KR101267453B1

KR101267453B1 - Meterial feeder

Info

Publication number: KR101267453B1
Application number: KR1020110040797A
Authority: KR
Inventors: 유학도; 왕종회; 김광훈; 박재창; 성규준; 지봉선
Original assignee: 포토멕 주식회사; 웅진에너지 주식회사
Priority date: 2011-04-29
Filing date: 2011-04-29
Publication date: 2013-05-31
Also published as: KR20120122563A

Abstract

본 발명은 단결정 잉곳을 성장시키는 장치 내부에 설치되어 원료를 투입 시킬 수 있도록 하는 원료 투입기에 관한 것으로,
본 발명의 일 실시예에 따른 원료 투입기는, 챔버 내부에 장착되어 원료를 투입하는 원료 투입기로서, 길이 방향으로 연장되고 양 단부가 개방되는 외측 투입관; 상기 외측 투입관의 내부에 위치하며 내부에 공간을 형성하고 양 단부가 개방된 내측 투입관; 상기 외측 투입관 및 내측 투입관의 일 단부를 개폐가능 하도록 설치되며, 상기 외측 투입관과 결합되는 덮개; 및 상기 덮개에 연결되고 장력을 부여하거나 해제하는 와이어를 포함한다.The present invention relates to a raw material feeder installed inside a device for growing a single crystal ingot so as to feed a raw material,
A raw material dispenser according to an embodiment of the present invention includes a raw material dispenser mounted in a chamber for introducing a raw material therein, the external dispenser comprising: an outer dispenser tube extending in the longitudinal direction and having both ends opened; An inner injection pipe located inside the outer injection pipe and forming a space therein and having both ends opened; A cover which is installed to open and close one end of the outer charging pipe and the inner charging pipe and is coupled to the outer charging pipe; And a wire connected to the cover and imparting or releasing tension.

Description

Meterial feeder

본 발명은 원료 투입기에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 단결정 잉곳을 성장시키는 장치 내부에 설치되어 원료를 투입 시킬 수 있도록 하는 원료 투입기에 관한 것이다.
The present invention relates to a raw material feeder. More particularly, the present invention relates to a raw material feeder provided inside a device for growing a single crystal ingot so as to feed a raw material.

반도체 소자 혹은 태양 전지 등의 제조에 사용되는 기판은 주로 단결정 웨이퍼이며, 특히 실리콘 단결정 웨이퍼가 많이 사용된다. 이러한 단결정 웨이퍼는 일반적으로 종자 결정으로부터 단결정 잉곳을 성장시키고 이를 얇은 두께로 절단하여 만든다.A substrate used for manufacturing semiconductor devices or solar cells is mainly a single crystal wafer, and silicon single crystal wafers are used in particular. These monocrystalline wafers are generally made by growing monocrystalline ingots from seed crystals and cutting them to a thin thickness.

예컨대, 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치에 대하여 살펴보면, 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치는 내부에 공간이 형성되는 챔버, 챔버 내에 설치되어 다결정 실리콘 원료가 장입되고 용융되는 도가니, 도가니를 가열하여 다결정 실리콘 원료를 용융하여 실리콘 융액(silicon melt)으로 형성하는 도가니 가열 히터, 실리콘 종자 결정(silicon seed crystal)을 실리콘 융액에 침지하고 이를 서서히 인상시키는 인상 수단을 구비하여, 상기 종자 결정으로부터 소정 직경의 단결정 잉곳을 성장시킨다. For example, in a silicon single crystal ingot manufacturing apparatus, a silicon single crystal ingot manufacturing apparatus includes a chamber in which a space is formed, a chamber in which a polycrystalline silicon raw material is charged and melted, a crucible for melting the polycrystalline silicon raw material, A crucible heating heater formed by a silicon melt, and a pulling means for slowly immersing a silicon seed crystal in a silicon melt, thereby growing a single crystal ingot having a predetermined diameter from the seed crystal.

한편, 단결정 잉곳 제조 장치에 원료를 용이하게 투입하기 위하여, 잉곳 장치 내부에 설치하여 고체 원료를 투입하는 원료 투입기가 제안하고 있다. 종래의 고체 원료 투입기는 주로 석영 재질로 제조되며 내부에 고체 원료를 저장하는 공간을 가지며 개구부를 구비하는 용기 형태로, 단결정 잉곳 장치 내에 장착되어 개구부를 개방하여, 저장된 고체 원료를 배출한다. On the other hand, in order to easily feed a raw material into a single crystal ingot manufacturing apparatus, a raw material feeder is proposed, which is provided inside the ingot apparatus and into which a solid raw material is fed. The conventional solid material dispenser is mainly made of quartz and has a space for storing a solid material therein. The solid material dispenser is installed in a single crystal ingot device and opens the opening to discharge the stored solid material.

그러나, 이런 원료 투입기는 석영 재질로 제조되어 깨지기가 쉽고 강도가 약하여, 입자 크기가 크거나 불규칙한 형태의 고체 원료를 저장하기 어렵다. However, such a raw material feeder is made of quartz material and is fragile and weak in strength, so it is difficult to store a solid raw material having a large particle size or an irregular shape.

또한, 취급이 매우 조심스러워 작업성이 떨어지며, 고가의 비용이 소비된다. 이에 잉곳 제조 생산성이 저하된다.In addition, handling is very careful, resulting in poor workability and high cost. As a result, the productivity of the ingot production is lowered.

본 발명은 원료 투입기 특히, 단결정 잉곳 제조 장치에 사용될 수 있는 원료 투입기를 제공한다.The present invention provides a raw material feeder, particularly a raw material feeder that can be used in a single crystal ingot manufacturing apparatus.

본 발명은 크기가 큰 고체 원료를 다량 투입할 수 있고, 취급이 용이하고 작업성이 향상된 원료 투입기를 제공한다.The present invention provides a raw material feeder capable of feeding a large amount of a solid raw material of a large size, easy handling, and improved workability.

또한, 본 발명은 내부에 저장되는 원료의 오염을 방지할 수 있고 손상부의 교체가 용이한 원료 투입기를 제공한다.
In addition, the present invention provides a raw material dispenser that can prevent contamination of raw materials stored therein and can easily replace damaged parts.

본 발명의 일 실시예에 따른 원료 투입기는,According to an embodiment of the present invention,

챔버 내부에 장착되어 원료를 투입하는 원료 투입기로서, 길이 방향으로 연장되고 양 단부가 개방되는 외측 투입관; 상기 외측 투입관의 내부에 위치하며 내부에 공간을 형성하고 양 단부가 개방된 내측 투입관; 상기 외측 투입관 및 내측 투입관의 일 단부를 개폐가능 하도록 설치되며, 상기 외측 투입관과 결합되는 덮개; 및 상기 덮개에 연결되고 장력을 부여하거나 해제하는 와이어를 포함한다.1. An apparatus for introducing a raw material into a chamber, the apparatus comprising: an outer inlet pipe extending in the longitudinal direction and having both ends opened; An inner injection pipe located inside the outer injection pipe and forming a space therein and having both ends opened; A cover which is installed to open and close one end of the outer charging pipe and the inner charging pipe and is coupled to the outer charging pipe; And a wire connected to the cover and imparting or releasing tension.

상기 외측 투입관은 스텐레스 스틸이며, 내측 투입관은 석영인 것이 바람직하다.Preferably, the outer injection pipe is made of stainless steel and the inner injection pipe is made of quartz.

상기 내측 투입관과 상기 덮개 사이에 설치되며 길이 방향으로 관통되는 내부링을 포함할 수 있다.And an inner ring provided between the inner injection pipe and the cover and penetrating through the longitudinal direction.

상기 내부링은 상기 외측 투입관의 내측벽에 고정 설치될 수 있다.The inner ring may be fixedly installed on the inner wall of the outer injection pipe.

상기 내부링은 스텐렌스 스틸이며, 상기 내부링의 내경은 상기 내측 투입관의 외경 보다 크다.Wherein the inner ring is made of stainless steel and the inner ring has an inner diameter larger than an outer diameter of the inner injection pipe.

상기 와이어가 보호되도록 상기 와이어가 삽입되는 보호 튜브를 포함할 수 있다. And a protective tube into which the wire is inserted to protect the wire.

상기 와이어는 스텐렌스 스틸이며, 상기 보호 튜브는 석영 재질인 것이 바람직하다.Preferably, the wire is made of stainless steel, and the protective tube is made of quartz.

상기 외측 투입관의 상부 영역의 외측에 설치되는 가이드 기구를 포함할 수 있다. And a guide mechanism installed outside the upper region of the outer injection pipe.

상기 가이드 기구는 상기 원료 투입기의 이동 중심이 확보되도록 상기 외측 투입관의 외측에 등 간격으로 복수 개 설치되며 단부에 롤러를 구비한다. The guide mechanism is provided at a plurality of equidistant positions on the outer side of the outer injection pipe so as to secure the moving center of the raw material dispenser and has rollers at its ends.

상기 외측 투입관은 복수 개로 분할되며 결합 부재에 의하여 결합 분리 가능한 것이 바람직하다. It is preferable that the outer injection pipe is divided into a plurality of parts and can be coupled and separated by a coupling member.

상기 내측 투입관은 상부 단부에 외측 방향으로 돌출되는 단턱부가 형성되며, 상기 단턱부는 상기 외측 투입관의 상부 단부에 위치되는 것이 바람직하다.The inner injection pipe may have a stepped portion protruding outwardly from an upper end thereof, and the stepped portion may be located at an upper end of the outer injection pipe.

상기 외측 투입관의 외측에 상기 와이어와 연결되고 와이어를 지지하는 지지대를 포함할 수 있다.
And a support rod connected to the wire outside the outer injection pipe and supporting the wire.

본 발명의 실시예들에 따른 원료 투입기는 스텐레스 스틸 재질의 외측 투입관과 석영 재질의 내측 투입관을 구비하는 이중 구조로 크기가 크거나 불규칙 고체 원료도 내부에 저장하고 외부로 배출할 수 있으며, 내부에 저장되는 고체 원료의 오염을 방지한다. The raw material dispenser according to the embodiments of the present invention may have a double structure having an outer injection pipe made of stainless steel and an inner injection pipe made of quartz so that a large or irregular solid raw material can be stored therein and can be discharged to the outside, Thereby preventing contamination of the solid raw materials stored therein.

원료 투입기가 상대적으로 열악한 환경에 자주 노출되어 마모와 파손이 발생 하더라도, 교체가 용이하며, 작성업이 향상될 수 있다. 또한, 원료 투입기의 내부에 하부링을 설치하여 내측 투입관이 추락하는 것을 방지하고, 이로부터 석영 재질의 내측 투입관이 추락하여 발생할 수 있는 대형 사고를 이미 예방할 수 있다. Even if wear and breakage occur due to frequent exposure to a relatively poor environment of the raw material dispenser, replacement is easy and preparation work can be improved. In addition, a lower ring is provided inside the material dispenser to prevent the inner injection pipe from falling, and a large accident that may occur due to the fall of the quartz inner injection pipe can be already prevented.

또한, 원료 투입기의 와이어에 보호 튜브를 장착함으로써, 와이어가 고온 분위기에서 사용되더라도 안전하게 보호될 수 있고, 원료 투입기의 외면에 설치된 가이드 기구에 의해 원료 투입기 전체의 이동 중심을 확보할 수 있다. Further, by attaching the protective tube to the wire of the raw material charging device, the wire can be safely protected even if used in a high temperature atmosphere, and the moving center of the entire raw material charging device can be secured by the guide mechanism provided on the outer surface of the raw material charging device.

한편, 상기의 원료 투입기의 사용으로 오염이 방지된 원료를 단결정 잉곳 성장 장치에 용이하게 장입할 수 있어 성장되는 단결정 제품의 전기적 품질을 향상시킬 수 있으며, 원료 투입기를 오랜 기간 사용할 수 있어 비용을 저감할 수 있고 생산성을 향상시킬 수 있다.
On the other hand, it is possible to easily charge the contaminated raw material into the monocrystalline ingot growing apparatus by using the above-described raw material feeder, thereby improving the electrical quality of the grown single crystal product and reducing the cost by using the raw material feeding device for a long time And productivity can be improved.

도 1은 단결정 잉곳 성장 장치를 도시한 개략 단면도.
도 2는 본 발명의 실시예의 원료 투입기를 도시한 개략 사시도.
도 3은 도 2에 도시된 원료 투입기를 A-A’선으로 자른 단면도.
도 4 및 도5는 도 2에 도시된 원료 투입기의 일부 평면도.
도 6은 도 2에 도시된 원료 투입기를 B-B’선으로 자른 단면도.
도 7은 본 발명의 실시예의 원료 투입기가 단결정 잉곳 성장 장치 내에 장착된 모식도.
도 8은 본 발명의 실시예의 원료 투입기가 단결정 잉곳 성장 장치 내에 장착되고 이동되는 모식도.
도 9는 본 발명의 실시예의 원료 투입기를 이용하여 원료를 투입하는 과정를 나타낸 개념도이다.1 is a schematic cross-sectional view showing a single crystal ingot growing apparatus.
2 is a schematic perspective view showing a raw material dispenser of an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view taken along the line A-A 'of the raw material feeder shown in FIG. 2;
Fig. 4 and Fig. 5 are partial plan views of the raw material feeder shown in Fig. 2;
FIG. 6 is a cross-sectional view of the raw material injector shown in FIG. 2 taken along line B-B '. FIG.
7 is a schematic view of a raw material feeder of an embodiment of the present invention mounted in a single crystal ingot growing apparatus.
8 is a schematic diagram showing a raw material feeder of an embodiment of the present invention mounted and moved in a single crystal ingot growing apparatus.
FIG. 9 is a conceptual diagram illustrating a process for introducing a raw material using the raw material feeder of the embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 발명의 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면 상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. It should be understood, however, that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but may be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, To provide a complete description of the category. Wherein like reference numerals refer to like elements throughout.

도 1은 단결정 잉곳 성장 장치를 도시한 개략 단면도이고, 도 2는 본 발명의 실시예의 원료 투입기를 도시한 개략 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 원료 투입기를 A-A’선으로 자른 단면도이고, 도 4 및 도5는 도 2에 도시된 원료 투입기의 일부 평면도이며, 도 6은 도 2에 도시된 원료 투입기를 B-B’선으로 자른 단면도이다. 또한, 도 7은 본 발명의 실시예의 원료 투입기가 단결정 잉곳 성장 장치 내에 장착된 모식도이며, 도 8은 본 발명의 실시예의 원료 투입기가 단결정 잉곳 성장 장치 내에 장착되고 이동되는 모식도이고, 도 9는 본 발명의 실시예의 원료 투입기를 이용하여 원료를 투입하는 과정을 나타낸 개념도이다.FIG. 2 is a schematic perspective view showing a raw material feeder of the embodiment of the present invention. FIG. 3 is a sectional view taken along the line A-A 'of the raw material feeder shown in FIG. And FIGS. 4 and 5 are partial plan views of the raw material feeder shown in FIG. 2, and FIG. 6 is a cross-sectional view of the raw material feeder shown in FIG. 2 taken along line B-B '. 8 is a schematic diagram of a raw material feeder according to an embodiment of the present invention mounted and moved in a single crystal ingot growing apparatus, and FIG. 9 is a schematic view of a single crystal ingot growing apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 6 is a conceptual diagram illustrating a process of introducing a raw material using a raw material feeder of an embodiment of the present invention.

우선, 도 1을 참조하여, 단결정 잉곳 성장 장치를 설명한다. 단결정 잉곳 성장 장치는 챔버(11, 31)와 챔버 내에 설치되는 석영 도가니(13)와 석영 도가니(13)를 가열하는 히터(15)와 인상 수단(32)을 포함한다.First, with reference to Fig. 1, a single crystal ingot growing apparatus will be described. The single crystal ingot growing apparatus includes chambers 11 and 31 and a quartz crucible 13 provided in the chamber and a heater 15 for heating the quartz crucible 13 and a lifting means 32.

챔버(11, 31)는 내부에 공간을 형성하며 밀폐 가능한 용기로, 하부 챔버(11)과 상부 챔버(31)로 나누어진다. 하부 챔버(11)는 도가니(13) 및 히터(15) 등이 설치되어 고열이 발생 유지되는 공간을 가지며, 상부 챔버(31)는 상기 도가니(13)로부터 성장되는 잉곳을 인상시키는 공간을 가진다. 하부 챔버(11)와 상부 챔버(31)는 게이트 밸브(36)에 의해 분리 및 연통 가능하다. 즉 하부 챔버(11)와 상부 챔버(31)의 경계에 설치된 게이트 밸브(36)가 개방된 상태에서는 하부 챔버(11)와 상부 챔버(31)가 연통되며, 게이트 밸브(36)가 폐쇄된 상태에서는 하부 챔버(11)와 상부 챔버(31)가 분리 고립되고 각 공간의 내부 분위기를 별도로 제어할 수 있다. 챔버(11, 31)는 챔버에 연결된 배기 경로(17) 및 이에 연결된 펌프(미도시)에 의하여 진공 분위기로 형성될 수 있고, 챔버에 연결된 가스 유입 경로(35)를 통하여 가스가 유입될 수 있다. 상기 배기 경로(17)와 가스 유입 경로(35)의 설치 위치는 다양하게 변경될 수 있다. 예컨대, 배기 경로(17)는 하부 챔버(11)에 설치되고 가스 유입 경로(35)는 상부 챔버(31)에 설치될 수 있고, 배기 경로와 가스 유입 경로가 하부 챔버(11) 및 상부 챔버(31)에 각각 형성될 수도 있다. 하부 챔버(11) 내 하부에는 하부 챔버(11)의 바닥 면과 도가니(13)사이에 단열부재(미도시)가 설치될 수 있고, 이를 통해 열손실을 방지하거나 감소시킬 수 있다. The chambers 11 and 31 are divided into a lower chamber 11 and an upper chamber 31 as a sealable container which forms a space therein. The lower chamber 11 has a space in which a crucible 13 and a heater 15 are installed to generate and maintain a high temperature and the upper chamber 31 has a space for raising an ingot grown from the crucible 13. The lower chamber 11 and the upper chamber 31 are separated and communicable by the gate valve 36. The lower chamber 11 and the upper chamber 31 communicate with each other when the gate valve 36 provided at the boundary between the lower chamber 11 and the upper chamber 31 is opened and the gate valve 36 is closed The lower chamber 11 and the upper chamber 31 are separated and isolated, and the inner atmosphere of each space can be separately controlled. The chambers 11 and 31 can be formed in a vacuum atmosphere by means of an exhaust path 17 connected to the chamber and a pump (not shown) connected thereto, and the gas can be introduced through the gas inlet path 35 connected to the chamber . The installation positions of the exhaust path 17 and the gas inflow path 35 may be variously changed. For example, the exhaust path 17 may be provided in the lower chamber 11 and the gas inlet path 35 may be provided in the upper chamber 31, and the exhaust path and the gas inlet path may be formed in the lower chamber 11 and the upper chamber 31, respectively. A heat insulating member (not shown) may be installed between the bottom surface of the lower chamber 11 and the crucible 13 at the lower portion of the lower chamber 11 to prevent or reduce heat loss.

하부 챔버(11) 내에는 고체 원료 예를 들면, 다결정 실리콘 고체 원료가 용융되어 형성된 실리콘 융액(41)이 수용되는 석영 도가니(13)가 설치된다. 석영 도가니(13)는 외부가 흑연으로 이루어진 도가니 지지대(14)로 피복되며, 이 도가니 지지대(14)는 지지축(18) 상에 고정 설치된다. 이때 지지축(18)은 구동 수단(19)에 의해 회전될 수 있으며 석영 도가니(13)를 회전시키면서 상방으로 구동될 수도 있다. 석영 도가니(13)를 피복한 지지대(17)는 소정 간격을 두고 원통형의 히터(15)에 에워 싸여지며, 이 히터(15)는 열손실을 줄이기 위해 측벽 단열부재 즉, 보온통(16)에 의해 에워 싸여진다. 상기 히터(15)는 석영 도가니(13) 내에 충진되는 고순도의 다결정 실리콘 덩어리를 가열 용융하여 실리콘 융액(41)을 만든다. In the lower chamber 11, a quartz crucible 13 in which a solid raw material, for example, a silicon melt 41 formed by melting a polycrystalline silicon solid raw material, is accommodated. The quartz crucible 13 is covered with a crucible support 14 made of graphite and the crucible support 14 is fixed on the support shaft 18. At this time, the support shaft 18 may be rotated by the driving means 19 and may be driven upward while rotating the quartz crucible 13. [ The support table 17 covered with the quartz crucible 13 is surrounded by a cylindrical heater 15 at a predetermined interval and the heater 15 is heated by the side wall heat insulating member or the heat insulating cylinder 16 Lt; / RTI > The heater 15 heats and fuses a high-purity polycrystalline silicon ingot filled in the quartz crucible 13 to form a silicon melt 41.

상부 챔버(31)의 상부에는 케이블(33)을 감아 인상하는 인상 수단(32)이 설치되며, 상기 인상 수단(32)은 케이블(33)을 회전시킬 수 있다. 즉, 인상 수단(32)는 인상 수단(33) 하부에 연결되어 챔버(31, 11) 내부로 연장되는 케이블(33)을 상하로 이동시킬 수 있고 회전 시킬 수 있다. 케이블(33)의 하부 단부에는 석영 도가니(13) 내의 실리콘 융액(41)에 접촉되어 인상되면서 단결정 잉곳(43)을 성장시키는 종자 결정(seed crystal)을 장착할 수 있는 시드척(34)이 설치된다. 상기 시드척(34)은 종자 결정뿐만 아니라, 후술하는 원료 투입기(500)를 장착할 수도 있다. 또한, 상부 챔버(31)의 내부 측벽의 소정 위치에는 내측 수평 방향을 향하여 돌출된 스토퍼(37)가 형성되어 있다. 스토퍼(37)는 상부 챔버(31)의 하부 영역 측벽에 돌출 형성되며, 원료 투입기(500)의 이동을 중단시키며 이를 지지하는 역할을 수행한다. A lifting means 32 for lifting up the cable 33 is installed on the upper portion of the upper chamber 31 and the lifting means 32 can rotate the cable 33. That is, the lifting means 32 can move the cable 33, which is connected to the lower portion of the lifting means 33 and extends into the chambers 31, 11, up and down. A seed chuck 34 capable of mounting a seed crystal for pulling up the single crystal ingot 43 while being brought into contact with the silicon melt 41 in the quartz crucible 13 is installed at the lower end of the cable 33 do. The seed chuck 34 may be equipped not only with seed crystals, but also with a raw material feeder 500 to be described later. A stopper 37 protruding toward the inner horizontal direction is formed at a predetermined position of the inner side wall of the upper chamber 31. The stopper 37 protrudes from the side wall of the lower region of the upper chamber 31 to stop the movement of the material dispenser 500 and to support the movement of the material dispenser 500.

하부 챔버(11) 의 상부면 일부에는 투과창(12)이 설치되어 하부 챔버(11) 내부를 관찰할 수 있고, 상기 투과창(12)의 상측에 센서(22)를 설치하여 챔버(11,31) 내에서 성장되는 잉곳의 상태를 관찰하거나, 잉곳의 직경을 측정할 수도 있다. A transparent window 12 is installed on a part of the upper surface of the lower chamber 11 to observe the inside of the lower chamber 11 and a sensor 22 is provided on the upper side of the transmission window 12, 31) or to measure the diameter of the ingot.

또한, 잉곳 성장 장치는 제어기(21)를 구비하며, 제어기(21)는 히터(15)와 연결되어 이를 제어하므로 도가니(13)의 가열 온도를 제어하며, 구동 수단(19) 및 인상 수단(32)과 연결되고 이를 제어하여 인상 속도 및 회전 속도 등을 제어할 수 있다. 또한, 제어기(21)는 상기 센서(22)와 연결되어 센서(22)로부터 측정 신호를 수신하고 이를 기초로 히터(15), 구동 수단(19) 및 인상 수단(32)을 제어할 수 있다. The ingot growing apparatus includes a controller 21. The controller 21 is connected to and controls the heater 15 to control the heating temperature of the crucible 13 and controls the driving means 19 and the lifting means 32 And controls the pulling-up speed and the rotation speed. The controller 21 is connected to the sensor 22 to receive a measurement signal from the sensor 22 and can control the heater 15, the driving means 19 and the lifting means 32 based on the measurement signal.

도 1 내지 도6을 참조하여, 원료 투입기(500)를 상세히 설명한다. 원료 투입기(500)는 원료를 저장하고 상기 도가니(13)에 원료 즉, 다결정 실리콘 고체 덩어리를 투입하기 위한 수단이다. 원료 투입기(500)는 케이블(33) 끝 단부의 시드척(34)에 장착 및 탈착 가능하며, 시드척(34)에 장착된 상태에서 인상 수단(32)에 의해 챔버(11, 31) 내에서 상하로 이동 가능하다. 1 to 6, the raw material feeder 500 will be described in detail. The raw material feeder 500 is a means for storing a raw material and inputting a raw material, that is, a solid body of polycrystalline silicon, into the crucible 13. The raw material dispenser 500 can be attached to and detached from the seed chuck 34 at the end of the cable 33 and can be attached to the seed chuck 34 by the lifting means 32 in the chamber 11, It is movable up and down.

원료 투입기(500)는 길이 방향으로 연장되고 양 단부가 개방되는 외측 투입관(501, 502)과, 상기 외측 투입관(501, 502)의 내부에 위치하며 내부에 공간을 형성하고 양 단부가 개방된 내측 투입관(511)과 상기 외측 투입관(501, 502) 및 내측 투입관(511)의 일 단부를 개폐가능 하도록 설치되며 상기 외측 투입관(501, 502)과 결합되는 덮개(503)과 상기 덮개(503)에 장력을 부여하거나 해제하도록 상기 덮개에 연결되는 와이어(507)를 포함한다. 이에 하단부가 덮개(503)로 폐쇄된 내측 투입관(511)의 내부에 원료가 저장될 수 있다. The raw material dispenser 500 includes outer injection pipes 501 and 502 extending in the longitudinal direction and having both ends opened, and an inner space formed inside the outer injection pipes 501 and 502, A lid 503 which is installed to open and close one end of the inner injection pipe 511 and the outer injection pipes 501 and 502 and the inner injection pipe 511 and is coupled to the outer injection pipes 501 and 502, And a wire 507 connected to the lid to impart or release tension to the lid 503. Accordingly, the raw material can be stored inside the inner injection pipe 511 whose lower end is closed by the lid 503.

원료 투입기(500)의 투입관은 외측 투입관(501, 502)과 내측 투입관(511)을 구비하는 이중관 구조이며, 길이 방향으로 길게 연장된 파이프 형상이다. 도면에서는 원통형 파이프 형상이 예시되었으나, 내부에 원료 저장 공간이 형성되면 충분하고 형상이 한정되지는 않는다. 즉, 관의 단면은 원, 타원, 다각형, 등 다양하게 변경될 수 있다. 특히, 원료 투입기가 장착되는 장비에 따라 형상이 변경될 수 있다. 외측 투입관(501, 502)은 스텐레스 스틸이며, 내측 투입관(511)은 석영인 것이 좋다. 스텐레스 스틸 재질의 외측 투입관(501, 502)은 원료 투입기에 강도를 부여하며 취급을 용이하게 하고, 크기가 크고 불규칙한 고체 원료도 내부에 저장 가능하도록 한다. 또한, 석영 재질의 내측 투입관(511)은 내부에 저장되는 원료의 오염을 방지한다. The feed pipe of the raw material feeder 500 is a double pipe structure having outer feed pipes 501 and 502 and an inner feed pipe 511 and is a pipe shape elongated in the longitudinal direction. Although the cylindrical pipe shape is illustrated in the drawing, it is sufficient if the material storage space is formed therein, and the shape is not limited. That is, the cross section of the pipe can be changed variously such as circle, ellipse, polygon, and the like. In particular, the shape may be changed depending on the equipment in which the raw material feeder is mounted. The outer injection pipes 501 and 502 are made of stainless steel and the inner injection pipe 511 is made of quartz. The outer injection pipes 501 and 502 made of stainless steel provide strength to the material dispenser, facilitate handling, and allow large-sized, irregular solid materials to be stored therein. Further, the quartz inner injection pipe 511 prevents contamination of the raw materials stored therein.

외측 투입관(501, 502)은 복수 개로 분할되며 결합 부재에 의하여 결합 분리 가능하도록 제작될 수 있다. 즉, 도면에 나타낸 바와 같이, 길이 방향으로 길게 연장된 제1관(501) 및 상기 제1관 보다 길이가 짧고 상기 제1관의 하부에 결합되는 제2관으로 이루어질 수 있다. 물론 2개 보다 많은 개수로 분할 할 수도 있다. 상기 제1관의 하단부에는 외측 수평 방향으로 돌출되는 제1 결합 단턱이 형성되고, 상기 제2관의 상단부에는 외측 수평 방향으로 돌출되는 제2 결합 단턱이 형성되며, 상기 제1 결합 단턱과 제2 결합 단턱이 결합 부재(505)에 의해 결합될 수 있다. 예컨대, 각 결합 단턱에 관통공이 형성되고 이들 관통공을 통과하는 볼트와 이에 체결되는 너트로 결합될 수 있다. 이외에도 상기 제1관과 제2과는 다양한 방식으로 결합될 수 있다. 이처럼, 외측 투입관(501, 502)이 결합 분리 가능하도록 제작되므로 사용 중 상대적으로 열악한 환경에 자주 노출되어 마모와 파손이 발생할 수 있는 하부에 위치하는 관, 즉 제2관(502)을 용이하게 교체할 수 있다. The outer injection pipes (501, 502) are divided into a plurality of parts and can be manufactured to be detachable by a coupling member. That is, as shown in the figure, the first tube 501 may be a long tube, and the second tube may be shorter than the first tube and coupled to the lower portion of the first tube. Of course, it can be divided into more than two. A first coupling step is formed at a lower end portion of the first tube and a second coupling step is formed at the upper end of the second tube so as to protrude outward in the horizontal direction, The engaging step can be engaged by the engaging member 505. For example, through holes may be formed at each of the coupling edges, and may be combined with a bolt passing through the through holes and a nut fastened thereto. In addition, the first tube and the second tube may be combined in various ways. Since the outer injection pipes 501 and 502 are manufactured so as to be detachable from each other, the second pipe 502, which is located at the lower portion where wear and breakage may occur frequently, is exposed to relatively poor environment during use. Can be replaced.

내측 투입관(511)은 상부 단부에 외측 수평 방향으로 돌출되는 단턱부(511a)가 형성되며, 단턱부(511a)는 외측 투입관(501)의 상부 단부에 위치된다. 이에 의하여 내측 투입관(511)은 외측 투입관에 지지되며 고정 설치될 수 있다. 또한, 내측 투입관(511)과 덮개(503) 사이에는 내부링(506)이 설치될 수 있다. 내부링(506)은 길이 방향으로 관통되는 링형으로 그 형상이 한정되지는 않는다. 즉, 도면에는 원형 링으로 표시되어 있으나, 원형에 한정되지 않으며 타원, 다각형, 등 다양하게 변경될 수 있다. 특히, 투입관의 형상에 따라 형상이 변경되는 것이 바람직하다. 내부링(506)은 외측 투입관의 내측벽에 고정 설치되며, 상세하게는 외측 투입관의 하부 영역 즉, 제2관(502)의 하단부에 고정 설치된다. 또한 내부링(506)은 내경(D1)이 내측 투입관(511)의 외경(D2) 보다 크게 제조된다. 이러한 하부링(503)의 설치에 의하여 내측 투입관(511)이 추락하는 것을 방지할 수 있다. 특히 내측 투입관(511)이 중간에서 깨어져서 상부 단턱부(511a)의하여 고정되지 않는 부분이 생기더라도, 내측 투입관(511)이 내부링(506)에 걸려 지지되므로 하방으로 추락하는 것을 방지할 수 있다. The inner injection pipe 511 has a step portion 511a protruding outward in the horizontal direction at an upper end thereof, and the step portion 511a is located at the upper end of the outer injection pipe 501. Accordingly, the inner injection pipe 511 is supported by the outer injection pipe and can be fixedly installed. An inner ring 506 may be provided between the inner injection pipe 511 and the lid 503. The shape of the inner ring 506 is not limited to a ring shape that penetrates in the longitudinal direction. That is, although the figure is shown with a circular ring, it is not limited to a circular shape, and may be variously changed, such as an ellipse, a polygon, and the like. Particularly, it is preferable that the shape is changed according to the shape of the injection pipe. The inner ring 506 is fixed to the inner side wall of the outer injection tube, and more specifically, is fixed to the lower region of the outer injection tube, that is, the lower end of the second tube 502. The inner ring 506 is manufactured such that the inner diameter D1 is larger than the outer diameter D2 of the inner injection tube 511. [ By the provision of the lower ring 503, it is possible to prevent the inner insertion tube 511 from falling down. The inner injection pipe 511 is caught by the inner ring 506 even if the inner injection pipe 511 breaks in the middle and is not fixed by the upper step portion 511a, have.

덮개(503: 503a, 503b)은 투입관(501, 502, 511)의 일단부 즉, 하측 단부를 개방 및 폐쇄하도록 설치되며, 외측 투입관(501, 502) 특히 제2관(502)의 하단부에 여닫이 도어 방식으로 한 쌍이 설치된다. 즉 덮개는 한 쌍의 덮개판(503a, 503b)이 밀착되어 투입관의 일 단부를 덮도록 형성되며, 외측 투입관의 외경과 같거나 이 보다 약간 큰 직경을 가진다. 도면에 표시된 바와 같이 전체 덮개는 원형이며, 각 덮개판(503a, 503b)이 반원 형상일 수 있다. 그러나 그 형상이 한정되지는 않는다. 즉, 원형에 한정되지 않으며 타원, 다각형, 등 다양하게 변경될 수 있고, 투입관 단부 형상에 따라 형상이 변경되는 것이 바람직하다. 또한, 덮개(503)는 스텐레스 스틸 재질로 제조되는 것이 바람직하다.The cover 503 (503a, 503b) is provided to open and close one end or lower end of the inlet pipes 501, 502, 511, and the outer inlet pipes 501, 502, And a pair of hinged doors are installed. That is, the cover is formed so that the pair of cover plates 503a and 503b are in close contact with each other so as to cover one end of the introduction pipe, and has a diameter equal to or slightly larger than the outer diameter of the outside injection pipe. As shown in the figure, the entire lid is circular, and each lid plate 503a, 503b may be semicircular. However, the shape is not limited. That is, the shape is not limited to a circle but may be variously changed, such as an ellipse, a polygon, etc., and it is preferable that the shape is changed according to the shape of the end of the injection pipe. Further, the lid 503 is preferably made of stainless steel.

각 덮개판(503a, 503b)과 제2관(502)의 하단부는 경첩(504)에 의해 결합되어 경첩을 중심으로 소정 각도로 회전 이동 가능하다. 또한, 각 덮개판(503a, 503b)은 소정 위치에 장력 부여 와이어(507)가 연결되는 돌출부(508)를 구비한다. 각각의 돌출부(508)은 각 덮개판(503a, 503b)이 서로 마주 보는 위치에 인접하여 형성된다. 즉, 돌출부(508)는 상기 경첩(504)와 이격되어 각 덮개판(503a, 503b)의 개방 단부의 양측에 외측 방향으로 돌출되어 설치된다. 도면에서는 하나의 덮개판에 돌출부가 2개씩 형성된 구조를 예시하나, 이에 한정된 것은 아니며, 2개 이상이거나 이하 일 수 있다. 다만, 각 덮개판에 돌출부가 2개씩 형성되면 이에 연결되는 와이어(507)를 통해 전체 투입관의 하중을 충분히 견딜 수 있고, 와이어(507)에 장력을 부여하거나 해제하는 것이 용이하다. The cover plates 503a and 503b and the lower end of the second tube 502 are coupled by a hinge 504 and are rotatable about the hinge at a predetermined angle. Each of the cover plates 503a and 503b has a protrusion 508 to which a tension applying wire 507 is connected at a predetermined position. Each protrusion 508 is formed adjacent to the position where the cover plates 503a and 503b are opposed to each other. That is, the protrusions 508 are spaced apart from the hinge 504 and protrude outward on both sides of the open ends of the cover plates 503a and 503b. In the drawing, two protrusions are formed on one cover plate, but the present invention is not limited thereto and may be two or more. However, if two protrusions are formed on each cover plate, it is possible to sufficiently withstand the load of the entire input tube through the wire 507 connected thereto, and it is easy to apply tension to the wire 507 or release it.

상기의 각 돌출부(508)에는 와이어(507)가 각각 연결되며 와이어(507)는 길이 방향으로 길게 연장되어 투입관 외측에 구비되는 지지대(531)와 연결된다. 와이어(507)에 장력이 부여되어 팽팽히 당겨진 상태에서는 덮개(503)가 투입관을 폐쇄하며, 장력이 해제되어 아래로 느려 드린 상태에서는 덮개(503)가 투입관을 개방한다. 또한, 이때, 상기의 경첩(504)와 와이어(507)에 의하여 각 덮개판(503a, 503b)이 소정 각도로 회전 이동 가능하다. 예컨대, 기준 바닥면(점선 표시)에 대하여 덮개(503)가 0 에서 90도 사이의 각도도 이동할 수 있다. 이동 각도가 제로인 경우는 덮개(503)가 투입관의 개방단부를 폐쇄하며, 이동 각도가 90도 인 경우는 상기 개방단부가 완전히 오픈되며, 그 사이의 각도에서는 일부 개방된다. A wire 507 is connected to each of the protrusions 508, and the wire 507 is connected to a support 531 extending outwardly in the longitudinal direction and provided outside the input tube. In the state in which tension is applied to the wire 507 and tension is applied, the lid 503 closes the inlet tube, and when the tension is released and the tube 507 is slowed down, the lid 503 opens the inlet tube. Also, at this time, the cover plates 503a and 503b are rotatably movable at a predetermined angle by the hinge 504 and the wire 507. For example, the cover 503 can move an angle between 0 and 90 degrees with respect to the reference floor (dotted line). When the moving angle is zero, the lid 503 closes the open end of the charging tube. When the moving angle is 90 degrees, the open end is completely opened, and partly opened at an angle therebetween.

와이어(507)은 스텐레스 스틸 재질로 제조되는 것이 바람직하며, 와이어(507)의 하부 영역은 석영 튜브(509)에 의해 보호된다. 즉, 와이어(507)의 하부가 석영 튜브(509)에 의해 둘러싸이며, 석영 튜브(509)는 상기 돌출부(508)에 걸려 지지된다. 와이어(507)가 석영 튜브(509)에 의해 보호됨에 의하여 하측 방향으로부터 튀어 오르는 원료 파편들로부터 와이어(507)를 보호할 수 있다. 예컨대, 원료 투입기(500)를 실리콘 융액이 수용된 도가니(13) 상부에 위치시키고, 고체 원료를 투입하는 경우 도가니(13)의 고온의 융액 파편이 상측 방향으로 튀어 오르게 되고 이들이 원료 투입기(500) 하부 영역과 충돌하게 되는 데, 심한 경우 와이어가 끊어 질 수도 있으나, 본 발명 실시예는 석영 튜브(509)를 구비하여 와이어(507)를 효율적으로 보호할 수 있다.The wire 507 is preferably made of a stainless steel material and the lower region of the wire 507 is protected by a quartz tube 509. That is, the lower portion of the wire 507 is surrounded by the quartz tube 509, and the quartz tube 509 is held by the protruding portion 508. The wire 507 is protected by the quartz tube 509 to protect the wire 507 from the raw material fragments that protrude from the lower direction. For example, when the raw material injector 500 is placed above the crucible 13 containing the silicon melt and the solid raw material is charged, the high temperature melt fragments of the crucible 13 are sprung upward, However, the embodiment of the present invention may include the quartz tube 509 to efficiently protect the wire 507. [0064] As shown in FIG.

와이어(507)은 투입관 외측에 구비되는 지지대(531)와 연결된다. 지지대(531)은 플레이트 형상으로 투입관의 직경 방향으로 연장 형성되며, 투입관 외부에서 복수의 와이어를 지지하고 장력을 부여 및 해제한다. 지지대(531)의 상부에는 상부 방향으로 연장 형성된 후크(532)가 연결되며, 후크(532)는 끝단부가 단결정 잉곳 성장 장치의 시드척(34)에 장착 및 탈착 가능하다. 지지대(531)와 후크(532)는 스텐레스 스틸 재질로 제조될 수 있다.The wire 507 is connected to a supporter 531 provided outside the injection pipe. The support base 531 extends in the radial direction of the injection pipe in the form of a plate, supports a plurality of wires outside the injection pipe, and applies and releases tension. A hook 532 extending upwardly is connected to the upper portion of the supporter 531 and an end of the hook 532 is attachable to and detachable from the seed chuck 34 of the single crystal ingot growing apparatus. The support base 531 and the hook 532 may be made of stainless steel.

한편, 외측 투입관(501, 502)의 상부 영역의 외측에는 걸림턱(522)이 형성된다. 걸림턱(522)은 외측 투입관 특히 제1관(501)의 상부 영역의 외부면을 따라서 수평 외측 방향으로 돌출되도록 형성된다. 이러한 걸림턱(522)은 상술한 상부 챔버(31)의 하부 영역 측벽에 돌출 형성된 스토퍼(37)에 걸려 지지되는 역할을 한다. 걸림턱(522)은 스텐레스 스틸 재질로 제조될 수 있다.On the other hand, a latching jaw 522 is formed on the outer side of the upper region of the outside injection pipes 501, 502. The latching jaw 522 is formed so as to protrude in the horizontal outward direction along the outer injection pipe, particularly the outer surface of the upper region of the first pipe 501. The stopper 522 is engaged with the stopper 37 protruding from the side wall of the lower region of the upper chamber 31. The stopping jaw 522 may be made of stainless steel.

상술한 와이어(507), 지지대(531) 및 걸림턱(522)을 이용하여 원료 투입기(500)를 지지하고 덮개(503)를 개폐한다. 즉, 원료 투입기(500) 내에 원료를 저장하고 지지대(531)를 상방으로 당겨 와이어(507)에 장력이 부여된 상태에서는 덮개(503)이 폐쇄된다. 또한, 원료 투입기(500)를 이동하여 걸림턱(522)이 외부 부재 예컨대 단결정 잉곳 성장 장치의 스토퍼(37)에 걸려 지지되면 원료 투입기(500)는 정지하며, 와이어(507)에 걸린 장력이 해제되고 내부의 원료에 가해지는 중력에 의해 덮개판(503a 503b)가 움직이며 덮개(503)가 열리고 내부의 원료가 배출된다.The raw material injector 500 is supported by using the wire 507, the support stand 531 and the engagement protrusion 522 described above and the lid 503 is opened and closed. That is, the raw material is stored in the raw material feeder 500 and the lid 503 is closed in a state in which tension is applied to the wire 507 by pulling the support table 531 upward. When the stopper 522 is hooked on the stopper 37 of an external member such as a single crystal ingot growing apparatus by moving the feeder 500, the feeder 500 stops and the tension on the wire 507 is released The cover plates 503a and 503b are moved by the gravity acting on the raw materials inside, and the lid 503 is opened and the raw materials are discharged.

또한, 외측 투입관(501, 502)의 상부 영역의 외측에는 가이드 기구(521)가 연결 설치된다. 가이드 기구(521)는 외측 투입관 특히 제1관(501)의 상부 영역 외부면에서 수평 외측 방향으로 돌출되도록 형성되며, 수평면에서 등 간격으로 복수 개 설치되고, 단부에 롤러를 구비한다. 가이드기구(521)는 걸림턱(522) 보다 상부에 형성되는 것이 좋고, 스텐레스 스틸 재질로 제조될 수 있다. 이로부터 가이드 기구(521)는 원료 투입기(500) 전체의 이동 중심을 확보할 수 있다. 특히, 원료 투입기(500)가 단결정 잉곳 성장 장치 내부에 장착되어 이동하면서, 원료를 투입할 때, 원료 투입기(500)의 이동을 용이하게 하고, 중심을 정확히 맞출 수 있다(도7 참조). 이에 단결정 잉곳 성장 장치 내 도가니의 정확한 위치에 원료를 투입할 수 있다. A guide mechanism 521 is connected to the outside of the upper region of the outer injection pipes 501 and 502. The guide mechanism 521 is formed so as to protrude in the horizontal outward direction from the outer injection pipe, particularly the outer surface of the upper region of the first pipe 501, and a plurality of the guide mechanisms 521 are provided at equal intervals in the horizontal plane. The guide mechanism 521 may be formed above the latching jaw 522 and may be made of stainless steel. From this, the guide mechanism 521 can secure the movement center of the entire material dispenser 500. Particularly, when the raw material feeder 500 is mounted inside the single crystal ingot growing apparatus and moves, when the raw material is fed, the raw material feeder 500 can be easily moved and the center can be precisely adjusted (see FIG. 7). Therefore, it is possible to feed the raw material to the precise position of the crucible in the single crystal ingot growing apparatus.

하기에서는 도7 내지 도9를 참조하여, 원료 투입기(500)가 원료를 투입하는 과정을 설명한다. Hereinafter, with reference to FIGS. 7 to 9, a process of introducing the raw material into the raw material feeder 500 will be described.

즉, 본 발명 실시예의 원료 투입기(500)를 이용하여, 도7에 나타낸 바와 같이, 단결정 잉곳 성장 장치와 같이 밀폐 가능한 챔버 내부에 설치되는 도가니에 원료를 투입 방법을 예시적으로 설명한다. 우선, 진공 밀폐된 챔버의 게이트 밸브(36)를 폐쇄하고 상부 챔버(31) 및 하부 챔버(11)로 분리하고, 상기 상부 챔버(31)를 대기압으로 전환하고 그 내부에 원료를 저장한 원료 투입기(500)을 장착한다. 즉, 원료 투입기(500)의 후크(532)를 챔버 내의 시드척(34)에 걸어서 장착할 수 있다. 7, a method of introducing a raw material into a crucible provided inside a sealable chamber, such as a single crystal ingot growing apparatus, will be exemplified by using the raw material feeder 500 of the embodiment of the present invention. First, the gate valve 36 of the vacuum-sealed chamber is closed and separated into the upper chamber 31 and the lower chamber 11, and the raw material is introduced into the chamber 31, (500). That is, the hook 532 of the raw material injector 500 can be attached to the seed chuck 34 in the chamber.

이어서, 도8에 나타낸 바와 같이, 게이트 밸브(36)를 오픈하여 상부 챔버(31) 및 하부 챔버(11)를 결합 연통시키고, 원료 투입기(500)를 하부 챔버(11) 쪽으로 이동하고, 원료 투입기(500)를 오픈하여 도가니(13)에 원료를 장입한다. 즉, 상부 챔버(31) 내의 원료 투입기(500)를 하방으로 이동하여 원료 투입기(500)의 걸림턱(522)이 상부 챔버(31) 내의 스토퍼(37)에 걸려 정지되도록 한다. 이후 와이어(507)의 장력을 해제하고 덮개(503)를 개방하여 원료를 도가니(13)로 투입한다. 8, the gate valve 36 is opened so that the upper chamber 31 and the lower chamber 11 are communicated with each other, the raw material injector 500 is moved toward the lower chamber 11, (500) is opened to load the raw material into the crucible (13). That is, the raw material dispenser 500 in the upper chamber 31 is moved downward so that the stoppers 522 of the raw material dispenser 500 are caught by the stoppers 37 in the upper chamber 31 and stopped. Thereafter, the tension of the wire 507 is released, and the lid 503 is opened to feed the raw material into the crucible 13.

이때 도9에 나타내었듯이, 원료 투입기(500)의 덮개를 하측 방향으로 회전 이동시켜 투입관의 단부를 개방하고, 내부에 저장된 원료 예컨대 다결정 실리콘 고체 덩어리를 배출하여, 도가니(13) 내로 투입한다. 원료 투입 시에 투입량 및 투입속도는 덮개(503)의 개방 정도에 따라 제어된다. 즉, 도8의 (b)와 같이 덮개(503)를 일부 개방하여 소량씩 투입할 수도 있고, 도8의 (c)와 같이 덮개(503)를 완전히 개방하여 다량을 신속하게 투입할 수도 있다.At this time, as shown in FIG. 9, the lid of the raw material injector 500 is rotated downward to open the end of the charging pipe, and the raw material such as polysilicon solid lumps stored therein is drained and introduced into the crucible 13. The input amount and the input speed at the time of inputting the raw material are controlled according to the degree of opening of the lid 503. That is, as shown in FIG. 8B, the lid 503 may be partially opened, and a small amount of the lid 503 may be introduced. Alternatively, a large amount of the lid 503 may be rapidly opened by fully opening the lid 503 as shown in FIG. 8C.

도가니(13)에 원료를 원하는 만큼 장입한 후에는 상기 원료 투입기(500)를 상부 챔버(31)로 이동하고, 게이트 밸브(36)를 폐쇄하여 상부 챔버(31) 및 하부 챔버(11)를 분리하고, 상부 챔버(31)에 위치한 원료 투입기(500) 탈착 제거한다. 이후, 원하는 공정을 진행하게 된다. The raw material injector 500 is moved to the upper chamber 31 and the gate valve 36 is closed to separate the upper chamber 31 and the lower chamber 11 from each other And the raw material injector 500 located in the upper chamber 31 is removed and removed. Thereafter, the desired process proceeds.

본 발명의 실시예들에서는 잉곳 성장 장치에 적용되는 경우를 예로 들어 설명하였지만, 잉곳 성장 장치 이외의 다양한 장치에서도 본 발명 실시예의 원료 투입기를 사용할 수 있다. 특히 고온 고압, 진공 등 내부 환경이 열악한 조건의 챔버 내부에 원료를 투입하고자 할 경우 매우 효율적으로 이용될 수 있다. Although the embodiments of the present invention have been described by taking the case of applying to the ingot growing apparatus as an example, the raw material introducing apparatus of the embodiment of the present invention can also be used in various apparatuses other than the ingot growing apparatus. Especially, when the raw material is to be introduced into a chamber having a poor internal environment such as high temperature and high pressure and vacuum, it can be used very efficiently.

이상, 본 발명에 대하여 전술한 실시예들 및 첨부된 도면을 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 후술되는 특허청구범위에 의해 한정된다. 따라서, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 후술되는 특허청구범위의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명이 다양하게 변형 및 수정될 수 있음을 알 수 있을 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit of the following claims.

11: 하부 챔버 31: 상부 챔버
13: 도가니 15: 히터
32: 인상 수단 500: 장입기
501, 502: 외측 투입관 511: 내측 투입관
503: 덮개 507: 와이어 11: lower chamber 31: upper chamber
13: crucible 15: heater
32: Impression means 500:
501, 502: Outside injection tube 511: Inner injection tube
503: cover 507: wire

Claims

A raw material dispenser mounted in a chamber for introducing a raw material,
An outer injection pipe extending in the longitudinal direction and having both ends open;
An inner injection pipe located inside the outer injection pipe and forming a space therein and having both ends opened;
A cover which is installed to open and close one end of the outer charging pipe and the inner charging pipe and is coupled to the outer charging pipe; And
A wire connected to the cover and imparting or releasing tension;
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The method according to claim 1,
Wherein the outer injection pipe is made of stainless steel and the inner injection pipe is made of quartz.

The method according to claim 1 or 2,
And an inner ring installed between the inner injection pipe and the cover and penetrating in the longitudinal direction.

The method of claim 3,
Wherein the inner ring is fixed to an inner wall of the outer injection pipe.

The method of claim 3,
Wherein the inner ring is made of stainless steel and the inner diameter of the inner ring is larger than the outer diameter of the inner injection pipe.

The method according to claim 1 or 2,
And a protective tube into which the wire is inserted so that the wire is protected.

The method of claim 6,
Wherein the wire is made of stainless steel, and the protective tube is made of quartz.

The method according to claim 1 or 2,
And a guide mechanism provided outside the upper region of the outer injection pipe.

The method of claim 8,
Wherein the guide mechanism includes a plurality of rollers disposed at equal intervals on the outer side of the outer injection pipe so as to secure a moving center of the raw material dispenser.

The method according to claim 1 or 2,
Wherein the outer injection pipe is divided into a plurality of parts and is detachably detachable by a coupling member.

The method according to claim 1 or 2,
Wherein the inner injection pipe has a step portion protruding outwardly at an upper end thereof and the step portion is located at an upper end portion of the outer injection pipe.

The method according to claim 1 or 2,
And a support rod connected to the wire outside the outer injection pipe and supporting the wire.