KR101259415B1 - A jig for property measurement of flexible display panel - Google Patents

A jig for property measurement of flexible display panel Download PDF

Info

Publication number
KR101259415B1
KR101259415B1 KR1020110041982A KR20110041982A KR101259415B1 KR 101259415 B1 KR101259415 B1 KR 101259415B1 KR 1020110041982 A KR1020110041982 A KR 1020110041982A KR 20110041982 A KR20110041982 A KR 20110041982A KR 101259415 B1 KR101259415 B1 KR 101259415B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
axis
flexible display
movable block
holder
measuring
Prior art date
Application number
KR1020110041982A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20120124217A (en
Inventor
윤철오
공웅걸
신상희
김용하
Original Assignee
주식회사 맥사이언스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 맥사이언스 filed Critical 주식회사 맥사이언스
Priority to KR1020110041982A priority Critical patent/KR101259415B1/en
Publication of KR20120124217A publication Critical patent/KR20120124217A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101259415B1 publication Critical patent/KR101259415B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02Testing optical properties
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N3/00Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
    • G01N3/20Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress by applying steady bending forces
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N3/00Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
    • G01N3/32Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress by applying repeated or pulsating forces
    • G01N3/34Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress by applying repeated or pulsating forces generated by mechanical means, e.g. hammer blows
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)

Abstract

플렉시블 디스플레이 특성 측정을 위한 지그장치를 개시한다. 본 발명의 실시예에 따른 지그장치는, 베이스; 회전각 조절구를 매개로 상기 베이스 상에 회전 가능하게 장치되는 회전 스테이지; 상기 회전 스테이지 상에 장치되며 이 회전 스테이지 상에서 X축과 Y축 2축 방향으로 이동할 수 있는 구조의 가동블록; 및 상기 회전 스테이지 중앙과 가동블록 일측에 각각 설치되며 측정대상 플렉시블 디스플레이를 고정시킬 수 있는 홀더를 갖는 한 쌍의 평행한 고정축과 가동축;을 포함하여 구성되는 것을 요지로 한다.A jig apparatus for measuring flexible display characteristics is disclosed. Jig device according to an embodiment of the present invention, the base; A rotating stage rotatably mounted on the base via a rotation angle adjusting device; A movable block mounted on the rotation stage, the movable block being movable in two X- and Y-axis directions on the rotation stage; And a pair of parallel fixed shafts and movable shafts respectively installed at the center of the rotating stage and one side of the movable block, the holder having a holder for fixing the flexible display to be measured.

Description

플렉시블 디스플레이 특성 측정을 위한 지그장치{A jig for property measurement of flexible display panel}Jig device for measuring the properties of flexible displays {A jig for property measurement of flexible display panel}

본 발명은 플렉시블 디스플레이(flexible display panel) 특성 측정을 위한 지그장치에 관한 것으로, 상세하게는 플렉시블 디스플레이의 굽힘 정도에 따라 발현되는 전기적, 광학적 특성을 측정함에 있어 측정대상이 되는 상기 플렉시블 디스플레이를 홀딩하고 물리적 변형을 가하는 지그장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a jig device for measuring the characteristics of a flexible display panel, and more particularly, to hold the flexible display to be measured in measuring electrical and optical characteristics expressed according to the bending degree of the flexible display. It relates to a jig device for applying physical deformation.

정보통신 산업이 급속하게 발달 됨에 따라, 휴대전화기, 오디오, 모니터, 디지털 카메라, 대면적 TV 등의 사용이 증가하고 있으며, 이에 따라 액정디스플레이(LCD), 박막트랜지스터-액정디스플레이(TFT-LCD), 유기 발광 다이오드(OLED) 등과 같은 다양한 종류의 디스플레이 패널이 개발되어 양산되고 있다.As the information and communication industry develops rapidly, the use of mobile phones, audio, monitors, digital cameras, large-area TVs, etc. is increasing, and accordingly, liquid crystal display (LCD), thin film transistor-liquid crystal display (TFT-LCD), Various kinds of display panels, such as organic light emitting diodes (OLEDs), have been developed and are being produced.

디스플레이 패널 중 유기 발광 소자(OLED)의 경우, 자체 발광이 가능하고, 효율이 높고, 넓은 시야 각을 가질 뿐만 아니라 응답속도가 빠르고 소비 전력이 낮다는 다양한 장점이 있지만, 경량화 및 대면적화가 용이하지 못한 단점이 있다. 따라서 이를 해결하기 위해 최근 플렉시블한 기판 형태로 발광소자 및 액정 등을 제조하는 기술이 알려지고 있다.Among the display panels, organic light emitting diodes (OLEDs) have various advantages such as self-luminous, high efficiency, wide viewing angle, fast response speed, and low power consumption, but are not easy to reduce weight and large area. There is a disadvantage. Therefore, in order to solve this problem, a technique for manufacturing a light emitting device, a liquid crystal, and the like in the form of a flexible substrate is known.

플렉시블 디스플레이(Flexible display)라고 불리우는 이 기술은 플라스틱 등과 같이 굽힘 특성을 갖는 기재를 이용한 평판 디스플레이이다. 이는 우수한 화면표시 특성을 지니면서 구부리거나 말 수 있고, 또한 얇고 가벼우면서도 충격에 강한 유연성을 지닌 기판의 특성 때문에 종래 평판 디스플레이를 대체할 수 있는 차세대 평판 디스플레이로서 각광을 받고 있다. This technology, called a flexible display, is a flat panel display using a substrate having bending characteristics such as plastic. It has been in the spotlight as a next-generation flat panel display that can be bent or rolled with excellent display characteristics, and can replace a conventional flat panel display due to the characteristics of a substrate that is thin, light, and flexible with impact resistance.

플렉시블 디스플레이 패널(이하, '플렉시블 디스플레이'이라 한다) 개발과정에서 발생하는 다양한 문제점을 찾아내고 여러 가지 광 특성 및 수명 등을 개선하기 위해서는, 플렉시블 디스플레이의 물리적 변형에 따른 발광소자의 전기적, 광학적 특성의 변화를 파악하는 것이 매우 중요하다. 이를 위해 플렉시블 디스플레이에 스트레스를 가하고 이때 발생하는 소자의 전기적, 광학적 특성을 측정하는 측정장치가 제안되었다.In order to find out various problems that occur during the development of the flexible display panel (hereinafter referred to as 'flexible display') and to improve various optical characteristics and lifetimes, the electrical and optical characteristics of the light emitting device according to the physical deformation of the flexible display It is very important to know the change. For this purpose, a measuring device for stressing a flexible display and measuring electrical and optical characteristics of the device generated at this time has been proposed.

대한민국 특허공개 제2010-0026366호에는 'OLED 시편 시험장치'라는 제목으로 플렉시블 디스플레이의 전기적, 광학적 특성을 측정할 수 있는 측정장치를 개시하고 있다. 상기 대한민국 특허공개 제2010--26366호는 측정대상 플렉시블 디스플레이에 굽힘과 같은 물리적 변형을 가하고, 그 변형에 따른 플렉시블 디스플레이의 전기적, 광학적 특성을 측정할 수 있도록 구성시킨 것을 특징으로 한다. Korean Patent Publication No. 2010-0026366 discloses a measuring device capable of measuring electrical and optical characteristics of a flexible display under the title 'OLED Specimen Testing Device'. The Republic of Korea Patent Publication No. 2010--26366 is characterized in that it is configured to apply a physical deformation such as bending to the flexible display to be measured, and to measure the electrical and optical characteristics of the flexible display according to the deformation.

상기 선행특허에 개시된 측정장치는, 지그(시험기(20)로 기재됨)를 이용해 측정대상 시편 양측을 홀딩한 상태로 액츄에이터 작동에 의해 시편에 반복적으로 연신과 밴딩과 같은 물리적 변형을 제공하고, 지그를 통해 제공된 물리적 힘에 따른 변형에 의해 발현되는 플렉시블 디스플레이의 전기적, 광학적 특성을 전기 측정기 및 광센서를 이용해 측정할 수 있도록 구성되어 있다.The measuring device disclosed in the above patent provides a physical deformation such as stretching and banding repeatedly on a specimen by an actuator operation while holding both sides of the specimen to be measured by using a jig (described as the tester 20). It is configured to measure the electrical and optical characteristics of the flexible display expressed by the deformation due to the physical force provided by using an electric meter and an optical sensor.

이처럼 상기 선행기술에 기재된 발명은 플렉시블 디스플레이에 물리적 변형을 가하고 그에 따른 전기적, 광학적 특성을 측정함으로써, 단순 2차원 평면측정에 비해 플렉시블 디스플레이의 특성을 측정 및 파악하는 데에 유리하다는 장점이 있다. 하지만 측정대상 시편에 물리적 변형을 가함에 있어 측정대상 시편의 변형율을 구체적으로 수치화하여 파악할 수 없다는 단점이 있다. As described above, the invention described in the prior art has an advantage in that it is advantageous to measure and grasp the characteristics of the flexible display compared to a simple two-dimensional planar measurement by applying a physical deformation to the flexible display and measuring the electrical and optical properties. However, there is a disadvantage in that the deformation rate of the specimen to be measured cannot be specifically identified in applying physical deformation to the specimen to be measured.

즉, 상기 선행기술은, 측정대상 시편에 굽힘 변형을 가하기 위한 기계적 메커니즘을 구현하고 있지만, 변형을 위해 물리적인 힘을 가할 경우 그에 따른 측정대상 시편의 굽힘 정도(곡률 및 곡률반경)를 구체적으로 파악하거나 측정할 수 있는 기능의 부재로, 측정대상 시편 변형에 따른 플렉시블 디스플레이의 전기적, 광학적 특성을 보다 정밀하게 측정하고 파악하는 데에 한계가 있다.
That is, although the prior art implements a mechanical mechanism for applying bending deformation to the specimen to be measured, when the physical force is applied to the deformation, the degree of bending (curvature and radius of curvature) of the specimen to be measured is specifically determined. In addition, the absence of a function that can measure or measure, there is a limit to more accurately measure and understand the electrical and optical characteristics of the flexible display according to the deformation of the specimen to be measured.

본 발명이 해결하려는 기술적 과제는, 플렉시블 디스플레이의 전기적, 광학적 특성 측정을 위해 물리적 힘을 가함에 있어, 플렉시블 디스플레이의 구체적인 변형 정도를 측정하여 수치화할 수 있고, 따라서 그 변형 정도에 따른 플렉시블 디스플레이의 전기적, 광학적 특성을 보다 정밀하게 측정함에 있어 유리한 지그장치를 제공하고자 하는 것이다.
The technical problem to be solved by the present invention, in applying a physical force for measuring the electrical and optical characteristics of the flexible display, can measure and quantify the specific deformation degree of the flexible display, and thus the electrical Therefore, the present invention aims to provide an advantageous jig device for measuring optical characteristics more precisely.

상기한 과제를 해결하기 위한 수단으로서 본 발명은, 플렉시블 디스플레이의 광적 특성을 측정함에 있어 측정대상 플렉시블 디스플레이를 홀딩하고 홀딩된 플렉시블 디스플레이에 물리적 변형을 가하는 장치로서, 베이스; 회전각 조절구를 매개로 상기 베이스 상에 회전 가능하게 장치되는 회전 스테이지; 상기 회전 스테이지 상에 장치되며 이 회전 스테이지 상에서 X축과 Y축 2축 방향으로 이동할 수 있는 구조의 가동블록; 및 상기 회전 스테이지 중앙과 가동블록 일측에 각각 설치되며 측정대상 플렉시블 디스플레이를 고정시킬 수 있는 홀더를 갖는 한 쌍의 평행한 고정축과 가동축;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 특성 측정을 위한 지그장치를 제공한다.As a means for solving the above problems, the present invention is a device for holding a measurement target flexible display in the measurement of the optical characteristics of the flexible display and to apply a physical deformation to the held flexible display, the base; A rotating stage rotatably mounted on the base via a rotation angle adjusting device; A movable block mounted on the rotation stage, the movable block being movable in two X- and Y-axis directions on the rotation stage; And a pair of parallel fixed shafts and movable shafts respectively installed at the center of the rotating stage and one side of the movable block, the holder having a holder for fixing the flexible display to be measured. It provides a jig device for.

본 실시예에서 상기 회전각 조절구는, 원판형 고정체와 이 원판형 고정체에 대해 회전하는 원판형 회전체를 포함하며, 상기 원판형 회전체는 원판형 고정체에 장치되는 미동나사 조절에 종속되는 회전움직임을 갖는 구성일 수 있다.In the present embodiment, the rotation angle adjusting mechanism includes a disk-shaped fixture and a disk-shaped rotor that rotates about the disk-shaped fixture, and the disk-rotator is dependent on the fine screw adjustment provided in the disk-shaped fixture. It may be a configuration having a rotation movement.

또한 상기 가동블록은, 회전 스테이지에 장착 고정된 Y축 고정대와 이 Y축 고정대를 따라 좌, 우로 왕복 이동하는 Y축 이송대로 이루어진 Y축 가동블록과, 상기 Y축 가동블록의 Y축 이송대 위에 이 Y축 이송대에 교차하는 방향으로 장착 고정되는 X축 고정대와 이 X축 고정대 상에서 상기 Y축 이송대의 움직임과 수직으로 교차하는 방향으로 왕복 이동하는 움직임을 갖는 X축 이송대로 이루어진 X축 가동블록으로 구성될 수 있다.In addition, the movable block is a Y-axis movable block consisting of a Y-axis holder fixed to the rotating stage and Y-axis feeder reciprocating left and right along the Y-axis holder, and the Y-axis movable block of the Y-axis movable block X-axis movable block having an X-axis holder mounted and fixed in a direction crossing the Y-axis feeder and an X-axis feeder having a movement reciprocating in a direction perpendicular to the movement of the Y-axis feeder on the X-axis holder. It may be configured as.

여기서 상기 Y축 고정대와 Y축 이송대, 그리고 X축 고정대와 X축 이송대를 구분하는 경계선 주변의 각 고정대와 이송대 측면에는, 각 고정대에 대한 이송대의 이동거리 확인을 위한 눈금이 표시되어 있을 수 있다.Here, the scales for checking the movement distances of the transfer trays for the respective fixtures may be displayed on the sides of the holders and the transfer trays around the boundary line separating the Y-axis holders and the Y-axis holders and the X-axis holders and the X-axis holders. Can be.

또한, 본 실시예에서 상기 고정축과 가동축은 전기적 절연성을 갖는 절연체일 수 있으며, 고정축과 가동축에 마련되는 홀더는, 각 축에 탈착 가능하게 장치됨으로써 측정대상 플렉시블 디스플레이의 홀딩이 용이하게 이루어질 수 있다.
In addition, in the present embodiment, the fixed shaft and the movable shaft may be an insulator having electrical insulation, and the holders provided on the fixed shaft and the movable shaft are detachably attached to each shaft to easily hold the flexible display to be measured. Can be.

본 발명의 실시예에 의한 플렉시블 디스플레이의 전기, 광학적 특성 측정을 위한 지그장치에 따르면, 전기적, 광학적 특성을 측정함에 있어, 회전 스테이지와 곡률측정 가동블럭을 이용하여 가동축의 위치를 정량적으로 변화시킴으로써, 회전 스테이지 상의 측정대상 플렉시블 디스플레이 변형 정도 즉, 곡률 및 곡률반경을 구체적으로 측정 및 파악할 수 있다. According to the jig apparatus for measuring the electrical and optical characteristics of the flexible display according to an embodiment of the present invention, by measuring the position of the movable shaft quantitatively by using the rotating stage and the curvature measuring movable block, The degree of deformation of the flexible target to be measured on the rotating stage, that is, the curvature and the radius of curvature may be specifically measured and grasped.

즉, 본 발명의 실시예인 지그장치에 의하면, 플렉시블 디스플레이의 전기적, 광학적 특성 측정을 위해 물리적 힘을 가함에 있어 플렉시블 디스플레이의 구체적인 변형 정도를 수치화할 수 있으며, 따라서 플렉시블 디스플레이의 전기적, 광학적 특성을 파악함에 있어서 구체적인 플렉시블 디스플레이의 변형 정도에 따라 변화하는 전기적, 광학적 특성을 보다 정밀하게 파악할 수 있는 측정장치를 구현할 수 있다.
That is, according to the jig device according to the embodiment of the present invention, the specific deformation degree of the flexible display can be quantified in applying a physical force to measure the electrical and optical characteristics of the flexible display, and thus the electrical and optical characteristics of the flexible display are identified. In this case, it is possible to implement a measuring device that can more accurately grasp the electrical and optical characteristics that change according to the degree of deformation of a specific flexible display.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 플렉시블 디스플레이 특성 측정을 위한 지그장치의 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 지그장치의 측면도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 지그장치의 평면도.
도 4는 본 발명에 따른 지그장치에서 회전 스테이지 상에 장치되는 가동블록을 도시한 본 발명의 주요부 사시도.
도 5는 본 발명에 따른 지그장치에서 측정대상 플렉시블 디스플레이가 고정되는 고정축과 가동축을 도시한 본 발명의 다른 주요부 사시도.
도 6은 본 발명에 따른 지그장치에 의해 구현되는 측정대상의 곡률 및 곡률 반경 측정과정을 보여주기 위한 본 발명의 작동 상태도.
도 7은 본 발명의 실시예인 지그장치에 의한 곡률 측정 시 그 곡률 측정원리를 설명하기 위한 개념도.
1 is a perspective view of a jig device for measuring a flexible display characteristic according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a side view of the jig device according to an embodiment of the present invention.
3 is a plan view of a jig device according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a perspective view of the main part of the present invention showing a movable block mounted on a rotating stage in the jig device according to the present invention.
Figure 5 is a perspective view of another principal part of the present invention showing a fixed shaft and a movable shaft to which the flexible display to be measured in the jig device according to the present invention.
6 is an operational state diagram of the present invention for showing the curvature and curvature radius measurement process of the measurement target implemented by the jig device according to the present invention.
7 is a conceptual diagram for explaining the principle of curvature measurement at the time of curvature measurement by a jig device which is an embodiment of the present invention.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 플렉시블 디스플레이 특성 측정을 위한 지그장치의 사시도이며, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 지그장치의 측면도이다. 그리고 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 지그장치의 평면도를 나타내고 있다.1 is a perspective view of a jig device for measuring a flexible display characteristic according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a side view of a jig device according to an embodiment of the present invention. 3 shows a plan view of a jig device according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 지그장치는 크게, 베이스(1), 회전 스테이지(3), 가동블록(4) 및 한 쌍의 평행한 고정축(5)과 가동축(6)을 포함하며, 고정축(5)과 가동축(6)에 측정대상 플렉시블 디스플레이 양 변을 고정시킨 상태로 회전 스테이지(3) 및 가동블록(4)을 회전 및 이동시킴으로써 측정대상 플렉시블 디스플레이(이하, '시편(P)'이라 함)에 물리적 변형을 가할 수 있다.1 to 3, the jig device according to the present embodiment is largely divided into a base 1, a rotation stage 3, a movable block 4, and a pair of parallel fixed shafts 5 and a movable shaft ( 6), and by rotating and moving the rotating stage 3 and the movable block 4 in a state where both sides of the measurement target flexible display are fixed to the fixed shaft 5 and the movable shaft 6 ( Hereinafter, a physical deformation may be applied to the specimen (P).

회전 스테이지(3)는 회전각 조절구(2)를 매개로 상기 베이스(1) 상에 회전 가능하게 장치된다. 따라서 회전각 조절구(2)의 조절을 통해 베이스(1)에 대한 회전 스테이지(3)의 회전 각도를 조절할 수 있다. 이때 회전각 조절구(2)는 원판형 고정체(22)와 이 원판형 고정체(22)에 대해 회전하는 원판형 회전체(24)를 포함하는 구성일 수 있다.The rotating stage 3 is rotatably mounted on the base 1 via the rotation angle adjusting device 2. Therefore, the rotation angle of the rotation stage 3 with respect to the base 1 can be adjusted by adjusting the rotation angle adjusting device 2. In this case, the rotation angle adjusting device 2 may be configured to include a disc-shaped fixture 22 and a disc-shaped rotor 24 rotating about the disc-shaped fixture 22.

원판형 고정체(22)에 대한 원판형 회전체(24)의 회전은 원판형 고정체(22)에 장치되는 미동나사(26) 조정에 의해 구현될 수 있다. 이때 미동나사(26) 조정에 종속되어 원판형 고정체(22)에 대해 원판형 회전체(24)가 회전되는 움직임을 가지도록 구현함에 있어서는, 웜과 웜 휠(worm & worm wheel)을 포함하는 전동 메커니즘을 통해 구현될 수 있다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니다. The rotation of the disc-shaped rotor 24 relative to the disc-shaped fixture 22 can be realized by adjusting the fine screw 26 mounted on the disc-shaped fixture 22. In this case, in order to have a movement in which the disk-shaped rotating body 24 is rotated with respect to the disk-shaped fixture 22 in dependence on the fine screw 26 adjustment, it includes a worm and a worm wheel. It can be implemented via a transmission mechanism. However, the present invention is not limited thereto.

가동블록(4)은 상기 회전 스테이지(3) 상에 장치된다. 이 가동블록(4)은 회전 스테이지(3) 상에서 X축과 Y축 2축 방향으로 이동하면서 시편(P)에 물리적 변형을 가한다. 회전 스테이지(3) 상에서의 2축 방향 이동 구현을 위해 상기 가동블록(4)은, 회전 스테이지(3) 위에서 X축 가동블록(4A)과 Y축 가동블록(4B)이 상호 수직 교차하는 방향으로 움직임을 갖는 구성이 적용될 수 있다. 가동블록의 바람직한 실시예는 이하 도 4를 참조하기로 한다.The movable block 4 is mounted on the rotary stage 3. The movable block 4 applies physical deformation to the specimen P while moving in the X-axis and Y-axis biaxial directions on the rotating stage 3. In order to realize biaxial movement on the rotating stage 3, the movable block 4 is arranged in a direction in which the X-axis movable block 4A and the Y-axis movable block 4B cross each other vertically on the rotary stage 3. A configuration with movement can be applied. Preferred embodiments of the movable block will now be described with reference to FIG. 4.

도 4는 회전 스테이지(3) 상에 장치되는 상기 가동블록(4)의 바람직한 실시예를 나타낸 본 발명의 주요부 사시도이다.4 is a perspective view of the essential parts of the present invention, showing a preferred embodiment of the movable block 4 mounted on a rotating stage 3.

도 4를 참조하면, 상기 X축 가동블록(4A)과 Y축 가동블록(4B)은 각각, X축 고정대(42)와 이러한 X축 고정대(42)를 따라 이동되는 X축 이송대(44), Y축 고정대(46)와 이 Y축 고정대(46) 위에서 좌, 우로 왕복 이동하는 Y축 이송대(48)로 구성되며, 해당 축의 고정대(42)(46) 위를 해당 축의 이송대(44)(48)가 좌, 우 슬라이딩 방식으로 왕복 이동할 수 있도록 된 구성이 적용될 수 있다. Referring to FIG. 4, the X-axis movable block 4A and the Y-axis movable block 4B are respectively moved by the X-axis holder 42 and the X-axis holder 42. , The Y-axis holder 46 and the Y-axis carriage 48 reciprocating left and right on the Y-axis holder 46, and the feeder 44 of the corresponding axis on the holders 42 and 46 of the corresponding axis. 48 may be configured to be reciprocated in a left and right sliding manner.

바람직하게, 상기 Y축 고정대(46)는 회전 스테이지(3) 상면 일측으로 장착 고정될 수 있으며, X축 고정대(42)는 상기 Y축 이송대(48) 위에 이 Y축 이송대(48)와 직교하는 방향으로 장착 고정될 수 있다. 이처럼 Y축 이송대(48) 위로 X축 고정대(42)가 직교하는 방향으로 장착되면, Y축 이송대(48)와 X축 이송대(44)는 회전 스테이지(3) 상에서 상호 직교하는 선형적 움직임을 갖게 된다.Preferably, the Y-axis holder 46 may be mounted and fixed to one side of the upper surface of the rotary stage 3, the X-axis holder 42 is the Y-axis holder 48 on the Y-axis holder 48 Mounting can be fixed in the direction orthogonal. When the X-axis holder 42 is mounted in the orthogonal direction above the Y-axis carriage 48, the Y-axis carriage 48 and the X-axis carriage 44 are linear to each other on the rotation stage 3. You have movement.

X축 고정대(42)와 Y축 고정대(46)에 대한 X축 이송대(44)와 Y축 이송대(48)의 움직임은, 각 고정대에 장치된 노브(Knob, 40)를 회전시켰을 때 그 노브(40)의 회전운동이 각 이송대의 직선운동으로 전환할 수 있는 메카니즘을 통해 구현될 수 있다. 예컨대, 랙 앤 피니언(rack & pinion)의 전동 메커니즘을 기반으로 하는 수평이동 장치로서 위와 같은 움직임이 구현될 수 있다. The movement of the X-axis carriage 44 and the Y-axis carriage 48 relative to the X-axis holder 42 and the Y-axis holder 46 is caused when the knobs Knob 40 mounted on the respective holders are rotated. Rotational movement of the knob 40 can be implemented through a mechanism that can be converted to a linear movement of each feed. For example, such a movement can be implemented as a horizontal moving device based on a rack & pinion transmission mechanism.

상기 X축 고정대(42)와 Y축 고정대(46)에 대한 X축 이송대(44)와 Y축 이송대(48)의 정량적인 움직임 파악을 위해, 상기 X축 가동블록(4A)과 Y축 가동블록(4B) 각각에는 이동거리 확인을 위한 눈금(49)이 표시될 수 있다. 이때 상기 눈금(49)은, Y축 고정대(46)와 Y축 이송대(48), 그리고 X축 고정대(42)와 X축 이송대(44)를 구분하는 경계선 주변의 각 고정대(42)(46)와 이송대(44)(48) 측면 즉, 외부로 노출되는 면에 형성될 수 있다.In order to grasp the quantitative movement of the X-axis carriage 44 and the Y-axis carriage 48 relative to the X-axis holder 42 and the Y-axis holder 46, the X-axis movable block 4A and Y-axis Each of the movable blocks 4B may be marked with a scale 49 for checking the movement distance. At this time, the scale 49, the Y-axis holder 46 and the Y-axis feeder 48, and each stand 42 around the boundary line separating the X-axis holder 42 and the X-axis holder 44 ( 46 and the side surfaces of the carriages 44 and 48, that is, the surfaces exposed to the outside.

도 5는 본 발명에 따른 지그장치에서 측정대상 플렉시블 디스플레이가 고정되는 고정축과 가동축을 도시한 본 발명의 다른 주요부 사시도이다.5 is a perspective view of another principal part of the present invention showing a fixed shaft and a movable shaft to which the flexible target to be measured is measured in the jig device according to the present invention.

도 5를 참조하면, 본 실시예에 적용된 고정축(5)과 가동축(6)은 각각, 회전 스테이지(3) 중앙과 가동블록(4) 일측에 설치된다. 상기 고정축(5)은 회전 스테이지(3) 중앙을 관통하여 직립 설치되어 회전 스테이지(3)를 회전시키더라도 회전하지 않으며, 가동축(6)은 가동블록(4)을 구성하는 X축 이송대(44) 일측으로 상기 고정축(5)과 변동 가능한 거리를 두고 평행을 이루도록 직립 설치됨으로써 회전 스테이지(3) 회전으로 평면상에서 그 위치가 바뀐다.Referring to FIG. 5, the fixed shaft 5 and the movable shaft 6 applied in the present embodiment are respectively installed at the center of the rotary stage 3 and the movable block 4. The fixed shaft 5 penetrates the center of the rotating stage 3 so that the fixed shaft 5 does not rotate even when the rotating stage 3 is rotated, and the movable shaft 6 constitutes the movable block 4. (44) By being installed upright so as to be parallel to the fixed shaft 5 at a side with a variable distance, its position is changed on the plane by the rotation of the rotation stage 3.

상기 고정축(5)과 가동축(6)은 전기적 절연성을 갖는 절연체일 수 있다. 상기 고정축(5)과 가동축(6) 선단에는 시편(P) 양 변이 각각 홀딩되며, 이와 같은 시편(P)의 홀딩을 위해 각 축(4)(6) 선단에는 홀더(50)(60)가 마련될 수 있다. 이때 상기 홀더(50)(60)는 측정대상 플렉시블 디스플레이 즉, 시편(P)의 홀딩이 용이하게 이루어질 수 있도록 각 축에 탈착 가능하게 장치되는 구성이 적용될 수 있다.
The fixed shaft 5 and the movable shaft 6 may be an insulator having electrical insulation. Both sides of the specimen (P) are held at the front end of the fixed shaft (5) and the movable shaft (6), and holders (50) (60) at the ends of each of the shafts (4) and (6) for holding the specimen (P). ) May be provided. In this case, the holders 50 and 60 may be configured to be detachably mounted to each shaft so that the flexible display to be measured, that is, the specimen P can be easily held.

다음은 상기한 구성으로 이루어진 본 발명의 실시예에 따른 지그장치를 통해 수행되는 시편 변형 및 시편 변형 시 그 시편의 곡률 및 곡률 반경의 측정과정을 본 발명의 동작과 연계하여 살펴보기로 한다.Next will be described in connection with the operation of the present invention the measurement process of the curvature and curvature radius of the specimen when the specimen deformation and specimen deformation performed by the jig device according to the embodiment of the present invention having the above configuration.

도 6은 본 발명에 따른 지그장치에 의해 구현되는 측정대상의 곡률 및 곡률 반경 측정과정을 보여주기 위한 본 발명의 작동 상태도를 나타낸다.Figure 6 shows the operating state of the present invention for showing the curvature and curvature radius measurement process of the measurement target implemented by the jig device according to the present invention.

도 6을 참조하면, 측정대상 플렉시블 디스플레이 즉, 시편(P)의 그 일측과 타측 변은 고정축(5)과 가동축(6)에 각각 홀딩된다. 이 상태에서 별도의 전극체(도시 생략)를 각 축에 고정된 시편 양측 변에 연결하고 전극체를 통해 전원을 입력하면, 그 입력된 전원에 의해 상기 시편(P)은 발광(發光)하게 되고, 본 실시예에 따른 지그장치와 연동되는 전기 및 광 특성 측정시스템(도시 생략)을 이용하여 시편(P)의 전기적 광학적 특성을 측정하게 된다.Referring to FIG. 6, one side and the other side of the flexible display to be measured, that is, the specimen P, are held on the fixed shaft 5 and the movable shaft 6, respectively. In this state, when a separate electrode body (not shown) is connected to both sides of the specimen fixed to each axis and power is input through the electrode body, the specimen P emits light by the input power. By using the electrical and optical characteristic measurement system (not shown) interlocked with the jig device according to the present embodiment, the electro-optical characteristics of the specimen P are measured.

시편(P)의 전기적, 광학적 특성을 측정함에 있어, 회전 스테이지(3)와 가동블록(4)의 위치 조정을 통해 고정축(5)에 대한 가동축(6)의 위치를 정량적으로 변화시킬 수 있으며, 결국은 고정축(5)과 가동축(6) 사이로 홀딩된 측정대상 시편(P)의 변형 정도를 변화시킬 수 있다. 즉, 회전 스테이지(3) 및 가동블록(4)의 위치 조정으로써 시편(P)의 물리적 변형을 정량적으로 가변시킬 수 있다.In measuring the electrical and optical characteristics of the specimen P, the position of the movable shaft 6 relative to the fixed shaft 5 can be quantitatively changed by adjusting the position of the rotary stage 3 and the movable block 4. In the end, the degree of deformation of the measurement target specimen P held between the fixed shaft 5 and the movable shaft 6 may be changed. That is, the physical deformation of the specimen P can be quantitatively varied by adjusting the position of the rotary stage 3 and the movable block 4.

본 실시예에서는 상기 고정축(5)에 대한 가동축(6)의 위치변화에 따른 시편(P)의 변형 정도, 구체적으로는 변형된 시편(P)의 곡률 및 그 곡률반경을 산출할 수 있다. 즉, 도 7의 곡률 반경 측정원리를 나타낸 개념도 및 그 기하학적 도형을 기반으로 도출된 하기 수학식으로서 측정대상 시편의 구체적인 곡률 반경을 산출할 수 있다. In the present embodiment, the degree of deformation of the specimen P according to the change of the position of the movable shaft 6 with respect to the fixed shaft 5, specifically, the curvature of the deformed specimen P and its radius of curvature can be calculated. . That is, the specific radius of curvature of the measurement target specimen may be calculated using the conceptual diagram illustrating the principle of measuring the radius of curvature of FIG. 7 and the following equation derived based on the geometric figure.

Figure 112011032965911-pat00001
Figure 112011032965911-pat00001

Figure 112011032965911-pat00002
...(2)
Figure 112011032965911-pat00002
...(2)

Figure 112011032965911-pat00003
...(3)
Figure 112011032965911-pat00003
... (3)

여기서, R은 굽힘 변형된 시편의 호의 길이, r은 굽힘 변형된 시편의 곡률반경, 그리고 l은 축간 직선거리를, θ는 곡률중심을 기준으로 한 고정축과 가동축의 각도를 각각 나타낸다. 위 식에서 축간 직선거리 l은 회전 스테이지의 회전 각도 및 가동블록의 X, Y측 이동거리를 통해 산출될 수 있으며, R은 상수에 해당된다. Where R is the length of the arc of the bending deformed specimen, r is the radius of curvature of the bending deformed specimen, and l is the linear distance between the axes, and θ represents the angle between the fixed axis and the movable axis relative to the center of curvature. In the above equation, the linear distance l between axes can be calculated from the rotation angle of the rotating stage and the moving distance of the X and Y sides of the movable block, and R is a constant.

위 세 개의 식((1), (2), (3))을 3차 연립방정식을 이용하여 풀어 내면, 고정축(5)을 피봇축으로 하여 가동축(6)이 어느 특정 지점에 위치할 경우, 그 가동축(6) 위치에 따라 고정축(5)과 가동축(6) 사이에서 굽힘 변형되는 시편(P)의 곡률반경 r과 θ 값을 구체적 수치로 산출할 수 있다. 이처럼 굽힘 변형되는 시편(P)의 변형 정도를 파악할 수 있게 되면, 시편(P)의 그 변형 정도에 따른 전기적, 광학적 변화를 보다 정밀하게 파악할 수 있다.If the above three equations ((1), (2), and (3)) are solved using the cubic system of equations, the movable shaft (6) can be positioned at a certain point using the fixed shaft (5) as the pivot axis. In this case, the radius of curvature r and θ of the test piece P, which is bent and deformed between the fixed shaft 5 and the movable shaft 6 according to the position of the movable shaft 6, can be calculated with specific values. When the degree of deformation of the specimen P to be bent and deformed can be grasped, it is possible to more accurately grasp the electrical and optical changes according to the degree of deformation of the specimen P.

이상에서와 같이 본 발명의 실시예에 의한 플렉시블 디스플레이의 전기, 광학적 특성 측정을 위한 지그장치는, 측정대상 시편의 전기적, 광학적 특성을 측정함에 있어 회전 스테이지와 곡률측정 가동블럭을 이용하여 가동축의 위치변화에 따라 달라지는 시편의 변형 정도 즉, 곡률 및 곡률반경을 구체적으로 측정 및 파악할 수 있다. As described above, the jig device for measuring the electrical and optical characteristics of the flexible display according to the embodiment of the present invention uses the rotation stage and the curvature measurement movable block to measure the electrical and optical characteristics of the specimen to be measured. The degree of deformation of the specimen, that is, the curvature and the radius of curvature, varies depending on the change.

즉, 플렉시블 디스플레이의 전기적, 광학적 특성 측정을 위해 물리적 힘을 가함에 있어 플렉시블 디스플레이의 구체적인 변형 정도를 산출할 수 있으며, 이에 따라 플렉시블 디스플레이의 전기적, 광학적 특성을 파악함에 있어서 구체적인 플렉시블 디스플레이의 변형 정도에 따라 변화하는 전기적, 광학적 특성을 보다 정밀하게 파악할 수 있는 측정장치를 구현할 수 있게 된다.
That is, the degree of deformation of the flexible display can be calculated by applying a physical force to measure the electrical and optical characteristics of the flexible display. Accordingly, in determining the electrical and optical properties of the flexible display, Accordingly, it is possible to implement a measuring device that can more accurately grasp the changing electrical and optical characteristics.

이상의 본 발명의 상세한 설명에서는 그에 따른 특별한 실시 예에 대해서만 기술하였다. 하지만 본 발명은 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
In the foregoing detailed description of the present invention, only specific embodiments thereof have been described. It is to be understood, however, that the present invention is not limited to the specific forms referred to in the description, but rather includes all modifications, equivalents, and substitutions within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Should be.

1 : 베이스 2 : 회전각 조절구
3 : 회전 스테이지 4 : 가동블록
4a : X축 가동블록 4b : Y축 가동블록
5 : 고정축 6 : 가동축
26 : 미동나사 40 : 노브(knob)
42 : X축 고정대 44 : X축 이송대
46 : Y축 고정대 48 : Y축 이송대
49 : 눈금 50 ,60 : 홀더
P : 시편(측정대상 플렉시블 디스플레이)
1 Base 2 Rotation Angle Adjuster
3: rotating stage 4: movable block
4a: X-axis movable block 4b: Y-axis movable block
5: fixed shaft 6: movable shaft
26: Fine thread 40: Knob
42: X axis holder 44: X axis feeder
46: Y-axis holder 48: Y-axis feeder
49: scale 50,60: holder
P: Specimen (Flexible Display to Measure)

Claims (6)

플렉시블 디스플레이의 광적 특성을 측정함에 있어 측정대상 플렉시블 디스플레이를 홀딩하고 홀딩된 플렉시블 디스플레이에 물리적 변형을 가하는 장치로서,
베이스;
회전각 조절구를 매개로 상기 베이스 상에 회전 가능하게 장치되는 회전 스테이지;
상기 회전 스테이지 상에 장치되며 이 회전 스테이지 상에서 X축과 Y축 2축 방향으로 이동할 수 있는 구성의 가동블록; 및
상기 회전 스테이지 중앙과 가동블록 일측에 각각 설치되며 측정대상 플렉시블 디스플레이를 고정시킬 수 있는 홀더를 갖는 한 쌍의 평행한 고정축과 가동축;을 포함하며,
상기 가동블록은,
회전 스테이지에 장착 고정된 Y축 고정대와 이 Y축 고정대를 따라 좌, 우로 왕복 이동하는 Y축 이송대로 이루어진 Y축 가동블록과,
상기 Y축 가동블록의 Y축 이송대 위에 이 Y축 이송대에 교차하는 방향으로 장착 고정되는 X축 고정대와 이 X축 고정대 상에서 상기 Y축 이송대의 움직임과 수직으로 교차하는 방향으로 왕복 이동하는 움직임을 갖는 X축 이송대로 이루어진 X축 가동블록으로 구성되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 특성 측정을 위한 지그장치.
In measuring the optical characteristics of a flexible display, a device for holding a flexible display to be measured and applying physical deformation to the held flexible display,
Base;
A rotating stage rotatably mounted on the base via a rotation angle adjusting device;
A movable block mounted on the rotation stage and configured to move in two X- and Y-axis directions on the rotation stage; And
And a pair of parallel fixed shafts and movable shafts respectively installed at the center of the rotating stage and at one side of the movable block and having a holder for fixing the flexible display to be measured.
The movable block,
A Y-axis movable block consisting of a Y-axis holder fixed to a rotating stage and a Y-axis feeder which reciprocates left and right along the Y-axis holder,
An X-axis holder mounted on the Y-axis carrier of the Y-axis movable block in a direction intersecting the Y-axis carrier and moving in a direction perpendicular to the movement of the Y-axis carrier on the X-axis holder. Jig device for measuring the characteristic of the flexible display, characterized in that consisting of the X-axis movable block made of an X-axis feeder having a.
제 1 항에 있어서,
상기 회전각 조절구는,
원판형 고정체와 이 원판형 고정체에 대해 회전하는 원판형 회전체를 포함하며, 상기 원판형 회전체는 원판형 고정체에 장치되는 미동나사 조절에 종속되는 회전움직임을 갖는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 특성 측정을 위한 지그장치.
The method of claim 1,
The rotation angle adjusting device,
A disk-shaped fixed body and a disk-shaped rotating body rotating about the disk-shaped fixed body, the disk-shaped rotating body having a rotational motion dependent on the fine-tuning screw adjustment provided in the disk-shaped fixed body. Jig device for measuring display characteristics.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 Y축 고정대와 Y축 이송대, 그리고 X축 고정대와 X축 이송대를 구분하는 경계선 주변의 각 고정대와 이송대 측면에는, 각 고정대에 대한 이송대의 이동거리 확인을 위한 눈금이 표시되어 있는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 특성 측정을 위한 지그장치.
The method of claim 1,
The scales for checking the movement distances of the transfer trays for the respective guides are marked on the side of each of the guides and the transfer zones around the boundary line separating the Y-axis holders and the Y-axis holders and the X-axis holders and the X-axis holders. Jig device for measuring the characteristics of the flexible display.
제 4 항에 있어서,
상기 고정축과 가동축은, 전기적 절연성을 갖는 절연체인 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 특성 측정을 위한 지그장치.
The method of claim 4, wherein
The fixed shaft and the movable shaft is a jig device for measuring the flexible display characteristics, characterized in that the insulator having electrical insulation.
제 5 항에 있어서,
상기 고정축과 가동축에 마련되는 홀더는, 각 축에 탈착 가능하게 장치되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 디스플레이 특성 측정을 위한 지그장치.
The method of claim 5, wherein
The holder provided on the fixed shaft and the movable shaft, the jig device for measuring the flexible display characteristics, characterized in that the detachable device is installed on each axis.
KR1020110041982A 2011-05-03 2011-05-03 A jig for property measurement of flexible display panel KR101259415B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110041982A KR101259415B1 (en) 2011-05-03 2011-05-03 A jig for property measurement of flexible display panel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110041982A KR101259415B1 (en) 2011-05-03 2011-05-03 A jig for property measurement of flexible display panel

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120124217A KR20120124217A (en) 2012-11-13
KR101259415B1 true KR101259415B1 (en) 2013-04-29

Family

ID=47509685

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110041982A KR101259415B1 (en) 2011-05-03 2011-05-03 A jig for property measurement of flexible display panel

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101259415B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160087446A (en) * 2015-01-13 2016-07-22 삼성디스플레이 주식회사 Test apparatus of flexible device

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102143746B1 (en) 2013-05-14 2020-08-13 삼성디스플레이 주식회사 Display apparatus
KR102124403B1 (en) * 2013-08-02 2020-06-19 삼성디스플레이 주식회사 Test apparatus of flexible device
KR20210031557A (en) * 2019-09-11 2021-03-22 삼성디스플레이 주식회사 Property measuring device and property measuring method

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005315691A (en) * 2004-04-28 2005-11-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd Bending testing device and bending test method
KR20080045348A (en) * 2006-11-20 2008-05-23 한성욱 Tilt & rotation stage for semiconductor production

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005315691A (en) * 2004-04-28 2005-11-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd Bending testing device and bending test method
KR20080045348A (en) * 2006-11-20 2008-05-23 한성욱 Tilt & rotation stage for semiconductor production

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160087446A (en) * 2015-01-13 2016-07-22 삼성디스플레이 주식회사 Test apparatus of flexible device
KR102342860B1 (en) 2015-01-13 2021-12-27 삼성디스플레이 주식회사 Test apparatus of flexible device

Also Published As

Publication number Publication date
KR20120124217A (en) 2012-11-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN203471634U (en) Automatic rotation positioning assembly
CN105445971B (en) The check device and its control method of liquid crystal display panel
KR101259415B1 (en) A jig for property measurement of flexible display panel
KR101618078B1 (en) The bending test device for flexible display
KR101649330B1 (en) Bending test apparatus by radius for flexible substrate and flexible device
WO2013084345A1 (en) Image acquisition device and adjustment method therefor
KR20120010801A (en) Testing Apparatus for Flexible Display
TWI457552B (en) Flexible optical measuring tool
CN104122633B (en) A kind of chip of light waveguide and fiber angle automatic alignment apparatus and method
CN104503073A (en) Microscope and driving device thereof
US8073650B2 (en) Dimension measuring apparatus
US10359554B2 (en) Attaching device
WO2009002019A2 (en) Evaporation apparatus
KR101764681B1 (en) Flexible film test method
JP6888633B2 (en) Base material evaluation method and bent glass evaluation device
KR101575055B1 (en) Inspecting apparatus for flexible display
JP6019198B2 (en) Magnetic inspection system for vapor deposition
KR200479321Y1 (en) Measuring device for large length member
JP2013178156A (en) Measuring object support device and shape measuring device
CN108291931A (en) Method and apparatus for the electrostatic charge for measuring base material
JP5076171B2 (en) Shape measuring method and shape measuring apparatus
CN102252615B (en) Stamped mark width measuring device and method
TW201616114A (en) Depth of field testing device
TW201231941A (en) Device for testing luminance
KR20150057745A (en) Testing device for durability of RF ID tag

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee