KR101314146B1 - Fixing apparatus for ceramic product - Google Patents

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KR101314146B1 KR1020110122588A KR20110122588A KR101314146B1 KR 101314146 B1 KR101314146 B1 KR 101314146B1 KR 1020110122588 A KR1020110122588 A KR 1020110122588A KR 20110122588 A KR20110122588 A KR 20110122588A KR 101314146 B1 KR101314146 B1 KR 101314146B1
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Abstract

본 발명은, 다양한 형태 및 크기의 세라믹 제품을 용이하게 고정시킬 수 있고, 세라믹 제품의 바닥면을 흡착하여 고정함으로써, 회전 연마 중 세라믹 제품이 이탈되지 않도록 용이하게 고정시킬 수 있는 세라믹 제품 고정 장치에 관한 것으로서, 세라믹 제품의 측면 및 측면과 인접한 외측 바닥면을 밀착 지지하는 복수의 스톱 블록과, 상기 세라믹 제품의 바닥면을 밀착 지지하는 복수의 조정 볼트를 포함하여 구성되는 지지부와 상기 스톱 블록 및 상기 조정 볼트가 장착되는 장착대 및 상기 장착대에 고정되되, 상기 세라믹 제품의 바닥면을 흡착하여 고정할 수 있도록 구비된 진공 패드부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The present invention provides a ceramic product fixing device which can easily fix ceramic products of various shapes and sizes, and which can be easily fixed so as not to leave the ceramic products during rotational polishing by adsorbing and fixing the bottom surface of the ceramic products. A stopper and a stop block comprising a plurality of stop blocks for closely supporting the side and the outer bottom surface adjacent to the ceramic product, and a plurality of adjusting bolts for closely supporting the bottom surface of the ceramic product. It is characterized in that it is configured to include a vacuum pad portion is fixed to the mounting table and the mounting bolt is mounted to the adjustment bolt, so as to suck and fix the bottom surface of the ceramic product.

Description

세라믹 제품 고정 장치{Fixing apparatus for ceramic product}Fixing apparatus for ceramic product

본 발명은, 세라믹 제품 고정 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 다양한 형태 및 크기의 세라믹 제품을 용이하게 고정시킬 수 있고, 세라믹 제품의 바닥면을 흡착하여 고정함으로써, 회전 연마 중 세라믹 제품이 이탈되지 않도록 용이하게 고정시킬 수 있는 세라믹 제품 고정 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device for fixing a ceramic product, and more particularly, to easily fix a ceramic product of various shapes and sizes, and by adsorbing and fixing a bottom surface of the ceramic product, the ceramic product is not detached during rotational polishing. It relates to a ceramic product fixing device that can be easily fixed so as to prevent.

공업용 재료나 제품의 면을 매끄럽게 가공하기 위하여 통상 연마의 단계를 거치게 되는데, 일반적으로 이러한 연마 공정은 장착대 위에 이러한 재료나 제품을 올려 고정하고 상부의 연마면에 연마부재를 접촉시킴으로써 이루어진다. 이때, 장착대에 재료나 제품을 고정하는 방법으로서 장착대의 장착면을 전자척(Magnetic chuck)으로 구성하여 자성에 의해 재료나 제품이 고정될 수 있도록 하거나, 또는 자성을 띠지 않는 재질의 경우 별도의 바이스(Vise) 등을 이용하여 재료나 제품의 측면을 가압하여 고정하는 방법을 사용하여 왔다.In order to smoothly process the surface of an industrial material or a product, a grinding process is usually performed. In general, such a polishing process is performed by mounting and fixing the material or product on a mounting table and contacting the polishing member with the upper polishing surface. At this time, as a method of fixing the material or product to the mounting base, the mounting surface of the mounting base is composed of an electromagnetic chuck so that the material or the product can be fixed by magnetism, or in the case of a non-magnetic material, The method of pressing and fixing the side of a material or a product using a vise etc. has been used.

그러나, 반도체나 LCD 관련 제조장비에서 많이 사용되는 재료나 부품은 고온의 반응가스가 흐르는 챔버 내부에서 사용되기 때문에, 열변형, 산화 또는 전기적 특성으로 인한 제조 제품의 불량율을 감소하고자 세라믹(Ceramic) 재료로 틀을 구성하는 것이 보통이다. 세라믹으로 제작한 부품은 내열성과 내식성이 우수하고 비자성체이므로 전기적 특성으로부터 자유로운 장점이 있어 널리 사용되고 있다.However, since materials and components that are frequently used in semiconductor or LCD-related manufacturing equipment are used inside a chamber where high temperature reaction gas flows, ceramic materials are used to reduce the defective rate of manufactured products due to thermal deformation, oxidation or electrical properties. It is common to construct a framework. The parts made of ceramic are widely used because they are excellent in heat resistance and corrosion resistance and have non-magnetic properties and are free from electrical characteristics.

이러한 세라믹의 장점은, 세라믹으로 구성된 부품의 연마 공정시에 오히려 단점으로 작용될 수 있는데, 자성을 띠지 않아 전자척으로 고정시킬 수 없고, 취성이 강해 바이스 등으로 측면을 가압 고정시킬 경우 깨지거나, 스크래치가 발생되는 문제가 있었다.The advantage of such a ceramic may be a disadvantage in the polishing process of a component composed of a ceramic, which is not magnetic and cannot be fixed by an electronic chuck, and is brittle because of its brittleness. There was a problem of scratching.

따라서, 종래에는, 세라믹 부품을 연마할 때 부품 장착대를 연마할 부품의 바닥면에 맞게 홈을 파고 홈에 부품을 끼우는 방식으로 고정하여 연마를 하거나, 또는, 부품 장착대의 일정 위치에 정지 블록을 복수 설치하여 세라믹 부품을 구속함으로써 연마 공정 중 세라믹 부품이 밀려나가거나 움직이지 않도록 하였다.Therefore, conventionally, when polishing a ceramic component, the component mounting bracket is polished by digging a groove to fit the bottom surface of the component to be polished and inserting the component in the groove, or the stop block is positioned at a predetermined position of the component mounting bracket. Multiple installations were made to restrain the ceramic parts so that the ceramic parts were not pushed out or moved during the polishing process.

그러나, 부품 장착대에 홈을 파 고정하는 방법의 경우 연마할 부품별로 각각의 크기와 형상에 맞는 홈이 형성된 부품 장착대를 개별로 구비해야 함으로써 제조단가가 상승하고 시간이 많이 소요되는 문제가 있었고, 정지 블록을 사용하여 고정하는 방법의 경우 연마 공정 중 부품이 흔들리거나 들떠 가공 치수가 불균일해지고 특히 연마 공정 중 부품이 이탈하는 등 안전사고의 문제가 있었다.However, in the case of the method of digging and fixing the grooves in the component mounting bracket, each component to be polished has to have a component mounting bracket having grooves corresponding to the size and shape of each component to increase the manufacturing cost and take a long time. In the case of fixing by using a stop block, there is a problem of a safety accident, such as unevenness in the processing dimensions of the part during the polishing process, and in particular, the part is separated during the polishing process.

따라서, 다양한 크기 및 형상의 바닥면을 가지는 세라믹 부품을 용이하게 고정할 수 있고, 연마 공정 중 부품의 흔들림 및 이탈을 방지할 수 있는 세라믹 제품 고정 장치가 필요로 하게 되었다.Therefore, there is a need for a ceramic product fixing device capable of easily fixing ceramic parts having various sizes and shapes of bottom surfaces, and preventing shaking and detachment of the parts during the polishing process.

KR 10-0246701 (등록번호) 1999.12.07KR 10-0246701 (registration number) 1999.12.07

따라서, 본 발명은 상술한 문제를 해결하기 위하여 창안된 것으로서, 장착대(100) 위를 이동 가능하게 구비되는 스톱 블록(200) 및 길이를 조정할 수 있는 조정 볼트(220)를 포함하여 구성됨으로써, 다양한 형태 및 크기의 세라믹 제품(400)을 용이하게 고정시킬 수 있는 세라믹 제품 고정 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Therefore, the present invention was devised to solve the above-described problems, and is configured to include a stop block 200 and a adjusting bolt 220 that can adjust the length of the mounting table 100 to be movable. An object of the present invention is to provide a ceramic product fixing device that can easily fix the ceramic product 400 of various shapes and sizes.

또한, 본 발명은 진공 패드부(300)가 구비되어 세라믹 제품(400)의 바닥면을 흡착하여 고정함으로써, 회전 연마 중 세라믹 제품(400)이 이탈되지 않도록 용이하게 고정시킬 수 있는 세라믹 제품 고정 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, the present invention is provided with a vacuum pad unit 300 by adsorbing and fixing the bottom surface of the ceramic product 400, a ceramic product fixing device that can be easily fixed so that the ceramic product 400 is not detached during rotation polishing The purpose is to provide.

본 발명의 세라믹 제품 고정 장치는, 세라믹 제품의 측면 및 측면과 인접한 외측 바닥면을 밀착 지지하는 복수의 스톱 블록과, 상기 세라믹 제품의 바닥면을 밀착 지지하는 복수의 조정 볼트를 포함하여 구성되는 지지부와; 상기 스톱 블록 및 상기 조정 볼트가 장착되는 장착대; 및 상기 장착대에 고정되되, 상기 세라믹 제품의 바닥면을 흡착하여 고정할 수 있도록 구비된 진공 패드부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The ceramic product fixing device of the present invention includes a support block including a plurality of stop blocks for closely supporting the side and the outer bottom surface adjacent to the ceramic product, and a plurality of adjusting bolts for closely supporting the bottom surface of the ceramic product. Wow; A mount to which the stop block and the adjustment bolt are mounted; And a vacuum pad part fixed to the mounting table and provided to suck and fix the bottom surface of the ceramic product.

본 발명은, 장착대(100) 위를 이동 가능하게 구비되는 스톱 블록(200) 및 길이를 조정할 수 있는 조정 볼트(220)를 포함하여 구성됨으로써, 다양한 형태 및 크기의 세라믹 제품(400)을 용이하게 고정시킬 수 있는 효과가 있다.The present invention is configured to include a stop block 200 that is provided to be movable on the mounting table 100 and the adjustment bolt 220 to adjust the length, thereby facilitating ceramic products 400 of various shapes and sizes. There is an effect that can be fixed.

또한, 본 발명은 진공 패드부(300)가 구비되어 세라믹 제품(400)의 바닥면을 흡착하여 고정함으로써, 회전 연마 중 세라믹 제품(400)이 이탈되지 않도록 용이하게 고정시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention is provided with a vacuum pad unit 300 by adsorbing and fixing the bottom surface of the ceramic product 400, there is an effect that can be easily fixed so that the ceramic product 400 is not detached during rotation polishing.

도 1 은 본 발명의 실시예에 따른 세라믹 제품 고정 장치의 분리사시도.
도 2 는 본 발명의 실시예에 따른 세라믹 제품 고정 장치의 평면도.
도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 세라믹 제품 고정 장치의 단면도.
도 4 는 본 발명의 실시예에 따른 세라믹 제품 고정 장치의 진공 패드부의 단면도.1 is an exploded perspective view of a ceramic product fixing device according to an embodiment of the present invention.
2 is a plan view of a ceramic product holding device according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of a ceramic product holding device according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a cross-sectional view of the vacuum pad portion of the ceramic product holding device according to the embodiment of the present invention.

이하에서, 본 발명의 실시예에 따른 세라믹 제품 고정 장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a ceramic product fixing device according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

도 1 은 본 발명의 실시예에 따른 세라믹 제품 고정 장치의 분리사시도이고, 도 2 는 본 발명의 실시예에 따른 세라믹 제품 고정 장치의 평면도이고, 도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 세라믹 제품 고정 장치의 단면도이고, 도 4 는 본 발명의 실시예에 따른 세라믹 제품 고정 장치의 진공 패드부의 단면도이다.
1 is an exploded perspective view of a ceramic product fixing device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a plan view of a ceramic product fixing device according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a ceramic product fixing device according to an embodiment of the present invention 4 is a cross-sectional view of the device, and FIG. 4 is a cross-sectional view of the vacuum pad portion of the ceramic product fixing device according to the embodiment of the present invention.

본 발명은, 도 1 내지 도 4 에 도시된 바와 같이, 회전 연마시 세라믹 제품(400)이 흔들리는 것을 방지하기 위하여 세라믹 제품(400)의 바닥면과 측면을 밀착 지지하는 지지부와, 회전 연마시 세라믹 제품(400)이 이탈되는 것을 방지하기 위하여 세라믹 제품(400)의 바닥면을 흡착 고정하는 진공 패드부(300) 및 지지부와 진공 패드부(300)가 장착되는 장착대(100)를 포함하여 구성된다.
The present invention, as shown in Figures 1 to 4, to support the bottom surface and the side of the ceramic product 400 in close contact to prevent the ceramic product 400 from shaking during rotation polishing, and the ceramic during rotation polishing It comprises a vacuum pad 300 for adsorption fixing the bottom surface of the ceramic product 400 and the mounting portion 100 is mounted on the support and the vacuum pad 300 to prevent the product 400 is separated do.

지지부는, 세라믹 제품(400)의 측면 및 측면과 인접한 외측 바닥면을 밀착 지지하는 복수의 스톱 블록(200)과, 세라믹 제품(400)의 일측 바닥면을 밀착 지지하는 복수의 조정 볼트(220) 및 스톱 블록(200)이 이동 가능하게 장착되고 조정 볼트(220)가 삽입 고정되되 스톱 블록(200)의 외측 이동을 제한할 수 있도록 구비된 거리 제한부를 포함하여 구성된다.
The support part includes a plurality of stop blocks 200 for tightly supporting the side and the outer bottom surface adjacent to the side of the ceramic product 400, and a plurality of adjustment bolts 220 for closely supporting the bottom surface of one side of the ceramic product 400. And the stop block 200 is configured to include a distance limiting portion is provided to be movable and the adjustment bolt 220 is inserted and fixed to limit the outside movement of the stop block 200.

스톱 블록(200)은, 장착대(100)의 레일(111) 위를 이동가능하게 구비되어서 세라믹 제품(400)의 측면 하부 및 측면과 인접한 외측 바닥면을 밀착 지지한다. 이를 위하여 스톱 블록(200)은 사각 박스 형태의 블록 몸체(210)와, 블록 몸체(210)의 하부 양 측면이 요(凹)형으로 함몰 되어 장착대(100)의 레일(111)에 삽입될 수 있도록 형성된 블록 슬라이드(211)와, 블록 몸체(210)의 상면 일측에 돌출 형성되는 스토퍼(212)를 포함하여 구성된다.The stop block 200 is provided to be movable on the rail 111 of the mounting table 100 to closely support the lower side and the outer bottom surface adjacent to the side of the ceramic product 400. To this end, the stop block 200 has a rectangular box-shaped block body 210 and both sides of the lower portion of the block body 210 are recessed in a yaw shape to be inserted into the rail 111 of the mounting table 100. It is configured to include a block slide 211 formed so that, and a stopper 212 protruding from one side of the upper surface of the block body 210.

즉, 블록 슬라이드(211)는 블록 몸체(210)의 네 측면 중 대향하는 두 측면에 형성되어서 장착대(100)의 레일(111)에 삽입되어 이동가능하게 형성되고, 스토퍼(212)는 블록 몸체(210)의 상면에 돌출 형성되되 블록 몸체(210)가 이동되는 외측 방향에 형성되는 것이 바람직하며, 이를 통해 스톱 블록(200)은 세라믹 제품(400)의 바닥면과 측면을 동시에 밀착 지지할 수 있게 된다.That is, the block slide 211 is formed on two opposite sides of the four sides of the block body 210 is inserted into the rail 111 of the mounting table 100 to be movable, the stopper 212 is the block body Protruded on the upper surface of the 210 is preferably formed in the outer direction in which the block body 210 is moved, through which the stop block 200 can support the bottom surface and side of the ceramic product 400 in close contact at the same time. Will be.

이때, 스토퍼(212)는 블록 슬라이드(211)가 형성되지 않은 블록 몸체(210)의 두 측면을 잇는 형태로 형성될 수 있으나, 세라믹 제품(400)의 측면이 직선형태가 아닌 경우에도 이를 용이하게 지지하기 위하여 스토퍼(212)의 중단이 절개된 형태의 절개부(213)가 더 포함되어 구성될 수 있으며, 세라믹 제품(400)의 측면이 곡면일 경우 역시 이를 용이하게 지지하기 위하여 스토퍼(212)가 블록 몸체(210)의 상면으로부터 연장 형성되지 않고, 별도의 지지부재가 블록 몸체(210)의 상면에 회동 가능하게 결합될 수 있다.In this case, the stopper 212 may be formed in a form of connecting two sides of the block body 210 in which the block slide 211 is not formed, even if the side of the ceramic product 400 is not a straight line shape easily. The stopper 212 may be configured to further include an incision 213 in which the stopper of the stopper 212 is cut to support the stopper 212. Is not formed extending from the upper surface of the block body 210, a separate support member may be rotatably coupled to the upper surface of the block body 210.

즉, 스톱 블록(200)은 이동가능하게 구성되어서 세라믹 제품(400)의 외측 바닥면과 외측면을 크기에 상관없이 밀착 지지함으로써 세라믹 제품(400)의 회전 연마시 세라믹 제품(400)이 회전력에 의해 외측으로 이탈되지 않도록 할 수 있게 된다.
That is, the stop block 200 is configured to be movable, so that the outer bottom surface and the outer surface of the ceramic product 400 are closely adhered to each other regardless of the size, so that the ceramic product 400 may be rotated by the rotational force of the ceramic product 400. It can be prevented from leaving to the outside by this.

상술한 구성의 스톱 블록(200)은 거리 제한부에 의해 외측으로의 이동이 제한된다. 거리 제한부는, 스톱 블록(200)이 삽입되는 장착대(100)의 레일(111) 끝단부에 결합되는 볼트 브라켓(120) 및 볼트 브라켓(120)의 일측에 관통 결합되는 스톱 볼트(121)를 포함하여 구성되며, 스톱 볼트(121)가 볼트 브라켓(120)에 삽입되는 정도에 따라 스톱 블록(200)과 볼트 브라켓(120) 사이의 이격거리가 결정됨으로써 스톱 블록(200)의 외측 이동거리를 제한할 수 있게 된다. 이를 위하여 장착대(100)에는 볼트 브라켓(120)을 고정하기 위한 볼트 브라켓 고정홀(112)이 형성될 수 있으며, 볼트 브라켓 고정 볼트(122)에 의해 볼트 브라켓(120)이 장착대(100)에 견고히 고정된다.The stop block 200 of the above-described configuration is limited to the outside movement by the distance limiting portion. The distance limiting part includes a bolt bracket 120 coupled to an end portion of the rail 111 of the mount 100 into which the stop block 200 is inserted, and a stop bolt 121 penetrated to one side of the bolt bracket 120. The distance between the stop block 200 and the bolt bracket 120 is determined according to the degree to which the stop bolt 121 is inserted into the bolt bracket 120 to determine the outside moving distance of the stop block 200. You can limit it. To this end, the mounting bracket 100 may have a bolt bracket fixing hole 112 for fixing the bolt bracket 120, and the bolt bracket 120 may be mounted on the mounting bracket 100 by the bolt bracket fixing bolt 122. It is firmly fixed on.

한편, 스톱 볼트(121)는 임팩 렌치 등의 공구를 이용하여 조일 경우 스톱 블록(200)에 의해 세라믹 제품(400)이 필요 이상의 외력을 받을 수 있는데, 이를 방지하기 위하여 작업자가 손으로 잡고 돌릴 수 있도록 볼트 머리가 크게 형성될 수 있다.
On the other hand, when the stop bolt 121 is tightened by using a tool such as an impact wrench, the ceramic product 400 may receive more external force than necessary by the stop block 200. To prevent this, the worker may hold and turn by hand. The bolt head can be formed large so that.

조정 볼트(220)는, 복수개가 장착대(100)에 삽입 고정되어서 세라믹 제품(400)의 바닥면을 지지할 수 있도록 구성된다. 이를 위하여 조정 볼트(220)는 세라믹 제품(400)의 바닥면과 밀착되는 조정 볼트 머리부(221)와, 장착대(100)에 삽입 고정되는 조정 볼트 몸체부(222)를 포함하여 구성된다. 이때, 조정 볼트 머리부(221)는 세라믹 제품(400)의 바닥면과 밀착될 때 세라믹 제품(400)이 손상되지 않도록 세라믹 제품(400)과의 밀착면에 실리콘 재질 등으로 이루어진 충격 흡수체(223)가 더 포함되어 구성될 수 있다.The plurality of adjustment bolts 220 are configured to be inserted into and fixed to the mounting table 100 to support the bottom surface of the ceramic product 400. To this end, the adjusting bolt 220 includes an adjusting bolt head 221 in close contact with the bottom surface of the ceramic product 400, and an adjusting bolt body 222 inserted into and fixed to the mounting table 100. At this time, the adjustment bolt head 221 is a shock absorber 223 made of a silicon material or the like in close contact with the ceramic product 400 so as not to damage the ceramic product 400 when in close contact with the bottom surface of the ceramic product 400. ) May be further included.

조정 볼트(220)는 장착대(100)에 일정 깊이 삽입된 채로 상부에 세라믹 제품(400)이 스톱 블록(200) 위에 얹혀지면, 장착대(100)로부터 조정 볼트 몸체부(222)를 풀어내는 동작으로 세라믹 제품(400)의 바닥면에 볼트 머리부가 밀착되도록 하여야 하는데, 이를 위하여 조정 볼트 몸체부(222)의 상부 외주연은 육각 형태로 형성되어서 스패너 등을 이용할 수 있도록 구성될 수 있다.
When the adjustment bolt 220 is inserted into the mounting bracket 100 to a certain depth and the ceramic product 400 is placed on the stop block 200 at the top, the adjusting bolt body 222 is released from the mounting bracket 100. In operation, the bolt head should be in close contact with the bottom surface of the ceramic product 400. For this purpose, the upper outer circumference of the adjusting bolt body 222 may be formed in a hexagonal shape so as to use a spanner.

따라서, 상술한 구성으로 이루어진 지지부는, 세라믹 제품(400)의 측면 및 외측 바닥면을 밀착 지지하는 복수의 스톱 블록(200)과, 세라믹 제품(400)의 바닥면을 지지하는 복수의 조정 볼트(220)와 스톱 블록(200)의 외측 이동을 제한하는 거리 제한부를 포함하여 구성됨으로써, 세라믹 제품(400)의 바닥면 및 측면과 밀착되어 세라믹 제품(400)의 회전 연마시 세라믹 제품(400)이 회전력에 의해 외부로 이탈되지 않도록 지지할 수 있게 된다.
Accordingly, the support part having the above-described configuration includes a plurality of stop blocks 200 for tightly supporting the side and outer bottom surfaces of the ceramic product 400, and a plurality of adjustment bolts for supporting the bottom surface of the ceramic product 400. 220 and a distance limiting part configured to limit the outside movement of the stop block 200, the ceramic product 400 is in close contact with the bottom surface and the side of the ceramic product 400 when rotating and polishing the ceramic product 400. It can be supported so as not to be separated to the outside by the rotational force.

장착대(100)는, 조정 볼트(220)가 삽입 고정되고, 스톱 블록(200)이 이동 가능하게 장착되며, 스톱 블록(200)의 이동루트 외측 끝단에 거리 제한부가 고정된다. 이를 위하여 장착대(100)는 조정 볼트(220)의 볼트 몸체부가 삽입될 수 있도록 상면(110)에 복수의 조정 볼트 삽입홀(114)이 형성되며, 요(凹)형으로 형성된 스톱 블록(200)의 블록 슬라이드(211)가 삽입되어 이동될 수 있도록 상면(110) 일측이 하부 방향으로 함몰되되 함몰부 측면이 철(凸)형으로 돌출된 레일(111)이 형성되고, 레일(111)의 끝단부에는 거리 제한부의 볼트 브라켓(120)이 고정된다.In the mounting table 100, the adjustment bolt 220 is inserted and fixed, and the stop block 200 is movably mounted, and the distance limiting part is fixed to the outer end of the moving route of the stop block 200. To this end, the mounting block 100 has a plurality of adjustment bolt insertion holes 114 formed on the upper surface 110 so that the bolt body portion of the adjustment bolt 220 can be inserted, and the stop block 200 formed in a yaw shape. One side of the upper surface 110 is recessed in a downward direction so that the block slide 211 of () is inserted, but the rail 111 protruding in the iron side is formed, and the rail 111 of the At the end, the bolt bracket 120 of the distance limiter is fixed.

한편, 볼트 브라켓(120)이 고정되는 레일(111)의 끝단부에는 볼트 브라켓(120)을 고정하기 위한 볼트 브라켓 고정홀(112)이 더 형성될 수 있으며, 장착대(100)의 중앙부에는 하술할 진공 패드부(300)를 고정하기 위한 진공 패드부 고정홀(113)이 더 형성될 수 있다.
Meanwhile, a bolt bracket fixing hole 112 for fixing the bolt bracket 120 may be further formed at an end of the rail 111 to which the bolt bracket 120 is fixed, and the following description may be made at the center of the mounting table 100. A vacuum pad part fixing hole 113 for fixing the vacuum pad part 300 may be further formed.

진공 패드부(300)는, 지지부에 의해 세라믹 제품(400)의 바닥면 및 측면이 밀착 지지될 때 이를 진공압을 이용하여 고정함으로써 세라믹 제품(400)의 회전 연마시 세라믹 제품(400)이 견고히 고정할 수 있도록 한다. 이를 위하여 진공패드부는, 세라믹 제품(400)의 바닥면과 접촉되는 접시형의 진공 패드(310)와, 상부에 진공 패드(310)가 결합되고, 일측에 호스 연결부(321)가 형성된 패드부 몸체(320)와, 패드부 몸체(320)의 하부에 결합되어 장착대(100)에 고정되는 패드부 고정 볼트(330) 및 패드부 몸체(320)의 호스 연결부(321)에 연결되어서 진공 패드(310) 내부의 압력을 조절하는 진공 피스톤(340)을 포함하여 구성된다.
When the bottom and side surfaces of the ceramic product 400 are closely supported by the support part, the vacuum pad part 300 is fixed to the ceramic product 400 by rotating the ceramic product 400 when the bottom surface and the side of the ceramic product 400 are closely supported. Allow it to be fixed. To this end, the vacuum pad unit, the plate-shaped vacuum pad 310 in contact with the bottom surface of the ceramic product 400, the vacuum pad 310 is coupled to the upper portion, the pad portion body formed with a hose connection portion 321 on one side 320, the pad part fixing bolt 330 coupled to the lower part of the pad part body 320 and fixed to the mounting table 100 and the hose connection part 321 of the pad part body 320 are connected to the vacuum pad ( 310 is configured to include a vacuum piston 340 to adjust the pressure inside.

진공 패드(310)는, 원판의 외주연이 상부로 돌출 형성된 접시형으로 형성되며, 우레탄, 고무 또는 이에 대체되는 재질로 이루어질 수 있으며, 금속제로 형성되되 세라믹 제품(400)의 바닥면과 접촉되는 끝단부에만 상술한 재질의 접촉부가 형성된 형태를 띌수도 있으며, 세라믹 제품(400)의 바닥면과 밀착될 수 있는 재질의 것이면 어느 것이든 가능하다. 진공 패드(310)의 하부에는 패드부 몸체(320)가 결합되는데, 진공 패드(310)의 하부면 일측에 홀이 형성되어서, 패드부 몸체(320)의 측면으로부터 상면으로 관통 형성된 호스 연결부(321)가 진공 패드(310)의 내부와 연통될 수 있도록 구성된다.
The vacuum pad 310 is formed in a plate shape in which the outer periphery of the disc protrudes upward, and may be made of urethane, rubber, or a substitute material. The vacuum pad 310 is formed of metal and is in contact with the bottom surface of the ceramic product 400. The contact portion of the above-described material may be formed only at the end portion, and may be any material that can be in close contact with the bottom surface of the ceramic product 400. The pad body 320 is coupled to the lower portion of the vacuum pad 310, and a hole is formed at one side of the lower surface of the vacuum pad 310 so that the hose connection part 321 penetrated from the side of the pad body 320 to the upper surface thereof. ) Is configured to be in communication with the interior of the vacuum pad 310.

패드부 몸체(320)는, 진공 패드(310)의 하부에 결합되며, 호스 연결부(321)가 측면으로부터 상부면으로 관통 형성되어서 진공 패드(310)의 하부면에 형성된 홀과 연통된다. 패드부 몸체(320)의 하부에는 패드부 고정 볼트(330)가 결합되는데, 패드부 고정 볼트(330)는 통상의 볼트 결합으로 결합될 수 있으며, 또는 패드부 몸체(320)에 패드부 고정 볼트(330)가 삽입된 상태에서 패드부 몸체(320) 및 패드부 고정 볼트(330)의 측면을 관통하는 고정핀(322)을 이용하여 결합될 수 있다. 한편, 패드부 몸체(320)에 형성된 호스 연결부(321)에는 진공 피스톤(340)의 진공 호스(342)가 연결되어서 상부의 진공 패드(310) 내부의 압력을 조정한다.
The pad body 320 is coupled to the lower portion of the vacuum pad 310, and the hose connecting portion 321 is formed to penetrate from the side surface to the upper surface so as to communicate with a hole formed in the lower surface of the vacuum pad 310. Pad portion fixing bolt 330 is coupled to the lower portion of the pad portion body 320, the pad portion fixing bolt 330 may be coupled by a conventional bolt coupling, or pad portion fixing bolt to the pad portion body 320 In the state where the 330 is inserted, the pad part body 320 and the pad part fixing bolt 330 may be coupled using the fixing pin 322 penetrating the side surface. On the other hand, the vacuum hose 342 of the vacuum piston 340 is connected to the hose connection portion 321 formed in the pad body 320 to adjust the pressure inside the upper vacuum pad 310.

패드부 고정 볼트(330)는, 패드부 몸체(320)의 하부에 결합되어서 상부의 패드부 몸체(320) 및 패드부 몸체(320)에 결합된 진공 패드(310)를 장착대(100)에 고정시킨다. 이때, 패드부 고정 볼트(330)는 장착대(100)에 형성된 패드부 고정 볼트(330)홀에 삽입되는 것이 바람직하나, 세라믹 제품(400)의 바닥면 중앙부가 면이 고르지 않을 경우, 세라믹 제품(400)의 바닥면 중 면이 평평한 곳으로 위치를 이동하여 고정될 수 있으며, 이를 위하여 조정 볼트(220)를 제거하고 조정 볼트(220)가 제거된 조정 볼트 삽입홀(114)에 패드부 고정 볼트(330)를 삽입 고정하여 진공 패드부(300)의 위치를 수정할 수 있게 된다.
The pad fixing bolt 330 is coupled to the lower part of the pad body 320 to attach the pad pad body 320 and the vacuum pad 310 coupled to the pad body 320 to the mounting table 100. Fix it. At this time, the pad fixing bolt 330 is preferably inserted into the pad fixing bolt 330 hole formed in the mounting table 100, but when the bottom portion of the bottom surface of the ceramic product 400 is uneven, ceramic products The surface of the bottom surface of 400 may be fixed by moving the position to a flat place, for this purpose, the adjusting bolt 220 is removed and the adjusting bolt 220 is removed, and the pad part is fixed to the adjusting bolt insertion hole 114. By inserting and fixing the bolt 330, the position of the vacuum pad part 300 may be modified.

진공 피스톤(340)은, 패드부 몸체(320)의 호스 연결부(321)에 진공 호스(342)를 이용하여 결합되며, 진공 패드(310) 내부의 압력을 조정하여 진공 패드(310)가 세라믹 제품(400)의 바닥면에 흡착될 수 있도록 한다. 이때, 진공 피스톤(340)은 조정된 압력이 새어나가지 않도록 진공 호스(342)를 폐쇄시키는 코크(341)를 더 포함하여 구성될 수 있다.
The vacuum piston 340 is coupled to the hose connecting portion 321 of the pad body 320 using the vacuum hose 342, and the vacuum pad 310 is a ceramic product by adjusting the pressure inside the vacuum pad 310. To be adsorbed to the bottom surface of 400. In this case, the vacuum piston 340 may further include a cock 341 closing the vacuum hose 342 so that the adjusted pressure does not leak.

상술한 구성으로 이루어진 진공 패드부(300)의 작동 상태를 살펴보면, 우선 패드부 고정 볼트(330)에 의해 진공 패드부(300)가 장착대(100)에 결합되고, 이 상태에서 세라믹 제품(400)이 장착부에 밀착 지지되도록 한다. 이후 패드부 고정 볼트(330)를 장착대(100)로부터 풀어 진공 패드(310)가 세라믹 제품(400)의 바닥면과 접촉되도록 한 후 진공 피스톤(340)을 작동하여 진공 패드(310) 내부가 저압 또는 진공 상태가 되도록 함으로써 진공 패드(310)가 세라믹 제품(400)의 바닥면에 흡착되도록 한다. 그리고 진공 상태가 해제되지 않도록 진공 피스톤(340)의 코크(341)를 잠금으로써 진공 패드부(300)가 세라믹 제품(400)의 바닥면에 흡착된 채 장착대(100)에 고정됨으로써 세라믹 제품(400)이 장착대(100)에 고정될 수 있도록 한다. 이때, 진공 패드부(300)가 결합되는 위치의 세라믹 제품(400) 바닥면이 고르지 않아 진공 패드(310)가 흡착되기 어려울 경우, 세라믹 제품(400)의 바닥면이 고른 측의 조정 볼트(220)를 제거하고 조정 볼트(220)가 제거된 조정 볼트 삽입홀(114)에 진공 패드부(300)를 고정하여 세라믹 제품(400)을 흡착 고정할 수도 있다.
Looking at the operating state of the vacuum pad 300 having the above-described configuration, first, the vacuum pad 300 is coupled to the mounting table 100 by the pad fixing bolt 330, in this state the ceramic product 400 ) Is tightly supported on the mounting part. Thereafter, the pad fixing bolt 330 is released from the mounting table 100 so that the vacuum pad 310 comes into contact with the bottom surface of the ceramic product 400, and then the vacuum piston 340 is operated to operate the inside of the vacuum pad 310. The low pressure or vacuum state allows the vacuum pad 310 to be adsorbed to the bottom surface of the ceramic product 400. And by locking the cock 341 of the vacuum piston 340 so that the vacuum state is not released, the vacuum pad unit 300 is fixed to the mounting table 100 while being adsorbed to the bottom surface of the ceramic product 400 to prevent the ceramic product ( 400 may be fixed to the mounting table (100). At this time, when the bottom surface of the ceramic product 400 where the vacuum pad unit 300 is coupled is not uniform and the vacuum pad 310 is difficult to be adsorbed, the adjustment bolt 220 of the bottom surface of the ceramic product 400 is even. ) And the vacuum pad part 300 may be fixed to the adjusting bolt insertion hole 114 from which the adjusting bolt 220 is removed, thereby adsorbing and fixing the ceramic product 400.

상술한 본 발명의 세라믹 제품 고정 장치를 사용하는 단계는, 지지부, 진공 패드부(300)에 의해 세라믹 제품(400)을 고정시킨 후, 이를 전자척의 상부에 올려놓음으로써 본 발명의 세라믹 제품 고정 장치가 전자척에 고정될 수 있도록 하고, 회전하는 연마부재를 상하운동시켜 세라믹 제품(400)에 접촉되도록 함으로써 세라믹 제품(400)의 연마면이 연마될 수 있도록 한다. 이때, 세라믹 제품(400)의 연마가 끝나면 진공 패드부(300)의 코크(341)를 해제하여 세라믹 제품(400)이 탈거될 수 있도록 하고, 연속하여 세라믹 제품(400)을 연마할 경우 다시 연마할 세라믹 제품(400)을 지지부에 삽입 밀착시킨 후 진공 패드부(300)의 진공 피스톤(340)을 작동하여 세라믹 제품(400)이 흡착 고정되도록 한다.In the step of using the ceramic product fixing device of the present invention, the ceramic product fixing device of the present invention by fixing the ceramic product 400 by the support unit, the vacuum pad unit 300, and then placing it on the top of the electronic chuck. Can be fixed to the electronic chuck, and the polishing surface of the ceramic product 400 can be polished by contacting the ceramic product 400 by moving the rotating polishing member up and down. At this time, when polishing of the ceramic product 400 is finished, the coke 341 of the vacuum pad part 300 is released so that the ceramic product 400 may be removed, and when the ceramic product 400 is continuously polished, polishing is performed again. The ceramic product 400 is inserted into and adhered to the support unit, and then the vacuum piston 340 of the vacuum pad unit 300 is operated to allow the ceramic product 400 to be adsorbed and fixed.

한편, 세라믹 제품(400)의 크기가 변경될 경우에는, 지지부의 스톱 블록(200)을 세라믹 제품(400)의 외측면에 맞게 전후좌우로 이동시킨 후 거리 제한부의 스톱 볼트(121)를 조절하여 스톱 블록(200)이 세라믹 제품(400)의 외측면에 밀착되도록 하고, 조정 볼트(220)를 조절하여 세라믹 제품(400)의 바닥면이 지지되도록 한 후, 진공 패드부(300)를 조절하여 세라믹 제품(400)이 흡착 고정되도록 함으로써 연마 공정을 수행할 수 있게 된다.On the other hand, when the size of the ceramic product 400 is changed, by moving the stop block 200 of the support portion to the front and rear, left and right to match the outer surface of the ceramic product 400 by adjusting the stop bolt 121 of the distance limiting portion The stop block 200 is brought into close contact with the outer surface of the ceramic product 400, the adjustment bolt 220 is adjusted to support the bottom surface of the ceramic product 400, and then the vacuum pad part 300 is adjusted. By allowing the ceramic product 400 to be fixed by adsorption, the polishing process may be performed.

100 : 장착대 200 : 스톱 블록
220 : 조정 볼트 121 : 스톱 볼트
300 : 진공 패드부 400 : 세라믹 제품100: mounting base 200: stop block
220: adjustment bolt 121: stop bolt
300: vacuum pad 400: ceramic products

Claims (7)

세라믹 제품의 측면 및 측면과 인접한 외측 바닥면을 밀착 지지하는 복수의 스톱 블록과, 상기 세라믹 제품의 바닥면을 밀착 지지하는 복수의 조정 볼트를 포함하여 구성되는 지지부와;
상기 스톱 블록 및 상기 조정 볼트가 장착되는 장착대; 및
상기 장착대에 고정되되, 상기 세라믹 제품의 바닥면을 흡착하여 고정할 수 있도록 구비된 진공 패드부;
를 포함하여 구성되되,
상기 장착대는, 상면 일측이 하부 방향으로 함몰되되 함몰부 측면이 철(凸)형으로 돌출된 레일이 형성된 것을 특징으로 하는 세라믹 제품 고정 장치.A support portion comprising a plurality of stop blocks for closely supporting the side and the outer bottom surface adjacent to the ceramic product, and a plurality of adjustment bolts for closely supporting the bottom surface of the ceramic product;
A mount to which the stop block and the adjustment bolt are mounted; And
A vacuum pad unit fixed to the mount and provided to suck and fix the bottom surface of the ceramic product;
, ≪ / RTI >
The mounting base is a ceramic product fixing device, characterized in that the upper surface one side is recessed in the lower direction, but the side of the depression protruding in the form of iron (형성된) is formed. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 스톱 블록은, 사각 박스 형태의 블록 몸체와, 상기 블록 몸체의 상면에 돌출 형성되는 스토퍼 및 상기 블록 몸체의 하부 양 측면이 요(凹)형으로 함몰되어 상기 장착대의 레일에 삽입될 수 있도록 형성된 블록 슬라이드를 포함하여 구성되어서, 상기 장착대의 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 세라믹 제품 고정 장치.The method of claim 1,
The stop block has a block body in the form of a square box, a stopper protruding from the upper surface of the block body, and both side surfaces of the lower portion of the block body are recessed in a yaw shape to be inserted into the rail of the mounting table. It is configured to include a block slide, the ceramic product fixing device, characterized in that configured to be movable along the rail of the mounting. 제 3 항에 있어서,
상기 지지부는, 상기 장착대의 레일 끝단부에 결합되어서 상기 스톱 블록의 외측 이동거리를 제한하는 거리 제한부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세라믹 제품 고정 장치.The method of claim 3, wherein
The support unit is a ceramic product fixing device, characterized in that further comprises a distance limiting portion coupled to the rail end of the mount to limit the outside movement distance of the stop block. 제 4 항에 있어서,
상기 거리 제한부는, 상기 장착대의 레일 끝단부에 고정되는 볼트 브라켓 및 상기 볼트 브라켓의 일측에 관통 결합되어서, 상기 스톱 블록과 상기 볼트 브라켓 사이의 이격 거리를 결정하는 스톱 볼트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세라믹 제품 고정 장치.5. The method of claim 4,
The distance limiting part may include a bolt bracket fixed to the rail end portion of the mount and a stop bolt penetratingly coupled to one side of the bolt bracket to determine a separation distance between the stop block and the bolt bracket. Ceramic product fixing device. 제 1 항에 있어서,
상기 진공 패드부는, 상기 세라믹 제품의 바닥면과 접촉되는 접시형의 진공 패드와, 상기 진공 패드의 하부에 결합되는 패드부 몸체 및 상기 패드부 몸체의 하부에 결합되는 패드부 고정 볼트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세라믹 제품 고정 장치.The method of claim 1,
The vacuum pad unit includes a dish-shaped vacuum pad in contact with a bottom surface of the ceramic product, a pad unit body coupled to a lower portion of the vacuum pad, and a pad portion fixing bolt coupled to a lower portion of the pad unit body. Ceramic product holding device characterized in that the. 제 6 항에 있어서,
상기 진공 패드부는, 상기 패드부 몸체 측면으로부터 상부면으로 호스 연결부가 관통 형성되고, 상기 진공 패드의 하부면 일측에 상기 호스 연결부와 연통되도록 홀이 형성되어서, 상기 호스 연결부에 연결되는 진공 피스톤에 의해 상기 세라믹 제품의 바닥면에 흡착되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 세라믹 제품 고정 장치.The method according to claim 6,
The vacuum pad part has a hose connection portion formed through the pad portion body side surface from an upper surface thereof, and a hole is formed on one side of the lower surface of the vacuum pad so as to communicate with the hose connection portion, and is connected to the hose connection portion by a vacuum piston. And a ceramic product fixing device configured to be adsorbed on the bottom surface of the ceramic product.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11151647A (en) * 1997-11-18 1999-06-08 Sharp Corp Corner chamfering device for display panel
KR100221651B1 (en) * 1996-05-10 1999-09-15 윤종용 Wafer fixing jig
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Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100221651B1 (en) * 1996-05-10 1999-09-15 윤종용 Wafer fixing jig
JPH11151647A (en) * 1997-11-18 1999-06-08 Sharp Corp Corner chamfering device for display panel
KR20070004428A (en) * 2005-07-04 2007-01-09 도시바 기카이 가부시키가이샤 Method and apparatus for carrying a plate-shaped part
KR200419407Y1 (en) 2006-04-12 2006-06-20 이정숙 Down power vice

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