KR101276038B1 - Non-contact transfer apparatus - Google Patents

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Abstract

대상물(object)을 균일하게 부양시킬 수 있는 비접촉 반송 장치가 개시된다.Disclosed is a non-contact conveying device capable of uniformly supporting an object.

본 발명의 비접촉 반송 장치는 공기를 배출하는 다수의 배기 홀을 갖는 지지플랫폼; 및 상기 공기를 상기 지지플랫폼 상으로 분사하고 상기 각 배기 홀 내부에 삽입된 다수의 분사 노즐을 포함한다.A non-contact conveying apparatus of the present invention includes a support platform having a plurality of exhaust holes for discharging air; And a plurality of injection nozzles for injecting the air onto the support platform and inserted into the respective exhaust holes.

비접촉 반송 장치, 지지플랫폼, 배기 홀, 분사 노즐, 균일성 Non-contact conveying device, support platform, exhaust hole, spray nozzle, uniformity

Description

비접촉 반송 장치{Non-contact transfer apparatus}Non-contact transfer apparatus

도 1은 종래의 비접촉 반송 장치의 지지플랫폼을 개략적으로 도시한 도면.1 is a view schematically showing a support platform of a conventional non-contact conveying device.

도 2a 내지 도 2c는 도 1의 비접촉 반송 장치에서 지지플랫폼 상의 공기 압력 분포를 도시한 도면.2a to 2c show the air pressure distribution on the support platform in the non-contact conveying device of FIG.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 비접촉식 반송 장치를 개략적으로 도시한 평면도.3 is a plan view schematically showing a contactless conveying device according to a first embodiment of the present invention;

도 4는 도 3의 비접촉식 반송 장치를 개략적으로 도시한 단면도.4 is a cross-sectional view schematically showing the contactless conveying device of FIG.

도 5a 내지 도 5c는 도 3의 비접촉 반송 장치에서 지지플랫폼 상의 공기 압력 분포를 도시한 도면.5a to 5c show the air pressure distribution on the support platform in the non-contact conveying device of FIG.

도 6은 도 3의 비접촉 반송 장치에서 분사 노즐의 일 변형예를 도시한 도면.FIG. 6 is a view showing a modification of the spray nozzle in the non-contact conveying apparatus of FIG. 3.

도 7은 도 3의 비접촉 반송 장치에서 분사 노즐의 다른 변형예를 도시한 도면.7 is a view showing another modified example of the spray nozzle in the non-contact conveying apparatus of FIG. 3.

도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 비접촉 반송 장치를 개략적으로 도시한 평면도.8 is a plan view schematically showing a non-contact conveying apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 9는 도 8의 비접촉 반송 장치를 개략적으로 도시한 단면도.9 is a schematic cross-sectional view of the non-contact conveying apparatus of FIG. 8.

도 10은 본 발명의 제3 실시예에 따른 비접촉 반송 장치를 개략적으로 도시 한 평면도.10 is a plan view schematically showing a non-contact conveying apparatus according to a third embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10, 40, 70: 지지플랫폼 12, 42: 공기 공급관10, 40, 70: support platform 12, 42: air supply line

20, 23, 33, 60, 90: 분사 노즐 30: 배기 홀20, 23, 33, 60, 90: injection nozzle 30: exhaust hole

50: 배기 슬롯 75: 패드50: exhaust slot 75: pad

80: 배기 영역80: exhaust area

본 발명은 비접촉 반송 장치에 관한 것으로, 특히 대상물(object)을 균일하게 부양시킬 수 있는 비접촉 반송 장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to a non-contact conveying apparatus. Specifically, It is related with the non-contact conveying apparatus which can support the object uniformly.

반도체 웨이퍼와 LCD 기판과 같이 처리될 기판은 성막공정 및 에칭공정과 같은 다수의 처리공정을 반복적으로 수행하여 완성된다. 특히, 박막을 형성하기 위한 스퍼터링 장치는 반도체 소자나 LCD를 제조하기 위해서 빠뜨릴 수 없는 필수적인 장치이다. Substrates to be processed, such as semiconductor wafers and LCD substrates, are completed by repeatedly performing a number of processing steps, such as a film forming process and an etching process. In particular, the sputtering apparatus for forming a thin film is an essential apparatus which is indispensable for manufacturing a semiconductor element or LCD.

현재, 상기 스퍼터링 장치는 패널의 사이즈가 증가하고 공정이 복잡하며 또한 대량으로 생산하는 측면에서 로봇을 이용한 자동화 처리가 일반적이다.Currently, the sputtering apparatus is generally automated processing using a robot in terms of increasing the size of the panel, complicated process, and mass production.

스퍼터링 장치는 클러스터형(Cluster type)과 인라인형(In-Line type)으로 분류된다. 클러스터형 스퍼터링 장치에서는 각 챔버 유닛 사이에서 기판이 수평으 로 반송된다. Sputtering apparatuses are classified into a cluster type and an in-line type. In a clustered sputtering apparatus, a substrate is horizontally conveyed between each chamber unit.

인라인형 스퍼터링 장치에서는 각 챔버 유닛 사이에서 기판이 수직으로 반송된다. In an inline sputtering apparatus, a substrate is vertically conveyed between each chamber unit.

특히, 공기를 이용하여 기판을 부상시켜 비접촉으로 반송시키는 에어 쿠션(air-cushion) 방식이 제안된 바 있다. In particular, there has been proposed an air-cushion method in which a substrate is floated using air to be conveyed in a non-contact manner.

도 1은 종래의 비접촉 반송 장치의 지지플랫폼을 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a view schematically showing a support platform of a conventional non-contact conveying device.

도 1에 도시된 바와 같이, 지지플랫폼(1)에는 흡입 홀(3)과 배기 홀(5)이 일정 간격 이격되어 형성된다. 상기 흡입 홀(3)과 상기 배기 홀(5)은 교대로 형성될 수 있다. 상기 흡입 홀(3)을 통해 공기, 예컨대 Ar 가스가 상부 방향으로 분사되고, 상기 배기 홀(5)을 통해 상기 공기가 하부 방향으로 배출된다. 상기 지지플랫폼(1)은 챔버 내에 구비될 수 있다. 상기 흡입 홀(1)을 통해 분사된 공기에 의해 대상물, 예컨대 기판(미도시)이 상부 방향으로 부양될 수 있다. 상기 흡입 홀(3)을 통해 나온 공기는 상기 배기 홀(5)을 통해 배출됨으로써, 상기 지지플랫폼(1) 상의 공기 압력이 지속적으로 증가되는 것을 방지하여 지지플랫폼(1)이 소정 높이로 부양되어 유지될 수 있다.As shown in FIG. 1, the suction platform 3 and the exhaust hole 5 are formed at a predetermined interval in the support platform 1. The suction hole 3 and the exhaust hole 5 may be alternately formed. Air, for example Ar gas, is injected upward through the suction hole 3, and the air is discharged downward through the exhaust hole 5. The support platform 1 may be provided in the chamber. An object, for example, a substrate (not shown) may be lifted upward by the air injected through the suction hole 1. Air discharged through the suction hole 3 is discharged through the exhaust hole 5, thereby preventing the air pressure on the support platform 1 from increasing continuously, so that the support platform 1 is supported at a predetermined height. Can be maintained.

하지만, 종래의 비접촉 반송 장치는 도 2 a 내지 도 2c에 도시된 바와 같이, 지지플랫폼(1)의 X 방향과 Y축 방향 모두에 대해 비균일한 공기 압력 분포를 가진다. 즉, 지지플랫폼(1)의 중앙 영역에는 흡입 홀(3)을 통해 분사된 공기가 배기 홀(5) 이외에는 배출이 되지 않게 되므로, 압력이 집중되어 압력이 증가하게 된다. 이에 반해, 지지플랫폼(1)의 에지 영역에는 흡입 홀(3)을 통해 분사된 공기가 배기 홀(5) 이외에 지지플랫폼(1)과 기판 사이를 통해 외부로 배출될 수 있으므로, 압력이 증가하지 않는다. 이에 따라, 압력 분포가 지지플랫폼(1) 상의 중앙 영역에서는 상대적으로 높고 에지 영역에서는 상대적으로 낮게 된다. However, the conventional non-contact conveying apparatus has a non-uniform air pressure distribution in both the X direction and the Y axis direction of the support platform 1, as shown in Figs. 2A to 2C. That is, since the air injected through the suction hole 3 is not discharged except the exhaust hole 5 in the central region of the support platform 1, the pressure is concentrated to increase the pressure. In contrast, since the air injected through the suction hole 3 may be discharged to the outside through the space between the support platform 1 and the substrate in addition to the exhaust hole 5, the pressure does not increase in the edge region of the support platform 1. Do not. Accordingly, the pressure distribution is relatively high in the center region on the support platform 1 and relatively low in the edge region.

이러한 압력 분포로 인해 상기 지지플랫폼(1) 상에 기판이 위치할 때, 기판의 중앙 영역은 높은 압력을 받는데 반해 기판의 에지 영역은 낮은 압력을 받게 되므로, 기판이 상하로 흔들릴 뿐만 아니라 중심을 잃게 되는 경우 지지플랫폼(1) 상으로 떨어져 지지플랫폼과의 충돌로 인해 파손될 수도 있다.Due to this pressure distribution, when the substrate is placed on the support platform 1, the center region of the substrate is subjected to a high pressure while the edge region of the substrate is subjected to a low pressure. If it falls on the support platform (1) may be damaged due to the collision with the support platform.

따라서 본 발명은 지지플랫폼 상의 압력 분포를 일정하게 유지하여 대상물이 안정성을 갖고 부상하여 반송될 수 있는 비접촉 반송 장치를 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a non-contact conveying device in which a pressure distribution on a support platform can be kept constant so that an object can be conveyed by floating with stability.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제1 실시예에 따르면, 비접촉 반송 장치는 공기를 배출하는 다수의 배기 홀을 갖는 지지플랫폼; 및 상기 공기를 상기 지지플랫폼 상으로 분사하고 상기 각 배기 홀 내부에 삽입된 다수의 분사 노즐을 포함한다.According to a first embodiment of the present invention for achieving the above object, a non-contact conveying apparatus includes a support platform having a plurality of exhaust holes for discharging air; And a plurality of injection nozzles for injecting the air onto the support platform and inserted into the respective exhaust holes.

본 발명의 제2 실시예에 따르면, 비접촉 반송 장치는 공기를 배출하고 장 방 향의 길이를 따라 관통 형성된 다수의 배기 슬롯을 갖는 지지플랫폼; 및 상기 공기를 상기 지지플랫폼 상으로 분사하고 상기 각 배기 슬롯 내부에 삽입된 다수의 분사 노즐을 포함한다.According to a second embodiment of the present invention, a non-contact conveying apparatus comprises: a support platform having a plurality of exhaust slots formed therethrough for discharging air and extending along a long direction thereof; And a plurality of injection nozzles for injecting the air onto the support platform and inserted into the respective exhaust slots.

본 발명의 제3 실시예에 따르면, 비접촉 반송 장치는 소정 간격을 두고 체결된 다수의 패드를 갖는 지지플랫폼; 및 상기 패드 사이에 삽입된 다수의 분사 노즐을 포함한다.According to a third embodiment of the present invention, a non-contact conveying device includes a support platform having a plurality of pads fastened at predetermined intervals; And a plurality of injection nozzles inserted between the pads.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 비접촉식 반송 장치를 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 4는 도 3의 비접촉식 반송 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.3 is a plan view schematically showing a contactless conveying device according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing the contactless conveying device of FIG. 3.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 비접촉 반송 장치는 공기(예컨대, Ar 가스)를 배출하기 위해 소정 간격으로 관통 형성된 다수의 배기 홀(30)을 갖는 지지플랫폼(10)과, 상기 공기를 상기 지지플랫폼(10) 상부 방향으로 분사하기 위해 상기 각 배기 홀(30) 내부에 삽입된 분사 노즐(20)을 포함하여 구성된다. As shown in Figs. 3 and 4, the non-contact conveying apparatus according to the first embodiment of the present invention is a support having a plurality of exhaust holes 30 formed at predetermined intervals for discharging air (for example, Ar gas) And a spray nozzle 20 inserted into each of the exhaust holes 30 to inject the platform 10 and the air in the upper direction of the support platform 10.

상기 배기 홀(30)은 매트릭스 형태로 배열될 수 있다. 상기 배기 홀(30)은 도 3에 도시된 바와 같이, 원형으로 형성될 수 있고, 아울러 십자가형, 사각형, 타원형 등으로 형성될 수도 있다.The exhaust holes 30 may be arranged in a matrix form. As shown in FIG. 3, the exhaust hole 30 may be formed in a circular shape, or may be formed in a cross shape, a square shape, an elliptical shape, or the like.

상기 배기 홀(30) 내부에 상기 분사 노즐(20)이 관통하여 삽입된다. 상기 각 분사 노즐(20)은 공기 공급관(12)에 모두 연결될 수 있다. 또는 상기 각 분사 노 즐(20)은 대응하는 다수의 공기 공급관에 개별적으로 연결될 수 있다. 상기 공기 공급관(12)으로부터 공급된 공기가 상기 분사 노즐(20)을 통해 상기 지지플랫폼(10)의 상부 방향으로 분사될 수 있다. The injection nozzle 20 penetrates and is inserted into the exhaust hole 30. Each spray nozzle 20 may be connected to all of the air supply pipe (12). Alternatively, each injection nozzle 20 may be individually connected to a corresponding plurality of air supply pipes. Air supplied from the air supply pipe 12 may be injected in an upper direction of the support platform 10 through the injection nozzle 20.

상기 지지플랫폼(10)으로 분사된 공기에 의해 상기 지지플랫폼(10) 상의 기판(미도시)이 상부 방향으로 부상될 수 있다. 이와 같이, 기판이 상기 지지플랫폼(10) 상의 상부로 부상되는 경우, 상기 지지플랫폼(10)과 상기 기판 사이에는 소정 거리 이격되게 된다. The substrate (not shown) on the support platform 10 may be lifted upward by the air injected into the support platform 10. As such, when the substrate floats upward on the support platform 10, the substrate is spaced a predetermined distance between the support platform 10 and the substrate.

이러한 경우, 상기 분사 노즐(20)을 통해 분사된 공기는 어디로든지 배출이 되지 않는 경우, 상기 지지플랫폼(10)의 공기 압력이 증가되게 된다. 이러한 공기 압력을 감소시켜, 기판이 상기 지지플랫폼(10) 상에 일정한 간격을 유지한 채 부상되도록 하기 위해, 상기 지지플랫폼(10) 상의 공기를 배출시키기 위해 배기 홀(30)이 구비될 수 있다. In this case, when the air injected through the injection nozzle 20 is not discharged anywhere, the air pressure of the support platform 10 is increased. In order to reduce the air pressure so that the substrate floats at a constant interval on the support platform 10, an exhaust hole 30 may be provided to exhaust air on the support platform 10. .

상기 배기 홀(30)의 직경(D)은 상기 분사 노즐(20)의 직경(d)의 2배 내지 4배의 범위를 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 분사 노즐(20)이 상기 배기 홀(30) 내부에 삽입되더라도, 상기 분사 노즐(30)과 상기 배기 홀(20) 사이에 갭(g)이 존재하므로, 이러한 갭을(g) 통해 상기 지지플랫폼(10) 상의 공기가 배출될 수 있다. 상기 갭(g)은 상기 분사노즐(20)로부터 분사된 공기량이나 공기 압력에 따라 달라질 수 있다. 통상적으로, 분사 노즐(20)과 배기 홀(30)은 한번 가공되는 경우 다시 변경하기가 곤란하므로, 분사 노즐(20)의 공기량이나 공기 압력을 조절하여 기판을 지지플랫폼(10)으로부터 소정 간격 부상시키는 것이 분사 노즐(20)과 배기 홀(30)을 변경하는 것보다 훨씬 용이할 수 있다. The diameter D of the exhaust hole 30 may have a range of 2 to 4 times the diameter d of the injection nozzle 20. Accordingly, even when the injection nozzle 20 is inserted into the exhaust hole 30, a gap g exists between the injection nozzle 30 and the exhaust hole 20, thus making such a gap g. Air on the support platform 10 can be discharged through. The gap g may vary depending on the amount of air or air pressure injected from the injection nozzle 20. Typically, since the injection nozzle 20 and the exhaust hole 30 are difficult to change once processed, the substrate is lifted from the support platform 10 by adjusting the air amount or air pressure of the injection nozzle 20. It may be much easier to change the injection nozzle 20 and the exhaust hole 30.

도 5a 내지 도 5c에 도시된 바와 같이, 상기 지지플랫폼(10)의 공기 압력 분포는 지지플랫폼(10)의 X 방향과 Y축 방향 모두에 대해 균일한 공기 압력 분포를 가진다. 즉, 지지플랫폼(10)의 중앙 영역을 기준으로 X축 방향과 Y축 방향 모두에 대해 지지플랫폼(10)의 에지 영역에까지 균일한 공기 압력 분포를 가지게 된다. 이에 따라, 상기 지지플랫폼(10) 상의 기판은 상기 공기의 균일한 압력 분포에 의해 상기 지지플랫폼(10)으로부터 소정 간격 이격되어 흔들림 없이 안정적으로 부상될 수 있다.As shown in FIGS. 5A to 5C, the air pressure distribution of the support platform 10 has a uniform air pressure distribution in both the X direction and the Y axis direction of the support platform 10. That is, it has a uniform air pressure distribution to the edge region of the support platform 10 in both the X-axis direction and the Y-axis direction with respect to the central region of the support platform 10. Accordingly, the substrate on the support platform 10 may be stably lifted without shaking by being spaced apart from the support platform 10 by a uniform pressure distribution of the air.

상기 분사 노즐(20)은 앞서 설명한 통상의 분사 노즐 대신에 다른 분사 노즐이 사용될 수도 있다.The spray nozzle 20 may use other spray nozzles instead of the conventional spray nozzles described above.

도 6에 도시된 바와 같이, 분사 노즐(23)의 입사부(23a)와 출사부(23b)의 직경이 서로 달라진다. 상기 분사 노즐(23)은 공기가 입사되고 공기 공급관(12)에 연결되는 입사부(23a)와, 상기 공기가 출사되고 상기 분사 노즐(23)의 소정 높이로부터 점진적으로 커지는 직경을 갖는 출사부(23b)를 포함한다. 상기 소정 높이는 상기 분사 노즐(23)의 전체 높이의 적어도 반 이상일 수 있다. 따라서 공기는 상기 분사 노즐(23)의 입사부(23a)를 통해 입사되어 상기 소정 높이까지 비교적 높은 공기 압력으로 진행되다가 상기 소정 높이 이상부터 점진적으로 커지는 직경에 의해 공기 압력이 분사되고 상기 출사부(23b)를 통해 정면뿐만 아니라 경사진 방향으로 공기가 분산되어 분사되게 된다. 이에 따라, 공기가 정면으로만 분사되지 않고 경사진 방향까지 분산되어 분사되므로, 보다 균일한 공기 압력을 보장할 수 있으므로 기판의 부상 안정성을 더 향상시킬 수 있다. As shown in FIG. 6, the diameters of the incidence portion 23a and the emission portion 23b of the injection nozzle 23 are different from each other. The injection nozzle 23 has an entrance part 23a through which air is incident and connected to the air supply pipe 12, and an exit part having a diameter from which the air is emitted and gradually increases from a predetermined height of the injection nozzle 23 ( 23b). The predetermined height may be at least half of the total height of the injection nozzle 23. Therefore, the air is incident through the incidence portion 23a of the injection nozzle 23 and proceeds to a relatively high air pressure up to the predetermined height, and then the air pressure is injected by the diameter gradually increasing from above the predetermined height, and the exit portion ( Through 23b), air is dispersed and sprayed not only in the front but also in the inclined direction. Accordingly, the air is not dispersed only in front of the front, but is dispersed and sprayed in the inclined direction, so that a more uniform air pressure can be ensured, so that the floating stability of the substrate can be further improved.

한편, 도 7에 도시된 바와 같이, 분사 노즐(33)의 상단이 경사지게 절곡되고 회전이 가능하다. 상기 분사 노즐(33)은 필요에 따라 상기 공기 공급관(12)으로부터 분리될 수 있다. 이에 따라, 다양한 형태의 분사 노즐을 상기 공기 공급관(12)에 체결하여 사용할 수 있으므로, 장치의 적용 가능성을 확장시킬 수 있다. On the other hand, as shown in Figure 7, the upper end of the injection nozzle 33 is bent obliquely and can be rotated. The injection nozzle 33 may be separated from the air supply pipe 12 as necessary. Accordingly, various types of spray nozzles can be fastened and used in the air supply pipe 12, thereby extending the applicability of the device.

상기 분사 노즐(33)은 공기가 입사되고 공기 공급관(12)에 연결되는 직선부(33a)와, 상기 공기가 출사되고 상기 분사 노즐(33)의 소정 높이로부터 경사지게 절곡된 경사부(33b)를 포함한다. 상기 소정 높이는 상기 분사 노즐(33)의 전체 높이의 적어도 반 이상일 수 있다. 따라서 공기는 상기 분사 노즐(33)의 직선부(33a)를 통해 입사되어 상기 소정 높이까지 비교적 높은 공기 압력으로 진행되다가, 상기 소정 높이 이상부터 경사지게 절곡된 경사부(33b)를 통해 공기가 경사지게 분사되게 된다. 또한, 상기 분사 노즐(33)은 회전이 가능하므로, 경사지게 분사된 공기는 일 방향의 경사 방향으로만 공기가 분사되는 것이 아니라 상기 분사 노즐(33)을 축으로 하여 경사지게 회전되면서 공기가 분사되게 된다. 따라서 이와 같이 분사 노즐이 구성됨으로써, 강한 공기 압력을 정면으로 분사하여 기판에 손상을 주는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 경사지게 회전하면서 공기를 분사함으로써 균일한 공기 압력을 유지할 수 있다.The injection nozzle 33 includes a straight portion 33a through which air is incident and connected to the air supply pipe 12, and an inclined portion 33b from which the air is emitted and bent inclined from a predetermined height of the injection nozzle 33. Include. The predetermined height may be at least half of the total height of the injection nozzle 33. Therefore, the air is incident through the straight portion 33a of the injection nozzle 33 and proceeds with a relatively high air pressure up to the predetermined height, and the air is inclinedly injected through the inclined portion 33b bent obliquely from the predetermined height or more. Will be. In addition, since the spray nozzle 33 is rotatable, the air injected obliquely is not sprayed only in the inclined direction of one direction, but the air is sprayed while being inclinedly rotated around the spray nozzle 33. . Therefore, the injection nozzle is configured in this way, it is possible to prevent the damage to the substrate by injecting a strong air pressure to the front, as well as to maintain a uniform air pressure by injecting air while rotating obliquely.

도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 비접촉 반송 장치를 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 9는 도 8의 비접촉 반송 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.8 is a plan view schematically illustrating a non-contact conveying apparatus according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a cross-sectional view schematically showing the non-contact conveying apparatus of FIG. 8.

도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 비접촉 반 송 장치는 공기를 배출하기 위해 장 방향의 길이를 따라 관통 형성된 다수의 배기 슬롯(50)을 갖는 지지플랫폼(40)과, 상기 공기를 상기 지지플랫폼(40) 상부 방향으로 분사하기 위해 상기 각 배기 슬롯(50) 내부에 상기 장 방향을 따라 소정 간격으로 삽입된 다수의 분사 노즐(60)을 포함하여 구성된다. 8 and 9, the non-contact conveying apparatus according to the second embodiment of the present invention is a support platform having a plurality of exhaust slots 50 formed through the longitudinal direction to discharge the air ( 40) and a plurality of injection nozzles 60 inserted into the respective exhaust slots 50 at predetermined intervals along the long direction for injecting the air in the upper direction of the support platform 40. .

상기 배기 슬롯(50)은 장방형의 길이를 따라 길게 형성된 관통 홀을 갖는다. The exhaust slot 50 has a through hole formed along a rectangular length.

상기 배기 슬롯(50) 내부에 상기 다수의 분사 노즐(60)이 관통하여 삽입된다. 상기 각 분사 노즐(60)은 공기 공급관(42)에 모두 연결될 수 있다. 또는 상기 각 분사 노즐(60)은 대응하는 다수의 공기 공급관에 개별적으로 연결될 수 있다. 상기 공기 공급관(42)으로부터 공급된 공기가 상기 분사 노즐(60)을 통해 상기 지지플랫폼(40)의 상부 방향으로 분사될 수 있다. The plurality of injection nozzles 60 penetrate into the exhaust slot 50. Each spray nozzle 60 may be connected to all of the air supply pipe (42). Alternatively, each injection nozzle 60 may be individually connected to a corresponding plurality of air supply pipes. Air supplied from the air supply pipe 42 may be injected in the upper direction of the support platform 40 through the injection nozzle 60.

상기 배기 슬롯(50)에서 상기 분사 노즐(60)을 제외한 나머지 관통 홀을 통해 공기를 배출시킬 수 있으므로, 공기의 배출이 용이하다. Since the air may be discharged through the through holes except for the injection nozzle 60 in the exhaust slot 50, it is easy to discharge the air.

따라서 이와 같은 구성에 의해 공기의 배출이 용이하므로, 상기 분사 노즐(60)을 통해 분사되는 공기의 양을 조절하여, 용이하게 기판을 소정 간격으로 부상시킬 수 있다.Therefore, the air can be easily discharged by such a configuration, so that the amount of air injected through the injection nozzle 60 can be adjusted to easily float the substrate at predetermined intervals.

또한, 공기의 배출을 위한 배기 형태를 장 방향의 길이를 갖는 배기 슬롯(50)으로 구성함으로써, 제조가 단순하고 비용이 절감될 수 있다. In addition, by configuring the exhaust form for exhausting air as the exhaust slot 50 having the length in the longitudinal direction, the manufacturing can be simple and the cost can be reduced.

상기 분사 노즐(50)의 형태에 대해서는 도 6 및 도 7에 도시된 분사 노즐(23, 33)을 그대로 적용할 수 있다.For the shape of the injection nozzle 50, the injection nozzles 23 and 33 shown in Figs. 6 and 7 can be applied as they are.

도 10은 본 발명의 제3 실시예에 따른 비접촉 반송 장치를 개략적으로 도시 한 평면도이다.10 is a plan view schematically illustrating a non-contact conveying apparatus according to a third embodiment of the present invention.

도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 비접촉 반송 장치는 소정 간격을 두고 체결된 다수의 패드(75)를 갖는 지지플랫폼(70)과, 상기 패드(75) 사이에 삽입된 다수의 분사 노즐(90)을 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 10, the non-contact conveying apparatus according to the third embodiment of the present invention is inserted between the support platform 70 having a plurality of pads 75 fastened at predetermined intervals and between the pads 75. It is configured to include a plurality of injection nozzles 90.

상기 지지플랫폼(70)은 다수의 패드(75)에 의해 구성될 수 있다. 상기 다수의 패드(75)는 접촉으로 체결되는 것이 아니라 소정 간격을 두고 체결된다. 즉, 상기 패드(75) 사이에 소정의 간격을 두고 각 패드(75)를 체결한다. 이를 위해 각 패드(75)를 일체로 체결하기 위한 지지 부재(미도시)가 구비될 수 있다. 즉, 상기 각 패드(75)는 소정의 간격을 두고 상기 지지 부재 상에 체결될 수 있다. 상기 각 패드(75)에 의해 형성된 간격(이하, 배기 영역(80)이라 함)은 상하로 개방(open)되는 것이 바람직하다. 상기 배기 영역(80)에 소정 간격을 두고 다수의 분사 노즐(90)이 삽입된다. 상기 각 분사 노즐(90)은 공기 공급관(미도시)에 모두 연결될 수 있다. 또는 상기 각 분사 노즐(90)은 개별적으로 다수의 공기 공급관에 연결될 수 있다.The support platform 70 may be configured by a plurality of pads (75). The plurality of pads 75 are fastened at predetermined intervals rather than fastened in contact. That is, the pads 75 are fastened at predetermined intervals between the pads 75. To this end, a supporting member (not shown) may be provided to integrally fasten each pad 75. That is, the pads 75 may be fastened on the support member at predetermined intervals. The gap formed by the pads 75 (hereinafter, referred to as the exhaust region 80) is preferably opened up and down. A plurality of injection nozzles 90 are inserted in the exhaust region 80 at predetermined intervals. Each spray nozzle 90 may be connected to both air supply pipes (not shown). Alternatively, each of the spray nozzles 90 may be individually connected to a plurality of air supply pipes.

상기 분사 노즐(90)의 형태에 대해서는 도 6 및 도 7에 도시된 분사 노즐(23, 33)을 그대로 적용할 수 있다.For the shape of the injection nozzle 90, the injection nozzles 23 and 33 shown in Figs. 6 and 7 can be applied as they are.

따라서 상기 분사 노즐(90)을 통해 상기 지지플랫폼(70)의 상부 방향으로 공기가 분사되고, 상기 분사된 공기는 상기 패드(75) 사이의 배기 영역(80)을 통해 배출될 수 있다. 그러므로 상기 지지플랫폼(70) 상에 기판을 소정 간격으로 안정적으로 부상시킬 수 있다. 또한, 공기를 배출시키기 위한 수단을 별도로 형성하지 않아도 되므로, 구조가 단순하고 비용이 절감될 수 있다. Accordingly, air may be injected in an upward direction of the support platform 70 through the injection nozzle 90, and the injected air may be discharged through the exhaust area 80 between the pads 75. Therefore, it is possible to stably float the substrate on the support platform 70 at a predetermined interval. In addition, since the means for discharging air need not be separately formed, the structure can be simplified and the cost can be reduced.

이상의 본 발명의 제1 내지 제3 실시예에서, 분사 노즐(20, 23, 33, 60, 90)과 지지플랫폼(10, 40, 70) 또는 패드(75)와의 높이 조절을 위한 높이 조절 수단(미도시)이 상기 분사 노즐과 공기 공급관(12, 42) 사이에 구비될 수 있다. 따라서, 상기 높이 조절 수단에 의해 상기 배기홀(30), 배기 슬롯(50) 또는 배기 영역(80) 내에서 가스가 분사되는 높이를 다양하게 조절할 수 있어, 기판에 가해지는 공기의 압력을 용이하게 조절될 수 있다. In the first to third embodiments of the present invention, the height adjusting means for adjusting the height of the injection nozzles (20, 23, 33, 60, 90) and the support platform (10, 40, 70) or the pad (75) Not shown) may be provided between the injection nozzle and the air supply pipe (12, 42). Therefore, the height of the gas injection in the exhaust hole 30, the exhaust slot 50 or the exhaust region 80 by the height adjustment means can be adjusted in various ways, thereby easily to control the pressure of the air applied to the substrate Can be adjusted.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 의하면, 동일 영역에서 공기를 분사시키고 배출시킬 수 있으므로, 지지플랫폼의 전면 상의 공기 압력의 균일성(uniformity)을 확보하여 지지플랫폼 상에 대상물이 안정성을 갖고 부상하여 반송될 수 있다.As described above, according to the present invention, since the air can be injected and discharged in the same region, the object is stably floated on the support platform by securing the uniformity of air pressure on the front surface of the support platform. Can be returned.

본 발명에 의하면, 공기 배출 수단의 제조가 용이하던지 또는 공기 배출 수단이 구비될 필요가 없으므로, 구조가 단순하고 비용이 절감될 수 있다.According to the present invention, since the manufacture of the air discharge means is not easy or the air discharge means does not need to be provided, the structure can be simple and the cost can be reduced.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification, but should be defined by the claims.

Claims (35)

공기를 배출하는 다수의 배기 홀을 갖는 지지플랫폼; 및A support platform having a plurality of exhaust holes for discharging air; And 상기 공기를 상기 지지플랫폼 상으로 분사하고 상기 각 배기 홀 내부에 삽입된 다수의 분사 노즐을 포함하고,A plurality of injection nozzles for injecting the air onto the support platform and inserted into the respective exhaust holes; 상기 분사 노즐은 회전이 가능하고 상단이 경사지게 절곡된 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.The non-contact conveying device, characterized in that the spray nozzle is rotatable and the top is bent inclined. 제1항에 있어서, 상기 배기 홀은 원형, 사각형, 십자가형, 타원형 중 어느 하나의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.The contactless conveying apparatus of claim 1, wherein the exhaust hole has any one of a circle, a rectangle, a cross, and an oval. 제1항에 있어서, 상기 배기 홀의 직경은 상기 분사 노즐의 직경의 2배 내지 4배의 범위를 갖는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.The non-contact conveying apparatus according to claim 1, wherein the diameter of the exhaust hole has a range of 2 to 4 times the diameter of the injection nozzle. 제1항에 있어서, 상기 다수의 분사 노즐을 모두 연결한 공기 공급관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.The non-contact conveying apparatus according to claim 1, further comprising an air supply pipe connecting all of the plurality of injection nozzles. 제1항에 있어서, 상기 다수의 분사 노즐을 각각 개별적으로 연결한 다수의 공기 공급관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.The non-contact conveying apparatus according to claim 1, further comprising a plurality of air supply pipes which individually connect the plurality of injection nozzles, respectively. 제4항 또는 제5항의 어느 한 항에 있어서, 상기 분사 노즐은, The method of claim 4 or 5, wherein the injection nozzle, 상기 공기 공급관에 연결되는 입사부; 및An incident part connected to the air supply pipe; And 상기 분사 노즐의 소정 높이로부터 점진적으로 커지는 직경을 갖는 출사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.And a discharge part having a diameter that gradually increases from a predetermined height of the injection nozzle. 제6항에 있어서, 상기 높이는 상기 분사 노즐의 전체 높이의 적어도 반 이상인 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.The non-contact conveying apparatus according to claim 6, wherein the height is at least half of the total height of the injection nozzle. 제6항에 있어서, 상기 출사부에 의해 상기 공기가 전방으로 분산되어 분사되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.The non-contact conveying apparatus according to claim 6, wherein the air is dispersed and sprayed forward by the output unit. 삭제delete 제4항 또는 제5항의 어느 한 항에 있어서, 상기 분사 노즐은, 상기 공기 공급관에 연결되는 직선부; 및 The method of claim 4 or 5, wherein the injection nozzle, the straight portion connected to the air supply pipe; And 상기 분사 노즐의 소정 높이로부터 경사지게 절곡된 경사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.And a slanted portion bent obliquely from a predetermined height of the spray nozzle. 제10항에 있어서, 상기 높이는 상기 분사 노즐의 전체 높이의 적어도 반 이상인 것을 특징인 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.The non-contact conveying apparatus according to claim 10, wherein the height is at least half of the total height of the injection nozzle. 제4항 또는 제5항의 어느 한 항에 있어서, 상기 분사 노즐의 높이를 조절하기 위해 상기 분사 노즐과 상기 공기 공급관 사이에 구비된 높이 조절 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.The non-contact conveying apparatus according to claim 4 or 5, further comprising height adjusting means provided between the spray nozzle and the air supply pipe to adjust the height of the spray nozzle. 공기를 배출하고 장 방향의 길이를 따라 관통 형성된 다수의 배기 슬롯을 갖는 지지플랫폼; 및A support platform for discharging air and having a plurality of exhaust slots formed through the longitudinal direction; And 상기 공기를 상기 지지플랫폼 상으로 분사하고 상기 각 배기 슬롯 내부에 삽입된 다수의 분사 노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.And a plurality of injection nozzles for injecting the air onto the support platform and inserted into the respective exhaust slots. 제13항에 있어서, 상기 다수의 분사 노즐을 모두 연결한 공기 공급관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.The non-contact conveying apparatus according to claim 13, further comprising an air supply pipe connecting all of the plurality of injection nozzles. 제13항에 있어서, 상기 다수의 분사 노즐을 각각 개별적으로 연결한 다수의 공기 공급관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.The non-contact conveying apparatus according to claim 13, further comprising: a plurality of air supply pipes connecting the plurality of injection nozzles, respectively. 제13항에 있어서, 상기 다수의 분사 노즐은 상기 장 방향의 길이를 따라 소정 간격으로 삽입되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.The non-contact conveying apparatus according to claim 13, wherein the plurality of spray nozzles are inserted at predetermined intervals along the length of the longitudinal direction. 제15항 또는 제16항의 어느 한 항에 있어서, 상기 분사 노즐은, The method of claim 15 or 16, wherein the injection nozzle, 상기 공기 공급관에 연결되는 입사부; 및An incident part connected to the air supply pipe; And 상기 분사 노즐의 소정 높이로부터 점진적으로 커지는 직경을 갖는 출사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.And a discharge part having a diameter that gradually increases from a predetermined height of the injection nozzle. 제17항에 있어서, 상기 높이는 상기 분사 노즐의 전체 높이의 적어도 반 이상인 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.18. The non-contact conveying apparatus according to claim 17, wherein the height is at least half of the total height of the injection nozzle. 제17항에 있어서, 상기 출사부에 의해 상기 공기가 전방으로 분산되어 분사되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.18. The non-contact conveying apparatus according to claim 17, wherein the air is dispersed and sprayed forward by the output unit. 제14항 또는 제15항의 어느 한 항에 있어서, 상기 분사 노즐은 회전이 가능하고 상단이 경사지게 절곡된 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.The non-contact conveying apparatus according to any one of claims 14 to 15, wherein the spray nozzle is rotatable and the upper end is bent inclined. 제20항에 있어서, 상기 분사 노즐은, 상기 공기 공급관에 연결되는 직선부; 및 21. The apparatus of claim 20, wherein the injection nozzle comprises: a straight portion connected to the air supply pipe; And 상기 분사 노즐의 소정 높이로부터 경사지게 절곡된 경사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.And a slanted portion bent obliquely from a predetermined height of the spray nozzle. 제21항에 있어서, 상기 높이는 상기 분사 노즐의 전체 높이의 적어도 반 이상인 것을 특징인 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.22. The non-contact conveying apparatus according to claim 21, wherein the height is at least half of the total height of the injection nozzle. 제14항 또는 제15항의 어느 한 항에 있어서, 상기 분사 노즐의 높이를 조절하기 위해 상기 분사 노즐과 상기 공기 공급관 사이에 구비된 높이 조절 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.The non-contact conveying apparatus according to claim 14 or 15, further comprising a height adjusting means provided between the spray nozzle and the air supply pipe to adjust the height of the spray nozzle. 소정 간격을 두고 체결된 다수의 패드를 갖는 지지플랫폼; 및 A support platform having a plurality of pads fastened at predetermined intervals; And 상기 패드 사이에 삽입된 다수의 분사 노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.And a plurality of spray nozzles inserted between the pads. 제24항에 있어서, 상기 패드 사이의 간격에 의해 배기 영역이 형성되고, 상기 배기 영역에 다수의 분사 노즐이 삽입되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.The non-contact conveying apparatus according to claim 24, wherein an exhaust region is formed by the interval between the pads, and a plurality of injection nozzles are inserted in the exhaust region. 제24항에 있어서, 상기 다수의 패드를 체결하기 위한 지지 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.25. The non-contact conveying apparatus according to claim 24, further comprising a supporting member for fastening the plurality of pads. 제24항에 있어서, 상기 다수의 분사 노즐을 모두 연결한 공기 공급관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.25. The non-contact conveying apparatus according to claim 24, further comprising an air supply pipe connecting all of the plurality of injection nozzles. 제24항에 있어서, 상기 다수의 분사 노즐을 각각 개별적으로 연결한 다수의 공기 공급관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.25. The non-contact conveying apparatus according to claim 24, further comprising a plurality of air supply pipes which individually connect the plurality of injection nozzles, respectively. 제27항 또는 제28항의 어느 한 항에 있어서, 상기 분사 노즐은, The method of claim 27 or 28, wherein the injection nozzle, 상기 공기 공급관에 연결되는 입사부; 및An incident part connected to the air supply pipe; And 상기 분사 노즐의 소정 높이로부터 점진적으로 커지는 직경을 갖는 출사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.And a discharge part having a diameter that gradually increases from a predetermined height of the injection nozzle. 제29항에 있어서, 상기 높이는 상기 분사 노즐의 전체 높이의 적어도 반 이상인 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.The non-contact conveying apparatus according to claim 29, wherein the height is at least half of the total height of the injection nozzle. 제29항에 있어서, 상기 출사부에 의해 상기 공기가 전방으로 분산되어 분사되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.30. The non-contact conveying apparatus according to claim 29, wherein the air is dispersed and sprayed forward by the output unit. 제27항 또는 제28항의 어느 한 항에 있어서, 상기 분사 노즐은 회전이 가능하고 상단이 경사지게 절곡된 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.29. The non-contact conveying apparatus according to any one of claims 27 and 28, wherein the injection nozzle is rotatable and the upper end is bent obliquely. 제32항에 있어서, 상기 분사 노즐은, 상기 공기 공급관에 연결되는 직선부; 및 33. The apparatus of claim 32, wherein the injection nozzle comprises: a straight portion connected to the air supply pipe; And 상기 분사 노즐의 소정 높이로부터 경사지게 절곡된 경사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.And a slanted portion bent obliquely from a predetermined height of the spray nozzle. 제33항에 있어서, 상기 높이는 상기 분사 노즐의 전체 높이의 적어도 반 이상인 것을 특징인 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.34. The non-contact conveying apparatus according to claim 33, wherein the height is at least half of the total height of the injection nozzle. 제27항 또는 제28항의 어느 한 항에 있어서, 상기 분사 노즐의 높이를 조절하기 위해 상기 분사 노즐과 상기 공기 공급관 사이에 구비된 높이 조절 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.29. The non-contact conveying apparatus according to any one of claims 27 and 28, further comprising a height adjusting means provided between the spray nozzle and the air supply pipe to adjust the height of the spray nozzle.
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