KR101294723B1 - Condenser - Google Patents

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KR101294723B1
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Abstract

본원발명은 냉매통 내부의 이산화탄소 이동코일을 이중으로 하여 냉각효율을 향상시키고, 응축된 이산화탄소의 배출구를 펌프에 인접하게 냉매통 하측으로 배치함으로써, 토출과정에서의 기화를 방지할 수 있는 이산화탄소 응축장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 이산화탄소 응축장치는, 양단이 개방된 구조의 원통형 냉매통; 상기 냉매통 내부에 설치되며, 외부에서 공급되는 이산화탄소가 이동하는 이산화탄소 이동코일; 상기 냉매통 상단 개구부를 밀폐하는 상부 밀봉부; 상기 상부 밀봉부를 관통하여 상기 이산화탄소 이동코일의 일단에 연결되며, 상기 이산화탄소 이통코일에 이산화 탄소를 공급하는 이산화탄소 공급부; 상기 이산화탄소 이동코일 타단에 연결되며, 상기 냉매통의 하단 개구부 방향으로 연통되도록 설치되어 응축된 이산화탄소를 배출하는 이산화탄소 배출부; 상기 이산화탄소 배출부를 통과시키며, 상기 냉매통의 하단 개구부를 밀폐시키는 하부 밀봉부; 상기 냉매통의 일측에 연결되며, 상기 냉매통에 냉매를 공급하는 냉매 공급부; 상기 냉매통의 타측에 연결되며, 상기 냉매통의 냉매를 배출하는 냉매 배출부;를 포함한다. The present invention improves the cooling efficiency by doubling the carbon dioxide moving coil inside the refrigerant container, and by disposing the outlet of the condensed carbon dioxide to the lower side of the refrigerant container adjacent to the pump, the carbon dioxide condensation apparatus that can prevent vaporization in the discharge process Regarding, the carbon dioxide condensation apparatus according to the present invention, both ends of the cylindrical refrigerant cylinder of the open structure; A carbon dioxide moving coil installed inside the refrigerant container and moving carbon dioxide supplied from the outside; An upper seal sealing the upper opening of the refrigerant container; A carbon dioxide supply unit connected to one end of the carbon dioxide transfer coil through the upper seal and supplying carbon dioxide to the carbon dioxide transfer coil; A carbon dioxide discharge part connected to the other end of the carbon dioxide moving coil and installed to communicate in a direction of a lower opening of the refrigerant container to discharge condensed carbon dioxide; A lower sealing part passing through the carbon dioxide discharge part and sealing a lower end opening of the refrigerant container; A coolant supply unit connected to one side of the coolant container and supplying a coolant to the coolant container; And a refrigerant discharge part connected to the other side of the refrigerant container and discharging the refrigerant in the refrigerant container.

Description

이산화탄소 응축장치{CONDENSER}CO2 condenser {CONDENSER}

본원발명은 이산화탄소 응축장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 냉매통 내부의 이산화탄소 이동코일을 이중으로 하여 냉각효율을 향상시키고, 응축된 이산화탄소의 배출구를 펌프에 인접하게 냉매통 하측으로 배치함으로써, 토출과정에서의 기화를 방지할 수 있는 이산화탄소 응축장치에 관한 것이다. The present invention relates to a carbon dioxide condenser, more specifically, to improve the cooling efficiency by doubling the carbon dioxide moving coil inside the refrigerant container, by discharging the outlet of the condensed carbon dioxide to the lower side of the refrigerant container adjacent to the pump, the discharge process It relates to a carbon dioxide condenser that can prevent evaporation in the.

반도체 소자의 제조는 다수의 어플리케이션(application)이 집적 회로를 구성하기 위한 공정들을 수행하는 많은 구분된 단계들을 포함한다. 이러한 공정들 중 일부는 박막 증착(thin film deposition), 포토리소그래피 패턴 현상(photolithographic pattern development), 플라즈마 애칭(plasma etching), 금속 증착, 이온 주입(ion implantation), 열적 산화/어닐링, 화학기계적 연마/평탄화 등을 포함한다. Fabrication of semiconductor devices involves many distinct steps in which a number of applications perform processes for constructing an integrated circuit. Some of these processes include thin film deposition, photolithographic pattern development, plasma etching, metal deposition, ion implantation, thermal oxidation / annealing, chemical mechanical polishing / Planarization and the like.

이러한 구분되는 공정 단계들 중 일부 사이에서, 오염물질 및 잔류물을 제거하기 위해 화학물질 등을 이용하여 반도체 소자들이 세정될 수 있다. 그런데 이러한 화학물질들은 반도체 소자들로부터 일부 오염물질 및 잔류물을 충분하게 제거하지 못한다. 따라서 이러한 오염물질 및 잔류물을 제거하기 위하여 초임계(supercritical) 이산화탄소를 이용하는 반도체 세정 어플리케이션이 개발되어 있으며, 이러한 공정에는 이산화탄소를 응축하는 응축장치가 사용된다. Between some of these distinct process steps, semiconductor devices may be cleaned using chemicals or the like to remove contaminants and residues. These chemicals, however, do not sufficiently remove some contaminants and residues from semiconductor devices. Therefore, semiconductor cleaning applications have been developed that use supercritical carbon dioxide to remove these contaminants and residues, and condensation systems that condense carbon dioxide are used in such processes.

그런데 종래의 이산화탄소 응축장치는 냉매통 내부의 코일이 단일코일이므로 냉각효율이 낮고, 응축된 이산화탄소를 펌프로 전달하는 구간이 길어서 전달 과정에서 응축된 이산화탄소가 다시 기화되는 문제점이 있었다. However, the conventional carbon dioxide condenser has a problem that the cooling efficiency is low because the coil inside the refrigerant container is a single coil, and the section for delivering the condensed carbon dioxide to the pump is long, so that the condensed carbon dioxide is vaporized again during the delivery process.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 냉매통 내부의 이산화탄소 이동코일을 이중으로 하여 냉각효율을 향상시키고, 응축된 이산화탄소의 배출구를 펌프에 인접하게 냉매통 하측으로 배출함으로써, 토출과정에서의 기화를 방지할 수 있는 이산화탄소 응축장치를 제공하는 것이다. The technical problem to be solved by the present invention is to improve the cooling efficiency by double the carbon dioxide moving coil inside the refrigerant container, and by discharging the outlet of the condensed carbon dioxide to the lower side of the refrigerant container adjacent to the pump, preventing vaporization in the discharge process It is to provide a carbon dioxide condenser that can.

전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 이산화탄소 응축장치는, 양단이 개방된 구조의 원통형 냉매통; 상기 냉매통 내부에 설치되며, 외부에서 공급되는 이산화탄소가 이동하는 이산화탄소 이동코일; 상기 냉매통 상단 개구부를 밀폐하는 상부 밀봉부; 상기 상부 밀봉부를 관통하여 상기 이산화탄소 이동코일의 일단에 연결되며, 상기 이산화탄소 이통코일에 이산화 탄소를 공급하는 이산화탄소 공급부; 상기 이산화탄소 이동코일 타단에 연결되며, 상기 냉매통의 하단 개구부 방향으로 연통되도록 설치되어 응축된 이산화탄소를 배출하는 이산화탄소 배출부; 상기 이산화탄소 배출부를 통과시키며, 상기 냉매통의 하단 개구부를 밀폐시키는 하부 밀봉부; 상기 냉매통의 일측에 연결되며, 상기 냉매통에 냉매를 공급하는 냉매 공급부; 상기 냉매통의 타측에 연결되며, 상기 냉매통의 냉매를 배출하는 냉매 배출부;를 포함한다. Carbon dioxide condensation apparatus according to the present invention for achieving the above technical problem, the cylindrical refrigerant cylinder of the open structure at both ends; A carbon dioxide moving coil installed inside the refrigerant container and moving carbon dioxide supplied from the outside; An upper seal sealing the upper opening of the refrigerant container; A carbon dioxide supply unit connected to one end of the carbon dioxide transfer coil through the upper seal and supplying carbon dioxide to the carbon dioxide transfer coil; A carbon dioxide discharge part connected to the other end of the carbon dioxide moving coil and installed to communicate in a direction of a lower opening of the refrigerant container to discharge condensed carbon dioxide; A lower sealing part passing through the carbon dioxide discharge part and sealing a lower end opening of the refrigerant container; A coolant supply unit connected to one side of the coolant container and supplying a coolant to the coolant container; And a refrigerant discharge part connected to the other side of the refrigerant container and discharging the refrigerant in the refrigerant container.

그리고 본 발명에서, 상기 이산화탄소 이동코일은, 상기 냉매통의 내면에 근접하게 설치되는 외측 코일과, 상기 외측 코일 내측에 상기 외측 코일보다 작은 직경을 가지도록 설치되는 내측 코일을 포함하는 것이 바람직하다. And in the present invention, the carbon dioxide moving coil, it is preferable to include an outer coil which is installed in close proximity to the inner surface of the refrigerant cylinder, and an inner coil which is installed to have a smaller diameter than the outer coil inside the outer coil.

또한 상기 냉매통은, 상기 하부 개구부가 상기 상부 개구부보다 작은 직경을 가지는 병목부를 구비하는 것이 바람직하다.In addition, the coolant cylinder is preferably provided with a bottleneck having the lower opening having a smaller diameter than the upper opening.

한편 상기 하부 밀봉부는, 상기 병목부 외면에 설치되는 통 고정부; 상기 통 고정부의 하면에 제1 체결수단에 의하여 체결되며, 상기 병목부보다 작은 직경을 가지는 관통공이 형성되는 밀폐판; 상기 밀폐판의 상면에 제2 체결수단에 의하여 체결되며, 상기 병목부의 내측에서 상기 관통공을 차단하며, 상기 이산화탄소 배출부에 고정되는 관 고정부;를 포함하는 것이 바람직하다. On the other hand, the lower sealing portion, the tube fixing portion is installed on the outer surface of the bottleneck portion; A sealing plate fastened to a lower surface of the barrel fixing part by a first fastening means and having a through hole having a diameter smaller than that of the bottleneck part; It is preferable to include a; pipe fastening portion which is fastened by a second fastening means to the upper surface of the sealing plate, blocks the through hole inside the bottleneck part, and is fixed to the carbon dioxide discharge unit.

그리고 상기 통 고정부는, 상기 병목부 외면에 고정되어 설치되는 고정플랜지; 상기 고정플랜지을 감싸는 형태로 상기 고정플랜지과 상기 병목부 사이에서 자유회전 및 상하 이동이 가능하게 설치되는 회전플랜지;을 포함하는 것이 바람직하다. And the barrel fixing part, a fixing flange fixedly installed on the outer surface of the bottleneck; It is preferable to include; a rotation flange installed to enable free rotation and up and down movement between the fixed flange and the bottleneck in a form surrounding the fixed flange.

또한 상기 고정플랜지 하면과 상기 밀폐판 사이에는 접촉면을 밀폐하는 제1 밀봉부재가 더 구비되는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable that a first sealing member further sealing the contact surface between the lower surface of the fixed flange and the sealing plate.

그리고 상기 밀폐판 상면과 상기 관 고정부 하면 사이에는 접촉면을 밀폐하는 제2 밀봉부재가 더 구비되는 것이 바람직하다. Further, it is preferable that a second sealing member further sealing the contact surface between the upper surface of the sealing plate and the lower surface of the tube fixing part.

본원발명의 이산화탄소 응축장치는 이산화탄소 배출부가 펌프가 설치되어 있는 냉매통 하부로 배치되어 토출된 이산화탄소가 다시 기화되는 현상을 원천적으로 방지할 수 있는 장점이 있다. The carbon dioxide condensation apparatus of the present invention has an advantage that the carbon dioxide discharge unit is disposed under the refrigerant container in which the pump is installed to prevent the discharged carbon dioxide from vaporizing again.

또한 냉매통 내부에서 이산화탄소가 이동하면서 응축되는 이산화탄소 이동 코일이 이중 구조를 가져서 냉각효율이 우수한 장점도 있다. In addition, the carbon dioxide moving coil, which is condensed while moving carbon dioxide inside the refrigerant container, has a dual structure, and thus has an excellent cooling efficiency.

더 나아가서 본원발명의 이산화 탄소 응축장치는 이산화탄소 배출부가 이산화탄소 공급부 반대측에 배치되면서도 이중 회전 플랜지 구조를 가져서 장치의 유지 보수 작업이 용이한 장점도 있다. Furthermore, the carbon dioxide condenser of the present invention has an advantage in that the maintenance work of the device is easy because the carbon dioxide discharge unit is disposed opposite the carbon dioxide supply unit and has a double rotating flange structure.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이산화탄소 응축장치의 구조를 도시하는 정면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 이산화탄소 응축장치의 내부 구조를 도시하는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 이산화탄소 배출부 및 밀봉부의 구조를 도시하는 도 2의 부분 확대도이다. 1 is a front view showing the structure of a carbon dioxide condensation apparatus according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a cross-sectional view showing the internal structure of the carbon dioxide condensation apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a partially enlarged view of FIG. 2 illustrating a structure of a carbon dioxide discharge unit and a seal unit according to an exemplary embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
Hereinafter, a specific embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 실시예에 따른 이산화탄소 응축장치(1)는 도 1, 2에 도시된 바와 같이, 냉매통(10), 이산화탄소 이동코일(20), 상부 밀봉부(30), 이산화탄소 공급부(40), 이산화탄소 배출부(50), 하부 밀봉부(60), 냉매 공급부(70) 및 냉매 배출부(80)를 포함하여 구성된다. As shown in FIGS. 1 and 2, the carbon dioxide condenser 1 according to the present embodiment includes a refrigerant container 10, a carbon dioxide moving coil 20, an upper seal part 30, a carbon dioxide supply part 40, and carbon dioxide discharge. The unit 50 includes a lower seal unit 60, a refrigerant supply unit 70, and a refrigerant discharge unit 80.

먼저 냉매통(10)은 도 1에 도시된 바와 같이, 상하 양단이 개방된 구조의 원통형 구조를 가지며, 후술하는 다른 구성요소들의 설치 장소를 제공하며, 이 냉매통(10) 내부에는 냉매가 채워지고, 이산화탄소가 이 냉매통(10) 내부를 통과하면서 냉각 및 응축되는 것이다. 그리고 본 발명에서 상기 냉매통(10)의 하부는 도 1, 2에 도시된 바와 같이, 상기 하부 개구부가 상기 상부 개구부보다 작은 직경을 가지도록 병목부(12)를 구비하는 것이 바람직하다. 이렇게 상기 냉매통(10)이 병목부(12)를 구비하면, 후술하는 이산화탄소 배출부(50)와 하부 밀봉부(60)가 상기 상부 개구부보다 작은 직경을 가질 수 있어서, 유지보수 작업시 상기 이산화탄소 이동코일(20) 및 이에 결합되어 있는 이산화탄소 배출부(50) 및 하부 밀봉부(60)를 상측으로 분리 배출할 수 있는 것이다. First, as shown in FIG. 1, the coolant cylinder 10 has a cylindrical structure having an open top and bottom ends, and provides an installation place for other components described below, and inside the coolant cylinder 10 is filled with a coolant. The carbon dioxide is cooled and condensed while passing through the inside of the refrigerant container 10. In the present invention, the lower portion of the refrigerant container 10, as shown in Figures 1 and 2, it is preferable to have a bottleneck 12 so that the lower opening has a smaller diameter than the upper opening. When the coolant container 10 includes the bottleneck 12, the carbon dioxide discharge unit 50 and the lower seal unit 60, which will be described later, may have a diameter smaller than that of the upper opening. The moving coil 20 and the carbon dioxide discharge unit 50 and the lower seal unit 60 coupled thereto may be separated and discharged upward.

다음으로 상기 이산화탄소 이동코일(20)은 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 냉매통(10) 내부에 설치되며, 외부에서 공급되는 이산화탄소가 이동하는 경로를 제공한다. 이산화탄소는 상기 이산화탄소 이동코일(20)을 통하여 상기 냉매통(10) 내에서 최대한 많은 시간을 이동하는 것이 냉각효과를 극대화할 수 있다. 따라서 본 실시예에서는 상기 이산화탄소 이동코일(20)을 외측 코일(22)과 내측 코일(24)로 이중 제작하여 이산화탄소의 냉각 효율을 극대화한다. 상기 외측 코일(22)은 그 일단이 후술하는 이산화탄소 공급부(40)와 연결되어 외부로 부터 공급된 이산화탄소가 도입되는 부분이며, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 냉매통(10)의 내면에 근접하게 감긴상태로 설치된다. 그리고 상기 내측코일(24)은 상기 외측 코일(22) 내측에 상기 외측 코일(22)보다 작은 직경을 가지도록 설치되며, 그 일단이 상기 외측코일(22)의 타단과 연결된다. 그리고 상기 내측 코일(24)의 타단은 후술하는 이산화탄소 배출부(50)와 연결된다. Next, as shown in FIG. 2, the carbon dioxide moving coil 20 is installed inside the refrigerant container 10 and provides a path through which carbon dioxide supplied from the outside moves. Carbon dioxide may maximize the cooling effect by moving as much time as possible within the refrigerant container 10 through the carbon dioxide moving coil 20. Therefore, in the present embodiment, the carbon dioxide moving coil 20 is doubled as the outer coil 22 and the inner coil 24 to maximize the cooling efficiency of the carbon dioxide. The outer coil 22 is one end of which is connected to the carbon dioxide supply unit 40 to be described later is a portion to introduce carbon dioxide supplied from the outside, as shown in Figure 2, close to the inner surface of the refrigerant container 10 It is installed in a closed state. The inner coil 24 is installed inside the outer coil 22 to have a smaller diameter than the outer coil 22, and one end thereof is connected to the other end of the outer coil 22. The other end of the inner coil 24 is connected to the carbon dioxide discharge unit 50 to be described later.

다음으로 상부 밀봉부(30)는 상기 냉매통(10) 상단 개구부를 밀폐하는 구성요소이다. 이 상부 밀봉부(30)는 후술하는 이산화탄소 공급부(40)를 관통시키면서도 상기 냉매통(10) 내부를 완벽하게 밀폐시켜야 하므로, 상기 이산화탄소 공급부(40)의 관과 일체로 형성되며, 상기 냉매통(10) 상단 사이에는 가스켓이 구비되어 밀폐 효과를 극대화한다. 상기 상부 밀봉부(30)는 원판 형상을 가질 수 있다. Next, the upper sealing part 30 is a component for sealing the upper opening of the refrigerant container 10. Since the upper sealing part 30 must completely seal the inside of the coolant container 10 while penetrating the carbon dioxide supply part 40 to be described later, the upper sealing part 30 is formed integrally with the pipe of the carbon dioxide supply part 40 and the coolant container ( 10) A gasket is provided between the upper ends to maximize the sealing effect. The upper sealing part 30 may have a disc shape.

다음으로 이산화탄소 공급부(40)는 상기 상부 밀봉부(30)를 관통하여 상기 이산화탄소 이동코일(20)의 일단에 연결되며, 상기 이산화탄소 이통코일(20)에 이산화 탄소를 공급하는 구성요소이다. 이 이산화탄소 공급부(40)의 일단은 외부의 이산화탄소 공급장치(도면에 미도시)에 연결되며, 상기 상부 밀봉부(30)를 관통하는 부위는 용접 등의 작업에 의하여 완벽하게 상부 밀봉부(30)에 일체화됨으로써, 리크가 발생하지 않도록 한다. Next, the carbon dioxide supply unit 40 is connected to one end of the carbon dioxide moving coil 20 through the upper sealing part 30 and is a component for supplying carbon dioxide to the carbon dioxide transfer coil 20. One end of the carbon dioxide supply unit 40 is connected to an external carbon dioxide supply unit (not shown in the figure), and a portion penetrating the upper seal unit 30 is completely sealed by an operation such as an upper seal unit 30. By incorporating in the body, leakage does not occur.

다음으로 상기 이산화탄소 배출부(50)는 상기 이산화탄소 이동코일(20) 타단에 연결되며, 상기 냉매통(10)의 하단 개구부 방향으로 연통되도록 설치되어 응축된 이산화탄소를 배출하는 구성요소이다. 본 실시예에서 상기 이산화탄소 배출부(50)는 상기 이산화탄소 공급부(40)와 반대방향 즉, 상기 냉매통(10)의 하측 방향을 배출되는 구조를 가진다. 일반적으로 상기 이산화탄소 응축장치(1)의 인접한 위치에는 응축된 이산화탄소를 다른 장치로 공급하기 위한 펌프(도면에 미도시)가 구비되는데, 이 펌프는 상기 냉매통(10)의 하부 높이 정도에 배치된다. 따라서 상기 이산화탄소 배출부가 상기 냉매통 상측으로 배치되는 경우에는 이 펌프에 연결하기 위한 외부 라인의 길이가 길어져서 펌프에 공급되는 동안 이산화탄소가 다시 기화되는 문제점이 발생하는데, 이 문제점을 본 실시예에 따른 이산화탄소 배출부가 해결하는 것이다.Next, the carbon dioxide discharge unit 50 is connected to the other end of the carbon dioxide moving coil 20 and is installed to communicate in the direction of the lower opening of the refrigerant container 10 to discharge the condensed carbon dioxide. In the present embodiment, the carbon dioxide discharge unit 50 has a structure in which the carbon dioxide discharge unit 50 discharges in the opposite direction to the carbon dioxide supply unit 40, that is, the lower direction of the refrigerant container 10. In general, the adjacent position of the carbon dioxide condenser 1 is provided with a pump (not shown in the figure) for supplying the condensed carbon dioxide to another device, the pump is disposed about the lower height of the refrigerant container (10) . Therefore, when the carbon dioxide discharge unit is disposed above the refrigerant container, a length of an external line for connecting to the pump is increased so that carbon dioxide is vaporized again while being supplied to the pump. The carbon dioxide emitter is to solve it.

다음으로 하부 밀봉부(60)는 도 2, 3에 도시된 바와 같이, 상기 이산화탄소 배출부(50)를 통과시키며, 상기 냉매통(10)의 하단 개구부를 밀폐시키는 구성요소이다. 이를 위하여 본 실시예에서는 상기 하부 밀봉부(60)를 통 고정부(62), 밀폐판(64), 관 고정부(66)를 포함하여 구성한다. Next, as shown in FIGS. 2 and 3, the lower sealing part 60 passes through the carbon dioxide discharge part 50 and is a component that seals the lower opening of the refrigerant container 10. To this end, in the present embodiment, the lower sealing part 60 includes a tube fixing part 62, a sealing plate 64, and a tube fixing part 66.

먼저 통 고정부(62)는 상기 병목부(12) 외면에 설치되며, 후술하는 밀폐판과(64)와 밀착된다. 본 실시예에서 이 통 고정부(62)는 도 3에 도시된 바와 같이, 고정 플랜지(62a)와 회전 플랜지(62b)로 구성된다. 상기 고정 플랜지(62a)는 상기 병목부(12) 외면에 고정되어 설치되는 플랜지이며, 단면이 사각형 형태인 링 형상을 가진다. 그리고 상기 회전 플랜지(62b)는 상기 고정플랜지(62a)을 감싸는 형태로 상기 고정플랜지(62a)과 상기 병목부(12) 사이에서 자유회전 및 상하 이동이 가능하게 설치되는 플랜지이다. 이 회전플랜지(62b)가 먼저 상기 병목부(12)에 삽입된 상태에서 상기 고정 플랜지(62a)를 상기 병목부(12)에 용접 등의 방법에 의하여 고정하여 제조한다. 결국 상기 고정 플랜지(62a)는 상기 병목부(12) 외면에 고정되는 반면에 상기 회전 플랜지(62b)는 상기 고정 플랜지(62a)와 병목부(12) 사이에서 회전 및 상하 유동이 가능한 상태가 된다. 다만, 하측으로 빠져나와서 분리되지는 않는다. First, the tub fixing part 62 is installed on the outer surface of the bottleneck part 12 and is in close contact with the sealing plate 64 to be described later. In this embodiment, the tub fixing portion 62 is composed of a fixing flange 62a and a rotating flange 62b, as shown in FIG. The fixing flange 62a is a flange fixedly installed at an outer surface of the bottleneck part 12 and has a ring shape having a rectangular cross section. In addition, the rotation flange 62b is a flange that is freely rotatable and moves up and down between the fixed flange 62a and the bottleneck part 12 in a form surrounding the fixed flange 62a. The rotating flange 62b is manufactured by first fixing the fixing flange 62a to the bottleneck 12 by welding or the like while being inserted into the bottleneck 12. As a result, the fixing flange 62a is fixed to the outer surface of the bottleneck 12, while the rotating flange 62b is rotatable and vertically flows between the fixing flange 62a and the bottleneck 12. . However, it is not separated by coming out downward.

다음으로 밀폐판(64)은 상기 통 고정부(62)의 하면에 제1 체결수단(63)에 의하여 체결되는 원판 형상을 가지는 구성요소이다. 그리고 이 밀폐판(64)에는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 병목부(12)의 직경보다 작은 직경을 가지는 관통공(64a)이 형성된다. 이 관통공(64a)으로 상기 이산화탄소 배출부(50)의 하단이 통과하는 것이다. Next, the sealing plate 64 is a component having a disk shape that is fastened by the first fastening means 63 to the lower surface of the barrel fixing portion 62. 3, a through hole 64a having a diameter smaller than the diameter of the bottleneck part 12 is formed in the sealing plate 64. The lower end of the carbon dioxide discharge unit 50 passes through the through hole 64a.

다음으로 상기 관 고정부(66)는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 밀폐판(64)의 상면에 제2 체결수단(65)에 의하여 체결되며, 상기 병목부(12)의 내측에서 상기 관통공(64a)을 차단하는 구성요소이다. 그리고 상기 관 고정부(66)에는 상기 이산화탄소 배출부(50)가 고정된다. 즉, 상기 이산화탄소 배출부(50)의 하단이 상기 관 고정부(66)에 용접 등의 방법에 의하여 고정되고 상기 관 고정부(66)는 이렇게 고정된 상태로 유지 보수 작업 등이 이루어진다. Next, as shown in FIG. 3, the tube fixing part 66 is fastened to the upper surface of the sealing plate 64 by the second fastening means 65, and through the inside of the bottleneck part 12. It is a component that blocks the ball 64a. The carbon dioxide outlet 50 is fixed to the tube fixing part 66. That is, the lower end of the carbon dioxide discharge unit 50 is fixed to the tube fixing part 66 by welding or the like, and the tube fixing part 66 is maintained in such a fixed state.

전술한 바와 같이, 회전 플랜지(62b)와 밀폐판(64)을 사용하여 상기 냉매통(10)의 하부를 밀봉하면, 유지 보수를 위한 분해 조립 작업이 용이해질 뿐만 아니라, 상기 회전 플랜지(62b)와 밀폐판(64)의 체결각도나 평행도의 오차가 자동으로 보정되는 장점이 있다. As described above, sealing the lower portion of the coolant container 10 by using the rotary flange 62b and the sealing plate 64 facilitates the disassembly and assembly work for maintenance, and the rotary flange 62b. And the error of the fastening angle or parallelism of the sealing plate 64 is automatically corrected.

한편 상기 고정플랜지(62a) 하면과 상기 밀폐판(64) 사이에는 접촉면을 밀폐하는 제1 밀봉부재(67)가 더 구비되고, 상기 밀폐판(64) 상면과 상기 관 고정부(66) 하면 사이에는 접촉면을 밀폐하는 제2 밀봉부재(68)가 더 구비되는 것이 바람직하다. 이러한 밀봉부재(67, 68)는 가스켓 등으로 구성될 수 있으며, 일정한 정도의 신축성을 가지고 있어서, 금속 소재의 사이에서 밀봉역할을 수행한다. Meanwhile, a first sealing member 67 for sealing a contact surface is further provided between the lower surface of the fixing flange 62a and the sealing plate 64, and between the upper surface of the sealing plate 64 and the lower surface of the tube fixing part 66. It is preferable that the second sealing member 68 is further provided to seal the contact surface. The sealing members 67 and 68 may be formed of a gasket or the like, and have a certain degree of elasticity, thereby performing a sealing role among metal materials.

다음으로 냉매 공급부(70)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 냉매통(10)의 일측에 연결되며, 상기 냉매통(10)에 냉매를 공급하는 구성요소이며, 상기 냉매 배출부(20)는 상기 냉매통(10)의 타측에 연결되며, 상기 냉매통(10)의 냉매를 배출하는 구성요소이다. 이러한 냉매 공급부(70)와 냉매 배출부(80)에 의해서 상기 냉매통(10) 내부의 냉매는 계속하여 순환된다. Next, as shown in FIG. 1, the coolant supply unit 70 is connected to one side of the coolant container 10, and is a component for supplying a coolant to the coolant container 10 and the coolant discharge unit 20. Is connected to the other side of the refrigerant cylinder 10, and is a component for discharging the refrigerant of the refrigerant cylinder (10). The refrigerant in the refrigerant container 10 is continuously circulated by the refrigerant supply unit 70 and the refrigerant discharge unit 80.

10 : 냉매통 20 : 이산화탄소 이동코일
30 : 상부 밀봉부 40 : 이산화탄소 공급부
50 : 이산화탄소 배출부 60 : 하부 밀봉부
70 : 냉매 공급부 80 : 냉매 배출부10: refrigerant container 20: carbon dioxide moving coil
30: upper seal 40: carbon dioxide supply
50: carbon dioxide outlet 60: lower seal
70: refrigerant supply unit 80: refrigerant discharge unit

Claims (7)

양단이 개방된 구조의 원통형 냉매통;
상기 냉매통 내부에 설치되며, 외부에서 공급되는 이산화탄소가 이동하는 이산화탄소 이동코일;
상기 냉매통 상단 개구부를 밀폐하는 상부 밀봉부;
상기 상부 밀봉부를 관통하여 상기 이산화탄소 이동코일의 일단에 연결되며, 상기 이산화탄소 이통코일에 이산화 탄소를 공급하는 이산화탄소 공급부;
상기 이산화탄소 이동코일 타단에 연결되며, 상기 냉매통의 하단 개구부 방향으로 연통되도록 설치되어 응축된 이산화탄소를 배출하는 이산화탄소 배출부;
상기 이산화탄소 배출부를 통과시키며, 상기 냉매통의 하단 개구부를 밀폐시키는 하부 밀봉부;
상기 냉매통의 일측에 연결되며, 상기 냉매통에 냉매를 공급하는 냉매 공급부;
상기 냉매통의 타측에 연결되며, 상기 냉매통의 냉매를 배출하는 냉매 배출부;를 포함하며,
상기 이산화탄소 이동코일은,
상기 냉매통의 내면에 근접하게 설치되는 외측 코일과,
상기 외측 코일 내측에 상기 외측 코일보다 작은 직경을 가지도록 설치되는 내측 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 이산화탄소 응축장치.Cylindrical refrigerant cylinder of the open structure at both ends;
A carbon dioxide moving coil installed inside the refrigerant container and moving carbon dioxide supplied from the outside;
An upper seal sealing the upper opening of the refrigerant container;
A carbon dioxide supply unit connected to one end of the carbon dioxide transfer coil through the upper seal and supplying carbon dioxide to the carbon dioxide transfer coil;
A carbon dioxide discharge part connected to the other end of the carbon dioxide moving coil and installed to communicate in a direction of a lower opening of the refrigerant container to discharge condensed carbon dioxide;
A lower sealing part passing through the carbon dioxide discharge part and sealing a lower end opening of the refrigerant container;
A coolant supply unit connected to one side of the coolant container and supplying a coolant to the coolant container;
And a refrigerant discharge part connected to the other side of the refrigerant container and discharging the refrigerant in the refrigerant container.
The carbon dioxide moving coil,
An outer coil installed in close proximity to an inner surface of the refrigerant cylinder,
And an inner coil installed inside the outer coil to have a smaller diameter than the outer coil. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 냉매통은,
상기 하단 개구부가 상기 상단 개구부보다 작은 직경을 가지는 병목부를 구비하는 것을 특징으로 하는 이산화탄소 응축장치.The method of claim 1, wherein the refrigerant cylinder,
And the lower opening has a bottleneck having a diameter smaller than the upper opening. 제3항에 있어서, 상기 하부 밀봉부는,
상기 병목부 외면에 설치되는 통 고정부;
상기 통 고정부의 하면에 제1 체결수단에 의하여 체결되며, 상기 병목부보다 작은 직경을 가지는 관통공이 형성되는 밀폐판;
상기 밀폐판의 상면에 제2 체결수단에 의하여 체결되며, 상기 병목부의 내측에서 상기 관통공을 차단하며, 상기 이산화탄소 배출부에 고정되는 관 고정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이산화탄소 응축장치.The method of claim 3, wherein the lower seal portion,
Bucket fixing portion is installed on the bottleneck outer surface;
A sealing plate fastened to a lower surface of the barrel fixing part by a first fastening means and having a through hole having a diameter smaller than that of the bottleneck part;
And a tube fixing part fastened by a second fastening means to an upper surface of the sealing plate, blocking the through hole inside the bottleneck part, and fixed to the carbon dioxide discharge part. 제4항에 있어서, 상기 통 고정부는,
상기 병목부 외면에 고정되어 설치되는 고정플랜지;
상기 고정플랜지을 감싸는 형태로 상기 고정플랜지과 상기 병목부 사이에서 자유회전 및 상하 이동이 가능하게 설치되는 회전플랜지;을 포함하는 것을 특징으로 하는 이산화탄소 응축장치.The method of claim 4, wherein the barrel fixing portion,
A fixed flange fixedly installed on an outer surface of the bottleneck part;
Carbon dioxide condensation apparatus comprising a; and a rotating flange installed so as to freely rotate and move up and down between the fixed flange and the bottleneck in a form surrounding the fixed flange. 제5항에 있어서,
상기 고정플랜지 하면과 상기 밀폐판 사이에는 접촉면을 밀폐하는 제1 밀봉부재가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 이산화탄소 응축장치.The method of claim 5,
And a first sealing member sealing the contact surface between the lower surface of the fixed flange and the sealing plate. 제6항에 있어서,
상기 밀폐판 상면과 상기 관 고정부 하면 사이에는 접촉면을 밀폐하는 제2 밀봉부재가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 이산화탄소 응축장치.The method according to claim 6,
And a second sealing member sealing the contact surface between the upper surface of the sealing plate and the lower surface of the tube fixing part.
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