 병원과 제약회사, 식품회사, 화장품제조사 등에서는 순수 및 초순수가 사용되고 있다. 이렇게 사용되고 있는 순수 및 초순수를 제작하는 제조장치는 대개, 여과장치, 역삼투막 장치, 탈기 장치, 이온 교환 장치등으로 구성된 1차 정제장치와 자외선 조사장치, 이온 교환막 장치, UF장치 등으로 구성된 2차 정제장치를 통하여 제조되고 있다. 이러한 장치를 통하여 제조된 순수 또는 초순수는 보관탱크에 저장되어 있다가, 배관 라인을 통하여 필요로 하는 제조공정으로 보내지게 된다.

한편, 기존에 제조되는 순수 및 초순수는 미생물이 번식하기에 알맞은 환경을 갖추고 있다. 따라서, 순수 및 초순수가 보관되는 보관탱크와 배관 라인에는 상기 순수 및 초순수가 저장되는 기간이 길면 길수록 미량의 미생물이 번식하게 되 고, 이렇게 발생된 미생물은 순수 또는 초순수를 오염시켜 전자 재료의 불량원인이 될 수 있을 뿐 아니라, 병원과 제약회사 또는 식품회사 등에서 사용되는 경우에는 인명피해까지 발생시킬 수 있다는 문제가 있다. 따라서, 순수 및 초순수를 제공 및 공급하기 위해서는 살균을 행하는 것이 매우 중요하며, 특히 순수 또는 초순수의 특성의 변화를 가져오는 것 없이 살균을 행하도록 하는 것이 중요하다.

상술한 바와 같이 발생하는 미생물에 의한 오염을 제거하기 위한 방법으로, 순수 또는 초순수 공급탱크에 오존을 사용하여 미생물을 제거하도록 하는 장치가 개시된 발명으로 한국등록실용신안 제235204호가 있다. 상기 실용신안은 반도체 세정수의 살균장치에 관한 것으로, 특히 하우징의 출구에 오존을 배출하도록 하는 것에 의해, 초순수에 존재하는 박테리아와 세균 및 미생물 등을 살균함으로써 반도체의 세정공정을 완전하게 이루어질 수 있도록 한 반도체 세정수의 살균장치를 개시하고 있다.

그러나, 오존의 살균력은 오랜 시간 동안 지속되지 못한다는 문제가 있다. 따라서, 상술한 바와 같이, 순수 또는 초순수 공급 탱크에 오존을 공급한다고 하더라도, 상기 탱크로부터 배관을 통하여 수 미터를 통과하게 되면 상기 살균력은 거의 효력을 잃게 된다. 따라서, 오존의 살균력이 미치지 않는 배관 라인에는 미생물이 번식하여 상기 배관 라인을 오염시키는 문제가 발생한다. 또한, 오존수의 용존오존은 불안정으로 분해하여 물과 산소가스로 되기 쉽기 때문에 장거리 배관의 전장에 걸쳐 살균하는 것이 어렵다는 문제가 있다. 부가하여, 순수 또는 초순수 배관 라인을 오존수로 살균하는 경우에는, 살균한 처리수에 오존이 용해하고 있기 때문에 이를 배출하는 경우 상기 오존을 별도로 분해 제거하여야 한다는 문제가 있다. 이는 오존 자체 역시 인체에 해로운 영향을 미치기 때문이다. 따라서, 종래에는 상술한 바와 같은 오존을 별도로 분해 제거하기 위해 활성탄에 의한 분해방법을 쓰고 있으나, 이 경우 설비 비용이 상당히 증가한다는 문제가 있다.

따라서, 상술한 바와 같이 오존을 배관 라인에 공급하는 경우에는, 배관라인 전장에 걸쳐서 살균이 어렵다는 문제 및 상기 순수 또는 초순수에 남아 있는 오존을 제거하기 위해 별도의 설비 비용이 증가한다는 문제가 있다.

한편, 상술한 바와 같이 오존을 사용하는 것 외에도, 자외선 살균기를 순수 또는 초순수 공급탱크와 배관 라인에 설치하도록 하는 것에 의해 미생물 침투 및 번식을 방지하도록 한 기술이 종래 사용되고 있다. 그러나, 이와 같은 자외선 살균기에 의한 살균장치도 자외선 살균기에 의해 직접적으로 조명되는 부분만 살균이 되기 때문에 자외선 살균 방식 또한 살균력이 미치지 못하는 부분의 미생물의 침투 및 번식을 효과적으로 막지 못한다는 문제가 있다.

따라서, 본 발명의 출원인은 순수 또는 초순수를 보관하는 보관탱크 뿐만 아리나 상기 보관탱크로부터 순수 또는 초순수를 공급하는 배관라인에 이르기까지 살 균을 행할 수 있는 시스템 및 장치를 강구하게 되었다.

상술한 바와 같은 문제를 해결하기 위해, 본 출원인은 순수 또는 초순수 보관탱크 및/또는 배관라인에 전기분해장치를 설치하여 살균을 행하도록 한 시스템을 제공하도록 한 것을 기술적 특징으로 한다.

또한, 본원발명은 상기 전기분해장치를 사용하여, 순수 또는 초순수 보관탱크 및 배관 라인을 ORP와 PH를 조절하여 미생물이 생존할 수 없는 영역으로 설계하도록 한 것을 기술적 특징으로 한다.

또한, 본원발명은 순수 또는 초순수 보관탱크에 순환 라인을 별도로 설치하고, 상기 회수라인 상에 전기분해장치를 설치하여 상기 순수 또는 초순수 보관탱크의 살균을 행하도록 한 것을 기술적 특징으로 한다.

상술한 바와 같은 기술적 특징을 달성하도록 형성된 본원발명에 따른 살균처리장치시스템은 순수 또는 초순수를 보관하는 보관 탱크; 상기 보관 탱크에 순환하도록 연결되어 상기 순수 또는 초순수를 공급하도록 형성된 배관 라인; 및 상기 배관 라인에 설치되어 상기 순수 또는 초순수를 살균하도록 하는 전기분해장치를 포함하여 구성되는 것을 기술적 특징으로 하며,

다른 살균처리장치시스템은 순수 또는 초순수를 보관하는 보관 탱크; 상기 보관 탱크에 순환하도록 연결되어 상기 순수 또는 초순수를 공급하도록 형성된 배관 라인; 상기 보관 탱크에 순환하도록 연결되어 상기 순수 또는 초순수를 순환하도록 형성된 순환 라인; 및 상기 배관 라인 및 순환 라인에 설치되어 상기 순수 또는 초순수를 살균하도록 하는 전기분해장치를 포함하여 구성된 것을 기술적 특징으로 한다.

한편, 상기 전기분해장치의 동작은 미생물생존범위영역을 벗어나도록 하는 ORP와 PH 범위에서 동작하되, 상기 ORP의 범위는 +900mV 이상 또는 -250mV 이하이며, 상기 PH의 범위는 2 이하 또는 12 이상인 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 전기분해장치는 수압에 영향받지 않고 전류가 일정하게 흐르도록 하기 위해 애노드 전극과 캐소드 전극이 직렬로 다단계 전극으로 형성되고, 상기 캐소드 전극과 애노드 전극사이에 양이온교환막과 음이온교환막이 형성되며, 상기 이온교환막과 전극사이에 이온교환수지가 충진되는 것을 기술적 특징으로 한다.

상술한 본원발명의 목적은 이 기술분야에서 숙련된 당업자에 의해, 첨부된 도면을 참조하여 후술되는 본 발명의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확해질 것이다.

본 발명에 따른 살균처리시스템을 사용하도록 하는 것에 의해, 순수 또는 초순수 보관탱크와 배관 라인 전체의 살균을 행할 수 있도록 한 것을 기술적 장점으로 한다.

또한, 본원발명에 따른 살균처리시스템을 사용하도록 하는 것에 의해, 순수 또는 초순수의 특성을 유지하면서 미생물의 살균을 행할 수 있도록 한 것을 기술적 특징으로 한다.

또한, 본원발명에 따른 살균처리시스템은 살균처리시스템이 배관 라인 내에 형성됨으로 인해, 상기 배관 라인 내의 순수 또는 초순수가 순환하도록 함으로써, 보관탱크 뿐만 아니라, 배관 라인 전체의 모든 균 및 미생물을 살균할 수 있다는 기술적 장점이 있다.

이상에서의 서술은 특정의 실시예와 관련한 것으로, 청구범위에 의해 나타난 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 개조 및 변화가 가능하다는 것을 당 업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 쉽게 알 수 있을 것이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본원발명에 따른 살균장치처리시스템의 일 실시예를 도시하고, 도 2는 미생물생존범위영역을 도시하며, 도 3은 본원발명에 사용되는 전기분해장치를 도시하고, 도 4는 본원발명에 따른 다른 실시예를 도시한다.

본원발명에 따른 출원인은 순수 또는 초순수를 공급하는 시스템에 있어, 미생물에 의한 오염이 발생하는 경우 상기 종래기술에서 설명한 바와 같이 오존 또는 자외선을 사용하는 종래의 방법으로는 이를 완벽하게 제거할 수 없음을 확인하고, 이와 같은 문제를 해결하기 위해 고민하던 중, 상기 순수 또는 초순수를 공급하는 시스템에 미생물이 생존할 수 없는 환경을 만들면 이와 같은 문제를 깨끗하게 해결할 수 있음을 발견하였다. 구체적으로, 도 2에 도시되어 있는 바와 같이 미생물생존영역범위를 벗어나도록 상기 순수 또는 초순수 공급시스템의 환경을 설계하면 상술한 바와 같은 문제를 모두 해결할 수 있다는 것을 확인하였다. 따라서, 이와 같은 기술적 목적을 달성하기 위해, 본원발명의 출원인은 상기 순수 또는 초순수 공급시스템에 전기분해장치를 사용한 살균처리장치 시스템을 설치하도록 하여 상술한 바와 같은 문제를 모두 해결하도록 하고 있다.

이하, 도면을 참고하여 본원발명에 따른 순수 또는 초순수 공급시스템에 있어, 살균처리장치시스템을 설명하면 다음과 같다.

도 1에는 본원발명에 따른 살균처리장치시스템이 도시되어 있는 바, 상기 도면을 참고하면, 본원발명에 따른 살균처리장치시스템은 순수 또는 초순수를 보관하는 보관 탱크(100)와, 상기 보관 탱크(100)에 순환하도록 연결되어 상기 순수 또는 초순수를 공급하도록 형성된 배관 라인(110) 및 상기 배관 라인(110)에 설치되어 상기 순수 또는 초순수를 살균하도록 하는 전기분해장치(120)를 포함하여 구성된다. 즉, 본원발명에 따른 살균처리장치시스템은 순수 또는 초순수를 공급하는 배관 라인(110) 상에 전기분해장치(120)를 형성하도록 하는 것에 의해 상기 배관 라인(110)을 따라 흐르는 순수 또는 초순수를 살균하도록 하는 것에 의해 상술한 바와 같은 기술적 목적을 달성하도록 한다.

구체적으로, 본원발명에 따른 살균처리장치시스템은 도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 전기분해장치(120)를 사용하여, 상기 배관 라인(110)을 미생물생존범위영역을 벗어나는 환경을 만들도록 하는 것에 의해 상기 배관 라인(110)을 흐르는 순수 또는 초순수를 살균하도록 한다. 이를 보다 자세하게 설명하면, 상기 도 2에는 미생물이 생존할 수 있는 영역이 ORP(산화환원전위)와 PH로 표시되어 있음을 확인할 수 있는 바, 구체적으로 미생물의 생존 범위는 ORP는 -250mV - +900mV의 범위에 있음을 알 수 있고, PH는 2 - 12 범위에 있음을 알 수 있다. 즉, 미생물은 상기 범위를 벗어나는 범위에서는 생존이 가능하지 않음을 알 수 있다.

따라서, 본원발명은 상기 순수 또는 초순수를 공급하는 시스템에 있어, 배관 라인(110) 상에 전기분해장치(120)를 사용하여 상술한 바와 같은 환경을 만들어 주도록 하는 것에 의해 상기 순수 또는 초순수 공급시스템에 미생물이 생존하는 것을 어렵게 하도록 하고 있다. 구체적으로, 상술한 바와 같은 미생물생존범위영역을 벗어나는 범위의 환경을 상기 배관 라인(110) 상에 만들어 주고 있는 바, 구체적으로, ORP의 범위는 +900mV 이상 또는 -250mV 이하로 설계하도록 하고, PH의 범위는 2 내지 12로 설계하도록 하는 것에 의해 상술한 바와 같은 기술적 목적을 달성할 수 있도록 하고 있다.

한편, 상술한 바와 같은 기술적 목적을 달성하기 위한 본원발명에 따른 전기분해장치(120)는 다단계 전극을 사용함으로써 전해효율을 향상시킨 것을 특징으로 한다. 구체적으로, 본원발명에 따른 살균처리장치시스템에 사용되는 전기분해장치(120)의 구체적인 실시예가 도 3에 도시되어 있는 바, 상기 도면을 참고하여 본원발명에 따른 전기분해장치(120)를 설명하면 다음과 같다.

통상적으로 전기분해장치는 유입되는 순수를 산성수 및 알카리수로 변환시키는 전해수 생성유니트; 상기 전해수 생성유니트에 순수를 공급하기 위한 순수공급부; 및 상기 전해수 생성유니트에서 생성된 산성수 및/또는 알카리수를 수용하는 전해수 수용부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 전해수 생성유니트에는 순수를 전기 분해시켜 산성수 및 알칼리수로 변환 시키기 위하여서는 한 쌍 이상의 전극 어셈블리; 상기 전극 어셈블리에 전류를 인가하는 전원 인가부; 상기 전 원 인가부에서 인가받은 전류가 소정의 시간 간격으로 상기 전극 어셈블리에 교호되게 공급되도록 제어하는 컨트롤러; 및 물 분자보다 작은 미세한 구멍으로 구성되어 물분자는 통과시키지 못하고 물분자보다 작은 이온들만 통과시켜 물에 용존해 있는 이온들을 이동시킬 수 있는 격막;을 포함하도록 구성한다.

본원발명에 따른 전기분해장치(120)는 상기 상술한 바와 같은 일반적인 전기분해장치를 사용하며, 사용에 용도나 목적에 따라 구성을 추가하여 사용할 수 있다.

본원발명에 따른 다단계 전극을 구비한 전기분해장치(120)는 전극 어셈블리와 격막으로 이루어진다. 우선, 상기 전극 어셈블리는 i)백금 또는 이리듐 등의 백금족 금속 ii) 티타늄이나 스테인리스 재질에 백금이나 이리듐의 백금족 금속 혹은 그 혼합물이 도금되도록 구성한다.

또한, 캐소드전극 및 애노드전극의 전극재료로는 전해에 의해 양 전극 사이에서 전자이동이 활발하게 행해지고 산화가 쉽게 이루어지도록 하기 위하여 티탄 등의 산화되기 어려운 소재를 선택하고 그 표면에 백금이나 이리듐 등을 도금하는 것이 바람직하다. 또한, 전원의 극성을 절환하는 경우가 있기 때문에, 상기 양극 모두에 동일한 도금을 실시하는 것이 바람직하다.

본원발명에 따른 전기분해장치(120)는 그 내부에 상기와 같이 제작된 전극을 다단계형 전극으로 구성한다. 즉, 제 1 캐소드 전극, 제 2 캐소드 전극, 제 3 캐소드 전극 등 다수개의 전극을 소정 간격을 두고 직렬로 형성한다. 또한, 제 1 애노드 전극, 제 2 애노드 전극, 제 3 애노드 전극 등 다수개의 전극은 소정 간격을 직렬로 형성한다.

상기와 같이 다단계의 전극을 형성한 후, 상기 제 1 애노드 전극과 제 2 캐소드 전극, 상기 제 2 애노드 전극과 제 3 캐소드 전극, 상기 제 3 애노드 전극과 제 4 캐소드 전극을 전선으로 연결하고, 상기 제 4 애노드 전극과 상기 제 1 캐소드 전극에는 최종적으로 직류 전압을 가한다. 상기와 같이 다단계의 전극을 형성할 경우, 전극 면적이 증대되는 효과를 얻을 수 있다. 또한 상기와 같이 전극의 면적이 증대되면 격막 내에 물의 해리 반응이 제어되는 효과를 얻을 수 있고 전해효율이 높아지는 특징이 있다.

이와 같이 형성할 경우, 제 1 애노드 전극과 제 2 캐소드 전극이 연결된 최하단 전해조는 수력이 높지만 전류가 일정하게 되어 전해효율이 높아지게 되고, 제 3 애노드 전극과 제 4 캐소드 전극이 연결된 최상단 전해조는 수압은 낮지만 전류가 일정하게 되어 전해효율이 높아지는 효과를 얻을 수 있다. 상기와 같이 다단계 전극을 형성할 경우, 일정한 전류가 흐르도록 하여 수압의 영향을 받지않고 전해효율이 향상되어 안정적인 전기분해장치를 제공할 수 있는 것이다.

여기서, 상기 격막은 이온수지로 형성된 것으로, 물속의 이온들이 이온들의 극성에 의하여 캐소드(-)극과 애노드(+)극으로 이동할 수 있도록 한다. 격막은 얇은 막으로 이루어지며, 상기 격막에는 미세한 구멍이 무수히 존재하며 물분자 크기보다 작게 형성한다. 따라서 물분자를 통과시키지 않고, 물분자보다 크기가 작은 이온들은 통과시킬수 있는데 이러한 격막의 특징으로 인하여 전극의 캐소드극에는 H+이온들이 격막을 통과하면서 모여 pH가 높은 알칼리수가 되며, 애노드극에는 OH-이온들이 격막을 통과하여 pH가 낮은 산성수가 되는 것이다.

상기 격막은 전해수의 사용목적에 따라 각종 이온교환막, 즉 양이온교환막 또는 음이온교환막을 선정할 수 있고, 또한 사용빈도 등에 따라 적당히 두께를 선택할 수 있다. 예컨대, 알카리수를 주로 사용할 경우에는 양이온교환막을, 산성수를 주로 사용할 경우에는 음이온교환막을 이용하는 것이 전해효율을 높이는데 바람직하다. 본 발명은 양이온교환막과 음이온 교환막을 모두 형성하는 것을 그 특징으로 한다. 또한, 본 발명은 상기 격막과 전극사이에 이온교환수지를 충진한다. 상기 이온교환수지는 구상 또는 파이버 상을 사용한다.

본원발명은 상술한 바와 같은 전기분해장치(120)를 사용하도록 하는 것에 의해 상술한 바와 같이 순수 또는 초순수 공급 시스템의 배관 라인(110)을 미생물이 생존할 수 없는 영역으로 만들도록 하여, 본원발명에 따른 상술한 바와 같은 기술 적 목적을 달성하도록 한다.

한편, 도 4에는 본원발명에 따른 다른 일 실시예가 도시되어 있는 바, 상기 도면을 참조하여 본원발명을 설명하면 다음과 같다.

본원발명에 따른 순수 또는 초순수를 공급하는 시스템은 순수 또는 초순수를 보관하는 보관 탱크(100)와, 상기 보관 탱크(100)에 순환하도록 연결되어 상기 순수 또는 초순수를 공급하도록 형성된 배관 라인(110)과, 상기 보관 탱크(100)에 순환하도록 연결되어 상기 순수 또는 초순수를 순환하도록 형성된 순환 라인(130) 및 상기 배관 라인(110) 및 순환 라인(130)에 설치되어 상기 순수 또는 초순수를 살균하도록 하는 전기분해장치(120, 140)를 포함하여 구성된다. 구체적으로, 본원발명에 따른 상기 실시예는 순수 또는 초순수를 보관하는 보관 탱크(100)에 별도의 순환 라인(130)을 설치하고, 상기 순환 라인(130) 상에 본원발명에 따른 전기분해장치(140)를 추가로 설치하도록 한 것을 기술적 특징으로 한다.

본원발명에 따른 상기 시스템은 순수 또는 초순수를 보관하는 보관 탱크(100) 내의 순수 또는 초순수를 순환하도록 하는 것과 동시에 상기 순환 라인(130) 상에 전기분해장치(140)를 설치하여 살균을 행하도록 함으로써, 상기 보관 탱크(100) 내에 저장되는 순수 또는 초순수의 살균을 계속적으로 행하도록 한 것을 기술적 특징으로 한다. 구체적으로, 본원발명에 따른 전기분해장치(140)는 상기 서술한 바와 같이 상기 순환 라인(130)을 미생물이 생존할 수 없는 영역으로 만들도록 하는 것에 의해 상기 순환 라인(130) 상에 미생물이 생존할 수 없도록 한 것을 기술적 특징으로 한다. 이와 같은 기술적 목적을 달성하기 위해, 본원발명에 따른 전기분해장치(140)는 도 3에 도시되어 있는 바와 같이 다단계의 전극을 직렬로 구비하도록 형성된다. 구체적으로, 복수개의 애노드 전극을 서로 분리된 형태로 다단계로 직렬로 전해조 하부에서부터 차례로 형성하고, 상기 애노드 전극에 대향하는 위치에 복수개의 캐소드 전극을 서로 분리된 형태로 다단계로 직렬로 전해조 하부에서부터 차례로 형성하도록 한다.

상술한 바와 같이, 본원발명에 따른 살균처리장치시스템은 순수 또는 초순수를 공급하는 시스템의 배관 라인 또는 상기 순수 또는 초순수를 저장하는 보관 탱크 내의 순수 또는 초순수를 순환하도록 하는 순환 라인 상에 전기분해장치를 설치하도록 하는 것에 의해 상술한 바와 같은 기술적 목적을 달성하도록 한다. 이처럼, 본원발명에 따른 살균처리장치시스템은 기존의 오존을 사용하도록 하는 방법 및 자외선을 사용하도록 하는 방법에 비해, 살균효과가 클 뿐 아니라, 그 구성 역시 간단하다는 점에서, 그 기술적 장점이 크다.

또한, 상술한 바와 같이 본원발명에 따른 살균처리장치시스템은 아예 미생물이 생존할 수 없는 영역을 형성하도록 하는 것에 의해 상술한 바와 같은 기술적 목적을 달성하고 있다는 점에서, 그 어떤 방법보다 미생물을 살균할 수 있는 효과가 크다고 할 것이다.

한편, 본원발명에 따른 전기분해장치를 사용한 살균처리장치시스템은 순수 또는 초순수를 사용하는 분야라면 그 어느 분야에도 적용할 수 있다. 구체적으로, 반도체용 실리콘 기판, 액정용 유리 기판 등 정밀부품분야, 병원과 제약회사, 식품회사, 화장품제조사 등에서 사용될 수 있다. 또한, 본원발명에 따른 살균처리장치시스템은 상기 전기분해장치를 그 어느 장소에도 설치하도록 하는 것에 의해 상술한 바와 같은 살균효과를 얻을 수 있다는 점에서 그 기술적 장점이 크다고 할 것이다.

도 1은 본원발명에 따른 순수 또는 초순수를 공급하는 시스템을 도시한다.

도 2는 미생물생존범위영역을 도시한다.

도 3은 본원발명에 따른 전기분해장치를 도시한다.

도 4는 본원발명에 따른 순수 또는 초순수를 공급하는 다른 시스템을 도시한다.

*도면의 주요부호에 대한 설명*

100: 보관탱크 110: 배관 라인

120: 전기분해장치 130: 순환라인

Claims (9)

1. 순수 또는 초순수를 보관하는 보관 탱크(100);

   상기 보관 탱크(100)에 순환하도록 연결되어 상기 순수 또는 초순수를 공급하도록 형성된 배관 라인(110); 및

   상기 배관 라인(110)에 설치되어 상기 순수 또는 초순수를 살균하도록 하는 전기분해장치(120)를 포함하여 구성되되,

   상기 전기분해장치(120)는,

   전해조 하부에서부터 수직한 방향으로 서로 분리되는 형태로 직렬로 다단계 전극으로 형성된 복수개의 애노드 전극과,

   상기 직렬로 다단계 전극으로 형성된 복수개의 애노드 전극과 각각 대응되는 위치에 전해조 하부에서부터 수직한 방향으로 서로 분리되는 형태로 직렬로 다단계 전극으로 형성된 복수개의 캐소드 전극과,

   상기 복수개의 애노드 전극 중 끝단의 애노드 전극과, 상기 복수개의 캐소드 전극 중 다른 끝단의 캐소드 전극에 전압을 인가하는 외부전원을 포함하며 형성되며,

   상기 외부전원과 연결되지 않은 애노드 전극과 캐소드 전극은 전선에 의해 서로 연결된 것을 특징으로 하는 살균처리장치시스템.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,

   상기 전기분해장치(120, 140)의 동작은 미생물 생존범위영역을 벗어나도록 하는 ORP와 PH 범위에서 동작하는 것을 특징으로 하는 살균처리장치시스템.
4. 삭제
5. 삭제
6. 삭제
7. 제1항에 있어서,

   상기 외부전원과 연결되지 않은 애노드 전극과 캐소드 전극은 전선에 의해 서로 다른 단에 있는 다른 전극과 연결되는 것을 특징으로 하는 살균처리장치시스템.
8. 삭제
9. 삭제

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