KR101246052B1 - 이미지 센서의 이물 제거용 블로잉 시스템 - Google Patents

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김영진
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(주)씨온테크
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    • B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
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Abstract

본 발명은 이미지 센서의 이물 제거용 블로잉 시스템에 관한 것으로서, 이미지 센서(image sensor)가 로딩되어 이물 제거작업이 진행된 다음에 언로딩되는 가상의 제1 라인(line)에 교차되는 제2 라인 상의 일측에 형성되는 상기 이미지 센서의 이물 제거작업 영역에 배치되며, 상기 이미지 센서에 대한 이물 제거작업을 진행하는 블로어 클리닝 유닛(blower cleaning unit); 및 상기 블로어 클리닝 유닛의 상부에서 상기 블로어 클리닝 유닛에 착탈 가능하게 결합되며, 상기 제1 라인 상으로 이동되는 상기 메탈 트레이에서 일정량의 상기 이미지 센서들을 진공압으로 픽업(pick up)하여 상기 블로어 클리닝 유닛으로 전달하는 홀더 트레이 유닛(holder tray unit)을 포함한다.

Description

이미지 센서의 이물 제거용 블로잉 시스템{BLOWING SYSTEM FOR REMOVAL OF DUST PARTICLES ON IMAGE SENSOR}
본 발명은, 이미지 센서의 이물 제거용 블로잉 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 종래와 달리 자동화 설비를 적용함으로써 이미지 센서의 이물 제거작업에 따른 재작업 발생을 줄여 생산성을 향상시킬 수 있음은 물론 품질 불량이 초래되는 현상을 저지할 수 있으며, 나아가 인건비 감소에 따른 가격 경쟁력을 확보할 수 있는 이미지 센서의 이물 제거용 블로잉 시스템에 관한 것이다.
이미지 센서(image sensor)는 반도체 소자(semiconductor device) 중의 하나로서 디지털 카메라나 스마트폰 등에 적용된다. 이미지 센서로는 CCD 형과 CMOS 형이 보편적으로 사용되고 있으며, 이러한 이미지 센서의 앞부분에는 렌즈 및 필터가 장착되는데 이미지 센서와 렌즈부의 조립 공정에서 미세한 먼지나 오물이 들어갈 경우 이미지 센서 제품은 영구적으로 불량이 되어 버리는 심각한 문제를 초래하게 된다.
여타의 반도체 소자와 달리 이미지 센서는 미세한 이물(particles)에도 민감하기 때문에 이미지 센서를 디지털 카메라나 스마트폰 등에 조립하기 전에는 이물 제거작업을 진행해야 한다. 그래야만 우수한 품질을 제공할 수 있다.
그런데, 현재까지는 이미지 센서의 이물 제거작업을 수작업에 의존하여 왔기 때문에 생산성이 떨어지는 문제점이 있다.
부연하면 종래기술의 경우, 이미지 센서의 이물 제거작업을 수작업으로 진행하다 보니 이물 처리 불량이 빈번히 발생되어 품질 불량을 초래할 뿐만 아니라 생산성이 감소되며, 특히, 이미지 센서의 이물 제거작업에 과도한 작업 인력을 배치함으로써 인건비가 상승되는 추가의 문제가 야기되고 있으므로 이러한 점을 감안한 연구 개발이 요구된다.
대한민국특허청 출원번호 제10-2002-0072672호 대한민국특허청 출원번호 제20-1998-0004711호 대한민국특허청 출원번호 제10-1998-0008272호
본 발명의 목적은, 종래와 달리 자동화 설비를 적용함으로써 이미지 센서의 이물 제거작업에 따른 재작업 발생을 줄여 생산성을 향상시킬 수 있음은 물론 품질 불량이 초래되는 현상을 저지할 수 있으며, 나아가 인건비 감소에 따른 가격 경쟁력을 확보할 수 있는 이미지 센서의 이물 제거용 블로잉 시스템을 제공하는 것이다.
상기 목적은, 이미지 센서(image sensor)가 로딩되어 이물 제거작업이 진행된 다음에 언로딩되는 가상의 제1 라인(line)에 교차되는 제2 라인 상의 일측에 형성되는 상기 이미지 센서의 이물 제거작업 영역에 배치되며, 상기 이미지 센서에 대한 이물 제거작업을 진행하는 블로어 클리닝 유닛(blower cleaning unit); 및 상기 블로어 클리닝 유닛의 상부에서 상기 블로어 클리닝 유닛에 착탈 가능하게 결합되며, 상기 제1 라인 상으로 이동되는 상기 메탈 트레이에서 일정량의 상기 이미지 센서들을 진공압으로 픽업(pick up)하여 상기 블로어 클리닝 유닛으로 전달하는 홀더 트레이 유닛(holder tray unit)을 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 이물 제거용 블로잉 시스템에 의해 달성된다.
상기 블로어 클리닝 유닛은, 제1 유닛 본체; 상기 제1 유닛 본체의 양측에 배치되어 상기 제1 유닛 본체 내로 상기 이미지 센서의 이물 제거를 위한 클리닝 가스(cleaning gas)를 공급하는 이온 블로어(ion blower); 상기 제1 유닛 본체의 측부에 결합되어 상기 이온 블로어와 상기 제1 유닛 본체를 연결하는 연결 배관부; 상기 제1 유닛 본체의 하부 영역에 연결되는 배기부; 상기 제1 유닛 본체의 상부 영역에서 단차지게 형성되는 단차형 함몰부; 상기 단차형 함몰부의 바닥부에서 상방으로 돌출되게 형성되는 다수의 돌출 리브; 및 상기 돌출 리브에 형성되는 다수의 블로어 홀부를 포함할 수 있다.
상기 다수의 돌출 리브는 상기 단차형 함몰부의 바닥부에서 상호간 등간격으로 이격 배치될 수 있다.
상기 블로어 홀부는 상기 돌출 리브들에 각각 집단으로 모여 형성될 수 있으며, 상기 돌출 리브들 사이의 상기 단차형 함몰부의 바닥부에는 다수의 배기홀이 형성될 수 있다.
상기 블로어 클리닝 유닛은, 상기 이온 블로어에 각각 결합되는 클린 필터(clean filter)를 더 포함할 수 있다.
상기 홀더 트레이 유닛과 연결되어 상기 홀더 트레이 유닛을 위치 이동시키는 유닛 트랜스퍼를 더 포함할 수 있다.
상기 홀더 트레이 유닛은, 제2 유닛 본체; 상기 제2 유닛 본체에 연결되는 다수의 석션 파이프; 및 상기 제2 유닛 본체의 밑면에 마련되어 상기 이미지 센서를 척킹하는 다수의 이미지 센서 척킹부를 포함할 수 있다.
상기 이미지 센서 척킹부는, 다수의 석션홀; 및 상기 석션홀을 둘러싸게 배치되어 상기 이미지 센서의 척킹을 가이드하는 가이드를 포함할 수 있다.
상기 가이드는 분리형이거나 일체형 구조물일 수 있다.
상기 제1 라인 상에는, 상기 메탈 트레이의 이송을 위한 메탈 트레이 레일(metal tray rail); 및 상기 메탈 트레이를 카세트 언로더(cassette unloader)를 향해 밀어내는 메탈 트레이 푸셔(metal tray pusher)가 마련될 수 있다.
본 발명에 따르면, 종래와 달리 자동화 설비를 적용함으로써 이미지 센서의 이물 제거작업에 따른 재작업 발생을 줄여 생산성을 향상시킬 수 있음은 물론 품질 불량이 초래되는 현상을 저지할 수 있으며, 나아가 인건비 감소에 따른 가격 경쟁력을 확보할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 이물 제거용 블로잉 시스템의 전체 구조 이미지이다.
도 2는 도 1에 대한 구체적인 도면이다.
도 3은 도 1의 요부 확대 사시 이미지이다.
도 4는 도 3에 대한 구체적인 도면이다.
도 5는 도 1의 요부 확대 이미지이다.
도 6은 도 5의 측면 이미지이다.
도 7은 도 6에 대한 구체적인 도면이다.
도 8은 블로어 클리닝 유닛 영역의 사시도이다.
도 9는 블로어 클리닝 유닛의 사시도이다.
도 10은 홀더 트레이 유닛의 사시도이다.
도 11은 홀더 트레이 유닛의 변형예이다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 이물 제거용 블로잉 시스템의 전체 구조 이미지, 도 2는 도 1에 대한 구체적인 도면, 도 3은 도 1의 요부 확대 사시 이미지, 도 4는 도 3에 대한 구체적인 도면, 도 5는 도 1의 요부 확대 이미지, 도 6은 도 5의 측면 이미지, 도 7은 도 6에 대한 구체적인 도면, 도 8은 블로어 클리닝 유닛 영역의 사시도, 도 9는 블로어 클리닝 유닛의 사시도, 도 10은 홀더 트레이 유닛의 사시도, 그리고 도 11은 홀더 트레이 유닛의 변형예이다. 편의를 위해, 도 5 및 도 6의 이미지에는 도면 참조부호를 부여하지 않았다.
이들 도면을 참조하면, 본 실시예의 이미지 센서의 이물 제거용 블로잉 시스템은 종래와 달리 자동화 설비를 적용함으로써 이미지 센서의 이물 제거작업에 따른 재작업 발생을 줄여 생산성을 향상시킴은 물론 우수한 품질을 제공할 수 있으며, 나아가 인건비 감소에 따른 가격 경쟁력을 확보할 수 있도록 한 것으로서, 블로어 클리닝 유닛(blower cleaning unit, 150)과 홀더 트레이 유닛(holder tray unit, 160)을 포함한다. 본 발명에 따른 블로우잉 시스템은 보편적으로 가장 많이 사용되는 두가지 형태의 이미지 센서인 CCD와 CMOS를 모두 처리 가능하다.
이 외에도, 본 실시예의 이미지 센서의 이물 제거용 블로잉 시스템에는 카세트 로더(cassette loader, 110)와 카세트 언로더(cassette unloader, 120)가 갖춰질 수 있다. 카세트 로더(110)와 카세트 언로더(120)는 충분히 변형이 가능한 일반적인 구성일 수도 있지만 카세트 로더(110)와 카세트 언로더(120)가 갖춰짐으로써 자동화 설비가 구축될 수 있다.
이하, 카세트 로더(110)와 카세트 언로더(120)에 대해 간단하게 먼저 설명하도록 한다.
카세트 로더(110)는 디지털 카메라나 스마트폰 등에 적용될 수 있는 이미지 센서(image sensor)들을 담는 메탈 트레이(metal tray)가 다수 개 수용되는 카세트(미도시)가 로딩되는 장소를 이룬다. 그리고 카세트 언로더(120)는 카세트 로더(110)의 반대편에 배치되며, 이물 제거작업이 완료된 이미지 센서들이 메탈 트레이에 배치된 상태로 수용되는 카세트가 언로딩되는 부분이다.
도 2에는 좌표가 도시되어 있는데, 카세트 로더(110)와 카세트 언로더(120)를 잇는 가상의 라인인 제1 라인은 X축 방향으로 형성되고, 제1 라인에 교차되는 제2 라인은 Y축 방향으로 형성된다. 편의를 위해 제1 및 제2 라인에는 도면 참조부호를 생략했다.
제1 라인 상에는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 메탈 트레이 레일(metal tray rail, 131)과 메탈 트레이 푸셔(metal tray pusher, 132)가 더 갖춰질 수 있다.
메탈 트레이 레일(131)은 메탈 트레이의 이송을 위한 수단으로, 메탈 트레이 푸셔(132)는 메탈 트레이를 카세트 언로더(120)를 향해 밀어내는 수단으로 활용될 수 있다.
메탈 트레이는 이미지 센서들의 종류와 사이즈에 따라 얼마든지 다양하게 변경될 수 있으므로 도시된 형상에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.
한편, 블로어 클리닝 유닛(blower cleaning unit, 150)은 제2 라인 상의 일측에 배치되는 이미지 센서의 이물 제거작업 영역(W/Z)에 배치되며, 이미지 센서에 대한 이물 제거작업을 진행하는 부분이다. 홀더 트레이 유닛(160)과 달리 위치 고정형으로 마련된다.
이러한 블로어 클리닝 유닛(150)은, 도 5 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 제1 유닛 본체(151)와, 제1 유닛 본체(151)의 양측에 배치되어 제1 유닛 본체(151) 내로 이미지 센서의 이물 제거를 위한 클리닝 가스(cleaning gas)를 공급하는 이온 블로어(ion blower, 152)와, 제1 유닛 본체(151)의 측부에 결합되어 이온 블로어(152)와 제1 유닛 본체(151)를 연결하는 연결 배관부(153)와, 제1 유닛 본체(151)의 하부 영역에 연결되는 배기부(154)를 포함한다.
이온 블로어(152)는 제1 유닛 본체(151)의 양측에 각각 다수 개씩 배치되며, 이온 블로어(152)에는 클린 필터(clean filter, 152a)가 각각 연결되어 클리닝 가스를 필터링한다. 이때, 이온 블로어(152)를 통해 제1 유닛 본체(151) 내로 제공되는 클리닝 가스는 N2 가스 또는 일반 에어(air)일 수 있다.
연결 배관부(153)가 다수 개 마련되고 있는데 반해, 배기부(154)는 제1 유닛 본체(151)의 중앙 영역에 비교적 큰 관으로 마련될 수 있다.
제1 유닛 본체(151)의 상부 영역에는 단차형 함몰부(155)가 형성된다. 본 실시예의 경우, 2단의 단차로 단차형 함몰부(155)가 형성된다.
단차형 함몰부(155)의 바닥부(155a)에는 단차형 함몰부(155)의 바닥부(155a)에서 상방으로 돌출되게 다수의 돌출 리브(156)가 형성된다. 돌출 리브(156)들은 단차형 함몰부(155)의 바닥부(155a)에서 상호간 등간격으로 이격 배치된다.
이러한 구조에서 돌출 리브(156)들에는 다수의 블로어 홀부(157)가 형성된다. 이때, 다수의 블로어 홀부(157)는 돌출 리브(156)들에 각각 집단으로 모여 형성된다. 그리고 돌출 리브(156)들 사이의 단차형 함몰부(155)의 바닥부(155a)에는 다수의 배기홀(158)이 형성된다. 배기홀(158)은 블로어 홀부(157)보다 직경이 크게 형성된다.
이에, 홀더 트레이 유닛(160)을 통해 전달되는 이물 제거작업 대상의 이미지 센서들은 블로어 홀부(157)들 영역에 배치된 후, 이온 블로어(152)를 통해 제1 유닛 본체(151) 내로 제공되는 클리닝 가스에 의해 이물이 제거될 수 있다. 이물 제거에 사용된 배기가스는 배기홀(158)들을 통해 배기부(154)로 배기된다.
한편, 홀더 트레이 유닛(holder tray unit, 160)은 블로어 클리닝 유닛(150)의 상부에서 블로어 클리닝 유닛(150)에 착탈 가능하게 결합되며, 제1 라인 상으로 이동되는 메탈 트레이에서 일정량의 이미지 센서들을 진공압으로 픽업(pick up)하여 블로어 클리닝 유닛(150)으로 전달하는 역할을 한다.
이러한 홀더 트레이 유닛(160)은 블로어 클리닝 유닛(150)과 달리 제2 라인 상을 이동한다. 이를 위해, 홀더 트레이 유닛(160)은 홀더 트레이 유닛(160)을 위치 이동시키는 유닛 트랜스퍼(170)와 연결된다. 유닛 트랜스퍼(170)는 제2 라인 방향뿐만 아니라 업/다운(up/down) 이동도 가능하다.
홀더 트레이 유닛(160)은, 도 8, 도 10에 도시된 바와 같이, 제2 유닛 본체(161)와, 제2 유닛 본체(161)에 연결되는 다수의 석션 파이프(162)와, 제2 유닛 본체(161)의 밑면에 마련되어 이미지 센서를 척킹하는 다수의 이미지 센서 척킹부(163)를 포함한다.
이때, 이미지 센서 척킹부(163)들 모두는, 다수의 석션홀(164)과, 석션홀(164)을 둘러싸게 배치되어 이미지 센서의 척킹을 가이드하는 가이드(165)를 포함한다. 본 실시예에서 가이드(165)는 분리형 가이드(165)로 마련된다.
이러한 구성을 갖는 이미지 센서의 이물 제거용 블로잉 시스템의 동작에 대해 설명한다.
카세트 로더(110)에 카세트가 로딩된 상태에서 메탈 트레이가 제1 라인을 따라 이동되다가 제2 라인과 교차되는 지점에 도달되면 메탈 트레이의 이동이 잠시 정지된다.
이때, 유닛 트랜스퍼(170)의 동작에 의해 홀더 트레이 유닛(160)이 메탈 트레이 쪽으로 접근하여 이물 제거작업 대상의 이미지 센서들을 진공압으로 척킹한다. 즉 석션 파이프(162)를 통해 석션이 진행됨으로써 가이드(165)에 의해 가이드된 이미지 센서들은 석션홀(164)에 석션에 의해 흡착된다.
이미지 센서들이 흡착된 홀더 트레이 유닛(160)은 유닛 트랜스퍼(170)의 동작에 의해 제2 라인을 따라 이동된 후, 이미지 센서의 이물 제거작업 영역(W/Z)에 배치된 블로어 클리닝 유닛(150)에 결합, 즉 도킹(docking)된다.
이때, 홀더 트레이 유닛(160)을 통해 전달되는 이물 제거작업 대상의 이미지 센서들은 블로어 홀부(157)들 영역에 배치된 후, 이온 블로어(152)를 통해 제1 유닛 본체(151) 내로 제공되는 클리닝 가스에 의해 이물이 제거될 수 있다. 이물 제거에 사용된 배기가스는 배기홀(158)들을 통해 배기부(154)로 배기된다.
이물 제거작업이 완료된 이미지 센서들은 홀더 트레이 유닛(160)에 의해 다시 메탈 트레이로 옮겨지며, 이후에 카세트 언로더(120)를 통해 작업라인 상에서 언로딩된다.
이와 같은 구조와 동작을 갖는 본 실시예에 따르면, 종래와 달리 자동화 설비를 적용함으로써 이미지 센서의 이물 제거작업에 따른 재작업 발생을 줄여 생산성을 향상시킬 수 있음은 물론 품질 불량이 초래되는 현상을 저지할 수 있으며, 나아가 인건비 감소에 따른 가격 경쟁력을 확보할 수 있게 된다.
도 11은 홀더 트레이 유닛의 변형예이다.
이 도면을 참조하면 본 실시예의 경우, 전술한 실시예와 달리 가이드(265)의 구조가 상이하다.
다시 말해, 본 실시예에서 홀더 트레이 유닛(260)에 마련되는 이미지 센서 척킹부(263)들 모두는, 다수의 석션홀(164)과, 석션홀(164)을 둘러싸게 배치되어 이미지 센서의 척킹을 가이드하는 일체형 가이드(265)로 적용된다.
이와 같이, 일체형 가이드(265)가 적용되더라도 종래와 달리 자동화 설비를 적용함으로써 이미지 센서의 이물 제거작업에 따른 재작업 발생을 줄여 생산성을 향상시킬 수 있음은 물론 품질 불량이 초래되는 현상을 저지할 수 있으며, 나아가 인건비 감소에 따른 가격 경쟁력을 확보할 수 있게 된다는 본 발명의 효과를 제공하기에 충분하다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
110 : 카세트 로더 120 : 카세트 언로더
131 : 메탈 트레이 레일 132 : 메탈 트레이 푸셔
150 : 블로어 클리닝 유닛 151 : 제1 유닛 본체
152 : 이온 블로어 152a : 클린 필터
153 : 연결 배관부 154 : 배기부
155 : 단차형 함몰부 155a : 바닥부
156 : 돌출 리브 157 : 블로어 홀부
158 : 배기홀 160 : 홀더 트레이 유닛
161 : 제2 유닛 본체 162 : 석션 파이프
163 : 이미지 센서 척킹부 164 : 석션홀
165 : 가이드 170 : 유닛 트랜스퍼

Claims (10)

  1. 이미지 센서(image sensor)가 로딩되어 이물 제거작업이 진행된 다음에 언로딩되는 가상의 제1 라인(line)에 교차되는 제2 라인 상의 일측에 형성되는 상기 이미지 센서의 이물 제거작업 영역에 배치되며, 상기 이미지 센서에 대한 이물 제거작업을 진행하는 블로어 클리닝 유닛(blower cleaning unit);
    상기 블로어 클리닝 유닛의 상부에서 상기 블로어 클리닝 유닛에 착탈 가능하게 결합되며, 상기 제1 라인 상으로 이동되는 메탈 트레이에서 일정량의 상기 이미지 센서들을 진공압으로 픽업(pick up)하여 상기 블로어 클리닝 유닛으로 전달하는 홀더 트레이 유닛(holder tray unit); 및
    상기 홀더 트레이 유닛과 연결되어 상기 홀더 트레이 유닛을 위치 이동시키는 유닛 트랜스퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 이물 제거용 블로잉 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 블로어 클리닝 유닛은,
    제1 유닛 본체;
    상기 제1 유닛 본체의 양측에 배치되어 상기 제1 유닛 본체 내로 상기 이미지 센서의 이물 제거를 위한 클리닝 가스(cleaning gas)를 공급하는 이온 블로어(ion blower);
    상기 제1 유닛 본체의 측부에 결합되어 상기 이온 블로어와 상기 제1 유닛 본체를 연결하는 연결 배관부;
    상기 제1 유닛 본체의 하부 영역에 연결되는 배기부;
    상기 제1 유닛 본체의 상부 영역에서 단차지게 형성되는 단차형 함몰부;
    상기 단차형 함몰부의 바닥부에서 상방으로 돌출되게 형성되는 다수의 돌출 리브; 및
    상기 돌출 리브에 형성되는 다수의 블로어 홀부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 이물 제거용 블로잉 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 다수의 돌출 리브는 상기 단차형 함몰부의 바닥부에서 상호간 등간격으로 이격 배치되는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 이물 제거용 블로잉 시스템.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 블로어 홀부는 상기 돌출 리브들에 각각 집단으로 모여 형성되며,
    상기 돌출 리브들 사이의 상기 단차형 함몰부의 바닥부에는 다수의 배기홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 이물 제거용 블로잉 시스템.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 블로어 클리닝 유닛은,
    상기 이온 블로어에 각각 결합되는 클린 필터(clean filter)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 이물 제거용 블로잉 시스템.
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 홀더 트레이 유닛은,
    제2 유닛 본체;
    상기 제2 유닛 본체에 연결되는 다수의 석션 파이프; 및
    상기 제2 유닛 본체의 밑면에 마련되어 상기 이미지 센서를 척킹하는 다수의 이미지 센서 척킹부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 이물 제거용 블로잉 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 이미지 센서 척킹부는,
    다수의 석션홀; 및
    상기 석션홀을 둘러싸게 배치되어 상기 이미지 센서의 척킹을 가이드하는 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 이물 제거용 블로잉 시스템.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 가이드는 분리형이거나 일체형 구조물인 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 이물 제거용 블로잉 시스템.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 제1 라인 상에는,
    상기 메탈 트레이의 이송을 위한 메탈 트레이 레일(metal tray rail); 및
    상기 메탈 트레이를 카세트 언로더(cassette unloader)를 향해 밀어내는 메탈 트레이 푸셔(metal tray pusher)가 마련되는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 이물 제거용 블로잉 시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20060045565A (ko) * 2004-10-25 2006-05-17 (주) 에스에스피 카메라 모듈의 렌즈배럴 조립장비 및 이를 이용한 조립방법
KR20080074551A (ko) * 2007-02-09 2008-08-13 한미반도체 주식회사 트레이 픽커
KR20110088189A (ko) * 2010-01-28 2011-08-03 화인에프.에이 주식회사 수지재 앰플의 제조장치

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