KR101308205B1 - 엑시머 램프의 내부 전극 - Google Patents

Abstract

본 발명은 엑시머 광의 조도를 매우 균일하게 할 수 있고 조도 저하의 문제점을 최소화 할 수 있는 구조의 내부전극으로 형성된 엑시머 램프에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명에 의한 엑시머 램프의 내부 전극 구조는 금속와이어로 직조된 망상구조로서 상기 망상구조 내부전극의 일단부는 1mm 내지 5mm 정도가 올이 풀려 있어 상기 일단부는 망형상이 아닌 금속와이어가 한방향으로 일정한 간격을 두고 형성되는 구조로 이루어져 평면 형태로 복원하려는 성질을 최소화하기 때문에 파이프 형상의 롤(roll) 형태로 말아서 양 단부가 서로 겹쳐지도록 중첩되어 구성될 때 내부관(10)에 밀착이 용이하도록 하는 구조로 이루어져 있다.

Description

엑시머 램프의 내부 전극{Inner electrode of Excimer lamp}

본 발명은 엑시머 램프의 내부전극에 관한 것으로, 구체적으로는 램프의 조도를 상승시키고 균일한 조도를 얻을 수 있는 구조를 가진 엑시머 램프의 내부전극의 구조에 관한 것이다.

엑시머 램프는 엑시머 방전에 의해서 엑시머 분자를 형성하고, 엑시머 분자로부터 방사되는 광을 이용하는 램프로서, 단일 파장의 진공 자외광을 강하게 방사하는 특징을 지니고 있다. 방전용 가스로는 크세논 가스, 크립톤과 염소의 혼합 가스등이 사용되며, 방전 용기 내의 방전용 가스를 바꿈으로써, 여러가지 파장의 광을 방사할 수 있다. 주로 액정 표시 패널 기관 표면에 부착된 유기물의 분해제거, 세정, 패널 기판의 표면 개질 또는 광화학 반응 등에 이용되고 있다.

통상적으로 사용되는 엑시머 램프는 외부관과 내부관이 동축상에 배치되어 이중관의 구조를 가지는데 상기 내부관에는 광 반사판이며 엑시머 방전의 전극으로 기능을 가지는 내부전극이 형성되어 있다. 이 때, 상기 내부전극은 판으로 이루어진 원관형상으로 이루어져 램프 동작시의 고열로 인한 변형이 발생하고, 이에 의해 내부관과의 밀착을 유지할 수 없어 램프의 조도가 저하되고 균일하지 못하게 되는 문제점이 있었다.이러한 조도 저하 및 불균일은 정밀작업에 사용되는 엑시머 램프에 불량을 유발하는 치명적인 문제점이었다.

또한, 상기 내부전극이 원관형상이 아닌 금속 와이어를 직조한 망형상으로 이루어진 경우에는 파이프 형상의 롤(roll) 형태로 말아서 양 단부가 서로 겹쳐지도록 중첩되어 구성되는데 이때, 내부관과 맞닿는 금속 와이어 단부의 탄성에 의해 원래 평면 형태로 복원하려는 성질로 밀착되지 않는 문제점이 있었다. 이에 의해 내부관과의 밀착을 유지할 수 없어 램프의 조도가 저하되고 균일하지 못하게 되는 문제점이 생기게 되었다

이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명은 엑시머 광의 조도 저하 및 불균일을 최소화 할 수 있는 구조의 내부전극을 갖는 엑시머 램프를 제공하는데 있다.

본 발명에 의한 엑시머 램프의 내부전극 구조는 금속와이어로 직조된 망상구조로서 상기 망상구조 내부전극의 일단부는 1mm 내지 5mm 정도가 올이 풀려 있어 상기 일단부는 망형상이 아닌 금속와이어가 한방향으로 일정한 간격을 두고 형성되는 구조로 이루어진다.

본 발명에 의한 엑시머 램프의 내부전극 구조는 망상구조로 그 일단부가 1mm 내지 5mm 정도 올이 풀려 금속와이어가 한쪽 방향으로 일정한 간격을 두고 형성됨으로서, 상기 내부전극과 내부관의 밀착도가 뛰어나서 엑시머 광의 조도 저하와 불균일을 최소화하여 성능이 우수하고 상품성을 높일 수 있는 효과가 있다.

도 1a는 종래기술에 따른 엑시머 램프 내부전극의 상태도
도 1b는 종래기술에 따른 엑시머 램프 내부전극의 일부확대단면도
도 2는 본 발명에 의한 엑시머 램프의 내부전극의 사시도
도 3a는 본 발명의 일실시예에 따른 내부전극에 의한 엑시머 램프의 사용상태도
도 3b는 본 발명의 일실시예에 따른 내부전극에 의한 엑시머 램프의 일부확대단면도

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 엑시머 램프의 내부전극 구조를 설명하면 다음과 같다.

도 1a 내지 도 1b는 종래기술에 따른 엑시머 램프의 상태도 및 일부 확대 단면도이며, 도 2는 본 발명에 의한 엑시머 램프의 내부전극의 사시도이고 도 3a 내지 도 3b는 본 발명의 일실시예에 따른 엑시머 램프의 사용상태도 및 일부 확대 단면도이다.

본 발명의 일실시예에 따른 엑시머 램프는 내부관(10),내부전극(11), 외부관(미도시), 외부전극(미도시)를 포함한다.

내부 전극(11)은 금속 와이어를 직조한 망형상으로서 내부관(10)의 내측면에 밀착되며, 상기 내부 전극(11)의 직조형태는 평직, 능직, 평첩직, 및 능첩직 등이 될 수 있으며, 서로 평행으로 이웃하는 와이어간 의 거리가 2mm 이하로 제작하는 것이 바람직하다. 내부전극(11)은 전기 전도성이 좋은 재질로서, 스테인레스 스틸, 황동, 청동, 인청동, 구리, 모넬, 인코넬, 니크롬 및 철크롬 등일 수 있다.

본 발명에 의한 엑시머 램프 내 내부전극의 망상구조는 우수한 조도 특성이 나타나도록 선경이 0.02mm 내지0.3mm로 형성되는 것이 바람직하다.

이때, 망상구조의 내부전극(11)을 14mm 이하 직경의 파이프 형상의 롤(roll) 형태로 1.5회 이상 말아 내부관(10)의 내측에 밀착되는데, 상기 망상구조의 내부전극(11)의 일단부(21)가 올이 풀린 구조로 형성되어 있다. 상기 내부전극(11)의 일단부(21)는 1mm 내지 5mm 정도가 올이 풀려 있어 망형상이 아닌 금속와이어가 한방향으로 일정한 간격을 두고 형성되는 구조로 이루어진다.

올이 풀려 있지 않은 내부전극의 경우에는 파이프 형상의 롤(roll) 형태로 말아서 양 단부가 서로 겹쳐지도록 중첩되어 구성될 때 내부관과 맞닿는 금속 와이어 단부의 탄성에 의해 원래 평면 형태로 복원하려는 성질로 내부관에 밀착되지 않아 램프의 조도가 저하되고 균일하지 못하게 되는 것이다.

또한, 올을 5mm 초과하여 풀 경우 망형상이 아닌 금속와이어들은 한방향으로 일정한 간격을 두고 형성되지 못하고 금속와이어들 간 얽히는 현상이 발생되어 내부관에 밀착되지 않아 램프의 조도가 저하되고 균일하지 못하게 되는 것이다.

하지만, 본 발명에 의한 엑시머 램프 내 내부전극(11)의 망상구조는 일단부(21)가 1mm 내지 5mm 정도 올이 풀려 한 방향으로 일정한 간격을 두고 형성되는 구조로 이루어져 평면 형태로 복원하려는 성질을 최소화하기 때문에 파이프 형상의 롤(roll) 형태로 말아서 양 단부가 서로 겹쳐지도록 중첩되어 구성될 때 내부관(10)에 밀착이 용이하게 이루어지는 구조로 이루어져 있다.

다양한 실험을 반복적으로 실시한 결과, 아래 표1과 같이 올풀림길이에 따른 조도의 변화를 알 수 있다

이상과 같이, 본 발명은 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 특허청구범위의 균등범위내에서 다양한 수정 및 변형과 치환이 가능하다.

내부관 : 10 내부전극 : 11
일단부 : 21

Claims (1)

1. 외부관과 내부관이 동축상에 배치되고 상기 내부관에는 내부전극이 형성되는 엑시머 램프에 있어서,
   상기 내부전극(11)은 금속와이어로 직조된 망상구조로 일단부(21)가 1mm 내지 5mm 정도가 올이 풀려 형성되어, 롤(roll) 형태로 말아서 양 단부가 서로 겹쳐지도록 중첩될 때 내부관(10)에 밀착이 용이하여 균일한 조도를 얻을 수 있는 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프의 내부 전극 구조.

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