KR101232257B1 - 검사장치 - Google Patents

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KR101232257B1
KR101232257B1 KR1020120108693A KR20120108693A KR101232257B1 KR 101232257 B1 KR101232257 B1 KR 101232257B1 KR 1020120108693 A KR1020120108693 A KR 1020120108693A KR 20120108693 A KR20120108693 A KR 20120108693A KR 101232257 B1 KR101232257 B1 KR 101232257B1
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안창원
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제이엠테크 주식회사
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    • G06T2207/30141Printed circuit board [PCB]

Abstract

본 발명에 따른 검사장치는, 프레임 유닛, 상기 프레임 유닛의 내부에 장착되어 검사 대상물이 안치되는 검사대 및 선택적으로 움직이면서 검사 대상물을 검사하기 위한 검사 모듈을 포함한다. 상기 검사 모듈은, 프레임 유닛의 상부 중앙을 기준으로 하여 수평면으로 회전 구동되는 원통좌표 대응부와, 상기 원통좌표 대응부에 결합되어 검사 대상물과 일정한 거리가 유지된 상태로 검사 유닛과 함께 구면을 따라 이동되게 구성되어 있는 구면좌표 대응부를 포함한다. 본 발명에 의하면, 검사 모듈의 회전에 요구되는 공간이 최소화되고, 검사 대상물을 기준으로 하여 회전 및 각도 변환이 정밀하게 이루어져 보다 검사 대상물의 보다 정밀한 검사가 이루어지게 하는 장점이 제공된다. 뿐만 아니라, 본 발명에서는 구면 레일을 따라 이동하는 트롤리에 의해 구면 레일의 형상에 이상이 있거나 트롤리에 부착된 개별적인 롤러의 고장이 있어도 이들과 무관하게 안정적으로 작동되는 장점이 제공된다.

Description

검사장치 {Ditector}
본 발명은 검사 대상물을 검사하기 위한 검사장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 검사 대상물의 상면 뿐만 아니라 다양한 각도에서 신뢰성 있게 검사할 수 있는 검사 장치에 관한 것이다.
검사 대상물의 표면을 검사하여 가공 중이거나 완성된 제품의 성능 또는 외관에 대한 오류를 검사하기 위한 검사장치가 산업적으로 널리 이용되고 있다.
하나의 예로서, 전기전자기기의 주요 부품으로 내장되는 인쇄회로기판(PCB)의 경우에는 엑스-레이(X-ray)를 이용하여 가공 중이거나 완성된 인쇄회로기판의 납땜 상태를 이용하며, 이때 이용되는 기기가 엑스-레이 검사 장비이다.
이외에도, 고성능 카메라를 이용하여 각종 물품의 외관을 검사하고 있다. 그 만큼 상기한 바와 같은 검사 장치는 산업 전반에 매우 유용하게 사용된다.
이러한 검사 장치는 통상 검사 대상물의 위에서 또는 측면에서와 같이 특정 부위에서 이루어지고 있다. 그러나, 검사 대상물을 특정 부위에서만 검사하게 되는 경우에는 특정 부위가 아닌 다른 부위에서의 검사가 이루어지지 않게 되어 물품의 온전한 성능을 제대로 확인할 수 없게 되는 문제점이 있다.
이를 보완하고자 한국실용신안등록 제20-0372571호 (발명의 명칭 "인쇄회로기판의 엑스-레이 검사장치")에서는 인쇄회로기판에 대해 엑스-레이 디텍터를 가변 가능한 상태로 설치하여 납땜검사 부위에 대해 다양한 촬상 입사각으로 영상정보를 얻을 수 있도록 구성한 검사장치를 제시하고 있다.
상기한 한국실용신안등록 제20-0372571호에 제시된 검사장치는 종래기술의 도면으로 제시한 도 8에 도시된 바와 같이 검사 대상물의 상부에서 원통좌표를 얻기 위해 X-레이 디텍터(130)가 탑재된 브라켓(168)을 환형가이드레일(169)을 따라 이동시킴으로써 X-레이 디텍터(130)의 회전 중심점을 검사 대상물의 상면에 고정시키고 있다. 그러나, 이와 같은 구성에서는 상기 브라켓(168)이 환형의 랙 피니언을 따라 이동하므로 그 회전 정밀도가 떨어질 가능성이 매우 높을 뿐만 아니라 환형가이드레일(169)의 직경 만큼의 회전 공간을 더 필요로 하는 단점이 있다.
또한, 상기한 한국실용신안등록 제20-0372571호에 제시된 검사장치는 도 8에 도시된 바와 같이 검사 대상물의 측면 부위를 검사하기 위해 X-레이 디텍터(130)가 탑재된 홀더(165)를 플레이트형 프레임(161)에 설치된 원호형 가이드레일(162)과 원호형 랙(163) 사이의 공간을 따라 이동시킴으로써 검사 대상물의 중앙을 기준으로 하여 다양한 각도로 검사 대상물을 검사하고 있다. 그러나, 플레이트형 프레임(161)에 설치되는 원호형 가이드레일(162)과 원호형 랙(163)을 원호형으로 제작하는 것 자체가 쉽지 않을 뿐만 아니라 X-레이 디텍터(130)를 탑재한 홀더(165)의 이동이 랙 피니언에 의해 이루어지므로 각도 결정의 정밀도가 떨어질 가능성이 매우 높다. 또한, 원호형 가이드레일(162)과 원호형 랙(163)의 간격이 일정하게 유지되어야만 X-레이 디택터(130)를 탑재한 홀더(165)가 원활하게 동작할 수 있는 단점이 있다. 더욱이, 가이드레일(162)과 원호형 랙(163) 그리고 홀더(165)가 규격이 일치된 쌍으로 구비되어야 하므로 다른 대체 수단과의 호환이 불가능한 단점이 있다.
한국실용신안등록 제20-0372571호 (2005.01.03. 등록, 고안의 명칭 "인쇄회로기판의 엑스-레이 검사장치")
본 발명은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 검사 대상물의 검사 시에 최소한의 공간이 요구되는 환경에서 예를 들어 고성능 카메라와 같은 실질적인 검사모듈의 회전 및 높이 가변이 정밀하게 이루어질 수 있는 개선된 구조의 검사장치를 제공하는 데에 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 각도 및 높이가 가변되는 구조물의 두께, 형상과 무관하게 고성능 카메라와 같은 실질적인 검사모듈이 정밀하게 동작하여 검사 대상물을 검사할 수 있는 검사장치를 제공하는 데에 있다.
상기 및 그 밖의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은,
프레임 유닛, 상기 프레임 유닛의 내부에 장착되어 검사 대상물이 안치되는 검사대 및 선택적으로 움직이면서 검사 대상물을 검사하기 위한 검사 모듈을 포함하는 검사 장치를 포함하는 검사장치를 제공한다. 상기 검사 모듈은, 프레임 유닛의 상부 중앙을 기준으로 하여 수평면으로 회전 구동되는 원통좌표 대응부와, 상기 원통좌표 대응부에 결합되어 검사 대상물과 일정한 거리가 유지된 상태로 검사 유닛과 함께 구면을 따라 이동되게 구성되어 있는 구면좌표 대응부를 포함한다.
본 발명에 있어, 상기 원통좌표 대응부는, 서보모터와 상기 서보모터에 연동하여 수직축을 중심으로 회전하는 회전체를 포함하고, 상기 구면좌표 대응부는 상기 회전체에 결합되어 있는 고정 브라켓의 도움으로 상기 원통좌표 대응부와 결합되어 있는 원호 형상의 한 쌍의 구면 레일과, 하부면에 검사 유닛이 설치된 상태로 상기 구면 레일을 따라 상하로 이동 가능하게 구성되어 있는 트롤리(trolley)와, 상기 트롤리를 상기 구면 레일에서 구동되게 하는 구동 수단을 포함한다.
본 발명에 있어, 상기 트롤리는 한 쌍의 상기 구면 레일의 상부 좌우 측면에서 구동되는 상부 측면 구동 롤러 세트와, 한 쌍의 상기 구면 레일의 하부 좌우 측면에서 구동되는 하부 측면 구동 롤러 세트와, 상기 구면 레일의 외표면에서 구동되는 외표면 구동 롤러 세트와, 상기 구면 레일의 내표면에서 구동되는 내표면 구동 롤러 세트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어, 상기 구동 수단은, 한 쌍의 구면 레일을 이루는 각각의 구면 단위 구조물 사이에 회전 가능하게 상기 구면 레일의 형상에 따라 순차적으로 장착되어 있는 복수의 롤러와 상기 롤러들을 경유하여 배치되어 있는 구동 벨트와, 상기 구동 벨트를 구동시키기 위한 서보모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 복수의 상기 롤러는 상기 구면 레일의 외측면에 순차적으로 장착되는 제1롤러 세트와 상기 구면 레일의 내측면에 순차적으로 장착되는 제2롤러 세트로 구성되고, 상기 서보모터는 상기 제1롤러 세트 중 최상위 롤러와 상기 제2롤러 세트 중 최상위 롤러 사이의 하부에 설치되고, 상기 벨트는 상기 제1롤러 세트 중 최상위 롤러, 서보모터의 회전축, 제2롤러 세트 중 최상위 롤러, 상기 제2롤러 세트 중 최하위 롤러, 제1롤러 세트 중 최하위 롤러에 순차적으로 권취되게 설치된다.
본 발명에 있어, 상기 구면 레일의 측면에 상기 구면 레일의 형상과 부합되게 장착되어 검사 유닛에 연결되는 케이블이 유동적으로 안치되는 트롤리 케이블 베이어를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 검사 모듈의 회전에 요구되는 공간이 최소화되고, 검사 대상물을 기준으로 하여 회전 및 각도 변환이 정밀하게 이루어져 보다 검사 대상물의 보다 정밀한 검사가 이루어지게 하는 장점이 제공된다. 뿐만 아니라, 본 발명에서는 구면 레일을 따라 이동하는 트롤리에 의해 구면 레일의 형상에 이상이 있거나 트롤리에 부착된 개별적인 롤러의 고장이 있어도 이들과 무관하게 안정적으로 작동되는 장점이 제공된다.
도 1은 본 발명의 하나의 바람직한 실시 형태에 따른 검사장치의 전체 모습을 개략적으로 도시한 전체 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 본 발명의 하나의 바람직한 실시 형태에 따른 검사장치에 적용되어 있는 검사모듈을 개략적으로 도시한 부분 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 검사모듈에 적용되어 있는 트롤리(trolley)를 개략적으로 도시한 부품 사시도이다.
도 4는 도 2에 도시된 검사몰듈의 A-A 부분 단면도이다.
도 5는 본 발명의 하나의 바람직한 실시 형태에 따른 검사장치의 검사모듈에 적용되어 있는 트롤리가 원호형 가이드 프레임에서 움직이는 모습을 보여주는 도면이다.
도 6은 본 발명에 적용되어 있는 트롤리의 이동 과정을 보여주는 도면이다.
도 7은 본 발명에 적용되어 있는 검사모듈이 회전 과정을 보여주는 도면이다.
도 8은 종래기술(한국실용신안등록 제20-0372571호)을 나타낸 도면이다.
이하, 본 발명은 첨부된 예시 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명된다. 본 발명을 설명함에 있어서, 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다. 또한, 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 도면부호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1 내지 도 7은 본 발명의 하나의 바람직한 실시 형태에 따른 검사장치를 나타낸다. 특히, 도 1은 본 발명의 하나의 바람직한 실시 형태에 따른 검사장치의 전체 모습을 개략적으로 도시한 전체 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 본 발명의 하나의 바람직한 실시 형태에 따른 검사장치에 적용되어 있는 검사모듈을 개략적으로 도시한 부분 사시도이며, 도 3은 도 2에 도시된 검사모듈에 적용되어 있는 트롤리(trolley)를 개략적으로 도시한 부품 사시도이고, 도 4는 도 2에 도시된 검사몰듈의 A-A 부분 단면도이며, 도 5는 본 발명의 하나의 바람직한 실시 형태에 따른 검사장치의 검사모듈에 적용되어 있는 트롤리가 원호형 가이드 프레임에서 움직이는 모습을 보여주는 도면이고, 도 6은 본 발명에 적용되어 있는 트롤리의 이동 과정을 보여주는 도면이며, 도 7은 본 발명에 적용되어 있는 검사모듈이 회전 과정을 보여주는 도면이다.
먼저, 도 1을 참조하면, 본 발명의 하나의 바람직한 실시 형태에 따른 검사장치는 프레임 유닛(1), 상기 프레임 유닛(1)의 내부에 장착되어 검사 대상물이 안치되는 검사대(3) 및 선택적으로 움직이면서 검사 대상물을 검사하기 위한 검사 모듈(10)을 포함한다. 검사 모듈(10)은 도 1에 예시적으로 도시된 바와 같이 상기 프레임 유닛(1)의 상부에 고정 브라켓(2)의 도움으로 전체가 회전 가능하게 결합된다. 검사 대상물이 안치되는 검사대(3)는 상기 고정 브라켓(2)의 하래에 배치된다.
상기 검사 모듈(10)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 크게 프레임 유닛(1)의 상부 중앙을 기준으로 하여 수평면으로 회전 구동되는 원통좌표 대응부와, 상기 원통좌표 대응부에 결합되어 검사 대상물과 일정 거리가 유지된 상태로 검사 유닛, 예를 들어 고성능 카메라, X-레이 디텍터 등과 함께 구면을 따라 이동되게 구성되어 있는 구면좌표 대응부를 포함한다.
먼저, 검사 모듈(10)에 적용되어 있는 원통좌표 대응부는 도 2에 도시된 바와 같이 서보모터(12)와 상기 서보모터(12)의 회전에 연동하여 수직축을 중심으로 하는 회전체(14)를 포함한다. 이때, 고정 브라켓(2)이 프레임 유닛(1)에 고정되어 있어 서보모터(12)에 의해서는 도면상 그 아래에 도시된 회전체(14)가 회전하여 이에 결합되어 있는 그 아래의 부품 전체를 회전시키게 되는 것이다. 또한, 이때, 회전체(12)의 회전이 서보모터(12)에 의해 감속된 상태로 이루어지게 되므로 상기한 바와 같은 종래기술과 달리 보다 정밀한 회전이 이루어져 검사 정밀도가 증대된다.
상기 회전체(14)의 하부에는 특히 도 2에 도시된 바와 같이 고정 브라켓(16)이 장착되고, 고정 브라켓(16)에 의해서는 상기한 구면좌표 대응부가 결합된다.
이와 같이 도면부호 16으로 도시되어 있는 고정 브라켓에 고정되어 있는 구면좌표 대응부는 도시된 바와 같이 그 아래로 원호 형상의 한 쌍으로 이루어진 구면 레일(22)과, 하부면에 검사 유닛(도시되어 있지 않음)이 설치된 상태로 구면 레일(22)을 따라 상하로 이동 가능하게 구성되어 있는 트롤리(trolley)(50)를 포함한다. 구면 레일(22)은 도면부호 27로 도시되어 있는 이격 부재에 의해 상호 일정한 간격으로 벌어진 상태를 유지하게 된다.
본 발명에 적용되어 있는 트롤리(50)에는 특히 도 3에 도시된 바와 같이 한 쌍으로 이루어진 구면 레일(22)의 상부 좌우 측면에서 구동되는 상부 측면 구동 롤러 세트(52a)와, 구면 레일(22)의 하부 좌우 측면에서 구동되는 하부 측면 구동 롤러 세트(52b)와, 상기 구면 레일(22)의 외표면, 즉, 구면의 외측면에서 구동되는 외표면 구동 롤러 세트(54a)와, 상기 구면 레일(22)의 내표면, 즉, 구면의 내측면에서 구동되는 내표면 구동 롤러 세트(54b)가 구비된다.
이때, 외표면 구동 롤러 세트(54a)와 내표면 구동 롤러 세트(54b)에 의해 트롤리(50)의 일차적인 구동이 이루어지고, 상부 측면 구동 롤러 세트(52a)와 하부 측면 구동 롤러 세트(52b)에 의해 트롤리(50)의 측면 이탈이 방지된 상태로 보다 원활하게 구동된다. 이와 같은 트롤리(50)의 구조에 의해서 구면 레일(22) 자체의 두께 또는 불규칙한 형상과 무관하게 원활하게 작동되는 것이다. 뿐만 아니라, 트롤리(50)에 설치되어 있는 구동 롤러 세트 중 어느 하나의 구동 롤러가 고장이 나는 경우에도 그 작동에는 크게 영향을 받지 않게 된다. 검사 대상물을 검사하기 위한 예를 들어 카메라, X-레이 디텍터 등의 검사 유닛(도시되어 있지 않음)은 트롤리(50)의 하부면에 장착된다.
구면좌표 대응부는 또한 상기 트롤리(50)를 상기 구면 레일(22)에서 구동시키기 위한 구동 수단을 포함한다.
이러한 구동 수단은 도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이 한 쌍의 구면 레일(22)을 이루는 각각의 구면 단위 구조물 사이에 회전 가능하게 상기 구면 레일(22)의 형상에 따라 순차적으로 장착되어 있는 복수의 롤러(23a, 23b, 23c, 23d, 23e, 23f, 23g, 23h, 24a, 24b, 24c, 24d, 24e, 24f, 24g, 24h)와 상기 롤러들(23a, 23b, 23c, 23d, 23e, 23f, 23g, 23h, 24a, 24b, 24c, 24d, 24e, 24f, 24g, 24h)을 경유하여 배치되어 있는 구동 벨트(25)와 , 상기 구동 벨트(25)를 구동 시키기 위한 서보모터(20)를 포함한다.
이때, 복수의 상기 롤러(23a, 23b, 23c, 23d, 23e, 23f, 23g, 23h, 24a, 24b, 24c, 24d, 24e, 24f, 24g, 24h)는 상기 구면 레일(22)의 외측면에 순차적으로 장착되는 제1롤러 세트(23a, 23b, 23c, 23d, 23e, 23f, 23g, 23h)와 상기 구면 레일(22)의 내측면에 순차적으로 장착되는 제2롤러 세트(24a, 24b, 24c, 24d, 24e, 24f, 24g, 24h)로 구성되고, 상기 서보모터(20)는 상기 제1롤러 세트 중 최상위 롤러(23a)와 상기 제2롤러 세트 중 최상위 롤러(24a) 사이의 하부에 설치된다.
또한, 상기 구동벨트(25)는 특히 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제1롤러 세트 중 최상위 롤러(23a), 서보모터(20)에 연결된 풀리(20a), 제2롤러 세트 중 최상위 롤러(24a), 상기 제2롤러 세트 중 최하위 롤러(24h), 제1롤러 세트 중 최하위 롤러(23h)에 순차적으로 권취되게 설치된다. 구동벨트(25)가 설치되는 나머지 모습은 도 5에 잘 나타나 있다. 구동벨트(25)의 내측면에는 각각의 롤러와 치합되는 구조를 갖는다. 또한, 구동벨트(25)는 도 5에 도시된 바와 같이 그 일부가 트롤리(50)에 결합된다. 본 실시 형태에서는 구동벨트(25)의 외표면의 일부가 트롤리(50)에 결합되어 있는 것으로 도시되어 있으나, 구동벨트(25)와 맞물려서 구동되게 설계될 수도 있다. 이러한 경우에는 트롤리(50)가 구동되는 부위의 롤러와 구동벨트(25)간에는 어느 정도의 이격 현상이 발생하나 그 양 옆의 구동롤러에 구동벨트(25)가 치합되어 구동되므로 트롤리(50)의 이동에는 영향을 받지 않게 된다.
이와 같이 서보모터(20)에 연결된 풀리(20a)에 도 5에 도시된 바와 같이 역으로 회구되는 방식으로 구동벨트(25)가 설치됨으로써 구동벨트(25)의 텐션이 보장되는 상태로 안정적으로 구동되므로 보다 정밀한 제어가 가능하게 된다.
이와 같이 구성된 본 발명의 하나의 바람직한 실시 형태에 따른 검사 장치는 도 6과 도 7에 도시된 바와 같이 검사 대상물을 기준으로 하여 X, Y 좌표 뿐만 아니라 Z 좌표까지도 연동하여 검사 대상물을 입체적으로 촬상 또는 검출할 수 있게 된다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 구체예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
1 : 프레임 유닛
2 : 고정 브라켓
3 : 검사대
10 : 검사 모듈
12, 20 : 서보모터
22 : 구면 레일
23a, 23b, 23c, 23d, 23e, 23f, 23g, 23h : 제1롤러 세트
24a, 24b, 24c, 24d, 24e, 24f, 24g, 24h : 제2롤러 세트
25 : 구동벨트
50 : 트롤리

Claims (6)

  1. 프레임 유닛(1), 상기 프레임 유닛(1)의 내부에 장착되어 검사 대상물이 안치되는 검사대(3) 및 선택적으로 움직이면서 검사 대상물을 검사하기 위한 검사 모듈(10)을 포함하는 검사 장치로서,
    상기 검사 모듈(10)은 프레임 유닛(1)의 상부 중앙을 기준으로 하여 수평면으로 회전 구동되는 원통좌표 대응부와, 상기 원통좌표 대응부에 결합되어 검사 대상물과 일정한 거리가 유지된 상태로 검사 유닛과 함께 구면을 따라 이동되게 구성되어 있는 구면좌표 대응부를 포함하고,
    상기 원통좌표 대응부는, 서보모터(12)와 상기 서보모터(12)에 연동하여 수직축을 중심으로 회전하는 회전체(14)를 포함하고, 상기 구면좌표 대응부는 상기 회전체(14)에 결합되어 있는 고정 브라켓(16)의 도움으로 상기 원통좌표 대응부와 결합되어 있는 원호 형상의 한 쌍의 구면 레일(22)과, 하부면에 검사 유닛이 설치된 상태로 상기 구면 레일(22)을 따라 상하로 이동 가능하게 구성되어 있는 트롤리(trolley)(50) 및 상기 트롤리(50)를 상기 구면 레일(22)에서 구동되게 하는 구동 수단을 포함하며,
    상기 트롤리(50)는 한 쌍의 상기 구면 레일(22)의 상부 좌우 측면에서 구동되는 상부 측면 구동 롤러 세트(52a)와, 상기 구면 레일(22)의 하부 좌우 측면에서 구동되는 하부 측면 구동 롤러 세트(52b)와, 상기 구면 레일(22)의 외표면에서 구동되는 외표면 구동 롤러 세트(54a)와, 상기 구면 레일(22)의 내표면에서 구동되는 내표면 구동 롤러 세트(54b)를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 구동 수단은,
    한 쌍의 구면 레일(22)을 이루는 각각의 구면 단위 구조물 사이에 회전 가능하게 상기 구면 레일(22)의 형상에 따라 순차적으로 장착되어 있는 복수의 롤러와 상기 롤러들을 경유하여 배치되어 있는 구동 벨트(25)와, 상기 구동 벨트(25)를 구동시키기 위한 서보모터(20)를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    복수의 상기 롤러는 상기 구면 레일(22)의 외측면에 순차적으로 장착되는 제1롤러 세트와 상기 구면 레일(22)의 내측면에 순차적으로 장착되는 제2롤러 세트로 구성되고, 상기 서보모터(20)는 상기 제1롤러 세트 중 최상위 롤러와 상기 제2롤러 세트 중 최상위 롤러 사이의 하부에 설치되고,
    상기 벨트(25)는 상기 제1롤러 세트 중 최상위 롤러, 서보모터(20)에 연결된 풀리(20a), 제2롤러 세트 중 최상위 롤러, 상기 제2롤러 세트 중 최하위 롤러, 제1롤러 세트 중 최하위 롤러에 순차적으로 권취되게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 검사장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 구면 레일(22)의 측면에 상기 구면 레일(22)의 형상과 부합되게 장착되어 검사 유닛에 연결되는 케이블이 유동적으로 안치되는 트롤리 케이블 베이어(56)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
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