KR101230091B1 - Batch annealing furnace and method of annealing coil using the same - Google Patents

Batch annealing furnace and method of annealing coil using the same Download PDF

Info

Publication number
KR101230091B1
KR101230091B1 KR1020110076669A KR20110076669A KR101230091B1 KR 101230091 B1 KR101230091 B1 KR 101230091B1 KR 1020110076669 A KR1020110076669 A KR 1020110076669A KR 20110076669 A KR20110076669 A KR 20110076669A KR 101230091 B1 KR101230091 B1 KR 101230091B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
coil
chamber
annealing furnace
batch annealing
support
Prior art date
Application number
KR1020110076669A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
하원
정기조
Original Assignee
주식회사 포스코
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 포스코 filed Critical 주식회사 포스코
Priority to KR1020110076669A priority Critical patent/KR101230091B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101230091B1 publication Critical patent/KR101230091B1/en

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22FCHANGING THE PHYSICAL STRUCTURE OF NON-FERROUS METALS AND NON-FERROUS ALLOYS
    • C22F1/00Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working
    • C22F1/16Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working of other metals or alloys based thereon
    • C22F1/18High-melting or refractory metals or alloys based thereon
    • C22F1/183High-melting or refractory metals or alloys based thereon of titanium or alloys based thereon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C21METALLURGY OF IRON
    • C21DMODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D9/00Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor
    • C21D9/52Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor for wires; for strips ; for rods of unlimited length
    • C21D9/54Furnaces for treating strips or wire
    • C21D9/663Bell-type furnaces
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C14/00Alloys based on titanium
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22FCHANGING THE PHYSICAL STRUCTURE OF NON-FERROUS METALS AND NON-FERROUS ALLOYS
    • C22F1/00Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working
    • C22F1/02Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working in inert or controlled atmosphere or vacuum

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Furnace Details (AREA)
  • Manufacturing Of Steel Electrode Plates (AREA)

Abstract

PURPOSE: A batch annealing furnace and a coil annealing method using the same are provided to improve the quality of a coil because the inner and outer materials of the coil are not changed according to the annealing temperature difference of the inside and outside of the coil. CONSTITUTION: A batch annealing furnace(100) comprises a chamber(5), a main heater(20), and an auxiliary heater(80). The main heater is mounted in the chamber to generate heat. The auxiliary heater is separated from a wall of the chamber and generates heat. The auxiliary heater comprises a supporter(60), heating members(70), and a heat circulating part(50).

Description

배치 소둔로 및 이를 이용하여 코일을 소둔하는 방법{BATCH ANNEALING FURNACE AND METHOD OF ANNEALING COIL USING THE SAME}Batch ANNEALING FURNACE AND METHOD OF ANNEALING COIL USING THE SAME}

본 발명은 배치소둔로에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 권취된 코일의 내측 및 외측을 균일하게 가열하여, 최종 소둔된 코일의 외측 및 내측의 재질적 특성의 편차를 최소화시켜 코일의 품질을 향상시킬 수 있는 배치소둔로 및 이를 이용하여 코일을 소둔하는 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a batch annealing furnace, and more particularly, to uniformly heat the inside and the outside of the wound coil, to minimize the variation of the material properties of the outside and the inside of the final annealed coil to improve the quality of the coil It relates to a batch annealing furnace and a method of annealing the coil using the same.

배치소둔로는 그 내부에 권취된 코일을 적재해 두고 코일을 소둔하는 장치로, 불활성가스 분위기 또는 진공분위기가 조성될 수 있는 챔버를 포함한다. The batch annealing furnace is a device in which a coil wound up is placed therein and the coil is annealed. The batch annealing furnace includes a chamber in which an inert gas atmosphere or a vacuum atmosphere can be formed.

일반적으로, 진공분위기에서 코일을 소둔하는 경우에, 배치소둔로의 가열장치로부터 발생되는 열을 전달하는 매개체가 없으므로 복사열에 의해 코일이 소둔된다. 또한, 일반적으로 배치소둔로에서 가열장치는 챔버의 벽 측에 배치되므로, 코일의 내측 보다 코일의 외측 측에 보다 많은 복사열이 전달되고, 이에 따라, 코일의 내측 및 외측 간의 소둔에 따른 열처리 효과가 상이하여 소둔된 코일의 품질이 저하될 수 있다. In general, when annealing the coil in a vacuum atmosphere, the coil is annealed by radiant heat because there is no medium for transferring heat generated from the heating apparatus of the batch annealing furnace. Further, in general, in the batch annealing furnace, since the heating device is disposed on the wall side of the chamber, more radiant heat is transmitted to the outer side of the coil than the inner side of the coil, so that the heat treatment effect due to the annealing between the inner and outer sides of the coil is improved. The quality of the differently annealed coils may be degraded.

본 발명의 목적은, 권취된 코일의 내측 및 외측을 균일하게 가열하여, 최종 소둔된 코일의 외측 및 내측의 재질적 특성의 편차를 최소화시켜 코일의 품질을 향상시킬 수 있는 배치소둔로 및 이를 이용하여 코일을 균일하게 소둔할 수 있는 코일의 소둔방법을 제공하는 데 있다. An object of the present invention, by heating the inside and the outside of the coil wound uniformly, by using a batch annealing furnace that can improve the quality of the coil by minimizing the variation of the material characteristics of the outside and inside of the final annealed coil The present invention provides a method of annealing a coil that can uniformly anneal the coil.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 배치소둔로는, 챔버, 상기 챔버에 구비되어 열을 발생하는 메인 가열장치 및 상기 챔버의 내부에서 상기 메인 가열장치보다 상기 챔버의 벽과 이격되어 열을 발생하는 보조 가열장치를 포함한다. Batch annealing furnace for achieving the above object of the present invention, the chamber, the main heating device which is provided in the chamber to generate heat, and the heat generated in the chamber spaced apart from the wall of the chamber than the main heating device And an auxiliary heating device.

또한, 상기 보조 가열장치는, 상기 챔버의 바닥으로부터 상기 챔버의 높이 방향으로 연장되는 지지대, 상기 지지대에 구비되는 가열부재, 및 적어도 하나의 개구부가 형성되어 상기 지지대의 상 단부 위에 구비되는 열순환부를 포함한다. The auxiliary heating apparatus may further include a support extending from the bottom of the chamber in the height direction of the chamber, a heating member provided in the support, and at least one opening formed on the upper end of the support. Include.

또한, 상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 배치소둔로를 이용하여 코일을 소둔하는 방법은 다음과 같다. In addition, the method of annealing the coil using a batch annealing furnace for achieving the above object of the present invention is as follows.

배치소둔로의 챔버 내에 코일을 제공하고, 상기 챔버 내에 진공 분위기를 조성하고, 상기 코일의 내측을 상기 코일의 외측과 별도로 가열하여 상기 코일을 상기 진공분위기에서 제1차 소둔한다. A coil is provided in the chamber of the batch annealing furnace, a vacuum atmosphere is created in the chamber, and the inner side of the coil is heated separately from the outer side of the coil to anneal the coil in the vacuum atmosphere.

상기 제1차 소둔이 완료된 후, 상기 챔버 내의 진공 분위기를 해제하고, 상기 챔버 내에 불활성 가스를 제공하고, 그 이후에, 상기 코일을 가열하여 제2차 소둔한다. After the first annealing is completed, the vacuum atmosphere in the chamber is released, an inert gas is provided in the chamber, after which the coil is heated to a second annealing.

본 발명에 따르면, 배치소둔로에 보조가열장치를 구비하여, 코일의 외측 및 내측이 균일하게 가열될 수 있다. 이에 따라, 배치소둔로를 이용하여 코일을 소둔 시, 코일의 외측 및 내측의 소둔 온도 차이에 따른 코일의 내측 및 외측의 재질이 상이해지는 문제를 해결할 수 있어 코일의 품질을 향상시킬 수 있다. According to the present invention, the auxiliary annealing device is provided in the batch annealing furnace so that the outside and the inside of the coil can be uniformly heated. Accordingly, when annealing the coil using the batch annealing furnace, it is possible to solve the problem that the material of the inside and the outside of the coil due to the difference in the annealing temperature of the outside and inside of the coil is improved, thereby improving the quality of the coil.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 배치소둔로의 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 보조가열장치 및 코일의 분해 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 보조가열장치의 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 배치소둔로를 이용하여 코일을 소둔하는 방법을 나타내는 순서도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 배치소둔로의 단면도이다.
1 is a cross-sectional view of a batch annealing furnace according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an exploded perspective view of the auxiliary heating device and coil illustrated in FIG. 1.
3 is a plan view of the auxiliary heating device shown in FIG.
4 is a flowchart illustrating a method of annealing a coil using the batch annealing furnace illustrated in FIG. 1.
5 is a cross-sectional view of a batch annealing furnace according to another embodiment of the present invention.

이하 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 살펴보기로 한다. 상기한 본 발명의 목적, 특징 및 효과는 첨부된 도면과 관련된 실시예들을 통해서 용이하게 이해될 것이다. 다만, 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다양한 형태로 응용되어 변형될 수도 있다. 오히려, 아래의 실시예들은 본 발명에 의해 개시된 기술 사상을 보다 명확히 하고 나아가 본 발명이 속하는 분야에서 평균적인 지식을 가진 당업자에게 본 발명의 기술 사상이 충분히 전달될 수 있도록 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명의 특허청구범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되는 것으로 해석되어서는 안 될 것이다. 한편, 하기 실시예와 함께 제시된 도면은 명확한 설명을 위해서 다소 간략화 되거나 과장된 것이며, 도면상에 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The objects, features and effects of the present invention described above will be readily understood through embodiments related to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be applied and modified in various forms. Rather, the following embodiments are provided so that the technical spirit disclosed by the present invention more clearly, and furthermore, the technical spirit of the present invention can be sufficiently delivered to those skilled in the art having ordinary knowledge in the field to which the present invention belongs. Therefore, the claims of the present invention should not be construed as limited by the embodiments described below. On the other hand, the drawings presented in conjunction with the following examples are somewhat simplified or exaggerated for clarity, the same reference numerals in the drawings represent the same components.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 배치소둔로의 단면도이다. 1 is a cross-sectional view of a batch annealing furnace according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 배치소둔로(100)는 그 내부에 다단으로 적층된 코일(CL)을 소둔하는 장치로, 본 발명의 실시예에서는 상기 배치소둔로(100)는 타이타늄 및 타이타늄 합금을 포함하는 코일(CL)을 소둔하는 데 사용될 수 있다. 상기 배치소둔로(100)의 구조를 설명하면 다음과 같다. Referring to FIG. 1, the batch annealing furnace 100 is an apparatus for annealing coils CL stacked in multiple stages therein. In an embodiment of the present invention, the batch annealing furnace 100 includes titanium and titanium alloys. Can be used to anneal the coil (CL). The structure of the batch annealing furnace 100 is as follows.

상기 배치소둔로(100)의 하부에는 고정베이스(1)가 구비되고, 상기 고정베이스(1) 위에는 코일(CL)의 하중을 지지하는 로드플레이트(30)가 구비된다. 상기 로드플레이트(30) 위에는 다단으로 코일적재공간이 정의되고, 상기 코일적재공간에 코일(CL)이 적재된다. 또한, 상기 코일(CL)이 적층된 사이에는 관통홀이 형성된 컨벡팅 플레이트(25)가 배치되어 열 대류의 흐름을 향상시킨다. A fixed base 1 is provided below the batch annealing path 100, and a load plate 30 supporting the load of the coil CL is provided on the fixed base 1. The coil loading space is defined in multiple stages on the road plate 30, and the coil CL is loaded in the coil loading space. In addition, a convection plate 25 having a through hole is disposed between the coils CL to improve the flow of thermal convection.

챔버(5)는 그 내부에 상기 코일(CL)을 수용하고, 상기 챔버(5)의 외측에는 퍼니스커버(7)가 설치된다. 메인 가열장치(20)는 상기 코일(CL)을 소둔하는 열을 발생시키고, 상기 메인 가열장치(20)는 상기 챔버(5)의 벽에 인접하게 구비되어 상기 코일(CL)의 내측(S1) 보다는 상기 코일(CL)의 외측(S2)에 보다 인접하게 배치된다. The chamber 5 accommodates the coil CL therein, and a furnace cover 7 is installed outside the chamber 5. The main heating device 20 generates heat for annealing the coil CL, and the main heating device 20 is provided adjacent to the wall of the chamber 5 to form an inner side S1 of the coil CL. Rather, it is disposed closer to the outer side S2 of the coil CL.

또한, 상기 챔버(5) 내부에서 열 대류의 흐름이 향상되도록 회전 원동기(11)에 의해 구동되는 팬(10)이 상기 로드플레이트(30)의 하부에 배치되고, 상기 퍼니스커버(7)의 상부를 커버하는 퍼니스연통(9)이 배기연통(미도시)과 연결된다. In addition, a fan 10 driven by the rotary prime mover 11 is disposed under the load plate 30 so that the flow of heat convection in the chamber 5 is improved, and an upper portion of the furnace cover 7 is provided. Furnace communication (9) covering the is connected to the exhaust communication (not shown).

한편, 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 배치소둔로(100)는 보조가열장치(80)를 포함한다. 상기 보조가열장치(80)는 지지대(60), 가열부재(70) 및 열순환부(50)를 포함한다. On the other hand, according to the embodiment of the present invention, the batch annealing furnace 100 includes an auxiliary heating device (80). The auxiliary heating device 80 includes a support 60, a heating member 70 and the heat circulation (50).

상기 지지대(60)는 상기 다단으로 적층된 코일(CL)을 사이에 두고 상기 메인 가열장치(20)와 마주하고, 상기 지지대(60)는 상기 챔버(5)의 높이 방향, 즉 코일(CL)이 다단으로 적재된 방향으로 연장되어 상기 코일(CL)의 내측(S1)과 이격되어 배치된다. 또한, 상기 열순환부(50)는 그 내부를 관통하는 적어도 하나의 개구부를 갖고, 상기 지지대(60)의 상 단부 위에 구비되어 상기 코일적재공간에 적재된 코일(CL)을 커버한다. 또한, 상기 가열부재(70)는 상기 지지대(60)에 구비되어 상기 코일(CL)을 소둔하는 열을 발생시킨다. The support 60 faces the main heating device 20 with the multi-stage coils CL interposed therebetween, and the support 60 is in the height direction of the chamber 5, that is, the coils CL. It extends in this stacked direction and is spaced apart from the inner side S1 of the coil CL. In addition, the heat circulation part 50 has at least one opening penetrating the inside thereof, and is provided on the upper end of the support 60 to cover the coil CL loaded in the coil loading space. In addition, the heating member 70 is provided on the support 60 to generate heat for annealing the coil CL.

상술한 상기 보조가열장치(80)의 구성에 따르면, 상기 메인 가열장치(20)가 상기 코일(CL)의 내측(S1) 보다는 외측(S2)에 보다 인접하게 배치된다면, 상기 보조가열장치(80)의 상기 가열부재(70)는 상기 코일(CL)의 외측(S2) 보다는 내측(S1)에 보다 인접하게 배치된다. According to the configuration of the auxiliary heating device 80 described above, if the main heating device 20 is disposed closer to the outer side (S2) than the inner side (S1) of the coil (CL), the auxiliary heating device (80) The heating member 70 of) is disposed closer to the inner side S1 than to the outer side S2 of the coil CL.

한편, 상기 챔버(5)의 내부가 진공분위기인 경우에, 상기 메인 가열장치(20) 및 상기 보조 가열장치(80)로부터 발생되는 열은 복사열의 형태로 상기 코일(CL) 측으로 전달된다. 따라서, 상기 메인 가열장치(20)에 의해 발생되는 복사열은 상기 코일(CL)의 내측(S1) 보다 외측(S2)으로 용이하게 전달될 수 있고, 상기 보조가열장치(80)로부터 발생되는 복사열은 상기 코일(CL)의 외측(S2) 보다는 내측(S1)으로 용이하게 전달될 수 있다. On the other hand, when the inside of the chamber 5 is a vacuum atmosphere, heat generated from the main heating device 20 and the auxiliary heating device 80 is transmitted to the coil CL side in the form of radiant heat. Therefore, the radiant heat generated by the main heating device 20 can be easily transmitted to the outer side S2 than the inner side S1 of the coil CL, and the radiant heat generated from the auxiliary heating device 80 is It may be easily transferred to the inner side S1 rather than the outer side S2 of the coil CL.

상술한 보조가열장치(80)의 구조를 도 2 및 도 3을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다. The structure of the auxiliary heating device 80 described above will be described in more detail with reference to FIGS. 2 and 3 as follows.

도 2는 도 1에 도시된 보조가열장치 및 코일의 분해 사시도이고, 도 3은 도 1에 도시된 보조가열장치의 평면도이다. FIG. 2 is an exploded perspective view of the auxiliary heating apparatus and coil illustrated in FIG. 1, and FIG. 3 is a plan view of the auxiliary heating apparatus illustrated in FIG. 1.

도 2 및 도 3을 참조하면, 보조 가열장치(80)의 지지대(60)는 중공형의 형상을 갖는다. 이에 따라, 열 대류를 이용하여 코일(CL)을 소둔하는 경우에, 열 대류는 상기 지지대(60)의 내부를 통할 수 있다. 본 발명의 실시예에서는, 코일(CL)의 내측(S1)을 균일하게 가열하기 위하여 상기 지지대(60)는 원기둥 형상을 가질 수 있다. 또한, 이 경우에, 상기 지지대(60)가 롤 형상으로 권취된 코일(CL) 내측으로 삽입되되 상기 지지대(60)가 상기 코일(CL)의 내면(S1)과 이격될 수 있도록 상기 지지대(60)의 직경(L1)은 상기 코일(CL)의 내경(L3)보다 작게 설정될 수 있고, 이에 따라, 상기 지지대(60) 및 상기 코일(CL)의 내측(S1) 사이로 열 대류가 통할 수 있다. 2 and 3, the support 60 of the auxiliary heating device 80 has a hollow shape. Accordingly, when annealing the coil CL using heat convection, the heat convection can pass through the interior of the support 60. In the embodiment of the present invention, in order to uniformly heat the inner side S1 of the coil CL, the support 60 may have a cylindrical shape. In this case, the support 60 is inserted into the coil CL wound in a roll shape, but the support 60 is spaced apart from the inner surface S1 of the coil CL. The diameter L1 of) may be set smaller than the inner diameter L3 of the coil CL. Accordingly, heat convection may pass between the support 60 and the inner side S1 of the coil CL. .

또한, 본 발명의 실시예에서는, 상기 지지대(60)의 직경(L1)은 상기 코일(CL)이 권취된 폭 길이(L2)의 20% 이상으로 설정될 수 있다. 상기 직경(L1)이 상기 폭 길이(L2)의 20% 미만으로 설정되는 경우에는, 상기 지지대(60) 상에 상기 가열부재(70)가 미 설치된 위치와 마주하는 상기 코일(CL)의 일부분이 소둔되는 효과가 저하될 수 있다. In addition, in the exemplary embodiment of the present invention, the diameter L1 of the support 60 may be set to 20% or more of the width length L2 on which the coil CL is wound. When the diameter L1 is set to less than 20% of the width length L2, a portion of the coil CL facing the position where the heating member 70 is not installed on the support 60 is The effect of annealing can be reduced.

상기 지지대(60)의 외주면에 가열부재(70)가 구비된다. 본 발명의 실시예에서는, 상기 코일(CL)의 내측(S1)을 균일하게 가열하기 위하여 상기 가열부재(70)는 상기 지지대(60)의 라운드 형상의 외주면을 따라 설치될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서는, 상기 가열부재(70)는 다수로 제공될 수 있고, 이 경우에, 챔버(도 1의 5)에 3단으로 적재된 코일(CL)의 높이에 일대일 대응하도록 상기 가열부재(70)는 제1 가열부재(71), 제2 가열부재(72) 및 제3 가열부재(73)로 구현될 수 있다. The heating member 70 is provided on the outer circumferential surface of the support 60. In the embodiment of the present invention, in order to uniformly heat the inner side S1 of the coil CL, the heating member 70 may be installed along the outer circumferential surface of the round shape of the support 60. In addition, in the embodiment of the present invention, the heating member 70 may be provided in plural, and in this case, to correspond to the height of the coil CL loaded in three stages in the chamber (5 of FIG. 1) in one-to-one correspondence. The heating member 70 may be implemented as a first heating member 71, a second heating member 72, and a third heating member 73.

또한, 상기 제1 내지 제3 가열부재들(71, 72, 73)에 일대일 대응하여 제1 내지 제3 열전대 온도계들(76, 77, 78)이 설치될 수 있고, 상기 제1 내지 제3 열전대 온도계들(76, 77, 78)에 의해 상기 제1 내지 제3 가열부재들(71, 72, 73)로부터 발생되는 열의 온도가 측정된다. In addition, first to third thermocouple thermometers 76, 77, and 78 may be installed to correspond to the first to third heating members 71, 72, and 73 one to one, and the first to third thermocouples may be installed. Temperatures of heat generated from the first to third heating members 71, 72, and 73 are measured by the thermometers 76, 77, and 78.

한편, 상기 지지대(60)의 상단부 위에는 열순환부(50)가 구비된다. 상기 열순환부(50)는 상기 지지대(60)의 중공의 위치에 대응하여 일부분이 제거된 통풍구(57)를 갖는다. 따라서, 상기 지지대(60)의 내부를 따라 이동하는 열 대류는 상기 통풍구(57)를 통해 상기 보조가열장치(80) 외부로 배출될 수 있다. On the other hand, the upper end of the support 60 is provided with a thermal cycle (50). The heat circulation part 50 has a vent hole 57 in which a part is removed in correspondence with the hollow position of the support 60. Therefore, the heat convection moving along the inside of the support 60 may be discharged to the outside of the auxiliary heating device 80 through the ventilation hole 57.

또한, 상기 열순환부(50)는 평면상에서 그 테두리가 원형인 플레이트 형상을 갖고, 상기 열순환부(50)에는 다수의 개구부들(51)이 형성된다. 따라서, 챔버(도 1의 5) 내부를 흐르는 열 대류는 상기 개구부들(51)을 통해 상기 열순환부(50) 하부에 위치하는 코일(CL) 측으로 제공되어 코일(CL)을 소둔시키는 효율을 향상시킬 수 있다. In addition, the thermocycling unit 50 has a plate shape having a circular border on a plane, and a plurality of openings 51 are formed in the thermocycling unit 50. Therefore, heat convection flowing in the chamber (5 of FIG. 1) is provided to the coil CL located under the heat circulation part 50 through the openings 51 to anneal the coil CL. Can be improved.

한편, 배치소둔로(도 1의 100)의 챔버(도 1의 5)가 진공 분위기인 경우에, 상기 챔버 내에서 열을 전달시키는 매개체가 없으므로, 복사열의 형태로 상기 코일(CL) 측으로 열이 전달되어 상기 코일(CL)이 소둔된다. 따라서, 일반적으로 배치소둔로의 가열장치를 상기 챔버의 벽 측에만 설치하는 경우에 상기 코일(CL)의 내측(S1) 보다 외측(S2) 측으로 더 많은 복사열이 제공되나, 본 발명의 실시예와 같이, 상기 챔버의 벽에 인접하여 메인 가열장치(도 1의 20)를 설치함과 동시에 상기 챔버의 내부에 가열부재(70)를 갖는 보조 가열장치(80)를 설치하는 경우에 상기 코일(CL)의 내측(S1) 및 외측(S2)에 균일하게 복사열이 전달될 수 있다. 따라서, 코일(CL)의 내측(S1) 및 외측(S2)이 소둔되는 온도의 편차가 감소하여, 내측(S1) 및 외측(S2) 구분 없이 전체적으로 코일(CL)의 결정립의 크기가 균일해질 수 있고, 내측(S1) 및 외측(S2)의 항복강도차이 편차가 감소되어 코일(CL)의 품질이 향상될 수 있다. On the other hand, when the chamber (5 in FIG. 1) of the batch annealing furnace (100 in FIG. 1) is in a vacuum atmosphere, since no medium transfers heat in the chamber, heat is transferred to the coil CL in the form of radiant heat. The coil CL is annealed. Therefore, in general, when the heating apparatus of the batch annealing furnace is installed only on the wall side of the chamber, more radiant heat is provided to the outer side (S2) than the inner side (S1) of the coil (CL). Similarly, in the case of installing an auxiliary heating device 80 having a heating member 70 inside the chamber at the same time as installing the main heating device (20 in FIG. 1) adjacent to the wall of the chamber, the coil CL Radiation heat may be uniformly transmitted to the inner side (S1) and the outer side (S2) of. Therefore, the deviation of the temperature at which the inner side S1 and the outer side S2 of the coil CL are annealed is reduced, so that the size of the crystal grains of the coil CL as a whole can be uniform without distinguishing the inner side S1 and the outer side S2. In addition, the variation in yield strength difference between the inner side S1 and the outer side S2 is reduced, so that the quality of the coil CL can be improved.

또한, 상기 챔버에 불활성 가스를 제공하여 열 대류를 이용하여 상기 코일(CL)을 소둔하는 경우에도, 상기 메인 가열장치 및 상기 보조 가열장치(80)의 가열부재(70)로부터 발생되는 열에 의해 발생된 열 대류는 상기 코일(CL)의 내측(S1) 및 외측(S2)을 균일하게 소둔할 수 있다. In addition, even when an inert gas is provided to the chamber to anneal the coil CL by thermal convection, it is generated by heat generated from the heating member 70 of the main heating device and the auxiliary heating device 80. The heat convection thus obtained can uniformly anneal the inner side S1 and the outer side S2 of the coil CL.

도 4는 도 1에 도시된 배치소둔로를 이용하여 코일을 소둔하는 방법을 나타내는 순서도이다.4 is a flowchart illustrating a method of annealing a coil using the batch annealing furnace illustrated in FIG. 1.

도 1 및 도 4를 참조하여 본 발명에 따른 배치소둔로를 이용하여 코일을 소둔하는 방법은 다음과 같다. The method of annealing the coil by using the batch annealing furnace according to the present invention with reference to FIGS. 1 and 4 is as follows.

우선, 배치소둔로(100)의 챔버(5)의 내부에 코일(CL)을 장입하고(S10), 그 이후에, 상기 챔버(5)의 내부를 진공 분위기로 조성한다(S20). 본 발명의 실시예에서는, 상기 챔버(5)의 내부 압력은 대략적으로 1ⅹ10-4 Torr 이하로 설정될 수 있다. First, the coil CL is charged into the chamber 5 of the batch annealing furnace 100 (S10), and thereafter, the inside of the chamber 5 is formed in a vacuum atmosphere (S20). In the embodiment of the present invention, the internal pressure of the chamber 5 may be set to approximately 1ⅹ10 -4 Torr or less.

그 이후에, 메인 가열장치(20)와 보조가열장치(80)의 가열부재(70)를 이용하여 상기 코일(CL)의 내측(S1) 및 외측(S2)을 가열하여, 진공분위기에서 복사열로 상기 코일(CL)을 제1차 소둔한다(S30). 상기 제1 차 소둔은 진공 분위기에서 진행되므로, 상기 코일(CL) 측에 복사열 형태로 열이 제공되어 상기 코일(CL)이 소둔된다. 따라서, 상기 메인 가열장치(20)로부터 발생되는 복사열은 주로 상기 코일(CL)의 외측(S2) 측으로 제공되고, 상기 가열부재(70)로부터 발생되는 복사열은 주로 상기 코일(CL)의 내측(S1) 측으로 제공되어 상기 코일(CL)의 내측(S1) 및 외측(S2)이 균일하게 가열될 수 있다. Subsequently, the inner side S1 and the outer side S2 of the coil CL are heated by using the heating member 70 of the main heating device 20 and the auxiliary heating device 80, and then, the vacuum atmosphere is radiated. The coil CL is first annealed (S30). Since the first annealing proceeds in a vacuum atmosphere, heat is provided to the coil CL in the form of radiant heat, and the coil CL is annealed. Accordingly, radiant heat generated from the main heating device 20 is mainly provided to the outer side S2 of the coil CL, and radiant heat generated from the heating member 70 is mainly inner side S1 of the coil CL. The inner side S1 and the outer side S2 of the coil CL may be uniformly heated.

한편, 상기 제1 차 소둔은 상기 코일(CL)의 표면에 잔류하는 불순물을 기화시켜 제거하는 목적으로 진행될 수 있다. 본 발명의 실시예에서는, 상기 제1 차 소둔 단계에서 상기 코일(CL)은 약 150℃ 이상 상기 코일(CL)의 재결정이 시작되는 온도인 약 500℃ 이하로 소둔될 수 있다. 또한, 상기 제1 차 소둔 단계는 약 3시간 내지 약 6시간 동안 진행될 수 있고, 그 이유는, 소둔 시간이 3시간 미만인 경우에 상술한 소둔 온도에 도달하지 못할 수 있고, 일반적으로 코일(CL)을 6시간 동안 소둔하는 경우에 코일(CL)의 불순물은 거의 제거될 수 있기 때문이다. Meanwhile, the first annealing may be performed for the purpose of vaporizing and removing impurities remaining on the surface of the coil CL. In an embodiment of the present invention, in the first annealing step, the coil CL may be annealed to about 500 ° C. or less, which is a temperature at which recrystallization of the coil CL is about 150 ° C. or more. In addition, the first annealing step may be performed for about 3 hours to about 6 hours, because the annealing temperature may not be reached when the annealing time is less than 3 hours, and generally the coil CL This is because impurities in the coil CL can be almost removed in the case of annealing for 6 hours.

상기 제1 차 소둔이 완료된 이후에, 챔버(5) 내 진공분위기를 해제하고(S40), 챔버(5) 내 압력을 약 700Torr 내지 약 760Torr로 유지한다. 상기 챔버(5) 내 압력이 700Torr 미만인 경우에 챔버(5) 외부의 대기가 상기 챔버(5) 내부로 유입되어 코일(CL)의 산화를 유발시킬 수 있고, 상기 챔버(5) 내 압력이 760Torr를 초과하는 경우에 챔버(5) 내부의 압력이 외부보다 높아 안전사고를 유발시킬 수 있다. After the first annealing is completed, the vacuum atmosphere in the chamber 5 is released (S40), and the pressure in the chamber 5 is maintained at about 700 Torr to about 760 Torr. When the pressure in the chamber 5 is less than 700 Torr, the atmosphere outside the chamber 5 may flow into the chamber 5 to cause oxidation of the coil CL, and the pressure in the chamber 5 is 760 Torr. In the case of exceeding the pressure inside the chamber 5 is higher than the outside may cause a safety accident.

그 이후에, 챔버(5) 내에 아르곤가스와 같은 불활성 가스를 제공하고(S50), 메인 가열장치(20) 및 보조가열장치(80)의 가열부재(70)를 이용하여 코일(CL)의 내측(S1) 및 외측(S2)을 가열하여, 불활성가스에 의한 열 대류를 이용하여 상기 코일(CL)을 소정 시간 동안 제2차 소둔한 후(S60), 약 300℃로 냉각한다(S70). Thereafter, an inert gas such as argon gas is provided in the chamber 5 (S50), and the inner side of the coil CL using the heating member 70 of the main heating device 20 and the auxiliary heating device 80. (S1) and the outer side (S2) are heated, and after the second annealing of the coil (CL) for a predetermined time using heat convection by an inert gas (S60), it is cooled to about 300 ℃ (S70).

상기 제2 차 소둔은 불활성 가스 분위기에서 진행되므로, 열 대류에 의해 상기 코일(CL) 측에 열이 제공된다. 또한, 상기 제1 차 소둔과 마찬가지로, 상기 제2 차 소둔 시에도 상기 메인가열장치(20) 및 상기 가열부재(70)로부터 발생되는 열 대류에 의해 상기 코일(CL)의 내측(S1) 및 외측(S2)이 균일하게 가열되어 상기 코일(CL)이 소둔된다. Since the second annealing proceeds in an inert gas atmosphere, heat is provided to the coil CL side by thermal convection. In addition, similarly to the first annealing, the inner side S1 and the outer side of the coil CL by heat convection generated from the main heating device 20 and the heating member 70 also during the second annealing. S2 is uniformly heated to anneal the coil CL.

상술한 본 발명의 배치소둔로 및 이를 이용하여 코일을 소둔하는 경우에 발생되는 효과를 아래 표 1을 참조하여 설명하면 다음과 같다. The above-described batch annealing furnace of the present invention and effects produced when annealing coils using the same will be described with reference to Table 1 below.

구분division 코일 내측의
템퍼컬러 발생 여부
Inside the coil
Temper color occurs
코일 외측의 템퍼컬러 발생 여부Temper color outside coil 코일 내측 및 외측 간의 온도 차이(℃)Temperature difference between the inside and outside of the coil (℃) 코일 내측 및 외측에서의 결정립도 차이(micron)Grain size difference (micron) inside and outside the coil 코일 내측 및 외측에서의 항복강도 차이(Mpa)Yield strength difference (Mpa) inside and outside the coil
본 발명
실시예
Invention
Example
미발생Not occurring 미발생Not occurring 5050 0.30.3 77
비교예1Comparative Example 1 발생Occur 미발생Not occurring 100100 33 3030 비교예2Comparative Example 2 발생Occur 발생Occur 7070 1.51.5 1515

위의 표 1의 본 발명의 실시예에에서는, 앞서 도 1 내지 도 4들을 참조하여 설명된 배치소둔로(도 1의 100) 및 이를 이용하여 0.5mm의 두께 및 1219mm의 폭을 갖는 공업용 순 타이타늄(commercially pure titanium) 스트립의 코일을 소둔하여 얻은 코일의 물성을 나타낸다. 또한, 표 1의 본 발명의 실시예에서는, 제1차 소둔 시 진공분위기에서 500℃로 6시간 동안 코일을 소둔하였고, 제2 차 소둔 시 불활성가스 분위기에서 650℃로 10시간 동안 코일을 소둔하였다. In the embodiment of the present invention of Table 1 above, the batch annealing furnace (100 of FIG. 1) described above with reference to FIGS. 1 to 4 and industrial pure titanium having a thickness of 0.5 mm and a width of 1219 mm using the same. (commercially pure titanium) shows the physical properties of the coil obtained by annealing the coil of the strip. In addition, in the embodiment of the present invention of Table 1, annealing the coil for 6 hours at 500 ℃ in the vacuum atmosphere during the first annealing, annealing for 10 hours at 650 ℃ in an inert gas atmosphere during the second annealing. .

또한, 표 1의 비교예 1에서는, 앞서 도 1 내지 도 4들을 참조하여 설명된 보조가열장치(도 1의 80)가 설치되지 않은 배치소둔로를 이용하였고, 그 외에 테스트에 사용된 코일 및 소둔 조건은 본 발명의 실시예와 동일하다. In addition, in Comparative Example 1 of Table 1, a batch annealing furnace in which the auxiliary heating device (80 in FIG. 1) described above with reference to FIGS. 1 to 4 was used was used, and the coils and annealing used in the test were also used. The conditions are the same as in the embodiment of the present invention.

또한, 표 1의 비교예 2에서는, 앞서 도 1 내지 도 4들을 참조하여 설명된 보조가열장치(도 1의 80)가 설치되지 않은 배치소둔로를 이용하였고, 테스트에 사용된 코일은 본 발명의 실시예와 동일하되, 제1 및 제2 차 소둔 시 각각 챔버 내를 1ⅹ10-4 Torr 이하로 감압한 후, 약 700torr로 아르곤가스를 챔버 내에 취입하여 코일을 소둔하였다. In addition, in Comparative Example 2 of Table 1, a batch annealing furnace in which the auxiliary heating device (80 of FIG. 1) described above with reference to FIGS. 1 to 4 was used was used, and the coil used in the test was a In the same manner as in Example, the first and the second annealing were respectively reduced in pressure within the chamber to 1 × 10 -4 Torr or less, and then, the argon gas was blown into the chamber at about 700 torr to anneal the coil.

그 결과, 본 발명의 실시예에서는, 코일 내측 및 외측에 템퍼컬러(temper color)가 발생되지 않아 코일의 전체적인 표면품질이 우수하였으나, 비교예 1 및 비교예 2 각각에서는 코일 내측 및 외측 중 적어도 어느 하나에 템퍼컬러가 발생되어 본 발명의 실시예보다는 코일의 표면품질이 저하됨을 알 수 있다. As a result, in the embodiment of the present invention, the temper color was not generated inside and outside the coil, so that the overall surface quality of the coil was excellent, but in Comparative Example 1 and Comparative Example 2, at least any of the inside and outside of the coil Temper color is generated in one, it can be seen that the surface quality of the coil is lower than the embodiment of the present invention.

또한, 비교예 1 및 2들에서의 코일 내측 및 외측에서의 결정립도 차이는 3um 내지 1.5um이나, 본 발명의 실시예에 따르면 코일 내측 및 외측에서의 결정립도 차이는 0.3um에 불과하다. 또한, 비교예 1 및 2들에서의 코일 내측 및 외측에서의 항복강도 차이는 15MPa 내지 30MPa이나, 본 발명의 실시예에 따르면 코일 내측 및 외측에서의 항복강도 차이는 7MPa에 불과하다. Further, in Comparative Examples 1 and 2, the difference in grain size inside and outside the coil is 3 μm to 1.5 μm, but according to the embodiment of the present invention, the difference in grain size inside and outside the coil is only 0.3 μm. In addition, in Comparative Examples 1 and 2, the yield strength difference between the inside and the outside of the coil is 15 MPa to 30 MPa, but according to the embodiment of the present invention, the difference in yield strength between the inside and the outside of the coil is only 7 MPa.

즉, 본 발명의 실시예에서는 코일의 내측 및 외측이 소둔되는 온도 차이가 50℃ 미만이나, 비교예 1 및 비교예 2에서는 코일의 내측 및 외측이 소둔되는 온도 차이가 최소 50℃ 최대 100℃까지 발생되는 것에 따라서 표 1의 결과가 발생되는 것을 알 수 있고, 이에 따라 본 발명의 실시예에서는 코일의 내측 및 외측의 재질적 특성의 편차를 큰 폭으로 감소시켜 코일의 품질을 향상시킬 수 있음을 알 수 있다. That is, in the embodiment of the present invention, the temperature difference at which the inside and the outside of the coil are annealed is less than 50 ° C. In Comparative Examples 1 and 2, the temperature difference at which the inside and the outside of the coil is annealed is at least 50 ° C and up to 100 ° C. It can be seen that the results shown in Table 1 according to the generation, according to the embodiment of the present invention can greatly improve the quality of the coil by greatly reducing the variation in the material characteristics of the inner and outer coils Able to know.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 배치소둔로의 단면도이다. 보다 상세하게는, 도 5는, 코일을 다단으로 적재하는 배치소둔로(도 1의 100) 외에, 병렬식 배치소둔로(101)에 도 1 내지 도 3들을 참조하여 설명된 보조가열장치(도 1의 80)가 적용된 것을 나타낸다. 한편, 도 5를 설명함에 있어서, 앞서 도 1 내지 도 3들을 참조하여 설명된 구성요소들에 대해서는 도면부호를 병기하고, 상기 구성요소들에 대한 중복된 설명은 생략된다. 5 is a cross-sectional view of a batch annealing furnace according to another embodiment of the present invention. More specifically, FIG. 5 is an auxiliary heating apparatus described with reference to FIGS. 1 to 3 in a parallel batch annealing furnace 101 in addition to a batch annealing furnace (100 in FIG. 1) for stacking coils in multiple stages (FIG. 1 of 80) is applied. Meanwhile, in describing FIG. 5, components described above with reference to FIGS. 1 to 3 are denoted by reference numerals, and redundant descriptions of the components are omitted.

도 5를 참조하면, 병렬식 배치소둔로(101)의 하부에는 고정베이스(1)가 구비되고, 상기 고정베이스(1) 위에는 코일(CL)의 하중을 지지하는 로드플레이트(35)가 구비된다. 상기 로드플레이트(35) 위에는 코일(CL)이 1단으로 3열 병렬로 배치된다. Referring to FIG. 5, a fixed base 1 is provided below the parallel batch annealing furnace 101, and a load plate 35 supporting the load of the coil CL is provided on the fixed base 1. . On the road plate 35, coils CL are arranged in parallel in three rows in one stage.

상기 로드플레이트(35)의 하부에는 가스 공급관(45)이 구비되어, 상기 가스 공급관(45)을 통해 상기 챔버(5) 측으로 아르곤가스와 같은 불활성가스가 제공될 수 있다. 또한, 상기 챔버(5)의 상단부에는 배기팬(90)이 구비되어, 상기 배기팬(90)을 통해 상기 챔버(5) 내부로 제공된 불활성가스가 외부로 배기될 수 있다. A gas supply pipe 45 is provided below the road plate 35, and an inert gas such as argon gas may be provided to the chamber 5 through the gas supply pipe 45. In addition, the upper end of the chamber 5 is provided with an exhaust fan 90, the inert gas provided into the chamber 5 through the exhaust fan 90 may be exhausted to the outside.

또한, 메인 가열장치(20)는 다수로 제공되어 챔버(5)의 내벽에 배치되고, 도 5에 도시된 메일 가열장치(20) 외에도, 상기 메인 가열장치(20)는 코일(CL)의 전면부 및 후면부와 마주하도록 챔버(5)의 내벽에 배치될 수 있다. 도 5에 도시되는 본 발명의 실시예에서는, 상기 메인 가열장치(20)는 외부로부터 전력을 제공받아 열을 발생시키는 전기 발열체로 구현될 수 있다. In addition, the main heater 20 is provided in plurality and disposed on the inner wall of the chamber 5, and in addition to the mail heater 20 shown in FIG. 5, the main heater 20 has a front surface of the coil CL. It may be arranged on the inner wall of the chamber 5 to face the part and the rear part. In the embodiment of the present invention shown in Figure 5, the main heating device 20 may be implemented as an electric heating element for generating heat by receiving power from the outside.

한편, 상술한 구조를 갖는 상기 병렬식 배치소둔로(101)에는 코일(CL)이 1단으로 3열 병렬로 총 3개가 배치되므로, 보조가열장치(80) 또한 3개의 코일(CL)과 일대일 대응하도록 총 3개가 배치된다. On the other hand, in the parallel batch annealing furnace 101 having the above-described structure, since a total of three coils CL are arranged in parallel in three rows in one stage, the auxiliary heating device 80 is also one-to-one with three coils CL. A total of three are arranged to correspond.

상기 보조가열장치(80)는 도 2에서 설명된 바와 같이 상측으로부터 하측으로 제1 내지 제3 가열부재들(도 2의 71, 72 및 73)이 순차적으로 배치된다. 이에 따라, 상기 챔버(5) 내부가 진공분위기인 경우에, 상기 메인 가열장치(20)로부터 발생되는 복사열에 의해 상기 코일(CL)의 외측(S2)이 균일하게 가열되고, 상기 제1 내지 제3 가열부재들로부터 발생되는 복사열에 의해 상기 코일(CL)의 내측(S1)의 상단부, 중앙부, 및 하단부가 균일하게 가열될 수 있다. In the auxiliary heating device 80, first to third heating members 71, 72 and 73 of FIG. 2 are sequentially disposed from the upper side to the lower side as described in FIG. Accordingly, when the inside of the chamber 5 is a vacuum atmosphere, the outer side S2 of the coil CL is uniformly heated by the radiant heat generated from the main heating device 20, and the first to the first 3, the upper end, the center, and the lower end of the inner side S1 of the coil CL may be uniformly heated by the radiant heat generated from the heating members.

이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. You will understand.

CL: 코일 S1: 내측
S2: 외측 50: 열순환부
60: 지지대 70: 가열부재
80: 보조 가열장치 20: 메인 가열장치
100: 배치소둔로 101: 병렬식 배치소둔로
CL: coil S1: inner
S2: outer side 50: heat circulation part
60: support 70: heating member
80: auxiliary heater 20: main heater
100: batch annealing furnace 101: parallel batch annealing furnace

Claims (12)

챔버;
상기 챔버에 구비되어 열을 발생하는 메인 가열장치; 및
상기 챔버의 내부에서 상기 메인 가열장치보다 상기 챔버의 벽과 이격되어 열을 발생하는 보조 가열장치를 포함하고,
상기 보조 가열장치는,
상기 챔버의 바닥으로부터 상기 챔버의 높이 방향으로 연장되는 지지대;
상기 지지대에 구비되는 가열부재; 및
적어도 하나의 개구부가 형성되어 상기 지지대의 상 단부 위에 구비되는 열순환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 배치소둔로.
chamber;
A main heating device provided in the chamber to generate heat; And
An auxiliary heating device configured to generate heat from the wall of the chamber rather than the main heating device in the chamber,
The auxiliary heating device,
A support extending from the bottom of the chamber in a height direction of the chamber;
A heating member provided on the support; And
Batch annealing furnace characterized in that at least one opening is formed to include a heat circulation portion provided on the upper end of the support.
제 1 항에 있어서, 상기 챔버의 내부에는 상기 챔버의 벽 및 상기 지지대 사이에 코일이 적재되는 코일적재공간이 정의되고, 상기 열순환부는 상기 코일적재공간을 커버하는 것을 특징으로 하는 배치소둔로. The batch annealing furnace according to claim 1, wherein a coil loading space in which the coil is mounted between the wall of the chamber and the support is defined in the chamber, and the heat circulation part covers the coil loading space. 제 2 항에 있어서, 상기 코일적재공간에 권취된 코일이 적재되고, 상기 메인가열장치는 상기 권취된 코일의 내측보다 외측에 인접하고, 상기 가열부재는 상기 권취된 코일의 외측보다 내측에 인접한 것을 특징으로 하는 배치소둔로. According to claim 2, wherein the coil is wound in the coil loading space, the main heating device is adjacent to the outer side of the wound coil, the heating member is located closer to the inner side than the outer side of the wound coil. Characterized by batch annealing furnace. 제 2 항에 있어서, 상기 지지대는 상기 코일적재공간과 이격되는 것을 특징으로 하는 배치소둔로. 3. The batch annealing furnace according to claim 2, wherein the support is spaced apart from the coil loading space. 제 4 항에 있어서, 상기 지지대는 중공 형의 원기둥 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 배치소둔로. The batch annealing furnace according to claim 4, wherein the support has a hollow cylindrical shape. 제 5 항에 있어서, 상기 지지대의 외경은 상기 코일이 감겨진 폭 길이의 20% 이상인 것을 특징으로 하는 배치소둔로. 6. The batch annealing furnace according to claim 5, wherein an outer diameter of the support is at least 20% of the width of the coil wound. 제 5 항에 있어서, 상기 가열부재는 상기 지지대의 외주면을 따라 구비되는 것을 특징으로 하는 배치소둔로. 6. The batch annealing furnace according to claim 5, wherein the heating member is provided along an outer circumferential surface of the support. 제 5 항에 있어서, 상기 열순환부에는 상기 지지대의 중공의 위치에 대응하는 부분이 제거되어 통풍구가 형성되고, 평면상에서 상기 열순환부는 그 테두리가 원형인 플레이트 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 배치소둔로. 6. The arrangement annealing according to claim 5, wherein a portion corresponding to the hollow position of the support is removed from the heat circulation portion to form a vent hole, and the heat circulation portion has a plate shape having a circular edge on a plane. in. 제 2 항에 있어서, 상기 코일은 타이타늄 및 타이타늄 합금을 포함하는 것을 특징으로 하는 배치소둔로. 3. The batch annealing furnace according to claim 2, wherein the coil comprises titanium and a titanium alloy. 배치소둔로의 챔버 내에 코일을 제공하는 단계;
상기 챔버 내에 진공 분위기를 조성하는 단계;
상기 코일의 내측을 상기 코일의 외측과 별도로 가열하여 상기 코일을 상기 진공분위기에서 제1차 소둔하는 단계;
상기 챔버 내의 진공 분위기를 해제하는 단계;
상기 챔버 내에 불활성 가스를 제공하는 단계; 및
상기 코일을 가열하여 제2차 소둔하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 배치소둔로를 이용하여 코일을 소둔하는 방법.
Providing a coil in a chamber of a batch annealing furnace;
Creating a vacuum atmosphere in the chamber;
Heating the inner side of the coil separately from the outer side of the coil to firstly anneal the coil in the vacuum atmosphere;
Releasing a vacuum atmosphere in the chamber;
Providing an inert gas into the chamber; And
And annealing the coil by heating the coil, wherein the coil is annealed using a batch annealing furnace.
제 10 항에 있어서, 상기 제1차 소둔 단계에서 상기 코일 내측과 상기 코일 외측을 가열하는 가열장치들이 별도로 제공되는 것을 특징으로 하는 배치소둔로를 이용하여 코일을 소둔하는 방법. 12. The method of claim 10, wherein in the first annealing step, heating apparatuses for heating the inner side of the coil and the outer side of the coil are separately provided. 제 10 항에 있어서, 상기 배치소둔로에 타이타늄 및 타이타늄 합금을 포함하는 코일이 제공되는 것을 특징으로 하는 배치소둔로를 이용하여 코일을 소둔하는 방법. The method of claim 10, wherein the batch annealing furnace is provided with a coil including titanium and a titanium alloy.
KR1020110076669A 2011-08-01 2011-08-01 Batch annealing furnace and method of annealing coil using the same KR101230091B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110076669A KR101230091B1 (en) 2011-08-01 2011-08-01 Batch annealing furnace and method of annealing coil using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110076669A KR101230091B1 (en) 2011-08-01 2011-08-01 Batch annealing furnace and method of annealing coil using the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101230091B1 true KR101230091B1 (en) 2013-02-05

Family

ID=47898946

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110076669A KR101230091B1 (en) 2011-08-01 2011-08-01 Batch annealing furnace and method of annealing coil using the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101230091B1 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002129243A (en) 2000-10-23 2002-05-09 Nippon Steel Corp Method for heating cylindrical metal coil
JP2002194429A (en) 2000-12-26 2002-07-10 Nippon Steel Corp Heating device of metal coiled in ring or cylindrical form
JP2003342637A (en) 2002-05-29 2003-12-03 Toyo Tetsushin Kogyo Kk Process and device for magnetic field annealing of motor core

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002129243A (en) 2000-10-23 2002-05-09 Nippon Steel Corp Method for heating cylindrical metal coil
JP2002194429A (en) 2000-12-26 2002-07-10 Nippon Steel Corp Heating device of metal coiled in ring or cylindrical form
JP2003342637A (en) 2002-05-29 2003-12-03 Toyo Tetsushin Kogyo Kk Process and device for magnetic field annealing of motor core

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4458107B2 (en) Vacuum carburizing method and vacuum carburizing apparatus
JP4458079B2 (en) Vacuum carburizing equipment
CN107881490B (en) Chemical vapor deposition apparatus and use thereof
JP5721219B2 (en) Substrate processing apparatus, semiconductor device manufacturing method, and heating apparatus
JP6333126B2 (en) Magnetic annealing apparatus and magnetic annealing method
KR101230091B1 (en) Batch annealing furnace and method of annealing coil using the same
TWI512128B (en) A substrate processing apparatus and a chamber apparatus thereof
KR101950499B1 (en) Substrate thermal processing device
JP5841285B1 (en) Bell-type annealing furnace and its modification method
KR20160022719A (en) Substrate heat tretment apparatus
US20180292133A1 (en) Heat treating furnace
US20140202387A1 (en) Vertical diffusion furnace
JP7457426B2 (en) heating device
JP5998925B2 (en) Heating device
JP2011103469A (en) Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device, heating device, and heat insulating material
JP2017014592A (en) Bell type annealing furnace and method for remodeling the same
JP6358904B2 (en) Heat treatment equipment
KR20160021621A (en) Substrate heat tretment apparatus and substrate heat tretment method
JPH0855811A (en) Vertical furnace
TW202405355A (en) Heating device and heating plate
KR20140106194A (en) Heater
JP2015504476A (en) Method for heating a long object in a radiation-type heating furnace and radiation-type heating furnace
JP5892733B2 (en) Multistage heating device
JPH0122329B2 (en)
JP2007299971A (en) Heating device of semiconductor wafer

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160125

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161216

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180129

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190129

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200130

Year of fee payment: 8