KR101232621B1 - Conveying device for glass substrate - Google Patents
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Abstract
본 발명은 유리기판 이송장치로서, 공기를 이용하여 유리기판을 공중부양시키는 기판 부양부와, 기판 부양부에 의해 공중부양된 유리기판을 이동시키는 이동부와, 이동부에 의해 이동되는 유리기판이 이동경로에서 탈락하는 것을 막아주는 탈락 방지부를 포함하되, 이동부가 서로 이격되게 설치되는 복수개의 추진 체인과, 추진 체인에 장착되어 추진 체인의 구동에 따라 공중부양된 유리기판을 이동시키는 푸셔를 포함한다.The present invention relates to a glass substrate transfer device, comprising: a substrate support portion for levitation of a glass substrate using air, a moving portion for moving a glass substrate levitation by the substrate support portion, and a glass substrate moved by the movement portion. It includes a fall prevention unit that prevents falling off the movement path, a plurality of propulsion chain is installed to move apart from each other, and a pusher mounted on the propulsion chain to move the levitation glass substrate in accordance with the driving of the propulsion chain. .
Description
본 발명은 유리기판 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 이송 중에 유리기판의 휘어짐이나 처짐, 스크래치, 외형 변형을 최소화할 수 있는 유리기판 이송장치를 제공하는 것이다.
The present invention relates to a glass substrate transfer apparatus, and more particularly, to provide a glass substrate transfer apparatus capable of minimizing warping, sagging, scratching, or deformation of the glass substrate during transfer.
일반적으로 강화유리(强化琉璃)는 통상의 판유리에 비하여 압력 및 온도변화에 대한 강도가 월등하게 높고 작은 알갱이 형태로 깨져 파편에 대한 위험성이 적음으로써, 태양전지 기판이나 평판디스플레이 장치 등에 널리 사용되고 있다.In general, the tempered glass is widely used in solar cell substrates, flat panel display devices, etc., because the strength against pressure and temperature change is much higher than that of ordinary plate glass, and broken into small grains, so that there is little risk of debris.
강화유리는 유리기판을 히팅챔버로 이송하여 600 ~ 900℃ 내외로 가열한 후 다시 냉각챔버로 이동시킨 후 가열된 유리기판의 상하부에서 공냉장치의 에어노즐을 통해 공기를 분사시킴으로써, 가열된 유리기판의 표면온도를 200 ~ 400℃ 정도까지 급하게 냉각시킨다. 이에 따라 가열된 유리기판의 표면층에 압축 응력을 잔류시킴으로써 강도가 기존의 유리기판에 비해 월등하게 강화된 강화유리가 제조된다.Tempered glass is heated by transferring the glass substrate to the heating chamber and heating it to around 600 ~ 900 ℃, and then moved to the cooling chamber again, by spraying air through the air nozzle of the air cooling device in the upper and lower parts of the heated glass substrate, The surface temperature of is rapidly cooled to about 200 ~ 400 ℃. Accordingly, by strengthening the compressive stress in the surface layer of the heated glass substrate, the tempered glass with a stronger strength than the conventional glass substrate is produced.
종래에는 롤러를 사용한 유리기판 이송장치가 사용되고 있다. 이러한 유리기판 이송장치의 경우, 유리기판의 표면과 롤러면이 접촉하는 과정에서 유리기판의 표면이 손상되는 문제점이 있었다. 예를 들어, 히팅챔버와 같이 고온 환경에서 유리기판을 이송 시 롤러를 이용하는 경우 유리기판의 휘어짐이나 처짐, 스크래치, 물결 모양의 홈(일명, 롤러 웨이브) 등 외형 변형이 생기는 문제점이 있었다. Conventionally, a glass substrate transfer apparatus using a roller is used. In the case of the glass substrate transfer apparatus, there is a problem that the surface of the glass substrate is damaged in the process of contacting the surface of the glass substrate and the roller surface. For example, when a roller is used to transfer a glass substrate in a high temperature environment such as a heating chamber, there is a problem in that deformation of the glass substrate occurs such as bending or deflection, scratches, and wavy grooves (aka roller wave).
한편, 최근 들어 태양전지 기판이나 30인치 이상의 대형 평판 디스플레이 장치에 대한 수요가 늘어나면서 다양한 사이즈의 강화유리에 대한 수요도 증가하고 있다. 이에 따라 강화유리 제조시간과 생산효율을 높이는 방안이 필요하다.
Meanwhile, as the demand for solar cell substrates and large flat panel display devices of 30 inches or more increases in recent years, the demand for tempered glass of various sizes is also increasing. Accordingly, there is a need for a method to increase the tempered glass manufacturing time and production efficiency.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하고자 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 이송 중에 유리기판의 휘어짐이나 처짐, 스크래치, 외형 변형을 최소화할 수 있는 유리기판 이송장치를 제공하는 것이다.The present invention has been proposed to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a glass substrate transfer apparatus that can minimize the bending or deflection, scratches, deformation of the glass substrate during transfer.
본 발명의 다른 목적은 다양한 사이즈의 유리기판을 한꺼번에 이송할 수 있는 유리기판 이송장치를 제공하는 것이다.
Another object of the present invention is to provide a glass substrate transfer apparatus capable of transferring glass substrates of various sizes at once.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 양상에 따른 유리기판 이송장치는, 공기를 이용하여 유리기판을 공중부양시키는 기판 부양부와, 기판 부양부에 의해 공중부양된 유리기판을 이동시키는 이동부와, 이동부에 의해 이동되는 유리기판이 이동경로에서 탈락하는 것을 막아주는 탈락 방지부를 포함하되, 이동부가 서로 이격되게 설치되는 복수개의 추진 체인과, 추진 체인에 장착되어 추진 체인의 구동에 따라 공중부양된 유리기판을 이동시키는 푸셔를 포함한다.In order to achieve the above object, the glass substrate transfer apparatus according to an aspect of the present invention, the substrate support for levitation of the glass substrate using air, and the glass substrate levitation by the substrate support A moving part and a fall prevention part which prevents the glass substrate moved by the moving part from falling off from a movement path, A plurality of propulsion chains are installed so that the moving parts are spaced apart from each other, and attached to the propulsion chain to drive the propulsion chain. A pusher for moving the levitation glass substrate accordingly.
본 발명의 부가적인 양상에 따른 유리기판 이송장치는, 기판 부양부가 유리기판에 공기를 공급하는 제1 공기 공급부와, 제1 공기 공급부에서 공급되는 공기가 통과하는 복수개의 관통홀이 형성되는 다공성 플레이트를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a glass substrate transporting apparatus comprising: a porous plate having a first air supply unit for supplying air to a glass substrate and a plurality of through holes through which air supplied from the first air supply unit passes; It includes.
본 발명의 부가적인 양상에 따른 유리기판 이송장치는, 탈락 방지부가 유리기판 측면과 접촉되는 롤러 또는 컨베이어 벨트 중 어느 하나 또는 유리기판 측면에 공기를 공급하는 제2 공기 공급부를 포함한다.
The glass substrate transport apparatus according to an additional aspect of the present invention includes a second air supply unit for supplying air to either the glass substrate side or the roller or the conveyor belt in which the fall prevention unit is in contact with the glass substrate side.
상기와 같은 구성에 따르면, 본 발명의 유리기판 이송장치는 유리기판의 표면이 비접촉방식으로 이송되도록 구현됨으로써, 접촉식 이송장치에 비해 유리기판의 휘어짐이나 처짐, 스크래치, 외형 변형을 최소화할 수 있는 유용한 효과가 있다. According to the configuration as described above, the glass substrate transfer apparatus of the present invention is implemented so that the surface of the glass substrate is transferred in a non-contact manner, it can minimize the bending or deflection, scratches, deformation of the glass substrate compared to the contact transfer apparatus It has a useful effect.
또한, 본 발명의 유리기판 이송장치는 이동부가 서로 이격되게 설치되는 복수개의 추진 체인과, 추진 체인에 장착되어 추진 체인의 구동에 따라 공중부양된 유리기판을 이동시키는 푸셔를 포함하도록 구현됨으로써, 다양한 사이즈의 유리기판을 한꺼번에 이송할 수 있는 유용한 효과가 있다.
In addition, the glass substrate transfer apparatus of the present invention is implemented to include a plurality of propulsion chain is provided with the moving parts spaced apart from each other, and a pusher mounted on the propulsion chain to move the glass substrate suspended in accordance with the driving of the propulsion chain, There is a useful effect that can transfer the glass substrate of the size at a time.
도 1 은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유리기판 이송장치의 측면을 도시한다.
도 2 는 도 1 에 따른 유리기판 이송장치의 평면도이다.
도 3 은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유리기판 이송장치의 평면도이다.
도 4 는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유리기판 이송장치의 평면도이다. 1 shows a side of a glass substrate transport apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view of the glass substrate transport apparatus according to FIG. 1.
3 is a plan view of a glass substrate transfer apparatus according to a second embodiment of the present invention.
4 is a plan view of a glass substrate transport apparatus according to a third embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 전술한, 그리고 추가적인 양상을 기술되는 바람직한 실시예를 통하여 본 발명을 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference will now be made in detail to the present embodiments of the present invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings, wherein like reference numerals refer to the like elements throughout.
도 1 은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유리기판 이송장치의 측면을 도시한 것이고, 도 2 는 도 1 에 따른 유리기판 이송장치의 평면도이다. 1 is a side view of a glass substrate transfer apparatus according to a first embodiment of the present invention, Figure 2 is a plan view of the glass substrate transfer apparatus according to FIG.
도 1, 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 유리기판 이송장치(100)는 크게 기판 부양부(110)와, 이동부(120)와, 탈락 방지부(130)를 포함한다. As shown in Figure 1, 2, the glass
기판 부양부(110)는 공기를 이용하여 유리기판(1, 2, 3)을 공중부양시키는 역할을 한다. 일례로, 기판 부양부(110)는 유리기판(1, 2, 3)에 공기를 공급하는 공기 공급부(112)와, 공기 공급부(112)에서 공급되는 공기가 통과하는 복수개의 관통홀(111a)이 형성되는 다공성 플레이트(111)를 포함하여 구현될 수 있다. The substrate support
일례로, 공기 공급부(112)에서 공급되는 공기는 고온의 공기이며, 공기 공급부(112)에서 공급되는 공기가 통과하는 관통홀(111a)은 유리기판(1, 2, 3)이 이동하는 방향으로 경사각을 갖도록 형성되어, 공기 공급부(112)에서 공급되는 공기가 유리기판(1, 2, 3)의 이동을 원활하게 해주는 보조 추진체의 역할을 하도록 구현될 수 있다.For example, the air supplied from the
다공성 플레이트(111)와 유리기판(1, 2, 3) 사이에는 제1 공기 공급부에서 공급되는 공기에 의해 에어 쿠션(Air cution)이 형성되어 유리기판(1, 2, 3)을 부양하게 되는 것이다.An air cushion is formed between the
이동부(120)는 기판 부양부(110)에 의해 공중부양된 유리기판(1, 2, 3)을 이동시키는 역할을 한다. 일례로, 이동부(120)는 서로 이격되게 설치되는 복수개의 추진 체인(121a, 121b)과, 추진 체인(121a, 121b)에 장착되어 추진 체인(121a, 121b)의 구동에 따라 공중부양된 유리기판(1, 2, 3)을 이동시키는 푸셔(122)를 포함한다. 푸셔(122)는 추진 체인(121a, 121b)에 탈, 부착 가능하다. The moving
본 발명에 따른 유리기판 이송장치(100)는 유리기판(1)의 측면이 푸셔(122)에 접촉되도록 구현되어 유리기판의 표면에 스크래치나 물결 모양의 홈(일명, 롤러 웨이브)이 발생하는 것을 최소화할 수 있는 장점이 있다. 또한, 본 발명에 따른 유리기판 이송장치(100)는 유리기판(1, 2, 3)의 사이즈가 서로 상이하더라도 복수개의 추진 체인(121a, 121b)과 푸셔(122)를 이용하여 한꺼번에 이송할 수 있는 장점이 있다. The glass
탈락 방지부(130)는 이동부(120)에 의해 이동되는 유리기판(1, 2, 3)이 이동경로에서 탈락하는 것을 막아주는 역할을 한다. 일례로, 탈락 방지부(130)는 유리기판(1, 2, 3) 측면과 접촉되는 롤러를 포함하여 구현될 수 있다. 이 경우 탈락 방지부(130)는 유리기판(1, 2, 3)의 탈락 방지 기능뿐만 아니라 유리기판(1, 2, 3)의 이동을 더 원활하게 해주는 보조 추진체의 역할을 한다.
The
도 3 은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유리기판 이송장치의 평면도이다. 3 is a plan view of a glass substrate transfer apparatus according to a second embodiment of the present invention.
도시한 바와 같이, 본 발명의 유리기판 이송장치(100)는 크게 기판 부양부(110)와, 이동부(120)와, 탈락 방지부(130)를 포함한다. 기판 부양부(110)와, 이동부(120)에 대한 설명은 전술한 바와 동일하다. As shown, the glass
본 실시예에 따른 유리기판 이송장치(100)는 탈락 방지부(130)가 유리기판(1, 2, 3) 측면과 접촉되는 컨베이어 벨트를 포함하여 구현될 수 있다. 이 경우 탈락 방지부(130)는 유리기판(1, 2, 3)의 탈락 방지 기능뿐만 아니라 유리기판(1, 2, 3)의 이동을 더 원활하게 해주는 보조 추진체의 역할을 한다.
The glass
도 4 는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유리기판 이송장치의 평면도이다. 4 is a plan view of a glass substrate transport apparatus according to a third embodiment of the present invention.
도시한 바와 같이, 본 발명의 유리기판 이송장치(100)는 크게 기판 부양부(110)와, 이동부(120)와, 탈락 방지부(130)를 포함한다. 기판 부양부(110)와, 이동부(120)에 대한 설명은 전술한 바와 동일하다. As shown, the glass
본 실시예에 따른 유리기판 이송장치(100)는 탈락 방지부(130)가 유리기판(1, 2, 3) 측면에 공기를 분사하는 공기 공급부를 포함하여 구현될 수 있다. 일례로, 제2 공기 공급부는 유리기판(1, 2, 3)이 이동하는 방향으로 공기를 분사하도록 구현될 수 있다. 이 경우 탈락 방지부(130)는 유리기판(1, 2, 3)의 탈락 방지 기능뿐만 아니라 유리기판(1, 2, 3)의 이동을 더 원활하게 해주는 보조 추진체의 역할을 한다. The glass
지금까지, 본 명세서에는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 지닌 자가 본 발명을 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 도면에 도시한 실시예들을 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에 통상의 지식을 지닌 자라면 본 발명의 실시예들로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the scope of the invention as defined by the appended claims. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined only by the appended claims.
100: 유리기판 이송장치
110: 기판 부양부
111: 다공성 플레이트 111a: 관통홀
120: 이동부
121a, 121b: 추진 체인 122: 푸셔
1, 2, 3: 유리기판100: glass substrate feeder
110: substrate support
111:
120: moving part
121a, 121b: Propulsion chain 122: Pusher
1, 2, 3: glass substrate
Claims (7)
상기 기판 부양부에 의해 공중부양된 유리기판을 이동시키는 이동부; 및
상기 이동부에 의해 이동되는 유리기판이 이동경로에서 탈락하는 것을 막아주는 탈락 방지부;를 포함하되,
상기 이동부가:
서로 이격되게 설치되는 복수개의 추진 체인;
상기 추진 체인에 장착되어 상기 추진 체인의 구동에 따라 상기 공중부양된 유리기판의 측면과 접촉하여 상기 공중부양된 유리기판을 이동시키는 푸셔;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 이송장치.A substrate support part which levitations a glass substrate using air;
A moving unit for moving the glass substrate levitation by the substrate supporting unit; And
Includes a fall prevention unit for preventing the glass substrate moved by the moving unit from falling off in the movement path,
The moving part:
A plurality of propulsion chains spaced apart from each other;
A pusher mounted on the propulsion chain to move the aerial floated glass substrate in contact with a side surface of the aerial floated glass substrate according to the driving of the propulsion chain;
Glass substrate transfer apparatus comprising a.
상기 유리기판에 공기를 공급하는 제1 공기 공급부; 및
상기 제1 공기 공급부에서 공급되는 공기가 통과하는 복수개의 관통홀이 형성되는 다공성 플레이트;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 이송장치.The method of claim 1, wherein the substrate support:
A first air supply unit supplying air to the glass substrate; And
A porous plate having a plurality of through holes through which air supplied from the first air supply unit passes;
Glass substrate transfer apparatus comprising a.
상기 다공성 플레이트의 관통홀은, 상기 유리기판이 이동하는 방향으로 경사각을 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유리기판 이송장치.The method of claim 2,
The through hole of the porous plate, the glass substrate transport apparatus, characterized in that it is formed to have an inclination angle in the direction in which the glass substrate moves.
상기 탈락 방지부가, 상기 유리기판 측면과 접촉되는 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 이송장치.The method of claim 1,
The drop prevention unit, the glass substrate transport apparatus, characterized in that it comprises a roller in contact with the side of the glass substrate.
상기 탈락 방지부가, 상기 유리기판 측면과 접촉되는 컨베이어 벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 이송장치.The method of claim 1,
The drop prevention unit, the glass substrate transport apparatus, characterized in that it comprises a conveyor belt in contact with the side of the glass substrate.
상기 탈락 방지부가, 상기 유리기판 측면에 공기를 분사하는 제2 공기 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 이송장치.The method of claim 1,
The drop prevention unit, the glass substrate transport apparatus, characterized in that it comprises a second air supply unit for injecting air to the glass substrate side.
상기 제2 공기 공급부는 상기 유리기판이 이동하는 방향으로 공기를 분사하는 것을 특징으로 하는 유리기판 이송장치.The method according to claim 6,
And the second air supply unit sprays air in a direction in which the glass substrate moves.
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Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105883419A (en) * | 2014-10-10 | 2016-08-24 | 杨德宁 | Air flotation device automatic-conveying line and method capable of achieving segmented control |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR19980079549A (en) * | 1997-03-10 | 1998-11-25 | 이시다 아키라 | Substrate Processing Apparatus and Substrate Processing Method |
KR20060066219A (en) * | 2004-12-13 | 2006-06-16 | (주)비테크 | An conveying apparatus formed with inclined injection holes for air floating and moving of glass plates |
KR20100055179A (en) * | 2008-11-17 | 2010-05-26 | 세메스 주식회사 | Apparatus for conveying substrate |
KR20100060061A (en) * | 2008-11-27 | 2010-06-07 | 주식회사 에스에프에이 | Vertical type apparatus for transferring a substrate |
-
2010
- 2010-11-12 KR KR1020100112552A patent/KR101232621B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR19980079549A (en) * | 1997-03-10 | 1998-11-25 | 이시다 아키라 | Substrate Processing Apparatus and Substrate Processing Method |
KR20060066219A (en) * | 2004-12-13 | 2006-06-16 | (주)비테크 | An conveying apparatus formed with inclined injection holes for air floating and moving of glass plates |
KR20100055179A (en) * | 2008-11-17 | 2010-05-26 | 세메스 주식회사 | Apparatus for conveying substrate |
KR20100060061A (en) * | 2008-11-27 | 2010-06-07 | 주식회사 에스에프에이 | Vertical type apparatus for transferring a substrate |
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