KR101301107B1 - Piezoelectric pump - Google Patents

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홍승민
이용훈
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Abstract

PURPOSE: A piezoelectric pump is provided to perform dispensing work with a high quality by securing enough actuating displacement by a piezoelectric actuator. CONSTITUTION: A piezoelectric pump comprises a body (10), a valve body (20), a lever (30), a valve rod (40), a first piezoelectric actuator, and a second piezoelectric actuator. The body dispenses a solution. The valve body comprises a storage unit, an inlet port, and a nozzle. The lever is pivotally installed around a hinge shaft installed in the body. The valve rod is connected to the lever. The first piezoelectric actuator is installed in the body and the end of the first actuator contacts with the lever. The second piezoelectric actuator is installed in the body and the end of the second actuator contacts with the lever.

Description

압전 펌프{Piezoelectric Pump}Piezoelectric Pump

본 발명은 압전 펌프에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 압전 소자를 액추에이터로 사용하여 용액을 디스펜싱하는 압전 펌프에 관한 것이다.The present invention relates to a piezoelectric pump, and more particularly, to a piezoelectric pump for dispensing a solution using a piezoelectric element as an actuator.

물, 기름, 레진 등의 액체 상태의 용액을 일정한 양으로 공급하는 디스펜서는 반도체 공정, 의료 분야 등 다양한 분야에 사용되고 있다.Dispensers that supply liquid solutions such as water, oil, and resin in a certain amount are used in various fields such as semiconductor processing and medical fields.

특히 반도체 공정에는 언더필(underfill) 공정에 디스펜서가 많이 사용되며, 반도체 소자의 패키지 내부를 레진으로 채우는 용도로도 디스펜서가 많이 사용된다. LED 소자를 제조하는 공정에는 LED 소자에 형광물질과 레진이 혼합된 형광액을 LED 칩에 도포하는 공정에 디스펜서가 사용된다. In particular, in the semiconductor process, a lot of dispensers are used in the underfill process, and a lot of dispensers are also used to fill the inside of the semiconductor device package with a resin. In the process of manufacturing the LED device, a dispenser is used in the process of applying a fluorescent solution mixed with a fluorescent material and a resin to the LED chip.

이와 같은 디스펜서에는 용액을 공급받아 정확한 위치에 정량을 디스펜싱하는 펌프가 핵심 장치로 사용된다.In such a dispenser, a pump for supplying a solution and dispensing the quantitatively in the correct position is used as a key device.

펌프의 구조에는 스크류 펌프, 리니어 펌프 등 다양한 종류가 존재한다. 최근에는 고속으로 디스펜싱 작업을 수행하기 위해서 반도체 공정 등에 압전 소자를 액추에이터로 사용하는 압전 펌프가 개발되어 사용되고 있다.There are various types of pumps including screw pumps and linear pumps. Recently, a piezoelectric pump using a piezoelectric element as an actuator has been developed and used to perform a dispensing operation at a high speed.

종래의 압전 펌프는 압전 액추에이터의 작동에 의해 얻어지는 변위 값이 너무 작거나 압전 액추에이터의 힘이 약해서 높은 품질의 디스펜싱 성능을 얻기 어려운 문제점이 있었다.Conventional piezoelectric pumps have a problem that it is difficult to obtain high quality dispensing performance because the displacement value obtained by the operation of the piezoelectric actuator is too small or the force of the piezoelectric actuator is weak.

압전 액추에이터는 세라믹 재질의 특성상 장기간 사용중에 작동 특성이 변하거나 파손되는 경우가 있는데 이 경우 구조상 압전 액추에이터만 교체하거나 수리하기 어렵고 용액을 펌핑하는 노즐 주변의 구성까지 전체적으로 교체하거나 폐기해야 하는 불편함이 있었다. 또한, 디스펜싱할 용액의 종류가 바뀌는 경우에는 그 용액의 점성을 고려하여 용액의 특성에 맞는 용액 공급, 저장, 배출을 위한 구조를 압전 액추에이터에 연결하여 사용하여야 한다. 그런데, 종래의 압전 펌프는 압전 액추에이터 주변의 구성과 노즐 주변의 구성이 일체로 형성되어 있어서, 압전 액추에이터는 유지한 채로 노즐 주변의 구성만 용액의 특성에 맞는 구조, 형상의 교체하여 사용하는 것이 구조적으로 불편한 문제점이 있었다.Due to the characteristics of ceramic materials, piezoelectric actuators may change or be damaged during long-term use.In this case, only piezoelectric actuators are difficult to replace or repair. . In addition, when the type of the solution to be dispensed is changed, the structure for supplying, storing, and discharging the solution suitable for the characteristics of the solution should be considered in connection with the piezoelectric actuator in consideration of the viscosity of the solution. However, in the conventional piezoelectric pump, the configuration around the piezoelectric actuator and the configuration around the nozzle are integrally formed, so that only the configuration around the nozzle is maintained while the piezoelectric actuator is maintained. There was an uncomfortable problem.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 압전 액추에이터에 의해 충분한 작동 변위를 확보하여 안정적이고 높은 품질의 디스펜싱 작업을 수행할 수 있는 구조의 압전 펌프를 제공하는 것을 목적으로 한다.Disclosure of Invention The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a piezoelectric pump having a structure capable of performing a stable and high-quality dispensing operation by securing a sufficient operating displacement by a piezoelectric actuator. .

상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명의 압전 펌프는, 전압이 인가되면 길이가 늘어나는 압전 액추에이터를 이용하여 용액을 디스펜싱하는 압전 펌프에 있어서, 펌프 몸체; 상기 펌프 몸체에 설치된 힌지축에 대해 회전 가능하도록 설치되는 레버; 전압이 인가되면 길이가 길어지면서 상기 레버를 가압하여 상기 레버를 상기 힌지축을 중심으로 회전시키도록 그 끝부분이 상기 레버에 접촉 가능하게 상기 펌프 몸체에 설치되는 제1압전 액추에이터; 전압이 인가되면 길이가 길어지면서 상기 레버를 가압하여 상기 제1압전 액추에이터가 상기 레버를 회전시키는 방향의 반대 방향으로 상기 레버를 상기 힌지축을 중심으로 회전시키도록 그 끝부분이 상기 레버에 접촉 가능하게 상기 펌프 몸체에 설치되는 제2압전 액추에이터; 상기 레버의 회전에 따라 승강 운동하도록 상기 레버에 연결되는 밸브 로드; 및 상기 밸브 로드의 끝부분이 삽입되고 용액이 저장되는 저장부, 상기 저장부로 상기 용액이 유입되는 유입구, 상기 밸브 로드의 상기 저장부에 대한 진퇴에 따라 상기 저장부의 용액이 배출되는 노즐을 구비하는 밸브 몸체;를 포함하는 점에 특징이 있다.In order to solve the problems described above, the piezoelectric pump of the present invention, the piezoelectric pump for dispensing the solution using a piezoelectric actuator length is increased when the voltage is applied, the pump body; A lever installed to be rotatable about a hinge shaft installed in the pump body; A first piezoelectric actuator installed at the pump body such that an end thereof is in contact with the lever to press the lever and rotate the lever about the hinge axis as the length thereof is increased when a voltage is applied; When a voltage is applied, the length thereof becomes longer, and the lever is pressed to allow the end portion to contact the lever so as to rotate the lever about the hinge axis in a direction opposite to the direction in which the first piezoelectric actuator rotates the lever. A second piezoelectric actuator installed on the pump body; A valve rod connected to the lever to move up and down as the lever rotates; And a nozzle in which an end of the valve rod is inserted and a solution is stored, an inlet port through which the solution is introduced into the reservoir, and a nozzle through which the solution of the reservoir is discharged as the valve rod advances to the reservoir. It is characterized in that it includes a valve body.

또한, 본 발명의 압전 펌프는, 상기 제1압전 액추에이터와 제2압전 액추에이터가 상기 펌프 몸체의 힌지축을 사이에 두고 서로 나란하게 배치되도록 구성할 수 있다.In addition, the piezoelectric pump of the present invention may be configured such that the first piezoelectric actuator and the second piezoelectric actuator are arranged in parallel with each other with the hinge axis of the pump body interposed therebetween.

또한, 상기 제1압전 액추에이터와 제2압전 액추에이터가 상기 레버를 사이에 두고 서로 마주하도록 배치하는 것도 가능하다.The first piezoelectric actuator and the second piezoelectric actuator may be disposed to face each other with the lever therebetween.

본 발명의 압전 펌프는, 압전 액추에이터를 효과적으로 사용할 수 있는 구조에 의해 높은 품질의 디스펜싱 작업을 수행할 수 있는 구조의 압전 펌프를 제공하는 효과가 있다.The piezoelectric pump of the present invention has an effect of providing a piezoelectric pump having a structure capable of performing a high quality dispensing operation by a structure capable of effectively using a piezoelectric actuator.

또한, 본 발명의 압전 펌프는, 유지, 보수가 용이하며 용액의 특성에 맞추어 설계된 용액 디스펜싱 밸브 부분을 쉽게 교체하여 사용할 수 있는 구조의 압전 펌프를 제공하는 효과가 있다.In addition, the piezoelectric pump of the present invention has an effect of providing a piezoelectric pump having a structure in which maintenance and repair are easy and a solution dispensing valve portion designed according to the characteristics of a solution can be easily replaced and used.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 압전 펌프의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 압전 펌프의 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 압전 펌프의 측면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 압전 펌프의 Ⅳ-Ⅳ선 단면도이다.
도 5 내지 도 7은 도 1에 도시된 압전 펌프의 작동을 설명하기 위한 개략도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 압전 펌프의 작동을 설명하기 위한 개략도이다.1 is a perspective view of a piezoelectric pump according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a front view of the piezoelectric pump shown in FIG. 1.
3 is a side view of the piezoelectric pump shown in FIG. 1.
4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV of the piezoelectric pump shown in FIG. 1.
5 to 7 are schematic views for explaining the operation of the piezoelectric pump shown in FIG.
8 is a schematic view for explaining the operation of the piezoelectric pump according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명에 따른 압전 펌프를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a piezoelectric pump according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 압전 펌프의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 압전 펌프의 정면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 압전 펌프의 측면도이다.1 is a perspective view of a piezoelectric pump according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view of the piezoelectric pump shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a side view of the piezoelectric pump shown in FIG. 1.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예의 압전 펌프는 펌프 몸체(10)와 밸브 몸체(20)를 구비한다. 1 to 3, the piezoelectric pump of this embodiment includes a pump body 10 and a valve body 20.

펌프 몸체(10)와 밸브 몸체(20)는 도 1에 도시된 것과 같이 볼트를 이용하여 착탈 가능하게 결합된다.The pump body 10 and the valve body 20 are detachably coupled using bolts as shown in FIG. 1.

펌프 몸체(10)에는 힌지축(11)이 설치되고, 가로 방향으로 연장되는 레버(30)가 힌지축(11)에 대해 회전 가능하게 설치된다. 밸브 몸체(20)에는 수직 방향으로 연장되도록 형성된 밸브 로드(40)가 끼워져 설치된다. 레버(30)와 밸브 로드(40)는 서로 연결되어, 레버(30)가 힌지축(11)에 대해 회전하면 밸브 로드(40)는 상하로 승강하게 된다.The hinge shaft 11 is installed in the pump body 10, and a lever 30 extending in the horizontal direction is rotatably installed with respect to the hinge shaft 11. The valve body (20) is fitted with a valve rod (40) formed to extend in the vertical direction. The lever 30 and the valve rod 40 are connected to each other. When the lever 30 rotates about the hinge shaft 11, the valve rod 40 is moved up and down.

펌프 몸체(10)에는 제1압전 액추에이터(51) 및 제2압전 액추에이터(52)가 설치되어 레버(30)를 힌지축(11)에 대해 회전시킨다. 제1압전 액추에이터(51) 및 제2압전 액추에이터(52)는 압전소자를 이용하여 구성된다. 즉 전압을 인가하면 그 인가 전압의 전위에 따라 길이가 늘어나거나 줄어드는 구조의 압전 소자를 사용하여 제1압전 액추에이터(51) 및 제2압전 액추에이터(52)를 구성한다. 본 실시예에서는 다수의 압전소자를 적층하여 구성되는 멀티 스택(Multi Stack) 압전 액추에이터를 시용하여 제1압전 액추에이터(51) 및 제2압전 액추에이터(52)를 구성하는 경우를 예로 들어 설명한다.The pump body 10 is provided with a first piezoelectric actuator 51 and a second piezoelectric actuator 52 to rotate the lever 30 about the hinge shaft 11. The first piezoelectric actuator 51 and the second piezoelectric actuator 52 are configured using a piezoelectric element. That is, when a voltage is applied, the first piezoelectric actuator 51 and the second piezoelectric actuator 52 are configured by using a piezoelectric element having a length that increases or decreases in accordance with the potential of the applied voltage. In the present embodiment, a case in which the first piezoelectric actuator 51 and the second piezoelectric actuator 52 are configured by using a multi-stack piezoelectric actuator configured by stacking a plurality of piezoelectric elements will be described as an example.

도 4에 도시한 것과 같이 제1압전 액추에이터(51) 및 제2압전 액추에이터(52)는 수직방향으로 서로 나란하게 배치되어 펌프 몸체(10)에 설치된다. 제1압전 액추에이터(51) 및 제2압전 액추에이터(52)는 힌지축(11)을 사이에 두고 각각 하단부가 레버(30)의 상면에 접촉하도록 배치된다. 제1압전 액추에이터(51)에 전압이 인가되어 길이가 늘어나면 레버(30)는 도 4를 기준으로 반시계 방향으로 회전하고, 제2압전 액추에이터(52)에 전압이 인가되어 길이가 늘어나면 레버(30)는 도 4를 기준으로 시계방향으로 회전한다.As shown in FIG. 4, the first piezoelectric actuator 51 and the second piezoelectric actuator 52 are disposed in the pump body 10 in parallel with each other in the vertical direction. The first piezoelectric actuator 51 and the second piezoelectric actuator 52 are disposed such that the lower end portion contacts the upper surface of the lever 30 with the hinge shaft 11 therebetween. When the voltage is applied to the first piezoelectric actuator 51 and the length is increased, the lever 30 rotates counterclockwise based on FIG. 4, and when the voltage is applied to the second piezoelectric actuator 52 and the length is increased, the lever 30. 30 rotates in a clockwise direction with reference to FIG. 4.

제1압전 액추에이터(51) 및 제2압전 액추에이터(52)의 상단에는 각각 제1조절 수단(61) 및 제2조절 수단(62)이 배치되어 펌프 몸체(10)에 설치된다. 본 실시예에서는 무두(無頭) 볼트 형태의 제1조절 수단(61) 및 제2조절 수단(62)이 각각 제1압전 액추에이터(51) 및 제2압전 액추에이터(52)의 끝부분에 접촉한 상태로 펌프 몸체(10)에 나사 결합되어 설치된다. 제1조절 수단(61)은 레버(30) 및 펌프 몸체(10)에 대한 제1압전 액추에이터(51)의 위치를 조절하고, 제2조절 수단(62)은 레버(30) 및 펌프 몸체(10)에 대한 제2압전 액추에이터(52)의 위치를 조절한다. 제1조절 수단(61)을 조여서 펌프 몸체(10)에 대해 전진시키면 제1압전 액추에이터(51)는 하강하여 레버(30)에 근접하거나 밀착하게 된다. 제2조절 수단(62)도 제1조절 수단(61)과 동일한 방법으로 작동한다.First and second control means 61 and 62 are disposed on the upper end of the first piezoelectric actuator 51 and the second piezoelectric actuator 52, respectively, and are installed in the pump body 10. In the present embodiment, the first adjusting means 61 and the second adjusting means 62 in the form of a tanned bolt are in contact with the ends of the first piezoelectric actuator 51 and the second piezoelectric actuator 52, respectively. It is installed by screwing the pump body 10 in a state. The first adjusting means 61 adjusts the position of the first piezoelectric actuator 51 relative to the lever 30 and the pump body 10, and the second adjusting means 62 adjusts the lever 30 and the pump body 10. Position of the second piezoelectric actuator 52 relative to the < RTI ID = 0.0 > When the first adjusting means 61 is tightened to move forward with respect to the pump body 10, the first piezoelectric actuator 51 is lowered to approach or closely contact the lever 30. The second adjusting means 62 also operates in the same way as the first adjusting means 61.

레버(30)의 하부에는 제1복귀 수단(63) 및 제2복귀 수단(64)이 배치되어 펌프 몸체(10)에 설치된다. 제1복귀 수단(63)은 제1압전 액추에이터(51)에 의해 레버(30)가 회전하는 방향의 반대 방향으로 레버(30)가 회전하도록 레버(30)에 힘을 가한다. 마찬가지로 제2복귀 수단(64)은 제2압전 액추에이터(52)에 의해 레버(30)가 회전하는 방향의 반대 방향으로 레버(30)가 회전하도록 레버(30)에 힘을 가한다. 제1복귀 수단(63) 및 제2복귀 수단(64)은 레버(30)의 하부에서 각각 펌프 몸체(10)에 대해 레버(30)를 밀어 내는 방향으로 탄성력을 제공하는 스프링일 수도 있고, 유체 덕트일 수도 있다. 제1압전 액추에이터(51) 및 제2압전 액추에이터(52)에 각각 대응되는 위치의 하부에서 레버(30)에 탄성력을 전달할 수 있도록 펌프 몸체(10)에는 스프링(63, 64)이 설치된다. 스프링(63, 64)의 하부에는 변위 조절 나사(65, 66)가 설치되어 스프링(63, 64)의 예압을 조절한다. 본 실시예와 달리 공압이나 유압을 이용하는 경우에는 유체 덕트를 통해 공압 또는 유압이 레버(30)에 전달되도록 하여 레버(30)를 원위치로 복귀시키는 방향으로 힘을 전달한다.Under the lever 30, the first return means 63 and the second return means 64 are disposed on the pump body 10. The first return means 63 exerts a force on the lever 30 so that the lever 30 rotates in a direction opposite to the direction in which the lever 30 rotates by the first piezoelectric actuator 51. Similarly, the second return means 64 forces the lever 30 to rotate the lever 30 in a direction opposite to the direction in which the lever 30 rotates by the second piezoelectric actuator 52. The first return means 63 and the second return means 64 may be springs which provide an elastic force in a direction pushing the lever 30 against the pump body 10 at the lower portion of the lever 30, respectively, It may be a duct. Springs 63 and 64 are installed in the pump body 10 so as to transmit elastic force to the lever 30 at the lower portions corresponding to the first piezoelectric actuators 51 and the second piezoelectric actuators 52, respectively. Displacement adjustment screws 65 and 66 are installed below the springs 63 and 64 to adjust the preload of the springs 63 and 64. Unlike the present embodiment, when using pneumatic or hydraulic pressure, the pneumatic or hydraulic pressure is transmitted to the lever 30 through the fluid duct, thereby transmitting a force in the direction of returning the lever 30 to its original position.

밸브 몸체(20)는 저장부(22)와 유입구(21)과 노즐(23)을 구비한다. 저장부(22)는 상측으로 개방되는 용기 형태로 형성되고, 밸브 로드(40)가 그 저장부(22)에 끼워져서 저장부(22)의 상측을 밀폐한다. 유입구(21)는 저장부(22)와 연결된다. 유입구(21)를 통해 외부로부터 공급되는 용액이 저장부(22)로 전달된다. The valve body 20 has a reservoir 22, an inlet 21 and a nozzle 23. The reservoir 22 is formed in a container shape that is open upward, and the valve rod 40 is fitted into the reservoir 22 to seal the upper side of the reservoir 22. The inlet 21 is connected to the reservoir 22. The solution supplied from the outside through the inlet 21 is delivered to the reservoir 22.

레버(30)에 연결된 밸브 로드(40)는 레버(30)의 회전에 따라 저장부(22)에 대해 승강운동하게 된다. 밸브 로드(40)가 상승하였다가 하강하면서 그 하부에 위치하는 노즐(23)에 근접하는 방향으로 움직이면 저장부(22) 내부의 용액을 가압하게 되어 노즐(23)을 통해 용액이 외부로 디스펜싱된다.The valve rod 40 connected to the lever 30 moves up and down with respect to the reservoir 22 according to the rotation of the lever 30. When the valve rod 40 moves up and down and moves in a direction close to the nozzle 23 located below, the valve rod 40 pressurizes the solution inside the reservoir 22, thereby dispensing the solution to the outside through the nozzle 23. do.

레버(30)와 밸브 로드(40)는 다양한 방법에 의해 연결될 수 있다. 본 실시예에서는 도 1에 도시한 것과 같은 구조로 레버(30)와 밸브 로드(40)가 연결된다. 레버(30)의 끝부분에는 수평 방향으로 개방되는 걸림홈(31)이 형성된다. 즉, 레버(30)의 걸림홈(31)은 C자 형태로 형성된다. 밸브 로드(40)의 상단부에는 걸림 로드(41)가 형성된다. 걸림 로드(41)는 레버(30)의 걸림홈(31)에 끼워져서 그 레버(30)에 대해 회전 가능하도록 연결된다. 즉, 레버(30)의 회전 운동이 밸브 로드(40)의 승강 운동으로 변환되도록 구성된다. 걸림홈(31)은 수평 방향으로 개방되도록 형성되어 있으므로 걸림 로드(41)를 수평 방향으로 걸림홈(31)에 대해 움직여서 걸림홈(31)과 걸림 로드(41)를 착탈시킬 수 있다. 걸림홈(31)은 수평방향으로 형성되어 있으므로, 레버(30)의 회전에 의해 걸림홈(31)이 승강하더라도 걸림 로드(41)는 걸림홈(31)에서 빠지지 않고 밸브 몸체(20)에 대해 상승 또는 하강하게 된다. 레버(30)와 밸브 로드(40)를 분리할 필요가 있을 때에는 걸림 로드(41)를 걸림홈(31)에 대해 수평방향으로 이동시킴으로써 쉽게 분리할 수 있다. The lever 30 and the valve rod 40 may be connected by various methods. In this embodiment, the lever 30 and the valve rod 40 are connected in a structure as shown in FIG. At the end of the lever 30 is formed a locking groove 31 which is open in the horizontal direction. That is, the locking groove 31 of the lever 30 is formed in a C shape. A catching rod 41 is formed at the upper end of the valve rod 40. The catching rod 41 is fitted into the catching groove 31 of the lever 30 and is rotatably connected to the lever 30. That is, the rotational movement of the lever 30 is configured to be converted into the lifting movement of the valve rod 40. Since the locking groove 31 is formed to open in the horizontal direction, the locking groove 31 and the locking rod 41 may be detached by moving the locking rod 41 in the horizontal direction with respect to the locking groove 31. Since the locking groove 31 is formed in the horizontal direction, even when the locking groove 31 is lifted by the rotation of the lever 30, the locking rod 41 does not fall out of the locking groove 31 and is provided with respect to the valve body 20. It rises or falls. When the lever 30 and the valve rod 40 need to be separated, the locking rod 41 can be easily removed by moving the locking rod 41 in the horizontal direction with respect to the locking groove 31.

한편, 펌프 몸체(10)에는 도 1 및 도 4에 도시한 것과 같은 냉각 라인(71, 72, 73, 74)이 형성된다. 즉 펌프 몸체(10)를 경유하여 냉각 유체가 흐를 수 있는 유로가 펌프 몸체(10)에 형성된다. 이와 같은 냉각 유로를 통해 비교적 저온의 기체 또는 액체가 흐르도록 함으로써, 제1압전 액추에이터(51) 및 제2압전 액추에이터(52)에서 발생하는 열을 외부로 배출하게 된다.On the other hand, the pump body 10 is formed with cooling lines 71, 72, 73, 74 as shown in FIGS. 1 and 4. That is, a flow path through which the cooling fluid flows through the pump body 10 is formed in the pump body 10. By allowing a relatively low temperature gas or liquid to flow through the cooling passage, heat generated by the first piezoelectric actuator 51 and the second piezoelectric actuator 52 is discharged to the outside.

이하, 상술한바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 압전 펌프의 작동에 대해 설명한다. Hereinafter, the operation of the piezoelectric pump according to the present embodiment configured as described above will be described.

먼저 도 1과 같이 펌프 몸체(10)와 밸브 몸체(20) 및 기타 구성이 조립된 상태에서 제1압전 액추에이터(51) 및 제2압전 액추에이터(52)에 전압을 인가한다. 밸브 로드(40)를 하강시켜 용액을 노즐(23)을 통해 디스펜싱하기 위해 제2압전 액추에이터(52)에 인가할 전압을 기준으로 50%의 전압을 제1압전 액추에이터(51) 및 제2압전 액추에이터(52)에 각각 인가한다. 도 5에 도시한 것과 같이 제1압전 액추에이터(51) 및 제2압전 액추에이터(52)가 동일한 길이로 늘어나면서 그 하단부가 레버(30)에 각각 접촉하게 된다. 이와 같은 상태에서 각각 제1조절 수단(61) 및 제2조절 수단(62)을 이용하여 제1압전 액추에이터(51) 및 제2압전 액추에이터(52)의 위치를 조정한다. 볼트(61, 62)를 회전시켜 제1압전 액추에이터(51) 및 제2압전 액추에이터(52)를 각각 전후진시켜서 레버(30)가 수평한 상태가 되도록 한다. 이때, 볼트(61, 62)를 회전시켜 제1압전 액추에이터(51) 또는 제2압전 액추에이터(52)를 후진시키면 제1복귀 수단(63) 또는 제2복귀 수단(64)의 작용에 의해 레버(30)가 회전하면서 제1압전 액추에이터(51) 또는 제2압전 액추에이터(52)를 밀어 올려 상승시킨다.First, as shown in FIG. 1, a voltage is applied to the first piezoelectric actuator 51 and the second piezoelectric actuator 52 in a state where the pump body 10, the valve body 20, and other components are assembled. 50% of the voltage is applied to the first piezoelectric actuator 51 and the second piezoelectric actuator based on the voltage to be applied to the second piezoelectric actuator 52 to lower the valve rod 40 to dispense the solution through the nozzle 23. It applies to the actuator 52, respectively. As shown in FIG. 5, the first piezoelectric actuator 51 and the second piezoelectric actuator 52 extend in the same length, and the lower ends thereof come into contact with the lever 30, respectively. In this state, the positions of the first piezoelectric actuator 51 and the second piezoelectric actuator 52 are adjusted using the first adjusting means 61 and the second adjusting means 62, respectively. The bolts 61 and 62 are rotated to advance the first piezoelectric actuator 51 and the second piezoelectric actuator 52, respectively, so that the lever 30 is in a horizontal state. At this time, by rotating the bolts 61 and 62 to reverse the first piezoelectric actuator 51 or the second piezoelectric actuator 52, the lever (10) is actuated by the first return means 63 or the second return means 64. As the 30 is rotated, the first piezoelectric actuator 51 or the second piezoelectric actuator 52 is pushed up to be raised.

위와 같은 과정을 거쳐서 디스펜싱을 하기 위한 제1압전 액추에이터(51) 및 제2압전 액추에이터(52)의 초기 위치를 설정한다.Through the above process, the initial positions of the first piezoelectric actuator 51 and the second piezoelectric actuator 52 for dispensing are set.

이와 같은 상태에서 유입구(21)를 통해 저장부(22)로 용액을 일정한 압력으로 공급한다.In this state, the solution is supplied to the reservoir 22 through the inlet 21 at a constant pressure.

이와 같은 상태에서 용액을 디스펜싱하는 공정을 시작한다.In this state, the process of dispensing the solution is started.

제1압전 액추에이터(51)에는 100%, 제2압전 액추에이터(52)에는 0%의 전압을 인가하면 제1압전 액추에이터(51)는 팽창하고 제2압전 액추에이터(52)는 수축하게 된다. 도 6에 도시한 것과 같이 레버(30)는 반시계 방향으로 회전하면서 밸브 로드(40)는 상승하게 된다. 이때, 제2복귀 수단(64)의 작용에 의해 레버(30)의 회전이 더욱 신속하게 이루어진다. 참고로 도 6은 효과적인 설명을 위해 레버(30)의 기울어진 각도를 실제보다 과장하여 도시한 것이다.When a voltage of 100% is applied to the first piezoelectric actuator 51 and 0% to the second piezoelectric actuator 52, the first piezoelectric actuator 51 expands and the second piezoelectric actuator 52 contracts. As shown in FIG. 6, the valve rod 40 is raised while the lever 30 rotates counterclockwise. At this time, the rotation of the lever 30 is made faster by the action of the second return means (64). For reference, FIG. 6 is an exaggerated view of the inclination angle of the lever 30 for the purpose of effective explanation.

이와 같은 상태에서 제1압전 액추에이터(51)에는 0%, 제2압전 액추에이터(52)에는 100%의 전압을 인가하면 제1압전 액추에이터(51)는 수축하고 제2압전 액추에이터(52)는 팽창하게 된다. 도 7에 도시한 것과 같이 레버(30)는 시계 방향으로 회전하면서 밸브 로드(40)는 하강하게 된다. 저장부(22)에 삽입된 밸브 로드(40)가 하강하면서 저장부(22) 내부의 용액을 가압하여 용액이 노즐(23)을 통해 외부로 배출되면서 디스펜싱이 이뤄진다. 이때에도 제1복귀 수단(63)이 인접하는 레버(30)를 밀어 올리면서 레버(30)가 시계방향으로 신속하게 회전하는 것을 돕게 된다. 도 7은 도 6과 마찬가지로 효과적인 설명을 위해 레버(30)의 기울어진 정도를 실제보다 과장하여 도시하였다.In this state, when a voltage of 0% is applied to the first piezoelectric actuator 51 and 100% to the second piezoelectric actuator 52, the first piezoelectric actuator 51 contracts and the second piezoelectric actuator 52 expands. do. As shown in FIG. 7, the valve rod 40 descends while the lever 30 rotates clockwise. As the valve rod 40 inserted into the reservoir 22 descends, the solution inside the reservoir 22 is pressurized to dispense the solution while the solution is discharged to the outside through the nozzle 23. At this time, while the first return means 63 pushes up the adjacent lever 30, the lever 30 helps to rotate quickly in the clockwise direction. FIG. 7 exaggerates the degree of inclination of the lever 30 for the purpose of effective explanation as in FIG. 6.

이와 같이 제1압전 액추에이터(51)와 제2압전 액추에이터(52)에 교대로 전압을 인가하면 도 6 및 도 7과 같이 밸브 로드(40)가 반복적으로 승강하면서 연속적으로 노즐(23)을 통해 용액을 디스펜싱하게 된다.As such, when voltage is alternately applied to the first piezoelectric actuator 51 and the second piezoelectric actuator 52, the valve rod 40 is repeatedly raised and lowered as shown in FIGS. Will be dispensed.

도 4에 도시한 것과 같이, 회전축과 제1압전 액추에이터(51) 및 제2압전 액추에이터(52) 사이의 거리보다 회전축과 밸브 로드(40) 사이의 거리가 훨씬 크기 때문에, 압전 액추에이터(51, 52)의 변형량을 레버(30)에 의해 충분히 확대하여 밸브 로드(40)를 충분한 높이 범위 내에서 작동시킬 수 있는 장점이 있다.As shown in FIG. 4, since the distance between the rotary shaft and the valve rod 40 is much larger than the distance between the rotary shaft and the first piezoelectric actuator 51 and the second piezoelectric actuator 52, the piezoelectric actuators 51 and 52. The amount of deformation of) is sufficiently enlarged by the lever 30 to operate the valve rod 40 within a sufficient height range.

제1압전 액추에이터(51) 및 제2압전 액추에이터(52)의 작동을 제어하는 제어부에서는 시간의 흐름에 따라 다양한 형태의 펄스 파형을 가진 전압을 제1압전 액추에이터(51) 및 제2압전 액추에이터(52)에 인가함으로써 밸브 로드(40)의 동특성을 제어할 수 있다. 특히, 2개의 압전 액추에이터(51, 52)를 힌지축(11)을 사이에 두고 각각 레버(30)를 작동시키도록 구성함으로써, 밸브 로드(40)의 하강 운동뿐만 아니라 상승 운동까지 제어할 수 있으므로 더욱 빠르게 용액을 디스펜싱할 수 있으며 디스펜싱되는 용액의 양도 정확하게 제어하는 것이 가능하다.In the control unit for controlling the operation of the first piezoelectric actuator 51 and the second piezoelectric actuator 52, voltages having various waveform waveforms may be changed over time with the first piezoelectric actuator 51 and the second piezoelectric actuator 52. ), The dynamic characteristics of the valve rod 40 can be controlled. In particular, by configuring the two piezoelectric actuators 51 and 52 to operate the levers 30 with the hinge shafts 11 interposed therebetween, it is possible to control not only the downward movement but also the upward movement of the valve rod 40. It is possible to dispense the solution faster and to accurately control the amount of solution dispensed.

특히, 제1압전 액추에이터(51) 및 제2압전 액추에이터(52)의 기계적인 작동 특성을 인가 전압의 크기, 전압의 교대 주파수, 전압의 시간에 따른 변화량 등의 인자를 이용하여 제어부에서 전기적인 방법으로 정확하게 제어할 수 있는 장점이 있다. 이와 같은 밸브 로드(40)의 동작에 대한 제어 성능 향상은 결과적으로 디스펜싱되는 용액의 디스펜싱 특성을 쉽고 정확하게 제어할 수 있도록 한다.In particular, the mechanical operation characteristics of the first piezoelectric actuator 51 and the second piezoelectric actuator 52 may be controlled by an electrical method in the controller using factors such as the magnitude of the applied voltage, the alternating frequency of the voltage, and the amount of change over time. There is an advantage that can be precisely controlled. Such improved control performance of the operation of the valve rod 40 allows for easy and accurate control of the dispensing characteristics of the solution to be dispensed.

압전 액추에이터(51, 52)는 그 특성상 사용중에 열이 비교적 많이 발생한다. 압전 액추에이터(51, 52)에서 발생하는 열에 의해 압전 액추에이터(51, 52)의 온도가 상승하면 그 동작 특성이 저하될 수 있다. 본 실시예의 압전 펌프에는 도 1 내지 4에 도시한 것과 같이 펌프 몸체(10)에 냉각 라인(71, 72, 73, 74)이 형성되어 있다. 냉각 라인(71, 72, 73, 74)을 통해 펌프 몸체(10)를 냉각시킴으로써 압전 액추에이터(51, 52)의 온도 상승을 방지할 수 있다. 압전 액추에이터(51, 52)의 온도가 상승되는 것을 방지함으로써 밸브 로드(40)의 동특성도 일정하게 유지하고 용액의 디스펜싱 품질도 유지할 수 있는 장점이 있다.The piezoelectric actuators 51 and 52 generate relatively high heat during use due to their characteristics. When the temperatures of the piezoelectric actuators 51 and 52 rise due to the heat generated by the piezoelectric actuators 51 and 52, their operating characteristics may be deteriorated. In the piezoelectric pump of this embodiment, cooling lines 71, 72, 73, and 74 are formed in the pump body 10 as shown in FIGS. 1 to 4. By cooling the pump body 10 through the cooling lines 71, 72, 73, 74, it is possible to prevent the temperature rise of the piezoelectric actuators 51, 52. By preventing the temperature of the piezoelectric actuators 51 and 52 from rising, there is an advantage that the dynamic characteristics of the valve rod 40 can be kept constant and the dispensing quality of the solution can be maintained.

본 실시예의 압전 펌프는 상술한 바와 같이 펌프 몸체(10)와 밸브 몸체(20)를 착탈 가능하게 구성하고 레버(30)와 밸브 로드(40)도 연결과 분리가 용이하게 구성함으로써, 유지, 보수, 세척이 쉽고 용액의 다양한 특성에 맞추어 압전 펌프를 구성하는 것이 쉬운 장점이 있다. 펌프 몸체(10)와 밸브 몸체(20)를 결합하는 나사를 풀고 밸브 로드(40)의 걸림 로드(41)를 레버(30)의 걸림홈(31)에서 이탈시킴으로써, 밸브 몸체(20)와 밸브 로드(40)를 펌프 몸체(10)에서 쉽게 분리할 수 있다. As described above, the piezoelectric pump of the present embodiment is configured such that the pump body 10 and the valve body 20 are detachable, and the lever 30 and the valve rod 40 are also easily connected and separated, thereby maintaining and repairing them. In addition, it is easy to clean and easy to configure the piezoelectric pump according to the various characteristics of the solution has the advantage. Loosen the screw that couples the pump body 10 and the valve body 20, and remove the locking rod 41 of the valve rod 40 from the locking groove 31 of the lever 30, the valve body 20 and the valve The rod 40 can be easily removed from the pump body 10.

이와 같이 밸브 몸체(20)를 분리하면 다음 사용을 위해 세척하는 것이 용이한 장점이 있다. 밸브 몸체(20)나 밸브 로드(40)가 파손된 경우에도 위와 같은 방법으로 분리하고 새로운 밸브 몸체(20)나 밸브 로드(40)로 교체할 수 있다. Thus separating the valve body 20 has the advantage of easy to wash for the next use. Even when the valve body 20 or the valve rod 40 is broken, the valve body 20 or the valve rod 40 may be separated and replaced with a new valve body 20 or the valve rod 40.

디스펜싱할 용액의 종류가 달라지는 경우에는 그 용액의 점도나 기타 특성을 고려하여 설계된 다른 밸브 몸체(20) 및 밸브 로드(40)로 교체하여 압전 펌프를 구성함으로써 효과적으로 대응할 수 있는 장점이 있다.When the type of solution to be dispensed is different, there is an advantage that the piezoelectric pump can be effectively replaced by replacing with another valve body 20 and valve rod 40 designed in consideration of the viscosity or other characteristics of the solution.

압전 액추에이터(51, 52)는 일반적으로 세라믹 재질로 형성된다. 그 재료적 특성상 장기간 사용하면 인가 전압에 따른 팽창 변위가 초기와는 달라질 수도 있다. 이와 같은 경우에도 본 실시예의 압전 펌프는 제1조절 수단(61) 및 제2조절 수단(62)을 이용하여 제1압전 액추에이터(51) 및 제2압전 액추에이터(52)의 위치를 조정함으로써 레버(30) 및 밸브 로드(40)의 동특성을 유지할 수 있는 장점이 있다.The piezoelectric actuators 51 and 52 are generally formed of a ceramic material. Due to its material properties, when used for a long time, the expansion displacement depending on the applied voltage may be different from the initial stage. Even in such a case, the piezoelectric pump of this embodiment adjusts the position of the first piezoelectric actuator 51 and the second piezoelectric actuator 52 by using the first adjusting means 61 and the second adjusting means 62. 30) and the valve rod 40 has the advantage of maintaining the dynamic characteristics.

이상, 본 발명에 따른 압전 펌프의 일실시예에 대해 설명하였으나, 본 발명의 범위가 앞에서 설명되고 도시한 형태로 한정되는 것은 아니다. As mentioned above, although one Example of the piezoelectric pump which concerns on this invention was described, the scope of the present invention is not limited to the form demonstrated above and shown.

예를 들어, 앞에서 설명한 제1복귀 수단(63) 및 제2복귀 수단(64)으로 스프링 또는 공압을 이용하는 경우를 예로 들어 설명하였으나 경우에 따라서는 액체의 압력을 이용하여 제1복귀 수단 및 제2복귀 수단을 구성하는 것도 가능하다. 또한, 제1복귀 수단 및 제2복귀 수단을 구비하지 않는 압전 펌프를 구성하는 것도 가능하다.For example, the case where the spring or pneumatic pressure is used as the first return means 63 and the second return means 64 described above has been described as an example. It is also possible to configure the return means. Moreover, it is also possible to comprise the piezoelectric pump which is not provided with the 1st return means and the 2nd return means.

또한, 펌프 몸체(10)에 냉각 라인(71, 72, 73, 74)이 형성되지 않은 형태의 압전 펌프를 구성하는 것도 가능하다.In addition, it is also possible to configure a piezoelectric pump in a form in which the cooling lines 71, 72, 73, and 74 are not formed in the pump body 10.

또한, 레버(30)와 밸브 로드(40)는 레버(30)의 걸림홈(31)과 밸브 로드(40)의 걸림 로드(41)에 의해 연결되는 것으로 설명하였으나 다른 방법에 의해 레버와 밸브 로드를 연결하는 것도 가능하다. 펌프 몸체(10)와 밸브 몸체(20)도 착탈 가능하게 결합하지 않고 서로 일체가 되도록 형성하는 것도 가능하다.In addition, the lever 30 and the valve rod 40 have been described as being connected by the catching groove 31 of the lever 30 and the catching rod 41 of the valve rod 40, but the lever and the valve rod may be different by other methods. It is also possible to connect. The pump body 10 and the valve body 20 may also be formed to be integral with each other without being detachably coupled to each other.

이하, 도 8을 참조하여 본 발명에 따른 압전 펌프의 다른 실시예에 대해 설명한다.Hereinafter, another embodiment of a piezoelectric pump according to the present invention will be described with reference to FIG. 8.

본 실시예의 압전 펌프는 앞서 도 1 내지 도 7을 참조하여 설명한 압전 펌프와 달리, 제1압전 액추에이터(81)와 제2압전 액추에이터(82)가 레버(30)를 사이에 두고 서로 마주하도록 일직선 상에 배치된다. 제1압전 액추에이터(81)에 전압을 인가하고 제2압전 액추에이터(82)의 전압을 0으로 하면, 레버(30)가 반시계 방향으로 회전하면서 밸브 로드(40)가 상승한다. 제1압전 액추에이터(81)의 전압을 0으로 하고 제2압전 액추에이터(82)에 전압을 인가하면, 레버(30)가 시계 방향으로 회전하면서 밸브 로드(40)가 하강하고 노즐(23)을 통해 용액이 디스펜싱된다. 제1복귀 수단(67)과 제2복귀 수단(68)도 레버(30)를 사이에 두고 서로 마주하도록 일직선 상에 배치된다. 제1복귀 수단(67)은 레버(30)를 시계방향으로 회전시키도록 탄성력을 제공하고 제2복귀 수단(68)은 레버(30)를 반시계방향으로 회전시키도록 탄성력을 제공한다.Unlike the piezoelectric pump described above with reference to FIGS. 1 to 7, the piezoelectric pump of the present embodiment is in a straight line such that the first piezoelectric actuator 81 and the second piezoelectric actuator 82 face each other with the lever 30 interposed therebetween. Is placed on. When voltage is applied to the first piezoelectric actuator 81 and the voltage of the second piezoelectric actuator 82 is zero, the valve rod 40 is raised while the lever 30 rotates counterclockwise. When the voltage of the first piezoelectric actuator 81 is zero and the voltage is applied to the second piezoelectric actuator 82, the valve rod 40 is lowered while the lever 30 rotates clockwise and the nozzle 23 is rotated. The solution is dispensed. The first return means 67 and the second return means 68 are also arranged in a straight line so as to face each other with the lever 30 therebetween. The first return means 67 provides an elastic force to rotate the lever 30 clockwise, and the second return means 68 provides an elastic force to rotate the lever 30 counterclockwise.

제1압전 액추에이터(81) 및 제2압전 액추에이터(82)의 배치 구조를 제외한 다른 구성들은 앞서 도 1 내지 도 7을 참조하여 설명한 실시예의 다른 구성들을 적절히 변형하여 압전 펌프를 구성할 수 있다. 다만, 본 실시예의 압전 펌프에서는 제1복귀 수단(67) 및 제2복귀 수단(68)은 불필요할 수도 있다.Other configurations except for the arrangement structure of the first piezoelectric actuator 81 and the second piezoelectric actuator 82 may appropriately modify other components of the embodiment described above with reference to FIGS. 1 to 7 to constitute a piezoelectric pump. However, in the piezoelectric pump of this embodiment, the first return means 67 and the second return means 68 may be unnecessary.

10: 펌프 몸체 11: 힌지축
20: 밸브 몸체 21: 유입구
22: 저장부 23: 노즐
30: 레버 31: 걸림홈
40: 밸브 로드 41: 걸림 로드
51: 제1압전 액추에이터 52: 제2압전 액추에이터
61: 제1조절 수단 62: 제2조절 수단
63: 제1복귀 수단 64: 제2복귀 수단
65, 66: 변위 조절 나사 71, 72, 73, 74: 냉각 라인
81: 제1압전 액추에이터 82: 제2압전 액추에이터10: pump body 11: hinge shaft
20: valve body 21: inlet
22: reservoir 23: nozzle
30: lever 31: locking groove
40: valve rod 41: jam rod
51: first piezoelectric actuator 52: second piezoelectric actuator
61: first adjusting means 62: second adjusting means
63: first return means 64: second return means
65, 66: displacement adjusting screws 71, 72, 73, 74: cooling line
81: first piezoelectric actuator 82: second piezoelectric actuator

Claims (11)

전압이 인가되면 길이가 늘어나는 압전 액추에이터를 이용하여 용액을 디스펜싱하는 압전 펌프에 있어서,
펌프 몸체;
상기 펌프 몸체에 설치된 힌지축에 대해 회전 가능하도록 설치되는 레버;
전압이 인가되면 길이가 길어지면서 상기 레버를 가압하여 상기 레버를 상기 힌지축을 중심으로 회전시키도록 그 끝부분이 상기 레버에 접촉 가능하게 상기 펌프 몸체에 설치되는 제1압전 액추에이터;
전압이 인가되면 길이가 길어지면서 상기 레버를 가압하여 상기 제1압전 액추에이터가 상기 레버를 회전시키는 방향의 반대 방향으로 상기 레버를 상기 힌지축을 중심으로 회전시키도록 그 끝부분이 상기 레버에 접촉 가능하게 상기 펌프 몸체에 설치되는 제2압전 액추에이터;
상기 레버의 회전에 따라 승강 운동하도록 상기 레버에 연결되는 밸브 로드; 및
상기 밸브 로드의 끝부분이 삽입되고 용액이 저장되는 저장부, 상기 저장부로 상기 용액이 유입되는 유입구, 상기 밸브 로드의 상기 저장부에 대한 진퇴에 따라 상기 저장부의 용액이 배출되는 노즐을 구비하는 밸브 몸체;를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 펌프.In a piezoelectric pump for dispensing a solution using a piezoelectric actuator that is lengthened when a voltage is applied,
Pump body;
A lever installed to be rotatable about a hinge shaft installed in the pump body;
A first piezoelectric actuator installed at the pump body such that an end thereof is in contact with the lever to press the lever and rotate the lever about the hinge axis as the length thereof is increased when a voltage is applied;
When a voltage is applied, the length thereof becomes longer, and the lever is pressed to allow the end portion to contact the lever so as to rotate the lever about the hinge axis in a direction opposite to the direction in which the first piezoelectric actuator rotates the lever. A second piezoelectric actuator installed on the pump body;
A valve rod connected to the lever to move up and down as the lever rotates; And
A valve having a reservoir into which the end of the valve rod is inserted and the solution is stored, an inlet through which the solution is introduced into the reservoir, and a nozzle through which the solution of the reservoir is discharged as the valve rod advances to the reservoir. A piezoelectric pump comprising: a body. 제1항에 있어서,
상기 제1압전 액추에이터와 제2압전 액추에이터는 상기 펌프 몸체의 힌지축을 사이에 두고 서로 나란하게 배치되는 것을 특징으로 하는 압전 펌프.The method of claim 1,
And the first piezoelectric actuator and the second piezoelectric actuator are disposed in parallel with each other with a hinge axis of the pump body interposed therebetween. 제1항에 있어서,
상기 제1압전 액추에이터와 제2압전 액추에이터는 상기 레버를 사이에 두고 서로 마주하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 압전 펌프.The method of claim 1,
And the first piezoelectric actuator and the second piezoelectric actuator are disposed to face each other with the lever therebetween. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 레버에 대한 상기 제1압전 액추에이터의 위치를 조절할 수 있도록 상기 펌프 몸체에 설치되는 제1조절 수단; 및
상기 레버에 대한 상기 제2압전 액추에이터의 위치를 조절할 수 있도록 상기 펌프 몸체에 설치되는 제2조절 수단;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 펌프.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
First adjusting means installed on the pump body to adjust the position of the first piezoelectric actuator with respect to the lever; And
And a second adjusting means installed on the pump body to adjust the position of the second piezoelectric actuator with respect to the lever. 제4항에 있어서,
상기 제1조절 수단은, 회전에 의해 상기 제1압전 액추에이터를 전후진시킬 수 있도록 상기 제1압전 액추에이터의 끝부분에 접촉하여 상기 펌프 몸체에 나사 결합되는 볼트이고,
상기 제2조절 수단은, 회전에 의해 상기 제2압전 액추에이터를 전후진시킬 수 있도록 상기 제2압전 액추에이터의 끝부분에 접촉하여 상기 펌프 몸체에 나사 결합되는 볼트인 것을 특징으로 하는 압전 펌프.5. The method of claim 4,
The first adjusting means is a bolt that is screwed to the pump body in contact with the end of the first piezoelectric actuator so that the first piezoelectric actuator forward and backward by rotation,
The second adjusting means is a piezoelectric pump, characterized in that the bolt is screwed to the pump body in contact with the end of the second piezoelectric actuator so as to advance the second piezoelectric actuator by rotation. 제4항에 있어서,
상기 제1압전 액추에이터가 상기 레버를 회전시키는 방향의 반대 방향으로 상기 레버가 회전하도록 상기 레버에 대해 힘을 가하는 제1복귀 수단; 및
상기 제2압전 액추에이터가 상기 레버를 회전시키는 방향의 반대 방향으로 상기 레버가 회전하도록 상기 레버에 대해 힘을 가하는 제2복귀 수단;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 펌프.5. The method of claim 4,
First return means for applying a force against the lever such that the lever rotates in a direction opposite to the direction in which the first piezoelectric actuator rotates the lever; And
And second return means for applying a force against the lever such that the lever rotates in a direction opposite to the direction in which the second piezoelectric actuator rotates the lever. 제6항에 있어서,
상기 제1복귀 수단 및 제2복귀 수단은, 상기 펌프 몸체에 설치되어 상기 레버에 탄성력을 가하는 스프링인 것을 특징으로 하는 압전 펌프.The method according to claim 6,
The first return means and the second return means, the piezoelectric pump, characterized in that the spring is provided on the pump body to apply an elastic force to the lever. 제6항에 있어서,
상기 제1복귀 수단 및 제2복귀 수단은, 기체 또는 액체의 압력을 상기 레버에 전달할 수 있도록 상기 펌프 몸체에 형성되는 유체 덕트인 것을 특징으로 하는 압전 펌프.The method according to claim 6,
The first return means and the second return means, the piezoelectric pump, characterized in that the fluid duct formed in the pump body so as to transmit the pressure of the gas or liquid to the lever. 제4항에 있어서,
상기 펌프 몸체에는, 상기 제1압전 액추에이터 및 제2압전 액추에이터에서 발생하는 열을 냉각시키기 위한 냉각 유체가 흐를 수 있는 냉각 라인이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 펌프.5. The method of claim 4,
The pump body, the piezoelectric pump, characterized in that the cooling line through which a cooling fluid for cooling the heat generated by the first piezoelectric actuator and the second piezoelectric actuator is formed. 제4항에 있어서,
상기 레버는 수평 방향으로 연장되도록 배치되고 상기 레버의 끝부분에는 수평 방향으로 개방되는 걸림홈이 형성되며,
상기 밸브 로드는 수직 방향으로 연장되도록 배치되고 상기 레버의 걸림홈에 끼워져 걸리는 걸림 로드를 구비하는 것을 특징으로 하는 압전 펌프.5. The method of claim 4,
The lever is arranged to extend in the horizontal direction and the end of the lever is formed with a locking groove that is opened in the horizontal direction,
The valve rod is a piezoelectric pump characterized in that it is arranged to extend in the vertical direction and has a locking rod that is fitted into the locking groove of the lever. 제4항에 있어서,
상기 밸브 몸체는 상기 펌프 몸체에 착탈 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 압전 펌프.5. The method of claim 4,
The valve body is a piezoelectric pump, characterized in that detachably coupled to the pump body.
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