KR101244583B1 - Light emitting diode having Active layer with Saw tooth shaped energy bandgap - Google Patents

Light emitting diode having Active layer with Saw tooth shaped energy bandgap Download PDF

Info

Publication number
KR101244583B1
KR101244583B1 KR1020110045585A KR20110045585A KR101244583B1 KR 101244583 B1 KR101244583 B1 KR 101244583B1 KR 1020110045585 A KR1020110045585 A KR 1020110045585A KR 20110045585 A KR20110045585 A KR 20110045585A KR 101244583 B1 KR101244583 B1 KR 101244583B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
layer
tooth
active layer
light emitting
layers
Prior art date
Application number
KR1020110045585A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20120127841A (en
Inventor
오화섭
주진우
이광철
이승재
백종협
김상묵
이상헌
탁 정
김자연
Original Assignee
한국광기술원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국광기술원 filed Critical 한국광기술원
Priority to KR1020110045585A priority Critical patent/KR101244583B1/en
Publication of KR20120127841A publication Critical patent/KR20120127841A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101244583B1 publication Critical patent/KR101244583B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/02Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
    • H01L33/14Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a carrier transport control structure, e.g. highly-doped semiconductor layer or current-blocking structure
    • H01L33/145Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a carrier transport control structure, e.g. highly-doped semiconductor layer or current-blocking structure with a current-blocking structure
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/02Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
    • H01L33/04Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a quantum effect structure or superlattice, e.g. tunnel junction
    • H01L33/06Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a quantum effect structure or superlattice, e.g. tunnel junction within the light emitting region, e.g. quantum confinement structure or tunnel barrier
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/02Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
    • H01L33/26Materials of the light emitting region
    • H01L33/30Materials of the light emitting region containing only elements of group III and group V of the periodic system
    • H01L33/32Materials of the light emitting region containing only elements of group III and group V of the periodic system containing nitrogen

Abstract

톱니 형태의 에너지 밴드갭을 가지는 활성층을 구비한 발광 소자가 개시된다. 본 발명에 의한 발광 소자는 복수 개의 층을 포함하는 활성층을 구성하는 물질들 간의 조성비가 순차적으로 증감하는 값을 가지도록 연속적으로 변화시킴으로써 상기 활성층 영역이 톱니 형태의 에너지 밴드갭을 가지도록 설정할 수 있다. 이를 통하여 상기 활성층으로 유입되는 전자와 정공의 구속 효과를 극대화시켜 고휘도의 발광 소자를 얻을 수 있다.Disclosed is a light emitting device having an active layer having a sawtooth shaped energy bandgap. In the light emitting device according to the present invention, the active layer region may be set to have a sawtooth-shaped energy band gap by continuously changing the composition ratio between materials constituting the active layer including a plurality of layers to have a value that sequentially increases or decreases. . Through this, it is possible to obtain a light emitting device having high brightness by maximizing the confinement effect of the electrons and holes flowing into the active layer.

Description

톱니 형태의 에너지 밴드갭을 가지는 활성층을 구비한 발광 소자{Light emitting diode having Active layer with Saw tooth shaped energy bandgap} Light emitting diode having active layer with saw tooth shaped energy bandgap}

본 발명은 톱니 형태의 에너지 밴드갭을 가지는 활성층을 구비한 발광 소자에 관한 것으로, 보다 상세하게는 복수 개의 층을 포함하는 활성층의 구성물질의 조성비를 각 밴드갭 에너지가 순차적으로 증감하도록 변화시킴으로써 톱니 형태의 에너지 밴드갭을 가지는 활성층을 구비하는 발광 소자에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light emitting device having an active layer having a sawtooth shaped energy bandgap, and more particularly, to changing the composition ratio of the constituents of the active layer including a plurality of layers so that the bandgap energy increases and decreases sequentially. The present invention relates to a light emitting device having an active layer having an energy band gap in the form.

발광 소자(Light Emitting Diode, LED)는 에너지 밴드 갭이 큰 반도체 물질 사이에 낮은 에너지 밴드 갭을 갖는 활성층이 개재된 구조를 채용하며, 상기의 활성층 내에서 자발 방출(spontaneous emission)된 빛을 이용한다. 즉, 활성층은 전자와 정공의 재결합을 통하여 빛을 생성시키는 역할을 수행한다. 따라서 발광 소자의 발광 효율을 높이기 위한 가장 핵심적인 기술 중 하나는 실제로 빛을 발광하는 활성층의 품질 개선이다. The light emitting diode (LED) adopts a structure in which an active layer having a low energy band gap is interposed between semiconductor materials having a large energy band gap, and uses spontaneous emission light in the active layer. That is, the active layer plays a role of generating light through recombination of electrons and holes. Therefore, one of the most essential technologies for improving the luminous efficiency of the light emitting device is to improve the quality of the active layer that actually emits light.

현재, 가장 널리 사용되는 활성층 구조는 양자 장벽층과 양자 우물층을 수차례 반복 적층하여 형성된 다중 양자 우물(Multi-Quantum Well, MQW) 구조이다. 상기와 같은 다중 양자우물 구조의 활성층에서는 전도대의 전자와 가전자대의 정공이 양자 우물층에 갇히게 된다. 그 결과, 양자 우물층 내 캐리어의 상태 밀도가 높아짐으로써 전자와 정공의 발광 재결합 효율이 증가한다. 또한, 양자 우물층의 굴절률은 상기 양자 우물층을 둘러싼 외부 반도체 물질의 굴절률보다 크기 때문에, 양자 우물층에서 발생된 광자들도 양자 우물층 근처에 공간적으로 갇히는 효과가 발생한다. 상기의 과정을 통하여 활성층으로 유입되는 전자와 정공을 양자 우물층 영역에 구속하여 빛을 발생시킨다. Currently, the most widely used active layer structure is a multi-quantum well (MQW) structure formed by repeatedly stacking a quantum barrier layer and a quantum well layer several times. In the active layer of the multi-quantum well structure as described above, electrons in the conduction band and holes in the valence band are trapped in the quantum well layer. As a result, the state density of the carrier in the quantum well layer increases, so that the efficiency of light emission recombination of electrons and holes increases. In addition, since the refractive index of the quantum well layer is larger than the refractive index of the external semiconductor material surrounding the quantum well layer, photons generated in the quantum well layer are also spatially trapped near the quantum well layer. Through the above process, the electrons and holes flowing into the active layer are constrained to the quantum well layer region to generate light.

도 1 은 종래의 활성층의 에너지 밴드 구조를 도시하는 도면이다. 1 is a diagram showing an energy band structure of a conventional active layer.

도 1을 참조하면, 종래 일반적으로 n형 클래드층과 p형 클래드층 사이에 개재되는 활성층이 양자 장벽층과 양자 우물층으로 구성된 다중 양자 우물 구조인 경우, 상기 양자 장벽층과 양자 우물층의 각 구성물질의 조성비는 가능한 한 일정하도록 조절되었다.Referring to FIG. 1, when the active layer interposed between the n-type cladding layer and the p-type cladding layer is a multiple quantum well structure composed of a quantum barrier layer and a quantum well layer, each of the quantum barrier layer and the quantum well layer The composition ratio of the constituents was adjusted to be as constant as possible.

또한 대한민국 공개특허 제2002-0096377호에는 Ⅲ-Ⅴ족 질화물계 발광 소자에서 InGaN 양자 우물층을 성장시킬 때, 각 단계에서 성장되는 InGaN층의 두께를 동일하게 하며, InGaN 양자우물층과 제1 및 제2 InGaN 장벽층의 조성비를 일정하게 하되, 상기 InGaN 양자우물층의 In 조성은 상기 제1 및 제2 InGaN 장벽층의 In 조성보다 높은 것을 특징으로 하는 LED의 양자 우물층 성장 방법에 관한 기술이 개시되어 있다. In addition, Korean Patent Laid-Open Publication No. 2002-0096377 discloses that when growing an InGaN quantum well layer in a III-V nitride-based light emitting device, the thickness of the InGaN layer grown in each step is the same, and the InGaN quantum well layer and the first and The composition of the quantum well layer growth method of the LED is characterized in that the composition ratio of the second InGaN barrier layer is constant, and the In composition of the InGaN quantum well layer is higher than the In composition of the first and second InGaN barrier layers. Is disclosed.

그러나, 상기와 같은 구조를 가지는 활성층은 상기 양자 장벽층과 양자 우물층의 에너지 장벽의 한계로 인하여 발광 효율을 향상시키는 데 제약이 있었다. However, the active layer having the above structure has a limitation in improving the luminous efficiency due to the limitation of the energy barrier of the quantum barrier layer and the quantum well layer.

이에 본 발명의 목적은 활성층 영역의 에너지 밴드갭이 순차적으로 높아지고 낮아지는 톱니 형태를 가짐으로써 n형 클래드층에서 유입되는 전자와 p형 클래드층에서 유입되는 정공의 구속(confinement) 효과를 극대화시킬 수 있는 톱니 형태의 에너지 밴드갭을 가지는 활성층을 구비한 발광 소자를 제공하는 데 있다. Accordingly, an object of the present invention is to maximize the confinement effect of electrons flowing in the n-type cladding layer and holes flowing in the p-type cladding layer by having a sawtooth shape in which the energy band gap of the active layer region is sequentially increased and decreased. To provide a light emitting device having an active layer having a sawtooth-shaped energy bandgap.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명은 도전성 기판, 상기 도전성 기판 상에 형성되는 n형 클래드층, 상기 n형 클래드층 상부에 형성되는 복수 개의 층을 구비한 활성층 및 상기 활성층 상에 형성되는 p형 클래드층을 포함하고, 상기 활성층의 구성물질의 조성비는 상기 복수 개의 층의 각 밴드갭 에너지가 순차적으로 증감하도록 변화하는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is a conductive substrate, an n-type cladding layer formed on the conductive substrate, an active layer having a plurality of layers formed on the n-type cladding layer and p-type formed on the active layer It comprises a cladding layer, characterized in that the composition ratio of the constituents of the active layer is changed so that each bandgap energy of the plurality of layers sequentially increases and decreases.

본 발명에 의한 톱니 형태의 에너지 밴드갭을 가지는 활성층을 구비한 발광 소자는 활성층 영역의 에너지 밴드갭이 순차적으로 증감하는 톱니 형태의 구조를 가짐으로써 활성층으로 유입되는 전자와 정공의 구속 효과를 극대화시켜 고휘도의 발광 소자를 얻을 수 있는 효과가 있다.The light emitting device having an active layer having a sawtooth-type energy bandgap according to the present invention has a sawtooth-type structure in which the energy bandgap of the active layer region increases and decreases to maximize the restraint effect of electrons and holes flowing into the active layer. There is an effect of obtaining a high brightness light emitting element.

도 1은 종래의 활성층의 에너지 밴드 구조를 도시하는 도면이다.
도 2a는 본 발명에 의한 발광 소자를 도시하는 도면이다.
도 2b는 화합물 반도체층의 에너지 밴드 구조를 도시하는 도면이다.
도 3a는 비교예로서, 활성층을 구성하는 물질의 조성비가 일정한 발광 소자의 에너지 밴드 구조를 도시하는 도면이다.
도 3b는 본 발명에 의한 활성층의 에너지 밴드 구조를 도시하는 도면이다.
도 4는 비교예의 에너지 밴드 구조를 가진 활성층을 구비하는 발광 소자 및 본 발명의 에너지 밴드 구조를 가진 활성층을 구비하는 발광 소자의 전기적 광학적 특성을 나타내는 도면이다.
1 is a diagram showing an energy band structure of a conventional active layer.
2A is a view showing a light emitting device according to the present invention.
2B is a diagram showing an energy band structure of a compound semiconductor layer.
FIG. 3A is a comparative example and illustrates an energy band structure of a light emitting device having a constant composition ratio of materials constituting the active layer.
3B is a diagram showing an energy band structure of an active layer according to the present invention.
4 is a view showing the electro-optical characteristics of a light emitting device having an active layer having an energy band structure of the comparative example and a light emitting device having an active layer having an energy band structure of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함하여 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, it will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도 2a는 본 발명에 의한 발광 소자를 도시하는 도면이다.2A is a view showing a light emitting device according to the present invention.

도 2b는 화합물 반도체층의 에너지 밴드 구조를 도시하는 도면이다.2B is a diagram showing an energy band structure of a compound semiconductor layer.

도 2a를 참조하면, 본 발명에 의한 발광 소자는 기판(10) 상에 n형 클래드층(12)이 성장되고, 그 위에 활성층(14)이 성장된다. 이어서, 상기 활성층(14) 상에 p형 클래드층(16)이 성장된다. 상기와 같이 본 발명을 구성하는 이들 화합물 반도체층들은 다양한 방법, 예컨대 금속 유기화학 기상성장법(MOCVD) 또는 분자선 성장(MBE) 기술을 사용하여 성장될 수 있다. 필요에 따라서 각 층들은 다시 세부층들을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 2A, in the light emitting device according to the present invention, an n-type cladding layer 12 is grown on a substrate 10, and an active layer 14 is grown thereon. Subsequently, the p-type cladding layer 16 is grown on the active layer 14. As described above, these compound semiconductor layers constituting the present invention can be grown using various methods, such as metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) or molecular beam growth (MBE) techniques. Each layer may again include sublayers as needed.

또한 상기와 같이 순차 적층된 화합물 반도체층의 상기 p형 클래드층(16) 상에 p형 전극(18)을 형성하고, 상기 기판(10)의 뒷면에 n형 전극(20)을 형성하여 수직형 구조의 발광 소자를 제작할 수 있다. In addition, the p-type electrode 18 is formed on the p-type cladding layer 16 of the compound semiconductor layer sequentially stacked as described above, and the n-type electrode 20 is formed on the rear surface of the substrate 10 to form a vertical type. A light emitting device having a structure can be produced.

이 때, 상기 도전성 기판은 GaAs 기판일 수 있으며, 상기 화합물 반도체층은 AlGaInP계 화합물 반도체층일 수 있다. 상기 GaAs 기판은 AlGaInP 에피층들을 성장시키기에 적합하며, 내부 양자 효율이 우수한 AlGaInP 활성층 성장을 돕는 역할을 수행한다. 또한 상기 AlGaInP 활성층을 사이에 두고 형성되는 n형 클래드층 및 p형 클래드층은 개재된 상기 AlGaInP 활성층에 비해 밴드갭이 큰 물질로 형성되어, 전자와 정공의 재결합을 돕는다. In this case, the conductive substrate may be a GaAs substrate, and the compound semiconductor layer may be an AlGaInP-based compound semiconductor layer. The GaAs substrate is suitable for growing AlGaInP epilayers, and serves to support growth of AlGaInP active layer having excellent internal quantum efficiency. In addition, the n-type cladding layer and the p-type cladding layer formed with the AlGaInP active layer interposed therebetween are formed of a material having a larger bandgap than the interposed AlGaInP active layer, thereby helping to recombine electrons and holes.

활성층은 복수 개의 층을 구비할 수 있으며, (AlxGa1 -x)yIn1 - yP (0≤x≤1, 0≤y≤1)로 구성된다. 이 때, x, y 중 적어도 어느 하나의 조성을 순차적으로 변화시킴으로써 톱니 형태의 에너지 밴드 구조를 가지는 활성층을 형성할 수 있다.The active layer may have a plurality of layers, (Al x Ga 1 -x) y In 1 - consists of a y P (0≤x≤1, 0≤y≤1). In this case, the active layer having a sawtooth-shaped energy band structure may be formed by sequentially changing at least one of x and y.

도 2b를 참조하면, 상기 복수 개의 층으로 구성된 활성층은 적어도 한 쌍 이상의 톱니 상부층(tooth top layer)과 톱니 하부층(tooth bottom layer)을 구비할 수 있다. 이 때, 상기의 톱니 상부층과 톱니 하부층은 상기 활성층 영역의 에너지 밴드갭을 기준으로 하여 가장 큰 밴드갭을 가지는 층을 톱니 상부층으로 정의하며, 가장 작은 밴드갭을 가지는 층을 톱니 하부층으로 정의하는 것으로 한다. Referring to FIG. 2B, the active layer including the plurality of layers may include at least one pair of tooth top layers and tooth bottom layers. In this case, the tooth upper layer and the tooth lower layer are defined as the tooth upper layer, and the layer having the smallest band gap is defined as the tooth lower layer based on the energy band gap of the active layer region. do.

이 때, 톱니 상부층은 (Alx1Ga1 -x1)y1In1 - y1P (0≤x1≤1, 0≤y1≤1)의 조성비를 가지며, 상기 톱니 하부층은 (Alx2Ga1 -x2)y2In1 - y2P (0≤x2≤1, 0≤y2≤1)의 조성비를 가질 수 있다.At this time, the tooth top layer is (Al x1 Ga 1 -x1) y1 In 1 - has a composition of y1 P (0≤x 1 ≤1, 0≤y 1 ≤1), the tooth bottom layer is (Al x2 Ga 1 - x2 ) y2 In 1 - y2 P (0 ≦ x 2 ≦ 1, 0 ≦ y 2 ≦ 1).

상기와 같이 정의된 상기 적어도 한 쌍 이상의 톱니 상부층과 톱니 하부층의 사이에 순차적으로 증감하도록 변화하는 조성비를 가지는 복수 개의 층이 개재될 수 있다. 이 때, 개재되는 복수 개의 층은 상기 톱니 상부층의 조성비 및 상기 톱니 하부층의 조성비 사이의 값을 가질 수 있다. A plurality of layers having a composition ratio varying in order to sequentially increase or decrease between the at least one pair of tooth upper layers and the tooth lower layer defined as described above may be interposed. In this case, the plurality of intervening layers may have a value between the composition ratio of the upper tooth layer and the composition ratio of the lower tooth layer.

예컨대, 상기 x1의 값을 0.9로, 상기 x2의 값을 0.1로 설정하는 경우, 상기 톱니 상부층과 톱니 하부층 사이에 개재되는 각 층의 x값, 즉 Al과 Ga의 조성비는 0.9로부터 0.1까지의 범위내에서 설정된다. For example, when the value of x 1 is set to 0.9 and the value of x 2 is set to 0.1, the x value of each layer interposed between the tooth upper layer and the tooth lower layer, that is, the composition ratio of Al and Ga is from 0.9 to 0.1. It is set within the range of.

보다 상세하게는, 각 층이 가지는 x의 조성비는 0.9로부터 0.1까지 순차적으로 감소하도록 설정되며, 0.1에 도달하는 경우 다시 0.1로부터 0.9까지 순차적으로 증가하도록 설정된다. 즉, 톱니 상부층과 톱니 하부층을 기준으로 그 사이에 개재되는 복수 개 층들의 x 조성비는 0.9와 0.1을 최상값과 최하값으로 하여 순차적으로 증감하는 사이클을 반복한다. 이 때, 상기 톱니 상부층과 톱니 하부층 사이에 개재되는 층의 갯수에는 제한이 없으나, 상기 활성층 영역이 보다 정밀한 톱니 형태의 에너지 밴드 구조를 가지기 위해서는 각 층의 조성비의 차이를 작게 하여 복수개의 층으로 형성하는 것이 바람직하다. In more detail, the composition ratio of x which each layer has is set to decrease sequentially from 0.9 to 0.1, and when it reaches 0.1, it is set to increase sequentially from 0.1 to 0.9 again. That is, the x composition ratio of the plurality of layers interposed therebetween with respect to the tooth upper layer and the tooth lower layer repeats the cycle of sequentially increasing and decreasing the values of 0.9 and 0.1 as the highest value and the lowest value. At this time, the number of layers interposed between the top tooth and the bottom tooth layer is not limited, but in order to have a more precise saw tooth-shaped energy band structure formed in a plurality of layers by reducing the difference in the composition ratio of each layer It is desirable to.

상기와 같이 x1 및 x2, 즉, Al 및 Ga의 조성비만을 다르게 하여 상기 활성층 영역을 구성하는 각 층을 형성할 수 있으며, 이 때, y1 및 y2의 조성비는 일정하게 유지할 수 있다. 이를 통하여 격자 상수가 일정하게 유지되어 물리적 결함이 적은 발광 소자를 제조할 수 있는 이점이 있다.As described above, each layer constituting the active layer region may be formed by changing only the composition ratio of x 1 and x 2 , that is, Al and Ga, and at this time, the composition ratio of y 1 and y 2 may be kept constant. . As a result, the lattice constant is kept constant, thereby producing a light emitting device having fewer physical defects.

한편, (Alx1Ga1 -x1)y1In1 - y1P (0≤x1≤1, 0≤y1≤1)의 조성비를 가지는 톱니 상부층과 (Alx2Ga1 -x2)y2In1 - y2P (0≤x2≤1, 0≤y2≤1)의 조성비를 가지는 톱니 하부층에서 x의 조성비와 y의 조성비를 모두 변화시킬 수 있다. On the other hand, (Al x1 Ga 1 -x1) y1 In 1 - y1 P tooth top layer having a composition ratio of (0≤x1≤1, 0≤y1≤1) and (Al x2 Ga 1 -x2) y2 In 1 - y2 P In the tooth lower layer having a composition ratio of (0 ≦ x2 ≦ 1, 0 ≦ y2 ≦ 1), both the composition ratio of x and the composition ratio of y can be changed.

즉, x1의 값을 0.9로, 상기 x2의 값을 0.1로 설정하고, 상기 y1의 값을 0.1로, y2의 값을 0.9로 설정할 수 있다. 이 경우, 상기 톱니 상부층과 톱니 하부층 사이에 개재되는 각 층의 x값과 y값은 각각 0.9로부터 0.1까지의 범위를 가진다. That is, the value of x 1 may be set to 0.9, the value of x 2 may be set to 0.1, the value of y 1 may be set to 0.1, and the value of y 2 may be set to 0.9. In this case, the x value and y value of each layer interposed between the tooth upper layer and the tooth lower layer have a range from 0.9 to 0.1, respectively.

각 층이 가지는 x와 y의 조성비는 0.9로부터 0.1까지 순차적으로 감소하도록 설정되며, 0.1에 도달하는 경우 다시 0.1로부터 0.9까지 순차적으로 증가하도록 설정된다. 즉, 톱니 상부층과 톱니 하부층을 기준으로 그 사이에 개재되는 복수 개 층들의 x와 y의 조성비는 0.9와 0.1을 최상값과 최하값으로 하여 순차적으로 증감하는 사이클을 반복하도록 설정할 수 있다. 이 때, x의 값의 증감률과 y값의 증감률은 서로 같을 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 서로 다른 증감률을 갖는 것도 가능하다. The composition ratio of x and y of each layer is set to decrease sequentially from 0.9 to 0.1, and when it reaches 0.1, it is set to sequentially increase from 0.1 to 0.9 again. That is, the composition ratio of x and y of the plurality of layers interposed therebetween with respect to the tooth upper layer and the tooth lower layer may be set to repeat the cycle of increasing and decreasing sequentially with 0.9 and 0.1 as the highest value and the lowest value. At this time, the increase and decrease rate of the value of x and the increase and decrease rate of the y value may be the same, but are not limited thereto, and may have different increase and decrease rates.

상기에서 설명한 바와 같이 활성층을 구성하는 각 층의 구성물질의 조성비를 연속적으로 변화시킴으로써 톱니 형태의 에너지 밴드 구조를 가지는 활성층을 구비한 발광 소자를 제조할 수 있다. As described above, the light emitting device having the active layer having a sawtooth-shaped energy band structure can be manufactured by continuously changing the composition ratio of the constituents of each layer constituting the active layer.

또한 상기 n형 전극(20) 및 p형 전극(18)은 Au, Ag 또는 Al 등의 금속박막층으로 형성될 수 있으며, 이는 전자빔(E-beam) 증착 또는 열증착을 통하여 형성될 수 있다.In addition, the n-type electrode 20 and the p-type electrode 18 may be formed of a metal thin layer such as Au, Ag or Al, which may be formed through electron beam (E-beam) deposition or thermal deposition.

상기와 같이 GaAs 기판을 이용한 AlGaInP 기반의 발광 소자는 적색에서 연두색 영역까지의 다양한 빛의 재현이 가능한 이점이 있다.As described above, the AlGaInP-based light emitting device using the GaAs substrate has an advantage of reproducing a variety of light from the red to the lime green region.

도 3a는 비교예로서, 활성층을 구성하는 물질의 조성비가 일정한 발광 소자의 에너지 밴드 구조를 도시하는 도면이다.FIG. 3A is a comparative example and illustrates an energy band structure of a light emitting device having a constant composition ratio of materials constituting the active layer.

도 3a를 참조하면, n형 클래드층, 활성층 및 p형 클래드층이 순차적으로 성장된 화합물 반도체층을 구비하는 AlGaInP계 발광 소자가 제공된다. Referring to FIG. 3A, an AlGaInP-based light emitting device including a compound semiconductor layer in which an n-type cladding layer, an active layer, and a p-type cladding layer is sequentially grown is provided.

상기 n형 클래드층은 n-AlxIn1 - xP층 (0≤x≤1)으로 형성되며, 상기 층을 구성하는 각 물질의 조성비는 n-Al0 .5In0 .5P이고, 상기 p형 클래드층은 p-AlxIn1 - xP층 (0≤x≤1)으로 형성되며, 상기 층을 구성하는 각 물질의 조성비는 p-Al0 .5In0 .5P이다. 이때 상기 n형 클래드층과 p형 클래드층은 활성층으로부터 방출되는 빛을 구속시키는 역할을 수행한다. The n-type clad layer n-Al x In 1 - x P is formed in a layer (0≤x≤1), and the composition ratio of the material constituting the layer is a n-Al 0 .5 In 0 .5 P, the p-type cladding layer is p-Al x in 1 - x p is formed in a layer (0≤x≤1), the composition ratio of the material constituting the layer is a p-Al 0 .5 in 0 .5 p. In this case, the n-type cladding layer and the p-type cladding layer serve to confine the light emitted from the active layer.

또한 활성층은 (AlxGa1 -x)yIn1 - yP (0≤x≤1, 0≤y≤1)의 양자 장벽층 및 (AlxGa1 -x)yIn1-yP (0≤x≤1, 0≤y≤1)의 양자 우물층이 교대로 적층된 다중 양자 우물 구조로 형성되며, 상기 양자 장벽층을 구성하는 각 물질의 조성비는 (Al0 .9Ga0 .1)0.5In0 .5P이고, 상기 양자 우물층을 구성하는 각 물질의 조성비는 (Al0 .1Ga0 .9)0.5In0 .5P이다. In addition, the active layer is a quantum barrier layer of (Al x Ga 1 -x ) y In 1 - y P (0≤x≤1, 0≤y≤1) and (Al x Ga 1 -x ) y In 1-y P ( 0≤x≤1, formed of a quantum well layer of the multiple quantum well structure alternately stacked with a 0≤y≤1), the composition ratio of the materials constituting the quantum barrier layer is (Al 0 .9 Ga 0 .1 ) 0.5 in and 0 .5 P, the composition ratio of the materials constituting the quantum well layer is (Al 0 .1 Ga 0 .9) 0.5 in 0 .5 P.

상기와 같은 다중 양자우물 구조의 활성층의 경우 상기 활성층으로 유입되는 전자와 정공을 상기 양자 우물층 영역에 구속하여 빛을 발생시킨다. 즉, 전도대의 전자와 가전자대의 정공이 상기 양자 우물층에 갇히게 되는 구속(confinement)효과를 이용하여 빛이 발생되는 원리이다. 따라서 양자 장벽층과 양자 우물층의 밴드갭 에너지 차이 즉, 에너지 장벽의 크기가 클수록 상기의 구속 효과는 극대화되어 발광 효율을 증가시킬 수 있다. In the active layer of the multi-quantum well structure as described above, light is generated by confining electrons and holes introduced into the active layer to the quantum well layer region. That is, light is generated using a confinement effect in which electrons in the conduction band and holes in the valence band are trapped in the quantum well layer. Therefore, as the difference in the bandgap energy between the quantum barrier layer and the quantum well layer, that is, the size of the energy barrier, the restraining effect may be maximized to increase the luminous efficiency.

그러나 상기의 화합물 반도체층을 구비하는 발광 소자는 양자 장벽층과 양자 우물층이 일정한 두께와 조성비를 가지도록 형성되기 때문에 에너지 장벽의 크기를 증가시켜 구속 효과를 극대화하는 것에 한계가 있게 된다.However, since the quantum barrier layer and the quantum well layer are formed to have a constant thickness and composition ratio, the light emitting device having the compound semiconductor layer has a limit in maximizing the restraining effect by increasing the size of the energy barrier.

도 3b는 본 발명에 의한 활성층의 에너지 밴드 구조를 도시하는 도면이다. 3B is a diagram showing an energy band structure of an active layer according to the present invention.

도 3b를 참조하면, 본 발명에 의한 발광 소자는 n형 클래드층, 활성층 및 p형 클래드층이 순차적으로 성장된 화합물 반도체층을 구비하며, 상기 n형 클래드층은 n-AlxIn1 - xP층 (0≤x≤1)으로 형성되며, 상기 층을 구성하는 각 물질의 조성비는 n-Al0 .5In0 .5P이고, 상기 p형 클래드층은 p-AlxIn1 - xP층 (0≤x≤1)으로 형성되며, 상기 층을 구성하는 각 물질의 조성비는 p-Al0 .5In0 .5P이다. 이 때, 상기 n형 클래드층과 p형 클래드층은 활성층으로부터 방출되는 빛을 구속시키는 역할을 수행한다. Referring to FIG. 3B, the light emitting device according to the present invention includes a compound semiconductor layer in which an n-type cladding layer, an active layer, and a p-type cladding layer are sequentially grown, and the n-type cladding layer is n-Al x In 1 - x. is formed in a P layer (0≤x≤1), the composition ratio of the material constituting the layer is a n-Al 0 .5 in 0 .5 P , and wherein the p-type cladding layer is p-Al x in 1 - x is formed in a P layer (0≤x≤1), the composition ratio of the material constituting the layer is a p-Al 0 .5 in 0 .5 P. At this time, the n-type cladding layer and the p-type cladding layer serves to constrain the light emitted from the active layer.

또한 활성층을 구성하는 복수 개의 각 층은 (AlxGa1 -x)yIn1 - yP (0≤x≤1, 0≤y≤1)층으로 형성되며, 적어도 한 쌍 이상의 톱니 상부층과 톱니 하부층을 구비할 수 있다. 이 때, 상기 톱니 상부층은 (Al0 .9Ga0 .1)0.5In0 .5P 의 조성비를 가지며, 상기 톱니 하부층은 (Al0 .1Ga0 .9)0.5In0 .5P의 조성비를 가진다.In addition, each of the plurality of layers constituting the active layer is formed of (Al x Ga 1 -x ) y In 1 - y P (0 ≦ x ≦ 1, 0 ≦ y ≦ 1), and includes at least one pair of tooth upper layers and a tooth An underlayer may be provided. At this time, the tooth top layer is (Al 0 .9 Ga 0 .1) 0.5 In 0 .5 P having a composition ratio of the tooth bottom layer is (Al 0 .1 Ga 0 .9) 0.5 In 0 .5 P ratio of Has

상기와 같이 정의된 적어도 한 쌍 이상의 톱니 상부층과 톱니 하부층의 사이에 연속된 조성비를 가지는 복수 개의 층이 개재된다. 이 때, 개재되는 복수 개의 층은 상기 톱니 상부층의 조성비 및 상기 톱니 하부층의 조성비 사이의 값인 0.9 내지 0.1 범위내에서 순차적으로 증감하는 값을 가지도록 형성된다. 따라서 활성층 영역의 각 층을 구성하는 구성물질 중 Al 및 Ga의 조성비는 연속적으로 변화하는 값을 가지며, 상기와 같은 활성층 영역을 구비하는 발광 소자는 톱니 형태의 밴드갭을 가진다.A plurality of layers having a continuous composition ratio is interposed between the at least one pair of tooth upper layers and the tooth lower layers defined as above. At this time, the plurality of intervening layers are formed to have a value that sequentially increases or decreases within a range of 0.9 to 0.1, which is a value between the composition ratio of the tooth upper layer and the composition ratio of the tooth lower layer. Therefore, the composition ratio of Al and Ga among the constituent materials constituting each layer of the active layer region has a continuously changing value, and the light emitting device having the active layer region as described above has a sawtooth band gap.

도 4는 비교예의 에너지 밴드 구조를 가진 활성층을 구비하는 발광 소자 및 본 발명의 에너지 밴드 구조를 가진 활성층을 구비하는 발광 소자의 전기적 광학적 특성을 나타내는 도면이다.4 is a view showing the electro-optical characteristics of a light emitting device having an active layer having an energy band structure of the comparative example and a light emitting device having an active layer having an energy band structure of the present invention.

도 4를 참조하면, 비교예의 에너지 밴드 구조를 가진 활성층을 구비하는 발광 소자의 구동전압(Vf)은 1.94V, 휘도(Iv)는 69mcd이다. 한편, 본 발명의 톱니 형태의 에너지 밴드 구조를 가진 활성층을 구비하는 발광 소자의 구동전압은 1.93V이며, 휘도는 76mcd인 바, 구동 전압은 동등 수준을 유지하며, 휘도는 약 10% 향상된 것을 확인할 수 있다. 즉, 동등 수준의 구동 전압을 가지며, 고휘도의 발광 소자를 얻을 수 있음을 알 수 있다.Referring to FIG. 4, the driving voltage Vf of the light emitting device including the active layer having the energy band structure of the comparative example is 1.94V, and the luminance Iv is 69mcd. On the other hand, the driving voltage of the light emitting device having an active layer having a sawtooth-type energy band structure of the present invention is 1.93V, the brightness is 76mcd, the driving voltage is maintained at the same level, the brightness is about 10% improved Can be. In other words, it can be seen that a light emitting device having a high level of driving voltage can be obtained.

본 발명에 의한 톱니 형태의 에너지 밴드갭을 가지는 활성층을 구비한 발광 소자는 복수 개의 층을 포함하는 상기 활성층의 구성물질을 각 밴드갭 에너지가 순차적으로 증감하도록 각 구성물질의 조성비를 연속적으로 변화시킴으로써 소자의 발광 효율이 향상된다.According to the present invention, a light emitting device including an active layer having a sawtooth shaped energy bandgap may be formed by continuously changing a composition ratio of each component such that the bandgap energy is sequentially increased or decreased in the material of the active layer including a plurality of layers. The luminous efficiency of the device is improved.

10: 기판 12: n형 클래드층
14: 활성층 16: p형 클래드층
18: p형 전극 20: n형 전극
10: substrate 12: n-type cladding layer
14: active layer 16: p-type cladding layer
18: p-type electrode 20: n-type electrode

Claims (7)

도전성 기판;
상기 도전성 기판 상에 형성되는 n형 클래드층;
상기 n형 클래드층 상부에 형성되는 복수 개의 층을 구비한 활성층; 및
상기 활성층 상에 형성되는 p형 클래드층을 포함하되,
상기 활성층은 가장 큰 에너지 밴드갭을 가지는 톱니 상부층과 가장 작은 에너지 밴드갭을 가지는 톱니 하부층의 사이에 순차적으로 증가하거나 감소하는 에너지 밴드갭을 가지는 복수 개의 층이 개재된 구조를 적어도 한 쌍 가지며,
상기 활성층은 (AlxGa1-x)yIn1-yP (0≤x≤1, 0≤y≤1)의 조성비를 가지고, 상기 톱니 상부층과 상기 톱니 하부층의 x 또는 y를 기준으로, 상기 톱니 상부층과 상기 톱니 하부층 사이에 개재된 복수 개의 층의 x 또는 y를, 상기 톱니 상부층과 상기 톱니 하부층의 x 또는 y보다 작은 범위에서 연속적으로 증가하거나 감소하도록 변화시켜 톱니 형태의 에너지 밴드갭을 형성하는 발광 소자.
Conductive substrates;
An n-type cladding layer formed on the conductive substrate;
An active layer having a plurality of layers formed on the n-type cladding layer; And
Including a p-type cladding layer formed on the active layer,
The active layer has at least one pair of structures having a plurality of layers having an energy bandgap that increases or decreases sequentially between the tooth upper layer having the largest energy bandgap and the tooth lower layer having the smallest energy bandgap,
The active layer has a composition ratio of (Al x Ga 1-x ) y In 1-y P (0 ≦ x ≦ 1, 0 ≦ y ≦ 1), and is based on x or y of the tooth upper layer and the tooth lower layer, The sawtooth energy bandgap is changed by changing x or y of the plurality of layers interposed between the tooth upper layer and the tooth lower layer to continuously increase or decrease in a range smaller than x or y of the tooth upper layer and the tooth lower layer. Forming light emitting element.
삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 톱니 상부층은 (Alx1Ga1-x1)y1In1-y1P (0≤x1≤1, 0≤y1≤1)의 조성비를 가지며, 상기 톱니 하부층은 (Alx2Ga1-x2)y2In1-y2P (0≤x2≤1, 0≤y2≤1)의 조성비를 가지고, 상기 y1 및 y2의 조성비를 일정하게 유지하며, 상기 적어도 한 쌍 이상의 톱니 상부층과 톱니 하부층 사이에 개재되는 각 층은 상기 x1 및 상기 x2의 조성의 범위 내에서 순차적으로 증감하는 값을 가지는 것을 특징으로 하는 발광 소자.
The method of claim 1,
The tooth upper layer has a composition ratio of (Al x1 Ga 1-x1 ) y1 In 1-y1 P (0≤x 1 ≤1, 0≤y 1 ≤1), and the lower tooth layer is (Al x2 Ga 1-x2 ) y2 In 1-y2 P (0 ≦ x 2 ≦ 1, 0 ≦ y 2 ≦ 1), the composition ratio of y 1 and y 2 is kept constant, and the at least one pair of tooth upper and tooth lower layers each layer is a light emitting element, characterized in that has a value that sequentially increases or decreases in the range of composition of the x 1 and x 2 is located between the.
제1항에 있어서,
상기 톱니 상부층은 (Alx1Ga1-x1)y1In1-y1P (0≤x1≤1, 0≤y1≤1)의 조성비를 가지며, 상기 톱니 하부층은 (Alx2Ga1-x2)y2In1-y2P (0≤x2≤1, 0≤y2≤1)의 조성비를 가지고, 상기 적어도 한 쌍 이상의 톱니 상부층과 톱니 하부층 사이에 개재되는 각 층은 상기 x1 및 상기 x2의 조성의 범위 내와, 상기 y1 및 상기 y2의 조성의 범위 내에서 순차적으로 증감하는 값을 가지는 것을 특징으로 하는 발광 소자.
The method of claim 1,
The tooth upper layer has a composition ratio of (Al x1 Ga 1-x1 ) y1 In 1-y1 P (0≤x 1 ≤1, 0≤y 1 ≤1), and the lower tooth layer is (Al x2 Ga 1-x2 ) y2 In 1-y2 P (0 ≦ x 2 ≦ 1, 0 ≦ y 2 ≦ 1), wherein each layer interposed between the at least one pair of tooth upper layers and the tooth lower layers is the x 1 and the x 2 A light emitting device having a value which sequentially increases and decreases within a range of the composition of and within the ranges of the composition of y 1 and y 2 .
제1항에 있어서,
상기 도전성 기판은 GaAs 기판인 것을 특징으로 하는 발광 소자.
The method of claim 1,
The conductive substrate is a light emitting device, characterized in that the GaAs substrate.
제1항에 있어서,
상기 n형 및 p형 클래드층은 AlGaInP계 화합물 반도체로 형성되며, 상기 활성층에 비해 밴드갭이 큰 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 발광 소자.
The method of claim 1,
The n-type and p-type cladding layers are formed of an AlGaInP-based compound semiconductor, and are formed of a material having a larger band gap than the active layer.
KR1020110045585A 2011-05-16 2011-05-16 Light emitting diode having Active layer with Saw tooth shaped energy bandgap KR101244583B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110045585A KR101244583B1 (en) 2011-05-16 2011-05-16 Light emitting diode having Active layer with Saw tooth shaped energy bandgap

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110045585A KR101244583B1 (en) 2011-05-16 2011-05-16 Light emitting diode having Active layer with Saw tooth shaped energy bandgap

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120127841A KR20120127841A (en) 2012-11-26
KR101244583B1 true KR101244583B1 (en) 2013-03-25

Family

ID=47512710

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110045585A KR101244583B1 (en) 2011-05-16 2011-05-16 Light emitting diode having Active layer with Saw tooth shaped energy bandgap

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101244583B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10546974B2 (en) 2013-07-29 2020-01-28 Lg Innotek Co., Ltd. Light-emitting device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09260724A (en) * 1996-03-22 1997-10-03 Sharp Corp Semiconductor light emitting element
KR20040047132A (en) * 2002-11-29 2004-06-05 (주)옵트로닉스 Nitride Compound Semiconductor Device Including Multi Quantum Well Structure
KR100482511B1 (en) 2004-02-05 2005-04-14 에피밸리 주식회사 Ⅲ-Nitride compound semiconductor light emitting device
JP2010087270A (en) * 2008-09-30 2010-04-15 Shin Etsu Handotai Co Ltd Light-emitting element

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09260724A (en) * 1996-03-22 1997-10-03 Sharp Corp Semiconductor light emitting element
KR20040047132A (en) * 2002-11-29 2004-06-05 (주)옵트로닉스 Nitride Compound Semiconductor Device Including Multi Quantum Well Structure
KR100482511B1 (en) 2004-02-05 2005-04-14 에피밸리 주식회사 Ⅲ-Nitride compound semiconductor light emitting device
JP2010087270A (en) * 2008-09-30 2010-04-15 Shin Etsu Handotai Co Ltd Light-emitting element

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10546974B2 (en) 2013-07-29 2020-01-28 Lg Innotek Co., Ltd. Light-emitting device

Also Published As

Publication number Publication date
KR20120127841A (en) 2012-11-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8575592B2 (en) Group III nitride based light emitting diode structures with multiple quantum well structures having varying well thicknesses
JP5737111B2 (en) Group III nitride semiconductor light emitting device
KR100649749B1 (en) Nitride semiconductor light emitting device
JP5238865B2 (en) Semiconductor light emitting device
JP5175918B2 (en) Semiconductor light emitting device
JP4892618B2 (en) Semiconductor light emitting device
KR101199677B1 (en) Semiconductor light-emitting device and method for manufacturing same
US20180254377A1 (en) Group iii nitride based led structures including multiple quantum wells with barrier-well unit interface layers
WO2014061692A1 (en) Nitride semiconductor light emitting element
JP2010040838A (en) Light emitting device
JP4884826B2 (en) Semiconductor light emitting device
KR101244583B1 (en) Light emitting diode having Active layer with Saw tooth shaped energy bandgap
JP2009245982A (en) Nitride light-emitting element
JP5889981B2 (en) Semiconductor light emitting device
JP2012060172A (en) Semiconductor light-emitting element
US20200075798A1 (en) Group iii nitride led structures with improved electrical performance
JP2011187993A (en) Semiconductor light emitting element and method of manufacturing semiconductor light emitting element
JP2012060170A (en) Semiconductor light-emitting element and method for manufacturing the same
JP5615334B2 (en) Semiconductor light emitting device
JP5865827B2 (en) Semiconductor light emitting device
KR20170066365A (en) Semiconductor light-emitting element
Saranya et al. Parameter Analysis Review on Multiple Quantum Well based InGaN/GaN Light Emitting Diode
JP2013016873A (en) Semiconductor light-emitting element
JP2005150631A (en) Light emitting diode and its manufacturing method
JP2008130832A (en) Semiconductor light-emitting element, and manufacturing method of semiconductor light-emitting device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160223

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170223

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200225

Year of fee payment: 8