KR101285077B1 - Loading apparatus for shut tight type cassette - Google Patents

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Abstract

밀폐형 카세트를 2단으로 적재하여 카세트 내에 적재된 반도체 또는 유리기판의 반송작업을 할 수 있는 밀폐형 카세트 적재장치가 개시된다. 이러한 밀폐형 카세트 적재장치는 1단 대응만 가능하던 로봇 펜스 내에 설치되는 로봇의 별도 개발 없이 종래의 로봇을 그대로 사용하고도 2단으로 카세트를 적재하여 카세트 내에 적재된 반도체나 유리기판의 반송작업을 할 수 있으며, 2단으로 카세트를 적재한 후 반도체나 유리기판 반송작업을 할 수 있도록 함으로써 공정수율을 대폭 향상시킬 수 있다.Disclosed is a sealed cassette stacking apparatus capable of carrying a semiconductor or glass substrate loaded in a cassette by stacking the sealed cassette in two stages. The sealed cassette stacking device can carry the semiconductor or glass substrates loaded in the cassette by stacking the cassette in two stages without using a conventional robot as it is without developing a robot installed in the robot fence that was only capable of supporting one stage. The process yield can be greatly improved by loading a cassette in two stages and then carrying the semiconductor or glass substrate.

Description

밀폐형 카세트 적재장치{Loading apparatus for shut tight type cassette}Loading apparatus for shut tight type cassette

본 발명은 밀폐형 카세트 적재장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 밀폐형 카세트 내에 적재되어 있는 반도체나 유리기판의 반송작업을 할 수 있도록 하는 밀폐형 카세트 적재장치에 관한 것이다.The present invention relates to a hermetic cassette stacking device, and more particularly, to a hermetic cassette stacking device for carrying out a transfer operation of a semiconductor or a glass substrate loaded in the hermetic cassette.

일반적으로 LCD 공정 라인의 클린도는 통상 Class 100을 유지하지만, AMOLED 공정 라인의 경우에는 클린도가 Class 10을 유지하여야 한다.In general, the cleanliness of LCD process lines is normally maintained at Class 100, but for AMOLED process lines, cleanliness should be maintained at Class 10.

따라서, 통상적인 LCD 라인의 기판 글라스(Glass) 이송 방식은 오픈(OPEN)형 카세트에 안착 후 반송하지만, AMOLED 라인의 경우에는 기존 방식의 오픈 형 카세트 타입으로 반송할 시에는 반송 중 기판 글라스에 파티클(Particle) 등의 유입으로 데미지(Damage)의 우려가 있어 밀폐형 카세트를 사용하였다.Therefore, the glass transfer method of a conventional LCD line is transported after it is seated in an open cassette, but in the case of an AMOLED line, when transferring to an open cassette type of a conventional method, particles are transferred to the substrate glass during transport. There is a risk of damage due to the inflow of (Particle), etc. A sealed cassette was used.

도 1은 일반적인 밀폐형 카세트 적재장치를 도시한 도면이다.1 is a view showing a typical sealed cassette stacking device.

도 1을 참조하면, 일반적인 카세트 적재장치(10)는, 메인 프레임(100), 카세트 구동유닛(110), 도어패드 구동유닛(130), 카세트 도어패드(140), 흡착수단(150)을 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 1, a general cassette stacking apparatus 10 includes a main frame 100, a cassette driving unit 110, a door pad driving unit 130, a cassette door pad 140, and an adsorption means 150. It is configured by.

상기 메인 프레임(100)은 로봇 펜스(Robot Fence : 30)의 일측과 밀착되도록 상기 로봇 펜스(30)의 일측에 설치된다. 상기 카세트 구동유닛(110)은 적재부(102)에 설치되어 그 상부에 카세트(20)가 적재된다. 상기 도어패드 구동유닛(130)은, 상기 메인 프레임(100)의 타측에 설치될 수 있다. 상기 카세트 도어패드(140)는 상기 도어패드 구동유닛(130)에 설치될 수 있다. 상기 흡착수단(150)은 상기 카세트 도어패드(140)에 설치되어 카세트 도어(20a)를 흡착할 수 있도록 한다.The main frame 100 is installed on one side of the robot fence 30 to be in close contact with one side of the robot fence (Robot Fence: 30). The cassette driving unit 110 is installed in the stacking unit 102 and the cassette 20 is stacked thereon. The door pad driving unit 130 may be installed at the other side of the main frame 100. The cassette door pad 140 may be installed in the door pad driving unit 130. The adsorption means 150 is installed on the cassette door pad 140 to adsorb the cassette door 20a.

상기와 같이 구성되는 일반적인 밀폐형 카세트 적재장치(10)를 사용하여 카세트(20) 내부에 적재된 반도체 또는 유리기판을 로봇 펜스(30)로 이송시키기 위해서는, 먼저 도어패드 구동유닛(130)을 작동시켜 카세트 도어패드(140)를 상승시킴으로써 상기 카세트 도어패드(140)가 상기 적재부(102)에 적재된 카세트(20)와 마주할 수 있도록 한다.In order to transfer the semiconductor or glass substrate loaded in the cassette 20 to the robot fence 30 using the general sealed cassette stacking device 10 configured as described above, first, the door pad driving unit 130 is operated. By raising the cassette door pad 140, the cassette door pad 140 may face the cassette 20 loaded on the stacking unit 102.

이후, 상기 카세트 구동유닛(110)이 작동되어 상기 카세트 구동유닛(110)에 적재된 카세트(20)를 상기 카세트 도어패드(140) 측으로 이동시켜 상기 흡착수단(150)과 카세트 도어(20a)가 밀착되도록 한 다음, 흡착수단(150)을 작동시켜 도어(20a)를 흡착한다.Thereafter, the cassette driving unit 110 is operated to move the cassette 20 loaded on the cassette driving unit 110 toward the cassette door pad 140 so that the suction means 150 and the cassette door 20a are moved. After the close contact, the adsorption means 150 is operated to adsorb the door 20a.

상기와 같이 도어(20a)를 흡착한 다음에는, 다시 카세트 구동유닛(110)을 작동시켜 상기 적재부(102)에 적재된 카세트(20)를 카세트 도어패드(140)의 반대 측으로 이동시켜 상기 흡착수단(150)에 의해 상기 카세트(20)로부터 카세트의 도어(20a)를 분리시킨다.After adsorbing the door 20a as described above, the cassette driving unit 110 is operated again to move the cassette 20 loaded in the stacking unit 102 to the opposite side of the cassette door pad 140 so as to adsorb the door 20a. The means 150 separates the cassette's door 20a from the cassette 20.

상기와 같이 도어(20a)를 카세트(20)로부터 분리시킨 다음에는, 상기 도어패드 구동유닛(130)을 작동시켜 상기 카세트 도어패드(140)를 하강시킨 후 카세트(20) 내부에 적재된 반도체 또는 유리 기판을 로봇 펜스(30)로 이송시킨다.After the door 20a is separated from the cassette 20 as described above, the door pad driving unit 130 is operated to lower the cassette door pad 140 and then the semiconductor or the semiconductor 20 loaded inside the cassette 20. The glass substrate is transferred to the robot fence 30.

상술한 바와 같은 종래의 밀폐형 카세트 적재장치(10)는, 흡착수단(150)에 의해 카세트(20)로부터 분리된 도어(20a)를 상기 흡착수단(150)으로부터 분리하여 별도로 저장할 공간이 없을 뿐만 아니라, 로봇 암(Arm)의 페이로드(Pay Load)에 의하여 카세트(20)를 1단으로 적재할 수밖에 없어 고정 수율이 저하된다는 문제점이 있었다.In the conventional hermetic cassette stacking device 10 as described above, the door 20a separated from the cassette 20 by the adsorption means 150 does not have a space for separate storage from the adsorption means 150. There is a problem in that the fixed yield is lowered because the cassette 20 can only be loaded in one stage by the payload of the robot arm Arm.

따라서, 본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 해결하고자 하는 과제는 밀폐형 카세트를 2단으로 적재하여 카세트 내에 적재된 반도체 또는 유리기판의 반송작업을 할 수 있는 밀폐형 카세트 적재장치를 제공하는 것이다.Accordingly, the present invention is to solve this problem, the problem to be solved by the present invention is to provide a sealed cassette stacking device capable of carrying the semiconductor or glass substrate loaded in the cassette by loading the sealed cassette in two stages. It is.

본 발명의 일 실시예에 따른 밀폐형 카세트 적재장치는, 하부에서부터 상부 방향으로 도어 저장부와 1단 적재부 및 2단 적재부가 순차적으로 형성되어 로봇 펜스의 일측과 밀착되도록 상기 로봇 펜스의 일측에 설치되는 메인 프레임; 상기 1단 적재부와 2단 적재부에 설치되어 카세트가 상부에 적재되는 제 1, 2 카세트 구동유닛; 상기 메인 프레임의 타측에 설치되는 도어패드 구동유닛; 상기 도어패드 구동유닛에 설치되는 카세트 도어패드; 상기 카세트 도어패드에 설치되어 카세트 도어를 흡착하는 적어도 하나의 제 1 흡착수단; 상기 카세트 도어 저장부에 설치되는 스톡 패드 구동유닛; 상기 스톡 패드 구동유닛에 설치되는 스톡 패드; 상기 스톡 패드에 설치되는 적어도 하나의 제 3 흡착수단; 상기 메인 프레임의 1단 적재부와 2단 적재부에 설치되는 제 1, 2 셔터유닛;을 포함할 수 있다.The sealed cassette stacking device according to an embodiment of the present invention is installed on one side of the robot fence so that the door storage unit, the first stage stacking unit and the second stage stacking unit are sequentially formed from the bottom to the top side so as to be in close contact with one side of the robot fence. Main frame; First and second cassette driving units installed in the first stacking unit and the second stacking unit, and the cassettes are stacked thereon; A door pad driving unit installed at the other side of the main frame; A cassette door pad installed in the door pad driving unit; At least one first adsorption means installed on the cassette door pad to adsorb the cassette door; A stock pad drive unit installed in the cassette door storage unit; A stock pad installed in the stock pad drive unit; At least one third adsorption means installed in the stock pad; And first and second shutter units installed in the first stage stacking unit and the second stage stacking unit of the main frame.

일예를 들면, 상기 제 1, 2 카세트 구동유닛은, 상기 1, 2단 적재부에 설치되어 구동수단에 의해 회전되는 적어도 하나의 볼 스크루; 상기 볼 스크루에 나사 체결되는 이동 블록; 및 상기 이동 블록에 설치되어 상부에 카세트가 적재되는 적재 프레임;을 포함할 수 있다.For example, the first and second cassette drive units may include at least one ball screw installed on the first and second stage stacking units and rotated by a driving unit; A moving block screwed to the ball screw; And a stacking frame installed on the moving block and having a cassette stacked thereon.

일예를 들면, 상기 도어패드 구동유닛은, 상기 메인 프레임의 타측에 설치되는 구동수단; 상기 구동수단에 연결되는 볼 스크루; 및 상기 볼 스크루에 나사 체결되며, 상기 카세트 도어패드가 설치되는 이동 블록;을 포함할 수 있다.For example, the door pad driving unit may include driving means installed at the other side of the main frame; A ball screw connected to the drive means; And a moving block screwed to the ball screw and having the cassette door pad installed therein.

일예를 들면, 상기 스톡 패드 구동유닛은, 상기 카세트 도어 저장부에 설치되는 구동수단; 상기 구동수단에 연결되는 볼 스크루; 및 상기 볼 스크루에 나사 체결되며 상기 스톡 패드가 설치되는 이동 블록;을 포함할 수 있다.For example, the stock pad drive unit, the drive means is installed in the cassette door storage unit; A ball screw connected to the drive means; And a moving block screwed to the ball screw and installed with the stock pad.

일예를 들면, 상기 제 1, 2 셔터유닛은, 롤 스크린 형태로 형성되어 1단 적재부 또는 2단 적재부에 적재된 카세트의 교체 시 기판 출입구를 폐쇄하여 상기 기판 출입구를 통해 로봇 펜스 내의 기류가 외부로 유출되거나 로봇 펜스 외부의 기류가 로봇 펜스 내로 유입되지 않도록 하여 로봇 펜스 내의 기류 변화를 방지할 수 있다.For example, the first and second shutter units may be formed in a roll screen form and close the substrate entrance when the cassette loaded in the first loading stage or the second loading stage is closed so that air flow in the robot fence is prevented through the substrate entrance. The airflow inside the robot fence may be prevented by preventing the airflow outside or the outside of the robot fence from entering the robot fence.

또한, 본 발명의 일실시예에 의한 적재장치는, 상기 카세트 도어패드에 설치되는 맵핑 센서를 더 포함할 수 있다.In addition, the stacking apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a mapping sensor installed on the cassette door pad.

본 발명의 다른 실시예에 따른 밀폐형 카세트 적재장치는, 하부에서부터 상부 방향으로 제 1 도어 저장부, 1단 적재부, 2단 적재부, 제 2 도어 저장부가 순차적으로 형성되어 로봇 펜스의 일측과 밀착되도록 상기 로봇 펜스의 일측에 설치되는 메인 프레임; 상기 1단 적재부와 2단 적재부에 설치되어 카세트가 상부에 적재되는 제 1, 2 카세트 구동유닛; 상기 1단 적재부와 이웃하도록 메인 프레임에 설치되어 1단 적재부에 적재된 카세트의 도어를 제거한 후 상기 제 1 도어 저장부로 이동시킬 수 있는 제 1 도어패드 구동유닛; 상기 2단 적재부와 이웃하도록 메인 프레임에 설치되어 2단 적재부에 적재된 카세트의 도어를 제거한 후 상기 제 2 도어 저장부로 이동시킬 수 있는 제 2 도어패드 구동유닛; 상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛에 각각 설치되는 제 1, 2 카세트 도어패드; 및 상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 각각 설치되어 카세트 도어를 흡착하는 적어도 하나의 제 1, 2 흡착수단;을 포함할 수 있다.In the sealed cassette stacking device according to another embodiment of the present invention, the first door storage unit, the first stage storage unit, the second stage storage unit, and the second door storage unit are sequentially formed from the bottom to the upper side to closely adhere to one side of the robot fence. A main frame installed at one side of the robot fence so as to be possible; First and second cassette driving units installed in the first stacking unit and the second stacking unit, and the cassettes are stacked thereon; A first door pad driving unit installed on the main frame so as to be adjacent to the first stacking unit and capable of moving to the first door storage unit after removing the door of the cassette loaded on the first stacking unit; A second door pad driving unit installed on the main frame so as to be adjacent to the second stacking unit and capable of moving to the second door storage unit after removing the door of the cassette loaded on the second stacking unit; First and second cassette door pads respectively installed in the first and second door pad driving units; And at least one first and second adsorption means installed on the first and second cassette door pads to adsorb the cassette door, respectively.

일예를 들면, 상기 제 1, 2 카세트 구동유닛은, 상기 1, 2단 적재부에 설치되어 구동수단에 의해 회전되는 적어도 하나의 볼 스크루; 상기 볼 스크루에 나사 체결되는 이동 블록; 및 상기 이동 블록에 설치되어 상부에 카세트가 적재되는 적재 프레임;을 포함할 수 있다.For example, the first and second cassette drive units may include at least one ball screw installed on the first and second stage stacking units and rotated by a driving unit; A moving block screwed to the ball screw; And a stacking frame installed on the moving block and having a cassette stacked thereon.

일예를 들면, 상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛은, 상기 메인 프레임의 타측에 설치되는 구동수단; 상기 구동수단에 연결되는 볼 스크루; 및 상기 볼 스크루에 나사 체결되는 이동 블록;을 포함할 수 있다.For example, the first and second door pad driving units may include driving means installed at the other side of the main frame; A ball screw connected to the drive means; And a moving block screwed to the ball screw.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 의한 적재장치는, 상기 제 1, 2 카세트 도어 패드에 각각 설치되는 제 1, 2 맵핑 센서를 더 포함할 수 있다.In addition, the stacking apparatus according to another embodiment of the present invention may further include first and second mapping sensors respectively installed on the first and second cassette door pads.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 밀폐형 카세트 적재장치는, 하부에서부터 상부 방향으로 1단 적재부, 2단 적재부가 순차적으로 형성되며, 상기 1, 2단 적재부의 전방 또는 후방에는 각각 제 1, 2 도어 저장부가 형성되어 로봇 펜스의 일측과 밀착되도록 상기 로봇 펜스의 일측에 설치되는 메인 프레임; 상기 1단 적재부와 2단 적재부에 설치되어 카세트가 상부에 적재되는 제 1, 2 카세트 구동유닛; 상기 1단 적재부와 이웃하도록 메인 프레임에 설치되어 1단 적재부에 적재된 카세트의 도어를 제거한 후 상기 제 1 도어 저장부로 이동시킬 수 있는 제 1 도어패드 구동유닛; 상기 2단 적재부와 이웃하도록 메인 프레임에 설치되어 2단 적재부에 적재된 카세트 도어를 제거한 후 상기 제 2 도어 저장부로 이동시킬 수 있는 제 2 도어패드 구동유닛; 및 상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛에 각각 설치되는 제 1, 2 카세트 도어패드; 상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 각각 설치되어 카세트 도어를 흡착하는 적어도 하나의 제 1, 2 흡착수단;을 포함할 수 있다.In the sealed cassette stacking device according to another embodiment of the present invention, a first stacking unit and a second stacking unit are sequentially formed from a bottom to an upper direction, and the first and second stacks of the first and second stacking units are respectively provided in front or rear. A main frame installed at one side of the robot fence such that a door storage unit is formed to be in close contact with one side of the robot fence; First and second cassette driving units installed in the first stacking unit and the second stacking unit, and the cassettes are stacked thereon; A first door pad driving unit installed on the main frame so as to be adjacent to the first stacking unit and capable of moving to the first door storage unit after removing the door of the cassette loaded on the first stacking unit; A second door pad driving unit installed on the main frame so as to be adjacent to the second stacking unit and capable of moving to the second door storage unit after removing the cassette door loaded on the second stacking unit; And first and second cassette door pads respectively installed in the first and second door pad driving units. And at least one first and second adsorption means installed on the first and second cassette door pads to adsorb the cassette door, respectively.

일예를 들면, 상기 제 1, 2 카세트 구동유닛은, 상기 1, 2단 적재부에 설치되어 구동수단에 의해 회전되는 적어도 하나의 볼 스크루; 상기 볼 스크루에 나사 체결되는 이동 블록; 및 상기 이동 블록에 설치되어 상부에 카세트가 적재되는 적재 프레임;을 포함할 수 있다..For example, the first and second cassette drive units may include at least one ball screw installed on the first and second stage stacking units and rotated by a driving unit; A moving block screwed to the ball screw; And a stacking frame installed on the moving block and having a cassette stacked thereon.

일예를 들면, 상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛은, 상기 메인 프레임의 타측에 설치되는 구동수단; 상기 구동수단에 연결되는 볼 스크루; 및 상기 볼 스크루에 나사 체결되는 이동 블록;을 포함할 수 있다.For example, the first and second door pad driving units may include driving means installed at the other side of the main frame; A ball screw connected to the drive means; And a moving block screwed to the ball screw.

또한, 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 적재장치는, 상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 각각 설치되는 제 1, 2 맵핑 센서가 더 설치될 수 있다.In addition, the stacking apparatus according to another embodiment of the present invention may further be provided with first and second mapping sensors respectively installed on the first and second cassette door pads.

이와 같이 본 발명에 따르면, 1단 대응만 가능하던 로봇 펜스 내에 설치되는 로봇의 별도 개발 없이 종래의 로봇을 그대로 사용하고도 2단으로 카세트를 적재하여 카세트 내에 적재된 반도체나 유리기판의 반송작업을 할 수 있으며, 2단으로 카세트를 적재한 후 반도체나 유리기판 반송작업을 할 수 있도록 함으로써 공정수율을 대폭 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the transfer operation of the semiconductor or glass substrate loaded in the cassette is performed by stacking the cassette in two stages without using a conventional robot as it is, without additional development of a robot installed in the robot fence that was only capable of supporting one stage. In addition, since the cassettes are loaded in two stages, the semiconductor or glass substrate conveying operation can be performed, thereby greatly improving the process yield.

도 1은 일반적인 밀폐형 카세트 적재장치를 도시한 도면
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 밀폐형 카세트 적재장치를 설명하기 위한 도면
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 의한 제 1 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 제 2 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 도어패드 구동유닛과 카세트 도어패드 및 제 1 흡착수단을 설명하기 위한 상세도
도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 의한 스톡패드 구동 유닛과 스톡패드 및 제 3 흡착수단을 설명하기 위한 상세도
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 밀폐형 카세트 적재장치를 설명하기 위한 도면
도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 제 1 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도
도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 제 2 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도
도 10은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 제 1 도어패드 구동유닛과 제 1 카세트 도어패드, 제 1 흡착수단 및 제 1 맵핑 센서를 설명하기 위한 상세도
도 11은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 제 2 도어패드 구동유닛과 제 2 카세트 도어패드, 제 2 흡착수단 및 제 2 맵핑 센서를 설명하기 위한 상세도
도 12는 본 발명의 제 3 실시예에 의한 밀폐형 카세트 적재장치를 설명하기 위한 정단면도
도 13은 본 발명의 제 3 실시예에 의한 제 1 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도
도 14는 본 발명의 제 3 실시예에 의한 제 3 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도
도 15는 도 13의 평면도
도 16은 본 발명의 제 3 실시예에 의한 제 1 도어패드 구동유닛과, 제 1 카세트 도어패드 및 제 1 흡착수단을 설명하기 위한 상세도
도 17은 본 발명의 제 3 실시예에 의한 제 2 도어패드 구동유닛과, 제 2 카세트 도어패드 및 제 2 흡착수단을 설명하기 위한 상세도1 is a view showing a typical sealed cassette stacking device
2 is a view for explaining the sealed cassette stacking apparatus according to the first embodiment of the present invention.
3 is a detailed view for explaining a first cassette drive unit according to a first embodiment of the present invention;
4 is a detailed view for explaining a second cassette drive unit according to a first embodiment of the present invention;
5 is a detailed view for explaining a door pad drive unit, a cassette door pad and a first suction means according to a first embodiment of the present invention;
6 is a detailed view for explaining a stock pad drive unit, a stock pad and a third suction means according to the first embodiment of the present invention;
7 is a view for explaining a sealed cassette stacking apparatus according to a second embodiment of the present invention.
8 is a detailed view for explaining a first cassette drive unit according to a second embodiment of the present invention.
9 is a detailed view for explaining a second cassette drive unit according to a second embodiment of the present invention.
10 is a detailed view for explaining a first door pad drive unit, a first cassette door pad, a first suction means, and a first mapping sensor according to a second embodiment of the present invention;
11 is a detailed view for explaining a second door pad drive unit, a second cassette door pad, a second suction means, and a second mapping sensor according to a second embodiment of the present invention;
12 is a front sectional view for explaining a sealed cassette stacking device according to a third embodiment of the present invention.
13 is a detailed view for explaining a first cassette drive unit according to a third embodiment of the present invention.
14 is a detailed view for explaining a third cassette drive unit according to a third embodiment of the present invention.
15 is a plan view of FIG.
16 is a detailed view for explaining a first door pad drive unit, a first cassette door pad and a first suction means according to a third embodiment of the present invention;
17 is a detailed view for explaining a second door pad drive unit, a second cassette door pad and a second suction means according to a third embodiment of the present invention;

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다.The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text.

그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. The terms first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, the terms "comprising" or "having ", and the like, are intended to specify the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다. 설명의 편의를 위하여 종래의 밀폐형 카세트 적재장치와 동일/유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하였다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference will now be made in detail to the preferred embodiments of the present invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings. For convenience of description, the same reference numerals are given to the same / similar parts as the conventional sealed cassette stacking device.

<실시예 1>&Lt; Example 1 >

도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 밀폐형 카세트 적재장치를 설명하기 위한 도면이고, 도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 의한 제 1 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도이며, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 제 2 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도이고, 도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 도어패드 구동유닛과 카세트 도어패드 및 제 1 흡착수단을 설명하기 위한 상세도이며, 도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 의한 스톡패드 구동 유닛과 스톡패드 및 제 3 흡착수단을 설명하기 위한 상세도이다.2 is a view for explaining a sealed cassette stacking apparatus according to a first embodiment of the present invention, Figure 3 is a detailed view for explaining a first cassette drive unit according to a first embodiment of the present invention, Figure 4 Is a detailed view for explaining a second cassette drive unit according to a first embodiment of the present invention, Figure 5 illustrates a door pad drive unit, a cassette door pad and a first suction means according to a first embodiment of the present invention. 6 is a detailed view for explaining the stock pad drive unit, the stock pad, and the third adsorption means according to the first embodiment of the present invention.

도 2 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 의한 밀폐형 카세트 적재장치(10)는, 메인 프레임(100), 제 1 카세트 구동유닛(110), 제 2 카세트 구동유닛(120), 도어패드 구동유닛(130), 카세트 도어패드(140), 제 1 흡착수단(150), 스톡 패드 구동유닛(160), 스톡 패드(170) 및 제 3 흡착수단(180)을 포함할 수 있다.2 to 6, the sealed cassette stacking apparatus 10 according to the first embodiment of the present invention includes a main frame 100, a first cassette driving unit 110, and a second cassette driving unit 120. The door pad driving unit 130, the cassette door pad 140, the first adsorption means 150, the stock pad driving unit 160, the stock pad 170, and the third adsorption means 180 may be included. .

상기 메인 프레임(100)은, 하부에서 상부 방향으로 도어 저장부(101), 1단 적재부(102) 및 2단 적재부(103)가 순차적으로 형성되어 로봇 펜스(Robot Fence : 30)의 일측과 밀착되도록 상기 로봇 펜스(30)의 일측에 설치된다.The main frame 100 has a door storage unit 101, a first stage stacking unit 102, and a second stage stacking unit 103 sequentially formed from a lower side to an upper side of the robot frame (Robot Fence 30). It is installed on one side of the robot fence 30 to be in close contact with.

상기 제 1 카세트 구동유닛(110)은 상기 1단 적재부(102)에 설치되어 그 상부에 카세트(20)가 적재된다. 예를 들면, 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)은 적어도 하나의 볼 스크루(111), 이동 블록(112), 적재 프레임(113)을 포함할 수 있다. 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)의 적어도 하나의 볼 스크루(111)는 상기 메인 프레임(100)의 1단 적재부(102)에 설치되어 구동수단(114)에 의해 회전된다. 상기 이동 블록(112)은 상기 볼 스크루(111)에 나사 체결되어 상기 볼 스크루(111)가 회전됨에 따라 상기 볼 스크루(111)를 따라 이동된다. 상기 적재 프레임(113)은 상기 이동 블록(112)에 설치되어 상부에 카세트(20)가 적재됨으로써 상기 카세트(20)를 이동시킬 수 있도록 한다. 상기 구동수단(114)으로는 모터를 사용할 수 있다.The first cassette driving unit 110 is installed in the first stacking unit 102 and the cassette 20 is stacked thereon. For example, the first cassette driving unit 110 may include at least one ball screw 111, a moving block 112, and a stacking frame 113. At least one ball screw 111 of the first cassette drive unit 110 is installed in the first stage mounting part 102 of the main frame 100 and rotated by the driving means 114. The moving block 112 is screwed to the ball screw 111 is moved along the ball screw 111 as the ball screw 111 is rotated. The stacking frame 113 is installed in the moving block 112 to allow the cassette 20 to be stacked on the upper portion thereof to move the cassette 20. A motor may be used as the driving means 114.

이와는 다르게, 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)은 도면에는 도시되지 않았지만 상기 메인 프레임(100)의 1단 적재부(102)에 설치되어 구동수단(114), 즉 실린더에 의해 작동되는 적어도 하나의 LM 가이드와, 상기 LM 가이드에 설치되는 적재 프레임(113)으로도 구성될 수 있다.Alternatively, although not shown in the drawing, the first cassette driving unit 110 is installed in the first stage stacking unit 102 of the main frame 100 and is operated by a driving means 114, that is, at least one cylinder. It may also be composed of an LM guide and a loading frame 113 installed on the LM guide.

상기 제 2 카세트 구동유닛(120)은 상기 2단 적재부(103)에 설치되어 그 상부에 카세트(21)가 적재된다. 예를 들면, 상기 제 2 카세트 구동유닛(120)은 적어도 하나의 볼 스크루(121), 이동 블록(122), 적재 프레임(123)을 포함할 수 있다. 상기 제 2 카세트 구동유닛(120)의 적어도 하나의 볼 스크루(121)는 상기 메인 프레임(100)의 2단 적재부(103)에 설치되어 구동수단(124)에 의해 회전된다. 상기 이동 블록(122)은 상기 볼 스크루(121)에 나사 체결되어 상기 볼 스크루(121)가 회전됨에 따라 상기 볼 스크루(121)를 따라 이동된다. 상기 적재 프레임(123)은 상기 이동 블록(122)에 설치되어 상부에 카세트(21)가 적재됨으로써 상기 카세트(21)를 이동시킬 수 있도록 한다. 상기 구동수단(124)으로는 모터를 사용할 수 있다.The second cassette driving unit 120 is installed in the two-stage stacking unit 103, and the cassette 21 is stacked thereon. For example, the second cassette driving unit 120 may include at least one ball screw 121, a moving block 122, and a stacking frame 123. At least one ball screw 121 of the second cassette drive unit 120 is installed in the second stage stacking part 103 of the main frame 100 and rotated by the driving means 124. The moving block 122 is screwed to the ball screw 121 is moved along the ball screw 121 as the ball screw 121 is rotated. The stacking frame 123 is installed in the moving block 122 to allow the cassette 21 to be moved thereon, so that the cassette 21 can be moved. A motor may be used as the driving means 124.

이와는 다르게, 상기 제 2 카세트 구동유닛(120)은 도면에는 도시되지 않았지만 상기 메인 프레임(100)의 2단 적재부(103)에 설치되어 구동수단(124), 즉 실린더에 의해 작동되는 적어도 하나의 LM 가이드와, 상기 LM 가이드에 설치되는 적재 프레임(123)으로도 구성될 수 있다.Alternatively, although not shown in the drawing, the second cassette driving unit 120 is installed in the second stage stacking part 103 of the main frame 100 and is operated by the driving means 124, that is, at least one cylinder. It may also be composed of an LM guide, and a loading frame 123 installed on the LM guide.

상기 도어패드 구동유닛(130)은, 상기 메인 프레임(100)의 타측에 설치될 수 있다. 예를 들면, 상기 도어패드 구동유닛(130)은 구동수단(131), 볼 스크루(132), 이동 블록(133)을 포함할 수 있다. 상기 구동수단(131)은 상기 메인 프레임(100)의 타측 하단에 설치된다. 상기 볼 스크루(132)는 상기 구동수단(131)과 연결되도록 상기 메인 프레임(100)의 상하 방향으로 설치된다. 상기 이동 블록(133)은 상기 볼 스크루(132)를 따라 상하 이동될 수 있도록 상기 볼 스크루(132)에 나사 체결되며 일측에는 상기 카세트 도어패드(140)가 설치됨으로써 상기 카세트 도어패드(140)를 상하 이동시킬 수 있도록 한다.The door pad driving unit 130 may be installed at the other side of the main frame 100. For example, the door pad driving unit 130 may include a driving means 131, a ball screw 132, and a moving block 133. The driving means 131 is installed at the lower end of the other side of the main frame 100. The ball screw 132 is installed in the vertical direction of the main frame 100 to be connected to the driving means 131. The moving block 133 is screwed to the ball screw 132 to be moved up and down along the ball screw 132 and one side of the cassette door pad 140 is installed by the cassette door pad 140 is installed. Allow it to move up and down.

상기 카세트 도어패드(140)는 상기 도어패드 구동유닛(130)에 설치될 수 있다. 즉, 상기 카세트 도어패드(140)는 상기 도어패드 구동유닛(130)의 이동 블록(133)에 설치될 수 있다.The cassette door pad 140 may be installed in the door pad driving unit 130. That is, the cassette door pad 140 may be installed in the moving block 133 of the door pad driving unit 130.

상기 제 1 흡착수단(150)은 상기 카세트 도어패드(140)에 설치되어 카세트 도어(20a, 21a)를 흡착할 수 있도록 한다. The first adsorption means 150 is installed on the cassette door pad 140 to adsorb the cassette doors 20a and 21a.

상기 스톡 패드 구동유닛(160)은, 상기 메인 프레임(100)의 하부에 형성된 상기 카세트 도어 저장부(101)에 설치될 수 있다. 예를 들면, 상기 스톡 패드 구동유닛(160)은 구동수단(161), 볼 스크루(162), 이동블록(163)을 포함할 수 있다. 상기 스톡 패드 구동유닛(160)의 구동수단(161)은 상기 카세트 도어 저장부(101)에 설치될 수 있다. 여기서 상기 구동수단(161)으로는 모터가 사용될 수 있다. 상기 볼 스크루(162)는 상기 구동수단(161)에 연결되어 상기 구동수단(161)이 작동됨에 따라 회전될 수 있다. 상기 이동 블록(163)은 상기 볼 스크루(162)에 나사 체결되며 타측에는 스톡 패드(170)가 설치될 수 있다.The stock pad driving unit 160 may be installed in the cassette door storage unit 101 formed under the main frame 100. For example, the stock pad driving unit 160 may include a driving means 161, a ball screw 162, and a moving block 163. The driving means 161 of the stock pad driving unit 160 may be installed in the cassette door storage unit 101. In this case, a motor may be used as the driving means 161. The ball screw 162 is connected to the drive means 161 may be rotated as the drive means 161 is operated. The moving block 163 may be screwed to the ball screw 162 and a stock pad 170 may be installed at the other side.

이와는 다르게, 상기 스톡 패드 구동유닛(160)은 도면에는 도시되지 않았지만 상기 카세트 도어 저장부(101)에 설치되는 구동수단(161) 즉, 실린더와, 상기 실린더에 연결되며 상기 스톡 패드(170)가 설치되는 LM 가이드로 구성될 수도 있다.Alternatively, although not shown in the drawing, the stock pad driving unit 160 includes a driving means 161 installed in the cassette door storage unit 101, that is, a cylinder, and the stock pad 170 connected to the cylinder. It may also consist of an LM guide to be installed.

상기 스톡 패드(170)는 상기 스톡 패드 구동유닛(160)에 설치될 수 있다. 즉, 상기 스톡 패드(170)는 상기 스톡 패드 구동유닛(160)의 이동 블록(163)에 설치될 수 있다.The stock pad 170 may be installed in the stock pad driving unit 160. That is, the stock pad 170 may be installed in the moving block 163 of the stock pad driving unit 160.

상기 적어도 하나의 제 3 흡착수단(180)은 상기 스톡 패드(170)에 설치되어 상기 스톡 패드(170)에 저장된 카세트 도어(20a, 21a)를 흡착시킬 수 있도록 한다.The at least one third adsorption means 180 is installed on the stock pad 170 to adsorb the cassette doors 20a and 21a stored in the stock pad 170.

또한, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 밀폐형 카세트 적재장치(10)는 상기 메인 프레임(100)의 1, 2단 적재부(102, 103)에 설치되는 제 1, 2 셔터유닛(190a, 190b)을 더 포함할 수 있다. 상기와 같은 제 1, 2 셔터유닛(190a, 190b)은 1단 적재부(102) 또는 2단 적재부(103)에 적재되어 있는 카세트(20, 21)의 교체 시 상기 1단 적재부(102) 또는 2단 적재부(103)에 위치한 기판 출입구(도시되지 않음)를 폐쇄시킴으로써 외부의 기류가 로봇 펜스(30) 내로 유입되거나, 상기 로봇 펜스(30) 내의 기류가 로봇 펜스(30) 외부로 유출되는 것을 방지하여 로봇 펜스(30) 내의 기류 변화를 방지할 수 있다. 예를 들면 상기 제 1, 2 셔터유닛(190a, 190b)은 롤 스크린 형태로 형성될 수 있다.In addition, the sealed cassette stacking device 10 according to the first embodiment of the present invention includes first and second shutter units 190a and 190b installed in the first and second stacking units 102 and 103 of the main frame 100. ) May be further included. The first and second shutter units 190a and 190b as described above have the first stacking unit 102 when the cassettes 20 and 21 stacked on the first stacking unit 102 or the second stacking unit 103 are replaced. ) Or by closing the substrate entrance (not shown) located in the two-stage stacking unit 103, an outside airflow flows into the robot fence 30, or an airflow inside the robot fence 30 flows out of the robot fence 30. It is possible to prevent the flow of air in the robot fence 30 by preventing the leakage. For example, the first and second shutter units 190a and 190b may be formed in a roll screen form.

상기 제 1, 2 셔터유닛(190a, 190b)은, 각각 상기 메인 프레임(100)의 1, 2단 적재부(102, 103)에 적재된 후 카세트 도어(20a, 21a)가 제거되어 개방된 카세트(20, 21) 입구 중 반도체나 유리기판의 반송작업이 행하여지지 않는 카세트의 입구를 밀폐시킬 수 있도록 한다.The first and second shutter units 190a and 190b are stacked in the first and second stacking units 102 and 103 of the main frame 100, respectively, and the cassette doors 20a and 21a are removed and opened. (20, 21) The inlet of the cassette in which the conveyance operation of a semiconductor or a glass substrate is not performed can be sealed.

또한, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 밀폐형 카세트 적재장치(10)는, 상기 카세트 도어패드(140)에 설치되는 맵핑 센서(141)를 더 포함할 수 있다.
In addition, the sealed cassette stacking device 10 according to the second embodiment of the present invention may further include a mapping sensor 141 installed on the cassette door pad 140.

다시, 도 2 내지 도 6을 참조하여, 본 발명의 제 1 실시예에 의한 밀폐형 카세트 적재장치의 작동과정과 작용 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.Again, referring to Figures 2 to 6, it will be described the operation and operation effects of the sealed cassette stacking apparatus according to the first embodiment of the present invention.

도 2 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 의한 밀폐형 카세트 적재장치(10)를 사용하여 카세트(20, 21) 내부에 적재된 반도체 또는 유리기판을 상기 카세트(20, 21)로부터 로봇 펜스(30)로 이송시키기 위해서는, 먼저 상기 메인 프레임(100)의 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 각각 카세트(20, 21)를 적재시킨다.2 to 6, the cassettes 20 and 21 are loaded with semiconductors or glass substrates loaded inside the cassettes 20 and 21 using the sealed cassette stacking apparatus 10 according to the first embodiment of the present invention. In order to transfer from the robot fence 30 to the robot fence 30, first, the cassettes 20 and 21 are stacked in the first stage stacking unit 102 and the second stage stacking unit 103 of the main frame 100, respectively.

상기와 같이 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 카세트(20, 21)를 적재시킨 다음에는, 도어패드 구동유닛(130)을 작동시켜 상기 도어패드 구동유닛(130)에 설치된 카세트 도어패드(140)를 1단 적재부(102) 또는 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)와 마주할 수 있도록 이동시킨다. 즉, 상기 도어패드 구동유닛(130)의 구동수단(131)을 작동시켜 볼 스크루(132)를 회전시키게 되면, 상기 볼 스크루(132)를 따라 이동 블록(133)이 상승 또는 하강되도록 하여 상기 이동 블록(133)에 설치된 카세트 도어패드(140)가 1단 적재부(102) 또는 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)와 마주할 수 있도록 상기 카세트 도어패드(140)를 이동시킨다.After loading the cassettes 20 and 21 in the first stage stacking unit 102 and the second stage stacking unit 103 as described above, the door pad driving unit 130 is operated to the door pad driving unit 130. The installed cassette door pad 140 is moved to face the cassettes 20 and 21 loaded on the first stacking unit 102 or the second stacking unit 103. That is, when the ball screw 132 is rotated by operating the driving means 131 of the door pad driving unit 130, the moving block 133 is moved up or down along the ball screw 132 to move the ball. The cassette door pad 140 installed in the block 133 may face the doors 20a and 21a of the cassettes 20 and 21 loaded in the first stack 102 or the second stack 103. The cassette door pad 140 is moved.

이때, 상기 카세트 도어패드(140)에 설치된 맵핑 센서(141)는 상기 카세트 도어패드(140)의 높이를 감지하여 상기 카세트 도어패드(140)의 상단부가 카세트 도어(20a, 21a)의 상단부와 일직선상에 위치하는지를 감지할 수 있도록 함으로써 카세트 도어패드(140)와 카세트 도어(20a, 21a)의 맵핑 여부를 확인할 수 있다.In this case, the mapping sensor 141 installed on the cassette door pad 140 senses the height of the cassette door pad 140 so that the upper end of the cassette door pad 140 is aligned with the upper ends of the cassette doors 20a and 21a. By detecting whether it is located on the cassette door pad 140 and the cassette door (20a, 21a) can be confirmed whether the mapping.

상기와 같이 맵핑 센서(141)에 의해 카세트 도어패드(140)와 1단 적재부(102) 또는 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a,21a)가 맵핑되었다고 감지되면 상기 도어패드 구동유닛(130)의 작동이 정지된다.As described above, the doors 20a and 21a of the cassettes 20 and 21 loaded on the cassette door pad 140 and the first stage stacking unit 102 or the second stage stacking unit 103 are mapped by the mapping sensor 141. If it is detected that the operation of the door pad drive unit 130 is stopped.

상기와 같이 도어패드 구동유닛(130)의 작동이 정지된 다음에는, 상기 제 1 카세트 구동유닛(110) 또는 제 2 카세트 구동유닛(120)이 작동되어 상기 제 1 카세트 구동유닛(110) 또는 제 2 카세트 구동유닛(120)에 적재된 카세트(20, 21)를 상기 카세트 도어패드(140) 측으로 이동시킨다. 즉, 상기 제 1 카세트 구동유닛(110) 또는 제 2 카세트 구동유닛(120)의 구동수단(114, 124)을 작동시켜 볼 스크루(111, 121)를 회전시켜 상기 볼 스크루(111, 121)를 따라 이동블록(112, 122)이 카세트 도어패드(140) 측으로 이동되도록 함으로써 상기 이동블록(112, 122)과 연동되어 적재 프레임(113, 123)이 카세트 도어패드(140) 측으로 이동되도록 함으로써 카세트(20, 21)를 카세트 도어패드(140) 측으로 이동시킨다.After the operation of the door pad driving unit 130 is stopped as described above, the first cassette driving unit 110 or the second cassette driving unit 120 is operated to operate the first cassette driving unit 110 or the first cassette. 2 The cassettes 20 and 21 mounted on the cassette driving unit 120 are moved to the cassette door pad 140. That is, the ball screws 111 and 121 are rotated by operating the driving means 114 and 124 of the first cassette driving unit 110 or the second cassette driving unit 120 to rotate the ball screws 111 and 121. Accordingly, the moving blocks 112 and 122 are moved to the cassette door pad 140 to move the stacking frames 113 and 123 to the cassette door pad 140 in association with the moving blocks 112 and 122. 20 and 21 are moved to the cassette door pad 140.

이때, 상기 1단 적재부(102) 또는 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)는 제 1 흡착수단(150)과 밀착된 상태가 된다.In this case, the doors 20a and 21a of the cassettes 20 and 21 stacked on the first stacking unit 102 or the second stacking unit 103 may be in close contact with the first adsorption means 150.

상기와 같은 상태에서 상기 제 1 흡착수단(150)을 작동시켜 상기 제 1 흡착수단(150)에 1단 적재부(102) 또는 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 흡착시킨다.By operating the first adsorption means 150 in the above state of the cassette (20, 21) of the first stage stacking unit 102 or the second stage stacking unit (103) loaded on the first adsorption means (150) The doors 20a and 21a are adsorbed.

상기와 같이 1단 적재부(102) 또는 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 제 1 흡착수단(150)에 흡착시킨 다음에는, 다시 제 1 카세트 구동유닛(110) 또는 제 2 카세트 구동 유닛(120)을 작동시켜 상기 1단 적재부(102) 또는 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)를 카세트 도어패드(140)의 반대 측으로 이동시켜 상기 제 1 흡착수단(150)에 의해 상기 카세트(20, 21)로부터 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 분리시킨다.As described above, after the doors 20a and 21a of the cassettes 20 and 21 stacked on the first stacking unit 102 or the second stacking unit 103 are adsorbed to the first adsorption means 150, the second adsorption unit 150 The cassette door pad 140 may be operated by operating the first cassette driving unit 110 or the second cassette driving unit 120 to load the cassettes 20 and 21 loaded on the first stacking unit 102 or the second stacking unit 103. The door 20a, 21a of the cassettes 20, 21 is separated from the cassettes 20, 21 by the first adsorption means 150 by moving to the opposite side.

상기와 같이 제 1 흡착수단(150)에 의해 상기 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 분리시킨 다음에는 상기 도어패드 구동유닛(130)을 작동시켜 상기 카세트 도어패드(140)를 도어 저장부(101) 측으로 하강시킴으로써 상기 제 1 흡착수단(150)에 흡착된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 도어 저장부(101) 측으로 하강시킨다.After the doors 20a and 21a of the cassettes 20 and 21 are separated by the first adsorption means 150, the door pad driving unit 130 is operated to operate the cassette door pad 140. The doors 20a and 21a of the cassettes 20 and 21 adsorbed to the first adsorption means 150 are lowered to the door storage 101 by lowering to the door storage 101.

상기와 같이 제 1 흡착수단(150)에 흡착된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 도어 저장부(101) 측으로 하강시킨 다음에는, 스톡패드 구동유닛(160)을 작동시켜 스톡 패드(170)를 상기 제 1 흡착수단(150)에 흡착되어 있는 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a) 측으로 이동시킨다. 즉, 상기 스톡패드 구동유닛(160)의 구동수단(161)을 작동시켜 볼 스크루(162)를 회전시키게 되면, 상기 볼 스크루(162)에 나사 체결된 이동 블록(163)이 상기 볼 스크루(162)를 따라 제 1 흡착수단(150)에 흡착되어 있는 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a) 측으로 이동됨으로써 상기 이동 블록(163)에 설치되어 있는 상기 스톡 패드(170)가 상기 제 1 흡착수단(150)에 흡착되어 있는 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a) 측으로 이동된다.As described above, after lowering the doors 20a and 21a of the cassettes 20 and 21 adsorbed to the first adsorption means 150 to the door storage unit 101, the stock pad drive unit 160 is operated to carry the stock. The pad 170 is moved toward the cassettes 20 and 21 doors 20a and 21a which are adsorbed by the first adsorption means 150. That is, when the ball screw 162 is rotated by operating the driving means 161 of the stock pad driving unit 160, the moving block 163 screwed to the ball screw 162 is the ball screw 162. ), The stock pad 170 installed in the moving block 163 is moved to the cassette 20, 21 door 20a, 21a adsorbed by the first adsorption means 150. It is moved to the side of the cassette 20, 21 door 20a, 21a which is adsorbed by the means 150.

이때, 상기 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)의 타측면은 제 1 흡착수단(150)에 흡착된 상태이며, 상기 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)의 일측면은 상기 스톡 패드(170)에 설치된 제 3 흡착수단(180)과 밀착된 상태이다.At this time, the other side surface of the door (20a, 21a) of the cassette (20, 21) is in a state of being adsorbed by the first adsorption means 150, one side surface of the door (20a, 21a) of the cassette (20, 21) Is in close contact with the third adsorption means 180 installed in the stock pad 170.

상기와 같이 제 3 흡착수단(180)이 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)에 밀착되면, 상기 제 1 흡착수단(150)의 작동을 정지시켜 상기 제 1 흡착수단(150)으로부터 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)가 분리되도록 함과 동시에 상기 제 3 흡착수단(180)을 작동시켜 상기 제 1 흡착수단(150)으로부터 분리된 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)가 제 3 흡착수단(180)에 흡착되도록 한다.When the third adsorption means 180 is in close contact with the cassettes 20 and 21, the doors 20a and 21a as described above, the operation of the first adsorption means 150 is stopped to draw the cassette from the first adsorption means 150. (20, 21) The cassettes 20, 21 are separated from the first adsorption means 150 by operating the third adsorption means 180 while allowing the doors 20a, 21a to be separated. ) Is adsorbed on the third adsorption means 180.

상기와 같이 제 3 흡착수단(180)에 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)를 흡착시킨 다음에는, 상기 스토패드 구동유닛(160)을 작동시켜 상기 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)를 흡착한 제 3 흡착수단(180)과 스톡패드(170)를 도어 저장부(101) 측으로 이동시킴으로써 상기 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)를 도어 저장부(101)에서 저장할 수 있도록 한다.After adsorbing the cassettes 20 and 21 doors 20a and 21a to the third adsorption means 180 as described above, the stop pad drive unit 160 is operated to operate the cassettes 20 and 21 door 20a. The cassettes 20 and 21 and the doors 20a and 21a by the door storage unit 101 by moving the third adsorption means 180 and the stock pads 170 which have absorbed the Save it.

그리고, 상기 1단 적재부(102) 또는 2단 적재부(102)에 적재된 카세트(20, 21) 중 도어(20a, 21a)가 분리되지 않은 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)는 상술한 바와 동일한 과정을 반복하여 1단 적재부(102) 또는 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 분리한 후 도어패드 구동유닛(130)에 의해 카세트 도어패드(140)와 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)가 흡착된 제 1 흡착수단(150)을 메인 프레임(100) 하부로 하강시켜 저장하게 된다. 즉, 두 번째 분리되는 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)는 제 3 흡착수단(180)에 흡착되어 도어 저장부(101)에 저장되는 것이 아니라, 제 1 흡착수단(150)에 흡착되어 메인 프레임(10) 하부에 저장된다.The doors 20a and 21a of the cassettes 20 and 21 in which the doors 20a and 21a are not separated from the cassettes 20 and 21 stacked on the first stacking unit 102 or the second stacking unit 102 are provided. ) Repeats the same process as described above to separate the door (20a, 21a) of the cassette (20, 21) loaded in the first stack unit 102 or the second stack unit 103, the door pad drive unit ( The first adsorption means 150 in which the cassette door pad 140 and the doors 20a and 21a of the cassettes 20 and 21 are adsorbed by the 130 is lowered and stored under the main frame 100. That is, the second detached cassette 20, 21 doors 20a, 21a are not adsorbed by the third adsorption means 180 and are not stored in the door storage unit 101, but are adsorbed by the first adsorption means 150. And is stored under the main frame 10.

이때, 로봇 펜스(30) 내에 설치된 로봇(도시되지 않음)에 의해 그 내부에 적재된 반도체 또는 유리기판의 언로딩 작업이 행하여 지지 않는 카세트(20, 21)의 입구는 셔터유닛(190a, 190b)에 의해 폐쇄될 수 있다. 즉, 1단 적재부(102)에 적재된 카세트(20)에서만 언로딩 작업이 행하여 질 경우에는 제 2 셔터 유닛(190b)이 작동되어 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(21)의 입구를 폐쇄하며, 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(21)에만 언로딩 작업이 행하여 질 경우에는 제 1 셔터 유닛(190a)이 작동되어 1단 적재부(102)에 적재된 카세트(20)의 입구를 폐쇄한다.At this time, the openings of the cassettes 20 and 21 which are not loaded by the semiconductor or glass substrate loaded therein by a robot (not shown) installed in the robot fence 30 are shutter units 190a and 190b. Can be closed by. That is, when the unloading operation is performed only on the cassette 20 loaded on the first stacking unit 102, the second shutter unit 190b is operated so that the cassette 21 loaded on the second stacking unit 103 is loaded. When the opening is closed and the unloading operation is performed only on the cassette 21 loaded on the second stacking unit 103, the first shutter unit 190a is operated to load the cassette loaded on the first stacking unit 102 ( 20) close the entrance.

상술한 바와 같이 본 발명의 제 1 실시예에 따른 밀폐형 카세트 적재장치(10)는 메인 프레임(100)에 도어 저장부(101)를 형성하고, 상기 1단 또는 2단 적재부(102, 103)에 적재된 카세트(20, 21)로부터 분리된 카세트 도어(20a, 21a)를 도어패드 구동 유닛(130)을 통해 하강시킨 후 스톡패드 구동유닛(160)과, 제 3 흡착수단(180)을 통해 도어 저장부(101) 측으로 이동시켜 저장함과 동시에, 1단 또는 2단 적재부(102, 103)에 적재된 카세트(20, 21) 중 도어(20a, 21a)가 분리되지 않은 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)는 다시 상기 제 1 흡착수단(150)으로 흡착한 후 상기 도어패드 구동 유닛(130)을 통해 메인 프레임(100) 하부로 이동시켜 저장할 수 있도록 한다.As described above, the hermetic cassette stacking apparatus 10 according to the first embodiment of the present invention forms the door storage portion 101 on the main frame 100, and the one or two stage stacking portions 102 and 103. The cassette doors 20a and 21a separated from the cassettes 20 and 21 loaded therein are lowered through the door pad drive unit 130 and then through the stock pad drive unit 160 and the third adsorption means 180. The cassettes 20 and 21 of which the doors 20a and 21a are not separated among the cassettes 20 and 21 stacked on the first or second stage stacking units 102 and 103 while being moved to the door storage unit 101 and stored. The doors 20a and 21a of the) are absorbed by the first adsorption means 150 and then moved to the lower part of the main frame 100 through the door pad driving unit 130 to be stored.

따라서, 본 발명에 따른 밀폐형 카세트 적재장치(10)는 1단 대응만 가능하던 로봇 펜스(30) 내에 설치되는 로봇의 별도 개발 없이 종래의 로봇을 그대로 사용하고도 2단으로 카세트(20, 21)를 적재하여 카세트(20, 21) 내에 적재된 반도체나 유리기판의 반송작업을 할 수 있도록 한다.Therefore, the sealed cassette stacking device 10 according to the present invention is a cassette 20 and 21 in two stages even without using a conventional robot without additional development of a robot installed in the robot fence 30 that was only capable of supporting one stage. The semiconductor substrate and the glass substrate loaded in the cassettes 20 and 21 may be loaded to stack the wafers.

또한, 2단으로 카세트(20, 21)를 적재한 후 반도체나 유리기판 반송작업을 할 수 있도록 함으로써 공정수율을 대폭 향상시킬 수 있도록 한다.
In addition, since the cassettes 20 and 21 are loaded in two stages, the semiconductor or glass substrate conveying operation can be performed, thereby greatly improving the process yield.

<실시예 2><Example 2>

도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 밀폐형 카세트 적재장치를 설명하기 위한 도면이고, 도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 제 1 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도이며, 도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 제 2 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도이고, 도 10은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 제 1 도어패드 구동유닛과 제 1 카세트 도어패드, 제 1 흡착수단 및 제 1 맵핑 센서를 설명하기 위한 상세도이며, 도 11은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 제 2 도어패드 구동유닛과 제 2 카세트 도어패드, 제 2 흡착수단 및 제 2 맵핑 센서를 설명하기 위한 상세도이다. 설명의 편의를 위하여 실시예 1과 동일 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하였다.7 is a view for explaining a sealed cassette stacking apparatus according to a second embodiment of the present invention, Figure 8 is a detailed view for explaining a first cassette drive unit according to a second embodiment of the present invention, Figure 9 10 is a detailed view illustrating a second cassette driving unit according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a first door pad driving unit and a first cassette door pad and a first cassette according to a second embodiment of the present invention. Detailed description for explaining the adsorption means and the first mapping sensor, Figure 11 is a second door pad drive unit and the second cassette door pad, the second adsorption means and the second mapping sensor according to a second embodiment of the present invention. It is a detailed view for demonstrating. For convenience of description, the same reference numerals are given to the same or similar parts as those of the first embodiment.

도 7 내지 도 11을 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 의한 밀폐형 카세트 적재장치(10)는, 메인 프레임(100), 제 1 카세트 구동유닛(110), 제 2 카세트 구동유닛(120), 제 1 도어패드 구동유닛(130a), 제 2 도어패드 구동유닛(130b), 제 1 카세트 도어패드(140a), 제 2 카세트 도어패드(140b), 제 1 흡착수단(150), 제 2 흡착수단(151)을 포함할 수 있다.7 to 11, the sealed cassette stacking apparatus 10 according to the second embodiment of the present invention includes a main frame 100, a first cassette driving unit 110, and a second cassette driving unit 120. , The first door pad driving unit 130a, the second door pad driving unit 130b, the first cassette door pad 140a, the second cassette door pad 140b, the first adsorption means 150, and the second adsorption Means 151 may be included.

상기 메인 프레임(100)은 하부에서부터 상부 방향으로 제 1 도어 저장부(101a), 1단 적재부(102), 2단 적재부(103), 제 2 도어 저장부(101b)가 순차적으로 형성되어 로봇 펜스(30)의 일측과 밀착되도록 상기 로봇 펜스(30)의 일측에 설치될 수 있다.The main frame 100 has a first door storage unit 101a, a first stage storage unit 102, a second stage storage unit 103, and a second door storage unit 101b sequentially formed from the bottom to the upper direction. It may be installed on one side of the robot fence 30 to be in close contact with one side of the robot fence (30).

상기 제 1 카세트 구동유닛(110)은, 상기 1단 적재부(102)에 설치되어 카세트(20)가 상부에 적재될 수 있다. 예를 들면, 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)은 적어도 하나의 볼 스크루(111), 이동 블록(112), 적재 프레임(113)을 포함할 수 있다. 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)의 적어도 하나의 볼 스크루(111)는 상기 메인 프레임(100)의 1단 적재부(102)에 설치되어 구동수단(114)에 의해 회전된다. 상기 이동 블록(112)은 상기 볼 스크루(111)에 나사 체결되어 상기 볼 스크루(111)가 회전됨에 따라 상기 볼 스크루(111)를 따라 이동된다. 상기 적재 프레임(113)은 상기 이동 블록(112)에 설치되어 상부에 카세트(20)가 적재됨으로써 상기 카세트(20)를 이동시킬 수 있도록 한다. 상기 구동수단(114)으로는 모터를 사용할 수 있다.The first cassette driving unit 110 may be installed in the first stacking unit 102 so that the cassette 20 may be stacked thereon. For example, the first cassette driving unit 110 may include at least one ball screw 111, a moving block 112, and a stacking frame 113. At least one ball screw 111 of the first cassette drive unit 110 is installed in the first stage mounting part 102 of the main frame 100 and rotated by the driving means 114. The moving block 112 is screwed to the ball screw 111 is moved along the ball screw 111 as the ball screw 111 is rotated. The stacking frame 113 is installed in the moving block 112 to allow the cassette 20 to be stacked on the upper portion thereof to move the cassette 20. A motor may be used as the driving means 114.

이와는 다르게, 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)은 도면에는 도시되지 않았지만 상기 메인 프레임(100)의 1단 적재부(102)에 설치되어 구동수단(114), 즉 실린더에 의해 작동되는 적어도 하나의 LM 가이드와, 상기 LM 가이드에 설치되는 적재 프레임(113)으로도 구성될 수 있다.Alternatively, although not shown in the drawing, the first cassette driving unit 110 is installed in the first stage stacking unit 102 of the main frame 100 and is operated by a driving means 114, that is, at least one cylinder. It may also be composed of an LM guide and a loading frame 113 installed on the LM guide.

상기 제 2 카세트 구동유닛(120)은 상기 2단 적재부(103)에 설치되어 그 상부에 카세트(21)가 적재된다. 예를 들면, 상기 제 2 카세트 구동유닛(120)은 적어도 하나의 볼 스크루(121), 이동 블록(122), 적재 프레임(123)을 포함할 수 있다. 상기 제 2 카세트 구동유닛(120)의 적어도 하나의 볼 스크루(121)는 상기 메인 프레임(100)의 2단 적재부(103)에 설치되어 구동수단(124)에 의해 회전된다. 상기 이동 블록(122)은 상기 볼 스크루(121)에 나사 체결되어 상기 볼 스크루(121)가 회전됨에 따라 상기 볼 스크루(121)를 따라 이동된다. 상기 적재 프레임(123)은 상기 이동 블록(122)에 설치되어 상부에 카세트(21)가 적재됨으로써 상기 카세트(21)를 이동시킬 수 있도록 한다. 상기 구동수단(124)으로는 모터를 사용할 수 있다.The second cassette driving unit 120 is installed in the two-stage stacking unit 103, and the cassette 21 is stacked thereon. For example, the second cassette driving unit 120 may include at least one ball screw 121, a moving block 122, and a stacking frame 123. At least one ball screw 121 of the second cassette drive unit 120 is installed in the second stage stacking part 103 of the main frame 100 and rotated by the driving means 124. The moving block 122 is screwed to the ball screw 121 is moved along the ball screw 121 as the ball screw 121 is rotated. The stacking frame 123 is installed in the moving block 122 to allow the cassette 21 to be moved thereon, so that the cassette 21 can be moved. A motor may be used as the driving means 124.

이와는 다르게, 상기 제 2 카세트 구동유닛(120)은 도면에는 도시되지 않았지만 상기 메인 프레임(100)의 2단 적재부(103)에 설치되어 구동수단(124), 즉 실린더에 의해 작동되는 적어도 하나의 LM 가이드와, 상기 LM 가이드에 설치되는 적재 프레임(123)으로도 구성될 수 있다.Alternatively, although not shown in the drawing, the second cassette driving unit 120 is installed in the second stage stacking part 103 of the main frame 100 and is operated by the driving means 124, that is, at least one cylinder. It may also be composed of an LM guide, and a loading frame 123 installed on the LM guide.

상기 제 1 도어패드 구동유닛(130a)은, 상기 1단 적재부(102)와 이웃하도록 메인 프레임(100)에 설치되어 1단 적재부(102)에 적재된 카세트(20)의 도어(20a)를 상기 카세트(20)로부터 제거한 후 상기 메인 프레임(100)의 하부에 형성된 제 1 도어 저장부(101a)로 이동시킬 수 있도록 한다. 예를 들면, 상기 제 1 도어패드 구동유닛(130a)은, 구동수단(131a), 볼 스크루(132a), 이동블록(133a)을 포함할 수 있다. 상기 구동수단(131a)은 상기 메인 프레임(100)의 타측에 설치될 수 있다. 상기 구동수단(131a)으로는 모터를 사용할 수 있다. 상기 볼 스크루(132a)는 상기 구동수단(131a)에 의해 회전될 수 있도록 상기 구동수단(131a)에 연결된다. 상기와 같은 볼 스크루(132a)는 상기 메인 프레임(100)의 상하 방향으로 설치되도록 상기 구동수단(131a)에 연결된다. 상기 이동 블록(133a)은 상기 볼 스크루(132a)에 나사 체결되며 일측에는 상기 제 1 카세트 도어패드(140a)가 설치된다. The first door pad driving unit 130a is installed on the main frame 100 so as to be adjacent to the first stage stacking unit 102, and the door 20a of the cassette 20 mounted on the first stage stacking unit 102. After removing from the cassette 20 to be moved to the first door storage unit (101a) formed in the lower portion of the main frame (100). For example, the first door pad driving unit 130a may include a driving means 131a, a ball screw 132a, and a moving block 133a. The driving means 131a may be installed on the other side of the main frame 100. A motor may be used as the driving means 131a. The ball screw 132a is connected to the driving means 131a to be rotated by the driving means 131a. The ball screw 132a as described above is connected to the driving means 131a to be installed in the vertical direction of the main frame 100. The moving block 133a is screwed to the ball screw 132a and the first cassette door pad 140a is installed at one side thereof.

상기 제 2 도어패드 구동유닛(130b)은, 상기 2단 적재부(103)와 이웃하도록 메인 프레임(100)에 설치되어 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(21)의 도어(21a)를 상기 카세트(21)로부터 제거한 후 상기 로봇 펜스(30)의 상부에 위치하도록 메인 프레임(100)의 상부에 형성된 제 2 도어 저장부(101b)로 이동시킬 수 있도록 한다. 예를 들면, 상기 제 2 도어패드 구동유닛(130b)은, 구동수단(131b), 볼 스크루(132b), 이동 블록(133b)을 포함할 수 있다. 상기 구동수단(131b)은 상기 메인 프레임(100)의 타측에 설치될 수 있다. 상기 구동수단(131b)으로는 모터를 사용할 수 있다. 상기 볼 스크루(132b)는 상기 구동수단(131b)에 의해 회전될 수 있도록 상기 구동수단(131b)에 연결된다. 상기와 같은 볼 스크루(132b)는 상기 메인 프레임(100)의 상하 방향으로 설치되도록 상기 구동수단(131b)에 연결된다. 상기 이동 블록(133b)은 상기 볼 스크루(132b)에 나사 체결되며 일측에는 상기 제 2 카세트 도어패드(140b)가 설치된다. The second door pad driving unit 130b is installed on the main frame 100 so as to be adjacent to the second stacking unit 103 and is loaded on the second stacking unit 103 of the door 21a of the cassette 21. After the removal from the cassette 21 to the second door storage unit 101b formed on the upper portion of the main frame 100 to be located above the robot fence (30). For example, the second door pad driving unit 130b may include a driving means 131b, a ball screw 132b, and a moving block 133b. The driving means 131b may be installed on the other side of the main frame 100. A motor may be used as the driving means 131b. The ball screw 132b is connected to the driving means 131b to be rotated by the driving means 131b. The ball screw 132b as described above is connected to the driving means 131b to be installed in the vertical direction of the main frame 100. The moving block 133b is screwed to the ball screw 132b and the second cassette door pad 140b is installed at one side thereof.

상기 제 1 카세트 도어패드(140a)는 상기 제 1 도어패드 구동유닛(130a)에 설치될 수 있다. 즉, 상기 제 1 카세트 도어패드(140a)는 상기 제 1 도어패드 구동유닛(130a)의 이동 블록(133a)의 일측에 설치될 수 있다.The first cassette door pad 140a may be installed in the first door pad driving unit 130a. That is, the first cassette door pad 140a may be installed at one side of the moving block 133a of the first door pad driving unit 130a.

상기 제 2 카세트 도어패드(140b)는 상기 제 2 도어패드 구동유닛(130b)에 설치될 수 있다. 즉, 상기 제 2 카세트 도어패드(140b)는 상기 제 2 도어패드 구동유닛(130b)의 이동 블록(133b)의 일측에 설치될 수 있다.The second cassette door pad 140b may be installed in the second door pad driving unit 130b. That is, the second cassette door pad 140b may be installed at one side of the moving block 133b of the second door pad driving unit 130b.

상기 제 1 흡착수단(150)은 상기 제 1 카세트 도어패드(140a)에 설치되어 제 1 카세트 구동유닛(110)에 적재된 카세트(20)의 도어(20a)를 흡착할 수 있다.The first adsorption means 150 may be installed on the first cassette door pad 140a to adsorb the door 20a of the cassette 20 loaded on the first cassette drive unit 110.

상기 제 2 흡착수단(151)은 상기 제 2 카세트 도어패드(140b)에 설치되어 제 2 카세트 구동유닛(120)에 적재된 카세트(21)의 도어(21a)를 흡착할 수 있다.The second adsorption means 151 may be installed on the second cassette door pad 140b to adsorb the door 21a of the cassette 21 loaded on the second cassette drive unit 120.

또한, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 밀폐형 카세트 적재장치(10)는 상기 제 1 카세트 도어패드(140a)에 설치된 제 1 맵핑 센서(141a)와, 상기 제 2 카세트 도어패드(140b)에 설치된 제 2 맵핑 센서(141b)를 더 포함할 수 있다.
In addition, the sealed cassette stacking device 10 according to the second embodiment of the present invention is provided with a first mapping sensor 141a installed on the first cassette door pad 140a and a second cassette door pad 140b. It may further include a second mapping sensor 141b.

다시, 도 7 내지 도 11을 참조하여, 본 발명의 제 2 실시예에 의한 밀폐형 카세트 적재장치의 작동과정과 작용 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.Referring back to Figures 7 to 11, the operation process and operation effects of the sealed cassette stacking apparatus according to the second embodiment of the present invention will be described.

도 7 내지 도 11을 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 의한 밀폐형 카세트 적재장치(10)를 사용하여 카세트(20, 21) 내부에 적재된 반도체 또는 유리기판을 상기 카세트(20, 21)로부터 로봇 펜스(30)로 이송시키기 위해서는, 먼저 상기 메인 프레임(100)의 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 각각 카세트(20, 21)를 적재시킨다.7 to 11, a semiconductor or glass substrate loaded inside cassettes 20 and 21 using the sealed cassette stacking apparatus 10 according to the second embodiment of the present invention may be used as the cassettes 20 and 21. In order to transfer from the robot fence 30 to the robot fence 30, first, the cassettes 20 and 21 are stacked in the first stage stacking unit 102 and the second stage stacking unit 103 of the main frame 100, respectively.

상기와 같이 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 카세트(20, 21)를 적재시킨 다음에는 제 1 도어패드 구동유닛(130a)과 제 2 도어패드 구동유닛(130b)을 작동시켜 상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛(130a, 130b)에 설치된 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)를 각각 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)와 마주할 수 있도록 이동시킨다. 즉, 상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛(130a, 130b)의 구동수단(131a, 131b)을 작동시켜 볼 스크루(132a, 132b)를 회전시키게 되면, 상기 볼 스크루(132a, 132b)를 따라 이동 블록(133a, 133b)이 상승 또는 하강되도록 하여 상기 이동 블록(133a, 133b)에 설치된 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)가 각각 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)와 마주할 수 있도록 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)를 이동시킨다. 즉, 제 1 카세트 도어패드(140a)는 1단 적재부(102)에 적재된 카세트(20)의 도어(20a)와 마주할 수 있도록 하강하게 되며, 제 2 카세트 도어패드(140b)는 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(21)의 도어(21a)와 마주할 수 있도록 상승된다.As described above, after the cassettes 20 and 21 are stacked in the first stacking unit 102 and the second stacking unit 103, the first door pad driving unit 130a and the second door pad driving unit 130b are mounted. The first and second cassette door pads 140a and 140b installed in the first and second door pad driving units 130a and 130b are loaded in the first stage stacking unit 102 and the second stage stacking unit 103, respectively. The cassettes 20 and 21 are moved to face each other. That is, when the ball screws 132a and 132b are rotated by operating the driving means 131a and 131b of the first and second door pad driving units 130a and 130b, they move along the ball screws 132a and 132b. The first and second cassette door pads 140a and 140b installed on the movable blocks 133a and 133b are respectively mounted to the blocks 133a and 133b so that the blocks 133a and 133b are raised or lowered, respectively. The first and second cassette door pads 140a and 140b are moved to face the doors 20a and 21a of the cassettes 20 and 21 loaded on the back panel. That is, the first cassette door pad 140a is lowered to face the door 20a of the cassette 20 loaded on the first stacking unit 102, and the second cassette door pad 140b is two steps. It is raised so as to face the door 21a of the cassette 21 loaded on the stacking portion 103.

이때, 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)에 설치된 제 1, 2 맵핑 센서(141a, 141b)는 각각 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)의 높이를 감지하여 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)의 상단부가 각각 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)의 상단부와 일직선상에 위치하는지를 감지할 수 있도록 함으로써 각각 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)와 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)의 맵핑 여부를 확인할 수 있다.In this case, the first and second mapping sensors 141a and 141b installed in the first and second cassette door pads 140a and 140b sense the heights of the first and second cassette door pads 140a and 140b, respectively. Upper ends of the first and second cassette door pads 140a and 140b line up with upper ends of the cassettes 20 and 21 and the upper doors 20a and 21a of the cassettes 20 and 21, respectively. The cassette 20, 21 loaded on the first and second cassette door pads 140a and 140b, the first stacking unit 102 and the second stacking unit 103, respectively. 21a) can be checked.

상기와 같이 제 1, 2 맵핑 센서(141a, 141b)에 의해 각각 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)와 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)가 맵핑되었다고 감지되면 상기 제 1 , 2 도어패드 구동유닛(130a, 130b)의 작동이 정지된다.As described above, the cassettes stacked on the first and second cassette door pads 140a and 140b, the first stacking unit 102 and the second stacking unit 103 by the first and second mapping sensors 141a and 141b, respectively. When it is detected that the doors 20a and 21a of the 20 and 21 are mapped, the operation of the first and second door pad driving units 130a and 130b is stopped.

상기와 같이 제 1, 2 도어패드 구동유닛(130a, 130b)의 작동이 정지된 다음에는 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)과 제 2 카세트 구동유닛(120)이 작동되어 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)과 제 2 카세트 구동유닛(120)에 적재된 카세트(20, 21)를 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b) 측으로 이동시킨다. 즉, 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)과 제 2 카세트 구동유닛(120)의 구동수단(114, 124)을 작동시켜 볼 스크루(111, 121)를 회전시켜 상기 볼 스크루(111, 121)를 따라 이동블록(112, 122)이 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b) 측으로 이동되도록 함으로써 상기 이동블록(112, 122)과 연동되어 적재 프레임(113, 123)이 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b) 측으로 이동되도록 함으로써 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)를 각각 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b) 측으로 이동시킨다.After the operation of the first and second door pad driving units 130a and 130b is stopped as described above, the first cassette driving unit 110 and the second cassette driving unit 120 are operated to operate the first cassette driving unit. The cassettes 20 and 21 mounted on the 110 and the second cassette driving unit 120 are moved to the first and second cassette door pads 140a and 140b. That is, the ball screws 111 and 121 are rotated by operating the driving means 114 and 124 of the first cassette driving unit 110 and the second cassette driving unit 120 to rotate the ball screws 111 and 121. Accordingly, the movable blocks 112 and 122 are moved to the first and second cassette door pads 140a and 140b to interlock with the movable blocks 112 and 122 so that the stacking frames 113 and 123 are connected to the first and second cassette doors. By moving to the pads 140a and 140b, the cassettes 20 and 21 mounted on the first stack unit 102 and the second stack unit 103 are moved to the first and second cassette door pads 140a and 140b, respectively. Let's do it.

이때, 상기 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)는 각각 제 1 흡착수단(150)과 제 2 흡착수단(151)에 밀착된 상태가 된다.In this case, the doors 20a and 21a of the cassettes 20 and 21 stacked on the first stacking unit 102 and the second stacking unit 103 are respectively the first adsorption means 150 and the second adsorption means 151. ) Is in close contact.

상기와 같은 상태에서 상기 제 1, 2 흡착수단(150, 151)을 작동시켜 상기 제 1, 2 흡착수단(150, 151)에 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 흡착시킨다.In the above state, the first and second adsorption means 150 and 151 are operated to load the first and second adsorption means 150 and 151 into the first stage loading part 102 and the second stage loading part 103. The doors 20a and 21a of the cassettes 20 and 21 are adsorbed.

상기와 같이 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 각각 제 1, 2 흡착수단(150, 151)에 흡착시킨 다음에는, 다시 제 1 카세트 구동유닛(110)과 제 2 카세트 구동 유닛(120)을 작동시켜 상기 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)를 각각 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)의 반대 측으로 이동시켜 상기 제 1, 2 흡착수단(150, 151)에 의해 상기 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)로부터 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 분리시킨다.As described above, the doors 20a and 21a of the cassettes 20 and 21 loaded on the first stacking unit 102 and the second stacking unit 103 are adsorbed to the first and second adsorption means 150 and 151, respectively. Next, the first cassette driving unit 110 and the second cassette driving unit 120 are operated again, and the cassettes 20 and 21 stacked on the first stacking unit 102 and the second stacking unit 103 are removed. Move to the opposite side of the first and second cassette door pads 140a and 140b, respectively, and load the first and second cassette door pads 140 and 151 into the first and second storage units 102 and 103 by the first and second adsorption means 150 and 151, respectively. The doors 20a and 21a of the cassettes 20 and 21 are separated from the cassettes 20 and 21.

상기와 같이 제 1, 2 흡착수단(150, 151)에 의해 상기 각각 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 분리시킨 다음에는, 상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛(130a, 130b)을 작동시켜 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)를 각각 제 1 도어 저장부(101a)와 제 2 도어 저장부(101b) 측으로 하강시켜 제 1, 2 흡착수단(150, 151)에 흡착된 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)로부터 분리된 도어(20a, 21a)를 저장할 수 있도록 한다.As described above, the doors 20a and 21a of the cassettes 20 and 21 stacked on the first stage stacking unit 102 and the second stage stacking unit 103 by the first and second adsorption means 150 and 151, respectively. After the separation, the first and second door pad driving units 130a and 130b are operated to store the first and second cassette door pads 140a and 140b, respectively, in the first door storage 101a and the second door storage. The door separated from the cassettes 20 and 21 loaded on the first stage stacking unit 102 and the second stage stacking unit 103 by lowering to the side 101b and adsorbed on the first and second adsorption means 150 and 151 ( 20a, 21a) can be stored.

상기에서는 1단 적재부(102)에 적재된 카세트(20)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(21)로부터 도어(20a, 21a)를 동시에 분리하는 과정에 대해서만 설명하였으나, 본 발명의 제 2 실시예에 의한 밀폐형 카세트 적재장치(10)는 1단 적재부(102)에 적재된 카세트(20)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(21)로부터 도어(20a, 21a)를 분리하는 과정을 각각 별도로 실행할 수도 있다.In the above, only the process of simultaneously separating the doors 20a and 21a from the cassette 20 stacked on the first stacking unit 102 and the cassette 21 stacked on the second stacking unit 103 has been described. The sealed cassette stacking apparatus 10 according to the second embodiment of the door 20a, 21a is provided from the cassette 20 stacked on the first stacking unit 102 and the cassette 21 stacked on the second stacking unit 103. You can do this separately.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 밀폐형 카세트 적재장치(10)는 메인 프레임(100)의 상, 하부에 제 1, 2 도어 저장부(101a, 101b)를 형성한 후 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)로부터 분리된 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)를 분시켜 상기 제 1, 2 도어 저장부(101a, 101b)로 상승 또는 하강시켜 저장할 수 있도록 한다.As described above, the sealed cassette stacking device 10 according to the present invention has the first and second door storage portions 101a and 101b formed on and under the main frame 100, and then the first stage stacking portion 102 and Split the cassettes 20 and 21 doors 20a and 21a from the cassettes 20 and 21 loaded on the two-stage stacking unit 103 and ascend to the first and second door storage units 101a and 101b. Allow it to be lowered and stored.

따라서, 본 발명에 따른 밀폐형 카세트 적재장치(10)는 1단 대응만 가능하던 로봇 펜스 내에 설치되는 로봇의 별도 개발 없이 종래의 로봇을 그대로 사용하고도 2단으로 카세트(20, 21)를 적재하여 카세트(20, 21) 내에 적재된 반도체나 유리기판의 반송작업을 할 수 있도록 한다.Therefore, the sealed cassette stacking device 10 according to the present invention loads the cassettes 20 and 21 in two stages without using a conventional robot as it is without developing a robot installed in the robot fence that was capable of only one stage. The semiconductor and glass substrates loaded in the cassettes 20 and 21 can be transported.

또한, 2단으로 카세트를 적재한 후 반도체나 유리기판 반송작업을 할 수 있도록 함으로써 공정수율을 대폭 향상시킬 수 있도록 한다.
In addition, it is possible to significantly improve the process yield by allowing the transfer of the semiconductor or glass substrate after loading the cassette in two stages.

<실시예 3><Example 3>

도 12는 본 발명의 제 3 실시예에 의한 밀폐형 카세트 적재장치를 설명하기 위한 정단면도이며, 도 13은 본 발명의 제 3 실시예에 의한 제 1 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도이고, 도 14는 본 발명의 제 3 실시예에 의한 제 3 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도이며, 도 15는 도 13의 평면도이고, 도 16은 본 발명의 제 3 실시예에 의한 제 1 도어패드 구동유닛과, 제 1 카세트 도어패드 및 제 1 흡착수단을 설명하기 위한 상세도이며, 도 17은 본 발명의 제 3 실시예에 의한 제 2 도어패드 구동유닛과, 제 2 카세트 도어패드 및 제 2 흡착수단을 설명하기 위한 상세도이다. 설명의 편의를 위하여 제 2 실시예와 동일 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하였다.12 is a front sectional view for explaining a hermetic cassette loading apparatus according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 13 is a detailed view for explaining a first cassette driving unit according to a third embodiment of the present invention. 14 is a detailed view for explaining a third cassette drive unit according to a third embodiment of the present invention, FIG. 15 is a plan view of FIG. 13, and FIG. 16 is a first door pad drive according to a third embodiment of the present invention. A detailed view for explaining the unit, the first cassette door pad and the first adsorption means, and FIG. 17 shows a second door pad drive unit, a second cassette door pad and a second adsorption according to a third embodiment of the present invention. It is a detailed view for demonstrating a means. For convenience of description, the same reference numerals are given to the same or similar parts as those in the second embodiment.

도 12 내지 도 17을 참조하면, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 밀폐형 카세트 적재장치(10)는, 메인 프레임(100), 제 1 카세트 구동유닛(110), 제 2 카세트 구동유닛(120), 제 1 도어패드 구동유닛(130a), 제 2 도어패드 구동유닛(130b), 제 1 카세트 도어패드(140a), 제 2 카세트 도어패드(140b), 제 1 흡착수단(150), 제 2 흡착수단(151)을 포함할 수 있다.12 to 17, the sealed cassette stacking apparatus 10 according to the third embodiment of the present invention includes a main frame 100, a first cassette driving unit 110, and a second cassette driving unit 120. , The first door pad driving unit 130a, the second door pad driving unit 130b, the first cassette door pad 140a, the second cassette door pad 140b, the first adsorption means 150, and the second adsorption Means 151 may be included.

상기 메인 프레임(100)은, 하부에서 상부 방향으로 1단 적재부(102), 2단 적재부(103)가 순착적으로 형성될 수 있다. 그리고, 상기 1, 2 단 적재부(102, 103)의 전방 또는 후방에는 각각 제 1, 2 도어 저장부(101a, 101b)가 형성될 수 있다. 즉, 제 1 단 적재부(102)의 전방 또는 후방에는 제 1 도어 저장부(101a)가 형성될 수 있으며, 2단 적재부(103)의 전방 또는 후방에는 제 2 도어 저장부(101b)가 형성될 수 있다. 상기와 같이 구성되는 메인 프레임(100)은 로봇 펜스(30)의 일측과 밀착되도록 상기 로봇 펜스(30)의 일측에 설치될 수 있다.In the main frame 100, a first stage stacking unit 102 and a second stage stacking unit 103 may be sequentially formed in a bottom to top direction. The first and second door storage units 101a and 101b may be formed at the front or the rear of the first and second stage loading units 102 and 103, respectively. That is, the first door storage unit 101a may be formed at the front or the rear of the first storage unit 102, and the second door storage unit 101b may be formed at the front or rear of the second storage unit 103. Can be formed. The main frame 100 configured as described above may be installed on one side of the robot fence 30 to be in close contact with one side of the robot fence 30.

상기 제 1 카세트 구동유닛(110)은, 상기 1단 적재부(102)에 설치되어 그 상부에 카세트(20)가 적재될 수 있다. 예를 들면, 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)은 적어도 하나의 볼 스크루(111), 이동 블록(112), 적재 프레임(113)을 포함할 수 있다. 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)의 적어도 하나의 볼 스크루(111)는 상기 메인 프레임(100)의 1단 적재부(102)에 설치되어 구동수단(114)에 의해 회전된다. 상기 이동 블록(112)은 상기 볼 스크루(111)에 나사 체결되어 상기 볼 스크루(111)가 회전됨에 따라 상기 볼 스크루(111)를 따라 이동된다. 상기 적재 프레임(113)은 상기 이동 블록(112)에 설치되어 상부에 카세트(20)가 적재됨으로써 상기 카세트(20, 21)를 이동시킬 수 있도록 한다. 상기 구동수단(114)으로는 모터를 사용할 수 있다.The first cassette driving unit 110 may be installed in the first stacking unit 102 so that the cassette 20 may be stacked thereon. For example, the first cassette driving unit 110 may include at least one ball screw 111, a moving block 112, and a stacking frame 113. At least one ball screw 111 of the first cassette drive unit 110 is installed in the first stage mounting part 102 of the main frame 100 and rotated by the driving means 114. The moving block 112 is screwed to the ball screw 111 is moved along the ball screw 111 as the ball screw 111 is rotated. The stacking frame 113 is installed in the moving block 112 so that the cassettes 20 are stacked on the upper portion thereof to move the cassettes 20 and 21. A motor may be used as the driving means 114.

이와는 다르게, 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)은 도면에는 도시되지 않았지만 상기 메인 프레임(100)의 1단 적재부(102)에 설치되어 구동수단(114), 즉 실린더에 의해 작동되는 적어도 하나의 LM 가이드와, 상기 LM 가이드에 설치되는 적재 프레임(113)으로도 구성될 수 있다.Alternatively, although not shown in the drawing, the first cassette driving unit 110 is installed in the first stage stacking unit 102 of the main frame 100 and is operated by a driving means 114, that is, at least one cylinder. It may also be composed of an LM guide and a loading frame 113 installed on the LM guide.

상기 제 2 카세트 구동유닛(120)은 상기 2단 적재부(103)에 설치되어 그 상부에 카세트(21)가 적재된다. 예를 들면, 상기 제 2 카세트 구동유닛(120)은 적어도 하나의 볼 스크루(121), 이동 블록(122), 적재 프레임(123)을 포함할 수 있다. 상기 제 2 카세트 구동유닛(120)의 적어도 하나의 볼 스크루(121)는 상기 메인 프레임(100)의 2단 적재부(103)에 설치되어 구동수단(124)에 의해 회전된다. 상기 이동 블록(122)은 상기 볼 스크루(121)에 나사 체결되어 상기 볼 스크루(121)가 회전됨에 따라 상기 볼 스크루(121)를 따라 이동된다. 상기 적재 프레임(123)은 상기 이동 블록(122)에 설치되어 상부에 카세트(21)가 적재됨으로써 상기 카세트(21)를 이동시킬 수 있도록 한다. 상기 구동수단(124)으로는 모터를 사용할 수 있다.The second cassette driving unit 120 is installed in the two-stage stacking unit 103, and the cassette 21 is stacked thereon. For example, the second cassette driving unit 120 may include at least one ball screw 121, a moving block 122, and a stacking frame 123. At least one ball screw 121 of the second cassette drive unit 120 is installed in the second stage stacking part 103 of the main frame 100 and rotated by the driving means 124. The moving block 122 is screwed to the ball screw 121 is moved along the ball screw 121 as the ball screw 121 is rotated. The stacking frame 123 is installed in the moving block 122 to allow the cassette 21 to be moved thereon, so that the cassette 21 can be moved. A motor may be used as the driving means 124.

이와는 다르게, 상기 제 2 카세트 구동유닛(120)은 도면에는 도시되지 않았지만 상기 메인 프레임(100)의 2단 적재부(103)에 설치되어 구동수단(124), 즉 실린더에 의해 작동되는 적어도 하나의 LM 가이드와, 상기 LM 가이드에 설치되는 적재 프레임(124)으로도 구성될 수 있다.Alternatively, although not shown in the drawing, the second cassette driving unit 120 is installed in the second stage stacking part 103 of the main frame 100 and is operated by the driving means 124, that is, at least one cylinder. It may also be composed of an LM guide and a loading frame 124 installed on the LM guide.

상기 제 1 도어패드 구동유닛(130a)은 1단 적재부(102)와 이웃하도록 메인 프레임(100)에 설치되어 1단 적재부(102)에 적재된 카세트(20)의 도어(21a)를 제거한 후 상기 메인 프레임(100)의 전방부 또는 후방부에 형성된 제 1 도어 저장부(101a)로 상기 카세트(20) 도어(20a)를 이동시킬 수 있도록 한다. 예를 들면, 상기 제 1 도어패드 구동유닛(130a)은 구동수단(131a), 볼 스크루(132a), 이동블록(133a)을 포함할 수 있다. 상기 구동수단(131a)은 상기 메인 프레임(100)에 설치될 수 있다. 여기서, 상기 구동수단(131a)으로는 모터가 사용될 수 있다. 상기 볼 스크루(132a)는 상기 구동수단(131a)과 연결되어 상기 구동수단(131a)이 작동됨에 따라 회전될 수 있다. 여기서, 상기 볼 스크루(132a)는 상기 이동 블록(133a)을 메인 프레임(100)의 전방부 또는 후방부에 형성된 제 1 도어 저장부(101a)로 이동시킬 수 있도록 한다. 상기 이동 블록(133a)은 상기 볼 스크루(132a)에 나사 체결되며 일측에는 상기 제 1 카세트 도어패드(140a)가 설치될 수 있다.The first door pad driving unit 130a is installed in the main frame 100 so as to be adjacent to the first stacking unit 102 to remove the door 21a of the cassette 20 loaded on the first stacking unit 102. Afterwards, the cassette 20 and the door 20a may be moved to the first door storage unit 101a formed at the front part or the rear part of the main frame 100. For example, the first door pad driving unit 130a may include a driving means 131a, a ball screw 132a, and a moving block 133a. The driving means 131a may be installed in the main frame 100. Here, a motor may be used as the driving means 131a. The ball screw 132a may be connected to the driving means 131a to be rotated as the driving means 131a is operated. The ball screw 132a may move the moving block 133a to the first door storage 101a formed at the front or rear of the main frame 100. The moving block 133a may be screwed to the ball screw 132a and one side of the first cassette door pad 140a may be installed.

상기 제 2 도어패드 구동유닛(130b)은 2단 적재부(103)와 이웃하도록 메인 프레임(100)에 설치되어 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(21)의 도어(21a)를 제거한 후 상기 메인 프레임(100)의 전방부 또는 후방부에 형성된 제 2 도어 저장부(101b)로 상기 카세트(21) 도어(21a)를 이동시킬 수 있도록 한다. 예를 들면, 상기 제 2 도어패드 구동유닛(130b)은 구동수단(131b), 볼 스크루(132b), 이동블록(133b)을 포함할 수 있다. 상기 구동수단(131b)은 상기 메인 프레임(100)에 설치될 수 있다. 여기서, 상기 구동수단(131b)으로는 모터가 사용될 수 있다. 상기 볼 스크루(132b)는 상기 구동수단(131b)과 연결되어 상기 구동수단(131b)이 작동됨에 따라 회전될 수 있다. 여기서, 상기 볼 스크루(132b)는 상기 이동 블록(133b)을 메인 프레임(100)의 전방부 또는 후방부에 형성된 제 2 도어 저장부(101b)로 이동시킬 수 있도록 한다. 상기 이동 블록(133b)은 상기 볼 스크루(132b)에 나사 체결되며 일측에는 상기 제 2 카세트 도어패드(140b)가 설치될 수 있다.The second door pad driving unit 130b is installed in the main frame 100 so as to be adjacent to the second stacking unit 103 to remove the door 21a of the cassette 21 loaded on the second stacking unit 103. Thereafter, the cassette 21 door 21a may be moved to the second door storage unit 101b formed at the front part or the rear part of the main frame 100. For example, the second door pad driving unit 130b may include a driving means 131b, a ball screw 132b, and a moving block 133b. The driving means 131b may be installed in the main frame 100. Here, a motor may be used as the driving means 131b. The ball screw 132b is connected to the driving means 131b and may be rotated as the driving means 131b is operated. Here, the ball screw 132b allows the moving block 133b to move to the second door storage portion 101b formed at the front or rear portion of the main frame 100. The moving block 133b may be screwed to the ball screw 132b and one side of the second cassette door pad 140b may be installed.

상기 제 1 카세트 도어패드(140a)는 상기 제 1 도어패드 구동유닛(130a)에 설치될 수 있다. 즉, 상기 제 1 카세트 도어패드(140a)는 상기 제 1 도어패드 구동유닛(130a)의 이동 블록(133a)에 설치될 수 있다.The first cassette door pad 140a may be installed in the first door pad driving unit 130a. That is, the first cassette door pad 140a may be installed in the moving block 133a of the first door pad driving unit 130a.

상기 제 2 카세트 도어패드(140b)는 상기 제 2 도어패드 구동유닛(130b)에 설치될 수 있다. 즉, 상기 제 2 카세트 도어패드(140b)는 상기 제 2 도어패드 구동유닛(130b)의 이동 블록(133b)의 일측에 설치될 수 있다.The second cassette door pad 140b may be installed in the second door pad driving unit 130b. That is, the second cassette door pad 140b may be installed at one side of the moving block 133b of the second door pad driving unit 130b.

또한, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 밀폐형 카세트 적재장치(10)는, 상기 제 1 카세트 도어패드(140a)에 설치된 제 1 맵핑 센서(141a)와, 상기 제 2 카세트 도어패드(140b)에 설치된 제 2 맵핑 센서(141b)를 더 포함할 수 있다.
In addition, the sealed cassette stacking apparatus 10 according to the third embodiment of the present invention may include a first mapping sensor 141a installed in the first cassette door pad 140a and a second cassette door pad 140b. It may further include a second mapping sensor 141b installed.

다시, 도 11 내지 도 17을 참조하여, 본 발명의 제 3 실시예에 의한 밀폐형 카세트 적재장치의 작동과정과 작용 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.Again, referring to Figures 11 to 17, the operation process and operation effects of the sealed cassette stacking apparatus according to the third embodiment of the present invention will be described.

도 11 내지 도 17을 참조하면, 본 발명의 제 3 실시예에 의한 밀폐형 카세트 적재장치(10)를 사용하여 카세트(20, 21) 내부에 적재된 반도체 또는 유리기판을 상기 카세트(20, 21)로부터 로봇 펜스(30)로 이송시키기 위해서는, 먼저 상기 메인 프레임(100)의 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 각각 카세트(20, 21)를 적재시킨다.11 to 17, the cassettes 20 and 21 are loaded with semiconductors or glass substrates loaded inside the cassettes 20 and 21 using the sealed cassette stacking apparatus 10 according to the third embodiment of the present invention. In order to transfer from the robot fence 30 to the robot fence 30, first, the cassettes 20 and 21 are stacked in the first stage stacking unit 102 and the second stage stacking unit 103 of the main frame 100, respectively.

상기와 같이 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 카세트(20, 21)를 적재시킨 다음에는 제 1 도어패드 구동유닛(130a)과 제 2 도어패드 구동유닛(130b)을 작동시켜 상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛(130a, 130b)에 설치된 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)를 각각 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)와 마주할 수 있도록 이동시킨다. 즉, 상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛(130a, 130b)의 구동수단(131a, 131b)을 작동시켜 볼 스크루(132a, 132b)를 회전시키게 되면, 상기 볼 스크루(131a, 131b)를 따라 이동 블록(133a, 133b)이 전진 또는 후진되도록 하여 상기 이동 블록(133a, 133b)에 설치된 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)가 각각 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)와 마주할 수 있도록 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 1401b)를 이동시킨다. 즉, 제 1 카세트 도어패드(140a)는 1단 적재부(102)에 적재된 카세트(20)의 도어(20a)와 마주할 수 있도록 전진 또는 후진(제 1 도어 저장부(101a)가 1단 적재부(102)의 후방에 설치되면 전진하게 되고 전방에 설치되면 후진하게 됨)하게 되며, 제 2 카세트 도어패드(140b)는 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(21)의 도어(21a)와 마주할 수 있도록 전진 또는 후진(제 2 도어 저장부(101b)가 2단 적재부(103)의 후방에 설치되면 전진하게 되고 전방에 설치되면 후진하게 됨)된다.As described above, after the cassettes 20 and 21 are stacked in the first stacking unit 102 and the second stacking unit 103, the first door pad driving unit 130a and the second door pad driving unit 130b are mounted. The first and second cassette door pads 140a and 140b installed in the first and second door pad driving units 130a and 130b are loaded in the first stage stacking unit 102 and the second stage stacking unit 103, respectively. The cassettes 20 and 21 are moved to face each other. That is, when the ball screws 132a and 132b are rotated by operating the driving means 131a and 131b of the first and second door pad driving units 130a and 130b, they move along the ball screws 131a and 131b. The first and second cassette door pads 140a and 140b installed in the moving blocks 133a and 133b are provided with the first and second stacking units 102 and 103, respectively, so that the blocks 133a and 133b are moved forward or backward. The first and second cassette door pads 140a and 1401b are moved to face the doors 20a and 21a of the cassettes 20 and 21 loaded on the sheet. That is, the first cassette door pad 140a has the first or the first door storage unit 101a having the first or the second door storage unit 101a so as to face the door 20a of the cassette 20 loaded on the first stage stacking unit 102. When installed at the rear of the stacking unit 102, the front is moved forward, and when installed in the front is moved backward), the second cassette door pad 140b is the door of the cassette 21 loaded on the second stack unit 103 ( 21a) to move forward or backward (when the second door storage portion 101b is installed in the rear of the two-stage stacking portion 103 is moved forward, if installed in the front is moved backward).

이때, 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)에 설치된 제 1, 2 맵핑 센서(141a, 141b)는 각각 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)의 좌우 위치를 감지하여 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)와 각각 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)와의 맵핑 여부를 확인할 수 있다.In this case, the first and second mapping sensors 141a and 141b installed in the first and second cassette door pads 140a and 140b sense the left and right positions of the first and second cassette door pads 140a and 140b, respectively. It is possible to check whether the first and second cassette door pads 140a and 140b are mapped to the cassettes 20 and 21 and the doors 20a and 21a loaded in the first stack unit 102 and the second stack unit 103, respectively. have.

상기와 같이 제 1, 2 맵핑 센서(141a, 141b)에 의해 각각 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)와 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)가 맵핑되었다고 감지되면 상기 제 1 , 2 도어패드 구동유닛(130a, 130b)의 작동이 정지된다.As described above, the cassettes stacked on the first and second cassette door pads 140a and 140b, the first stacking unit 102 and the second stacking unit 103 by the first and second mapping sensors 141a and 141b, respectively. When it is detected that the doors 20a and 21a of the 20 and 21 are mapped, the operation of the first and second door pad driving units 130a and 130b is stopped.

상기와 같이 제 1, 2 도어패드 구동유닛(130a, 130b)의 작동이 정지된 다음에는 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)과 제 2 카세트 구동유닛(120)이 작동되어 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)과 제 2 카세트 구동유닛(120)에 적재된 카세트(20, 21)를 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b) 측으로 이동시킨다. 즉, 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)과 제 2 카세트 구동유닛(120)의 구동수단(114, 124)을 작동시킴으로써 볼 스크루(111, 121)를 회전시켜 상기 볼 스크루(111, 121)를 따라 이동블록(112, 122)이 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b) 측으로 이동되도록 함으로써 상기 이동블록(112, 122)과 연동되어 적재 프레임(113, 123)이 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b) 측으로 이동되도록 함으로써 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)를 각각 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b) 측으로 이동시킨다.After the operation of the first and second door pad driving units 130a and 130b is stopped as described above, the first cassette driving unit 110 and the second cassette driving unit 120 are operated to operate the first cassette driving unit. The cassettes 20 and 21 mounted on the 110 and the second cassette driving unit 120 are moved to the first and second cassette door pads 140a and 140b. That is, the ball screws 111 and 121 are rotated by operating the driving means 114 and 124 of the first cassette driving unit 110 and the second cassette driving unit 120 to rotate the ball screws 111 and 121. Accordingly, the movable blocks 112 and 122 are moved to the first and second cassette door pads 140a and 140b to interlock with the movable blocks 112 and 122 so that the stacking frames 113 and 123 are connected to the first and second cassette doors. By moving to the pads 140a and 140b, the cassettes 20 and 21 mounted on the first stack unit 102 and the second stack unit 103 are moved to the first and second cassette door pads 140a and 140b, respectively. Let's do it.

이때, 상기 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)는 각각 제 1 흡착수단(150)과 제 2 흡착수단(151)에 밀착된 상태가 된다.In this case, the doors 20a and 21a of the cassettes 20 and 21 stacked on the first stacking unit 102 and the second stacking unit 103 are respectively the first adsorption means 150 and the second adsorption means 151. ) Is in close contact.

상기와 같은 상태에서 상기 제 1, 2 흡착수단(150, 151)을 작동시켜 상기 제 1, 2 흡착수단(150, 151)에 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 흡착시킨다.In the above state, the first and second adsorption means 150 and 151 are operated to load the first and second adsorption means 150 and 151 into the first stage loading part 102 and the second stage loading part 103. The doors 20a and 21a of the cassettes 20 and 21 are adsorbed.

상기와 같이 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 각각 제 1, 2 흡착수단(150, 151)에 흡착시킨 다음에는, 다시 제 1 카세트 구동유닛(110)과 제 2 카세트 구동 유닛(120)을 작동시켜 상기 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)를 각각 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)의 반대 측으로 이동시켜 상기 제 1, 2 흡착수단(150, 151)에 의해 상기 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)로부터 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 분리시킨다.As described above, the doors 20a and 21a of the cassettes 20 and 21 loaded on the first stacking unit 102 and the second stacking unit 103 are adsorbed to the first and second adsorption means 150 and 151, respectively. Next, the first cassette driving unit 110 and the second cassette driving unit 120 are operated again, and the cassettes 20 and 21 stacked on the first stacking unit 102 and the second stacking unit 103 are removed. Move to the opposite side of the first and second cassette door pads 140a and 140b, respectively, and load the first and second cassette door pads 140 and 151 into the first and second storage units 102 and 103 by the first and second adsorption means 150 and 151, respectively. The doors 20a and 21a of the cassettes 20 and 21 are separated from the cassettes 20 and 21.

상기와 같이 제 1, 2 흡착수단(150, 151)에 의해 상기 각각 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 분리시킨 다음에는, 상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛(130a, 130b)을 작동시켜 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)를 각각 제 1 도어 저장부(101a)와 제 2 도어 저장부(101b) 측으로 이동시켜 제 1, 2 흡착수단(150, 151)에 흡착된 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)로부터 분리된 도어(20a, 21a)를 저장할 수 있도록 한다.As described above, the doors 20a and 21a of the cassettes 20 and 21 stacked on the first stage stacking unit 102 and the second stage stacking unit 103 by the first and second adsorption means 150 and 151, respectively. After the separation, the first and second door pad driving units 130a and 130b are operated to store the first and second cassette door pads 140a and 140b, respectively, in the first door storage 101a and the second door storage. The door separated from the cassettes 20 and 21 mounted on the first stage stacking unit 102 and the second stage stacking unit 103 moved to the unit 101b and adsorbed on the first and second adsorption means 150 and 151 ( 20a, 21a) can be stored.

상기에서는 1단 적재부(102)에 적재된 카세트(20)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(21)로부터 도어(20a, 21a)를 동시에 분리하는 과정에 대해서만 설명하였으나, 본 발명의 제 3 실시예에 의한 밀폐형 카세트 적재장치(10)는 1단 적재부(102)에 적재된 카세트(20)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(21)로부터 도어(20a, 21a)를 분리하는 과정을 각각 별도로 실행할 수도 있다.In the above, only the process of simultaneously separating the doors 20a and 21a from the cassette 20 stacked on the first stacking unit 102 and the cassette 21 stacked on the second stacking unit 103 has been described. The sealed cassette stacking device 10 according to the third embodiment of the door 20a, 21a from the cassette 20 stacked on the first stacking unit 102 and the cassette 21 stacked on the second stacking unit 103. You can do this separately.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 밀폐형 카세트 적재장치(10)는 메인 프레임(100)의 전방부 또는 후방부에 제 1, 2 도어 저장부(101a, 101b)를 형성한 후 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)로부터 분리된 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)를 분시켜 상기 제 1, 2 도어 저장부(101a, 101b)로 전진 또는 후진시켜 저장할 수 있도록 한다.As described above, the sealed cassette stacking device 10 according to the present invention has the first and second door storage portions 101a and 101b formed on the front or rear portion of the main frame 100, and then the first stacking portion 102 is formed. ) And the cassettes 20 and 21, which are separated from the cassettes 20 and 21 loaded on the second stacking unit 103, are divided into the first and second door storage units 101a and 101b. Store forward or backward.

따라서, 본 발명에 따른 밀폐형 카세트 적재장치(10)는 1단 대응만 가능하던 로봇 펜스(30) 내에 설치되는 로봇의 별도 개발 없이 종래의 로봇을 그대로 사용하고도 2단으로 카세트(20, 21)를 적재하여 카세트(20, 21) 내에 적재된 반도체나 유리기판의 반송작업을 할 수 있도록 한다.Therefore, the sealed cassette stacking device 10 according to the present invention is a cassette 20 and 21 in two stages even without using a conventional robot without additional development of a robot installed in the robot fence 30 that was only capable of supporting one stage. The semiconductor substrate and the glass substrate loaded in the cassettes 20 and 21 may be loaded to stack the wafers.

또한, 2단으로 카세트(20 ,21)를 적재한 후 반도체나 유리기판 반송작업을 할 수 있도록 함으로써 공정수율을 대폭 향상시킬 수 있도록 한다.
In addition, since the cassettes 20 and 21 are loaded in two stages, the semiconductor and glass substrate conveyance operations can be carried out to significantly improve the process yield.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical and exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

(10) : 카세트 적재장치 (20)(21) : 카세트
(20a)(21a) : 도어 (30) : 로봇 펜스
(100) : 메인 프레임 (101) : 도어 저장부
(102) : 1단 적재부 (103) : 2단 적재부
(110) : 제 1 카세트 구동유닛
(111)(121)(132)(132a)(132b)(162) : 볼 스크루
(112)(122)(133)(133a)(133b)(163) : 이동 블록
(113)(123) : 적재 프레임
(114)(124)(131)(131a)(131b)(161) : 구동수단
(120) : 제 2 카세트 구동유닛
(130) : 도어패드 구동유닛
(130a) : 제 1 도어패드 구동유닛 (130b) : 제 2 도어패드 구동유닛
(140) : 카세트 도어패드 (140a) : 제 1 카세트 도어패드
(140b) : 제 2 카세트 도어패드 (150): 제 1 흡착수단
(151) : 제 2 흡착수단 (160) : 스톡 패드 구동유닛
(170) : 스톡 패드 (180) : 제 3 흡착수단(10): cassette stacker (20) (21): cassette
20a, 21a, door 30, robot fence
100: main frame 101: door storage unit
(102): 1 st loading part (103): 2 st loading part
110: first cassette drive unit
(111) (121) (132) (132a) (132b) (162): Ball screw
(112) (122) (133) (133a) (133b) (163): a moving block
(113) (123): Stacking frame
(114) (124) (131) (131a) (131b) (161): driving means
120: second cassette drive unit
130: door pad drive unit
130a: first door pad drive unit 130b: second door pad drive unit
140: cassette door pad 140a: first cassette door pad
140b: second cassette door pad 150: first adsorption means
151: second adsorption means 160: a stock pad drive unit
170: stock pad 180: third adsorption means

Claims (14)

하부에서부터 상부 방향으로 도어 저장부와 1단 적재부 및 2단 적재부가 순차적으로 형성되어 로봇 펜스의 일측과 밀착되도록 상기 로봇 펜스의 일측에 설치되는 메인 프레임;
상기 1단 적재부와 2단 적재부에 설치되어 카세트가 상부에 적재되는 제 1, 2 카세트 구동유닛;
상기 메인 프레임의 타측에 설치되는 도어패드 구동유닛;
상기 도어패드 구동유닛에 설치되는 카세트 도어패드;
상기 카세트 도어패드에 설치되어 카세트 도어를 흡착하는 적어도 하나의 제 1 흡착수단;
상기 카세트 도어 저장부에 설치되는 스톡 패드 구동유닛;
상기 스톡 패드 구동유닛에 설치되는 스톡 패드;
상기 스톡 패드에 설치되는 적어도 하나의 제 3 흡착수단; 및
상기 메인 프레임의 1단 적재부와 2단 적재부에 설치되는 제 1, 2 셔터유닛;을 포함하여,
상기 제 1 흡착수단에 의해 첫 번째로 흡착되어 분리된 카세트 도어는 상기 도어패드 구동유닛에 의해 카세트 도어패드와 함께 메인 프레임 하부로 이동된 후 제 3 흡착수단에 의해 흡착되어 제 1 흡착수단으로부터 분리된 다음 스톡 패드 구동유닛에 의해 스톡 패드와 함께 도어 저장부로 이동되어 저장되고,
상기 제 1 흡착수단에 의해 두 번째로 흡착되어 분리된 카세트 도어는 상기 도어패드 구동유닛에 의해 카세트 도어패드와 함께 메인 프레임 하부로 이동되어 저장되는 것을 특징으로 하는 밀폐형 카세트 적재장치.A main frame installed at one side of the robot fence such that the door storage unit, the first stage stacking unit, and the second stage stacking unit are sequentially formed from the bottom to the one side of the robot fence;
First and second cassette driving units installed in the first stacking unit and the second stacking unit, and the cassettes are stacked thereon;
A door pad driving unit installed at the other side of the main frame;
A cassette door pad installed in the door pad driving unit;
At least one first adsorption means installed on the cassette door pad to adsorb the cassette door;
A stock pad drive unit installed in the cassette door storage unit;
A stock pad installed in the stock pad drive unit;
At least one third adsorption means installed in the stock pad; And
And first and second shutter units installed in the first stage stacking unit and the second stage stacking unit of the main frame.
The cassette door first adsorbed and separated by the first adsorption means is moved to the lower part of the main frame by the door pad drive unit together with the cassette door pad, and then is adsorbed by the third adsorption means to be separated from the first adsorption means. And then moved by the stock pad drive unit to the door storage with the stock pad,
The cassette door which is separated and adsorbed for the second time by the first adsorption means is moved and stored under the main frame together with the cassette door pad by the door pad driving unit. 제 1 항에 있어서,
상기 제 1, 2 카세트 구동유닛은,
상기 1, 2단 적재부에 설치되어 구동수단에 의해 회전되는 적어도 하나의 볼 스크루;
상기 볼 스크루에 나사 체결되는 이동 블록; 및
상기 이동 블록에 설치되어 상부에 카세트가 적재되는 적재 프레임;을 포함하는 밀폐형 카세트 적재장치.The method of claim 1,
The first and second cassette drive unit,
At least one ball screw installed in the first and second stage loading parts and rotated by a driving means;
A moving block screwed to the ball screw; And
And a stacking frame installed on the moving block and having a cassette stacked thereon. 제 1 항에 있어서,
상기 도어패드 구동유닛은,
상기 메인 프레임의 타측에 설치되는 구동수단;
상기 구동수단에 연결되는 볼 스크루; 및
상기 볼 스크루에 나사 체결되며, 상기 카세트 도어패드가 설치되는 이동 블록;을 포함하는 밀폐형 카세트 적재장치.The method of claim 1,
The door pad drive unit,
Drive means installed on the other side of the main frame;
A ball screw connected to the drive means; And
And a moving block screwed to the ball screw and having the cassette door pad installed thereon. 제 1 항에 있어서,
상기 스톡 패드 구동유닛은,
상기 카세트 도어 저장부에 설치되는 구동수단;
상기 구동수단에 연결되는 볼 스크루; 및
상기 볼 스크루에 나사 체결되며 상기 스톡 패드가 설치되는 이동 블록;을 포함하는 밀폐형 카세트 적재장치. The method of claim 1,
The stock pad drive unit,
Drive means installed in the cassette door storage unit;
A ball screw connected to the drive means; And
And a moving block screwed to the ball screw and having the stock pad installed thereon. 제 1 항에 있어서,
상기 제 1, 2 셔터유닛은,
롤 스크린 형태로 형성되어 1단 적재부 또는 2단 적재부에 적재된 카세트의 교체 시 기판 출입구를 폐쇄하여 로봇 펜스 내의 기류 변화를 방지할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 밀폐형 카세트 적재장치.The method of claim 1,
The first and second shutter units,
It is formed in the form of a roll screen sealed cassette stacking device, characterized in that to change the air flow in the robot fence by closing the substrate entrance when replacing the cassette loaded in the first stacking unit or the second stacking unit. 제 1 항에 있어서,
상기 카세트 도어패드에는 맵핑 센서가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 밀폐형 카세트 적재장치.The method of claim 1,
The cassette door pad is sealed cassette loading apparatus characterized in that the mapping sensor is further installed. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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