KR101281007B1 - Conveying apparatus, and flexible substrate roll-to-roll transferring apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 운반 장치 및 플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치에 관한 것이다.
본 발명의 일측면은 플랙서블 기판을 공급하는 공급롤; 상기 플랙서블 기판을 회수하는 회수롤; 및 상기 공급롤 및 상기 회수롤 사이에 배치하며, 상기 플랙서블 기판에 접촉하여 상기 플랙서블 기판을 상기 회수롤로 이동시키는 운반 장치를 구비하며, 상기 운반 장치는 복수의 제1 구동 장치 및 복수의 제2 구동 장치를 포함하며, 상기 복수의 제1 구동 장치 각각은 상기 플랙서블 기판의 일측에 접촉하며, 상기 플랙서블 기판을 상기 회수롤로 이동시키는 이송력과 상기 플랙서블 기판을 상기 일측 방향으로 당기는 인장력을 동시에 제공하는 방향으로 상기 플랙서블 기판에 제1 구동력을 제공하며, 상기 복수의 제2 구동 장치 각각은 상기 플랙서블 기판의 타측에 접촉하며, 상기 플랙서블 기판을 상기 회수롤로 이동시키는 이송력과 상기 플랙서블 기판을 상기 타측 방향으로 당기는 인장력을 동시에 제공하는 방향으로 상기 플랙서블 기판에 제2 구동력을 제공하는 플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치를 제공한다.The present invention relates to a conveying apparatus and a flexible substrate roll-to-roll conveying apparatus.
One side of the present invention is a supply roll for supplying a flexible substrate; A recovery roll for recovering the flexible substrate; And a conveying device disposed between the supply roll and the collecting roll to move the flexible substrate to the recovering roll in contact with the flexible substrate, wherein the conveying device includes a plurality of first driving devices and a plurality of first devices. And a second driving device, each of the plurality of first driving devices contacting one side of the flexible substrate, a transfer force for moving the flexible substrate to the recovery roll, and a pulling force for pulling the flexible substrate in one direction. And providing a first driving force to the flexible substrate in a direction to simultaneously provide the plurality of second driving devices, wherein each of the plurality of second driving devices contacts the other side of the flexible substrate, and transfers the moving force to move the flexible substrate to the recovery roll. A second sphere on the flexible substrate in a direction to simultaneously provide a tension force for pulling the flexible substrate in the other direction; Reversible flag to provide a force to provide a roll-to-roll substrate transfer device.

Description

운반 장치 및 플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치{CONVEYING APPARATUS, AND FLEXIBLE SUBSTRATE ROLL-TO-ROLL TRANSFERRING APPARATUS}CONVEYING APPARATUS, AND FLEXIBLE SUBSTRATE ROLL-TO-ROLL TRANSFERRING APPARATUS}

본 발명은 운반 장치 및 플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a conveying apparatus and a flexible substrate roll-to-roll conveying apparatus.

인쇄 회로 기판은 전자 제품을 제작함에 있어서 흔히 사용된다. 인쇄 회로 기판의 제작시에는 에칭, 도금, 노광, 천공 등의 공정이 행하여 진다. 인쇄 회로 기판을 제작하는 방식으로서 딥랙(dip rack) 방식, 콘베이어 방식, 및 롤투롤 이송 방식 등이 사용된다. 이들 중 롤투롤 이송방식은 연속적으로 기판을 이송할 수 있다는 장점을 가진다. Printed circuit boards are commonly used in manufacturing electronic products. At the time of manufacture of a printed circuit board, processes, such as an etching, plating, exposure, and a perforation, are performed. As a method of manufacturing a printed circuit board, a dip rack method, a conveyor method, and a roll-to-roll transfer method are used. Among them, the roll-to-roll transfer method has the advantage that the substrate can be continuously transferred.

플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치의 종래 기술로서 한국특허공보 제2009-0068670호에 기재된 기술이 있다. 상기 문헌에 개시된 기술은 플랙서블 기판에 이송력을 제공하기 위하여 엇갈리게 배치된 롤러 어레이를 사용하고 있다. There is a technique described in Korean Patent Publication No. 2009-0068670 as a prior art of a flexible substrate roll-to-roll conveying apparatus. The technique disclosed in this document uses staggered roller arrays to provide a transfer force to a flexible substrate.

그러나 상기 종래 기술은 개선의 여지가 있다. 첫째 상기 종래 기술에 의한 플랙서블 기판 이송 장치는 플랙서블 기판에 이송력만을 제공하므로, 플랙서블 기판이 너비방향으로 처짐을 방지할 수 없다는 단점을 가진다. 둘째, 상기 종래기술에 의한 플랙서블 기판의 이송 장치는 롤러가 직접 플랙서블 기판의 패턴에 접촉하므로, 패턴의 손상을 야기할 수 있다는 단점을 가진다. 셋째, 상기 종래기술에 의한 플랙서블 기판의 이송 장치는 롤러 어레이를 구성하기 위하여 많은 수의 롤러를 사용하여야 하므로 비용이 증가한다는 단점을 가진다. However, the prior art has room for improvement. First, since the flexible substrate transfer apparatus according to the related art provides only a transfer force to the flexible substrate, the flexible substrate may not prevent sagging in the width direction. Second, the transfer apparatus of the flexible substrate according to the related art has a disadvantage that the roller may directly contact the pattern of the flexible substrate, which may cause damage to the pattern. Third, the transfer apparatus of the flexible substrate according to the related art has a disadvantage in that the cost increases because a large number of rollers must be used to construct a roller array.

따라서 본 발명의 기술적 과제는 상기 종래기술의 단점을 개선한 운송 장치 및 플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치를 제공함에 있다. Therefore, the technical problem of the present invention is to provide a transport apparatus and a flexible substrate roll-to-roll transport apparatus that improve the disadvantages of the prior art.

상술한 목적을 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본 발명의 제1 측면은 플랙서블 기판을 공급하는 공급롤; 상기 플랙서블 기판을 회수하는 회수롤; 및 상기 공급롤 및 상기 회수롤 사이에 배치하며, 상기 플랙서블 기판에 접촉하여 상기 플랙서블 기판을 상기 회수롤로 이동시키는 운반 장치를 구비하며, 상기 운반 장치는 복수의 제1 구동 장치 및 복수의 제2 구동 장치를 포함하며, 상기 복수의 제1 구동 장치 각각은 상기 플랙서블 기판의 일측에 접촉하며, 상기 플랙서블 기판을 상기 회수롤로 이동시키는 이송력과 상기 플랙서블 기판을 상기 일측 방향으로 당기는 인장력을 동시에 제공하는 방향으로 상기 플랙서블 기판에 제1 구동력을 제공하며, 상기 복수의 제2 구동 장치 각각은 상기 플랙서블 기판의 타측에 접촉하며, 상기 플랙서블 기판을 상기 회수롤로 이동시키는 이송력과 상기 플랙서블 기판을 상기 타측 방향으로 당기는 인장력을 동시에 제공하는 방향으로 상기 플랙서블 기판에 제2 구동력을 제공하는 플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치를 제공한다.As a technical means for achieving the above object, the first aspect of the present invention is a supply roll for supplying a flexible substrate; A recovery roll for recovering the flexible substrate; And a conveying device disposed between the supply roll and the collecting roll to move the flexible substrate to the recovering roll in contact with the flexible substrate, wherein the conveying device includes a plurality of first driving devices and a plurality of first devices. And a second driving device, each of the plurality of first driving devices contacting one side of the flexible substrate, a transfer force for moving the flexible substrate to the recovery roll, and a pulling force for pulling the flexible substrate in one direction. And providing a first driving force to the flexible substrate in a direction to simultaneously provide the plurality of second driving devices, wherein each of the plurality of second driving devices contacts the other side of the flexible substrate, and transfers the moving force to move the flexible substrate to the recovery roll. A second sphere on the flexible substrate in a direction to simultaneously provide a tension force for pulling the flexible substrate in the other direction; Reversible flag to provide a force to provide a roll-to-roll substrate transfer device.

본 발명의 제2 측면은 기판에 접촉하여 상기 기판을 이송시키는 운반 장치에 있어서, 복수의 제1 구동 장치 및 복수의 제2 구동 장치를 포함하며, 상기 복수의 제1 구동 장치 각각은 상기 기판의 일측에 접촉하여, 상기 기판의 이송 방향으로부터 상기 일측으로 1도 내지 10도의 기울어진 방향으로 제1 구동력을 상기 기판에 제공하며. 상기 복수의 제2 구동 장치 각각은 상기 기판의 타측에 접촉하여, 상기 기판의 이송 방향으로부터 상기 타측으로 1도 내지 10도의 기울어진 방향으로 제2 구동력을 상기 기판에 제공하는 운반 장치를 제공한다.A second aspect of the invention is a conveying device for transferring a substrate in contact with a substrate, comprising a plurality of first driving devices and a plurality of second driving devices, wherein each of the plurality of first driving devices comprises: In contact with one side, providing a first driving force to the substrate in an inclined direction of 1 to 10 degrees from the conveying direction of the substrate to the one side. Each of the plurality of second driving devices contacts the other side of the substrate and provides a conveying device for providing the second driving force to the substrate in an inclined direction of 1 to 10 degrees from the conveying direction of the substrate to the other side.

본 발명에 의한 운반 장치 및 플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치는 플랙서블 기판에 이송력 뿐만 아니라 너비방향으로 인장력도 제공하므로, 플랙서블 기판의 길이방향으로의 처짐뿐만 아니라 너비방향으로 처짐 또한 방지할 수 있다는 장점을 가진다. Since the conveying apparatus and the flexible substrate roll-to-roll conveying apparatus according to the present invention provide not only the conveying force but also the tensile force in the width direction to the flexible substrate, not only the sagging in the longitudinal direction but also the sagging in the width direction can be prevented. Has the advantage that

또한, 본 발명에 의한 운반 장치 및 플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치는 복수의 제1 구동 장치 및 복수의 제2 구동 장치가 플랙서블 기판의 패턴이 형성되지 아니한 영역에 접촉하므로 접촉에 의한 패턴의 손상이 발생하지 아니한다는 장점을 가진다. 또한, 본 발명에 운반 장치 및 플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치는 벨트 컨베이어 형 구동 장치를 사용하므로, 벨트가 플랙서블 기판에 접촉하고 따라서 접촉에 의한 플랙서블 기판의 손상을 줄일 수 있다는 장점을 가진다. In addition, in the conveying apparatus and the flexible substrate roll-to-roll conveying apparatus according to the present invention, since the plurality of first driving apparatuses and the plurality of second driving apparatuses are in contact with the region where the pattern of the flexible substrate is not formed, damage of the pattern by contacting This has the advantage that it does not occur. In addition, since the conveying device and the flexible substrate roll-to-roll conveying device in the present invention use a belt conveyor type drive device, the belt is in contact with the flexible substrate and thus has the advantage of reducing damage to the flexible substrate due to the contact.

또한, 본 발명에 의한 운반 장치 및 플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치는 구동 장치가 플랙서블 기판의 양 가장자리에 배치되므로, 롤러가 어레이 형태로 배치되는 종래기술에 비하여 적은 수의 구동 장치를 사용하므로, 비용을 절감할 수 있다는 장점을 가진다. In addition, the conveying apparatus and the flexible substrate roll-to-roll conveying apparatus according to the present invention use a smaller number of driving apparatuses than the prior art in which the rollers are arranged in an array since the driving apparatus is disposed at both edges of the flexible substrate. The advantage is that the cost can be reduced.

도 1은 본 발명에 따른 일 실시예에 의한 플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치의 개략적인 구조를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 운반 장치의 측면도를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 운반 장치를 위에서 본 평면도를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 운반 장치를 아래에서 본 평면도를 나타내는 도면이다. 1 is a view showing a schematic structure of a flexible substrate roll-to-roll transfer apparatus according to an embodiment according to the present invention.
2 shows a side view of a conveying device according to the invention.
3 shows a plan view from above of the conveying device according to the invention.
4 is a view showing a plan view of the transport apparatus according to the present invention from below.

개시된 기술에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시 예에 불과하므로, 개시된 기술의 권리범위는 본문에 설명된 실시 예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시 예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 개시된 기술의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The description of the disclosed technique is merely an example for structural or functional explanation and the scope of the disclosed technology should not be construed as being limited by the embodiments described in the text. That is, the embodiments are to be construed as being variously embodied and having various forms, so that the scope of the disclosed technology should be understood to include equivalents capable of realizing technical ideas.

한편, 본 출원에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.Meanwhile, the meaning of the terms described in the present application should be understood as follows.

“제1”, “제2” 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.The terms " first ", " second ", and the like are used to distinguish one element from another and should not be limited by these terms. For example, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에" 와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는" 과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" to another element, it may be directly connected to the other element, but there may be other elements in between. On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" to another element, it should be understood that there are no other elements in between. On the other hand, other expressions describing the relationship between the components, such as "between" and "immediately between" or "neighboring to" and "directly neighboring", should be interpreted as well.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Singular expressions should be understood to include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise, and terms such as "include" or "have" refer to features, numbers, steps, operations, components, parts, or parts thereof described. It is to be understood that the combination is intended to be present, but not to exclude in advance the possibility of the presence or addition of one or more other features or numbers, steps, operations, components, parts or combinations thereof.

각 단계들은 문맥상 명백하게 특정 순서를 기재하지 않은 이상 명기된 순서와 다르게 일어날 수 있다. 즉, 각 단계들은 명기된 순서와 동일하게 일어날 수도 있고 실질적으로 동시에 수행될 수도 있으며 반대의 순서대로 수행될 수도 있다.Each step may occur differently from the stated order unless the context clearly dictates the specific order. That is, each step may occur in the same order as described, may be performed substantially concurrently, or may be performed in reverse order.

여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 개시된 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.All terms used herein have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art unless otherwise defined. Terms defined in commonly used dictionaries should be interpreted to be consistent with meaning in the context of the relevant art and can not be construed as having ideal or overly formal meaning unless expressly defined in the present application.

이하, 상기 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시 예가 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시 예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention in which the above object can be specifically realized are described with reference to the accompanying drawings. In describing the present embodiment, the same designations and the same reference numerals are used for the same components, and additional description thereof will be omitted in the following.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치의 개략적인 구조를 나타내는 도면이다. 플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치는 회로 기판의 제조에 사용될 수 있다. 1 is a view showing a schematic structure of a flexible substrate roll-to-roll conveying apparatus according to an embodiment of the present invention. Flexible substrate roll-to-roll conveying devices can be used in the manufacture of circuit boards.

도면을 참조하면, 플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치는 플랙서블 기판(100) 공급롤(110), 회수롤(120), 레이저 천공 장치(200), 노광 장치(300), 습식 식각 장치(400) 및 텐션유지부재(500)를 포함한다. 플랙서블 기판은(100)은 예로서 절연성 필름 및 절연성 필름 표면에 형성된 전도층을 포함한다. 절연성 필름은 예로서 폴리에스테르나 폴리이미드 필름일 수 있다. 전도층은 예로서 구리층일 수 있다. 전도층은 전기 신호를 전달하는 배선으로 사용될 수 있다. 플랙서블 기판은(100)은 복수의 절연성 필름 및 복수의 전도층을 구비할 수도 있다. Referring to the drawings, the flexible substrate roll-to-roll transfer device is a flexible substrate 100 supply roll 110, recovery roll 120, laser drilling device 200, exposure apparatus 300, wet etching apparatus 400 And a tension holding member 500. The flexible substrate 100 includes, for example, an insulating film and a conductive layer formed on the surface of the insulating film. The insulating film may be, for example, a polyester or polyimide film. The conductive layer may for example be a copper layer. The conductive layer can be used as a wiring for transmitting an electrical signal. The flexible substrate 100 may include a plurality of insulating films and a plurality of conductive layers.

공급롤(110)은 플랙서블 기판(100)을 공급하고, 회수롤(120)은 플랙서블 기판(100)을 회수한다. 공급롤(110)에 감겨진 플랙서블 기판(100)은 공급롤(110)의 회전에 따라 공급롤(110)로부터 풀어져서, 텐션유지부재(500), 레이저 천공 장치(200), 노광 장치(300) 및 습식 식각 장치(400) 등을 거쳐 회수롤(120)로 제공된다. 플랙서블 기판(100)은 회수롤(120)의 회전에 따라 회수롤(120)에 감긴다. The supply roll 110 supplies the flexible substrate 100, and the recovery roll 120 recovers the flexible substrate 100. The flexible substrate 100 wound on the supply roll 110 is unwound from the supply roll 110 in accordance with the rotation of the supply roll 110, so that the tension holding member 500, the laser drilling apparatus 200, and the exposure apparatus 300 are rotated. And the wet etch apparatus 400 and the like are provided to the recovery roll 120. The flexible substrate 100 is wound around the recovery roll 120 in accordance with the rotation of the recovery roll 120.

레이저 천공 장치(200)는 예로서 플랙서블 기판(100)에 관통공을 형성하기 위하여 사용된다. 관통공은 플랙서블 기판의 배선과 전자 부품을 연결하기 위하여 또는 서로 다른 층에 배치되는 배선들을 연결하기 위하여 사용될 수 있다. 노광 장치(300)는 예로서 플랙서블 기판(100)에 패터닝을 형성하기 위하여 사용된다. 습식 식각 장치(300)는 예로서 형성된 패터닝에 따라 플랙서블 기판의 전도층을 식각하기 위하여 사용된다. 플랙서블 기판 이송 장치는 이송되는 플랙서블 기판(100)의 텐션(tension)을 유지하도록 공급롤(110)과 회수롤(120)의 근방에 텐션 유지 부재(500)를 포함할 수 있다.
The laser drilling apparatus 200 is used to form through holes in the flexible substrate 100 by way of example. The through hole may be used to connect the wiring of the flexible substrate and the electronic component or to connect the wirings arranged in different layers. The exposure apparatus 300 is used for example to form patterning on the flexible substrate 100. The wet etching device 300 is used to etch the conductive layer of the flexible substrate according to the patterning formed by way of example. The flexible substrate transfer apparatus may include a tension holding member 500 in the vicinity of the supply roll 110 and the recovery roll 120 to maintain the tension of the flexible substrate 100 to be transferred.

도 2 내지 4는 도 1의 레이저 천공 장치(200), 노광 장치(300) 또는 습식 식각 장치(400)에 채용되거나, 상기 장치들(200, 300, 400)과는 별도로 공급롤(110)과 회수롤(120) 사이에 배치될 수 있는 운반 장치(600)의 일례를 설명하기 위한 도면이다. 도 2는 운반 장치(600)의 측면도이며, 도 3은 도 2의 운반 장치(600)를 위에서 본 평면도이며, 도 4는 도 2의 운반 장치(600)를 아래에서 본 평면도이다. 2 to 4 are employed in the laser drilling apparatus 200, the exposure apparatus 300, or the wet etching apparatus 400 of FIG. 1, or separately from the apparatuses 200, 300, and 400. It is a figure for demonstrating an example of the conveying apparatus 600 which can be arrange | positioned between the collection rolls 120. FIG. 2 is a side view of the conveying device 600, FIG. 3 is a plan view from above of the conveying device 600 of FIG. 2, and FIG. 4 is a plan view of the conveying device 600 of FIG. 2 seen from below.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 운반 장치(600)는 공급롤과 회수롤 사이에 배치되며, 플랙서블 기판(100)에 접촉하여 플랙서블 기판(100)을 공급롤(110)로부터 회수롤(120)로 이동시키는 기능을 수행한다. 운반 장치(600)는 복수의 제1 구동 장치(610) 및 복수의 제2 구동 장치(620)를 포함한다. 2 to 4, the conveying apparatus 600 is disposed between the supply roll and the recovery roll, and contacts the flexible substrate 100 to move the flexible substrate 100 from the supply roll 110 to the recovery roll ( Move to 120). The conveying device 600 includes a plurality of first driving devices 610 and a plurality of second driving devices 620.

복수의 제1 구동 장치(610) 각각은 상기 플랙서블 기판(100)의 일측(101)에 접촉한다. 제1 구동 장치(610)는 플랙서블 기판(100)을 회수롤(120) 방향(D0)으로 이동시키는 이송력(Fm1)과 플랙서블 기판(100)을 일측 방향(D1)으로 당기는 인장력(Ft1)을 동시에 제공하는 방향으로 플랙서블 기판(100)에 제1 구동력(F1)을 제공한다. 일례로, 제1 구동력(F1)의 방향은 플랙서블 기판(100)의 이동 방향(D0)으로부터 일측(D1)으로 1도 내지 10도 기울어져 있다. Each of the plurality of first driving devices 610 contacts one side 101 of the flexible substrate 100. The first driving device 610 has a feeding force Fm1 for moving the flexible substrate 100 in the recovery roll 120 direction D0 and a tensile force Ft1 for pulling the flexible substrate 100 in one direction D1. ) Provides a first driving force (F1) to the flexible substrate 100 in the direction to provide simultaneously. For example, the direction of the first driving force F1 is inclined from 1 degree to 10 degrees from the moving direction D0 of the flexible substrate 100 toward one side D1.

복수의 제2 구동 장치(620) 각각은 상기 플랙서블 기판(100)의 타측(102)에 접촉한다. 제2 구동 장치(620)는 플랙서블 기판(100)을 회수롤(120) 방향(D0)으로 이동시키는 이송력(Fm2)과 플랙서블 기판(100)을 타측 방향(D2)으로 당기는 인장력(Ft2)을 동시에 제공하는 방향으로 플랙서블 기판(100)에 제2 구동력(F2)을 제공한다. 일례로, 제2 구동력(F2)의 방향은 플랙서블 기판(100)의 이동 방향(D0)으로부터 타측(D2)으로 1도 내지 10도 기울어져 있다.Each of the plurality of second driving devices 620 contacts the other side 102 of the flexible substrate 100. The second driving device 620 has a feed force Fm2 for moving the flexible substrate 100 in the recovery roll 120 direction D0 and a tensile force Ft2 for pulling the flexible substrate 100 in the other direction D2. ) Provides a second driving force (F2) to the flexible substrate 100 in the direction to provide simultaneously. For example, the direction of the second driving force F2 is inclined by 1 to 10 degrees from the moving direction D0 of the flexible substrate 100 to the other side D2.

일례로, 복수의 제1 구동 장치(610) 및 복수의 제2 구동 장치(620)는 플랙서블 기판(100)의 패턴이 형성되지 아니한 영역에 접촉한다. 이와 같이 복수의 제1 구동 장치(610) 및 복수의 제2 구동 장치(620)가 플랙서블 기판(100)의 패턴이 형성되지 아니한 영역에 접촉하면, 제1 구동 장치(610) 및 제2 구동 장치(620)의 접촉에 의한 플랙서블 기판(100)의 패턴의 손상이 방지될 수 있다. 패턴은 일반적으로 플랙서블 기판(100)의 가장 자리(103, 104)에 형성되지 아니하므로, 일례로 복수의 제1 구동 장치(610) 및 복수의 제2 구동 장치(620)는 플랙서블 기판(100)의 가장 자리(103, 104)에 접촉한다. 일례로, 복수의 제1 구동 장치(610) 및 복수의 제2 구동 장치(620)는 플랙서블 기판(100) 중에서 이후의 공정에서 제거되는 영역에 접촉한다. 이와 같이 복수의 제1 구동 장치(610) 및 복수의 제2 구동 장치(620)가 플랙서블 기판(100) 중에서 이후의 공정에서 제거되는 영역에 접촉하면, 제1 구동 장치(610) 및 제2 구동 장치(620)의 접촉에 의한 플랙서블 기판(100)의 손상된 부분이 이후의 공정에서 실질적으로 사용되지 아니하게 되므로, 접촉에 의한 손상이 문제되지 아니하게 된다. For example, the plurality of first driving devices 610 and the plurality of second driving devices 620 contact regions where the pattern of the flexible substrate 100 is not formed. As described above, when the plurality of first driving devices 610 and the plurality of second driving devices 620 contact an area where the pattern of the flexible substrate 100 is not formed, the first driving devices 610 and the second driving devices. Damage to the pattern of the flexible substrate 100 due to the contact of the device 620 can be prevented. Since the pattern is not generally formed at edges 103 and 104 of the flexible substrate 100, the plurality of first driving devices 610 and the plurality of second driving devices 620 may be, for example, flexible substrates. Contact edges 103 and 104 of 100). For example, the plurality of first driving devices 610 and the plurality of second driving devices 620 may contact regions of the flexible substrate 100 that are removed in a subsequent process. As described above, when the plurality of first driving devices 610 and the plurality of second driving devices 620 come into contact with regions of the flexible substrate 100 to be removed in a later process, the first driving devices 610 and the second driving devices 610 and the second driving devices 610 may be removed. Since the damaged portion of the flexible substrate 100 due to the contact of the driving device 620 is not substantially used in the subsequent process, the damage caused by the contact is not a problem.

예로서, 복수의 제1 구동 장치(610) 및 복수의 제2 구동 장치(620) 각각은 벨트 컨베이어 형 구동 장치이다. 벨트 컨베이어 형 구동 장치는 롤러(631) 및 벨트(632)를 구비하며, 롤러(631)는 플랙서블 기판(100)에 접촉하지 아니하고, 벨트(632)가 플랙서블 기판(100)에 접촉한다. 롤러(631)는 롤러축(미도시)을 통하여 외부로부터 동력을 전달받아, 전달받은 동력에 따라 회전한다.
For example, each of the plurality of first drive devices 610 and the plurality of second drive devices 620 is a belt conveyor type drive device. The belt conveyor type drive device includes a roller 631 and a belt 632, and the roller 631 does not contact the flexible substrate 100, but the belt 632 contacts the flexible substrate 100. The roller 631 receives power from the outside through a roller shaft (not shown), and rotates according to the received power.

이상에서는 도면 및 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 출원의 기술적 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 출원에 개시된 실시예들은 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 예로서, 도 2 내지 4에는 플랙서블 기판(100)의 상부 및 하부에 모두 컨베이어 형 구동 장치가 사용된 예가 표현되어 있으나, 도면과 달리 플랙서블 기판(100)의 상부 및 하부 중 어느 하나에만 컨베이어 형 구동 장치가 사용되고 나머지 하나에는 롤러형 구동 장치가 사용될 수도 있다. 예로서, 도 2 내지 4에는 플랙서블 기판(100)의 상부에 위치한 제1 및 제2 구동 장치의 개수가 플랙서블 기판(100)의 하부에 위치한 제1 및 제2 구동 장치의 개수와 동일한 예가 표현되어 있으나, 도면과 달리 동일하지 아니할 수도 있다. 예로서, 상술한 도면에는 운반장치(600)가 플랙서블 기판 롤투롤 이송장치에 적용된 예가 표현되어 있으며, 상기 운반 장치는 플랙서블 기판이 아닌 일반적인 기판이 이송장치에도 적용될 수 있다.
Although described above with reference to the drawings and embodiments, those skilled in the art will be variously modified and changed the embodiments disclosed herein without departing from the spirit of the present application described in the claims I can understand that you can. For example, in FIGS. 2 to 4, an example in which a conveyor-type driving device is used on both the upper and lower portions of the flexible substrate 100 is illustrated. However, unlike the drawing, only one of the upper and lower portions of the flexible substrate 100 is conveyed. A type drive device may be used and a roller type drive device may be used for the other one. For example, FIGS. 2 to 4 show examples in which the number of first and second driving devices positioned on the upper side of the flexible substrate 100 is the same as the number of first and second driving devices positioned on the lower side of the flexible substrate 100. Although expressed, it may not be the same as in the drawings. For example, in the above-described drawings, an example in which the conveying device 600 is applied to the flexible substrate roll-to-roll conveying device is represented, and the conveying device may be a general substrate which is not a flexible substrate.

100: 플랙서블 기판 110: 공급롤
120: 회수롤 200: 레이저 천공 장치
300: 노광 장치 400: 습식 식각 장치
500: 텐션유지부재 600: 운반 장치
610: 제1 구동 장치 620: 제2 구동 장치 631: 롤러 632: 벨트100: flexible substrate 110: supply roll
120: recovery roll 200: laser drilling device
300: exposure apparatus 400: wet etching apparatus
500: tension holding member 600: conveying device
610: first drive device 620: second drive device 631: roller 632: belt

Claims (12)

플랙서블 기판을 공급하는 공급롤;
상기 플랙서블 기판을 회수하는 회수롤; 및
상기 공급롤 및 상기 회수롤 사이에 배치되며, 상기 플랙서블 기판에 접촉하여 상기 플랙서블 기판을 상기 회수롤로 이동시키는 운반 장치를 구비하며,
상기 운반 장치는 복수의 제1 구동 장치 및 복수의 제2 구동 장치를 포함하며,
상기 복수의 제1 구동 장치 각각은 상기 플랙서블 기판의 일측에 접촉하며, 상기 플랙서블 기판을 상기 회수롤로 이동시키는 이송력과 상기 플랙서블 기판을 상기 일측 방향으로 당기는 인장력을 동시에 제공하는 방향으로 상기 플랙서블 기판에 제1 구동력을 제공하며,
상기 복수의 제2 구동 장치 각각은 상기 플랙서블 기판의 타측에 접촉하며, 상기 플랙서블 기판을 상기 회수롤로 이동시키는 이송력과 상기 플랙서블 기판을 상기 타측 방향으로 당기는 인장력을 동시에 제공하는 방향으로 상기 플랙서블 기판에 제2 구동력을 제공하는 플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치.A supply roll for supplying a flexible substrate;
A recovery roll for recovering the flexible substrate; And
A conveying device disposed between the supply roll and the recovery roll and in contact with the flexible substrate to move the flexible substrate to the recovery roll,
The conveying device includes a plurality of first drive devices and a plurality of second drive devices,
Each of the plurality of first driving devices is in contact with one side of the flexible substrate, and the feeding force for moving the flexible substrate to the recovery roll and the tensile force for pulling the flexible substrate in one direction are simultaneously provided. Providing a first driving force to the flexible substrate,
Each of the plurality of second driving devices is in contact with the other side of the flexible substrate, and the feeding force for moving the flexible substrate to the recovery roll and the tension force for pulling the flexible substrate in the other direction are simultaneously provided. Flexible substrate roll-to-roll transfer device for providing a second driving force to the flexible substrate. 제1 항에 있어서,
상기 복수의 제1 구동 장치 및 상기 복수의 제2 구동 장치 각각은 벨트 컨베이어 형 구동장치인 플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치.The method according to claim 1,
And each of the plurality of first drive devices and the plurality of second drive devices is a belt conveyor type drive device. 제2 항에 있어서,
상기 벨트 컨베이어 형 구동 장치는 롤러 및 벨트를 구비하며,
상기 롤러는 플랙서블 기판에 접촉하지 아니하고, 상기 벨트가 기판에 접촉하는 플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치.The method of claim 2,
The belt conveyor type drive device includes a roller and a belt,
The roller is not in contact with the flexible substrate, the flexible substrate roll-to-roll conveying apparatus contacting the substrate. 제1 항에 있어서,
상기 복수의 제1 구동 장치 및 상기 복수의 제2 구동 장치는 상기 플랙서블 기판의 패턴이 형성되지 아니한 영역에 접촉하는 플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치.The method according to claim 1,
And the plurality of first driving devices and the plurality of second driving devices are in contact with an area where the pattern of the flexible substrate is not formed. 제1 항에 있어서,
상기 복수의 제1 구동 장치 및 상기 복수의 제2 구동 장치는 상기 플랙서블 기판 중에서 상기 공급롤과 상기 회수롤 사이의 공정 종료 후 제거될 기판 영역에 접촉하는 플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치.The method according to claim 1,
And the plurality of first driving devices and the plurality of second driving devices are in contact with the substrate region to be removed after completion of the process between the supply roll and the recovery roll in the flexible substrate. 제1 항에 있어서,
상기 복수의 제1 구동 장치는 상기 플랙서블 기판의 일측 가장자리에 접촉하며, 상기 복수의 제2 구동 장치는 상기 플랙서블 기판의 타측 가장자리에 접촉하는 플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치.The method according to claim 1,
The plurality of first driving devices contact one edge of the flexible substrate, and the plurality of second driving devices contact the other edge of the flexible substrate. 제1 항에 있어서,
상기 제1 구동력의 방향은 상기 플랙서블 기판의 이동 방향으로부터 일측으로 1도 내지 10도 기울어져 있으며,
상기 제2 구동력의 방향은 상기 플랙서블 기판의 이동 방향으로부터 타측으로 1도 내지 10도 기울어져 있는 플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치.The method according to claim 1,
The direction of the first driving force is inclined 1 degree to 10 degrees to one side from the moving direction of the flexible substrate,
The direction of the second driving force is a flexible substrate roll-to-roll conveying apparatus inclined 1 degree to 10 degrees to the other side from the moving direction of the flexible substrate. 기판에 접촉하여 상기 기판을 이송시키는 운반 장치에 있어서,
복수의 제1 구동 장치 및 복수의 제2 구동 장치를 포함하며,
상기 복수의 제1 구동 장치 각각은 상기 기판의 일측에 접촉하여, 상기 기판의 이송 방향으로부터 상기 일측으로 1도 내지 10도의 기울어진 방향으로 제1 구동력을 상기 기판에 제공하며,
상기 복수의 제2 구동 장치 각각은 상기 기판의 타측에 접촉하여, 상기 기판의 이송 방향으로부터 상기 타측으로 1도 내지 10도의 기울어진 방향으로 제2 구동력을 상기 기판에 제공하는 운반 장치.A conveying apparatus for transferring the substrate in contact with a substrate,
A plurality of first driving devices and a plurality of second driving devices,
Each of the plurality of first driving devices contacts one side of the substrate to provide a first driving force to the substrate in an inclined direction of 1 to 10 degrees from the transfer direction of the substrate to the one side.
Each of the plurality of second driving devices contacts the other side of the substrate to provide the substrate with a second driving force in an inclined direction of 1 to 10 degrees from the transfer direction of the substrate to the other side. 제8 항에 있어서,
상기 복수의 제1 구동 장치 및 상기 복수의 제2 구동 장치 각각은 벨트 컨베이어 형 구동장치인 운반 장치.The method of claim 8,
And each of the plurality of first drive devices and the plurality of second drive devices is a belt conveyor type drive device. 제8 항에 있어서,
상기 복수의 제1 구동 장치 및 상기 복수의 제2 구동 장치는 상기 기판의 패턴이 형성되지 아니한 영역에 접촉하는 운반 장치.The method of claim 8,
And the plurality of first driving devices and the plurality of second driving devices contact a region in which the pattern of the substrate is not formed. 삭제delete 제8 항에 있어서,
상기 복수의 제1 구동 장치는 상기 기판의 일측 가장자리에 접촉하며, 상기 복수의 제2 구동 장치는 상기 기판의 타측 가장자리에 접촉하는 운반 장치.
The method of claim 8,
And the plurality of first driving devices contact one edge of the substrate, and the plurality of second driving devices contact the other edge of the substrate.
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