KR101260811B1

KR101260811B1 - Stage apparatus

Info

Publication number: KR101260811B1
Application number: KR1020117022986A
Authority: KR
Inventors: 요시하루 나카토미
Original assignee: 요시하루 나카토미
Priority date: 2010-06-02
Filing date: 2011-03-29
Publication date: 2013-05-06
Also published as: WO2011152109A1; JPWO2011152109A1; CN102396032B; KR20110138227A; TWI470646B; CN102396032A; TW201218210A; JP4838402B1

Abstract

소형이며 그리고 간이 구조이면서, 가동 스테이지만이 용이하게 그리고 안정적으로 슬라이드함과 동시에, 가동 스테이지를 고정할 때의 백래시(backlash)나, 고정 후의 이동이 적은 스테이지 기구를 제공한다.
고정 스테이지와, 당해 고정 스테이지의 표면을 따라 슬라이드하는 가동 스테이지를 포함하는 스테이지 기구로서, 고정 스테이지에 형성한 스폿 패이싱(spot facing)부에, 이송 나사 및 한 개 또는 두 개 이상의 백래시 흡수 부재가 설치되어 있으며, 그리고, 이송 나사의 이송에 동기하여, 가동 스테이지를 슬라이드시키기 위한 연결 부재가 설치되어 있다.A compact and simple structure provides a stage mechanism in which only the movable stage slides easily and stably, and at the same time, there is little backlash when fixing the movable stage and less movement after fixing.
A stage mechanism comprising a fixed stage and a movable stage that slides along the surface of the fixed stage, wherein a spot facing portion formed in the fixed stage includes a feed screw and one or more backlash absorbing members. A connection member for sliding the movable stage is provided in synchronization with the transfer of the feed screw.

Description

Stage mechanism {STAGE APPARATUS}

본 발명은 소형이며 그리고 구조가 간이하면서, 고정 스테이지에 대하여, 정밀 기기 등의 워크가 장착된 가동 스테이지만이 용이하게 그리고 안정적으로 슬라이드함과 동시에, 가동 스테이지를 고정할 때의 백래시(backlash)나, 가동 스테이지를 고정한 후에 있어서의 이동이 적은 스테이지 기구에 관한 것이다.The present invention is small in size and simple in structure, and only a movable stage equipped with a work such as a precision instrument slides easily and stably with respect to the fixed stage, and at the same time, there is a backlash in fixing the movable stage. It is related with the stage mechanism with little movement after fixing a movable stage.

종래, 절삭, 연삭, 연마 등을 행하는 가공기나 현미경 등을 사용함에 있어서, 워크를 설치하기 위한 스테이지 기구나, 그러한 스테이지 기구에 포함되는 스테이지의 고정 장치가 각종 제안되어 있다.Conventionally, in using a processing machine, a microscope, etc. which perform cutting, grinding, grinding | polishing, etc., the stage mechanism for installing a workpiece | work and the fixing apparatus of the stage contained in such a stage mechanism are proposed variously.

즉, 기본적으로, 고정 스테이지 및 가동 스테이지를 구비하고 있으며, 예를 들면, 이송 나사와, 이송 손잡이와, 가동 샤프트가 일체로 된 마이크로미터 헤드 등을 고정 스테이지측에 장착함과 동시에, 가동 스테이지측에, 스토퍼를 장착한 스테이지 기구가 알려져 있다.That is, basically, the fixed stage and the movable stage are provided, For example, while mounting a micrometer head etc. which integrated a feed screw, a feed handle, and a movable shaft to the fixed stage side, The stage mechanism which attached the stopper is known.

그리고, 가동 샤프트와, 가동 스테이지측의 스토퍼가, 인장 스프링에 의해, 항상 서로 당기는 관계에 있어, 백래시의 발생을 억제하는 스테이지 기구이다.And it is a stage mechanism which suppresses generation | occurrence | production of backlash in the relation which a movable shaft and the stopper of a movable stage side always pull mutually by a tension spring.

또한, 이와 같은 수동 스테이지의 하나로서, 예를 들면, 고정 부품에 대한 슬라이딩 부품의 스토퍼 기구 및 슬라이딩 정도의 조정 기구를 용이하게 하여, 정밀도 좋게 조정할 수 있고, 눈금의 판독이 용이한 수동 스테이지가 제안되어 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).In addition, as one of such manual stages, for example, a manual stage which facilitates the stopper mechanism and the sliding degree adjustment mechanism of the sliding component with respect to the fixed component, can be precisely adjusted, and the scale is easily read is proposed. (For example, refer patent document 1).

보다 구체적으로는, 도 13에 나타내는 바와 같이, 조여붙임구에 의해 정밀 기기가 장착되는 슬라이딩 부품(204)과, 조여붙임구에 의해 토대에 접속되는 고정 부품(205)이 슬라이딩 기구를 통해 연결되고, 핸들(219)의 조작에 의해 슬라이딩 부품(204)을 슬라이딩시켜, 장착된 정밀 기기의 위치 조정을 행하는 수동 스테이지(200)로서, 고정 부품(205)은 수지로 이루어지고, 당해 고정 부품(205)의 양측의 벽부에 역삼각형의 돌출부(231)를 형성하도록 각각 종방향으로 홈(232)이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 수동 스테이지이다.More specifically, as shown in FIG. 13, the sliding component 204 to which the precision instrument is mounted by the tightening opening, and the fixed component 205 connected to the base by the tightening opening are connected through a sliding mechanism. As the manual stage 200 which slides the sliding part 204 by the operation of the handle 219, and performs the position adjustment of the mounted precision instrument, the fixing part 205 consists of resin, The said fixing part 205 It is a passive stage characterized in that the grooves 232 are provided in the longitudinal direction, respectively, so as to form the inverted triangular protrusions 231 on the wall portions on both sides.

그리고, 슬라이딩 고정 나사(210)를, 벽부에 설치된 슬라이딩 고정 나사용 구멍(216)을 관통시켜 돌출부(231)에 부딪히게 하고, 돌출부(231)를 내측으로 경사시켜 슬라이딩 부품(204)을 눌러, 고정 부품(205)에 대한 슬라이딩 부품(204)의 위치를 고정함과 동시에, 복수의 슬라이딩 조절 나사(도시 생략)를, 고정 부품(205)의 양측의 벽부에 마련된 복수의 슬라이딩 조절 나사용 구멍(215)을 관통시켜 돌출부(231)에 부딪히게 하고, 돌출부(231)를 내측으로 경사시켜 슬라이딩 부품(204)을 가압하여, 고정 부품(205)과 슬라이딩 부품(204)의 슬라이딩의 정도를 미세 조정하는 것을 특징으로 하고 있다.Then, the sliding fixing screw 210 penetrates the protrusion 231 through the sliding fixing screw hole 216 provided in the wall portion, and the protrusion 231 is inclined inward to press the sliding component 204, While fixing the position of the sliding component 204 relative to the fixed component 205, a plurality of sliding adjustment screws (not shown) are provided for the plurality of sliding adjustment screw holes provided in the wall portions on both sides of the fixed component 205 ( 215 penetrates the projection 231 and inclines the projection 231 inward to press the sliding component 204 to finely adjust the degree of sliding of the fixed component 205 and the sliding component 204. It is characterized by.

또한, 고정밀도의 스테이지를, 고정밀도로 그리고 강고하게 고정하기 위한 스테이지 고정 장치도 제안되어 있다(예를 들면, 특허문헌 2 참조).Moreover, the stage fixing apparatus for fixing a high precision stage highly and firmly is also proposed (for example, refer patent document 2).

보다 구체적으로는, 도 14에 나타내는 바와 같이, 워크를 고정하기 위한 스테이지(303)를 가공기의 가공축(304)에 설치하고, 이 스테이지(303)의 위치를 조정하여, 소정 위치에 고정하는 스테이지 고정 장치(300)에 있어서, 상기 스테이지(303)에 설치되고, 그 이동 방향과 동(同)방향으로 연재한 봉 형상 부재(306)와, 당해 봉 형상 부재(306)를 스테이지(303)의 이동 방향에 대하여 직교하는 방향으로부터 면 접촉에 의해 고정하는 고정 부재(307)를 구비하는 것을 특징으로 하는 스테이지 고정 장치(303)가 개시되어 있다.More specifically, as shown in FIG. 14, the stage 303 for fixing a work is provided in the processing shaft 304 of a machine, and the stage which adjusts the position of this stage 303, and fixes it to a predetermined position is shown. In the fixing device 300, the rod-shaped member 306 provided in the stage 303 and extending in the same direction as the movement direction and the rod-shaped member 306 is connected to the stage 303. A stage fixing device 303 is disclosed which includes a fixing member 307 that is fixed by surface contact from a direction perpendicular to the moving direction.

일본국 특개2010-223611호 공보(특허청구범위)Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-223611 (claims) 일본국 특개2003-48129호 공보(특허청구범위 등)Japanese Patent Laid-Open No. 2003-48129 (patent claims, etc.)

그러나, 특허문헌 1에 개시된 수동 스테이지는, 개미홈 슬라이드 레일을 비롯하여, 슬라이딩 고정 나사나 복수의 슬라이딩 조절 나사 등이 필요하여, 부품점수가 많아지거나, 구조가 복잡해지거나, 또한, 수동 스테이지를 고정할 때에, 큰 백래시가 생기거나, 수동 스테이지의 고정성이 아직 불충분하다는 문제가 보여졌다.However, the manual stage disclosed in Patent Literature 1 requires a sliding fixing screw, a plurality of sliding adjusting screws, etc., including an ant groove slide rail, so that the number of parts is increased, the structure is complicated, and the manual stage is fixed. At the time, a problem has been shown that a large backlash occurs or that the fixing of the manual stage is still insufficient.

또한, 특허문헌 2에 개시된 스테이지 고정 장치는, 소정 스테이지의 외부(외주)에 돌출하여 설치할 필요가 있기 때문에, 당해 스테이지 고정 장치를 포함하는 스테이지의 경우, 스테이지 전체가 대형화함과 동시에, 스테이지를 고정할 때에, 큰 백래시가 생기거나, 스테이지의 고정성이 아직 불충분하다는 문제가 보여졌다.Moreover, since the stage fixing apparatus disclosed in patent document 2 needs to protrude and install in the exterior (outer periphery) of a predetermined stage, in the case of the stage containing the said stage fixing apparatus, the whole stage becomes large and the stage is fixed. When doing so, a large backlash occurred or the problem that the stage was still insufficient was shown.

그래서, 본 발명자들은 예의 검토한 결과, 소정 개소에, 소정의 백래시 흡수 부재를 설치함으로써, 소형이며 그리고 저렴한 간이 구조이면서, 우수한 가동 스테이지의 이동성, 백래시 방지성, 및 고정성을 각각 얻을 수 있음을 찾아내고, 본 발명을 완성시킨 것이다.Therefore, as a result of earnestly examining the present inventors, by providing a predetermined backlash absorbing member at a predetermined position, it is possible to obtain the mobility, the backlash prevention property, and the fixing property of an excellent movable stage, while being compact and inexpensive. It has been found and the present invention has been completed.

즉, 본 발명은 소형이며 그리고 저렴한 간이 구조이면서, 가동 스테이지가 용이하게 그리고 안정적으로 슬라이드함과 동시에, 가동 스테이지를 고정할 때의 백래시나, 가동 스테이지를 고정한 후의 이동이 적은 스테이지 기구를 제공하는 것을 목적으로 한다.That is, the present invention is to provide a stage mechanism having a compact and inexpensive simple structure, in which the movable stage slides easily and stably, and at the same time, there is little backlash when fixing the movable stage, or less movement after fixing the movable stage. The purpose.

본 발명에 의하면, 고정 스테이지와, 당해 고정 스테이지의 표면을 따라 슬라이드하는 가동 스테이지를 포함하는 스테이지 기구로서, 고정 스테이지에 형성한 스폿 패이싱(spot facing)부에, 이송 나사 및 한 개 또는 두 개 이상의 백래시 흡수 부재가 설치되어 있으며, 그리고, 이송 나사의 이송에 동기(同期)하여, 가동 스테이지를 슬라이드시키기 위한 연결 부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 스테이지 기구가 제공되어, 상술한 문제점을 해결할 수 있다.According to the present invention, there is provided a stage mechanism including a fixed stage and a movable stage that slides along the surface of the fixed stage, wherein the spot facing portion formed in the fixed stage includes a feed screw and one or two. The above-described backlash absorbing member is provided, and a stage mechanism is provided, which is provided in synchronism with the transfer of the feed screw and slides the movable stage, thereby solving the above problems. have.

이와 같이, 스테이지 기구의 소정 개소에, 나사홈이 형성된 스폿 패이싱부를 통해, 소정의 백래시 흡수 부재를 설치함으로써, 소형이며 그리고 저렴한 간이 구조이면서, 이송 나사를 회전시키는 것만으로, 우수한 스테이지의 이동성을 얻을 수 있다.Thus, by providing a predetermined backlash absorbing member through a spot pacing section having a screw groove at a predetermined position of the stage mechanism, it is a compact and inexpensive simple structure, and simply rotates the feed screw, thereby providing excellent stage mobility. You can get it.

또한, 이와 같이 구성함으로써, 가동 스테이지를 고정할 때의 백래시나, 고정 후의 이동이 적은 스테이지 기구를 제공할 수 있다.Moreover, by configuring in this way, the stage mechanism with little backlash at the time of fixing a movable stage and the movement after fixing can be provided.

또한, 본 발명의 스테이지 기구를 구성함에 있어서, 백래시 흡수 부재가, 이송 나사의 통과 구멍을 갖는 원통 형상의 수지 부재인 것이 바람직하다.Moreover, in constructing the stage mechanism of this invention, it is preferable that a backlash absorbing member is a cylindrical resin member which has the passage hole of a feed screw.

이와 같이 백래시 흡수 부재를 구성함으로써, 소정 개소에 대한 백래시 흡수 부재의 장착이 용이해짐과 동시에, 당해 백래시 흡수 부재에 의한 응력 흡수가 용이해져, 더욱 우수한 스테이지의 이동성이나 고정성을 얻을 수 있다.By constructing the backlash absorbing member in this manner, the backlash absorbing member can be easily attached to a predetermined position, and the stress absorption by the backlash absorbing member can be facilitated, so that excellent stage mobility and fixability can be obtained.

또한, 본 발명의 스테이지 기구를 구성함에 있어서, 백래시 흡수 부재가, 그 주위에, 금속 보호 커버를 갖는 것이 바람직하다.Moreover, in constructing the stage mechanism of this invention, it is preferable that a backlash absorbing member has a metal protective cover around it.

이와 같이 백래시 흡수 부재를 구성함으로써, 소정 개소에 대한 백래시 흡수 부재의 장착이나 고정성이 용이해짐과 동시에, 당해 백래시 흡수 부재의 내구성이 향상하고, 장기간에 걸쳐 우수한 가동 스테이지의 이동성이나 고정성을 얻을 수 있다.By constructing the backlash absorbing member in this manner, the backlash absorbing member can be easily attached or fixed to a predetermined position, the durability of the backlash absorbing member can be improved, and the mobility and fixability of the movable stage can be obtained for a long time. Can be.

또한, 본 발명의 스테이지 기구를 구성함에 있어서, 백래시 흡수 부재가, 아미드 수지, 우레탄 수지, 및 고무계 수지 중 적어도 하나로 구성되어 있는 것이 바람직하다.Moreover, in constructing the stage mechanism of this invention, it is preferable that a backlash absorbing member is comprised by at least one of an amide resin, a urethane resin, and rubber-type resin.

이와 같이 백래시 흡수 부재를 구성함으로써, 백래시 흡수 부재의 성형성이나 백래시 흡수성 등이 높아져, 더욱 우수한 가동 스테이지의 이동성이나 고정성을 얻을 수 있다.By configuring the backlash absorbing member in this manner, the moldability, the backlash absorbency, etc. of the backlash absorbing member are increased, and the mobility and fixability of the movable stage can be obtained.

또한, 본 발명의 스테이지 기구를 구성함에 있어서, 고정 스테이지와, 가동 스테이지 사이에, 가이드 부재로서의 금속편을 구비하는 것이 바람직하다.Moreover, in forming the stage mechanism of this invention, it is preferable to provide the metal piece as a guide member between a fixed stage and a movable stage.

이와 같이 가이드 부재로서의 금속편을 설치함으로써, 고정 스테이지와, 가동 스테이지 사이에서, 가이드 레일로서의 기능을 발휘하여, 더욱 우수한 가동 스테이지의 이동성이나 고정성, 또한 양호한 내구성을 얻을 수 있다.By providing the metal piece as a guide member in this way, it functions as a guide rail between a fixed stage and a movable stage, and can obtain the mobility, fixability, and favorable durability of a further superior movable stage.

또한, 본 발명의 스테이지 기구를 구성함에 있어서, 고정 스테이지와, 가동 스테이지를, 상하 방향으로 연결함과 동시에, 고정 스테이지와, 가동 스테이지 사이의 슬라이딩 접촉력을 조정하기 위한 나사 부재를 구비하는 것이 바람직하다.Moreover, in constructing the stage mechanism of this invention, it is preferable to provide the screw member for connecting the fixed stage and a movable stage to an up-down direction, and adjusting the sliding contact force between a fixed stage and a movable stage. .

이와 같이 나사 부재를 설치함으로써, 고정 스테이지와, 가동 스테이지 사이에서, 더욱 우수한 이동성이나 고정성, 혹은 우수한 내구성을 얻을 수 있다.By providing the screw member in this way, it is possible to obtain more excellent mobility, fixability or excellent durability between the fixed stage and the movable stage.

또한, 본 발명의 스테이지 기구를 구성함에 있어서, 고정 스테이지 및 가동 스테이지가, 각각 평판 형상인 것이 바람직하다.Moreover, in forming the stage mechanism of this invention, it is preferable that a fixed stage and a movable stage are respectively flat plate shape.

이와 같은 고정 스테이지 및 가동 스테이지로 함으로써, 가동 스테이지에 장착하는 워크 등이 비교적 크고, 중량물이었다고 해도, 우수한 이동성이나 고정성을 얻을 수 있음과 동시에, 소형이며 그리고 저렴한 스테이지 기구를 제공할 수 있다.By setting it as such a fixed stage and a movable stage, even if the workpiece | work etc. which are attached to a movable stage are comparatively large and a heavy thing, the outstanding mobility and fixability can be obtained, and a compact and inexpensive stage mechanism can be provided.

또한, 본 발명의 다른 발명은, 직방체 형상의 고정 스테이지와, 고정 스테이지의 내부에 수용된 원기둥 형상 부재와, 고정 스테이지의 표면을 따라 슬라이드하는 가동 스테이지를 포함하는 스테이지 기구로서, 원기둥 형상 부재의 내부에, 한 개 또는 두 개 이상의 백래시 흡수 부재가 장착되어 있음과 동시에, 연결 부재에 의해, 백래시 흡수 부재를 장착한 원기둥 형상 부재와, 상기 가동 스테이지가 연결되어 있으며, 그리고, 고정 스테이지에 장착한 이송 나사에 의해, 백래시 흡수 부재를 통해, 원기둥 형상 부재를 슬라이드시킴으로써, 가동 스테이지를 동기시켜 슬라이드시키는 스테이지 기구이다.Another invention of the present invention is a stage mechanism including a rectangular parallelepiped fixed stage, a cylindrical member accommodated inside the fixed stage, and a movable stage that slides along the surface of the fixed stage. A feed member attached to the fixed stage by a cylindrical member on which the backlash absorbing member is mounted, and at least one backlash absorbing member is mounted, and the movable member is connected by the connecting member. It is a stage mechanism which synchronizes a movable stage by sliding a cylindrical member through a backlash absorption member.

이와 같이, 소정 형상의 고정 스테이지와, 가동 스테이지가, 소정의 원기둥 형상 부재를 통해, 연결 부재에 의해 실질적으로 연결되어 있으며, 그리고, 고정 스테이지의 이송 나사에 의해, 가동 스테이지를 간접적으로 동기시켜 슬라이드시키므로, 우수한 이동성이나 고정성뿐만 아니라, 우수한 장착성 등을 얻을 수 있음과 동시에, 또한 소형이며 그리고 저렴하게, 스테이지 기구를 제공할 수 있다.In this manner, the fixed stage and the movable stage of the predetermined shape are substantially connected by the connecting member via the predetermined cylindrical member, and the movable stage is indirectly synchronized with the feed screw of the fixed stage to slide. Therefore, not only excellent mobility and fixability but also excellent mountability and the like can be obtained, and the stage mechanism can be provided in a compact and inexpensive manner.

도 1의 (a)는 제1 실시형태의 스테이지 기구의 사시도이며, 도 1의 (b)는 도 1의 (a)에 나타내는 스테이지 기구의 A-A 단면도.
도 2의 (a)∼(b)는 제1 실시형태의 스테이지 기구에 있어서의 고정 스테이지를 설명하기 위해 제공하는 도면.
도 3의 (a)는 백래시 흡수 부재(원통 형상의 수지 부재)의 장착예를 설명하기 위해 제공하는 도면이며, 도 3의 (b)는 백래시 흡수 부재에 있어서의 금속 보호 커버를 설명하기 위해 제공하는 도면.
도 4의 (a)는 백래시 흡수 부재의 작용 효과를 설명하기 위해 제공하는 도면이고, 도 4의 (b)는 도 4의 (a)에 나타내는 도면의 부분 확대도이며, 도 4의 (c)는 다른 백래시 흡수 부재의 조합에 있어서의 부분 확대도.
도 5는 도 1의 (a)에 나타내는 스테이지 기구의 분해도.
도 6은 도 1의 (a)에 나타내는 스테이지 기구의 가이드 부재를 포함하는 개소의 B-B 단면도.
도 7은 스테이지 기구에 있어서의 가이드 부재의 길이와, 가이드 부재의 홈의 길이의 관계를 설명하기 위해 제공하는 도면.
도 8은 도 1의 (a)에 나타내는 스테이지 기구의 나사 고정 구조를 포함하는 개소의 C-C 단면도.
도 9의 (a)는 제2 실시형태의 스테이지 기구의 사시도이며, 도 9의 (b)는 도 9의 (a)에 나타내는 스테이지 기구의 D-D 단면도.
도 10의 (a)∼(c)는 백래시 흡수 부재를 구비한 이송 나사의, 원통 형상 부재에 대한 장착 방법을 설명하기 위해 제공하는 도면.
도 11은 제2 실시형태의 스테이지 기구로부터 이송 나사를 제거한 상태의 분해도.
도 12의 (a)∼(b)는 연결 부재에 의한, 원통 형상 부재와 가동 스테이지의 연결 방법을 설명하기 위해 제공하는 도면.
도 13은 종래의 수동 스테이지를 설명하기 위해 제공하는 사시도.
도 14는 종래의 스테이지 고정 장치를 설명하기 위해 제공하는 사시도.(A) is a perspective view of the stage mechanism of 1st Embodiment, (b) is AA sectional drawing of the stage mechanism shown to (a) of FIG.
FIG.2 (a)-(b) are figures where it uses in order to demonstrate the fixed stage in the stage mechanism of 1st Embodiment.
FIG. 3A is a view provided to explain an example of mounting the backlash absorbing member (cylindrical resin member), and FIG. 3B is provided to explain the metal protective cover in the backlash absorbing member. Drawing.
(A) is a figure provided in order to demonstrate the effect of a backlash absorbing member, FIG. 4 (b) is a partial enlarged view of the figure shown to (a) of FIG. 4, (c) Is a partially enlarged view of a combination of different backlash absorbing members.
5 is an exploded view of the stage mechanism shown in FIG. 1A.
It is BB sectional drawing of the location containing the guide member of the stage mechanism shown to Fig.1 (a).
It is a figure provided in order to demonstrate the relationship between the length of the guide member in a stage mechanism, and the length of the groove | channel of a guide member.
8 is a cross-sectional view taken along a line including a screw fixing structure of the stage mechanism shown in FIG.
FIG. 9A is a perspective view of the stage mechanism of the second embodiment, and FIG. 9B is a DD cross-sectional view of the stage mechanism shown in FIG. 9A.
(A)-(c) is a figure where it uses in order to demonstrate the mounting method with respect to the cylindrical member of the feed screw provided with a backlash absorption member.
11 is an exploded view of a state in which the feed screw is removed from the stage mechanism of the second embodiment.
(A)-(b) is a figure where it uses in order to demonstrate the connection method of a cylindrical member and a movable stage by a connection member.
13 is a perspective view provided to explain a conventional manual stage.
14 is a perspective view provided to explain a conventional stage fixing device.

[제1 실시형태][First Embodiment]

제1 실시형태는 도 1에 예시하는 바와 같이, 고정 스테이지(11)와, 당해 고정 스테이지(11)의 표면을 따라 슬라이드하는 가동 스테이지(12)를 포함하는 스테이지 기구(10)로서, 고정 스테이지(11)에 형성한 스폿 패이싱부(13)에, 이송 나사(15) 및 한 개 또는 두 개 이상의 백래시 흡수 부재(16)가 설치되어 있으며, 그리고, 이송 나사(15)의 이송에 동기하여, 가동 스테이지(12)를 슬라이드시키기 위한 연결 부재(18)가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 스테이지 기구(10)이다.As illustrated in FIG. 1, the first embodiment includes a fixed stage 11 and a stage mechanism 10 including a movable stage 12 that slides along the surface of the fixed stage 11. In the spot pacing part 13 formed in 11), the feed screw 15 and one or two or more backlash absorbing members 16 are provided, and in synchronization with the feed of the feed screw 15, It is the stage mechanism 10 characterized by the connection member 18 provided for sliding the movable stage 12.

그리고, 제1 실시형태는, 고정 스테이지(11) 및 가동 스테이지(12)가, 각각 평판 형상인 스테이지 기구(10)이다.And 1st Embodiment is the stage mechanism 10 in which the fixed stage 11 and the movable stage 12 are respectively flat plates.

이하, 적절히 도면을 참조하면서, 제1 실시형태의 스테이지 기구(10)에 대해서 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the stage mechanism 10 of 1st Embodiment is demonstrated concretely, referring drawings suitably.

1. 고정 스테이지1. Fixed Stage

(1) 형태(1) form

도 1의 (a)∼(b)에 나타내는 고정 스테이지(11)의 형태에 대해서, 제1 실시형태의 스테이지 기구(10)에 있어서는, 평판 형상이면, 특별히 제한되는 것이 아니다.With respect to the form of the fixed stage 11 shown in FIGS. 1A to 1B, the stage mechanism 10 of the first embodiment is not particularly limited as long as it is a flat plate.

즉, 통상, 고정 스테이지(11)의 평면 형상을 사각형(정방형을 포함)으로 함과 동시에, 그 치수로서 종폭을 2∼10㎝ 범위 내의 값, 횡폭을 2∼10㎝ 범위 내의 값으로 하고, 그리고 두께를 1∼10㎜ 범위 내의 값으로 하는 것이 바람직하다.That is, usually, the planar shape of the fixed stage 11 is made into a square (including a square), and as its dimensions, the vertical width is a value within a range of 2 to 10 cm, the horizontal width is a value within a range of 2 to 10 cm, and It is preferable to make thickness into the value within the range of 1-10 mm.

이 이유는, 이와 같은 평면 형상 및 치수의 고정 스테이지(11)이면, 사용이 편리하거나 제조가 용이해질 뿐만 아니라, 워크 고정용 관통 구멍(12b) 등을 통해, 소정의 워크(도시 생략)를 장착한 가동 스테이지(12)와 조합한 경우에도, 그들을 안정적으로 유지하면서, 용이하게 슬라이드시킬 수 있기 때문이다.The reason for this is that if the fixing stage 11 of such a planar shape and dimension is not only convenient to use or easy to manufacture, but also a predetermined work (not shown) is mounted through the work fixing through-hole 12b or the like. This is because even when combined with one movable stage 12, it can slide easily, keeping them stable.

또한, 고정 스테이지의 형태에 관하여, 도 2의 (a)∼(b)에 나타내는 바와 같이, 사각 형상의 고정 스테이지(11, 11')를 평면에서 본 경우에, 그 한 변에, 소정 공간을 형성하기 위한 컷아웃부(11c) 마련하는 것이 바람직하다.In addition, regarding the form of a fixed stage, as shown to (a)-(b) of FIG. 2, when the fixed stage 11 and 11 'of rectangular shape is seen from a plane, the predetermined space is provided in the one side. It is preferable to provide the cutout part 11c for forming.

이 이유는, 이러한 컷아웃부(11c)의 스페이스를 이용하여, 소정 방향으로 이동하여, 가동 스테이지(12)를 가압하기 위한 연결 부재(18)를 구비한 이송 나사(15)의 이동 공간이 형성되어, 그들을 소정 방향으로 회전 이동시킬 수 있기 때문이다.This is because, using the space of the cutout part 11c, the moving space of the transfer screw 15 provided with the connection member 18 for moving in the predetermined direction and pressing the movable stage 12 is formed. This is because they can be rotated in a predetermined direction.

따라서, 연결 부재(18)를 구비한 이송 나사(15)를 갖는 고정 스테이지(11, 11')가, 복수의 연결 부재용 고정구(19(19a, 19b))에 의해, 밸런스 좋고, 그리고 강고하게 장착된 연결 부재(18)를 통해, 가동 스테이지(12)와 연결되어 있으므로, 이송 나사(15)의 회전 이동에 기인한 이송에 대응하여, 가동 스테이지(12)만을 동기시켜 슬라이드시킬 수 있다.Therefore, the fixed stage 11, 11 'which has the feed screw 15 provided with the connection member 18 is balanced well and firmly by the some fixture 19 (19a, 19b) for connection members. Since it is connected with the movable stage 12 via the attached connection member 18, only the movable stage 12 can be synchronously slid corresponding to the transfer resulting from the rotational movement of the feed screw 15. FIG.

즉, 이와 같은 컷아웃부(11c)를 형성함으로써, 고정 스테이지(11, 11')는 정지한 상태로, 가동 스테이지(12)만을 소정 방향으로 슬라이드시킬 수 있다.That is, by forming such cutout part 11c, only the movable stage 12 can be slid in a predetermined direction, with the stationary stages 11 and 11 'stopped.

여기에서, 고정 스테이지(11, 11')에 마련하는 컷아웃부(11c)의 평면 형상에 대해서는, 특별히 제한되는 것이 아니지만, 예를 들면, 직사각 형상, 홈 형상, 반원 형상, 반타원 형상, 역삼각 형상, 이형상 등으로 하는 것이 바람직하다.Here, the planar shape of the cutout portion 11c provided in the fixed stages 11 and 11 'is not particularly limited, but, for example, a rectangular shape, a groove shape, a semicircle shape, a semi-ellipse shape, and a reverse osmosis It is preferable to set it as each shape, a shape, etc.

그리고, 고정 스테이지(11, 11')의 크기에도 의하지만, 그 한 변에서, 컷아웃부(11c)의 최심부(最深部)까지의 거리, 즉, 도 2의 (a)∼(b) 중, 기호 L1로 표시되는 거리를, 통상, 1∼15㎜ 범위 내의 값으로 하는 것이 바람직하고, 3∼12㎜ 범위 내의 값으로 하는 것이 보다 바람직하며, 5∼10㎜ 범위 내의 값으로 하는 것이 더욱 바람직하다.And depending on the size of the fixed stages 11 and 11 ', the distance to the deepest part of the cutout part 11c from one side, ie, (a)-(b) of FIG. Of these, the distance represented by the symbol L1 is usually preferably set to a value within the range of 1 to 15 mm, more preferably a value within the range of 3 to 12 mm, further preferably to a value within the range of 5 to 10 mm. desirable.

또한, 도 2의 (a)∼(b) 중, 기호 L2로 표시되는 컷아웃부(11c)의 개구 길이를, 통상, 5∼30㎜ 범위 내의 값으로 하는 것이 바람직하고, 8∼25㎜ 범위 내의 값으로 하는 것이 보다 바람직하며, 10∼20㎜ 범위 내의 값으로 하는 것이 더욱 바람직하다.In addition, in FIG.2 (a)-(b), it is preferable to make the opening length of the cutout part 11c represented by symbol L2 into the value within 5-30 mm range normally, and is 8-25 mm range. It is more preferable to set it as an internal value, and it is still more preferable to set it as the value within the range of 10-20 mm.

그리고, 고정 스테이지(11)의 구성 재료에 대해서도 특별히 제한되는 것이 아니지만, 통상, 알루미늄(알루마이트 처리 알루미늄을 포함), 구리, 황동, 철, 니켈, 마그네슘, 텅스텐, 세라믹, 고분자 수지 재료 등 중 적어도 하나인 것이 바람직하다.The constituent material of the fixed stage 11 is not particularly limited, but is usually at least one of aluminum (including anodized aluminum), copper, brass, iron, nickel, magnesium, tungsten, ceramics, polymer resin materials, and the like. Is preferably.

특히, 알루마이트 처리 알루미늄이면, 경량성, 내식성, 내구성, 가공성, 열전도성, 장식성, 및 경제성 등에 접해 있으므로, 고정 스테이지(11)의 구성 재료로서 바람직하다.In particular, anodized aluminum is preferred as the constituent material of the fixed stage 11 because it is in contact with light weight, corrosion resistance, durability, processability, thermal conductivity, decorativeness, economical efficiency, and the like.

그 외, 고정 스테이지(11)의 형태에 관하여, 도 1의 (a)∼(b)에 나타내는 바와 같이, 고정 스테이지(11)는 그 측면이나 이면 등에, 작은 구멍인 장착 구멍이나 그리스 주입 구멍(11a, 11b)이 한 개 또는 두 개 이상 마련되어 있는 것이 바람직하다.In addition, regarding the form of the fixed stage 11, as shown to (a)-(b) of FIG. 1, the fixed stage 11 is a mounting hole or grease injection hole which is a small hole in the side surface, the back surface, etc. ( It is preferable that one, two or more of 11a, 11b) is provided.

즉, 이러한 작은 구멍이, 장착 구멍이면, 당해 장착 구멍을 이용하여, 다른 부품과 고정하거나 할 수 있고, 혹은, 그리스 주입 구멍이면, 고정 스테이지(11)와, 가동 스테이지(12)의 계면(界面) 등에, 소정의 그리스나 윤활 오일을 공급함으로써, 가동 스테이지(12)를 더욱 매끄럽게 슬라이드시킬 수 있다.That is, if such a small hole is a mounting hole, it can fix with another component using the said mounting hole, or if it is a grease injection hole, the interface of the fixed stage 11 and the movable stage 12 will be made. ), The movable stage 12 can be slid more smoothly by supplying predetermined grease or lubricating oil.

(2) 이송 나사(2) feed screw

또한, 도 1의 (b)에 나타내는 이송 나사(15)는, 와셔(washer)(15')와 함께, 고정 스테이지(11)에 형성한 스폿 패이싱부(13)에 대하여 장착되어 있으며, 그리고, 이러한 이송 나사(15)의 단부(端部)에는, 연결 부재용 고정구(19)를 갖는 연결 부재(18)가 설치되어 있다.In addition, the feed screw 15 shown in FIG.1 (b) is attached with respect to the spot pacing part 13 formed in the fixed stage 11 with the washer 15 ', and At the end of the feed screw 15, a connecting member 18 having a fixing member 19 for a connecting member is provided.

따라서, 당해 이송 나사(15)의 이송에 대응하여, 이러한 연결 부재(18)가 직선적으로 이동하고, 그것에 의해 가동 스테이지(12)를 안정적으로 슬라이드시킬 수 있다.Therefore, in response to the conveyance of the said feed screw 15, such a connection member 18 moves linearly, and it can slide the movable stage 12 stably by this.

또한, 도 1의 (b)에 나타내는 바와 같이, 이송 나사(15)는, 드라이버 등과 걸어맞추는 오목부를 갖는 두부(頭部)(15a)와, 나사홈을 갖는 나사부(15b)를 포함하여 이루어지는 구성인 것이 바람직하다.As shown in FIG. 1B, the feed screw 15 includes a head 15a having a concave portion engaged with a driver and the like, and a screw portion 15b having a screw groove. Is preferably.

그리고, 이송 나사(15)는, 모터 등을 이용하여, 기계적 구동 또는 전기적 구동력을 이용하여 회전 동작시키는 것도 바람직하지만, 보다 간이한 구성으로 하기 위해, 드라이버나 육각 렌치 등을 이용하여, 수동으로 회전 동작시키는 것이 바람직하다.The feed screw 15 is preferably rotated using a mechanical drive or an electric drive force using a motor or the like. However, the feed screw 15 is manually rotated using a screwdriver, a hexagon wrench, or the like for a simpler configuration. It is desirable to operate.

또한, 이러한 이송 나사(15)와 마찬가지의 작용 효과를 발휘할 수 있는 부재이면, 소정 형태로 적절히 치환하거나, 변형하는 것도 가능하며, 예를 들면, 방청 처리된 금속 재료로 이루어지는 봉 형상물, 각 기둥물, 선 형상물 등을 이용할 수도 있다.Moreover, as long as it is a member which can exhibit the same effect as the said feed screw 15, it can also be suitably substituted or deform | transformed into a predetermined form, For example, the rod-shaped object which consists of a rust-proof metal material, and each pillar , Linear shape or the like can also be used.

(3) 백래시 흡수 부재(3) backlash absorbing member

또한, 도 1의 (b)에 나타내는 백래시 흡수 부재(16)는, 가동 스테이지(12)의 양호한 이동성을 확보하며, 그리고, 가동 스테이지(12) 등에 발생하는 응력을 흡수하여, 백래시의 발생을 억제하면서, 강고하게 고정 상태를 유지하기 위한 부재이다.In addition, the backlash absorbing member 16 shown in FIG. 1B ensures good mobility of the movable stage 12, absorbs stress generated in the movable stage 12, and suppresses occurrence of backlash. It is a member for maintaining a fixed state firmly.

즉, 이러한 백래시 흡수 부재(16)에 의하면, 가동 스테이지(12)가 슬라이드하고 있는 동안에는, 소정의 미끄럼성을 발휘하여, 당해 가동 스테이지(12)의 슬라이드를 저해하지 않고, 그 좌우 흔들림이나 비틀림 등을 방지할 수 있다.That is, according to such a backlash absorbing member 16, while the movable stage 12 slides, it exhibits predetermined slipperiness and does not inhibit the slide of the said movable stage 12, and does not disturb the left-right shake, torsion, etc. Can be prevented.

그리고, 가동 스테이지(12)를 고정할 때에는, 적당히 변형하여, 가동 스테이지(12)의 백래시를 적게 하며, 그리고, 고정한 후에는, 충분히 고화(固化)하여, 마찬가지로 가동 스테이지(12) 등에 발생하는 응력을 흡수하고, 강고하게 고정 상태를 유지할 수 있다.When the movable stage 12 is fixed, the backstage of the movable stage 12 is reduced to suitably deform, and after fixing, the stress is sufficiently solidified and the stress generated in the movable stage 12 and the like. It can absorb and hold | maintain a fixed state firmly.

따라서, 백래시 흡수 부재(16)의 형태에 관하여, 도 3의 (a)에 나타내는 바와 같이, 이송 나사(15)를 통과시키기 위한 통과 구멍(16a)을 갖는 원통 형상의 쿠션 수지 부재(16b)인 것이 바람직하다.Therefore, with respect to the form of the backlash absorbing member 16, as shown in FIG. 3 (a), it is a cylindrical cushion resin member 16b having a passage hole 16a for passing the conveying screw 15. It is preferable.

즉, 이와 같이 백래시 흡수 부재(16)로 구성함으로써, 이송 나사(15)의 소정 개소에 대한 백래시 흡수 부재(16)의 장착이 용이해짐과 동시에, 당해 백래시 흡수 부재(16)에 의한 응력 흡수가 용이해져, 더욱 우수한 가동 스테이지(12)의 이동성이나 고정성을 얻을 수 있다.That is, by configuring the backlash absorbing member 16 in this manner, the backlash absorbing member 16 can be easily attached to a predetermined position of the feed screw 15 and the stress absorption by the backlash absorbing member 16 can be achieved. It becomes easy and the mobility and fixability of the movable stage 12 which are more excellent can be obtained.

또한, 백래시 흡수 부재(16)에 있어서의 쿠션 수지 부재(16b)의 구성 재료에 대해서는 특별히 제한되는 것이 아니지만, 예를 들면, 아미드 수지(나일론 수지), 우레탄 수지, 에스테르 수지, 카보네이트 수지, 아크릴 수지, 올레핀 수지, 고무계 수지(천연 고무, 스티렌 고무, 부타디엔 고무, 스티렌-부타디엔-스티렌 블록 코폴리머(SBS), 스티렌-이소프렌-스티렌 블록 코폴리머(SIS), 스티렌-에틸렌-부틸렌-스티렌 블록 코폴리머(SEBS) 등), 이미드 수지, 아미드-이미드 수지, 페녹시 수지, 폴리에테르술폰 수지, 폴리에테르에테르케톤 수지, 실리콘 수지, 에폭시 수지, 시아네이트 수지, 구아나민 수지, 요소(尿素) 수지, 및 페놀 수지 중 적어도 하나의 수지 재료로 구성되어 있는 것이 바람직하다.The material of the cushion resin member 16b in the backlash absorbing member 16 is not particularly limited, but for example, an amide resin (nylon resin), a urethane resin, an ester resin, a carbonate resin, or an acrylic resin. , Olefin resin, rubber resin (natural rubber, styrene rubber, butadiene rubber, styrene-butadiene-styrene block copolymer (SBS), styrene-isoprene-styrene block copolymer (SIS), styrene-ethylene-butylene-styrene block copolymer) Polymer (SEBS) etc.), imide resin, amide-imide resin, phenoxy resin, polyether sulfone resin, polyether ether ketone resin, silicone resin, epoxy resin, cyanate resin, guanamine resin, urea It is preferable that it is comprised from resin material and at least 1 resin material of a phenol resin.

이 이유는, 이와 같은 열가소성 수지 재료나 열경화성 수지 재료로 이루어지는 백래시 흡수 부재(16)이면, 백래시 흡수 부재(16)의 성형성이나 백래시 흡수성 등이 높아져, 더욱 우수한 가동 스테이지(12)의 이동성이나 고정성을 얻을 수 있기 때문이다.The reason for this is that if the backlash absorbing member 16 made of such a thermoplastic resin material or a thermosetting resin material is formed, the moldability, the backlash absorbing property, etc. of the backlash absorbing member 16 are increased, and the mobility and the mobility of the movable stage 12 are further improved. Because sincerity can be obtained.

그리고, 특히, 아미드 수지(나일론 수지), 우레탄 수지, 및 고무계 수지 중 적어도 하나이면, 가동 스테이지(12)의 이동성과, 고정성의 밸런스가 더욱 양호하며, 내구성 등도 우수하므로, 바람직한 수지 재료이다.In particular, if at least one of the amide resin (nylon resin), the urethane resin, and the rubber resin is used, the balance between the mobility of the movable stage 12 and the fixing property is better, and the durability is excellent.

또한, 백래시 흡수 부재(16)에 있어서의 쿠션 수지 부재(16b)의 구성 재료(수지 재료)의 유리 전이점 또는 융점을, 통상, 30∼250℃ 범위 내의 값으로 하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable to make the glass transition point or melting point of the constituent material (resin material) of the cushion resin member 16b in the backlash absorption member 16 into the value within 30-250 degreeC normally.

이 이유는, 이러한 구성 재료의 유리 전이점 또는 융점이 30℃ 미만의 값이 되면, 내열성이나 기계적 강도가 부족하여, 백래시 흡수성이나 가동 스테이지(12)의 고정성이 저하할 경우가 있기 때문이다.This is because when the glass transition point or melting point of such a constituent material is less than 30 ° C., the heat resistance and mechanical strength may be insufficient, and the backlash absorbency and the fixability of the movable stage 12 may decrease.

한편, 이러한 구성 재료의 유리 전이점 또는 융점이 250℃를 초과한 값이 되면, 사용 가능한 수지 재료의 종류가 과도하게 제한되거나, 백래시 흡수성이 현저하게 저하할 경우가 있기 때문이다.On the other hand, when the glass transition point or melting point of such a constituent material exceeds a value of 250 ° C, the kind of usable resin material may be excessively limited, or the backlash absorbency may remarkably decrease.

따라서, 백래시 흡수 부재(16)의 구성 재료의 유리 전이점 또는 융점을, 50∼200℃ 범위 내의 값으로 하는 것이 보다 바람직하고, 80∼180℃ 범위 내의 값으로 하는 것이 더욱 바람직하다.Therefore, it is more preferable to make the glass transition point or melting point of the constituent material of the backlash absorbing member 16 into the value within 50-200 degreeC range, and it is still more preferable to set it as the value within 80-180 degreeC range.

또한, 백래시 흡수 부재(16)의 구성 재료의 유리 전이점은, DSC 측정에 있어서의 비열(比熱)의 변화점으로서 측정할 수 있고, 융점을 갖는 구성 재료이면, JISK7121에 준거하여, DSC 융해열 피크 온도로서 측정할 수 있다.In addition, the glass transition point of the constituent material of the backlash absorbing member 16 can be measured as a change point of specific heat in DSC measurement, and if it is a constituent material which has a melting point, it will be DSC fusion heat peak based on JISK7121. It can measure as temperature.

또한, 도 3의 (a) 및 (b)에 나타내는 바와 같이, 백래시 흡수 부재(16)는, 그 주위에 소정 형태의 금속 보호 커버(16c)를 갖는 것이 바람직하다.In addition, as shown to Fig.3 (a) and (b), it is preferable that the backlash absorbing member 16 has the metal protective cover 16c of a predetermined form around it.

즉, 쿠션 수지 부재(16b)를 수용하는 캡 형상의 수용부(16d)와, 나사홈을 갖는 나사부(16e)를 일체적으로 포함하여 이루어지는 금속 보호 커버(16c)를 갖고, 도 3의 (a) 및 (b) 중 화살표 방향으로 쿠션 수지 부재(16b)를 삽입하여, 백래시 흡수 부재(16)를 구성하는 것이 바람직하다.That is, it has the metal protective cover 16c which integrally contains the cap-shaped accommodating part 16d which accommodates the cushion resin member 16b, and the screw part 16e which has a screw groove, and FIG. It is preferable to insert the cushion resin member 16b in the direction of an arrow among () and (b) to configure the backlash absorbing member 16.

이 이유는, 이와 같이 금속 보호 커버(16c)를 설치함으로써, 이송 나사(15)의 소정 개소에 대한 백래시 흡수 부재(16)의 장착이나 고정성이 용이해짐과 동시에, 당해 백래시 흡수 부재(16)의 내구성이 향상하여, 장기간에 걸쳐 우수한 가동 스테이지(12)의 이동성이나 고정성을 얻을 수 있기 때문이다.The reason for this is that by providing the metal protective cover 16c in this manner, the backlash absorbing member 16 can be easily attached or fixed to a predetermined position of the feed screw 15, and the backlash absorbing member 16 can be fixed. This is because the durability of the film can be improved, and the mobility and fixability of the movable stage 12 can be obtained over a long period of time.

그리고, 도 4의 (a) 및 (b)에 나타내는 바와 같이, 금속 보호 커버(16c)에, 쿠션 수지 부재(16b)를 삽입한 후, 캡 형상의 수용부(16d)의 선단부를 절곡(折曲)하는 것도 바람직하다.And as shown to Fig.4 (a) and (b), after inserting the cushion resin member 16b into the metal protective cover 16c, the front-end | tip part of the cap-shaped accommodating part 16d is bend | folded. Iii) is also preferable.

이 이유는, 이와 같이 절곡함으로써, 쿠션 수지 부재(16b)의 탈락을 방지할 수 있음과 동시에, 백래시 흡수 부재(16)의 이송 나사(15)에 있어서의 이동성이나, 백래시 흡수 부재(16)에 있어서의 응력 흡수성이 더욱 양호해지기 때문이다.The reason for this is that the bending of the cushion resin member 16b can be prevented and the mobility of the back screw absorbing member 16 in the feed screw 15 and the backlash absorbing member 16 can be prevented. This is because the stress absorbency in the film becomes more favorable.

또한, 이러한 금속 보호 커버(16c)의 구성 재료에 대해서도 특별히 제한되는 것이 아니지만, 경량, 저렴하며, 그리고, 소정의 변형성 및 내구성을 얻을 수 있는 것으로부터, 알루미늄, 구리, 니켈, 철 등 중 적어도 일종인 것이 바람직하다.The constituent material of the metal protective cover 16c is not particularly limited, but is at least one of aluminum, copper, nickel, iron, and the like because it is lightweight, inexpensive, and can obtain a predetermined deformation and durability. Is preferably.

여기에서, 도 4의 (a)∼(c)에 언급하여, 백래시 흡수 부재(16)에 의한 응력 흡수에 있어서의 작용 효과를 설명한다.Here, referring to Figs. 4A to 4C, the effects of the stress absorption by the backlash absorbing member 16 will be described.

즉, 도 4의 (a)는, 백래시 흡수 부재(16)에 의한 작용 효과를 설명하기 위해 제공하는 도면으로서, 고정 스테이지(11)에 형성한 스폿 패이싱부(13)에, 이송 나사(15) 및 두 개의 백래시 흡수 부재(16)(금속 보호 커버(16c)를 갖는 쿠션 수지 부재(16b))가 장착된 상태를 나타내고 있다.That is, FIG. 4 (a) is a figure provided in order to demonstrate the effect by the backlash absorbing member 16, The feed screw 15 to the spot pacing part 13 formed in the fixed stage 11 is shown. ) And two backlash absorbing members 16 (a cushion resin member 16b having a metal protective cover 16c) are shown.

또한, 도 4의 (b)는, 도 4의 (a)에 나타내는 두 개의 백래시 흡수 부재(16)에 있어서의 부분 확대도로서, 각각의 금속 보호 커버(16c)에 있어서의 수용부(16d)끼리 대향하여, 서로 겹치도록 배치된 상태를 나타내고 있다.4B is a partially enlarged view of the two backlash absorbing members 16 shown in FIG. 4A, and the receiving portion 16d in each metal protective cover 16c is shown. The state which arrange | positioned so that they mutually oppose each other is shown.

또한, 도 4의 (c)는, 금속 보호 커버(16c)가, 이송 나사(15)에 대하여, 동방향(도면상에서는, 각각 우측 방향)을 향하도록, 두 개의 백래시 흡수 부재(16)를 배치한 상태를 나타내고 있다.In addition, in FIG.4 (c), the two backlash absorbing members 16 are arrange | positioned so that the metal protective cover 16c may face the same direction (on the drawing, respectively, a right direction) with respect to the feed screw 15. Moreover, FIG. One state is shown.

따라서, 한 개의 백래시 흡수 부재(16)를 설치한 경우는 물론, 도 4의 (a)∼(c)에 나타내는 바와 같이, 두 개의 백래시 흡수 부재(16)를 설치한 경우에도, 이송 나사(15)가 소정 방향으로 회전 이동하고 있는 동안에는, 쿠션 수지 부재(16b) 등이 소정의 미끄럼성을 발휘하여, 동기하여 슬라이드하는 가동 스테이지(12)의 동작을 저해하지 않고, 그 좌우 흔들림이나 비틀림 등을 유효하게 방지할 수 있다.Therefore, not only when one backlash absorbing member 16 is provided but also when two backlash absorbing members 16 are provided, as shown in FIGS. ) Rotates in a predetermined direction, the cushioning resin member 16b or the like exhibits a predetermined slipperiness, and does not hinder the operation of the movable stage 12 that slides synchronously. It can prevent effectively.

또한, 이송 나사(15)의 회전 이동에 따라, 발열 현상이 생길 경우가 있지만, 두 개의 백래시 흡수 부재(16)는, 이러한 발열 현상에 의해 발생한 열을 효율적으로 흡수할 수 있다.In addition, although the heat generation phenomenon may occur with the rotational movement of the feed screw 15, the two backlash absorbing members 16 can efficiently absorb the heat generated by this heat generation phenomenon.

즉, 흡수한 열에 의해, 백래시 흡수 부재(16)가 일부 가소화될 경우도 있지만, 소정의 미끄럼성 등은 그대로 발휘할 수 있다.That is, although the backlash absorbing member 16 may be partially plasticized by the heat absorbed, predetermined | prescribed slipperiness etc. can be exhibited as it is.

더 말하자면, 백래시 흡수 부재(16)를 구성하는 원통 형상의 쿠션 수지 부재(16b)의 주위에, 소정의 금속 보호 커버(16c)가 설치되어 있으므로, 쿠션 수지 부재(16b)가 과도하게 변형하거나, 소정 장소로부터 유출할 우려도 없다.In other words, since the predetermined metal protective cover 16c is provided around the cylindrical cushion resin member 16b constituting the backlash absorbing member 16, the cushion resin member 16b is excessively deformed, There is no fear of outflow from the predetermined place.

한편, 도 4의 (a)∼(c)에 나타내는 바와 같이, 두 개의 백래시 흡수 부재(16)를 설치한 경우, 이송 나사(15)의 회전 이동이 정지하고, 동기하는 가동 스테이지(12)가 위치 고정될 때에는, 두 개의 백래시 흡수 부재(16)가 적당히 변형하여, 가동 스테이지(12)의 백래시를 적게 할 수 있다.On the other hand, as shown to Fig.4 (a)-(c), when the two backlash absorbing members 16 are provided, the rotational movement of the feed screw 15 will stop, and the movable stage 12 which will synchronize will be made. When the position is fixed, the two backlash absorbing members 16 can be appropriately deformed to reduce the backlash of the movable stage 12.

즉, 이송 나사(15)의 회전 이동에 기인한 가압력의 반작용으로서, 가동 스테이지(12)가 되돌아가는 반발 응력이 발생하지만, 백래시 흡수 부재(16)가 적당히 변형하여, 이러한 반발 응력을 효율적으로 흡수하고, 가동 스테이지(12)에 있어서의 백래시를 적게 할 수 있다.That is, as a reaction of the pressing force caused by the rotational movement of the feed screw 15, a rebound stress to which the movable stage 12 returns is generated, but the backlash absorbing member 16 deforms moderately, thereby efficiently absorbing such a rebound stress. The backlash in the movable stage 12 can be reduced.

그리고 또한, 가동 스테이지(12)가 소정 위치에 고정된 후에는, 두 개의 백래시 흡수 부재(16)에 포함되는 원통 형상의 쿠션 수지 부재(16b)가 충분히 고화한 상태가 된다.In addition, after the movable stage 12 is fixed at a predetermined position, the cylindrical cushion resin member 16b included in the two backlash absorbing members 16 is in a state of sufficiently solidifying.

따라서, 도 4의 (a)∼(c)에 나타내는 백래시 흡수 부재(16)의 경우, 이송 나사(15)에 있어서의 두부(15a)측으로부터 부여된 외부 응력에 대해서는, 좌측 방향의 백래시 흡수 부재(16)가 효율적으로 흡수하고, 이송 나사(15)의 두부(15a)와 반대측으로부터 부여된 외부 응력에 대해서는, 우측 방향의 백래시 흡수 부재(16)가 효율적으로 흡수할 수 있다.Therefore, in the case of the backlash absorbing member 16 shown to Fig.4 (a)-(c), about the external stress provided from the head 15a side in the feed screw 15, the backlash absorbing member of a left direction is carried out. The 16 absorbs efficiently, and the backlash absorbing member 16 in the right direction can efficiently absorb the external stress applied from the side opposite to the head 15a of the feed screw 15.

또한, 두 개의 백래시 흡수 부재(16) 중 어느 것이 느슨해지는 응력이 작용한 경우에도, 소위 더블 너트(double nut) 효과가 발휘된다.Moreover, even when the stress which loosens any one of the two backlash absorbing members 16 acts, what is called a double nut effect is exhibited.

따라서, 두 개의 백래시 흡수 부재(16)에 있어서의 수지 부재(16b)에 의한 느슨함의 발생이 효과적으로 방지됨과 동시에, 가동 스테이지(12)가 이동하는 응력이 외부로부터 부여되었다고 해도, 그 응력을 효과적으로 흡수하고, 강고하게 고정 상태를 유지할 수 있다.Therefore, the generation of the looseness by the resin member 16b in the two backlash absorbing members 16 is effectively prevented, and even if the stress to which the movable stage 12 moves is applied from the outside, the stress is effectively absorbed. And it can be fixed firmly.

(4) 가이드 부재(4) guide member

또한, 도 2의 (a)∼(b), 혹은 도 5∼도 6에 나타내는 바와 같이, 스테이지 기구(10)의 소정 개소에, 금속편(20a) 및 가이드홈(20b)으로 구성된 한 개 또는 두 개 이상의 가이드 부재(20)를 설치하는 것이 바람직하다.In addition, as shown to (a)-(b) of FIG. 2, or FIG. 5-FIG. 6, the one or two comprised by the metal piece 20a and the guide groove 20b in the predetermined location of the stage mechanism 10 is shown. It is preferable to provide two or more guide members 20.

즉, 이러한 가이드 부재(20)는, 가동 스테이지(12)를 좌우로 흔들리지 않고, 소정 방향으로만 안정적으로 슬라이드시키기 위한 부재이다.That is, this guide member 20 is a member for stably sliding only the predetermined direction, without moving the movable stage 12 from side to side.

따라서, 가이드 부재(20)의 구성 재료나 형태에 대해서는 특별히 제한되는 것이 아니지만, 예를 들면, 도 1에 나타내는 스테이지 기구(10)에 있어서의 B-B 단면도인 도 6에 나타내는 바와 같이, 대략 사각 형상의 가동 스테이지(12)의 좌우의 양변 근방에, 각각 가이드홈(20b')을 형성하고, 그 안에, 소정 길이의 금속편(20a)을 압입함으로써, 가동 스테이지(12)의 표면에 금속편(20a)이 돌출한 구성으로 하는 것이 바람직하다.Therefore, although it does not restrict | limit especially about the constituent material and the form of the guide member 20, For example, as shown in FIG. 6 which is BB sectional drawing in the stage mechanism 10 shown in FIG. Guide grooves 20b 'are respectively formed in the vicinity of the left and right sides of the movable stage 12, and the metal pieces 20a are formed on the surface of the movable stage 12 by press-fitting the metal pieces 20a of a predetermined length therein. It is preferable to set it as the protruding structure.

그리고, 후술하는 바와 같이, 고정 스테이지(11)에 있어서도, 가동 스테이지(12)의 가이드홈(20b')과 대향하는 위치에, 마찬가지의 가이드홈(20b)이 형성되어 있다.And as mentioned later, also in the fixed stage 11, the same guide groove 20b is formed in the position which opposes the guide groove 20b 'of the movable stage 12. As shown in FIG.

따라서, 상하 방향의 가이드홈(20b, 20b')에 각각 압입된 봉 형상(원기둥 형상 또는 다각 기둥 형상)의 금속편(20a)에 의해 가이드 부재(20)가 구성되고, 그것을 따라, 가동 스테이지(12)가, 고정 스테이지(11)에 대하여, 원활하게 슬라이드 가능한 구성으로 할 수 있다.Therefore, the guide member 20 is comprised by the metal piece 20a of the rod shape (cylindrical shape or polygonal column shape) press-fitted in the guide groove 20b, 20b 'of the up-down direction, respectively, and the movable stage 12 is followed by it. ) Can be configured to be slidably smoothly with respect to the fixed stage 11.

또한, 도 2의 (b)에 나타내는 바와 같이, 취급성이 양호한 것으로부터, 금속편(20a)이 직선 형상인 것도 바람직하지만, 도 2의 (a)에 나타내는 바와 같이, 양단부에 둥근 부분(곡률)을 갖게 한, 봉 형상의 금속편(20a)을 소정 방향으로 만곡(灣曲)시켜, 그 평면 형상이 완만한 원호를 그리는 것이 바람직하다.Moreover, as shown in FIG.2 (b), since the handleability is favorable, it is also preferable that the metal piece 20a is linear, but as shown in FIG.2 (a), the rounded part (curvature) in both ends is shown. It is preferable to bend the rod-shaped metal piece 20a which has a shape to be curved in a predetermined direction, and to draw a circular arc whose planar shape is gentle.

이 이유는, 금속편(20a)이, 이와 같은 만곡 형상을 그림으로써, 금속편(20a)을 가이드홈(20a')에 압입하는 것이 용이해짐과 동시에, 압입한 후에는, 소정의 만곡 상태를 유지하므로, 보다 강고하게 유지하는 것이 가능해지기 때문이다.The reason for this is that the metal piece 20a makes it easy to press the metal piece 20a into the guide grooves 20a 'by drawing such a curved shape, and therefore, after the press piece, the predetermined piece state is maintained. This is because it becomes possible to keep it stronger.

또한, 도 2의 (a)에 나타내는 바와 같이, 각각의 만곡 방향이 일치하도록 만곡시킨 두 개의 금속편(20a)을 준비하여, 가이드홈(20a')에 각각 압입하는 것이 바람직하다.In addition, as shown in Fig. 2A, it is preferable to prepare two metal pieces 20a that are curved so that their respective bending directions coincide with each other and press-fit them into the guide grooves 20a '.

이 이유는, 이와 같이 구성하면, 가동 스테이지(12)를 슬라이드시킬 때에, 금속편(20a)이 동일 방향으로 만곡해 있으므로, 그것에 의한 가이드성이 더욱 양호해지기 때문이다.This reason is because, when comprised in this way, since the metal piece 20a curves in the same direction at the time of sliding the movable stage 12, guide property by it will become more favorable.

계속하여, 도 7에 언급하여, 가이드 부재(20)의 일부를 구성하는 금속편(20a)의 길이와, 고정 스테이지(11)의 가이드홈(20b)의 길이의 관계를 설명한다.Subsequently, referring to FIG. 7, the relationship between the length of the metal piece 20a constituting a part of the guide member 20 and the length of the guide groove 20b of the fixing stage 11 will be described.

또한, 고정 스테이지(11)의 가이드홈(20b)의 길이와, 가동 스테이지(12)의 가이드홈(20b')의 길이는 실질적으로 동일하므로, 후술하는 관계는, 고정 스테이지(11)의 가이드홈(20b)뿐만 아니라, 가동 스테이지(12)의 가이드홈(20b')에도 적합한 것이다.In addition, since the length of the guide groove 20b of the fixed stage 11 and the length of the guide groove 20b 'of the movable stage 12 are substantially the same, the relationship described later is the guide groove of the fixed stage 11. Not only 20b but also the guide groove 20b 'of the movable stage 12 is suitable.

우선, 금속편(20a)의 길이(L3)는, 가이드홈(20b)의 길이(L4)보다 짧은 값이지만, 통상, 가이드홈(20b)의 길이(L4)의 50∼90％ 범위 내의 값이며, 보다 구체적으로는 1.5∼8㎝ 범위 내의 값으로 하는 것이 바람직하다.First, although the length L3 of the metal piece 20a is a value shorter than the length L4 of the guide groove 20b, it is usually a value within 50 to 90% of the length L4 of the guide groove 20b, More specifically, the value is preferably within the range of 1.5 to 8 cm.

이 이유는, 이러한 금속편(20a)의 길이(L3)가 1.5㎝ 미만의 값이 되면, 가이드 부재(20)를 구성한 경우에 있어서의 가이드 효과가 현저하게 저하할 경우가 있기 때문이다.This reason is because when the length L3 of such a metal piece 20a becomes a value less than 1.5 cm, the guide effect in the case which comprises the guide member 20 may fall remarkably.

한편, 이러한 금속편(20a)의 길이(L3)가 8㎝를 초과한 값이 되면, 스테이지 기구(10)의 중량이 과도하게 무거워지거나, 이송 나사(15)의 이송에 동기시켜, 가동 스테이지(12)만을 원활하게 슬라이드시키는 것이 곤란해질 경우가 있기 때문이다.On the other hand, when the length L3 of this metal piece 20a becomes a value exceeding 8 cm, the weight of the stage mechanism 10 becomes excessively heavy, or in synchronization with the transfer of the feed screw 15, the movable stage 12 This is because it may become difficult to slide only smoothly.

따라서, 이러한 금속편(20a)의 길이(L3)를 2∼7㎝ 범위 내의 값으로 하는 것이 보다 바람직하고, 3∼5㎝ 범위 내의 값으로 하는 것이 더욱 바람직하다.Therefore, it is more preferable to make length L3 of such metal piece 20a into the value within the 2-7 cm range, and it is still more preferable to set it as the value within the 3-5 cm range.

또한, 금속편(20a)의 두께(t1)에 대해서도, 가이드홈(20b)의 두께(t2)의 약 2배의 값이지만, 통상, 0.5∼8㎜ 범위 내의 값으로 하는 것이 바람직하다.The thickness t1 of the metal piece 20a is also about twice the value of the thickness t2 of the guide groove 20b, but is usually preferably within a range of 0.5 to 8 mm.

이 이유는, 이러한 금속편(20a)의 두께(t1)가 0.5㎜ 미만의 값이 되면, 가이드 부재(20)를 구성한 경우에 있어서의 가이드 효과가 현저하게 저하할 경우가 있기 때문이다.This reason is because when the thickness t1 of this metal piece 20a becomes a value less than 0.5 mm, the guide effect in the case which comprises the guide member 20 may fall remarkably.

한편, 이러한 금속편(20a)의 두께(t1)가 8㎜를 초과한 값이 되면, 스테이지 기구(10)의 중량이 과도하게 무거워지거나, 이송 나사(15)의 이송에 동기시켜, 가동 스테이지(12)만을 원활하게 슬라이드시키는 것이 곤란해질 경우가 있기 때문이다.On the other hand, when the thickness t1 of this metal piece 20a becomes a value exceeding 8 mm, the weight of the stage mechanism 10 becomes excessively heavy, or it synchronizes with the feed of the feed screw 15, and the movable stage 12 This is because it may become difficult to slide only smoothly.

따라서, 이러한 금속편(20a)의 두께(t1)를 1∼7㎜ 범위 내의 값으로 하는 것이 보다 바람직하고, 2∼6㎜ 범위 내의 값으로 하는 것이 더욱 바람직하다.Therefore, it is more preferable to make thickness t1 of such metal piece 20a into the value within 1-7 mm range, and it is still more preferable to set it as the value within 2-6 mm range.

그것에 대하여, 가이드 부재(20)의 일부를 구성하는 가이드홈(20b)의 길이(L4)는, 상술한 금속편(20a)의 길이(L3)나 두께(t1), 혹은 금속편(20a)의 만곡 정도 등을 고려하여 정할 수 있지만, 통상, 1.8∼9㎝ 범위 내의 값으로 하는 것이 바람직하다.In contrast, the length L4 of the guide groove 20b constituting a part of the guide member 20 is the length L3 or the thickness t1 of the metal piece 20a described above, or the degree of curvature of the metal piece 20a. Although it can determine in consideration, etc., it is usually preferable to set it as the value within 1.8-9 cm.

이 이유는, 이러한 가이드홈(20b)의 길이(L4)가 1.8㎝ 미만의 값이 되면, 가이드 부재(20)를 구성한 경우에 있어서의 가이드 효과가 현저하게 저하하거나, 금속편(20a)의 압입이 곤란해질 경우가 있기 때문이다.The reason for this is that when the length L4 of the guide groove 20b is less than 1.8 cm, the guide effect in the case of constituting the guide member 20 is remarkably reduced, or the press-fit of the metal piece 20a This is because it may be difficult.

한편, 이러한 가이드홈(20b)의 길이(L4)가 9㎝를 초과한 값이 되면, 금속편(20a)의 고정성이 저하하거나, 이송 나사(15)의 이송에 동기시켜, 가동 스테이지(12)만을 원활하게 슬라이드시키는 것이 곤란해질 경우가 있기 때문이다.On the other hand, when the length L4 of this guide groove 20b becomes a value exceeding 9 cm, the fixability of the metal piece 20a is reduced, or the movable stage 12 is synchronized with the feeding of the feed screw 15. This is because it may be difficult to slide the bay smoothly.

따라서, 이러한 가이드홈(20b)의 길이(L4)를 2.2∼7.5㎝ 범위 내의 값으로 하는 것이 보다 바람직하고, 3.5∼5.5㎝ 범위 내의 값으로 하는 것이 더욱 바람직하다.Therefore, it is more preferable to make length L4 of such guide groove 20b into the value within the range of 2.2-7.5 cm, and it is still more preferable to set it as the value within the range of 3.5-5.5 cm.

또한, 가이드 부재(20)의 일부를 구성하는 가이드홈(20b)의 깊이(t2)에 대해서도 금속편(20a)의 두께(t1)에 의하지만, 통상, 0.1∼8㎜ 범위 내의 값으로 하는 것이 바람직하다.The depth t2 of the guide groove 20b constituting a part of the guide member 20 also depends on the thickness t1 of the metal piece 20a, but is usually preferably within a range of 0.1 to 8 mm. Do.

이 이유는, 이러한 가이드홈(20b)의 깊이(t1)가 0.1㎜ 미만의 값이 되면, 가이드 부재(20)를 구성한 경우에 있어서의 가이드 효과가 현저하게 저하하거나, 금속편(20a)의 고정성이 저하할 경우가 있기 때문이다.The reason for this is that when the depth t1 of the guide groove 20b is less than 0.1 mm, the guide effect in the case of constituting the guide member 20 is remarkably lowered, or the fixability of the metal piece 20a is reduced. This is because it may decrease.

한편, 이러한 가이드홈(20b)의 깊이(t1)가 8㎜를 초과한 값이 되면, 고정 스테이지(11)의 강도나 안정성이 저하하거나, 이송 나사(15)의 이송에 동기시켜, 가동 스테이지(12)만을 원활하게 슬라이드시키는 것이 곤란해질 경우가 있기 때문이다.On the other hand, when the depth t1 of this guide groove 20b becomes a value exceeding 8 mm, the strength and stability of the fixed stage 11 decrease, or in synchronization with the transfer of the feed screw 15, the movable stage ( This is because it may be difficult to slide only 12) smoothly.

따라서, 이러한 가이드홈(20b)의 깊이(t1)를 0.5∼6㎜ 범위 내의 값으로 하는 것이 보다 바람직하고, 1∼4㎜ 범위 내의 값으로 하는 것이 더욱 바람직하다.Therefore, it is more preferable to make the depth t1 of such guide groove 20b into the value within the range of 0.5-6 mm, and it is still more preferable to set it as the value within the range of 1-4 mm.

또한, 상술한 가이드 부재(20) 대신에, 혹은 병용하여, 볼 가이드나 크로스 롤러 가이드 등을 이용하는 것도 바람직하다.Moreover, it is also preferable to use a ball guide, a cross roller guide, etc. instead of or together with the guide member 20 mentioned above.

즉, 도시하지 않지만, 고정 스테이지 및 가동 스테이지에 있어서의 각각의 소정 장소이며, 그리고 평행 위치에, 두 개의 Ｖ홈 레일을 설치하여, 그 안에, 복수의 볼 또는 롤러를 배열하고, 이들 볼 또는 롤러가, Ｖ홈 레일을 따라 굴러가면서 이동하는 구성으로 함으로써, 소정의 가이드 효과를 발휘시키는 것도 바람직하다.That is, although not shown, it is a predetermined place in each of the fixed stage and the movable stage, and two groove rails are provided in parallel positions, and a plurality of balls or rollers are arranged therein, and these balls or rollers are arranged. It is also preferable to exhibit a predetermined guide effect by setting the structure to move while rolling along the groove groove rail.

2. 가동 스테이지2. Operation stage

(1) 형태(1) form

도 1에 나타내는 가동 스테이지(12)의 형태에 대해서도, 고정 스테이지(11)의 형태와 마찬가지로, 특별히 제한되는 것이 아니지만, 대략 평판 형상인 것을 특징으로 한다.The shape of the movable stage 12 shown in FIG. 1 is also not particularly limited as in the form of the fixed stage 11, but is characterized by a substantially flat plate shape.

즉, 도 5의 분해도에 나타내는 바와 같이, 통상, 가동 스테이지(12)의 평면 형상을 사각형(정방형을 포함)으로 함과 동시에, 그 치수로서, 고정 스테이지(11)와 마찬가지로, 종폭을 2∼10㎝ 범위 내의 값, 횡폭을 2∼10㎝ 범위 내의 값으로 하며, 그리고, 두께를 1∼10㎜ 범위 내의 값으로 하는 것이 바람직하다.That is, as shown in the exploded view of FIG. 5, the planar shape of the movable stage 12 is generally square (including square), and as its dimensions, the width is 2 to 10 as in the fixed stage 11. It is preferable to make the value in the cm range, the width in the range of 2-10 cm, and to make the thickness in the range of 1-10 mm.

이 이유는, 이와 같은 평면 형상 및 치수를 갖는 가동 스테이지(12)이면, 고정 스테이지(11)와 마찬가지의 치수로 하여, 콤팩트하게 정리됨과 동시에, 이송 나사(15)의 이송에 대응한 연결 부재(18)의 움직임에 의해, 가동 스테이지(12)의 단부만을 가압하여, 가동 스테이지(12)만을 소정 방향으로 슬라이드시킬 수 있기 때문이다.The reason for this is that if the movable stage 12 having such a planar shape and dimensions has the same dimensions as the fixed stage 11, it is compactly arranged and at the same time, the connecting member corresponding to the transfer of the feed screw 15 ( This is because only the end of the movable stage 12 can be pressed by the movement of 18 to slide only the movable stage 12 in a predetermined direction.

따라서, 스테이지 기구(10)의 전체로서, 사용이 편리하거나 제조가 용이해질 뿐만 아니라, 소정의 워크를 장착한 가동 스테이지(12)와 조합한 경우에도, 그들을 안정적으로 유지하면서, 용이하게 슬라이드시킬 수 있다.Therefore, as a whole of the stage mechanism 10, not only is it convenient to use or it is easy to manufacture, but also when it is combined with the movable stage 12 which attached a predetermined | prescribed workpiece | work, it can slide easily, maintaining them stably. have.

또한, 가동 스테이지(12)는, 도 1의 (a)에 나타내는 바와 같이, 그 표면측에, 작은 구멍인 그리스 주입 구멍(12a)이 한 개 또는 두 개 이상 마련되어 있는 것이 바람직하다. 그것을 이용하여, 소정 그리스를 주입하고, 고정 스테이지(11)와 가동 스테이지(12) 사이의 슬라이드성을 더욱 향상시킬 수 있기 때문이다.In addition, it is preferable that the movable stage 12 is provided with one or two or more grease injection holes 12a, which are small holes, on the surface side thereof, as shown in Fig. 1A. This is because predetermined grease can be injected by using it, and the slideability between the fixed stage 11 and the movable stage 12 can be further improved.

또한, 가동 스테이지(12)는, 도 1의 (a)에 나타내는 바와 같이, 그 표면측에, 예를 들면 직경 1∼5㎜의 워크 고정용 관통 구멍(12b)이 한 개 또는 두 개 이상 마련되어 있는 것이 바람직하다. 그것을 이용하여, 소정 워크를 스테이지 기구(10)에 대하여, 강고하게 장착할 수 있기 때문이다.As shown in Fig. 1A, the movable stage 12 is provided with one or two or more through holes 12b for fixing the workpiece, for example, having a diameter of 1 to 5 mm. It is desirable to have. This is because the predetermined work can be firmly attached to the stage mechanism 10 by using it.

또한, 가동 스테이지(12)는, 도 1의 (a)에 나타내는 바와 같이, 그 표면측에, 예를 들면, 직경 1∼3㎜의 가압 부재용 관통 구멍(12c)이 한 개 또는 두 개 이상 마련되어 있는 것이 바람직하다. 그것을 이용하여, 가압 부재(17)를 삽입하고, 고정 스테이지(11)와 가동 스테이지(12)를, 소정 가압 상태로 유지할 수 있기 때문이다.In addition, as shown to Fig.1 (a), the movable stage 12 has the one or two or more through-hole 12c for pressurizing members of diameter 1-3mm on the surface side, for example. It is preferable that it is provided. It is because the pressurizing member 17 can be inserted using this, and the fixed stage 11 and the movable stage 12 can be kept in a predetermined pressurized state.

(2) 구성 재료(2) constituent materials

또한, 가동 스테이지(12)의 구성 재료에 대해서도 특별히 제한되는 것이 아니지만, 고정 스테이지와 마찬가지로, 통상, 알루미늄(알루마이트 처리 알루미늄을 포함), 구리, 황동, 철, 니켈, 마그네슘, 텅스텐, 세라믹, 고분자 수지 재료 등 중 적어도 하나인 것이 바람직하다.In addition, the constituent material of the movable stage 12 is not particularly limited, but similarly to the fixed stage, aluminum (including anodized aluminum), copper, brass, iron, nickel, magnesium, tungsten, ceramics and polymer resins are usually used. It is preferable that it is at least one of a material etc.

(3) 가이드 부재(3) guide member

또한, 도 5 및 도 6에 시사하는 바와 같이, 고정 스테이지(11)뿐만 아니라, 거기에 상하 방향으로 대향하는 위치에, 가동 스테이지(12)에 있어서도, 한 개 또는 두 개 이상의 가이드홈(20b')을 마련하고, 거기에 금속편(20a)을 후입(厚入)하여, 가이드 부재(20)로 하는 것이 바람직하다.5 and 6, one or two or more guide grooves 20b 'are also present not only in the fixed stage 11 but also in the movable stage 12 at positions opposite to the vertical stage. ), The metal piece 20a is post-inserted therein, and the guide member 20 is preferably used.

이 이유는, 이와 같은 가이드 부재(20)를 설치함으로써, 고정 스테이지(11)와 가동 스테이지(12)가 대향한 상태에서 배치된 후, 이송 나사(15)의 이송에 대응하는 연결 부재(18)의 가압 동작에 의해, 고정 스테이지(11)의 표면상, 가이드 부재(20)를 따라, 가동 스테이지(12)만을 소정 방향으로, 안정적으로 슬라이드시킬 수 있기 때문이다.The reason for this is that by providing such a guide member 20, the fixed stage 11 and the movable stage 12 are arranged in a state where they face each other, and then the connecting member 18 corresponding to the transfer of the transfer screw 15 is provided. This is because only the movable stage 12 can be stably slid along the guide member 20 on the surface of the fixed stage 11 along the guide member 20 in a predetermined direction.

3. 연결 부재3. Connection member

또한, 도 1의 (a)∼(b)에 나타내는 바와 같이, 연결 부재(18)는, 가동 스테이지(12)에 대하여, 복수의 연결 부재용 고정구(19(19a, 19b))에 의해, 밸런스 좋게, 그리고 강고하게 장착되어 있으며, 그리고, 고정 스테이지(11)에 형성한 스폿 패이싱부(13)에 장착되어 있는 이송 나사(15)의 움직임(회전 직진 운동)에 동기하여, 가동 스테이지(12)를 슬라이드시키기 위한 부재이다.In addition, as shown to (a)-(b) of FIG. 1, the connection member 18 is balanced with the several fasteners 19 (19a, 19b) for the movable stage 12 with respect to the movable stage 12. FIG. The movable stage 12 is preferably and firmly mounted, and is synchronized with the movement (rotation straight movement) of the feed screw 15 mounted on the spot pacing portion 13 formed on the fixed stage 11. ) Is a member for sliding.

따라서, 연결 부재(18)는, 도 1의 (a)∼(b)에 나타내는 바와 같이, 플레이트 형상 혹은 직방체 형상인 것이 바람직하고, 그 평면 형상에 대해서도, 반원 형상, 타원 형상, 직사각 형상, 이형상 등 중 어느 것이어도 된다.Therefore, as shown to Fig.1 (a)-(b), it is preferable that the connection member 18 is a plate shape or a rectangular parallelepiped shape, and also the semicircle shape, an ellipse shape, a rectangular shape, and a heterogeneous shape also about the planar shape. Etc. may be sufficient.

그리고, 이러한 연결 부재(18)의 구성 재료로서는, 가동 스테이지(12)의 구성 재료와 마찬가지로, 알루미늄(알루마이트 처리 알루미늄을 포함), 구리, 황동, 철, 니켈, 마그네슘, 텅스텐, 세라믹, 고분자 수지 재료 등 중 적어도 하나인 것이 바람직하다.As the constituent material of the connecting member 18, similarly to the constituent material of the movable stage 12, aluminum (including anodized aluminum), copper, brass, iron, nickel, magnesium, tungsten, ceramic, polymer resin material It is preferable that it is at least one among these.

또한, 이러한 연결 부재(18)에 대하여, 이송 나사(15)를 소정압이 되도록 예압 조정할 수 있도록, 도 1의 (b)에 나타내는 바와 같이 예압 부재(22)가 설치되어 있는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that the preload member 22 is provided with respect to such a connection member 18 as shown in FIG.1 (b) so that the preload adjustment of the feed screw 15 may become predetermined pressure.

즉, 이송 나사(15)의 두부(15a)와 예압 부재(22)에서, 연결 부재(18)를 끼워넣음과 동시에, 예압 나사(22b)를 이용하여, 예압 부재(22)가, 이송 나사(15)에 대하여 가압 조정되어 있는 것이 바람직하다.That is, in the head 15a and the preload member 22 of the feed screw 15, the preload member 22 is inserted by using the preload screw 22b while inserting the connecting member 18. It is preferable to adjust the pressure with respect to 15).

이 이유는, 이와 같이 예압 부재(22)를 설치함으로써, 이송 나사(15)의 소정 방향의 이송을 저해하지 않고, 연결 부재(18), 나아가서는 그것에 고정된 가동 스테이지(12)를 원활하게 슬라이드시키는 것이 가능해지기 때문이다.The reason for this is that by providing the preload member 22 as described above, the connecting member 18 and the movable stage 12 fixed thereto are smoothly slid without impeding the feeding of the feed screw 15 in the predetermined direction. It is possible to make it.

4. 가압 부재4. Pressurizing member

또한, 고정 스테이지(11)와 가동 스테이지(12)를 상하 방향으로 가압하고, 이송 나사(15)의 이송에 의해, 양자가 슬라이딩하면서 원활하게 슬라이드하도록, 소정의 가압 부재(17)를 설치하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable to provide a predetermined pressing member 17 so that the fixed stage 11 and the movable stage 12 are pressed in the vertical direction and the slides smoothly slide while both of them slide by the feed screw 15. desirable.

보다 구체적으로는, 도 1에 나타내는 스테이지 기구(10)에 있어서의 C-C 단면도인 도 8에 나타내는 바와 같이, 고정 스테이지(11)의 하면의 일부에, 스폿 패이싱부(17c)를 설치하여, 압축 스프링(17a) 및 와셔(17b)를 통해, 가압 부재(17)로서의 볼트를 하방으로부터 나사 삽입하고, 고정 스테이지(11)와 가동 스테이지(12)를 상하 방향으로 압접시키는 것이 바람직하다.More specifically, as shown in FIG. 8 which is CC sectional drawing in the stage mechanism 10 shown in FIG. 1, the spot pacing part 17c is provided in a part of the lower surface of the fixed stage 11, and is compressed. Through the spring 17a and the washer 17b, it is preferable that the bolt as the press member 17 is screwed in from below, and the fixed stage 11 and the movable stage 12 are press-contacted in the up-down direction.

즉, 가압 부재(17)의 나사 삽입량을 조절하여, 가압 부재(17)로서의 볼트와 압축 스프링(17a) 사이의 거리를 소정 범위 내의 값으로 하는 것이다.That is, the screw insertion amount of the press member 17 is adjusted, and the distance between the bolt as the press member 17 and the compression spring 17a is made into the value within a predetermined range.

단, 가압 부재(17)의 구성으로서는, 이와 같은 볼트에 한하지 않고, 판 스프링이나 클립 등이어도 된다.However, as the structure of the press member 17, not only such a bolt but a leaf spring, a clip, etc. may be sufficient.

[제2 실시형태]Second Embodiment

제2 실시형태는, 도 9의 (a)∼(b)에 예시하는 바와 같이, 직방체 형상의 고정 스테이지(111)와, 당해 고정 스테이지(111)의 내부에 수용된 원기둥 형상 부재(117)와, 고정 스테이지(111)의 표면을 따라 슬라이드하는 가동 스테이지(112)를 포함하는 스테이지 기구(100)이다.As illustrated in FIGS. 9A to 9B, the second embodiment includes a rectangular parallelepiped fixed stage 111, a cylindrical member 117 accommodated in the fixed stage 111, and A stage mechanism 100 including a movable stage 112 that slides along the surface of the fixed stage 111.

그리고, 원기둥 형상 부재(117)의 내부에, 한 개 또는 두 개 이상의 백래시 흡수 부재(116)가 장착되어 있음과 동시에, 연결 부재(118)에 의해, 백래시 흡수 부재(116)를 장착한 원기둥 형상 부재(117)와, 가동 스테이지(112)가 연결되어 있으며, 그리고, 고정 스테이지(111)에 장착한 이송 나사(115)에 의해, 백래시 흡수 부재(116)를 통해, 원기둥 형상 부재(117)를 슬라이드시킴으로써, 가동 스테이지(112)를 동기시켜 슬라이드시키는 것을 특징으로 하는 스테이지 기구(100)이다.In addition, one or two or more backlash absorbing members 116 are mounted inside the cylindrical member 117, and a cylindrical shape in which the backlash absorbing members 116 are mounted by the connecting member 118. The member 117 and the movable stage 112 are connected, and the cylindrical member 117 is connected through the backlash absorbing member 116 by the feed screw 115 attached to the fixed stage 111. The stage mechanism 100 is characterized by sliding the movable stage 112 by sliding.

이하, 적절히 도면을 참조하면서, 제2 실시형태의 스테이지 기구(100)에 대해서, 제1 실시형태의 스테이지 기구(10)와 다른 점을 중심으로, 구체적으로 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the stage mechanism 100 of 2nd Embodiment is demonstrated concretely centering | focusing on the difference with the stage mechanism 10 of 1st Embodiment, referring an appropriate figure.

1. 고정 스테이지1. Fixed Stage

(1) 형태(1) form

제2 실시형태의 스테이지 기구(100)의 경우, 도 9의 (a)에 나타내는 바와 같이, 고정 스테이지(111)가 직방체 형상인 것을 특징으로 한다.In the case of the stage mechanism 100 of 2nd Embodiment, as shown to Fig.9 (a), the fixed stage 111 is a rectangular parallelepiped shape, It is characterized by the above-mentioned.

즉, 통상, 평면 치수가 0.8∼5㎝×1∼10㎝의 사각형(정방형을 포함)이며, 그리고, 두께를 1∼10㎜ 범위 내의 값으로 하는 것이 바람직하다.That is, it is preferable that it is a square (including square) of planar dimensions normally 0.8-5 cm x 1-10 cm, and makes thickness into the value within the range of 1-10 mm.

이 이유는, 이와 같은 치수의 고정 스테이지(111)이면, 사용이 편리하거나 제조가 용이해질 뿐만 아니라, 소정의 워크를 장착한 가동 스테이지(112)와 조합한 경우에도, 그들을 안정적으로 유지하면서, 용이하게 가동 스테이지(112)만을 슬라이드시킬 수 있기 때문이다.The reason for this is that if the fixed stage 111 of such a dimension is not only convenient to use or easy to manufacture, but also in combination with the movable stage 112 having a predetermined work, it is easy to maintain them stably. This is because only the movable stage 112 can be slid.

(2) 구성 재료(2) constituent materials

또한, 고정 스테이지(111)의 구성 재료로서는, 우수한 경량성, 내구성, 치수 안정성, 가공성 등이 각각 얻어지는 것으로부터, 알루미늄(알루마이트 처리 알루미늄을 포함), 구리, 황동, 철, 니켈, 마그네슘, 텅스텐, 세라믹, 고분자 수지 재료 등 중 적어도 하나인 것이 바람직하다.In addition, as the constituent material of the fixing stage 111, since excellent lightness, durability, dimensional stability, workability, etc. are respectively obtained, aluminum (including anodized aluminum), copper, brass, iron, nickel, magnesium, tungsten, It is preferable that it is at least one of a ceramic, a polymeric resin material, etc.

(3) 이송 나사(3) feed screw

또한, 제2 실시형태의 스테이지 기구(100)에 있어서 이송 나사(115)는, 그 나사부(115b)의 소정 위치에, 후술하는 백래시 흡수 부재(116)를 구비하고 있으며, 또한 후술하는 원기둥 형상 부재(117)에 걸어맞추어, 가동 스테이지(112)를 동기시켜 슬라이드시키기 위한 부재이다.In addition, in the stage mechanism 100 of 2nd Embodiment, the feed screw 115 is equipped with the backlash absorbing member 116 mentioned later in the predetermined position of the screw part 115b, and is a cylindrical member mentioned later. It is a member for engaging with 117 and sliding the movable stage 112 in synchronization.

여기에서, 도 10의 (a)∼(c)를 참조하여, 이송 나사(115)에 구비된 백래시 흡수 부재(116)를, 원기둥 형상 부재(117)의 단부에 대하여 장착하는 방법에 대해서 설명한다.Here, with reference to FIG.10 (a)-(c), the method to attach the backlash absorbing member 116 with which the feed screw 115 was equipped with respect to the edge part of the cylindrical member 117 is demonstrated. .

우선은, 도 10의 (a)에 나타내는 바와 같이, 백래시 흡수 부재(116)를 구비한 이송 나사(115)를 준비한다.First, as shown to Fig.10 (a), the feed screw 115 provided with the backlash absorbing member 116 is prepared.

계속하여, 도 10의 (b)에 나타내는 바와 같이, 이송 나사(115)를 화살표 방향으로 회전시켜, 전방(前方)으로 송출하여, 단부에 오목부를 갖는 원통 형상 부재(117)와 접촉시킨다.Subsequently, as shown in FIG. 10 (b), the feed screw 115 is rotated in the direction of the arrow, sent out in front, and brought into contact with the cylindrical member 117 having a recessed portion at the end.

마지막으로, 도 10의 (c)에 나타내는 바와 같이, 이송 나사(115)를 화살표 방향으로 더 회전시켜, 전방으로 송출하여, 원통 형상 부재(117)의 단부에 마련된 오목부에 삽입한다.Finally, as shown in FIG.10 (c), the feed screw 115 is further rotated in an arrow direction, sent out, and inserted into the recessed part provided in the edge part of the cylindrical member 117. FIG.

즉, 이와 같이 하여, 이송 나사(115)에 구비된 백래시 흡수 부재(116)를, 원기둥 형상 부재(117)의 단부에 용이하게 그리고 정확하게 장착할 수 있다.That is, in this way, the backlash absorbing member 116 provided in the feed screw 115 can be attached to the end of the cylindrical member 117 easily and accurately.

그리고, 백래시 흡수 부재(116)와, 이송 나사(115)의 나사부(115b)의 관계에서, 더블 너트 효과를 용이하게 발휘할 수 있고, 즉, 그것에 의해, 백래시 흡수 부재(116)에 있어서의 느슨함 등의 발생을 효과적으로 방지할 수 있다.In the relationship between the backlash absorbing member 116 and the threaded portion 115b of the feed screw 115, the double nut effect can be easily exhibited, that is, the looseness in the backlash absorbing member 116 is thereby obtained. It is possible to effectively prevent the occurrence of such.

또한, 이러한 이송 나사(115)에 있어서도, 도 9의 (b)에 나타내는 바와 같이, 소정 압력을 주기 위해, 예압 부재(122)가 설치되어 있는 것이 바람직하다.Moreover, also in such a feed screw 115, as shown in FIG.9 (b), it is preferable that the preload member 122 is provided in order to give a predetermined pressure.

즉, 이송 나사(115)와 예압 부재(122)에서, 고정 스테이지(111)의 일부를 끼워넣고, 그 상태에서, 예압 나사(122b)를 이용하여, 이송 나사(115)에 대하여, 예압 부재(122)를 가압함으로써, 이송 나사(115)의 이송 동작을 과도하게 방지하지 않고, 예압 조정하여, 예압 부재(122)를 고정할 수 있다.That is, in the feed screw 115 and the preload member 122, a part of the fixing stage 111 is fitted, and in that state, the preload member (using the preload screw 122b) is used with respect to the feed screw 115. By pressing 122, the preload member 122 can be fixed by preload adjustment, without excessively preventing the conveyance operation of the feed screw 115.

(4) 백래시 흡수 부재(4) backlash absorbing member

또한, 제2 실시형태의 스테이지 기구(100)에 있어서의 백래시 흡수 부재(116)에 관하여, 제1 실시형태의 백래시 흡수 부재(16)(금속 보호 커버(16c)를 갖는 쿠션 수지 부재(16b))와 기본적으로 마찬가지의 내용으로 할 수 있다.Moreover, with respect to the backlash absorbing member 116 in the stage mechanism 100 of 2nd Embodiment, the cushion resin member 16b which has the backlash absorbing member 16 (metal protective cover 16c) of 1st Embodiment. ) And basically the same content.

즉, 도 9의 (b)에 나타내는 바와 같이, 소정 구조의 백래시 흡수 부재(16)가, 이송 나사(115)의 도중에 설치되어 있다.That is, as shown in FIG.9 (b), the backlash absorbing member 16 of a predetermined structure is provided in the middle of the feed screw 115. As shown in FIG.

보다 구체적으로는, 도 10의 (c)에 나타내는 바와 같이, 나사부(116e)를 갖는 금속 보호 커버(16c)의 수용부에 장착된 쿠션 수지 부재(116b)가 준비되고, 그것을 포함하여 이루어지는 백래시 흡수 부재(116)가, 이송 나사(115)의 도중에 설치되어 있다.More specifically, as shown in Fig. 10C, the cushion resin member 116b attached to the receiving portion of the metal protective cover 16c having the threaded portion 116e is prepared, and the backlash absorption comprising the same The member 116 is provided in the middle of the feed screw 115.

따라서, 이송 나사(115)가 소정 방향으로 보내져, 가동 스테이지(112)가 슬라이드하고 있는 동안에는, 백래시 흡수 부재(116)는, 소정의 미끄럼성을 발휘하여, 당해 가동 스테이지(112)의 슬라이드를 저해하지 않고 기능한다.Therefore, while the feed screw 115 is sent in the predetermined direction and the movable stage 112 is sliding, the backlash absorbing member 116 exhibits predetermined slipperiness and inhibits the slide of the movable stage 112. Function without

그리고, 가동 스테이지(112)를 고정할 때에는, 백래시 흡수 부재(116)가 적당히 변형하여, 가동 스테이지(112)의 백래시를 적게 하고, 그리고, 가동 스테이지(112)를 고정한 후에는, 충분히 고화하여, 마찬가지로 가동 스테이지(112) 등에 발생하는 응력을 흡수하고, 강고하게 고정 상태를 유지할 수 있다.And when fixing the movable stage 112, the backlash absorbing member 116 deform | transforms moderately, reduces the backlash of the movable stage 112, and after fixing the movable stage 112, it solidifies enough, Similarly, the stress generated in the movable stage 112 or the like can be absorbed and firmly maintained.

또한, 도 10의 (c)는, 백래시 흡수 부재(116)가 한 개 설치된 예를 나타내고 있지만, 이러한 백래시 흡수 부재(116)가 두 개 이상 도 4의 (a)∼(c)에 준하여, 배열되어 있어도 된다.In addition, although FIG.10 (c) shows the example in which one backlash absorbing member 116 was provided, two or more such backlash absorbing members 116 are arrange | positioned according to FIG.4 (a)-(c). You may be.

(5) 이동 구멍(5) moving hole

또한, 고정 스테이지(111)의 내부에, 단면 형상이 대략 원기둥 형상의 이동 구멍(117b)을 마련하고, 그 안을, 후술하는 원통 형상 부재(117)가 슬라이드 가능한 구성으로 하는 것을 특징으로 한다.Moreover, the inside of the fixed stage 111 is provided with the movement hole 117b of substantially cylindrical shape in cross section, and the inside is made the structure which the cylindrical member 117 mentioned later can slide.

보다 구체적으로는, 도 11에 나타내는 바와 같이, 고정 스테이지(111)의 내부에, 대략 원통 형상이며, 그리고, 상방에 개구한, 사각 형상의 개구부(117c)를 갖는 이동 구멍(117b)을 마련하는 것이 바람직하다.More specifically, as shown in FIG. 11, inside the fixing stage 111, the moving hole 117b which has a substantially cylindrical shape, and has the square opening 117c opened upward is provided. It is preferable.

즉, 가동 스테이지(112)를 떼어낸 경우, 이동 구멍(117b)에 있어서의 개구부(117c)를 통해, 원통 형상 부재(117)의 평탄부(117a)가 노출해 있음과 동시에, 당해 원통 형상 부재(117)의 평탄부(117a)와 고정 스테이지(111)의 상면측의 평탄면(111a)의 면 위치가 일치해 있어, 동일 평면을 이루는 구성인 것이 바람직하다.That is, when removing the movable stage 112, the flat part 117a of the cylindrical member 117 is exposed through the opening part 117c in the movement hole 117b, and the said cylindrical member It is preferable that the surface position of the flat part 117a of 117 and the flat surface 111a of the upper surface side of the fixed stage 111 correspond, and it is the structure which comprises the same plane.

이 이유는, 이와 같이 이동 구멍(117b)을 이용함으로써, 후술하는 원통 형상 부재(117)가 원활하게 슬라이드할 수 있음과 동시에, 원통 형상 부재(117)의 상면에, 평판 형상의 가동 스테이지(112)를 장착한 경우에도, 원통 형상 부재(117)의 원활한 슬라이드를 저해하지 않기 때문이다.The reason for this is that by using the movement hole 117b in this manner, the cylindrical member 117 described later can slide smoothly, and the flat stage movable stage 112 is formed on the upper surface of the cylindrical member 117. This is because the smooth slide of the cylindrical member 117 is not impaired even when the c) is mounted.

2. 가동 스테이지2. Operation stage

또한, 가동 스테이지(112)는, 후술하는 연결 부재(118)에 의해, 또한 후술하는 원통 형상 부재(117)에 대하여 연결되어 있는 평판 형상 부품으로서, 고정 스테이지(111)에 장착한 이송 나사(115)에 동기하여, 워크(도시 생략)를 설치한 상태에서, 소정 방향으로 슬라이드하는 구성이다.In addition, the movable stage 112 is a flat-shaped component connected to the cylindrical member 117 described later by the connecting member 118 described later, and the feed screw 115 attached to the fixed stage 111. In the state in which a work (not shown) is provided in synchronization with the above), it is configured to slide in a predetermined direction.

즉, 이러한 평판 형상의 가동 스테이지(112)의 표면측에, 가공기나 현미경 등의 대상물인 워크(도시 생략)를 설치한 상태에서, 이송 나사(115)에 의해, 당해 가동 스테이지(112)의 위치를 미세 조정할 수 있다.That is, the position of the said movable stage 112 by the feed screw 115 in the state in which the workpiece | work (not shown) which is an object, such as a processing machine and a microscope, is installed in the surface side of such a flat-shaped movable stage 112. Can be fine tuned.

또한, 가동 스테이지(112)의 형태에 대해서, 더욱 경량화, 소형화 등을 하기 위해, 평면 형상이 소정 치수의 장방형으로 되어 있는 것을 제외하고, 제1 실시형태의 가동 스테이지(12)와 마찬가지의 내용으로 할 수 있다.In addition, the shape of the movable stage 112 is the same as that of the movable stage 12 of the first embodiment, except that the planar shape is a rectangular shape having a predetermined dimension in order to further reduce the weight and size. can do.

3. 연결 부재3. Connection member

또한, 연결 부재(118)는, 직접적으로는 가동 스테이지(112)와, 백래시 흡수 부재(116)를 장착한 원통 형상 부재(117)를 연결하는 고정 부재로서, 고정 스테이지(111)에 형성한 스폿 패이싱부(113)에 장착되어 있는 이송 나사(115)에 동기시켜, 백래시 흡수 부재(116)를 통해, 원통 형상 부재(117)를 슬라이드시키고, 나아가서는, 가동 스테이지(112)를 동방향으로 슬라이드시키기 위한 고정 부재이다.In addition, the connecting member 118 is a fixing member which directly connects the movable stage 112 and the cylindrical member 117 equipped with the backlash absorbing member 116, and is a spot formed in the fixing stage 111. In synchronism with the feed screw 115 attached to the pacing section 113, the cylindrical member 117 is slid through the backlash absorbing member 116, and further, the movable stage 112 is moved in the same direction. It is a fixing member for sliding.

따라서, 연결 부재(118)는, 도 9의 (b)에 나타내는 바와 같은 나사 부재(118)여도 되고, 혹은, 그 밖의 형태여도 된다.Therefore, the screw member 118 as shown to FIG. 9B may be sufficient as the connection member 118, or other form may be sufficient as it.

그리고, 제2 실시형태의 스테이지 기구(100)에 있어서, 이러한 연결 부재(118)가, 제1 실시형태의 스테이지 기구(10)에 있어서의 가압 부재로서의 기능도 하고 있다.And in the stage mechanism 100 of 2nd Embodiment, such a connection member 118 also functions as the press member in the stage mechanism 10 of 1st Embodiment.

즉, 연결 부재(118)가, 고정 스테이지(111)와, 가동 스테이지(112)를 상하 방향으로 가압하고, 양자가 슬라이딩하면서 원활하게 슬라이드하도록, 소정의 가압 부재로서의 기능도 하고 있다.That is, the connection member 118 presses the fixed stage 111 and the movable stage 112 in the up-down direction, and also functions as a predetermined pressing member so that both slide smoothly while sliding.

계속하여, 도 12의 (a)∼(b)를 참조하여, 연결 부재(118)에 의한, 백래시 흡수 부재(116)가 장착된 원통 형상 부재(117)와 가동 스테이지(112) 사이의 연결 방법의 일례를 설명한다.Subsequently, with reference to FIGS. 12A to 12B, the connecting method between the cylindrical member 117 on which the backlash absorbing member 116 is mounted and the movable stage 112 by the connecting member 118. An example will be described.

우선은, 도 12의 (a)에 나타내는 바와 같이, 고정 스테이지(111)의 이동 구멍(117b)에, 연마 전의 백래시 흡수 부재(116)를 포함하는 원통 형상 부재(117)를 삽입함과 동시에, 고정 스테이지(111)의 상면보다 상측으로 노출한 백래시 흡수 부재(16)를 포함하는 원통 형상 부재(117)를, 연마 부재(도시 생략)에 의해, 소정 두께분 연마하고, 거기에 평탄부(117a)를 형성한다.First, as shown in FIG. 12A, the cylindrical member 117 including the backlash absorbing member 116 before polishing is inserted into the moving hole 117b of the fixing stage 111, The cylindrical member 117 including the backlash absorbing member 16 exposed upward from the upper surface of the fixed stage 111 is ground by a polishing member (not shown) for a predetermined thickness, and the flat portion 117a is disposed thereon. ).

그 때, 이동 구멍(117b)에 대하여, 원통 형상 부재(117)는 슬라이딩 결합 상태이기는 하지만, 장래적인 덜걱거림을 없애기 위해, 고정 스테이지(111)의 이동 구멍(117b)의 표면(Z)과, 원통 형상 부재(117)의 표면 사이에는, 거의 틈이 없는 상태이다.At that time, although the cylindrical member 117 is in the sliding engagement state with respect to the movement hole 117b, the surface Z of the movement hole 117b of the fixed stage 111, and in order to eliminate future rattling, There is almost no gap between the surfaces of the cylindrical member 117.

계속하여, 도 12의 (b)에 나타내는 바와 같이, 원통 형상 부재(117)의 평탄부(117a) 및 고정 스테이지(111)의 평탄면이 동일면을 형성하는 상태에서, 고정 스테이지(111)를 소정 장소에 올려놓은 후, 나사 등의 연결 부재(118)에 의해, 백래시 흡수 부재(16)를 포함하는 원통 형상 부재(117)와, 가동 스테이지(112)를 강고하게 연결한다.Subsequently, as shown in FIG. 12B, the fixed stage 111 is predetermined in a state where the flat portion 117a of the cylindrical member 117 and the flat surface of the fixed stage 111 form the same surface. After placing it in place, the cylindrical member 117 including the backlash absorbing member 16 and the movable stage 112 are firmly connected by the connecting member 118 such as a screw.

즉, 이와 같이 하여, 연결 부재(118)에 의해, 백래시 흡수 부재(16)를 포함하는 원통 형상 부재(117)와, 가동 스테이지(112) 사이를, 소위 덜걱거림이 없이, 강고하게 연결할 수 있고, 게다가, 이동 구멍(117b) 내부에서의 원통 형상 부재(117)의 원활한 슬라이드를 유지할 수 있다.That is, in this way, the connecting member 118 can firmly connect the cylindrical member 117 including the backlash absorbing member 16 and the movable stage 112 without a so-called rattling and In addition, smooth slide of the cylindrical member 117 in the movement hole 117b can be maintained.

또한, 도 12의 (a)에 나타내는 바와 같이, 고정 스테이지(111)의 이동 구멍(117b)에 대하여, 원통 형상 부재(117)를 삽입하기 전에, 원통 형상 부재(117)에 상당하는 위치의 원통 형상 부재(117)를 연마 또는 절삭 등에 의해, 거칠게 깎아도 되기 때문에 미리 일부를 제거해 두는 것도 바람직하다.In addition, as shown to FIG. 12 (a), before inserting the cylindrical member 117 with respect to the movement hole 117b of the fixed stage 111, the cylinder of the position corresponded to the cylindrical member 117 Since the shape member 117 may be roughened by grinding | polishing, cutting, etc., it is also preferable to remove a part previously.

이 이유는, 고정 스테이지(111)의 이동 구멍(117b)의 밖에서, 미리 일부여도 평탄화 처리함으로써, 고정 스테이지(111)의 이동 구멍(117b)에 원통 형상 부재(117)를 삽입한 상태에서의 정밀한 연마 작업이나 연마 시간을, 현저하게 단축할 수 있기 때문이다.The reason for this is that the planarization is performed even before the outside of the moving hole 117b of the fixed stage 111 so that the cylindrical member 117 is precisely inserted into the moving hole 117b of the fixed stage 111. This is because the polishing operation and the polishing time can be significantly shortened.

4. 원기둥 형상 부재4. Cylinder shape member

제2 실시형태의 스테이지 기구(100)의 경우, 도 9의 (b)에 나타내는 바와 같이, 고정 스테이지(111)의 내부에 형성된 이동 구멍(117b)을 슬라이드하는, 단면 형상이 실질적으로 원 형상인 원기둥 형상 부재(117)를 설치하는 것을 특징으로 한다.In the stage mechanism 100 of 2nd Embodiment, as shown to FIG. 9 (b), the cross-sectional shape which slides the moving hole 117b formed in the inside of the fixed stage 111 is substantially circular shape. The cylindrical member 117 is provided.

즉, 고정 스테이지(111)의 상면측의 평탄부(111a)와 함께, 면 위치의 관계에서, 동일 평면을 형성하는 평탄부(117a)를 구비한 원기둥 형상 부재(117)와, 상술한 가동 스테이지(112)가, 연결 부재(118)에 의해 연결되고, 또한, 고정 스테이지(111)에 장착한 이송 나사(115)에 의해, 원기둥 형상 부재(117)를 슬라이드시킴으로써, 당해 가동 스테이지(112)를 간접적으로 슬라이드시키는 구성이다.That is, together with the flat part 111a of the upper surface side of the fixed stage 111, the cylindrical member 117 provided with the flat part 117a which forms the same plane in the relationship of surface position, and the movable stage mentioned above. The movable stage 112 is connected by sliding the cylindrical member 117 with the connection screw 118 connected to the connection member 118 and attached to the fixed stage 111. It is a structure which slides indirectly.

이와 같이 원기둥 형상 부재(117)를 한 개 또는 두 개 이상 설치함으로써, 연결 부재(연결 나사)(118)를 스테이지 기구(100)의 내부에 설치하여, 고정 스테이지(111)와 가동 스테이지(112)를 간접적으로 연결하는 것이 가능해져, 스테이지 기구(100)를, 보다 소형화하고 그리고 경량화할 수 있다.Thus, by providing one or more cylindrical member 117, the connection member (connection screw) 118 is installed in the stage mechanism 100, and the fixed stage 111 and the movable stage 112 are provided. Can be indirectly connected, and the stage mechanism 100 can be made smaller and lighter.

또한, 이러한 원기둥 형상 부재(117)의 구성 재료에 대해서는 특별히 제한되는 것이 아니지만, 고정 스테이지(111)와 마찬가지로, 경량성, 기계적 특성, 내구성 등이 우수한 알루미늄이나 알루미늄 합금 등으로 구성하는 것이 바람직하다.The constituent material of the cylindrical member 117 is not particularly limited. However, the constituent material of the cylindrical member 117 is preferably made of aluminum, an aluminum alloy, or the like which is excellent in light weight, mechanical properties, durability, and the like.

또한, 원기둥 형상 부재(117)의 변형예로서, 사각 기둥 형상 부재를 포함하는 다각 기둥 형상 부재, 타원 기둥 형상 부재, 및 역삼각 기둥 형상 부재 등도 사용 가능하다.In addition, as a modification of the cylindrical member 117, a polygonal columnar member, an elliptic columnar member, an inverted triangular columnar member and the like including a rectangular columnar member can also be used.

5. 측면 커버5. Side cover

또한, 제2 실시형태의 스테이지 기구(100)에 있어서, 도 9의 (b)에 나타내는 바와 같이, 고정 스테이지(111)의 이동 구멍(117b)의 단부에, 당해 이동 구멍(117b)이 은폐되도록, 측면 커버(119)를, 고정 부재(고정 나사 등)(119a)에 의해, 강고하게 장착하는 것이 바람직하다.In the stage mechanism 100 of the second embodiment, as shown in FIG. 9B, the moving hole 117b is concealed at an end of the moving hole 117b of the fixed stage 111. , The side cover 119 is preferably firmly mounted by the fixing member (fixing screw or the like) 119a.

즉, 이러한 측면 커버(119)에 의해, 이동 구멍(117b)을 은폐하고, 수분이나 먼지 성분 등의 침입을 방지하여, 스테이지 기구(100)의 내구성을 높이기 위함이다.That is, the side cover 119 hides the moving hole 117b, prevents intrusion of moisture, dust, and the like, and enhances the durability of the stage mechanism 100.

또한, 이러한 측면 커버(119)의 형태나 구성 재료에 대해서도, 특별히 제한되는 것이 아니지만, 고정 스테이지(111)와 마찬가지로, 경량성, 기계적 특성, 내구성 등이 우수한 알루미늄이나 알루미늄 합금 등으로 이루어지는 직사각 형상물로 하는 것이 바람직하다.The shape and constituent material of the side cover 119 are not particularly limited, but, like the fixed stage 111, the side cover 119 has a rectangular shape made of aluminum, an aluminum alloy, or the like which is excellent in light weight, mechanical properties, and durability. It is desirable to.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 스테이지 기구에 의하면, 소정 개소에, 소정의 백래시 흡수 부재를 설치함으로써, 소형이며 그리고 저렴한 간이 구조이면서, 가동 스테이지의 양호한 이동성을 갖고, 그리고, 가동 스테이지를 고정할 때의 백래시나, 가동 스테이지를 고정한 후의 이동도 적은 스테이지 기구를 얻을 수 있게 되었다.As described above, according to the stage mechanism of the present invention, when a predetermined backlash absorbing member is provided at a predetermined position, the compact and inexpensive simple structure has good mobility of the movable stage, and when the movable stage is fixed. A stage mechanism with less backlash and less movement after fixing the movable stage can be obtained.

특히, 제1 실시형태의 스테이지 기구, 혹은 제2 실시형태의 스테이지 기구에 있어서, 각각 개미홈 슬라이드 레일 등을 생략한 경우에도, 우수한 가동 스테이지의 이동성이나 고정성을 얻을 수 있으므로, 더욱 소형이며 그리고 저렴하게, 고정밀한 위치 맞춤이 가능한 스테이지 기구를 제공할 수 있게 되었다.In particular, in the stage mechanism of the first embodiment or the stage mechanism of the second embodiment, even when the ant groove slide rails and the like are omitted, respectively, since the excellent mobility of the movable stage and the fixed property can be obtained, Inexpensively, it is possible to provide a stage mechanism capable of high precision positioning.

따라서, 본 발명의 스테이지 기구에 의하면, 백래시를 억제하여, 카메라, 센서, 전극, 라이트 등의 워크를 가동 스테이지에 탑재한 경우에 있어서의 미세 조정이 매우 용이하며, 각종 스테이지 기구에의 응용이 기대된다.Therefore, according to the stage mechanism of this invention, fine adjustment when the backlash is suppressed and a workpiece | work, such as a camera, a sensor, an electrode, and a light is mounted in a movable stage is very easy, and application to various stage mechanisms is expected. do.

Claims

A stage mechanism comprising a fixed stage and a movable stage that slides along the surface of the fixed stage,
In the spot facing portion formed in the fixed stage, a feed screw and one or two or more backlash absorbing members are provided.
And a coupling member for sliding the movable stage in synchronization with the transfer of the feed screw.

The method of claim 1,
And said backlash absorbing member is a cylindrical resin member having a passage hole of said transfer screw.

The method of claim 1,
The backlash absorbing member has a metal protective cover around the stage mechanism.

The method of claim 1,
The backlash absorbing member is composed of at least one of an amide resin, a urethane resin, and a rubber-based resin.

The method of claim 1,
A stage mechanism is provided between the fixed stage and the movable stage as a metal piece as a guide member.

The method of claim 1,
And a screw member for connecting the fixed stage and the movable stage in the vertical direction and for adjusting the sliding contact force between the fixed stage and the movable stage.

The method of claim 1,
And said fixed stage and said movable stage each have a flat plate shape.

A stage mechanism comprising a stationary stage having a rectangular parallelepiped shape, a cylindrical member accommodated inside the stationary stage, and a movable stage sliding along a surface of the stationary stage,
One or two or more backlash absorbing members are mounted inside the cylindrical member, and a cylindrical member on which the backlash absorbing member is mounted and the movable stage are connected by a connecting member.
And the transfer mechanism attached to the fixed stage slides the cylindrical member through the backlash absorbing member, thereby synchronously sliding the movable stage.