KR101269129B1 - 공정액용 필터링장치 및 이를 이용한 필터링방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 공정액의 슬러리 제거장치에 관한 것으로, 상부가 커버(10)로 폐쇄되고 하측에 폐수배출을 위한 경사배출구(12)와 공정액배출구(18)가 구비된 필터링 하우징(14), 상기 필터링 하우징(14)의 내부에 상부로부터 삽입되는 망상체의 바스킷(22), 상기 커버(10)의 상부에 착설된 모터(28)로부터 필터링 하우징(14)의 내부로 연장되고 수개의 교반익(24)을 갖춘 교반축(26), 상기 필터링 하우징(14)의 상부에 배치되어 공정액공급라인(38)으로부터 상기 필터링 하우징(14)으로 공급되는 공정액의 온도를 낮추기 위한 냉각판(36), 상기 필터링 하우징(14)의 상기 공정액배출구(18)에 연결되고 공정액순환라인(46)을 통하여 공정액의 순환이 이루어지도록 하는 공정액탱크(44)와, 상기 바스킷(22)내에 다수가 채워지는 볼 필터(52)로 구성된다. 상기 볼 필터(52)는 수개의 통공(56)이 형성된 두개의 반구체 케이스(54)(54')로 구성되고 내부에 구형 흡착체(58)가 내장된다.

Description

공정액용 필터링장치 및 이를 이용한 필터링방법 {FILTERING APPARATUS FOR PROCESSING LIQUID AND FILTERING METHOD THEREBY}
본 발명은 공정액용 필터링장치에 관한 것으로, 특히 반도체, 디스플레이소자, 도금, 세정 및 일반산업에서 제조시 사용되는 공정액에 포함되거나 혼입되는 이물질을 제거하여 공정액을 정화하는 공정액용 필터링장치에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 이러한 공정액용 필터링장치를 이용한 필터링방법에 관한 것이다.
종래 반도체, 디스플레이소자, 도금, 세정 및 일반산업에서 제조시 사용되는 공정액은 그 사용후 이에 포함되어 있는 이물질을 제거하는 필터링장치를 이용하여 이물질을 여과하고 제거함으로서 해당공정에 재사용한다.
예를 들면, 반도체나 디스플레이소자 등의 제조를 위한 연삭 또는 연마 공정에 있어서, 연삭분말이나 절삭분말을 제거하기 위해 사용되는 순수(純水) 또는 연마용 슬러리의 경우, 이에 혼입되는 이물질을 제거하는 것이 필수적이다. 특히, 화학기계적 연마(CMP: Chemical Mechanical Polishing)의 경우, 거대입자를 포함한 연마용 슬러리는 피연마체에 마이크로 스크래치를 남기므로 반드시 제거되어야 한다. 이러한 이물질의 제거를 위하여 일반적으로 막 필터(membrane filter), 뎁스 필터(depth filter), 플리티드 필터(pleated filter) 등의 여러 필터링 장치를 사용하고 있다.
그러나, 이러한 필터링장치는 필터에 막힘이 생기므로 필터의 사용주기에 따라 교체해주어야 하는 불편함이 있고, 또한 이물질이 크거나 대량일 경우에는 사용주기가 짧아 생산성, 품질관리 및 제조경비 등에 악영향을 미친다. 더구나, 필터링해야 하는 공정액이 유독액체일 경우에는 필터교체에 따르는 안전문제와 작업의 어려움이 있다.
최근, 이렇게 일정기간 동안 필터를 교환하지 않고도, 정기적 또는 간헐적으로 세정수로서의 유체를 필터에 역세수(逆洗水)함으로써 필터에 축적된 이물질을 제거하는 소위 역세 필터링장치가 개발 및 개시되고 있다. 예를 들어, 국내공개특허 제2001-14594호(2001. 2. 26 공개)는 다수개의 겹쳐진 탄성 필터부편사이에 여과할 유체를 통과시키는 여과간극을 보유하는 필터와, 역세정시에 스프링부재간의 여과간극을 확대시키는 액츄에이터와, 필터에 역세정용 유체가 흐르는 역세정용 유로 등을 구비하는 역세정장치를 개시한다. 또한, 국내공개특허 제2009-9266호(2009. 1. 22 공개)는 연마제 슬러리 폐액을 고압 제트류로 충돌 및 분산시키고 이에 초음파를 가하면서 여과필터로 여과한 후 이를 사이클론으로 회수하며, 상기 여과필터는 역세수로 간헐적으로 역세정하는 필터링장치를 개시한다.
그러나, 이러한 역세 필터링장치도 결국은 상기 필터의 이물질을 역세수하는 유체 역시 이러한 이물질이 다량 혼입되어 배수되는 것을 피할 수 없으므로, 마찬가지로 공정상 유체 자체의 오염이 발생하고, 이물질의 충분한 제거 또한 달성되지 않는다는 문제를 갖는다.
본 발명에 있어서는 종래의 이와 같은 점을 감안하여 창안한 것으로, 공정액으로부터 이물질을 효과적이고 간단하게 오염없이 흡착 분리하여 공정액을 정화하는 공정액용 필터링장치 및 이를 이용한 필터링방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 관점에 의한 공정액에 혼입되어 있는 이물질을 제거하기 위한 공정액용 필터링장치는 내부에 흡착체가 충전된 복수의 볼 필터와, 칠러와, 이 칠러에 연결되어 외부로부터 공급되는 공정액을 열교환에 의해 냉각하는 냉각판과, 상기 복수의 볼 필터로 충전되고 상기 냉각판으로부터 상기 냉각된 공정액을 공급받아 내부 수용하여 상기 이물질이 상기 복수의 볼 필터에 흡착되어 상기 공정액이 정화되도록 하며, 하측에 상기 정화된 공정액을 배출하는 공정액배출구를 구비하는 필터링 하우징과, 상기 필터링 하우징의 상측으로부터 내부로 연장되고 하나 이상의 교반익을 구비하며 회전에 의해 상기 복수의 볼 필터를 교반하는 교반축과, 상기 필터링 하우징의 하부 일측에 배치되어 상기 필터링 하우징의 내부로 공기를 공급하는 급기구와, 상기 필터링 하우징의 상부 일측에 배치되어 상기 필터링 하우징 내의 공기를 배기하는 배기구를 포함할 수 있다.
또한, 상기 공정액용 필터링장치는 상기 공정액배출구에 연결되어 상기 배출되는 정화된 공정액을 공급받아 저장하는 공정액탱크와, 상기 공정액탱크 및 상기 냉각판을 연결하는 공정액순환라인을 더 포함하고, 상기 정화된 공정액은 상기 공정액순환라인을 통하여 상기 필터링 하우징, 공정액탱크, 냉각판 및 필터링 하우징의 순으로 재귀적 순환을 반복할 수 있다. 또한, 상기 공정액용 필터링장치는 상기 필터링 하우징의 내부에 상부로부터 삽입되는 망상체의 바스킷을 더 포함하고, 상기 복수의 볼 필터는 상기 바스킷 내에 수용될 수 있다.
또한, 상기 복수의 볼 필터는 각각 내부의 상기 흡착체를 에워싸는 케이스를 더 포함하고 이 케이스는 표면에 내부의 상기 흡착체와 연통하는 복수의 통공을 포함할 수 있다. 또한, 상기 케이스는 2개 이상으로 분할되어 개방될 수 있고, 상기 케이스는 PP(Polypropylene), PVC(polyvinyl chloride), PVDF(Polyvinylidene Fluoride), PTFE(Polytetrafluoroethylene), PC(PolyCarbonate), 티타늄, 해스탈로이(hastelloy) 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상으로 될 수 있다. 또한, 상기 흡착체는 개포형 발포체, 부직물, 섬유면상체 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상으로 될 수 있다.
또한, 상기 필터링 하우징은 외부로부터 공급받고 상기 복수의 볼 필터를 세척하는 세정액을 더 수용하고, 경사배출구를 더 포함하며, 분리된 이물질을 포함하는 세정액은 상기 경사배출구를 통하여 외부로 배출할 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 일 관점에 의한 이물질을 제거하기 위한 공정액용 필터링방법은 전술한 공정액용 필터링장치를 이용하여 상기 복수의 볼 필터에 상기 공정액을 통과시켜 상기 공정액에 혼입되어 있는 이물질을 상기 복수의 볼 필터에 흡착하여 분리하는 흡착단계를 포함할 수 있다.
또한, 상기 공정액용 필터링방법은 상기 하나 이상의 교반익을 구비한 교반축을 회전시켜 상기 복수의 볼 필터에 흡착된 상기 이물질을 분리하는 세척단계를 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 세척단계는 상기 필터링 하우징의 내부에 세정액을 공급하여 상기 복수의 볼 필터를 세척하고 분리된 이물질을 포함하는 세정액은 상기 필터링 하우징의 외부로 배출하는 것을 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 세척단계는 상기 급기구로부터 상기 세정액 내부로 공기를 주입하여 기포를 발생시킴으로써 상기 이물질의 분리를 촉진하는 것을 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 세척단계는 상기 급기구로부터 상기 필터링 하우징의 내부로 공기를 주입하여 상기 이물질의 분리를 촉진하고, 상기 분리된 이물질은 상기 배기구를 통하여 배기되는 공기와 함께 상기 필터링 하우징의 외부로 배출하는 것을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 공정액용 필터링방법은 상기 세척단계의 완료시 상기 급기구로부터 공기를 주입하면서 상기 하나 이상의 교반익을 구비한 교반축을 회전시켜 상기 복수의 볼 필터를 건조하는 건조단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명을 첨부도면에 의거하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 공정액용 필터링장치를 보인 개략구성도.
도 2는 본 발명에 사용된 볼 필터의 사시도.
도 3은 도 2에서 보인 볼 필터의 분리단면도.
본 명세서에서 사용되는 용어인 "공정액"은 반도체, 디스플레이소자, 도금, 세정 및 일반산업에서 제조시 사용되는 순수, 슬러리, 케미컬 등을 포함한 모든 액체 및 유체를 포함한다.
도 1은 본 발명에 의한 공정액용 필터링장치를 보인 것이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 의한 공정액용 필터링장치는 상부가 커버(10)로 폐쇄되고 하측내부에 폐수배출을 위한 경사배출구(12)가 구비된 필터링 하우징(14)을 포함한다. 이러한 필터링 하우징(14)의 하부에는 내부의 경사배출구(12)의 높이 보다 약간 높은 위치에서 일측에 공기공급을 위한 급기구(16)가 배치되고 타측에는 공정액배출구(18)가 배치되어 있으며 상부일측에는 배기구(20)가 배치된다. 또한, 필터링 하우징(14)의 내부에는 상부로부터 망상체인 바스킷(22)이 삽입된다. 또한, 상부의 커버(10)에는 필터링 하우징(14)의 내부로 교반익(24)을 갖는 교반축(26)이 연장되고 커버(10)의 상부에 배치된 모터(28)로써 회전구동된다. 그리고, 필터링 하우징(14)의 상부내측에는 수위센서(30)가 배치된다.
한편, 필터링 하우징(14)의 커버(10)에는 공정액공급구(32)가 배치되고, 필터링 하우징(14)의 상부에는 칠러(chiller: 34)에 의하여 냉각되는 냉각판(36)이 배치되어 공정액공급라인(38)으로부터 공급되는 공정액이 냉각된 상태로 필터링 하우징(14)내에 공급될 수 있도록 한다. 이러한 냉각판(36)은 내부에 공정액라인이 순환하고 칠러(34)의 냉각액에 의한 열교환으로 공정액이 냉각될 수 있도록 하며, 그 재질로서 열전도성이 높고 케미칼에 강한 니켈, 해스탈로이(hastelloy), SUS 합금 및 이의 조합으로 되는 군에서 선택되는 하나 이상의 금속이나, 또는 PVC(polyvinyl chloride), PP(Polypropylene), PTFE(Polytetrafluoroethylene) 등의 비금속 또한 사용될 수 있으며, 이외에도 해당 분야에서 적합하다고 공지된 재질이면 모두 사용가능하다. 이러한 냉각판(36)의 상류측 공정액공급라인(38)에는 펌프(40)와 밸브(42)가 연결되어 공정액의 공급을 제어한다.
또한, 필터링 하우징(14)의 공정액배출구(18)는 공정액탱크(44)에 연결되고 공정액탱크(44)의 상부에 공정액순환라인(46)이 냉각판(36)측으로 연장되고, 이로써 공정액순환라인(46)에 연결된 펌프(48)와 밸브(50)에 의해 필터링 하우징(14) 내로 이송되는 공정액탱크(44)의 공정액이 냉각판(36)에 의해 필터링 하우징(14) 내로 인입 전 냉각될 수 있다.
한편, 필터링 하우징(14) 내에 삽입되는 망상체의 바스킷(22) 내에는 본 발명의 일부를 구성하는 다수의 볼 필터(52)가 채워진다. 이러한 볼 필터(52)는 도 2 및 도 3에서 상세히 설명된다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명에 의한 볼 필터(52)는 내화학성을 갖는 2개의 반구체 케이스(54)(54')가 결합되어 구성된다. 본 도면에서는 케이스가 2개로 도시되나 그 이상의 개수로 분리가능하도록 될 수 있다. 이러한 반구체 케이스(54)(54')는 PP(Polypropylene), PVC(polyvinyl chloride), PVDF(Polyvinylidene Fluoride), PTFE(Polytetrafluoroethylene), PC(PolyCarbonate), 티타늄, 해스탈로이(hastelloy) 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상으로 된다. 또한, 이들 반구체 케이스(54)(54')의 표면에는 복수의 통공(56)이 형성되고 그 내부에는 구형의 흡착체(58)가 내장된다. 이러한 흡착체(58)는 스폰지 등의 개포형 발포체, 다공성 부직물, 섬유면상체 등의 섬유와 같이 슬러리의 흡착성이 우수한 물질로 구성된다. 이러한 다수의 볼 필터(52)는 상기 바스킷(22) 내부를 채우게 된다.
전술한 구조를 갖는 본 발명의 장치는 다음과 같이 작동된다.
본 발명에 의한 공정액의 슬러리 제거장치는 처리할 공정액이 공정액공급라인(38)을 통하여 냉각판(36)으로 공급된다. 처리될 공정액은 이 냉각판(36)에서 온도가 저하된 상태로 필터링 하우징(14)으로 공급됨으로써, 상기 공정액에 혼입되어 있는 이물질들의 상기 볼 필터(52)로의 흡착이 촉진되도록 한다. 이와 같이 필터링 하우징(14) 내로 공급되는 공정액은 바스킷(22) 내부에 채워진 다수의 볼 필터(52)를 통과하면서 상기 혼입되어 있는 이물질이 볼필터(52)에 흡착분리되고, 이렇게 이물질이 분리되어 정화된 공정액은 공정액배출구(18)를 통하여 공정액탱크(44)로 이송되어 저장된다. 이 공정액탱크(44)에 저장된 공정액은 추가 정화를 위하여 필터링 하우징(14)으로 보내어질 수 있으며, 이를 위하여 밸브(42)를 폐쇄하여 공정액공급라인(38)을 통한 공정액의 공급은 차단된 상태 또는 밸브(42)를 개방하여 공정액공급라인(38)을 통한 공정액의 공급은 유지된 상태로 공정액순환라인(46)의 펌프(48)와 밸브(50)를 통하여 공정액이 다시 냉각판(36)을 지나 냉각된 후 필터링 하우징(14)으로 순환공급되어 다수의 볼 필터(52)로의 흡착으로써 이물질의 분리가 이루어진다.
이러한 공정액의 정화과정이 수행되어 볼 필터(52)의 오염이 소정의 오염수준에 도달할 경우, 필터링 하우징(14)의 급기구(16)와 공정액배출구(18)를 밸브로 차단하고 필터링 하우징(14) 내에 세척액을 공급한 다음, 커버(10)의 상부에 설치된 모터(28)를 이용하여 교반축(26)을 회전시킴으로써 교반축(26)의 교반익(24)에 의하여 다수의 볼 필터(52)가 상기 세척액 내에서 교반되어 볼 필터의 흡착체(58)에 흡착되어 있던 이물질이 분리된다. 또는, 상기 세척액의 공급과 함께 동시에 급기구(16)를 개방하여 이를 통해 공기를 공급하여 상기 세척액 내에 기포를 발생시킴으로써, 상기 세척액 및 기포에 의한 복합 교반으로 상기 이물질의 분리를 더 촉진할 수도 있다. 또는, 상기 세척액의 공급 없이 급기구(16)를 개방하여 이를 통해 공기를 내부로 주입시킴으로써 상기 교반 및 공기주입에 의한 다른 복합 교반으로 상기 이물질을 분리시키고 이 분리된 이물질은 배기구(20)를 통하여 배기되는 내부 공기와 함께 필터링 하우징(14)의 외부로 배출시킬 수도 있다.
이렇게 볼 필터의 흡착체(58)로부터 분리된 이물질과 이를 포함하는 세척액의 폐수는 필터링 하우징(14)의 하측에 배치된 경사배출구(12)로 배수된다.
이후, 급기구(16)를 개방하여 이를 통해 공기를 공급하면서 교반익(24)으로 볼 필터(52)를 교반하여 볼 필터(52)의 흡착체(58)를 건조시켜 다음의 공정액 여과과정을 수행하도록 한다.
본 발명에 있어서, 볼 필터(52)의 세척과 건조가 상기 언급된 바와 같이 필터링 하우징(14) 내에서 이루어질 수 있으나, 필터링 하우징(14)내에 삽입된 망상체 바스킷(22)를 들어내어 다른 장소에 배치된 세척장치에서 세척이 요구되는 볼 필터(52) 전부를 해당 분야에 공지된 방법으로 세척하고 건조시킨 다음 다시 필터링 하우징(14)에 수용하여 공정액의 여과과정을 수행할 수도 있을 것이다.
이와 같이, 본 발명은 필터링 하우징에 공급되는 공정액을 냉각시켜 이로부터 슬러리의 분리가 용이하도록 하고 공정액 내에 포함되어 있는 이러한 슬러리가 다수의 볼 필터에 의하여 흡착되어 공정액이 정화될 수 있도록 하며, 볼 필터에 흡착된 슬러리는 세정액의 공급과 볼 필터의 교반작용으로 볼 필터로부터 분리되어 세척액의 폐수로서 함께 배출되고 슬러리가 제거된 볼 필터는 공기공급에 의한 교반과 건조작용으로 재생되어 공정액의 여과과정을 수행하는데 다시 사용할 수 있도록 한다.
전술한 본 발명의 예들은 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가 등이 가능할 것이고, 이러한 수정, 변경, 부가 등은 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 한다.
10: 커버, 12: 경사배출구, 14; 필터링 하우징, 16: 급기구, 18: 공정액배출구, 20: 배기구, 22: 바스킷, 24: 교반익, 26: 교반축, 28: 모터, 30: 수위센서, 32: 공정액공급구, 34: 칠러, 36: 냉각판, 38: 공정액공급라인, 40: 펌프, 42: 밸브, 44: 공정액탱크, 46: 공정액순환라인, 48: 펌프, 50: 밸브, 52: 볼 필터, 54, 54': 반구체 케이스, 56: 통공, 58: 흡착제.

Claims (14)

  1. 공정액에 혼입되어 있는 이물질을 제거하기 위한 공정액용 필터링장치에 있어서,
    내부에 흡착체(58)가 충전된 복수의 볼 필터(52)와;
    칠러(34)와, 이 칠러(34)에 연결되어 외부로부터 공급되는 공정액을 열교환에 의해 냉각하는 냉각판(36)과;
    상기 복수의 볼 필터(52)로 충전되고 상기 냉각판(36)으로부터 상기 냉각된 공정액을 공급받아 내부 수용하여 상기 이물질이 상기 복수의 볼 필터(52)에 흡착되어 상기 공정액이 정화되도록 하며, 하측에 상기 정화된 공정액을 배출하는 공정액배출구(18)를 구비하는 필터링 하우징(14)과;
    상기 필터링 하우징(14)의 상측으로부터 내부로 연장되고 하나 이상의 교반익(24)을 구비하며 회전에 의해 상기 복수의 볼 필터(52)를 교반하는 교반축(26)과;
    상기 필터링 하우징(14)의 하부 일측에 배치되어 상기 필터링 하우징(14)의 내부로 공기를 공급하는 급기구(16)와, 상기 필터링 하우징(14)의 상부 일측에 배치되어 상기 필터링 하우징(14) 내의 공기를 배기하는 배기구(20)를 포함하는 것을 특징으로 하는 공정액용 필터링장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 공정액배출구(18)에 연결되어 상기 배출되는 정화된 공정액을 공급받아 저장하는 공정액탱크(44)와;
    상기 공정액탱크(44) 및 상기 냉각판(36)을 연결하는 공정액순환라인(46)을 더 포함하고, 상기 정화된 공정액은 상기 공정액순환라인(46)을 통하여 상기 필터링 하우징(14), 공정액탱크(44), 냉각판(36) 및 필터링 하우징(14)의 순으로 재귀적 순환을 반복하는 것을 특징으로 하는 공정액용 필터링장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 필터링 하우징(14)의 내부에 상부로부터 삽입되는 망상체의 바스킷(22)을 더 포함하고, 상기 복수의 볼 필터(52)는 상기 바스킷(22) 내에 수용되는 것을 특징으로 하는 공정액용 필터링장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 볼 필터(52)는 각각 내부의 상기 흡착체(58)를 에워싸는 케이스를 더 포함하고 이 케이스는 표면에 내부의 상기 흡착체(58)와 연통하는 복수의 통공(56)을 포함하는 것을 특징으로 하는 공정액용 필터링장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 케이스는 2개 이상으로 분할되어 개방되는 것을 특징으로 하는 공정액용 필터링장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 케이스는 PP(Polypropylene), PVC(polyvinyl chloride), PVDF(Polyvinylidene Fluoride), PTFE(Polytetrafluoroethylene), PC(PolyCarbonate), 티타늄, 해스탈로이(hastelloy) 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상으로 되는 것을 특징으로 하는 공정액용 필터링장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 흡착체(58)는 개포형 발포체, 부직물, 섬유면상체 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상으로 되는 것을 특징으로 하는 공정액용 필터링장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 필터링 하우징(14)은 외부로부터 공급받고 상기 복수의 볼 필터(52)를 세척하는 세정액을 더 수용하고, 경사배출구(12)를 더 포함하며, 분리된 이물질을 포함하는 세정액은 상기 경사배출구(12)를 통하여 외부로 배출하는 것을 특징으로 하는 공정액용 필터링장치.
  9. 제1항 내지 제8항 중의 어느 한 항에 의한 공정액용 필터링장치를 이용하여 공정액에 혼입되어 있는 이물질을 제거하기 위한 공정액용 필터링방법에 있어서,
    상기 복수의 볼 필터(52)에 상기 공정액을 통과시켜 상기 공정액에 혼입되어 있는 이물질을 상기 복수의 볼 필터(52)에 흡착하여 분리하는 흡착단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 공정액용 필터링방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 하나 이상의 교반익(24)을 구비한 교반축(26)을 회전시켜 상기 복수의 볼 필터(52)에 흡착된 상기 이물질을 분리하는 세척단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공정액용 필터링방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 세척단계는 상기 필터링 하우징(14)의 내부에 세정액을 공급하여 상기 복수의 볼 필터(52)를 세척하고 분리된 이물질을 포함하는 세정액은 상기 필터링 하우징(14)의 외부로 배출하는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공정액용 필터링방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 세척단계는 상기 급기구(16)로부터 상기 세정액 내부로 공기를 주입하여 기포를 발생시킴으로써 상기 이물질의 분리를 촉진하는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공정액용 필터링방법.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 세척단계는 상기 급기구(16)로부터 상기 필터링 하우징(14)의 내부로 공기를 주입하여 상기 이물질의 분리를 촉진하고, 상기 분리된 이물질은 상기 배기구(20)를 통하여 배기되는 공기와 함께 상기 필터링 하우징(14)의 외부로 배출하는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공정액용 필터링방법.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 세척단계의 완료시 상기 급기구(16)로부터 공기를 주입하면서 상기 하나 이상의 교반익(24)을 구비한 교반축(26)을 회전시켜 상기 복수의 볼 필터(52)를 건조하는 건조단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공정액용 필터링방법.
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