KR101279388B1 - Apparatus for fixing ingot - Google Patents

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이재복
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용문석
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주식회사 엘지실트론
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    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work

Abstract

본 발명에 따른 잉곳 고정 장치는 빔의 일면에 잉곳을 부착하여 지지하는 마운팅 블록; 하부에 상기 마운팅 블록이 수납되는 홈부가 형성된 클램핑 유닛; 상기 홈부의 제1 측면과, 상기 제1 측면과 서로 마주보는 상기 마운팅 블록의 제2 측면 사이에 삽입되는 제1 클램핑 바를 포함한다.
또한, 상기 홈부의 제3 측면과, 상기 제3 측면과 서로 마주보는 상기 마운팅 블록의 제4 측면 사이에 삽입되는 제2 클램핑 바를 더 포함할 수 있다.Ingot fixing apparatus according to the present invention comprises a mounting block for supporting the ingot attached to one surface of the beam; A clamping unit having a groove part at a lower portion thereof to accommodate the mounting block; And a first clamping bar inserted between the first side of the groove portion and the second side of the mounting block facing the first side.
The apparatus may further include a second clamping bar inserted between the third side surface of the groove portion and the fourth side surface of the mounting block facing the third side surface.

Description

잉곳 고정 장치{APPARATUS FOR FIXING INGOT}Ingot fixing device {APPARATUS FOR FIXING INGOT}

본 발명은 잉곳 고정 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 클램핑 유닛과 마운팅 블록 사이에 제1 클램핑 바 및 제2 클램핑 바를 삽입하여 잉곳을 고정하는 잉곳 고정 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an ingot fixing device, and more particularly, to an ingot fixing device for fixing an ingot by inserting a first clamping bar and a second clamping bar between a clamping unit and a mounting block.

반도체 소자 제조의 재료로서 실리콘 웨이퍼가 널리 사용되고 있다.Silicon wafers have been widely used as materials for semiconductor device fabrication.

그로잉(growing) 공정에 의해 소정 길이로 성장된 단결정 잉곳이 슬라이싱되어 낱장 단위의 다수의 단결정 웨이퍼가 된다. 이러한 슬라이싱 공정은 여러 형태가 있는데 박판의 외주 부분에 다이아몬드 입자를 고착시켜 단결정 잉곳을 절단하는 ODS(Out Diameter Saw) 방식, 도넛형의 박판의 내주에 다이아몬드 입자를 고착시켜 단결정 잉곳을 절단하는 IDS(Inner Diameter Saw) 방식, 및 피아노 선 또는 고장력 와이어를 빠른 속도로 주행시키면서 그 와이어에 슬러리 용액을 분사하면서 와이어에 묻은 슬러리와 단결정 잉곳의 마찰에 의해 잉곳을 절단하는 WS(Wire Saw) 방식 등이 있다. 이 중에서, 여러 개의 단결정 웨이퍼를 동시에 제조할 수 있으므로 단위 시간당 생산 수율이 높은 와이어 쏘 방식이 널리 이용되고 있다.A single crystal ingot grown to a predetermined length by a growing process is sliced into a plurality of single crystal wafers in a single unit. The slicing process can be performed in various forms, such as an ODS (Out Diameter Saw) method in which a single crystal ingot is cut by adhering diamond particles to the outer circumference of a thin plate, an IDS An Inner Diameter Saw method, and a WS (Wire Saw) method in which an ingot is cut by friction between a slurry adhered to a wire and a single crystal ingot while a piano wire or a high-tension wire is driven at a high speed and a slurry solution is sprayed on the wire . Among them, since a plurality of single crystal wafers can be manufactured at the same time, a wire saw method with high production yield per unit time is widely used.

이러한 와이어 쏘에 의한 슬라이싱 공정을 수행하기 전에 준비 공정으로서 잉곳 마운팅 공정이 수행된다.The ingot mounting process is performed as a preparation process before performing the slicing process by the wire saw.

도 1은 종래의 잉곳 고정 장치를 도시한 도면이다.1 is a view showing a conventional ingot fixing device.

종래의 잉곳 고정 장치(100)는 빔(110)을 이용하여 잉곳(120)을 부착하여 지지하는 마운팅 블록(130); 하부에 상기 마운팅 블록(130)이 수납되는 홈부(142)가 형성된 클램핑 유닛(140)을 포함한다.Conventional ingot fixing device 100 includes a mounting block 130 for attaching and supporting the ingot 120 using the beam 110; It includes a clamping unit 140 is formed with a groove portion 142 is accommodated in the mounting block 130.

에폭시와 같은 유기물 본드를 이용하여 빔(110)의 일면을 마운팅 블록(130)에 부착시키고, 또 다른 유기물 본드를 이용하여 잉곳(120)을 상기 빔(110)의 다른 일면에 부착시킨다. 위의 유기물 본드를 경화시키면 마운팅 블록(130), 빔(110) 및 잉곳(120)이 서로 부착된다. One surface of the beam 110 is attached to the mounting block 130 using an organic bond such as epoxy, and the ingot 120 is attached to the other surface of the beam 110 using another organic bond. When the organic bond is cured, the mounting block 130, the beam 110, and the ingot 120 are attached to each other.

이렇게 잉곳(120)이 고정된 마운팅 블록(130)을 클램핑 유닛(140)의 하부에 형성된 홈부(142)에 삽입하여 와이어 쏘 장치에 로딩한 후 잉곳(120)을 절단함으로써 슬라이싱 공정이 진행된다. The slicing process is performed by inserting the mounting block 130 having the fixed ingot 120 into the groove 142 formed at the lower portion of the clamping unit 140, loading the wire into the wire saw device, and then cutting the ingot 120.

이러한 종래의 잉곳 고정장치(100)에는 다음과 같은 문제점이 있다.The conventional ingot fixing device 100 has the following problems.

도 1에 도시된 바와 같이 종래에는, 홈부(142)의 제1 측면(144)과 상기 제1 측면(144)과 서로 마주보는 마운팅 블록(130)의 제2 측면(134) 사이에 공간(A)이 형성되어 있고, 클램핑 유닛(140)과 마운팅 블록(130)이 클램핑 볼트(150)에 의해 직접 체결된다. As shown in FIG. 1, a space A is formed between a first side 144 of the groove 142 and a second side 134 of the mounting block 130 facing the first side 144. ) Is formed, and the clamping unit 140 and the mounting block 130 are fastened directly by the clamping bolt 150.

그리고 상기 홈부(142)의 제3 측면(146)과, 상기 제3 측면(146)과 서로 마주보는 마운팅 블록(130)의 제4 측면(136)이 서로 긴밀하게 맞물려 있지 못하고 그 사이에 공간(B)이 형성되어 있다.In addition, the third side 146 of the groove 142 and the fourth side 136 of the mounting block 130 facing the third side 146 are not closely engaged with each other and have a space therebetween. B) is formed.

A 공간에서는 클램핑 유닛(140)과 마운팅 블록(130)이 클램핑 볼트(150)에 의해 직접 체결됨으로써 볼트와 접촉하는 마운팅 블록(130)의 부분에 마모가 발생하게 되고, B 공간에서는 슬라이싱 공정시 마운팅 블록(130)과 클램핑 유닛(140)의 접촉이 유동적이어서 웨이퍼의 절단면에 휨(warp)과 같은 불량이 발생하는 문제가 존재한다.In the space A, the clamping unit 140 and the mounting block 130 are directly fastened by the clamping bolt 150 to cause wear on the portion of the mounting block 130 in contact with the bolt. In the space B, mounting during the slicing process is performed. Since the contact between the block 130 and the clamping unit 140 is fluid, there is a problem that a defect such as warp occurs in the cut surface of the wafer.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 클램핑 유닛과 마운팅 블록 사이에 제1 클램핑 바 및 제2 클램핑 바를 삽입하여 잉곳을 고정하는 잉곳 고정 장치를 제공하고자 한다.The present invention has been made to solve the above problems, to provide an ingot fixing device for fixing the ingot by inserting the first clamping bar and the second clamping bar between the clamping unit and the mounting block.

상술한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은, 빔의 일면에 잉곳을 부착하여 지지하는 마운팅 블록; 하부에 상기 마운팅 블록이 수납되는 홈부가 형성된 클램핑 유닛; 상기 홈부의 제1 측면과, 상기 제1 측면과 서로 마주보는 상기 마운팅 블록의 제2 측면 사이에 삽입되는 제1 클램핑 바를 포함한다.The present invention to solve the above problems, the mounting block for attaching and supporting the ingot on one surface of the beam; A clamping unit having a groove part at a lower portion thereof to accommodate the mounting block; And a first clamping bar inserted between the first side of the groove portion and the second side of the mounting block facing the first side.

상기 홈부의 제3 측면과, 상기 제3 측면과 서로 마주보는 상기 마운팅 블록의 제4 측면 사이에 삽입되는 제2 클램핑 바를 더 포함할 수 있다.The display device may further include a second clamping bar inserted between the third side surface of the groove portion and the fourth side surface of the mounting block facing the third side surface.

상기 제1 클램핑 바는 상기 제1 측면 및 상기 제2 측면과 접할 수 있다.The first clamping bar may be in contact with the first side and the second side.

상기 제1 클램핑 바에 적어도 하나의 체결부가 형성되고, 상기 제1 클램핑 바를 상기 클램핑 유닛에 체결하는 체결 수단을 더 포함할 수 있다.At least one fastening part is formed in the first clamping bar, and may further include a fastening means for fastening the first clamping bar to the clamping unit.

상기 제2 클램핑 바는 상기 제3 측면 및 상기 제4 측면과 접할 수 있다.The second clamping bar may be in contact with the third side and the fourth side.

상기 제2 클램핑 바에 적어도 하나의 체결부가 형성되고, 상기 제2 클램핑 바를 상기 클램핑 유닛에 체결하는 체결 수단을 더 포함할 수 있다.At least one fastening part is formed in the second clamping bar, and may further include a fastening means for fastening the second clamping bar to the clamping unit.

상기 체결 수단은 클램핑 볼트일 수 있다.The fastening means may be a clamping bolt.

상기 마운팅 블록의 제2 측면과 접하는 제1 클램핑 바의 경사면의 가장자리 중 적어도 일부가 금속으로 코팅될 수 있다.At least a portion of the edge of the inclined surface of the first clamping bar in contact with the second side of the mounting block may be coated with metal.

상기 마운팅 블록의 제4 측면과 접하는 제2 클램핑 바의 경사면의 가장자리 중 적어도 일부가 금속으로 코팅될 수 있다.At least a part of the edge of the inclined surface of the second clamping bar in contact with the fourth side of the mounting block may be coated with metal.

상기 금속은 크롬일 수 있다. The metal may be chromium.

상기 마운팅 블록의 제2 측면과, 상기 제2 측면과 접하는 제1 클램핑 바의 경사면 사이에 소정 정도의 마찰력이 존재할 수 있다.A predetermined amount of friction may be present between the second side surface of the mounting block and the inclined surface of the first clamping bar in contact with the second side surface.

상기 마운팅 블록의 제4 측면과, 상기 제4 측면과 접하는 제2 클램핑 바의 경사면 사이에 소정 정도의 마찰력이 존재할 수 있다.A predetermined amount of friction may be present between the fourth side surface of the mounting block and the inclined surface of the second clamping bar in contact with the fourth side surface.

상술한 본 발명에 따른 잉곳 고정 장치에 의하면, 클램핑 유닛의 제1 측면과 마운팅 블록의 제2 측면 사이에 제1 클램핑 바를 삽입하여 고정함으로써, 클램핑 유닛과 마운팅 블록을 볼트로 직접 체결함에 따라 발생하는 마운팅 블록의 마모를 방지할 수 있고 제1 클램핑 바의 교체도 용이할 수 있다.According to the ingot fixing device according to the present invention described above, by inserting and fixing the first clamping bar between the first side of the clamping unit and the second side of the mounting block, which is generated by directly fastening the clamping unit and the mounting block with bolts. Wear of the mounting block can be prevented and the replacement of the first clamping bar can also be facilitated.

또 다른 효과로서, 클램핑 유닛의 제3 측면과 마운팅 블록의 제4 측면 사이에 제2 클램핑 바를 삽입하여 고정함으로써 슬라이싱 공정시 마운팅 블록의 유동을 방지하여 휨이 발생하지 않은 절단면이 균일한 웨이퍼를 얻을 수 있다.As another effect, the second clamping bar is inserted and fixed between the third side of the clamping unit and the fourth side of the mounting block to prevent the flow of the mounting block during the slicing process, thereby obtaining a wafer having a uniform cutting surface without warpage. Can be.

도 1은 종래의 잉곳 고정 장치를 도시한 도면이고,
도 2는 실시예에 따른 잉곳 고정 장치를 도시한 도면이고,
도 3은 제1 클램핑 바의 사시도이고,
도 4는 도 3의 X 방향에서 바라본 제1 클램핑 바의 정면도이고,
도 5는 도 4의 X' 방향에서 바라본 제1 클램핑 바의 평면도이고,
도 6은 제2 클램핑 바의 사시도이고,
도 7은 도 6의 Y 방향에서 바라본 제2 클램핑 바의 정면도이고,
도 8은 도 7의 Y' 방향에서 바라본 제2 클램핑 바의 평면도이고,
도 9는 잉곳 고정 장치에 제1 클램핑 바와 제2 클램핑 바를 삽입하기 전과 후의 휨(warp) 정도를 나타낸 그래프이다.1 is a view showing a conventional ingot fixing device,
2 is a view showing an ingot fixing apparatus according to the embodiment,
3 is a perspective view of the first clamping bar,
4 is a front view of the first clamping bar viewed in the X direction of FIG. 3,
FIG. 5 is a plan view of the first clamping bar viewed from the direction X ′ of FIG. 4;
6 is a perspective view of a second clamping bar,
FIG. 7 is a front view of the second clamping bar as viewed in the Y direction of FIG. 6,
FIG. 8 is a plan view of the second clamping bar viewed from the Y ′ direction of FIG. 7;
9 is a graph showing the degree of warp before and after inserting the first clamping bar and the second clamping bar into the ingot fixing device.

이하 상기의 목적을 구체적으로 실현할 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다. 종래와 동일한 구성 요소는 설명의 편의상 동일 명칭 및 동일 부호를 부여하며 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The same components as in the prior art are given the same names and the same reference numerals for convenience of description, and detailed description thereof will be omitted.

도 2는 실시예에 따른 잉곳 고정 장치를 도시한 도면이다.2 is a view showing the ingot fixing apparatus according to the embodiment.

실시예에 따른 잉곳 고정 장치(200)는 빔(110)의 일면에 잉곳(120)을 부착하여 지지하는 마운팅 블록(130), 하부에 상기 마운팅 블록(130)이 수납되는 홈부(142)가 형성된 클램핑 유닛(140), 및 상기 홈부(142)의 제1 측면(144)과 상기 제1 측면(144)과 서로 마주보는 마운팅 블록(130)의 제2 측면(134) 사이에 삽입되는 제1 클램핑 바(210)를 포함한다.Ingot fixing apparatus 200 according to the embodiment is a mounting block 130 for attaching and supporting the ingot 120 on one surface of the beam 110, the groove portion 142 is formed in the lower mounting block 130 is formed First clamping that is inserted between the clamping unit 140 and the first side 144 of the groove 142 and the second side 134 of the mounting block 130 facing each other. Bar 210.

또한, 상기 홈부(142)의 제3 측면(146)과, 상기 제3 측면(146)과 서로 마주보는 마운팅 블록(130)의 제4 측면(136) 사이에 삽입되는 제2 클램핑 바(220)를 더 포함한다.In addition, the second clamping bar 220 is inserted between the third side 146 of the groove 142 and the fourth side 136 of the mounting block 130 facing the third side 146. It further includes.

도 3은 제1 클램핑 바의 사시도이고, 도 4는 도 3의 X 방향에서 바라본 제1 클램핑 바의 정면도이며, 도 5는 도 4의 X' 방향에서 바라본 제1 클램핑 바의 평면도이다.3 is a perspective view of the first clamping bar, FIG. 4 is a front view of the first clamping bar viewed from the X direction of FIG. 3, and FIG. 5 is a plan view of the first clamping bar viewed from the X ′ direction of FIG. 4.

이하에서는 도 3 내지 도 5를 참조하여 실시예에 따른 제1 클램핑 바(210)를 좀 더 자세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the first clamping bar 210 according to the embodiment will be described in more detail with reference to FIGS. 3 to 5.

본 발명의 실시예에서는 클램핑 유닛(140)과 마운팅 블록(130)을 클램핑 볼트(150)로 직접 체결하지 않고, A 공간에 대응하는 외주면을 갖는, 즉 상기 홈부의 제1 측면(144) 및 마운팅 블록의 제2 측면(134)과 접하는 제1 클램핑 바(210)를 삽입한다.In the embodiment of the present invention, the clamping unit 140 and the mounting block 130 are not directly fastened with the clamping bolt 150, but have an outer circumferential surface corresponding to the A space, that is, the first side 144 and the mounting of the groove portion. The first clamping bar 210 is inserted into contact with the second side 134 of the block.

제1 클램핑 바(210)에는 적어도 하나의 체결부(310)가 형성되어 체결 수단을 이용해 클램핑 유닛(140)에 체결된다. 일실시예에서 상기 체결 수단은 클램핑 볼트(150)일 수 있다.At least one fastening part 310 is formed in the first clamping bar 210 and fastened to the clamping unit 140 using a fastening means. In one embodiment, the fastening means may be a clamping bolt 150.

즉, 제1 클램핑 바(210)와 클램핑 유닛(140)은 클램핑 볼트(150)에 의해 체결되지만, 마운팅 블록(130)과 클램핑 볼트(150)가 직접 체결되는 것은 아니기 때문에 볼트와의 직접 접촉에 따른 마운팅 블록(130)의 마모를 방지할 수 있다.That is, although the first clamping bar 210 and the clamping unit 140 are fastened by the clamping bolts 150, the mounting block 130 and the clamping bolts 150 are not directly fastened, so that the first clamping bar 210 and the clamping unit 140 are not directly fastened. It is possible to prevent the wear of the mounting block 130 according to.

또한, 제1 클램핑 바(210)는 체결 수단에 의해 클램핑 유닛(140)에 탈부착이 가능한 구성이므로, 마모 등을 이유로 손쉽게 교체할 수 있다.In addition, since the first clamping bar 210 is detachable to the clamping unit 140 by a fastening means, it can be easily replaced due to wear or the like.

제1 클램핑 바(210)는 홈부(142)의 제1 측면(144) 하부에서 수직 방향으로 연장 형성된 하부면(148)과 접촉하는 면(320) 사이에, 슬라이싱 공정시 제1 클램핑 바(210)가 움직이지 않을 정도의 마찰력이 존재해야 한다.The first clamping bar 210 is between the surface 320 contacting the lower surface 148 extending in the vertical direction from the lower side of the first side 144 of the groove 142, the first clamping bar 210 during the slicing process. ) Friction force should exist.

마운팅 블록(130)의 제2 측면(134)과 접하는 제1 클램핑 바(210)의 경사면(330)의 가장자리 중 적어도 일부(a 및 b)를 금속으로 코팅하여 마운팅 블록(130)과의 마찰력을 줄일 수 있다(빗금친 부분). 일실시예에서 상기 금속은 크롬일 수 있다.At least a portion (a and b) of the edges of the inclined surface 330 of the first clamping bar 210 in contact with the second side surface 134 of the mounting block 130 is coated with metal to reduce frictional force with the mounting block 130. Can be reduced (hatched). In one embodiment, the metal may be chromium.

마운팅 블록(130)을 클램핑 유닛(140)의 홈부(142)에 삽입할 때 제1 클램핑 바(210)를 작업자가 직접 삽입하게 되는데, 삽입 초기에 수평이 맞지 않을 경우 마운팅 블록(130)과 제1 클램핑 바(210) 간의 충격으로 마모가 발생할 수 있으므로 제1 클램핑 바(210)의 일부(a 및 b)를 금속으로 코팅하는 것이며, 코팅함으로써 제1 클램핑 바(210)를 용이하게 삽입할 수 있다.When the mounting block 130 is inserted into the groove 142 of the clamping unit 140, the first clamping bar 210 is directly inserted by the operator. When the insertion block 130 is not horizontally aligned, the mounting block 130 and the Since abrasion may occur due to the impact between the first clamping bars 210, the parts a and b of the first clamping bars 210 may be coated with metal, and the first clamping bars 210 may be easily inserted by coating. have.

금속으로 코팅되는 제1 클램핑 바(210)의 면적은 제작 방법에 따라 임의로 정할 수 있으나, 마운팅 블록(130)의 제2 측면(134)과 접하는 제1 클램핑 바(210)의 경사면(330) 전체를 금속으로 코팅할 경우, 제1 클램핑 바(210)의 변형이 일찍 올 수 있기 때문에 가장자리의 일부(a 및 b)를 코팅하는 것이 바람직하다.The area of the first clamping bar 210 coated with metal may be arbitrarily determined according to a manufacturing method, but the entire inclined surface 330 of the first clamping bar 210 contacting the second side 134 of the mounting block 130 may be selected. When coating with a metal, it is preferable to coat the portions (a and b) of the edge because the deformation of the first clamping bar 210 may come early.

또한, 상기 마운팅 블록(130)의 제2 측면(134)과, 상기 제2 측면(134)과 접촉하는 제1 클램핑 바(210)의 경사면(330) 사이에는 슬라이싱 공정시 마운팅 블록(130)이 흔들리지 않을 정도의 마찰력이 존재해야 한다. 상기 마찰력은 상기 제2 측면(134)과, 상기 제2 측면(134)과 접촉하는 제1 클램핑 바(210)의 경사면(330)의 거칠기로 조절할 수 있다.In addition, a mounting block 130 is formed during the slicing process between the second side surface 134 of the mounting block 130 and the inclined surface 330 of the first clamping bar 210 in contact with the second side surface 134. There must be friction that does not shake. The friction force may be adjusted by the roughness of the second side surface 134 and the inclined surface 330 of the first clamping bar 210 in contact with the second side surface 134.

도 6은 제2 클램핑 바의 사시도이고, 도 7은 도 6의 Y 방향에서 바라본 제2 클램핑 바의 정면도이며, 도 8은 도 7의 Y' 방향에서 바라본 제2 클램핑 바의 평면도이다.6 is a perspective view of the second clamping bar, FIG. 7 is a front view of the second clamping bar viewed from the Y direction of FIG. 6, and FIG. 8 is a plan view of the second clamping bar viewed from the Y ′ direction of FIG. 7.

본 발명의 실시예에서는 클램핑 유닛(140)의 홈부(142)의 제3 측면(146)과, 상기 제3 측면(146)과 서로 마주보는 마운팅 블록(130)의 제4 측면(136) 사이에, B 공간에 대응하는 외주면을 갖는, 즉 상기 제3 측면(146) 및 제4 측면(136)과 접하는 제2 클램핑 바(220)를 삽입한다.In the embodiment of the present invention, between the third side 146 of the groove 142 of the clamping unit 140 and the fourth side 136 of the mounting block 130 facing the third side 146. , A second clamping bar 220 having an outer circumferential surface corresponding to the B space, i.e., contacting the third side 146 and the fourth side 136, is inserted.

홈부(142)의 제3 측면(146)과, 상기 제3 측면(146)과 서로 마주보는 마운팅 블록(130)의 제4 측면(136)은 대응하는 경사면이 서로 긴밀하게 맞물리지 않기 때문에 슬라이싱 공정시 접촉이 유동적이었으나, B 공간에 대응하는 외주면을 갖는 제2 클램핑 바(220)를 삽입함으로써 마운팅 블록(130)을 단단히 고정할 수 있다.The third side 146 of the groove 142 and the fourth side 136 of the mounting block 130 facing the third side 146 may not be in close contact with each other in the slicing process. Although the contact was fluid, the mounting block 130 may be firmly fixed by inserting the second clamping bar 220 having an outer circumferential surface corresponding to the B space.

제2 클램핑 바(220)에는 적어도 하나의 체결부(610)가 형성되어 체결 수단을 이용해 클램핑 유닛(140)에 체결된다. 일실시예에서 상기 체결 수단은 클램핑 볼트(160)일 수 있다.At least one fastening part 610 is formed in the second clamping bar 220 and fastened to the clamping unit 140 by using fastening means. In one embodiment, the fastening means may be a clamping bolt 160.

제2 클램핑 바(220)는 체결 수단에 의해 클램핑 유닛(140)에 탈부착이 가능한 구성이므로, 마모 등을 이유로 손쉽게 교체할 수 있다.Since the second clamping bar 220 is detachable to the clamping unit 140 by the fastening means, the second clamping bar 220 can be easily replaced due to wear or the like.

마운팅 블록(130)의 제4 측면(136)과 접하는 제2 클램핑 바(220)의 경사면(630)의 가장자리 중 적어도 일부(c 및 d)를 금속으로 코팅하여 마운팅 블록(130)과의 마찰력을 줄일 수 있다(빗금친 부분). 일실시예에서 상기 금속은 크롬일 수 있다.At least a portion (c and d) of the edge of the inclined surface 630 of the second clamping bar 220 in contact with the fourth side 136 of the mounting block 130 is coated with metal to reduce the frictional force with the mounting block 130. Can be reduced (hatched). In one embodiment, the metal may be chromium.

상술한 바와 유사하게, 마운팅 블록(130)을 클램핑 유닛(140)의 홈부(142)에 삽입할 때 제2 클램핑 바(220)를 작업자가 직접 삽입하게 되는데, 삽입 초기에 수평이 맞지 않을 경우 마운팅 블록(130)과 제2 클램핑 바(220) 간의 충격으로 마모가 발생할 수 있으므로 제2 클램핑 바(220)의 일부(c 및 d)를 금속으로 코팅하는 것이며, 코팅함으로써 제2 클램핑 바(220)를 용이하게 삽입할 수 있다.As described above, when the mounting block 130 is inserted into the groove 142 of the clamping unit 140, the operator inserts the second clamping bar 220 directly. Since abrasion may occur due to an impact between the block 130 and the second clamping bar 220, the portions of the second clamping bar 220 c and d are coated with metal, and the second clamping bar 220 is coated. Can be easily inserted.

금속으로 코팅되는 제2 클램핑 바(220)의 면적은 제작 방법에 따라 임의로 정할 수 있으나, 마운팅 블록(130)의 제4 측면(136)과 접하는 제2 클램핑 바(220)의 경사면(630) 전체를 금속으로 코팅할 경우, 제2 클램핑 바(220)의 변형이 일찍 올 수 있기 때문에 가장자리의 일부(c 및 d)를 코팅하는 것이 바람직하다.The area of the second clamping bar 220 coated with a metal may be arbitrarily determined according to a manufacturing method, but the entire inclined surface 630 of the second clamping bar 220 in contact with the fourth side 136 of the mounting block 130. When coating with a metal, it is preferable to coat the portions (c and d) of the edge because the deformation of the second clamping bar 220 may come early.

또한, 상기 마운팅 블록(130)의 제4 측면(136)과, 상기 제4 측면(136)과 접촉하는 제2 클램핑 바(220)의 경사면(630) 사이에는 슬라이싱 공정시 마운팅 블록(130)이 흔들리지 않을 정도의 마찰력이 존재해야 한다. 상기 마찰력은 상기 제4 측면(136)과, 상기 제4 측면(136)과 접촉하는 제2 클램핑 바(220)의 경사면(630)의 거칠기로 조절할 수 있다.In addition, the mounting block 130 may be disposed during the slicing process between the fourth side 136 of the mounting block 130 and the inclined surface 630 of the second clamping bar 220 in contact with the fourth side 136. There must be friction that does not shake. The friction force may be adjusted by roughness of the fourth side 136 and the inclined surface 630 of the second clamping bar 220 in contact with the fourth side 136.

도 9는 잉곳 고정 장치에 제1 클램핑 바와 제2 클램핑 바를 삽입하기 전과 후의 휨(warp) 정도를 나타낸 그래프이다. 9 is a graph showing the degree of warp before and after inserting the first clamping bar and the second clamping bar into the ingot fixing device.

도 9에서 알 수 있는 바와 같이, 제1 클램핑 바와 제2 클램핑 바를 삽입하기 전에는 슬라이싱 공정 진행 중 비정기적으로 휨 불량 발생 정도가 컸으나, 제1 클램핑 바와 제2 클램핑 바를 삽입하고 난 이후에는 휨 불량 발생 정도가 줄어들었음을 확인할 수 있다.As can be seen in Figure 9, before the insertion of the first clamping bar and the second clamping bar, the occurrence of bending failure was large during the slicing process infrequently, but after the insertion of the first clamping bar and the second clamping bar bending failure occurs. You can see that the degree is reduced.

이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, Modification is possible.

그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be defined not only by the claims below, but also by those equivalent to the claims.

110: 빔 120: 잉곳
130: 마운팅 블록 140: 클램핑 유닛
150: 클램핑 볼트 200: 잉곳 고정 장치
210: 제1 클램핑 바 220: 제2 클램핑 바
310, 610: 체결부110: beam 120: ingot
130: mounting block 140: clamping unit
150: clamping bolt 200: ingot fixing device
210: first clamping bar 220: second clamping bar
310, 610: fastening portion

Claims (12)

빔의 일면에 잉곳을 부착하여 지지하는 마운팅 블록;
하부에 상기 마운팅 블록이 수납되는 홈부가 형성된 클램핑 유닛;
상기 홈부의 제1 측면과, 상기 제1 측면과 서로 마주보는 상기 마운팅 블록의 제2 측면 사이에 삽입되는 제1 클램핑 바; 및
상기 홈부의 제3 측면과, 상기 제3 측면과 서로 마주보는 상기 마운팅 블록의 제4 측면 사이에 삽입되는 제2 클램핑 바;를 포함하는 잉곳 고정 장치.A mounting block for supporting and supporting an ingot on one surface of the beam;
A clamping unit having a groove part at a lower portion thereof to accommodate the mounting block;
A first clamping bar inserted between a first side of the groove and a second side of the mounting block facing the first side; And
And a second clamping bar inserted between the third side surface of the groove portion and the fourth side surface of the mounting block facing the third side surface. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 제1 클램핑 바는 상기 제1 측면 및 상기 제2 측면과 접하는 잉곳 고정 장치.The method of claim 1,
And the first clamping bar is in contact with the first side and the second side. 제 1 항에 있어서,
상기 제1 클램핑 바에 적어도 하나의 체결부가 형성되고, 상기 제1 클램핑 바를 상기 클램핑 유닛에 체결하는 체결 수단을 더 포함하는 잉곳 고정 장치.The method of claim 1,
At least one fastening part is formed in the first clamping bar, and further comprising a fastening means for fastening the first clamping bar to the clamping unit. 제 1 항에 있어서,
상기 제2 클램핑 바는 상기 제3 측면 및 상기 제4 측면과 접하는 잉곳 고정 장치.The method of claim 1,
And the second clamping bar is in contact with the third side and the fourth side. 제 1 항에 있어서,
상기 제2 클램핑 바에 적어도 하나의 체결부가 형성되고, 상기 제2 클램핑 바를 상기 클램핑 유닛에 체결하는 체결 수단을 더 포함하는 잉곳 고정 장치.The method of claim 1,
At least one fastening part is formed in the second clamping bar, and further comprising a fastening means for fastening the second clamping bar to the clamping unit. 제 4 항 또는 제 6 항에 있어서,
상기 체결 수단은 클램핑 볼트인 잉곳 고정 장치.The method according to claim 4 or 6,
And said fastening means is a clamping bolt. 제 1 항에 있어서,
상기 마운팅 블록의 제2 측면과 접하는 제1 클램핑 바의 경사면의 가장자리 중 일부가 금속으로 코팅된 잉곳 고정 장치.The method of claim 1,
Ingot fixing device wherein a portion of the edge of the inclined surface of the first clamping bar in contact with the second side of the mounting block is coated with metal. 제 1 항에 있어서,
상기 마운팅 블록의 제4 측면과 접하는 제2 클램핑 바의 경사면의 가장자리 중 일부가 금속으로 코팅된 잉곳 고정 장치.The method of claim 1,
Ingot fixing device wherein a portion of the edge of the inclined surface of the second clamping bar in contact with the fourth side of the mounting block is coated with metal. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
상기 금속은 크롬인 잉곳 고정 장치.10. The method according to claim 8 or 9,
And said metal is chromium. 제 1 항에 있어서,
상기 마운팅 블록의 제2 측면과, 상기 제2 측면과 접하는 제1 클램핑 바의 경사면 사이에 기설정된 마찰력이 존재하는 잉곳 고정 장치.The method of claim 1,
And a predetermined friction force exists between a second side surface of the mounting block and an inclined surface of the first clamping bar in contact with the second side surface. 제 1 항에 있어서,
상기 마운팅 블록의 제4 측면과, 상기 제4 측면과 접하는 제2 클램핑 바의 경사면 사이에 기설정된 마찰력이 존재하는 잉곳 고정 장치.The method of claim 1,
And a predetermined friction force exists between a fourth side surface of the mounting block and an inclined surface of the second clamping bar in contact with the fourth side surface.
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