KR101233220B1 - 다이본더용 리드프레임 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체소자를 리드프레임에 본딩하기 위해서 다이본더에 구비된 제1ㆍ제2가이드레일을 따라 상기 리드프레임을 이송하는 장치에 관한 것으로, 에어가 공급 및 배출되는 진공라인과 연통되도록 내부에 진공챔버가 형성된 몸체와, 상기 진공챔버 내부에 횡 방향으로 위치되고 에어의 공급 유무에 따라 왕복운동 되는 로드, 상기 로드의 왕복운동에 따라 상승되어 상기 리드프레임의 하면 일부분을 가압하여 지지하는 하부그립부; 및 상기 로드의 왕복운동에 따라 하강되어 상기 리드프레임의 상면 일부분을 가압하는 상부그립부;를 포함하며, 상기 상부그립부는 상기 리드프레임의 상면을 가압하면 그 가압력이 정지된다.

본 발명에 의하면, 제1ㆍ제2가이드레일에 안착되는 리드프레임의 두께가 상이하더라도 하부그립부가 상기 리드프레임의 하면을 가압하여 먼저 지지하게 된 후, 상기 상부그립부가 리드프레임의 상면을 가압하기 때문에 리드프레임의 파손으로 인한 품질저하를 최소화할 수 있다.

리드프레임, 이송, 그립, 다이본더

Description

다이본더용 리드프레임 이송장치{Lead frame transfer apparatus for die bonder}

본 고안은 반도체소자를 본딩하기 위해서 리드프레임을 이송하는 다이본더용 리드프레임 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 리드프레임의 상하면을 각각 가압하여 잡을 때 상기 리드프레임이 파손되는 것을 방지하여 본딩영역으로 리드프레임을 이송하는 다이본더용 리드프레임 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 패키지는 웨이퍼(Wafer)로부터 각각의 반도체칩을 절단(Sawing)하는 반도체칩 절단 단계와, 절단된 상기 반도체칩(다이;die)을 리드프레임(Lead Frame)에 탑재하는 다이본딩 단계와, 상기 반도체칩과 상기 리드프레임을 도전성 와이어로 상호 본딩(Bonding)하는 와이어 본딩 단계와, 상기 반도체칩 및 상기 리드프레임을 봉지재(열경화성수지)로 봉지하는 몰딩 단계와, 상기 봉지재로 몰딩된 면에 일정한 문자 및 도형 등을 마킹(Marking)하는 마킹 단계와, 상기 프레임에서 댐바(Dambar) 등을 제거하고 리드(Lead) 등을 소정형상으로 성형하는 트림/폼(Trim/Form) 단계, 및 상기 리드프레임으로부터 낱개의 반도체 패키지로 싱귤레이션(Singulation)하는 단계 등을 통해 제조된다.

여기서, 상기 다이본딩 단계는 각각의 반도체 제작공정에서 최종적으로 각기 다른 장비를 이용하여 정밀검사를 한 웨이퍼의 각 다이들 중 선정된 다이만을 픽업하여 리드프레임의 패드에 접착하는 공정이다.

이러한 다이본딩 단계를 거친 리드프레임은 매거진으로 이송되어 후속 공정으로 인계된다.

첨부된 도 1에서 보는 바와 같이, 종래의 다이본더(DB)는 한 쌍의 가이드레일(10,20)에 안착된 상태로 리드프레임(LF)이 공급되고, 이송장치(30)가 상기 리드프레임(LF)의 모서리 일부분을 잡은 상태로 구동부(미도시)에 의해 본딩영역(BD)으로 이송하였다.

여기서, 상기 이송장치(30)는 상부그립부(31)와 하부그립부(32)로 이루어지며 각각 동일한 승강 높이를 갖도록 구비된다. 따라서, 상기 상ㆍ하부그립부(31,32)는 상기 리드프레임(LF)을 동시에 가압하여 잡게 된다.

그런데, 반도체칩의 사이즈에 따라 리드프레임(LF)의 두께도 상이하게 되고, 가이드레일(10,20)에 안착된 리드프레임(LF)의 두께가 상이한 상태에서 상기 상ㆍ하부그립부(31,32)가 동시에 가압하여 잡게 되면 이 리드프레임(LF)의 일부분이 깨지게 되는 문제점이 발생 된다.

즉, 첨부된 도 2에서 보는 바와 같이, 리드프레임(LF)의 두께가 상이하더라도 그 저면은 가이드레일(10,20)에 안착되기 때문에 동일한 수평 높이를 갖게 된다. 반면에, 상기 리드프레임(LF)의 상면은 그 두께 차이만큼 상측 방향으로 높아지게 된다.

그런데, 이러한 상태에서 상ㆍ하부그립부(31,32)가 동시에 상기 리드프레임(LF)을 가압하게 되면 첨부된 도 3에서 보는 바와 같이, 상기 상부그립부(31)의 가압력에 의해 상기 리드프레임(LF)이 파손되는 것이다.

즉, 상기 리드프레임(LF)의 끝단부는 상기 가이드레일(10,20)에 안착된 상태이고, 이러한 상태에서 상기 상부그립부(31)와 상기 하부그립부(32)가 상기 리드프레임(LF)을 잡게 되면, 상기 상부그립부(31)로부터 전달되는 압력과 하부그립부(32)로부터 전달되는 압력이 상이하게 된다.

보다 구체적으로, 상기 상부그립부(31)는 상기 가이드레일(10,20)에 안착된 영역에 대하여 상기 리드프레임(LF)을 하측 방향으로 가압하고, 이로 인해 상기 리드프레임(LF)이 상기 가이드레일(10,20)에 대하여 휘어지거나, 상기 상부그립부(31)가 가압하는 상기 리드프레임(LF)의 상면이 파손될 우려가 발생되는 것이다.

따라서, 파손된 리드프레임(LF)이 본딩영역(BD)으로 이송되지 않도록 작업자가 수시로 점검해야만 하고, 이러한 문제가 발생되면 다이본더(DB)를 제어해야만 한다.

이는 공정상의 작업성을 저하시킬 뿐만 아니라, 생산된 제품의 품질을 저하시키게 되는 문제점이 발생된다.

상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 리드프레임을 가압하여 잡을 때 이 리드프레임의 두께 차이에 따라 그립부의 승강 영역을 달리하여 그립부의 가압력에 의해서 리드프레임의 파손되는 것을 방지할 수 있는 다이본더용 리드프레임 이송장치를 제공하는 데 있다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치는, 반도체소자를 리드프레임에 본딩하기 위해서 다이본더에 구비된 제1ㆍ제2가이드레일을 따라 상기 리드프레임을 이송하는 장치에 있어서, 에어가 공급 및 배출되는 진공라인과 연통되도록 내부에 진공챔버가 형성된 몸체; 상기 진공챔버 내부에 횡 방향으로 위치되고, 에어의 공급 유무에 따라 왕복운동 되는 로드; 상기 로드의 왕복운동에 따라 상승되어 상기 리드프레임의 하면 일부분을 가압하여 지지하는 하부그립부; 및 상기 로드의 왕복운동에 따라 하강되어 상기 리드프레임의 상면 일부분을 가압하는 상부그립부;를 포함하며, 상기 상부그립부는 상기 리드프레임의 상면을 가압하면 그 가압력이 정지된다.

본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치에 있어서, 상기 몸체와 상기 상ㆍ하부그립부 사이에 설치되는 보조몸체; 상기 보조몸체 내부에 설치되고, 상기 로드의 왕복운동에 따라 횡 방향으로 위치 이동되는 구동력전달부재; 및 상기 구동력전달부재의 상측과 하측에 각각 위치되고, 일측이 상기 상ㆍ하부그립부에 각각 결 합되는 상ㆍ하부블럭;을 포함한다.

본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치에 있어서, 상기 구동력전달부재는 상ㆍ하측에 각각 형성된 제1ㆍ제2가이드장공; 및 상기 제1가이드장공에 삽입된 상태로 상기 상부블럭에 결합되고, 상기 제2가이드장공에 삽입된 상태로 상기 하부블럭에 결합되는 각각의 왕복안내부재;를 포함한다.

본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치에 있어서, 상기 구동력전달부재는 상기 제1가이드장공을 측면에서 봤을 때 "＼"과 같은 기울기를 가지며, 상기 제2가이드장공을 측면에서 봤을 때 "/"과 같은 기울기를 갖도록 구비된다.

본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치에 있어서, 상기 구동력전달부재는 상기 제2가이드장공의 끝단부에서 횡 방향으로 연결되는 수평안내장공;을 더 포함하되, 상기 제1ㆍ제2가이드장공의 양측 끝단은 각각 동일한 수직선상에 위치된다.

본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치에 있어서, 상기 제1가이드장공은 상기 제2가이드장공보다 더 큰 기울기를 갖도록 형성된다.

본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치에 있어서, 상기 구동력전달부재의 양측면과 상기 보조몸체의 내측면에 횡 방향으로 각각 가이드홈이 형성되고, 이 가이드홈에 삽입되어 상기 구동력전달부재의 횡 방향 슬라이딩을 안내하는 가이드핀;을 더 포함한다.

본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치에 있어서, 상기 상ㆍ하부블럭의 양측면과 상기 보조몸체 내측면에 각각 수직 방향으로 승강안내홈이 형성되고, 상 기 승강안내홈에 삽입되어 상기 상ㆍ하부그립부의 승강을 안내하는 승강안내핀;을 더 포함한다.

본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치에 있어서, 상기 상부그립부는 상기 하부그립부의 상승 영역보다 더 큰 범위의 영역으로 하강되다.

본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치에 있어서, 상기 상부그립부는 상기 제1가이드레일의 상측에 위치되고, 상기 하부그립부는 상기 제1가이드레일의 하측에 위치된다.

본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치에 있어서, 상기 제1ㆍ제2가이드레일은,상기 리드프레임의 폭에 따라 자동으로 조절된다.

본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치에 있어서, 상기 상부그립부는 상기 하부그립부가 상기 리드프레임의 하면을 가압하여 지지함과 동시에 상기 리드프레임의 상면을 가압한다.

본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치에 있어서, 상기 상부그립부는 상기 하부그립부가 상기 리드프레임의 하면을 가압하여 지지한 후, 상기 리드프레임의 상면을 가압한다.

이상과 같은 특징을 갖는 본 고안의 반도체소자 다이 본더 이송장치는, 두께가 상이한 리드프레임을 가압할 때, 상부그립부가 리드프레임의 상면을 가압하는 압력과, 하부그립부가 상기 리드프레임의 하면을 가압하는 압력을 동일하게 하여 상기 리드프레임의 상면이 국부적으로 파손되는 것을 방지하여 제1ㆍ제2가이드레일 에 안착된 리드프레임을 본딩영역으로 이송할 수 있다.

또한, 상부그립부가 리드프레임의 상면을 가압하는 압력이 하부그립부가 리드프레임의 하면을 가압하는 압력을 기준으로 조절되어 상ㆍ하부그립부의 압력차로 인해 리드프레임이 파손되는 것을 방지할 수 있다.

즉, 제1ㆍ제2가이드레일에 안착되는 리드프레임의 두께가 상이하더라도 하부그립부가 상기 리드프레임의 하면을 가압하여 먼저 지지하게 된 후, 상기 상부그립부가 리드프레임의 상면을 가압하기 때문에 리드프레임의 손상 및 품질저하를 줄일 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치의 구성 및 작용을 설명하도록 한다.

먼저, 상기 다이본더용 리드프레임 이송장치(100)는 반도체소자를 리드프레임(LF)에 본딩하는 장치, 즉 다이본더(미도시)에 설치되어 이 리드프레임(LF)을 본딩영역으로 이송하는 장치이다.

이하에서는 본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치(100)를 구체적으로 설명하도록 하고, 이 장치가 설치되는 상기 다이본더의 구성 및 작용에 대한 설명은 국내실용신안 출원번호 제2007-18889호의 "반도체소자 다이 본더 이송장치"를 참조하도록 한다.

도 4 내지 도 10에서 보는 바와 같이, 상기 다이본더용 리드프레임 이송장치(100)는 몸체(110), 로드(120), 보조몸체(130), 구동력전달부재(140), 상ㆍ하부 블럭(150,160), 상ㆍ하부그립부(180,190)로 크게 이루어진다.

상기 몸체(110)는 직육면체의 형상을 가지며 그 내부에는 진공챔버(111)가 형성된다. 상기 진공챔버(111)는 상기 몸체(110)의 내부에서 횡 방향으로 길이를 갖도록 구비되며, 이 진공챔버(111)의 형상은 원기둥이 제거된 것과 같다. 즉, 상기 진공챔버(111)의 정단면은 원형의 형상이고, 상기 진공챔버(111)의 측단면은 길이를 갖는 사각의 형상으로 이루어진다. 여기서, 상기 몸체(110)는 하나의 부재로 이루어지거나, 두 개의 부재로 구비되어 결합될 수 있다.

그리고, 상기 몸체(110)에는 일측에는 연결홈(112)이 형성되고, 이 연결홈(112)과 상기 진공챔버(111)는 슬라이딩홀(113)에 의해 연통된다.

또한, 상기 몸체(110)는 상기 진공챔버(111)와 연통되는 제1ㆍ제2진공홀(114a,114b)이 구비된다. 상기 제1ㆍ제2진공홀(114a,114b)은 상기 진공챔버(111)의 횡 방향 길이 내에서 최대로 이격된 거리를 갖도록 위치된다. 즉, 제1진공홀(114a)은 상기 진공챔버(111)의 우측 끝단부에 위치되고, 제2진공홀(114b)은 상기 진공챔버(111)의 좌측 끝단부에 위치된다.

그리고, 상기 제1ㆍ제2진공홀(114a,114b)은 각각 상기 진공챔버(111)와 연통된 상태로 상기 몸체(110)의 상면에 관통되도록 구비된다. 또한, 상기 몸체(110)의 상면에는 에어공급장치(미도시)와 진공라인으로 연결되는 연결포트(115)가 각각 상기 제1ㆍ제2진공홀(114a,114b)에 연통되도록 결합된다.

한편, 상기 로드(120)는 상기 진공챔버(111)와 슬라이딩홀(113) 내부에 위치되어 에어의 공급 유무에 따라 횡 방향으로 슬라이딩 왕복운동 된다. 상기 로 드(120)는 머리부(121), 슬라이딩부(122), 돌출부(123)로 이루어지진다.

먼저, 상기 머리부(121)는 그 외경이 원의 형상을 갖도록 구비되어 상기 진공챔버(111)의 내경과 밀착된다. 그리고, 상기 슬라이딩부(122)는 상기 머리부(121)의 중심부에서 일측 방향으로 돌출되어 길이를 갖도록 구비되고, 그 일부분은 상기 슬라이딩홀(113) 내에 위치된다. 또한, 상기 슬라이딩부(122)는 그 끝단부가 상기 슬라이딩홀(113)의 외측 방향으로 돌출되도록 위치된다. 그리고, 상기 돌출부(123)는 상기 슬라이딩부(122)의 타측 방향에 위치되어 상기 머리부(121)에서 돌출되도록 구비된다.

상기 보조몸체(130)는 상기 몸체(110)의 일측에 결합되어 후술되는 구동력전달부재(140) 및 상ㆍ하부블럭(150,160)의 슬라이딩을 안내한다. 상기 보조몸체(130)는 전술되어진 몸체(110)에 구비된 연결홈(112)에 삽입되어 결합되는 삽입부재(131)와 상기 삽입부재(131)의 일측에 결합되는 제1ㆍ제2플레이트(132,133)로 이루어진다.

상기 삽입부재(131)는 그 내부에 횡 방향으로 관통홀(131-1)이 형성된다. 이 관통홀(131-1)은 상기 구동력전달부재(140)가 에어의 공급 유무에 따라 일시적으로 위치될 수 있도록 하는 관통홀(131-1)이다. 즉, 이 관통홀(131-1)은 상기 구동력전달부재(140)의 외주면과 밀착되도록 구비되는데, 바람직하게는 "+"과 같은 형상으로 이루어진다.

상기 제1ㆍ제2플레이트(132,133)는 상기 삽입부재(131)의 일측면에 결합되는데, 서로 이격된 상태로 위치된다. 이 제1ㆍ제2플레이트(132,133)의 이격된 간격은 후술되는 상ㆍ하부블럭(150,160)의 너비와 동일한 간격을 갖는다.

또한, 상기 제1ㆍ제2플레이트(132,133)의 내측면에는 서로 마주보는 위치에 가이드홈(132-1,133-1)과 승강안내홈(132-2,133-2)이 각각 형성된다. 상기 가이드홈(132-1,133-1)은 상기 제1ㆍ제2플레이트(132,133)의 내측면 중심부에 횡 방향으로 형성되고, 상기 승강안내홈(132-2,133-2)은 상기 제1ㆍ제2플레이트(132,133)의 내측면 양측에 종 방향으로 형성된다.

한편, 상기 구동력전달부재(140)는 왕복이동부재(141), 상측플레이트(142), 하측플레이트(143)로 이루어지며, 정면에서 봤을 때 전체적으로 "+"과 같은 형상을 갖도록 구비되어 전술되어진 관통홀(131-1) 내에 일시적으로 삽입될 수 있다. 즉, 상기 구동력전달부재(140)는 전술되어진 에어의 공급 유무에 따라 로드(120)가 왕복 운동되어 이로 인해 상기 관통홀(131-1) 내에 위치될 수 있는 것이다.

먼저, 상기 왕복이동부재(141)는 상기 구동력전달부재(140)의 중심부에 위치되는 부재로써, 그 양측에 각각 가이드홈(141-1)이 형성된다. 이 가이드홈(141-1)은 전술되어진 보조몸체(130)에 형성된 가이드홈(132-1,133-1)과 대응되는 위치에 형성된다. 또한, 서로 마주보는 위치에 구비된 가이드홈(132-1,133-1,141-1) 내에는 각각 가이드핀(144)이 구비된다.

그리고, 상기 상측플레이트(142)는 상기 왕복이동부재(141)의 중심부에서 상측 방향으로 돌출 형성된 평판으로 이루어지고, 상기 하측플레이트(143)는 상기 왕복이동부재(141)의 중심부에서 하측 방향으로 돌출 형성된 평판으로 이루어진다.

상기 상측플레이트(142)에는 제1가이드장공(142-1)이 형성되고, 상기 하측플 레이트(143)에는 제2가이드장공(143-1)이 형성된다. 그런데, 상기 제1가이드장공(142-1)과 상기 제2가이드장공(143-1)은 서로 다른 형상을 갖도록 구비된다.

즉, 첨부된 도 8a는 상기 구동력전달부재(140)의 우측면도이다. 도면에서 보는 바와 같이, 상기 제1가이드장공(142-1)은 "＼"과 같은 형상으로 이루어지며, 이 경사각은 수평 상태에서 대략 135±5°의 기울기를 갖는다.

그리고, 상기 제2가이드장공(143-1)은 두 가지 형태로 이루어질 수 있다. 먼저, 상기 제2가이드장공(143-1)은"/"과 같은 형상의 경사장공(143-1a)과 수평안내장공(143-1b)으로 이루어진다. 이 경우 상기 수평안내장공(143-1b)은 제2가이드장공(143-1)의 총 길이에서 대략 2/3정도의 길이를 갖고, 나머지 1/3정도의 길이는 상기 경사장공(143-1a)으로 이루어진다. 그리고, 상기 경사장공(143-1a)은 수평 상태에서 대략 -135±5°의 기울기를 갖는다.

또한, 상기 제2가이드장공(143-1)은 첨부된 도 8b에서 보는 바와 같이, 하나의 장공이 "/"과 같은 형상을 갖도록 이루어질 수 있는데, 이 경우 상기 제2가이드장공(143-1)은 그 기울기가 수평 상태에서 대략 -150±5°의 기울기를 갖는다.

어떠한 경우든 상기 제1가이드장공(142-1)과 상기 제2가이드장공(143-1)의 양측 끝단은 각각 동일한 수직선상에 위치된다. 또한, 상기 제1가이드장공(142-1)은 상기 제2가이드장공(143-1)보다 더 높은 길이를 갖도록 구비된다.

한편, 상기 상ㆍ하부블럭(150,160)은 각각 승강안내부(150a,160a)와 결합부(150b,160b)로 이루어진다. 상기 승강안내부(150a,160a)는 각각 전술되어진 보조몸체(130) 내부에 수용되고, 상기 결합부(150b,160b)는 횡측 방향으로 돌출되어 후 술되는 상ㆍ하부그립부(180,190)와 결합된다.

먼저, 상기 승강안내부(150a,160a)는 그 내부에 각각 수용홈(150a-1,160a-1)이 형성되어 상기한 구동력전달부재(140)에 구비된 상ㆍ하측플레이트(142,143)가 각각 수용된다. 즉, 상기 상부블럭(150)의 승강안내부(150a)에 형성된 수용홈(150a-1)에는 상기 상측플레이트(142)가 수용되고, 상기 하부블럭(160)의 승강안내부(160a)에 형성된 수용홈(160a-1)에는 상기 하측플레이트(143)가 수용된다.

그리고, 상기 상부블럭(150)에 형성된 승강안내부(150a)의 저면은 상기 구동력전달부재(140)에 구비된 왕복이동부재(141)의 상면과 밀착되고, 상기 하부블럭(160)에 형성된 승강안내부(160a)의 상면은 상기 구동력전달부재(140)에 구비된 왕복이동부재(141)의 하면과 밀착된다.

또한, 상기 승강안내부(150a,160a)의 외측면에는 각각 승강안내홈(150a-2,160a-2)이 형성된다. 상기 승강안내홈(150a-2,160a-2)은 수직 방향으로 일면에 2개씩 구비되는데, 이 승강안내홈(150a-2,160a-2)은 전술되어진 보조몸체(130) 내측면에 형성된 승강안내홈(132-2,133-2)과 대응되는 형상을 갖는다. 그리고, 서로 마주보는 위치에 형성된 승강안내홈(132-2,133-2,150a-2,160a-2) 내에는 각각 승강안내핀(170)이 위치된다.

그리고, 상기 상부블럭(150)과 상기 하부블럭(160)에는 핀결합공(150a-3,160a-3)이 각각 형성된다. 상기 핀결합공(150a-3,160a-3)은 상기 상부블럭(150)에 구비된 승강안내부(150a)의 우측 하단 모서리부와, 상기 하부블럭(160)에 구비된 승강안내부(160a)의 우측 상단 모서리부에 각각 위치된다.

상기 핀결합공(150a-3,160a-3)이 형성된 수용홈(150a-1,160a-1) 내부에는 왕복안내부재(150a-4,160a-4)가 각각 위치되고, 상기 핀결합공(150a-3,160a-3)에 핀(150a-5,160a-5)이 삽입되어 상기 왕복안내부재(150a-4,160a-4)를 상기 수용홈(150a-1,160a-1) 내에 각각 고정시키게 되는 것이다.

여기서, 상기 왕복안내부재(150a-4,160a-4)를 상기 핀(150a-5,160a-5)으로 고정하기 전, 상기한 구동력전달부재(140)에 구비된 제1가이드장공(142-1)과 제2가이드장공(143-1) 내에 상기 왕복안내부재(150a-4)를 먼저 위치시킨다. 이후 핀(150a-5)을 이용하여 상기 상부블럭(150)과 상기 왕복안내부재(150a-4)를 연결하게 되고, 또 다른 핀(160a-5)으로 상기 하부블럭(160)과 또 다른 왕복안내부재(160a-4)를 연결하게 된다.

따라서, 상부블럭(150)은 핀(150a-5)과 왕복안내부재(150a-4)에 의해서 구동력전달부재(140)에 구비된 상측플레이트(142), 즉 제1가이드장공(142-1) 내에서 위치 이동된다. 그리고, 하부블럭(160)은 핀(160a-5)과 왕복안내부재(160a-4)에 의해서 구동력전달부재(140)에 구비된 하측플레이트(143), 즉 제2가이드장공(143-1) 내에서 위치 이동된다.

이러한 동작 상태는 에어의 공급 유무에 의해 왕복 운동되는 로드(120)로 인해서 구동되며, 보다 구체적인 동작 상태는 후술되는 본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치(100)의 동작 상태 설명에서 상세히 설명하도록 하겠다.

한편, 상기 상ㆍ하부그립부(180,190)는 리드프레임(LF)의 상면과 하면을 각각 가압하여 잡는 것으로, 상기 상부그립부(180)의 일측 끝단부는 상기한 상부블 럭(150)에 구비된 결합부(150b)에 결합되고, 상기 하부그립부(190)는 일측 끝단부는 상기한 하부블럭(160)에 구비된 결합부(160b)에 결합된다.

또한, 상기 상ㆍ하부그립부(180,190)의 타측 끝단부는 각각 절곡되어 리드프레임(LF)이 안착되는 가이드레일(200)의 간섭을 피하도록 구비된다.

즉, 상기 상부그립부(180)는 "┎"과 같은 형상으로 이루어지고, 상기 하부그립부(190)는 "┗"과 같은 형상으로 이루어진다. 그리고, 이 사이에 상기 가이드레일(200)이 위치된다.

이상과 같이 이루어진 본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치(100)의 동작 상태를 설명하면 다음과 같다.

첨부된 도 9는 상기 다이본더용 리드프레임 이송장치(100)가 동작되기 전의 단면도이고, 도 10은 상기 다이본더용 리드프레임 이송장치(100)가 동작된 상태의 단면도이다.

먼저, 상부그립부(180)와 하부그립부(190)가 각각 이격된 상태, 즉 도 9의 상태는 제1진공홀(114a)을 통해 에어를 흡입하고, 제2진공홀(114b)을 통해 에어를 공급한 상태이다. 이러한 상태에서 상기 제1진공홀(114a)에 에어를 공급하고, 상기 제2진공홀(114b)을 통해 에어를 흡입하게 되면 도 10과 같이 상부그립부(180)는 하강하고 하부그립부(190)는 상승한다.

즉, 상기 제1진공홀(114a)에 에어가 공급되면, 몸체(110) 내부에 구비된 진공챔버(111)로 에어가 공급된다. 이때, 상기 에어의 힘에 의해서 로드(120)가 좌측 방향으로 위치이동된다.

상기 로드(120)에 구비된 머리부(121)의 외경은 상기 진공챔버(111)의 내경과 밀착된 상태이기 때문에, 상기 제1진공홀(114a)을 통해 유입된 에어의 힘에 의해서 상기 로드(120)를 좌측 방향으로 위치 이동시키게 되는 것이다.

이때, 상기 로드(120)에 구비된 슬라이딩부(122)의 끝단은 구동력전달부재(140)의 일측을 가압하게 되고, 상기 구동력전달부재(140)는 상기 로드(120)의 가압력에 의해서 좌측 방향으로 위치 이동된다.

즉, 상기 구동력전달부재(140)는 보조몸체(130)의 내측면과 왕복이동부재(141)의 외측면에 각각 형성된 가이드홈(132-1,133-1,141-1)과, 상기 가이드홈(132-1,133-1,141-1)에 삽입된 가이드핀(144)에 의해서 좌측 방향으로 위치 이동되는 것이다.

이와 함께 상기 구동력전달부재(140)는 그 상측플레이트(142)에 형성된 제1가이드장공(142-1)과 하측플레이트(143)에 형성된 제2가이드장공(143-1) 내에서 왕복안내부재(150a-4,160a-4)가 각각 위치 이동하게 된다.

그리고, 상기 왕복안내부재(150a-4,160a-4)의 위치 이동 변화에 따라 제1가이드장공(142-1)과 연결된 상부블럭(150)이 하강하게 되고, 제2가이드장공(143-1)과 연결된 하부블럭(160)은 상승하게 된다. 상기한 보조몸체(130)의 내측면과 상기 상ㆍ하부블럭(150,160)의 외측면에는 각각 승강안내홈(132-2,133-2,141-1)이 형성되고, 이 승강안내홈(132-2,133-2,141-1)에는 승강안내핀(170)이 삽입되기 때문에, 상기 상ㆍ하부블럭(150,160)이 각각 위치 이동되는 것이다.

따라서, 상부그립부(180)는 리드프레임(LF)의 상면을 가압하게 되고, 하부그립부(190)는 상기 리드프레임(LF)의 하면을 가압하여 지지하게 된다.

여기서, 상기 상부그립부(180)는 상기 하부그립부(190)가 먼저 상기 리드프레임(LF)의 하면을 가압하여 지지한 후 상기 리드프레임(LF)의 상면을 가압하거나, 상기 상부그립부(180)가 상기 리드프레임(LF)의 상면을 가압하는 구동과 상기 하부그립부(190)가 상기 리드프레임(LF)의 하면을 가압하는 구동이 동시에 수행될 수도 있다.

이는 가이드레일(200)에 안착된 리드프레임(LF)의 두께로 인해 달라지게 되는 것이다. 즉, 구동력전달부재(140)의 상측에 위치된 제1가이드장공(142-1)은 상기 구동력전달부재(140)의 하측에 위치된 제2가이드장공(143-1)보다 더 큰 경사각을 갖도록 구비된다. 따라서, 상기 상부그립부(180)의 승강은 상기 하부그립부(190)의 승강 영역보다 더 큰 영역을 갖도록 승강 된다.

보다 구체적으로 첨부된 도 11a에서 보는 바와 같이, 가이드레일(200)에 안착된 리드프레임(LF)의 특정 두께인 "T1"을 상ㆍ하부그립부(180,190)가 가압할 때, 상기 하부그립부(190)가 상승하여 상기 리드프레임(LF)의 하면을 먼저 가압하여 지지하게 된다.

이후, 상기 상부그립부(180)가 하강하여 상기 리드프레임(LF)의 상면을 가압하게 되는데, 이때 상기 상부그립부(180)의 하강과 상기 하부그립부(190)의 상승은 동시에 구동된다. 다만, 상기 상부그립부(180)는 제1가이드장공(142-1)이 제2가이드장공(143-1)보다 더 큰 경사를 갖도록 구비되기 때문에 상기 하부그립부(190)보 다 더 빠른 속도로 구동된다.

또한, 상기 하부그립부(190)가 상기 리드프레임(LF)의 하면을 가압하여 지지할 때, 상기 제2가이드장공(143-1)에 형성된 수평안내장공(143-1b) 영역 내에 왕복안내부재(160a-4)가 위치된 경우에는 상기 하부그립부(190)는 상승되지 않고 대기하고 있다가, 상기 왕복안내부재(160a-4)가 경사장공(143-1a)에 위치되면서 상기 하부그립부(190)가 상승된다.

한편, 첨부된 도 11b에서 보는 바와 같이, 상기 리드프레임(LF)이 "T1" 보다 더 두꺼운 "T2"의 두께를 갖는 리드프레임(LF)이 가이드레일(200)에 안착되면 상부그립부(180)가 상기 리드프레임(LF)의 상면을 가압하는 순간과 상기 하부그립부(190)가 상기 리드프레임(LF)의 하면을 가압하는 순간이 동일하게 될 수도 있다.

따라서, 리드프레임(LF)의 종류에 따라 그 두께가 상이한 리드프레임(LF)을 잡을 때, 두께 차로 인해 상기 리드프레임(LF)이 상측 방향으로 높아진 높이에서 그 가압력이 정지되기 때문에 상기 리드프레임(LF)을 가압할 때 이 리드프레임(LF)의 상면이 손상되지 않게 된다.

도 1은 종래의 다이본더의 일부분을 도시한 평면도,

도 2는 종래의 다이본더에 다양한 두께의 리드프레임이 안착된 상태를 개략적으로 도시한 정면도,

도 3은 종래의 다이본더에 안착된 리드프레임을 가압하여 잡는 상태를 개략적으로 도시한 정면도,

도 4는 본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치의 분리사시도,

도 5는 본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치의 결합사시도,

도 6은 본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치의 도 5에 도시된 A-A부의 단면 사시도,

도 7a는 본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치에 구비된 보조몸체의 정면도,

도 7b는 본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치에 구비된 보조몸체의 도 7a에 도시된 B-B부의 단면도,

도 8a와 도 8b는 본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치에 구비된 구동력전달부재의 제1제2실시예를 도시한 측면도,

도 9와 도 10은 본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치의 동작 상태를 도시한 단면도,

도 11a와 도 11b는 본 발명의 다이본더용 리드프레임 이송장치로 두께가 상이한 리드프레임을 가압하는 상태를 도시한 단면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

100 : 리드프레임 이송장치 110 : 몸체

111 : 진공챔버 112 : 연결홈

113 : 슬라이딩홀 114a : 제1진공홀

114b : 제2진공홀 115 : 연결포트

120 : 로드 121 : 머리부

122 : 슬라이딩부 123 : 돌출부

130 : 보조몸체 131 : 삽입부재

131-1 : 관통홀 132 : 제1플레이트

132-1,133-1,141-1 : 가이드홈

132-2,133-2, 150a-2,160a-2 : 승강안내홈

133 : 제2플레이트 140 : 구동력전달부재

141 : 왕복이동부재 142 : 상측플레이트

142-1 : 제1가이드장공 143 : 하측플레이트

143-1 : 제2가이드장공 143-1a : 경사장공

143-1b : 수평안내장공 144 : 가이드핀

150 : 상부블럭 150a,160a : 승강안내부

150a-1,160a-1 : 수용홈 150a-3,160a-3 : 핀결합공

150a-4,160a-4 : 왕복안내부재 150a-5,160a-5 : 핀

150b,160b : 결합부 160 : 하부블럭

170 : 승강안내핀 180 : 상부그립부

190 : 하부그립부 200 : 가이드레일

LF : 리드프레임

Claims (12)

1. 반도체소자를 리드프레임에 본딩하기 위해서 다이본더에 구비된 제1ㆍ제2가이드레일을 따라 상기 리드프레임을 이송하는 장치에 있어서,

   에어가 공급 및 배출되는 진공라인과 연통되도록 내부에 진공챔버가 형성된 몸체;

   상기 진공챔버 내부에 횡 방향으로 위치되고, 에어의 공급 유무에 따라 왕복운동 되는 로드;

   상기 로드의 왕복운동에 따라 상승되어 상기 리드프레임의 하면 일부분을 가압하여 지지하는 하부그립부; 및

   상기 로드의 왕복운동에 따라 하강되어 상기 리드프레임의 상면 일부분을 가압하는 상부그립부;를 포함하되,

   상기 상부그립부는,

   상기 리드프레임의 상면을 가압하면 그 가압력이 정지되는 것을 특징으로 하는 다이본더용 리드프레임 이송장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 몸체와 상기 상ㆍ하부그립부 사이에 설치되는 보조몸체;

   상기 보조몸체 내부에 설치되고, 상기 로드의 왕복운동에 따라 횡 방향으로 위치 이동되는 구동력전달부재; 및

   상기 구동력전달부재의 상측과 하측에 각각 위치되고, 일측이 상기 상ㆍ하부그립부에 각각 결합되는 상ㆍ하부블럭;을 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 다이본더용 리드프레임 이송장치.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 구동력전달부재는,

   상ㆍ하측에 각각 형성된 제1ㆍ제2가이드장공; 및

   상기 제1가이드장공에 삽입된 상태로 상기 상부블럭에 결합되고, 상기 제2가이드장공에 삽입된 상태로 상기 하부블럭에 결합되는 각각의 왕복안내부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 다이본더용 리드프레임 이송장치.
4. 제 3항에 있어서,

   상기 구동력전달부재는,

   상기 제1가이드장공을 측면에서 봤을 때 "＼"과 같은 형상을 가지며, 상기 제2가이드장공을 측면에서 봤을 때 "/"과 같은 형상을 갖도록 구비된 것을 특징으로 하는 상기 다이본더용 리드프레임 이송장치.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 구동력전달부재는,

   상기 제2가이드장공의 끝단부에서 횡 방향으로 연결되는 수평안내장공;을 더 포함하되,

   상기 제1ㆍ제2가이드장공의 양측 끝단은 각각 동일한 수직선상에 위치되는 것을 특징으로 하는 상기 다이본더용 리드프레임 이송장치.
6. 제 4항에 있어서,

   상기 제1가이드장공은,

   상기 제2가이드장공보다 더 큰 기울기를 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 상기 다이본더용 리드프레임 이송장치.
7. 제 2항에 있어서,

   상기 구동력전달부재의 양측면과 상기 보조몸체의 내측면에 횡 방향으로 각각 가이드홈이 형성되고, 이 가이드홈에 삽입되어 상기 구동력전달부재의 횡 방향 슬라이딩을 안내하는 가이드핀;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 다이본더용 리드프레임 이송장치.
8. 제 2항 또는 제 7항에 있어서,

   상기 상ㆍ하부블럭의 양측면과 상기 보조몸체 내측면에 각각 수직 방향으로 승강안내홈이 형성되고, 상기 승강안내홈에 삽입되어 상기 상ㆍ하부그립부의 승강을 안내하는 승강안내핀;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 다이본더용 리드프레임 이송장치.
9. 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 상부그립부는,

   상기 하부그립부의 상승 영역보다 더 큰 범위의 영역으로 하강되는 것을 특징으로 하는 상기 다이본더용 리드프레임 이송장치.
10. 제 9항에 있어서,

    상기 상부그립부는 상기 제1가이드레일의 상측에 위치되고, 상기 하부그립부는 상기 제1가이드레일의 하측에 위치된 것을 특징으로 하는 상기 다이본더용 리드프레임 이송장치.
11. 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 상부그립부는,

    상기 하부그립부가 상기 리드프레임의 하면을 가압하여 지지함과 동시에 상기 리드프레임의 상면을 가압하는 것을 특징으로 하는 상기 다이본더용 리드프레임 이송장치.
12. 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 상부그립부는,

    상기 하부그립부가 상기 리드프레임의 하면을 가압하여 지지한 후, 상기 리 드프레임의 상면을 가압하는 것을 특징으로 하는 상기 다이본더용 리드프레임 이송장치.

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