KR101209127B1 - Stacker having dust collecting function - Google Patents

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Abstract

본 발명은 스택커용 분진 비산 방지 차륜 커버를 제공함에 있어, 주된 해결수단으로서, 차륜을 덮어서 상기 차륜을 외부로부터 보호함에 있어, 스택커의 베이스에 회전 가능하게 지지된 차륜을 사방을 커버하는 커버부재를 구비하되, 상기 커버부재의 하면에는 일부 개방된 개구부가 형성되고, 이 개구부의 상기 커버부재의 측면 단부로부터 하방향으로 설정 각도 경사지게 형성된 것을 기술적 특징으로 한다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a dust cover to prevent a dust scattering wheel for a stacker. As a main solution, a cover member covering all directions of a wheel rotatably supported on a base of a stacker in covering a wheel and protecting the wheel from the outside. Is provided, but the lower surface of the cover member is formed with an open part, characterized in that formed in the inclined downward set angle from the side end of the cover member of the opening.

Description

스택커용 분진 비산 방지 차륜 커버{Stacker having dust collecting function}Dust shatterproof wheel cover for stacker {Stacker having dust collecting function}

본 발명은 스택커용 분진 비산 방지 차륜 커버에 관련한 것이다.
The present invention relates to a dust scatter preventing wheel cover for a stacker.

일반적으로, 스택커의 일례로서, 액정 표시 디바이스, 반도체 디바이스 및 박막형 태양전지 등의 제조 프로세스에서, 공정을 기다리는 카세트나 Front Opening Unified Pod(FOUP) 등을 일시적으로 보관하는 스택커 종류로서는, 특허 문헌 1에 개시된 것이 있다. 이 구성이 본원의 도 1에 도시되며, 스택커(10)는 선반(12)과, 스택커 크레인(stacker crane; 27)과, 포트(14)와, 외벽(15) 등을 주요한 구성으로서 구비하고 있다. 스택커 크레인(27)은 이송 로봇(20)과, 한 쌍의 지주(25)와, 한 쌍의 테이블 승강 수단(26)과, 한 세트의 차륜(29)과, 한 쌍의 레일(28)을 주요한 구성으로서 구비하고 있다. 또한, 상기 이송 로봇(20)은 베이스(21)와, 선회 테이블(22)과, 아암(23)과, 그리퍼(gripper; 24)로 구성되어 있다. 선반(12)은 스택커 크레인(27)의 양측에 배치되어, 액정 표시 디바이스용 유리 기판이나 반도체 디바이스용 실리콘 기판 등이 수납된 카세트(11)를 적재 보관할 수 있게 되어 있다.In general, as an example of a stacker, in a manufacturing process such as a liquid crystal display device, a semiconductor device, and a thin film solar cell, as a kind of a stacker that temporarily stores a cassette, a Front Opening Unified Pod (FOUP), or the like that waits for a process, a patent document There is one disclosed in 1. This configuration is shown in FIG. 1 of the present application, and the stacker 10 includes a shelf 12, a stacker crane 27, a port 14, an outer wall 15, and the like as main components. Doing. The stacker crane 27 includes a transfer robot 20, a pair of struts 25, a pair of table lifting means 26, a set of wheels 29, and a pair of rails 28. Is provided as a main configuration. Moreover, the said transfer robot 20 is comprised from the base 21, the turning table 22, the arm 23, and the gripper 24. As shown in FIG. The shelf 12 is arrange | positioned at both sides of the stacker crane 27, and can hold | maintain the cassette 11 which accommodated the glass substrate for liquid crystal display devices, the silicon substrate for semiconductor devices, etc. in it.

이 구성에서, 스택커(10)로의 카세트(11)의 반입은, 이하와 같이 행해진다. 즉, 도시하지 않은 반송 대차가 카세트(11)를 탑재하여 포트(14)에 도착하고, 반송 대차가 장비하는 이송 수단을 사용해서 포트(14)에 카세트(11)를 적재한다. 이어서, 포트(14) 상에 탑재된 카세트(11)는 스택커 크레인(27)에 장비되어 있는 이송 로봇(20)에 탑재되어, 도시하지 않은 시스템 컨트롤러에 의해 지시된 선반 위치까지 운반되고, 그 선반(12) 상에 적재된다. 또한, 스택커(10)로부터의 카세트(11)의 반출[선반(12)으로부터 카세트(11)를 꺼내서 반송 대차로 이송하는 작업]은, 상기와 반대의 순서로 행해진다.In this configuration, the carrying of the cassette 11 into the stacker 10 is performed as follows. That is, a conveyance trolley (not shown) mounts the cassette 11 and arrives at the port 14, and the cassette 11 is loaded into the port 14 using a conveying means equipped with the conveyance trolley. Subsequently, the cassette 11 mounted on the port 14 is mounted on the transfer robot 20 equipped with the stacker crane 27 and transported to the shelf position indicated by a system controller (not shown). It is loaded on the shelf 12. In addition, carrying out of the cassette 11 from the stacker 10 (the operation | movement which takes out the cassette 11 from the shelf 12 and conveys it to a conveyance trolley) is performed in the reverse order to the above.

특허 문헌 1: 일본 특허 공개 제2005-277326호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. 2005-277326

또한 특허 문헌 2는 다른 구성의 스택커를 개시하고 있으며, 이 특허 문헌 2에서는, 스택커 내부에 설치되는 스택커의 양측에 설치된 한 쌍의 포트에, 스택커 내부 선반과 동일한 구조로 만들어진 컨테이너가 벨트 컨베이어로 반입 및 반출되고, 스택커 내에 설치된 1대의 스택커 로봇이 상기 컨테이너의 선반에 카세트를 반입 및 반출시키며, 이들 컨테이너로부터 반입 및 반출된 상기 카세트를 스택커 로봇의 양측에 배치된 스택커측으로 반입및 반출하는 구성으로 되어 있다.In addition, Patent Document 2 discloses a stacker having a different configuration. In Patent Document 2, a container made of the same structure as the stacker inner shelf is provided in a pair of ports provided on both sides of the stacker provided inside the stacker. A stacker robot loaded into and out of a belt conveyor, and one stacker robot installed in the stacker, imports and unloads cassettes to the shelf of the container, and stackers disposed on both sides of the stacker robot are loaded and unloaded from these containers. It is structured to carry in and out to the side.

특허 문헌 2: 일본 특허 공개 제2003-163250호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Laid-Open No. 2003-163250

그러나, 종래의 스택커는 도 1에 예시한 바와 같이 전동기에 의해 회전 주행하는 차륜이, 매우 빠른 속도로 회전하게 되므로 주행 동작 중에는 많은 분진이 발생하고, 상기 분진은 빠른 차륜의 회전에 비산되어지므로 작업 수율에 매우 좋지 않은 영향을 미치게 된다.
However, in the conventional stacker, as illustrated in FIG. 1, since the wheels that rotate by the electric motor rotate at a very high speed, many dusts are generated during the driving operation, and the dust is scattered to the rotation of the fast wheels. This will have a very bad effect on job yield.

상기의 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 스택커의 베이스에 회전 가능하게 지지된 차륜을 사방을 커버하는 커버부재를 구비하되, 상기 커버부재의 하면에는 일부 개방된 개구부가 형성되고, 이 개구부의 상기 커버부재의 측면 단부로부터 하방향으로 설정 각도 경사지게 형성함으로써, 커버부재 내부로 공기와 함께 흡입되도록 하되, 상기 분진만 필터에 의해 걸르고 공기는 공기배출공을 통해 배출되도록 구성되어진 집진이 용이한 구조를 제공함에 주된 기술적 과제가 있는 것이다.
In order to solve the above problems, the present invention includes a cover member that covers the wheels rotatably supported on the base of the stacker on all sides, and a partially open opening is formed on the lower surface of the cover member, By forming the inclined angle set downward from the side end of the cover member, it is sucked with the air into the cover member, the dust is easily collected by the filter and the air is configured to be easily discharged through the air discharge hole structure There is a major technical challenge in providing.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 스택커용 분진 비산 방지 차륜 커버는, 차륜을 덮어서 상기 차륜을 외부로부터 보호하는 것으로서, 스택커의 베이스에 회전 가능하게 지지된 차륜을 사방을 커버하는 커버부재를 구비하되, 상기 커버부재의 하면에는 일부 개방된 개구부가 형성되고, 상기 개구부는 상기 커버부재의 측면 단부로부터 하방향으로 설정 각도 경사지게 형성된 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention is a dust cover to prevent dust scattering the wheel cover, the cover to cover the wheels from the outside, to cover the wheels rotatably supported on the base of the stacker on all sides Is provided with a member, the lower surface of the cover member is formed in the opening portion is formed, the opening is characterized in that formed inclined downward from the side end portion of the cover member.

또, 본 발명은 상기 개구부 전체에는 보강부재가 일체로 결합되며, 상기 보강부재는 커버부재의 강도 이상의 재질로 구성됨이 바람직하다.In addition, the present invention is the reinforcing member is integrally coupled to the entire opening, the reinforcing member is preferably made of a material of the strength of the cover member or more.

또한, 본 발명은 상기 커버부재 외부에 집진공을 형성하고, 이 집진공에 연통 가능하게 형성된 흡입팬-구비 집진기를 통해 상기 커버부재 내부의 분진을 공기와 함께 흡입하도록 하되, 상기 분진만 필터로 필터링하고 공기는 외부와 연통하는 공기배출공을 통해 배출되도록 구성되어 집진이 용이하도록 구성됨이 바람직하다.In addition, the present invention is to form a dust collector on the outside of the cover member, and to suck the dust inside the cover member with the air through the suction fan-equipped dust collector formed to communicate with the dust collector, only the dust as a filter Filtering and air is preferably configured to be discharged through the air discharge hole communicating with the outside is configured to facilitate dust collection.

또, 상기 주행 차륜에 의해 발생한 분진이 상기 커버부재 내부로 공기와 함께 흡입되도록 하되, 상기 분진만 필터에 의해 걸르고 공기는 상기 베이스의 프레임 내부를 관통하는 공기배출공을 통해 배출되도록 구성됨이 바람직하다.
In addition, the dust generated by the driving wheel is to be sucked with the air into the cover member, the dust is filtered only by the filter and the air is preferably configured to be discharged through the air discharge hole penetrating through the inside of the frame of the base. Do.

이와 같이 본 발명은 스택커의 베이스에 회전 가능하게 지지된 차륜을 사방을 커버하는 커버부재를 구비하되, 상기 커버부재의 하면에는 일부 개방된 개구부가 형성되고, 이 개구부의 상기 커버부재의 측면 단부로부터 하방향으로 설정 각도 경사지게 형성함으로써, 커버부재 내부로 공기와 함께 흡입되도록 하되, 상기 분진만 필터에 의해 거르고 공기는 공기배출공을 통해 배출되도록 구성되어진 집진이 용이한 구조를 달성할 수 있게 되어, 박막형 태양전지나 반도체 등의 제조 수율을 항시 그대로 유지할 수 있다는 등의 매우 뛰어난 효과가 있는 것이다
As described above, the present invention includes a cover member that covers the wheels rotatably supported on the base of the stacker on all sides, and a partially open opening is formed on the lower surface of the cover member, and the side end of the cover member of the opening is formed. By forming a set angle inclined downward from the, it is to be sucked with the air into the cover member, it is possible to achieve a structure that is easy to collect the dust is filtered by the filter and the air is configured to be discharged through the air discharge hole It is possible to maintain the production yield of thin-film solar cells and semiconductors at all times.

도 1은 스택커의 종래의 구성을 도시하는 상방 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 차륜 커버의 분진 비산 방지 및 집진 구조가 적용된 상태를 개략적으로 나타낸 사시 구조도이다.
도 3은 도 1의 선 A-A에 따른 분진 비산 방지에 대한 내부 구조를 설명하기 위한 종단면 구조도이다.
도 4는 도 2의 스택커의 베이스부에 분진 비산 방지 차륜 커버가 일체화된 구조를 예시한 사시 구조도이다.
도 5는 도 2의 스택커용 분진 비산 방지 차륜 커버와 집진기가 일체화된 구조를 예시한 측면 구조도이다.1 is an upward perspective view showing a conventional configuration of a stacker.
2 is a perspective structural diagram schematically showing a state in which dust scattering prevention and dust collection structure of the wheel cover according to an embodiment of the present invention is applied.
3 is a longitudinal cross-sectional view for explaining the internal structure of the dust scattering prevention according to the line AA of FIG.
4 is a perspective structural diagram illustrating a structure in which the dust scattering prevention wheel cover is integrated in the base part of the stacker of FIG. 2.
FIG. 5 is a side view illustrating a structure in which the dust scattering prevention wheel cover for the stacker of FIG. 2 and the dust collector are integrated.

본 발명의 구체적인 실시사례를 설명함에 있어서, 본 발명의 도면에 의해 도시되어 있고, 이에 따른 구성과 동작들은 적어도 하나의 일실시 사례로서 설명되어 지는 것이며, 이것에 의해서 본 발명의 기술적 사상과 그 핵심적인 구성 및 동작들이 제한받지는 않아야 할 것이다.In describing a specific embodiment of the present invention, it is illustrated by the drawings of the present invention, the configuration and operation thereof will be described as at least one embodiment, whereby the technical spirit of the present invention and its core Configurations and operations should not be limited.

참고할 사항으로, 본 발명에서 설명되어지는 각 도면들에 부호를 표기함에 있어서, 동일한 구성요소는 비록 다른 도면에 표기되더라도 가능한 한 동일한 부호를 부여하였음에 특히 유의하여야 할 것이다.For reference, in designating reference numerals in the drawings to be described in the present invention, it should be noted that the same components are given the same reference numerals as much as possible, even if shown in different drawings.

이하, 본 발명에 따른 스택커용 차륜 커버의 분진 비산 방지 및 집진 구조에 대해서 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the dust scattering prevention and dust collecting structure of the wheel cover for a stacker according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 스택커에 있어, 본 발명의 일실시예에 따른 차륜 커버의 분진 비산 방지 및 집진 구조가 적용된 상태를 개략적으로 나타낸 사시 구조도이다.2 is a perspective structural view schematically showing a state in which a dust scattering prevention and dust collection structure of a wheel cover according to an embodiment of the present invention is applied to a stacker.

본 발명의 일실시예에 따른 스택커용 분진 비산 방지 차륜 커버는, 차륜(29)을 덮어서 상기 차륜(29)을 외부로부터 보호하는 것으로서, 스택커의 베이스(30)에 회전 가능하게 지지된 차륜(29)을 사방을 커버하는 커버부재(100)를 구비하되, 상기 커버부재(100)의 하면에는 일부 개방된 개구부(101)가 형성되고, 상기 개구부(101)는 상기 커버부재(100)의 측면 단부로부터 하방향으로 설정 각도 경사지게 형성되어 있다.Dust scattering prevention wheel cover for a stacker according to an embodiment of the present invention is to cover the wheel 29 to protect the wheel 29 from the outside, the wheel supported rotatably on the base 30 of the stacker ( 29 is provided with a cover member 100 to cover all sides, the lower surface of the cover member 100 is formed with an open portion 101, the opening 101 is the side of the cover member 100 The set angle is inclined downward from the end portion.

또, 하방향으로 설정 각도 경사지게 형성된 상기 개구부(101)에는 보강부재(120)가 결합되어 있다. 상기 보강부재(120)는 커버부재(100)의 강도 이상의 재질로 구성되어, 개구부(101) 전체에 걸쳐 일체로 결합됨이 바람직하다.In addition, a reinforcing member 120 is coupled to the opening 101 formed to be inclined at a predetermined angle downward. The reinforcing member 120 is made of a material of the strength of the cover member 100 or more, it is preferable to be integrally coupled throughout the opening (101).

또한, 상기 커버부재(100) 외부에 집진공을 형성하고, 이 집진공에 연통 가능하게 형성된 흡입팬-구비 집진기(200)를 통해 상기 커버부재(100) 내부의 분진을 공기와 함께 흡입하도록 하되, 상기 분진만 필터로 필터링하고 공기는 외부와 연통하는 공기배출공을 통해 배출되도록 구성되어 집진이 용이하도록 구성되어 있다.In addition, a dust collecting hole is formed outside the cover member 100, and the dust inside the cover member 100 is sucked together with air through the suction fan-equipped dust collector 200 formed to communicate with the dust collecting hole. In addition, the dust is filtered by the filter and the air is configured to be discharged through the air discharge hole communicating with the outside is configured to facilitate dust collection.

또, 상기 주행 차륜(29)에 의해 발생한 분진이 상기 커버부재(100) 내부로 공기와 함께 흡입되도록 하되, 상기 분진만 필터에 의해 걸르고 공기는 상기 베이스(30)의 프레임 내부를 관통하는 공기배출공을 통해 배출되도록 구성되어 있다.In addition, the dust generated by the traveling wheel 29 is to be sucked with the air into the cover member 100, but only the dust is filtered by the filter and the air penetrates the inside of the frame of the base 30 It is configured to be discharged through the discharge hole.

본 발명에서는 주행 차륜 커버와 집진기가 별도의 장치로 될 수 있음은 물론이다.In the present invention, of course, the driving wheel cover and the dust collector may be a separate device.

도 2 및 도 3에 예시된 레일과 우레탄 재질의 주행 차륜(29)이 가/감속(주행) 시 마찰에 의해서 분진이 발생하면, 발생된 분진은 글라스에 안착되면 공정 시 불량을 발생시켜 수율 저하에 영향을 주게 되므로, 주행 차륜 커버와 집진기가 별도의 장치로 분리됨에 있어, 주행 차륜(29)이 최대한 외부로 노출되지 않도록 구성됨이 바람직하다.When the dust generated by friction during the acceleration / deceleration (driving) of the rail and the urethane driving wheel 29 illustrated in FIGS. 2 and 3 occurs, the generated dust generates defects during the process when it is seated on the glass, thereby lowering the yield. Since it affects, since the traveling wheel cover and the dust collector are separated into a separate device, it is preferable that the traveling wheel 29 is configured to not be exposed to the outside as much as possible.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 주행 차륜 커버는 주행 중 글라스의 파손이나 다른 물질이 떨어질 경우 주행 차륜(29)과 레일을 보호하는 목적에 랙마스터 주행부의 베이스(30)에 장착되어 있다. As described above, the driving wheel cover according to the present invention is mounted on the base of the rack master driving unit 30 for the purpose of protecting the driving wheel 29 and the rail when the glass breaks or other material falls during driving.

또, 주행 차륜 커버를 주행 레일과 주행 차륜(29)에 접촉하는 부분까지 내리고 차륜 커버는 덕트 형태로 안이 비어 있는 형태가 되되, 차륜 커버 끝단은 분진이 잘 흡입될 수 있게 확대되는 형태로, 벌려져 있으므로, 발생 된 분진이 멀리 확산되는 것을 방지할 수 있게 되는 것이다.In addition, the driving wheel cover is lowered to a part in contact with the driving rail and the driving wheel 29, and the wheel cover is in the form of a hollow in the form of a duct, but the end of the wheel cover is expanded in such a way that dust can be sucked well. As a result, the generated dust can be prevented from spreading far.

한편, 주행 차륜 커버 전면은 안이 보이는 투명한 재질의 커버를 장착해도 좋다.On the other hand, the front of the driving wheel cover may be fitted with a cover made of a transparent material.

또한, 본 발명에 따른 집진기(200)는 흡입구(200a), 배관 및 호스(201), 1차 필터(210), 팬/모터(220, 230), 2차필터(240), 배출구(200b)로 구성되어 있으며, 모터(230)에 의해 흡입구(200a)로 통해 유입되는 분진들은 1차 필터(210)를 통해 큰 분진들의 유입을 방지하고 2차필터(240)를 통해 미세 분진을 걸려낸 후 주행부 안쪽으로 배출한다. In addition, the dust collector 200 according to the present invention is a suction port (200a), piping and hose 201, primary filter 210, fan / motor (220, 230), secondary filter 240, discharge port (200b) It is composed of, the dust flowing through the inlet 200a by the motor 230 prevents the inflow of large dust through the primary filter 210 and after the fine dust through the secondary filter 240 Discharge inside the run.

이로써, 커버부재 내부로 공기와 함께 흡입되도록 하되, 상기 분진만 필터에 의해 거르고 공기는 공기배출공을 통해 배출되도록 구성되어진 집진이 용이한 구조를 달성할 수 있게 되어, 박막형 태양전지나 반도체 등의 제조 수율을 항시 그대로 유지할 수 있다는 등의 매우 뛰어난 효과가 있는 것이다.Thus, while being sucked together with the air into the cover member, it is possible to achieve a dust-collecting structure that is configured to filter only the dust by the filter and the air is discharged through the air discharge hole, to manufacture a thin film solar cell or semiconductor This is a very good effect, such as maintaining the yield at all times.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those skilled in the art to which the present invention pertains may make various modifications and changes without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are intended to illustrate rather than limit the scope of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be construed according to the following claims, and all technical ideas within the scope of equivalents should be construed as falling within the scope of the present invention.

27 : 스택커 크레인 29 : 차륜
100 : 커버부재 101 : 개구부
120 : 보강부재 200 : 집진기27: stacker crane 29: wheel
100: cover member 101: opening
120: reinforcing member 200: dust collector

Claims (4)

스택커용 분진 비산 방지 차륜 커버는, 차륜을 덮어서 상기 차륜을 외부로부터 보호하는 것으로서, 스택커의 베이스에 회전 가능하게 지지된 차륜을 사방을 커버하는 커버부재를 구비하되, 상기 커버부재의 하면에는 일부 개방된 개구부가 형성되고, 상기 개구부는 상기 커버부재의 측면 단부로부터 하방향으로 설정 각도 경사지게 형성되며,
상기 커버부재 외부에 집진공을 형성하고, 상기 집진공에 연통 가능하게 형성된 흡입팬-구비 집진기를 통해 상기 커버부재 내부의 분진을 공기와 함께 흡입하도록 하되, 상기 분진만 필터로 필터링하고 공기는 외부와 연통하는 공기배출공을 통해 배출되도록 구성되어 집진이 용이하도록 구성된 것을 특징으로 하는 스택커용 분진 비상 방지 차륜 커버.
The dust cover for the stacker dust prevention wheel cover is to cover the wheels to protect the wheels from the outside, and includes a cover member that covers the wheels rotatably supported on the base of the stacker on all sides, and a part of the lower surface of the cover member. An open opening is formed, and the opening is formed to be inclined downward from the side end of the cover member.
A dust collecting hole is formed on the outside of the cover member and the suction fan-equipped dust collector is formed to communicate with the dust collecting hole, and the dust inside the cover member is sucked together with the air, but only the dust is filtered by the filter and the air is outside. The dust emergency prevention wheel cover for a stacker, characterized in that configured to be discharged through the air discharge hole communicating with the configured to facilitate dust collection.
청구항 1에 있어서,
상기 개구부 전체에는 보강부재가 일체로 결합되며, 상기 보강부재는 커버부재의 강도 이상의 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 스택커용 분진 비상 방지 차륜 커버.
The method according to claim 1,
The reinforcement member is integrally coupled to the entire opening, and the reinforcement member is a dust emergency prevention wheel cover for a stacker, characterized in that the material consisting of a material of more than the strength of the cover member.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 주행 차륜에 의해 발생한 분진이 상기 커버부재 내부로 공기와 함께 흡입되도록 하되, 상기 분진만 필터에 의해 걸르고 공기는 상기 베이스의 프레임 내부를 관통하는 공기배출공을 통해 배출되도록 구성된 것을 특징으로 하는 스택커용 분진 비상 방지 차륜 커버.The method according to claim 1,
The dust generated by the driving wheel is sucked together with the air into the cover member, but only the dust is filtered by the filter, the air is characterized in that configured to be discharged through the air discharge hole penetrating through the inside of the frame of the base Dust emergency protection wheel covers for stackers.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS63275112A (en) * 1987-05-07 1988-11-11 Yamaguchi Nippon Denki Kk Wafer conveying equipment
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