KR101298089B1 - Wheels dust collector of overhead hoist transport - Google Patents

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Abstract

본 발명의 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치는, 주행레일을 따라 이송하는 차륜을 감싸도록 형성되는 커버; 상기 차륜에서 발생된 분진을 집진하는 집진부; 및 상기 커버와 집진부를 연결하는 흡입유로;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 차륜을 감싸는 커버 및 집진부에 의해 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜과 주행레일 간의 마찰에 의해 발생하는 분진을 집진하는 효과가 있다.The wheel dust collector of the overhead hoist transfer apparatus of the present invention, the cover is formed to surround the wheel to be transported along the running rail; A dust collecting unit for collecting dust generated from the wheels; And a suction flow passage connecting the cover and the dust collecting unit.
Accordingly, there is an effect of collecting dust generated by friction between the wheel and the running rail of the overhead hoist transfer apparatus by the cover and the dust collecting part surrounding the wheel.

Description

오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치{Wheels dust collector of overhead hoist transport}Wheel dust collector of overhead hoist transporter

본 발명은 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 차륜에서 발생하는 분진을 집진하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a wheel dust collector of an overhead hoist feeder, and more particularly to a wheel dust collector of an overhead hoist feeder for collecting dust generated from a wheel.

일반적으로 LCD 등을 생산하는 반도체공정에서 패널 및 자재를 효율적으로 반송시키기 위한 용도로 오버헤드 호이스트 이송장치(OHT:Overhead Hoist Transfer)가 사용되고 있다. In general, an overhead hoist transfer (OHT) is used to efficiently convey panels and materials in a semiconductor process for producing LCDs.

이러한 오버헤드 호이스트 이송장치는 반도체 자동 반송장비 중 가장 제작 및 구동 난이도가 높으며 고부가가치 장비로 반도체 공장 천장에 고정돼 있는 주행레일을 따라 공정간 반송을 담당한다. This overhead hoist transfer device is the most difficult to manufacture and drive among the automatic semiconductor transfer equipment, and is a high value-added equipment that is responsible for the inter-process transfer along the running rail fixed to the ceiling of the semiconductor factory.

또한, 오버헤드 호이스트 이송장치는 클린룸에 설치되며, 이러한 클린룸은 주로 반도체, 전자기기, 정밀기계공업 등 첨단산업의 제품생산설비에서 부유 미립자가 제조중인 제품에 부착되지 않도록 함으로써 제품의 불량을 방지하고, 제품의 정밀화, 미소화, 고품질화 및 고 신뢰성을 확보하기 위한 것으로, 공장 전체 또는 중요한 작업이 이루어지는 부분에 대해서 청정한 환경을 유지하도록 설비된다.In addition, the overhead hoist transfer device is installed in a clean room, and this clean room is mainly used in the production facilities of high-tech industries such as semiconductors, electronic devices, and precision machinery to prevent suspended particulates from being attached to the product being manufactured. It is designed to prevent, and to ensure precision, miniaturization, high quality, and high reliability of the product, and is installed to maintain a clean environment for the entire factory or a part where important work is performed.

그러나, 종래의 오버헤드 호이스트 이송장치는 우레탄 등으로 형성된 차륜이 주행레일을 따라 고속 이동하며 마찰에 의한 분진(particle)이 발생하는 문제점이 있었다.However, the conventional overhead hoist transfer apparatus has a problem in that a wheel formed of urethane or the like moves at a high speed along the running rail and generates particles due to friction.

구체적으로, 전동기 등과 같은 구동원에 의해 회전 주행하는 차륜이 매우 빠른 속도로 회전하게 되므로 주행 동작 중에는 많은 분진이 발생하고, 이와 같이 발생된 분진은 빠른 차륜의 회전에 의해 비산된다.Specifically, since the wheel that rotates by the driving source such as an electric motor rotates at a very high speed, a lot of dust is generated during the driving operation, and the dust generated in this way is scattered by the rotation of the fast wheel.

즉, 차륜에서 발생하는 분진이 클린룸 내에서 부유하며 제조중인 반도체 등에 부착되어 제품 불량이 발생하여 제품 수율에 좋지 않은 영향을 미치게 된다.In other words, the dust generated from the wheels floats in the clean room and adheres to the semiconductor being manufactured, resulting in product defects, which adversely affects product yield.

따라서, 차륜에서 발생하는 분집을 집진하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치의 개발이 요구되고 있는 실정이다.
Therefore, there is a demand for development of a wheel dust collector of an overhead hoist feeder for collecting dust generated from wheels.

본 발명은 전술한 종래의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜과 주행레일 간의 마찰에 의해 발생하는 분진을 집진하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치를 제공하는데 있다.
The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, an object of the present invention is to collect the dust collected by the friction between the wheel and the running rail of the overhead hoist transfer device wheel hoist of the transfer device To provide a device.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치는, 주행레일을 따라 이송하는 차륜을 감싸도록 형성되는 커버; 상기 차륜에서 발생된 분진을 집진하는 집진부; 및 상기 커버와 집진부를 연결하는 흡입유로;를 포함하는 것을 특징으로 한다.A wheel dust collector of the overhead hoist transport apparatus of the present invention for achieving the above object, the cover is formed to surround the wheel transported along the running rail; A dust collecting unit for collecting dust generated from the wheels; And a suction flow passage connecting the cover and the dust collecting unit.

또한, 상기 커버에는 주행레일과 접촉하지 않도록 돌출되는 개구부가 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the cover is characterized in that the opening is formed so as not to contact the running rail.

또한, 상기 개구부는 주행레일 방향으로 내부 단면적이 작아지도록 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the opening is characterized in that the internal cross-sectional area is formed to be small in the running rail direction.

또한, 상기 커버에는 흡입유로와 연결되는 흡입구가 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the cover is characterized in that the suction port is connected to the suction flow passage is formed.

또한, 상기 커버에는 차륜의 양측을 감싸는 흡입 가이드가 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the cover is characterized in that the suction guide surrounding both sides of the wheel is formed.

또한, 상기 흡입가이드는 호형으로 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the suction guide is characterized in that it is formed in an arc shape.

또한, 상기 흡입가이드는 차륜의 주행방향과 반대되는 방향에 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the suction guide is characterized in that it is formed in a direction opposite to the driving direction of the wheel.

또한, 상기 집진부는, 모터, 상기 모터의 구동원으로 회전하며 흡입력을 발생시키는 팬 및 필터로 구성된 팬필터유닛(FFU: FAN FILTER UNIT)으로 구성되는 것을 특징으로 한다.The dust collecting unit may include a fan filter unit (FFU: FAN FILTER UNIT) including a motor and a fan that rotates as a driving source of the motor and generates suction force.

또한, 상기 커버의 양측에는 걸림편이 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, both sides of the cover is characterized in that the engaging piece is formed.

또한, 상기 커버는 하부가 개구된 직육면체 형상으로 상부가 반원형으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
In addition, the cover is characterized in that the upper portion is formed in a semicircular shape in the shape of a rectangular parallelepiped with the lower portion.

본 발명에 따른 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치에 따르면, 차륜을 감싸는 커버 및 집진부에 의해 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜과 주행레일 간의 마찰에 의해 발생하는 분진을 집진하는 효과가 있다.According to the wheel dust collector of the overhead hoist transport apparatus according to the present invention, there is an effect of collecting dust generated by friction between the wheel and the running rail of the overhead hoist transport apparatus by the cover and the dust collector surrounding the wheel.

즉, 차륜에서 발생하는 분진이 집진되기 때문에 클린룸을 청정한 상태로 유지하여 클린룸 내에서 제조중인 반도체 등의 제품 불량을 억제하여 제품 수율이 향상된다.
That is, since dust generated from the wheels is collected, the clean room is maintained in a clean state, thereby suppressing product defects such as semiconductors manufactured in the clean room, thereby improving product yield.

도 1은 본 발명에 따른 오버헤드 호이스트 이송장치를 도시한 사시도이다.
도 2 내지 도 3은 도 1의 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치를 도시한 사시도이다.
도 4는 도 2의 단면도이다.1 is a perspective view showing an overhead hoist transfer apparatus according to the present invention.
2 to 3 is a perspective view showing the wheel dust collector of the overhead hoist transfer apparatus of FIG.
Fig. 4 is a sectional view of Fig. 2. Fig.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 오버헤드 호이스트 이송장치를 도시한 사시도이고, 도 2 내지 도 3은 도 1의 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치를 도시한 사시도이며, 도 4는 도 2의 단면도이다.1 is a perspective view illustrating an overhead hoist transfer apparatus according to the present invention, FIGS. 2 to 3 are perspective views illustrating a wheel dust collecting apparatus of the overhead hoist transfer apparatus of FIG. 1, and FIG. 4 is a cross-sectional view of FIG. 2. .

먼저, 도 1에 도시한 바와 같이, LCD 등을 생산하는 반도체공정에서 패널 및 자재를 효율적으로 반송시키기 위한 용도로 클린룸의 천장에 설치된 주행레일(R)을 따라 이동하는 오버헤드 호이스트 이송장치(A)(OHT:Overhead Hoist Transfer)는 공지된 기술이므로 상세한 설명은 생략하고 동작만 간단히 설명한다.First, as shown in FIG. 1, an overhead hoist transfer device that moves along a traveling rail R installed in a ceiling of a clean room for the purpose of efficiently conveying panels and materials in a semiconductor process for producing LCDs and the like ( A) (OHT: Overhead Hoist Transfer) is a well-known technique, and thus, a detailed description thereof will be omitted, and only an operation will be described.

상기 오버헤드 호이스트 이송장치(A)는 전동기 등과 같은 구동원에 의해 회전 주행하는 우레탄 소재의 차륜(W)이 주행레일(R)을 따라 이동하게 된다.The overhead hoist transfer device (A) is a wheel (W) made of a urethane material that rotates by a drive source such as an electric motor moves along the running rail (R).

이때, 상기 차륜(W)은 매우 빠른 속도로 회전하게 되므로 주행 동작 중에는 많은 분진이 발생하고, 이와 같이 발생된 분진은 차륜(W)의 빠른 회전에 의해 비산된다.At this time, the wheel (W) is rotated at a very high speed, so a lot of dust is generated during the driving operation, the dust generated in this way is scattered by the fast rotation of the wheel (W).

이에 따라, 상기 차륜(W)에서 발생하는 분진을 집진하는 위해 본 발명의 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치(100)가 개시되었다.Accordingly, the wheel dust collecting apparatus 100 of the overhead hoist transfer apparatus of the present invention has been disclosed to collect dust generated in the wheel (W).

도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치(100)는, 주행레일(W)을 따라 이송하는 차륜(W)을 감싸도록 형성되는 커버(110)와, 상기 차륜(W)에서 발생된 분진을 집진하는 집진부(120) 및 상기 커버(110)와 집진부(120)를 연결하는 흡입유로(130)로 구성된다.1 to 4, the wheel dust collector 100 of the overhead hoist transfer apparatus according to the present invention, the cover 110 is formed to surround the wheel (W) transported along the running rail (W) ) And a dust collecting part 120 for collecting dust generated from the wheels W and a suction flow path 130 connecting the cover 110 and the dust collecting part 120.

또한, 상기 커버(110)는 하부가 개구된 직육면체 형상으로 상부가 반원형으로 형성된다. 즉, 상기 커버(110)는 차륜(W)의 중심축을 기준으로 반원형의 상부가 상기 차륜(W)의 상부를 감싸는 형상이다.In addition, the cover 110 is formed in a semicircular shape with an upper portion having a rectangular parallelepiped shape with an open lower portion. That is, the cover 110 has a shape in which a semicircular upper portion surrounds the upper portion of the wheel W based on the central axis of the wheel W. Referring to FIG.

그리고, 상기 커버(110)에는 주행레일(R)과 접촉하지 않도록 돌출되는 개구부(111)가 형성되며, 상기 개구부(111)는 주행레일(R) 방향으로 내부 단면적이 작아지도록 형성되어 흡입효율이 향상된다.In addition, the cover 110 is formed with an opening 111 which protrudes so as not to contact the traveling rail R, and the opening 111 is formed such that its internal cross-sectional area becomes smaller in the traveling rail R direction, so that suction efficiency is increased. Is improved.

즉, 상기 개구부(111)는 주행레일(R)과 차륜(W)의 접촉부위에서 발생하는 분진을 집중적으로 흡입하는 구조를 갖는다.That is, the opening 111 has a structure for intensively sucking dust generated at the contact portion between the running rail (R) and the wheel (W).

한편, 상기 커버(110)에는 흡입유로(130)와 연결되는 흡입구(112)가 형성되어 상기 집진부(120)의 흡입력을 커버(110) 내측으로 작용하게 된다. 즉, 상기 진집부(120)의 흡입력이 흡입구(112), 커버(110) 내부 및 개구부(111)를 통해 작용하게 되는 것이다.On the other hand, the cover 110 is formed with a suction port 112 is connected to the suction flow path 130 to act as a suction force of the dust collector 120 into the cover 110. That is, the suction force of the dust collecting part 120 is to act through the suction port 112, the cover 110 and the opening 111.

또한, 상기 커버(110)에는 차륜(W)의 양측 일부를 감싸는 흡입 가이드(113)가 형성되며, 상기 흡입가이드(113)는 호형으로 형성된다.In addition, the cover 110 is formed with a suction guide 113 surrounding both sides of the wheel (W), the suction guide 113 is formed in an arc shape.

즉, 상기 흡입가이드(113)에 의해 상기 커버(110)의 벽면과 차륜(W)의 벽면 사이로 비산될 수 있는 분진을 상기 흡입구(112) 방향으로 집중시키게 된다.That is, the dust may be scattered between the wall surface of the cover 110 and the wall surface of the wheel W by the suction guide 113 to concentrate in the direction of the suction port 112.

이에 따라, 상기 개구부(111)를 통해 흡입된 분진은 상기 흡입가이드(113)를 거쳐 흡입구(112)로 배출되는 구조를 갖는다.Accordingly, the dust sucked through the opening 111 has a structure that is discharged to the suction port 112 via the suction guide 113.

그리고, 상기 흡입가이드(113)는 차륜(W)의 주행방향과 반대되는 방향의 상기 커버(110)에 형성되어 상기 차륜(W)의 주행중 발생하는 분진을 효율적으로 흡입하게 된다. 이는 상기 차륜(W)의 회전에 의해 발생된 분진은 차륜(W)의 주행방향과 반대되는 방향, 차륜의 우측(도 4 기준)으로 비산되기 때문이다. 물론, 상기 흡입구(112)의 형성위치 또한 상기 흡입가이드(113)와 동일하다.In addition, the suction guide 113 is formed on the cover 110 in a direction opposite to the driving direction of the wheel (W) to efficiently suck dust generated during the driving of the wheel (W). This is because dust generated by the rotation of the wheels W is scattered in a direction opposite to the running direction of the wheels W, to the right side of the wheels (see FIG. 4). Of course, the formation position of the suction port 112 is also the same as the suction guide 113.

더욱이, 상기 흡입가이드(113)에는 상기 흡입구(112)에 대응되는 부위가 관통 형성된다.In addition, a portion corresponding to the suction port 112 is formed through the suction guide 113.

그리고, 상기 흡입가이드(113)는 상기 커버(110)와 일체형으로 형성되거나 별도의 단품으로 상기 커버(110)에 부착된다.In addition, the suction guide 113 is formed integrally with the cover 110 or is attached to the cover 110 in a separate unit.

한편, 상기 집진부(120)는 모터, 상기 모터의 구동원으로 회전하며 흡입력을 발생시키는 팬 및 필터로 구성된 팬필터유닛(FFU: FAN FILTER UNIT)으로 구성된다. 즉, 흡입력을 발생시키는 팬필터유닛에 의해 분진은 필터에 의해 여과되며 여과된 공기만 상기 집진부(120)의 외부로 배출한다.On the other hand, the dust collecting unit 120 is composed of a fan, a fan filter unit (FFU: FAN FILTER UNIT) consisting of a fan and a filter that rotates as a drive source of the motor and generates a suction force. That is, dust is filtered by the filter by the fan filter unit generating suction force, and only the filtered air is discharged to the outside of the dust collecting unit 120.

이러한 팬필터유닛은 공지된 기술이므로 구성 및 동작에 관한 상세한 설명은 생략한다.Since the fan filter unit is a known technology, a detailed description of the configuration and operation will be omitted.

또한, 상기 커버(110)의 양측에는 걸림편(114)이 형성되어 오버헤드 호이스트 이송장치(A)의 구동부에 안착된다. 이때 상기 걸림편(114)과 구동부는 기계적인 결합수단(리벳, 볼트 너트 등)에 의해 견고하게 체결되는 것이 바람직하다.In addition, the engaging pieces 114 are formed on both sides of the cover 110 to be seated on the driving unit of the overhead hoist feeder (A). At this time, the locking piece 114 and the drive unit is preferably fastened by a mechanical coupling means (rivet, bolt nut, etc.).

본 발명에 따르면, 상기 차륜(W)을 감싸는 커버(110) 및 집진부(120)에 의해 오버헤드 호이스트 이송장치(A)의 차륜(W)과 주행레일(R) 간의 마찰에 의해 발생하는 분진을 집진하게 된다.According to the present invention, the dust generated by the friction between the wheel (W) and the running rail (R) of the overhead hoist transfer device (A) by the cover 110 and the dust collecting unit 120 surrounding the wheel (W). It is collected.

특히, 상기 차륜(W)에서 발생하는 분진이 집진되기 때문에 클린룸을 청정한 상태로 유지하여 클린룸 내에서 제조중인 반도체 등의 제품 불량을 억제하여 제품 수율이 향상된다.
In particular, since dust generated in the wheels W is collected, the clean room is kept in a clean state, thereby suppressing product defects such as semiconductors being manufactured in the clean room, thereby improving product yield.

이상, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 전술한 실시 예에 한정되지 않고 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 이때, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 고려해야 할 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail, the technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, but should be construed according to the claims. It will be understood by those skilled in the art that many modifications and variations are possible without departing from the scope of the present invention.

예를 들어, 전술한 설명에서는 차륜 집진장치(100)를 오버헤드 호이스트 이송장치(A)에 적용한 상태로 설명하였지만, 이를 특별히 한정하는 것은 아니며 차륜과 레일 이송부위에서의 발생되는 분진을 집진할 수 있는 다양한 장치에 적용할 수 있음을 밝혀둔다.
For example, in the above description, the wheel dust collector 100 is described as being applied to the overhead hoist feeder A, but the present invention is not particularly limited, and dust generated at the wheel and the rail transport portion may be collected. It can be applied to a variety of devices.

A - 오버헤드 호이스트 이송장치 R - 주행레일
W - 차륜 100 - 차륜 집진장치
110 - 커버 120 - 집진부
130 - 흡입유로A-Overhead Hoist Conveyor R-Travel Rail
W-Wheel 100-Wheel Dust Collector
110-Cover 120-Dust Collector
130-suction flow path

Claims (10)

주행레일을 따라 이송하는 차륜을 감싸도록 형성되는 커버;
상기 차륜에서 발생된 분진을 집진하는 집진부; 및
상기 커버와 집진부를 연결하는 흡입유로;를 포함하되,
상기 커버에는 차륜의 양측을 감싸는 흡입 가이드가 형성되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치.
A cover formed to surround the wheel for transporting along the running rail;
A dust collecting unit for collecting dust generated from the wheels; And
Including a suction passage for connecting the cover and the dust collector;
The dust collector of the overhead hoist transfer apparatus, characterized in that the cover is formed with suction guides surrounding both sides of the wheel.
제 1항에 있어서,
상기 커버에는 주행레일과 접촉하지 않도록 돌출되는 개구부가 형성되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치.
The method of claim 1,
And an opening protruding from the cover so as not to contact the traveling rail.
제 2항에 있어서,
상기 개구부는 주행레일 방향으로 내부 단면적이 작아지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치.
The method of claim 2,
The opening of the wheel dust collector of the overhead hoist transfer apparatus, characterized in that the inner cross-sectional area is formed to be small in the running rail direction.
제 1항에 있어서,
상기 커버에는 흡입유로와 연결되는 흡입구가 형성되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치.
The method of claim 1,
Wheel cover of the overhead hoist transfer device, characterized in that the cover is formed with a suction port connected to the suction flow path.
삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 흡입가이드는 호형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치.
The method of claim 1,
The suction guide is a wheel dust collector of the overhead hoist transfer apparatus, characterized in that formed in an arc shape.
제 1항에 있어서,
상기 흡입가이드는 차륜의 주행방향과 반대되는 방향에 형성되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치.
The method of claim 1,
The suction guide is a dust collector of the overhead hoist transfer apparatus, characterized in that formed in a direction opposite to the driving direction of the wheel.
제 1항에 있어서,
상기 집진부는,
모터, 상기 모터의 구동원으로 회전하며 흡입력을 발생시키는 팬 및 필터로 구성된 팬필터유닛(FFU: FAN FILTER UNIT)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치.
The method of claim 1,
Wherein the dust-
And a fan filter unit (FFU: FAN FILTER UNIT) comprising a motor and a fan and a filter that rotates as a driving source of the motor and generates suction force.
제 1항에 있어서,
상기 커버의 양측에는 걸림편이 형성되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치.
The method of claim 1,
Wheel collecting device of the overhead hoist transfer apparatus, characterized in that the engaging piece is formed on both sides of the cover.
제 1항에 있어서,
상기 커버는 하부가 개구된 직육면체 형상으로 상부가 반원형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송장치의 차륜 집진장치.
The method of claim 1,
The cover is a wheel dust collector of the overhead hoist transfer apparatus, characterized in that the upper portion is formed in a semicircular shape in the shape of a rectangular parallelepiped.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101426363B1 (en) 2013-11-27 2014-08-07 (주)금강오토텍 Moving apparatus for mono rail
KR20210025776A (en) 2019-08-28 2021-03-10 시너스텍 주식회사 Overhead Hoist Transfer
KR20210025791A (en) 2019-08-28 2021-03-10 시너스텍 주식회사 Overhead Hoist Transfer
KR20230120401A (en) 2022-02-09 2023-08-17 시너스텍 주식회사 Grip unit for OHT vehicle

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102343625B1 (en) * 2018-08-09 2021-12-24 세메스 주식회사 Transporting apparatus for manufacturing semiconductor device, and system for transporting semiconductor device with the apparatus
KR102293929B1 (en) * 2019-10-01 2021-08-26 주식회사 알티자동화 Smart over-head hoist transporter system
KR20220015654A (en) * 2020-07-31 2022-02-08 로체 시스템즈(주) Rack master of stocker
TWI751919B (en) * 2021-02-26 2022-01-01 印能科技股份有限公司 Contact type electric rail overhead transport vehicle (OHT) dust collection system

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001110869A (en) * 1999-10-14 2001-04-20 Tsubakimoto Chain Co Track running truck equipped with dust-collecting mechanism
JP2003095578A (en) * 2001-09-25 2003-04-03 Nippon Muki Co Ltd Cleaning mechanism for traveling crane and traveling crane
KR100715449B1 (en) * 2005-12-22 2007-05-07 한국항공우주연구원 Mediums of preventing to spraying dusts for overhead travelling and portal bridge cranes
JP2009046221A (en) * 2007-08-16 2009-03-05 Hitachi Plant Technologies Ltd Dust removal device for traveling guided vehicle

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001110869A (en) * 1999-10-14 2001-04-20 Tsubakimoto Chain Co Track running truck equipped with dust-collecting mechanism
JP2003095578A (en) * 2001-09-25 2003-04-03 Nippon Muki Co Ltd Cleaning mechanism for traveling crane and traveling crane
KR100715449B1 (en) * 2005-12-22 2007-05-07 한국항공우주연구원 Mediums of preventing to spraying dusts for overhead travelling and portal bridge cranes
JP2009046221A (en) * 2007-08-16 2009-03-05 Hitachi Plant Technologies Ltd Dust removal device for traveling guided vehicle

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101426363B1 (en) 2013-11-27 2014-08-07 (주)금강오토텍 Moving apparatus for mono rail
KR20210025776A (en) 2019-08-28 2021-03-10 시너스텍 주식회사 Overhead Hoist Transfer
KR20210025791A (en) 2019-08-28 2021-03-10 시너스텍 주식회사 Overhead Hoist Transfer
KR20230120401A (en) 2022-02-09 2023-08-17 시너스텍 주식회사 Grip unit for OHT vehicle

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