KR101225263B1 - Guide device for centering filament of electron probe micro analyzer and the apparatus having the same - Google Patents

Guide device for centering filament of electron probe micro analyzer and the apparatus having the same Download PDF

Info

Publication number
KR101225263B1
KR101225263B1 KR1020110063264A KR20110063264A KR101225263B1 KR 101225263 B1 KR101225263 B1 KR 101225263B1 KR 1020110063264 A KR1020110063264 A KR 1020110063264A KR 20110063264 A KR20110063264 A KR 20110063264A KR 101225263 B1 KR101225263 B1 KR 101225263B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
filament
body portion
mounting piece
center
guide device
Prior art date
Application number
KR1020110063264A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20130002197A (en
Inventor
박경현
손지희
Original Assignee
현대제철 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 현대제철 주식회사 filed Critical 현대제철 주식회사
Priority to KR1020110063264A priority Critical patent/KR101225263B1/en
Publication of KR20130002197A publication Critical patent/KR20130002197A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101225263B1 publication Critical patent/KR101225263B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/06—Electron sources; Electron guns
    • H01J37/067—Replacing parts of guns; Mutual adjustment of electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
    • H01J37/242—Filament heating power supply or regulation circuits
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/25—Tubes for localised analysis using electron or ion beams
    • H01J2237/2505—Tubes for localised analysis using electron or ion beams characterised by their application
    • H01J2237/2555—Microprobes, i.e. particle-induced X-ray spectrometry

Abstract

사용자 편의성 및 측정 정밀도를 개선할 수 있는 EPMA 분석기 필라멘트 센터 가이드 장치에 관하여 개시한다.
본 발명인 EPMA 분석기 필라멘트 센터 가이드 장치는, 필라멘트 장착편의 상측으로 이격 배치되는 몸체부와, 몸체부의 상면으로 무늬 형성되어, 몸체부의 중심과 필라멘트 장착편의 필라멘트 중심의 위치를 센터링 조절할 수 있도록 형성되는 눈금부와, 몸체부로부터 필라멘트 장착편까지 연결 지지되는 지지부를 포함한다. An EPMA analyzer filament center guide device that can improve user convenience and measurement accuracy is disclosed.
The EPMA analyzer filament center guide device of the present invention, the body portion spaced apart from the upper side of the filament mounting piece, and is formed with a pattern on the upper surface of the body portion, the graduation portion formed so as to center the adjustment of the center of the body portion and the filament center of the filament mounting piece And a support portion connected and supported from the body portion to the filament mounting piece.

Description

ＥＰＭＡ 분석기 필라멘트 센터링 가이드 및 그 구동 장치{GUIDE DEVICE FOR CENTERING FILAMENT OF ELECTRON PROBE MICRO ANALYZER AND THE APPARATUS HAVING THE SAME}EPADA analyzer filament centering guide and its driving device {GUIDE DEVICE FOR CENTERING FILAMENT OF ELECTRON PROBE MICRO ANALYZER AND THE APPARATUS HAVING THE SAME}

본 발명은 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 및 그 구동 장치에 관한 것으로, EPMA 분석기 내의 필라멘트를 교체 장착 시, 필라멘트의 센터링 작업을 정확하고도 용이하게 수행할 수 있도록 안내해주는 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 및 그 구동 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to an EPMA analyzer filament centering guide and a driving device thereof, and to an EPMA analyzer filament centering guide and a driving device for guiding the filament centering work accurately and easily when the filament in the EPMA analyzer is replaced and mounted. It is about.

소재 내의 미량원소의 정성, 정량 및 분포를 분석하기 위하여 EPMA(Electron Probe Micro Analyzer) 분석을 실시한다.Electron Probe Micro Analyzer (EPMA) analysis is performed to analyze the qualitative, quantitative and distribution of trace elements in the material.

전자총에서 가속된 전자빔을 1마이크로미터 이하의 직경으로 초점 조정하여, 잘 연마된 시료표면에 충돌시키면, 시료를 구성하고 있는 원소들로부터 원소별로 고유한 파장을 갖는 X-선이 발생한다. 이러한 X-선을 검출기로 측정하여 시료의 화학조성을 규명하는 방법이 EPMA 분석이다.
When the electron beam accelerated by the electron gun is focused to a diameter of 1 micrometer or less and collided with a well polished sample surface, X-rays having a unique wavelength for each element are generated from the elements constituting the sample. EPMA analysis is a method of determining the chemical composition of a sample by measuring such X-rays with a detector.

본 발명의 목적은 EPMA 분석기 내에서 소모품으로 사용되는 필라멘트를 교체 장착할 경우, 필라멘트의 위치 센터링 작업을 신속하고 정확하게 수행할 수 있도록 안내해주는 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 및 그 구동 장치를 제공함에 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an EPMA analyzer filament centering guide and a driving device for guiding a filament to be quickly and accurately performed when replacing a filament used as a consumable in an EPMA analyzer.

본 발명의 사상에 따르면, 필라멘트 장착편의 상측으로 이격 배치되는 몸체부; 상기 몸체부의 상면으로 무늬 형성되어, 상기 몸체부의 중심과 필라멘트 장착편의 필라멘트 중심의 위치를 센터링 조절할 수 있도록 형성되는 눈금부; 및 상기 몸체부로부터 필라멘트 장착편까지 연결 지지되는 지지부;를 포함하는 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치를 포함한다.
According to the spirit of the present invention, the body portion spaced apart disposed above the filament mounting piece; Is formed on the upper surface of the body portion, the scale portion is formed to adjust the centering position of the center of the body portion and the filament center of the filament mounting piece; And a support part connected and supported from the body part to the filament mounting piece.

상기 몸체부는, 원판 형상인 필라멘트 장착편에 대응하여 동일하거나 또는 이보다 작은 크기로 이루어진 원판 부재인 것이 바람직하다. Preferably, the body portion is a disc member made of the same or smaller size corresponding to the filament mounting piece having a disc shape.

또한, 상기 몸체부는, 전체 영역이 투명한 소재로 형성되어, 사용자의 시선이 상측에 위치된 상기 몸체부를 관통하여 하측에 위치한 필라멘트 장착편까지 도달하도록 형성되는 구조로 이루어질 수 있다.
In addition, the body portion, the entire area may be formed of a transparent material, so that the user's gaze penetrates through the body portion located on the upper side to reach the filament mounting piece located on the lower side.

상기 눈금부는, 필라멘트 장착편의 필라멘트 중심과 수직 배치되도록 상기 몸체부의 내측 중심에 형성된 중심점; 상기 중심점으로부터 멀어지는 방향으로 설정된 간격만큼 이격 형성되는 원형 눈금; 및 상기 중심점으로부터 상기 원형 눈금까지 직경을 따라 선형으로 교차 형성된 직선형 눈금;을 포함할 수 있다.
The scale portion, the center point formed in the inner center of the body portion so as to be perpendicular to the filament center of the filament mounting piece; A circular scale spaced apart from each other by a distance set in a direction away from the center point; And a linear scale linearly formed along the diameter from the center point to the circular scale.

상기 지지부는, 필라멘트 장착편에 구비된 고정나사 삽입공과 대응하는 위치에서 상기 몸체부를 상하로 관통하여 복수개가 하향 돌출하여 연장 형성되되, 상기 몸체부를 상하로 관통하여 상기 몸체부의 하측에 위치한 필라멘트 장착편의 고정나사를 체결 및 해체하거나 또는 체결 시 고정나사의 위치를 조절할 수 있도록 내부 장공이 형성될 수 있다. The support portion is formed by extending upward and downward through the body portion at a position corresponding to the fixing screw insertion hole provided in the filament mounting piece extending downward, through the body portion up and down of the filament mounting piece located below the body portion An internal long hole may be formed to fasten and dismantle the fixing screw or to adjust the position of the fixing screw at the time of fastening.

이때, 상기 지지부는, 상기 몸체부의 중심으로부터 동일 거리 이격된 정삼각형의 각 꼭짓점마다 하나씩 형성될 수 있다. In this case, the support portion, one for each vertex of the equilateral triangle spaced the same distance from the center of the body portion may be formed.

이러한 지지부는, 상기 몸체부와 동일한 투명 소재로 형성되어 상기 몸체부와 일체로 형성되는 것이 바람직하다.
The support is preferably formed of the same transparent material as the body and is integrally formed with the body.

또한, 본 발명의 또 하나의 사상에 따르면, 필라멘트 장착편의 상측으로 이격 배치되는 몸체부; 상기 몸체부의 상면으로 무늬 형성되어, 상기 몸체부의 중심과 필라멘트 장착편의 필라멘트 중심의 위치를 센터링 조절할 수 있도록 형성되는 눈금부; 및 상기 몸체부로부터 필라멘트 장착편까지 연결 지지되는 지지부;를 포함하는 필라멘트 센터링 가이드 장치; 상기 눈금부의 중심과 필라멘트 중심의 위치가 일치하는지에 대한 화상정보를 검출하는 화상센서; 상기 화상센서로부터 검출된 화상정보를 이용하여 상기 눈금부의 중심과 필라멘트 중심 간의 오차를 판단하고 위치보정정보를 산출하는 제어부; 및 상기 제어부로부터 위치보정정보에 관한 지령을 전달받아 필라멘트 장착편의 고정나사 위치를 조절하여 고정하는 구동부;를 포함하는 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 구동 장치를 제공한다.
In addition, according to another aspect of the invention, the body portion spaced apart disposed above the filament mounting piece; Is formed on the upper surface of the body portion, the scale portion is formed to adjust the centering position of the center of the body portion and the filament center of the filament mounting piece; And a support portion connected to and supported from the body portion to the filament mounting piece; An image sensor for detecting image information on whether the center of the scale unit and the filament center coincide with each other; A controller which determines an error between the center of the scale and the center of the filament by using the image information detected by the image sensor and calculates position correction information; And a driving unit receiving a command regarding position correction information from the control unit and adjusting and fixing a fixing screw position of the filament mounting piece.

상기 제어부는, 상기 화상센서로부터 검출된 화상정보를 입력받는 화상 데이터 입력부; 상기 입력된 화상정보를 이용하여 상기 눈금부의 중심과 필라멘트 중심 간의 오차를 판단하고 위치보정정보를 연산하는 화상 데이터 연산부; 및 상기 연산된 위치보정정보에 따른 구동 지령을 전기적인 신호로 변환하여 상기 구동부에 전달하는 화상 데이터 처리부;를 포함할 수 있다.The controller may include an image data input unit configured to receive image information detected by the image sensor; An image data calculator configured to determine an error between the center of the scale unit and the center of the filament by using the input image information and calculate position correction information; And an image data processing unit converting the driving command according to the calculated position correction information into an electrical signal and transferring the driving command to the driving unit.

그리고 상기 구동부는, 고정나사의 머리 홈으로 진입하여 회전함에 따라 고정나사의 체결 및 해체를 조절하는 축 부재; 및 상기 제어부로부터 전달된 전기적인 신호를 입력받아 상기 축 부재의 축 회전은 물론, 상기 축 부재의 수평방향 병진 이송에 필요한 구동력을 제공하는 전동모터;를 포함할 수 있다.
And the drive unit, the shaft member for adjusting the fastening and disassembly of the fixing screw as it enters and rotates into the head groove of the fixing screw; And an electric motor which receives the electric signal transmitted from the control unit and provides a driving force required for the horizontal translation of the shaft member as well as the shaft rotation of the shaft member.

본 발명인 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 및 그 구동 장치에 따르면, EPMA 분석기 내에서 소모품으로써 수명이 다한 필라멘트를 교체 장착할 경우, 필라멘트의 위치 센터링 작업을 신속하고 정확하게 수행할 수 있는 효과가 있다. According to the present inventors EPMA analyzer filament centering guide and its driving device, when replacing the filament which has reached the end of its life as a consumable in the EPMA analyzer, there is an effect that can quickly and accurately perform the position centering operation of the filament.

이로 인하여, EPMA 분석기를 사용하는 연구 인력들의 수고를 덜어줄 수 있어, 사용자 편의성이 매우 향상될 수 있는 효과가 있다. Due to this, it is possible to reduce the labor of the research personnel using the EPMA analyzer, there is an effect that the user convenience can be greatly improved.

또한, 본 발명인 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 및 그 구동 장치 장치에 따르면, 필라멘트 교체 장착 시의 센터링 위치 정확도가 개선되어 EPMA 분석기의 측정 정밀도가 향상될 수 있는 효과가 있다.
In addition, according to the present invention EPMA analyzer filament centering guide and its driving device device, the accuracy of the centering position at the time of filament replacement mounting can be improved to improve the measurement accuracy of the EPMA analyzer.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치를 이용하여 필라멘트 위치 센터링 작업을 실시하는 모습을 나타낸 분리사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치를 이용하여 필라멘트 위치 센터링 작업을 실시하는 모습을 나타낸 단면구조도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 구동 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 및 그 구동 장치를 이용하여 교체 장착되는 필라멘트가 정확하게 센터링 된 경우(a)와, 그렇지 못한 경우(b)를 구분하여 해당하는 평면 상태를 도시한 도면이다. 1 is a view schematically showing an EPMA analyzer filament centering guide apparatus according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is an exploded perspective view showing the filament position centering operation using the EPMA analyzer filament centering guide device according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view showing a state of performing a filament position centering operation using the EPMA analyzer filament centering guide apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a view schematically showing an EPMA analyzer filament centering driving apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a diagram illustrating a planar state corresponding to a case in which a filament to be replaced and mounted by using the EPMA analyzer filament centering guide of the present invention and its driving device is correctly centered (a) and otherwise (b). .

본 발명의 이점 및 특성, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. Brief Description of the Drawings The advantages and features of the present invention, and how to accomplish them, will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings.

그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 의해 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. To fully disclose the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims.

또한, 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기술 등이 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있다고 판단되는 경우 그에 관한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예들에 따른 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 및 그 구동 장치에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
Hereinafter, an EPMA analyzer filament centering guide and a driving device thereof according to preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치EPMA Analyzer Filament Centering Guide Device

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a view schematically showing an EPMA analyzer filament centering guide apparatus according to an embodiment of the present invention.

이러한 도 1은 본 발명을 개념적으로 명확히 이해하기 위하여, 주요 특징되는 부분만을 분명하게 도시한 것이다. 따라서 도해의 다양한 변형이 예상되며, 여기에 도시된 특정 형상에 의해 본 발명의 범위가 제한될 필요는 없다. 1 clearly shows only the main features in order to conceptually clearly understand the present invention. Accordingly, various modifications of the drawings are contemplated, and the scope of the invention need not be limited by the specific shapes shown herein.

도 1을 참조하면, 도시된 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치는, 필라멘트 장착편의 상부에 배치되는 몸체부(110)와, 몸체부의 상면 중앙에 무늬 형성되어 사용자로 하여금 필라멘트 센터링 조절을 용이하게 할 수 있도록 구비된 눈금부(130)와, 몸체부의 하측으로 연장 형성되어 트라이포드(TRIPOD)역할을 담당하도록 구비된 지지부(120)를 포함한다.
Referring to FIG. 1, the illustrated EPMA analyzer filament centering guide device includes a body portion 110 disposed on an upper portion of the filament mounting piece, and a pattern formed at the center of the upper surface of the body portion so that the user can easily adjust the filament centering. The provided scale portion 130, and extending to the lower side of the body portion includes a support portion 120 provided to serve as a tripod (TRIPOD).

이와 같은, 본 발명의 실시예에 따른 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치의 세부 구성에 관하여는 도 2를 참조하여 구체적으로 살펴보기로 한다. Such a detailed configuration of the EPMA analyzer filament centering guide device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 2.

몸체부(110)는 필라멘트 장착편의 상측으로 이격 배치되는 부재이다. The body portion 110 is a member spaced apart from the upper side of the filament mounting piece.

여기서, 필라멘트 장착편(10)이란, 통상의 EPMA 분석기 내에서 필라멘트가 장착되는 원판 부재이다. Here, the filament mounting piece 10 is a disc member to which a filament is mounted in a normal EPMA analyzer.

필라멘트(W)는, EPMA 분석기에서 시료의 표면으로 전자빔을 조사하는 중요한 부품이다. The filament W is an important component for irradiating an electron beam to the surface of a sample in an EPMA analyzer.

이러한 필라멘트(W)는 일정한 교체 주기 또는 훼손 시 신품으로 교체 사용된다. 이때, 필라멘트(W)가 장착되는 공간을 제공하는 것이 필라멘트 장착편(10)이다. These filaments (W) are used as a new replacement in a constant replacement cycle or damage. At this time, the filament mounting piece 10 provides a space in which the filament W is mounted.

필라멘트 장착편(10)의 내측 중심 위치로 상기 필라멘트(W)는 정확하게 교체 장착되기 위해서는, 작업자의 시각을 통해 먼저 필라멘트(W)의 위치 중심을 조절한 다음, 고정나사(12)의 체결을 통해 필라멘트 장착편(10)의 분석기에 고정한다.In order to replace and mount the filament (W) accurately to the inner center position of the filament mounting piece 10, first adjust the position center of the filament (W) through the operator's sight, and then through the fastening of the fixing screw 12 Fix to the analyzer of the filament mounting piece (10).

여기서, 필라멘트(W)의 위치 중심을 조절하는 작업을 필라멘트 센터링 작업이라 하며, 본 발명에 따른 필라멘트 센터링 가이드 장치는 이러한 작업의 정확성 및 신속성을 개선하고자 안내하는 장치인 것이다.Here, the operation of adjusting the position center of the filament (W) is called a filament centering operation, the filament centering guide device according to the present invention is a device for guiding to improve the accuracy and speed of this operation.

따라서 몸체부(110)는, 도시된 바와 같이, 필라멘트 장착편(10)에 대응하여 동일하거나 또는 이보다 작은 크기로 형성되는 것이 바람직하며, 이와 동시에 필라멘트 장착편(10)의 형상과 동일 유사한 원판 형상으로 이루어질 수 있다.Therefore, the body portion 110, as shown, is preferably formed in the same or smaller size corresponding to the filament mounting piece 10, and at the same time the disk shape similar to the shape of the filament mounting piece 10 Can be made.

나아가, 본 발명의 몸체부(110)는 전체 영역이 투명한 소재로 형성될 수 있는데, 특히 상, 하부면 각각에서 평탄한 면을 가지도록 하여 빛의 굴절이 발생되지 않도록 한다. Further, the body portion 110 of the present invention may be formed of a transparent material of the entire region, in particular to have a flat surface on each of the upper and lower surfaces so that the refraction of light does not occur.

몸체부(110)에 해당되는 소재의 구체적인 예로서, 유리 또는 아크릴 등과 같은 투명한 합성수지가 이용될 수 있다. 다만, 유리의 경우, 관리 시 파손 등에 따른 주의를 요하므로, 비교적 강도가 좋은 투명 아크릴을 이용하는 것이 바람직하다. As a specific example of the material corresponding to the body portion 110, a transparent synthetic resin such as glass or acrylic may be used. However, in the case of glass, attention is required due to breakage during management, it is preferable to use a transparent acrylic having a relatively good strength.

이와 같은 재질적인 특성에 따라, 필라멘트 센터링 작업 시, 사용자의 시선이 상측에 위치한 상기 몸체부(110)를 먼저 관통한 다음, 하측에 위치한 필라멘트 장착편(특히, 필라멘트 중심)까지 도달할 수 있게 된다. 이로 하여금, 위치 정밀도가 개선될 수 있다.
According to this material property, when the filament centering operation, the user's line of sight first penetrates through the body portion 110 located on the upper side, and then reaches the filament mounting piece (particularly, the center of the filament) located on the lower side. . This can improve the position precision.

눈금부(130)는, 전술된 몸체부(110)의 상면에 무늬 형성되어 사용자로 하여금 필라멘트 센터링 작업을 보다 정확하고 용이하게 수행할 수 있도록 중심 위치 기준 기능을 제공한다. The scale 130 is formed on the upper surface of the above-described body portion 110 to provide a center position reference function so that the user can more accurately and easily perform the filament centering operation.

이러한 눈금부(130)는, 도시된 바와 같이, 눈금부의 중심, 다시 말해서 몸체부(110)의 중심에 위치한 중심점과, 상기 중심점으로부터 멀어지는 방향으로 설정된 간격만큼 이격 형성되는 원형 눈금과 직선형 눈금을 포함한다.The scale portion 130, as shown in the center of the scale portion, that is, the center point that is located in the center of the body portion 110, and includes a circular scale and a linear scale formed by a distance set in a direction away from the center point do.

중심점은, 도 2를 통해 확인할 수 있듯이 하측의 필라멘트 장착편(10)의 필라멘트(W) 중심과 수직 배치되도록 상측의 몸체부(110) 내측 중심에 형성되는 것이 바람직하다. 2, the center point is preferably formed at the inner center of the upper body part 110 so as to be perpendicular to the center of the filament W of the lower filament mounting piece 10.

중심점의 크기가 지나치게 클 경우, 몸체부(110)를 투영한 필라멘트(W)의 중심 위치를 확인하기 곤란할 수 있으며, 만일 중심점의 크기가 지나치게 작을 경우, 사용자의 시선을 통해 몸체부(110)의 중심을 확인하기 곤란하다. 따라서 이러한 경우를 모두 고려하여 중심점의 크기를 제품 설계 시 적절히 고려하는 것이 바람직하다. If the size of the center point is too large, it may be difficult to determine the center position of the filament (W) projecting the body portion 110, if the size of the center point is too small, through the eyes of the user of the body portion 110 Difficult to check the center Therefore, considering all these cases, it is desirable to properly consider the size of the center point in the product design.

원형 눈금은, 도 2를 통해 확인할 수 있듯이, 전술된 중심점으로부터 외측으로 멀어지는 방향으로 방사상으로 복수개가 형성될 수 있다. 특히, 이러한 복수개의 원형 눈금은 저마다 설정된 간격만큼 이격 형성될 수 있다. As can be seen through Figure 2, a plurality of circular graduations may be formed radially in a direction away from the above-described center point. In particular, the plurality of circular scales may be spaced apart by a set interval for each.

그리고 직선형 눈금 역시, 도 2를 통해 확인할 수 있듯이, 중심점을 경유하여 원형 눈금의 직경을 따라 선형으로 교차 형성될 수 있으며, 상호 교차된 각도는 90도로 도시되어 있으나, 이는 예시적인 것일 뿐 본 발명을 제한하지 않는다. 더 나아가, 이러한 직선형 눈금은 파선 형태로 45도 간격으로 추가 형성되어도 무방하다.And the linear scale also, as can be seen through Figure 2, can be formed to cross linearly along the diameter of the circular scale via the center point, the angle intersected is shown at 90 degrees, this is merely illustrative and the present invention Do not limit. Furthermore, the linear scale may be additionally formed at 45 degree intervals in the form of dashed lines.

이와 같은 눈금부(130)를 이용하여, 사용자의 시선은 몸체부(110)의 상측에서 투명한 몸체부(110)를 통과한 후 하측 필라멘트 장착편(10)까지 도달할 수 있으며, 정확하게 필라멘트(W)의 중심 위치가 어디에 위치하는지를 검출할 수 있다.
By using the graduation unit 130 as described above, the user's gaze can reach the lower filament mounting piece 10 after passing through the transparent body portion 110 from the upper side of the body portion 110, precisely filament (W) It is possible to detect where the center position of) is located.

지지부(120)는, 몸체부(110)로부터 필라멘트 장착편(10)까지 연결되어 지지하는 부재이다. 특히, 이러한 지지부(120)는 전술된 몸체부(110)와 별도의 조립 부품으로 구성되어 합체 이용될 수도 있으나, 바람직하게는 동일한 소재 및 일체의 연결 상태를 가지도록 하여 제작될 수 있다. The support part 120 is a member connected to and supporting the filament mounting piece 10 from the body part 110. In particular, the support 120 may be configured by using a separate assembly from the above-described body portion 110, but may be used in combination, but preferably may be manufactured to have the same material and an integrated state.

지지부(120)는 몸체부(110)와 필라멘트 장착편(10) 사이에 소정 간격이 확보될 수 있도록 상호 이격시켜주는 기능을 제공하며, 이격된 각각의 부재가 서로 평행한 위치로 유지될 수 있도록 해준다.The support part 120 provides a function of spaced apart from each other so that a predetermined gap is secured between the body part 110 and the filament mounting piece 10, and each spaced member may be maintained in a parallel position to each other. Do it.

나아가, 상기 지지부(120)는 필라멘트 장착편(10)에 구비된 고정나사 삽입공(12)과 상호 대응하는 위치에서 상기 몸체부(110)를 상하로 관통하여 복수개가 하향 돌출하여 연장 형성된다. Furthermore, the support part 120 extends downwardly through the body part 110 at a position corresponding to the fixing screw insertion hole 12 provided in the filament mounting piece 10 to protrude downward.

특히, 이러한 지지부(120)는 몸체부(110)를 상하로 관통하여, 하측의 필라멘트 장착편(10)까지 통공 형성된 내부 장공(도 3의 도면부호 120a 참조)을 구비한다.In particular, the support portion 120 has an internal long hole (see reference numeral 120a in FIG. 3) formed through the body portion 110 through the up and down, through the hole to the lower filament mounting piece 10.

지지부(120)의 기능 및 구조에 대해서는 도 3을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. The function and structure of the support unit 120 will be described in detail with reference to FIG. 3.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치를 이용하여 필라멘트 위치 센터링 작업을 실시하는 모습을 나타낸 단면구조도이다.3 is a cross-sectional view showing a state of performing a filament position centering operation using the EPMA analyzer filament centering guide apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 지지부(120)가 서로 평행하게 이격 배치된 상측의 몸체부(110)와 하측의 필라멘트 장착편(10) 사이를 지지해주는 모습을 확인할 수 있다. Referring to FIG. 3, it can be seen that the support part 120 supports a space between the upper body part 110 and the lower filament mounting piece 10 arranged in parallel to each other.

먼저, 사용자의 시각을 통해 몸체부(110)의 중심(P)과 필라멘트(W) 중심 위치가 일치하도록 센터링(C)한 다음에, 지지부(120)의 내부 장공(120a)을 통해 드라이버와 같은 축 부재(140)를 필라멘트 장착편(10)까지 삽입한다. 그리고 축 부재(140)의 선단 돌기를 필라멘트 장착편(10)의 고정나사(B)의 머리 홈에 진입시킨 다음, 고정나사 삽입공(12) 내로 고정나사(B)를 체결 진입시켜 고정한다. 이로써, 필라멘트 중심 센터링 작업이 완료될 수 있다. First, the centering (C) of the center portion (P) of the body portion 110 and the filament (W) to match the center position through the user's vision, and then through the internal hole 120a of the support portion 120, such as a driver The shaft member 140 is inserted to the filament mounting piece 10. Then, the front end projection of the shaft member 140 enters the head groove of the fixing screw B of the filament mounting piece 10, and then the fixing screw B is fastened into the fixing screw insertion hole 12 to be fixed. In this way, the filament centering operation can be completed.

즉, 지지부(120)의 내부 장공(120a)은 상기 몸체부(110)를 상하로 관통하여 상기 몸체부(110)의 하측에 위치한 필라멘트 장착편(10)의 고정나사(B)를 체결 및 해체하거나 또는 체결 시 고정나사(B)의 위치를 조절하도록 구비되는 것이다.That is, the internal long hole 120a of the support part 120 penetrates up and down the body part 110 to fasten and dismantle the fixing screw B of the filament mounting piece 10 located below the body part 110. Or to adjust the position of the fixing screw (B) when fastening.

이에 따라, 지지부(120)는 필라멘트 장착편(10)의 고정나사 삽입공(12)의 위치 및 개수에 대응하여 몸체부(110)의 하측으로 돌출 연장되는 것이 바람직하다.Accordingly, it is preferable that the support part 120 protrudes downward of the body part 110 corresponding to the position and the number of the fixing screw insertion holes 12 of the filament mounting piece 10.

구체적인 지지부(120)의 예시 형상으로서, 상기 지지부(120)는 상기 몸체부(110)의 중심으로부터 동일 거리 이격되어 가상의 정삼각형의 각 꼭짓점마다 하나씩 형성될 수 있다. As an exemplary shape of the concrete support unit 120, the support unit 120 may be formed at each vertex of the virtual equilateral triangle spaced apart from the center of the body unit 110 by the same distance.

그리고 앞서 간략히 언급한 바와 같이, 이러한 지지부(120) 역시 몸체부(110)와 일체로 형성될 수 있는데, 몸체부(110)와 동일한 투명 소재인 아크릴 등의 합성수지로 제작되는 것이 바람직하다.And as mentioned briefly above, this support 120 may also be formed integrally with the body portion 110, preferably made of a synthetic resin, such as acrylic, which is the same transparent material as the body portion 110.

EPMA 분석기 필라멘트 센터링 구동 장치EPMA Analyzer Filament Centering Drive

다음으로, 도 4를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 구동 장치에 대해 살펴보기로 한다. Next, an EPMA analyzer filament centering driving apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 4.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 구동 장치를 개략적으로 도시한 도면이다. 4 is a view schematically showing an EPMA analyzer filament centering driving apparatus according to an embodiment of the present invention.

도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 구동 장치는, 전술한 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치를 모두 포함하며, 이에 더하여 고정나사의 위치 조절 및 고정을 자동화 수행할 수 있는 구성을 포함한다. As shown, the EPMA analyzer filament centering driving apparatus according to the present embodiment includes all of the above-described EPMA analyzer filament centering guide devices, and in addition, includes a configuration capable of automating the position adjustment and fixing of the fixing screw. .

따라서 이미 설명한 바 있는 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치에 포함된 세부 구성에 관한 설명은 중복적이므로 생략하기로 한다. Therefore, the description of the detailed configuration included in the EPMA analyzer filament centering guide device that has already been described is redundant and will be omitted.

EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치에서, 고정나사의 위치 조절 및 고정 작업을 축 부재(140)를 이용하여 사용자가 직접 수행하는 경우와 달리, 본 장치에 있어서는 화상센서(142), 제어부(150) 및 전동모터(146)를 더 포함한다. 해당 구성에 대해서 구분하여 살펴보기로 한다.
In the EPMA analyzer filament centering guide apparatus, unlike the case where the user directly performs the position adjustment and fixing operation of the fixing screw using the shaft member 140, in the present apparatus, the image sensor 142, the controller 150, and the electric motor are used. It further includes a motor 146. Let's look at the configuration separately.

먼저, 화상센서(142)는 몸체부(110)의 중심과 필라멘트(W) 중심 간의 위치가 설정된 중심(C)으로 센터링되어 있는지를 확인하는 비전(vision) 방식 센싱 수단이다. First, the image sensor 142 is a vision sensing means for checking whether the position between the center of the body 110 and the center of the filament (W) is centered by the set center (C).

이러한 화상센서(142)는 사용자의 시각에 대응하여, 보다 신속하고 정확하게 필라멘트 센터링 작업을 수행하기 위한 자동화 구성으로서, 사용자의 시각에 의존할 경우에 비해 계측 정밀도를 더욱 향상시켜 줄 수 있다.
The image sensor 142 is an automated configuration for performing the filament centering work more quickly and accurately in response to the user's time, and can further improve the measurement accuracy compared to the case of relying on the user's time.

화상센서(142)를 통해 검출된 화상정보는 제어부(150)로 전송된다. The image information detected through the image sensor 142 is transmitted to the controller 150.

제어부(150)는 상기 화상센서(142)로부터 검출된 화상정보를 이용하여 몸체부(110)의 중심과 필라멘트(W) 중심 간의 오차를 판단하고 필라멘트 센터링을 위해 위치 보정이 필요할 경우 위치보정정보를 산출한다. The controller 150 determines an error between the center of the body 110 and the center of the filament (W) by using the image information detected by the image sensor 142 and provides position correction information when the position correction is necessary for the filament centering. Calculate.

이를 위해, 제어부(150)는 세부 구성으로서, 화상 데이터 입력부(152), 화상 데이터 연산부(154) 및 화상 데이터 처리부(156)를 포함한다.To this end, the control unit 150 includes, as a detailed configuration, an image data input unit 152, an image data operation unit 154, and an image data processing unit 156.

화상 데이터 입력부(152)는 화상센서로부터 검출된 화상정보를 입력받는다. 입력된 화상정보는 화상 데이터 연산부(154)로 전달되며, 화상 데이터 연산부(154)에서는 몸체부(110)의 중심과 필라멘트(W)의 중심 간의 오차를 판단하고, 위치 보정이 필요할 경우 위치보정정보를 연산해낸다. The image data input unit 152 receives image information detected by the image sensor. The input image information is transmitted to the image data operation unit 154, and the image data operation unit 154 determines an error between the center of the body 110 and the center of the filament W, and when the position correction is necessary, the position correction information. Computes.

이와 같이 산출된 위치보정정보는 화상 데이터 처리부(156)로 전달되고, 화상 데이터 처리부(156)에서는 전달받은 위치보정정보에 따른 구동 지령을 전기적인 신호로 변환하여 구동부, 특히 전동모터(146) 쪽으로 하달한다.
The position correction information thus calculated is transmitted to the image data processing unit 156, and the image data processing unit 156 converts the driving command according to the received position correction information into an electrical signal to the driving unit, particularly the electric motor 146. Do it.

구동부는, 앞서 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치에서 설명된 축 부재(140)와 더불어, 상기 제어부(150)로부터 하달된 전기적인 신호에 해당하는 지령에 따라 구동되는 전동모터(146)를 포함한다.The drive unit includes an electric motor 146 driven according to a command corresponding to an electric signal received from the controller 150, together with the shaft member 140 described in the EPMA analyzer filament centering guide device.

전동모터(146)는 상기 제어부(150)로부터 전달된 전기적인 신호를 입력받아 상기 축 부재(140)의 축 회전(정/역 회전 포함)에 필요한 구동력을 제어할 수 있다. 그리고 나아가, 고정나사(B)의 고정 위치 조절을 위해 상기 축 부재(140)의 수평방향(즉, 전, 후, 좌, 우 방향) 병진 이송에 필요한 구동력을 제공할 수 있다. 여기서, 이러한 동력전달구성은 통용되는 다양한 전동부재(예: 조인트, 기어, 링크) 등으로 구성할 수 있는 것이므로, 해당 구성에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.The electric motor 146 may receive the electric signal transmitted from the controller 150 to control the driving force required for shaft rotation (including forward / reverse rotation) of the shaft member 140. Further, in order to adjust the fixed position of the fixing screw B, it is possible to provide a driving force necessary for the horizontal translation (ie, front, rear, left and right directions) of the shaft member 140. Here, since the power transmission configuration can be configured with various transmission members (for example, joints, gears, links) and the like commonly used, a detailed description of the configuration will be omitted.

다음으로, 도 5를 참조하여 본 발명의 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 작업에 따른 교체 장착되는 필라멘트가 정확하게 센터링 된 경우(도 5의 (a))와, 그렇지 못한 경우(도 5의 (b))에 대해 간략히 비교하여 살펴보기로 한다. Next, with reference to Figure 5 for the case where the replacement mounting filament according to the EPMA analyzer filament centering operation of the present invention is correctly centered (Fig. 5 (a)), and if not (Fig. 5 (b)) A brief comparison is made.

먼저 도 5의 (a)를 살펴보면, 상호 수직방향으로 평행하게 배치된 하측의 필라멘트 장착편(10)과, 상측의 몸체부(110) 간이 겹쳐진 평면 모습을 나타내고 있다. First, referring to (a) of FIG. 5, the filament mounting piece 10 on the lower side and the body portion 110 on the upper side are arranged in parallel to each other in a vertical direction and have a planar appearance.

도시된 도 5의 (a)를 통해 확인할 수 있는 점은, 필라멘트(W)의 중심과, 몸체부(110)의 중심(P)이 일치되어 양호한 센터링 작업이 수행되었음을 알 수 있다. 5 (a) can be seen that the center of the filament (W), and the center (P) of the body portion 110 can be seen that a good centering operation was performed.

그 결과, 고정나사(12)를 통해 위치 고정된 필라멘트 장착편(10) 역시 EPMA 분석기 상에 정확하게 교체 장착된 것이라 미루어 짐작할 수 있다. As a result, it can be assumed that the filament mounting piece 10 positioned through the fixing screw 12 is also correctly replaced on the EPMA analyzer.

이와 달리, 도 5의 (b)를 살펴보면, 이 역시 도 5의 (a)에서와 같이 하측의 필라멘트 장착편(10)과, 상측의 몸체부(110) 간이 겹쳐진 평면 모습을 나타내고 있다. On the contrary, referring to FIG. 5B, this also shows a planar view in which the lower filament mounting piece 10 and the upper body portion 110 overlap with each other as shown in FIG. 5A.

다만, 도시된 도 5의 (b)를 통해 확인할 수 있는 점은, 필라멘트(W)의 중심과, 몸체부(110)의 중심(P)이 어긋나게 형성되어 위치 불일치를 이루고 있다는 사실이다. 그 결과 필라멘트 센터링 작업이 정확하게 수행되지 못하였음을 알 수 있다. 즉, 필라멘트(W) 중심이 정확하게 센터링 되지 못한 상태에서 고정나사(12)를 통해 필라멘트 장착편(10)이 EPMA 분석기 내에 고정되어 있다. 이 경우에는 EPMA 분석기를 이용한 시료 분석 시험 데이터에 허용할 수 없을 정도로 오차가 발생될 수 있다는 것을 미루어 짐작할 수 있다.
However, what can be confirmed through (b) of FIG. 5 is that the center of the filament (W) and the center (P) of the body portion 110 are formed to be displaced to form a position mismatch. As a result, it can be seen that the filament centering was not performed correctly. That is, the filament mounting piece 10 is fixed in the EPMA analyzer through the fixing screw 12 in the state that the center of the filament W is not accurately centered. In this case, it can be assumed that unacceptable errors may occur in the sample analysis test data using the EPMA analyzer.

상술한 바와 같이, 본 발명인 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치에 따르면, EPMA 분석기 내에서 소모품으로써 수명이 다한 필라멘트를 교체 장착할 경우, 필라멘트의 위치 센터링 작업을 신속하고 정확하게 수행할 수 있다. As described above, according to the EPMA analyzer filament centering guide apparatus of the present invention, when the filament that has reached the end of its life as a consumable in the EPMA analyzer can be quickly and accurately performed.

그 결과, EPMA 분석기를 사용하는 연구 인력들의 수고를 덜어줄 수 있어, 사용자 편의성이 만족스러울 정도로 향상될 수 있다. As a result, the research staff using the EPMA analyzer can be saved, and user convenience can be satisfactorily improved.

또한, 본 발명인 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치에 따르면, 필라멘트 교체 장착 시의 센터링 위치 정확도가 개선되어 EPMA 분석기의 측정 정밀도가 향상될 수 있다.In addition, according to the EPMA analyzer filament centering guide device of the present invention, the accuracy of the centering position at the time of filament replacement mounting can be improved to improve the measurement accuracy of the EPMA analyzer.

특히, EPMA 분석기 내에서 전자 빔을 조사하는 중요 부품인 필라멘트의 센터링 불량으로 인하여, 교체 전, 후의 측정 결과가 달라지는 폐단 발생을 방지할 수 있다.
In particular, due to the poor centering of the filament, which is an important component for irradiating the electron beam in the EPMA analyzer, it is possible to prevent the occurrence of a closed end that changes the measurement results before and after replacement.

이상으로 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치에 관하여 상세하게 살펴보았다.As described above, the EPMA analyzer filament centering guide apparatus according to the preferred embodiment of the present invention has been described in detail.

전술된 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 범위는 전술된 상세한 설명보다는 후술될 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 그 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
It is to be understood that the foregoing embodiments are illustrative in all respects and not restrictive, the scope of the invention being indicated by the following claims rather than the foregoing description, and the meaning and scope of the claims and their All changes or modifications derived from equivalent concepts should be construed as being included in the scope of the present invention.

S: 시료
P: 몸체부의 중심
W: 필라멘트
B: 고정나사
10: 필라멘트 장착편 12: 고정나사 삽입공
110: 몸체부
120: 지지부 120a: 내부 장공
130: 눈금부
140: 축 부재 142: 화상센서
146: 전동모터
150: 제어부
152: 화상 데이터 입력부 154: 화상 데이터 연산부
156: 화상 데이터 처리부S: Sample
P: center of body
W: filament
B: set screw
10: filament mounting piece 12: fixing screw insertion hole
110: body part
120: support portion 120a: internal long hole
130: graduation
140: shaft member 142: image sensor
146: electric motor
150:
152: image data input unit 154: image data operation unit
156: image data processing unit

Claims (10)

필라멘트 장착편의 상측으로 이격 배치되는 몸체부;
상기 몸체부의 상면으로 무늬 형성되어, 상기 몸체부의 중심과 필라멘트 장착편의 필라멘트 중심의 위치를 센터링 조절할 수 있도록 형성되는 눈금부; 및
상기 몸체부로부터 필라멘트 장착편까지 연결 지지되고, 상기 몸체부를 상하로 관통하여 상기 몸체부의 하측에 위치한 필라멘트 장착편의 고정나사를 체결 및 해체하거나 또는 체결 시 고정나사의 위치를 조절하는 축부재를 상기 필라멘트 장착편까지 삽입되도록 하는 장공이 형성되는 지지부;를 포함하는 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치.
A body part spaced apart from the upper side of the filament mounting piece;
Is formed on the upper surface of the body portion, the scale portion is formed to adjust the centering position of the center of the body portion and the filament center of the filament mounting piece; And
The filament is connected to and supported from the body portion to the filament mounting piece, the shaft member for fastening and dismantling the fixing screw of the filament mounting piece located below the body portion by penetrating the body portion up and down, or adjust the position of the fixing screw during the fastening. EPMA analyzer filament centering guide device comprising a; support is formed to be inserted into the mounting piece.
제 1 항에 있어서,
상기 몸체부는,
원판 형상인 필라멘트 장착편에 대응하여 동일하거나 또는 이보다 작은 크기로 이루어진 원판 부재인 것을 특징으로 하는 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치.
The method of claim 1,
The body portion
EPMA analyzer filament centering guide device, characterized in that the disc member made of the same or smaller size corresponding to the filament mounting piece in the shape of a disc.
제 2 항에 있어서,
상기 몸체부는,
전체 영역이 투명한 소재로 형성되어, 사용자의 시선이 상측에 위치된 상기 몸체부를 관통하여 하측에 위치한 필라멘트 장착편까지 도달하도록 형성되는 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치.
The method of claim 2,
The body portion
EPMA analyzer filament centering guide device, characterized in that the entire region is formed of a transparent material, the eye gaze of the user is formed through the body portion located on the upper side to reach the filament mounting piece located on the lower side.
제 1 항에 있어서,
상기 눈금부는,
필라멘트 장착편의 필라멘트 중심과 수직 배치되도록 상기 몸체부의 내측 중심에 형성된 중심점;
상기 중심점으로부터 멀어지는 방향으로 설정된 간격만큼 이격 형성되는 원형 눈금; 및
상기 중심점으로부터 상기 원형 눈금까지 직경을 따라 선형으로 교차 형성된 직선형 눈금;을 포함하는 것을 특징으로 하는 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치.
The method of claim 1,
The graduation unit,
A center point formed at the inner center of the body portion so as to be perpendicular to the filament center of the filament mounting piece;
A circular scale spaced apart from each other by a distance set in a direction away from the center point; And
EPMA analyzer filament centering guide device, characterized in that it comprises; a linear scale linearly intersected along the diameter from the center point to the circular scale.
제 1 항에 있어서,
상기 지지부는,
필라멘트 장착편에 구비된 고정나사 삽입공과 대응하는 위치에서 상기 몸체부를 상하로 관통하여 복수개가 하향 돌출하여 연장 형성되는 것을 특징으로 하는 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치.
The method of claim 1,
The support portion
EPMA analyzer filament centering guide device, characterized in that the plurality of the protruding downward downward through the body portion in a position corresponding to the fixing screw insertion hole provided in the filament mounting piece.
제 1 항에 있어서,
상기 지지부는,
상기 몸체부의 중심으로부터 동일 거리 이격되어 정삼각형의 각 꼭짓점마다 하나씩 형성되는 것을 특징으로 하는 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치.
The method of claim 1,
The support portion
EPMA analyzer filament centering guide device, characterized in that formed at each vertex of the equilateral triangle spaced apart from the center of the body portion.
제 1 항에 있어서,
상기 지지부는,
상기 몸체부와 동일한 투명 소재로 형성되어 상기 몸체부와 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 EPMA 분석기 필라멘트 센터링 가이드 장치.
The method of claim 1,
The support portion
EPMA analyzer filament centering guide device, characterized in that formed with the same transparent material as the body portion and integrally formed with the body portion.
삭제delete 삭제delete 삭제delete
KR1020110063264A 2011-06-28 2011-06-28 Guide device for centering filament of electron probe micro analyzer and the apparatus having the same KR101225263B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110063264A KR101225263B1 (en) 2011-06-28 2011-06-28 Guide device for centering filament of electron probe micro analyzer and the apparatus having the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110063264A KR101225263B1 (en) 2011-06-28 2011-06-28 Guide device for centering filament of electron probe micro analyzer and the apparatus having the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130002197A KR20130002197A (en) 2013-01-07
KR101225263B1 true KR101225263B1 (en) 2013-01-22

Family

ID=47834942

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110063264A KR101225263B1 (en) 2011-06-28 2011-06-28 Guide device for centering filament of electron probe micro analyzer and the apparatus having the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101225263B1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6138494A (en) 1999-07-02 2000-10-31 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Robot calibration tool and method
KR20030083226A (en) * 2002-04-19 2003-10-30 삼성전자주식회사 Wafer alignment apparatua for semiconductor manufacturing equipment
JP2005026026A (en) * 2003-06-30 2005-01-27 Horiba Ltd Field emission type electron gun
KR20100082313A (en) * 2009-01-08 2010-07-16 닛토덴코 가부시키가이샤 Alignment apparatus for semiconductor wafer

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6138494A (en) 1999-07-02 2000-10-31 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Robot calibration tool and method
KR20030083226A (en) * 2002-04-19 2003-10-30 삼성전자주식회사 Wafer alignment apparatua for semiconductor manufacturing equipment
JP2005026026A (en) * 2003-06-30 2005-01-27 Horiba Ltd Field emission type electron gun
KR20100082313A (en) * 2009-01-08 2010-07-16 닛토덴코 가부시키가이샤 Alignment apparatus for semiconductor wafer

Also Published As

Publication number Publication date
KR20130002197A (en) 2013-01-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107345849B (en) Lens detection and calibration tool and method
CN111089705B (en) Optical lens piece detection equipment and detection method
CN204287496U (en) α, β surface contamination detection instrument automatic Verification/calibration/pick-up unit
CN103697836A (en) Axial angle measuring device for polaroid
CN106441166A (en) Optical fiber connector coaxiality detection method and device thereof
CN104819828A (en) X-ray lobster-eye object lens assembling apparatus and application thereof
CN110189880A (en) Resistance jig and resistance adjuster
CN111175028A (en) Eccentricity detection device and method for small-caliber lens
KR101250337B1 (en) Apparatus and method for index point and incident angle measurement of ultrasonic transducer
KR101225263B1 (en) Guide device for centering filament of electron probe micro analyzer and the apparatus having the same
TWI472712B (en) Vertical and parallelism detection system and its detection method
CN102980465A (en) Position degree checking tool of motor back cover
WO2011112837A1 (en) Test systems that include a centering system for aligning an optical pulse launching device with a multi-mode fiber and methods of operating the same
CN104296904A (en) Glass stress detector
CN209764385U (en) Device for detecting off-axis angle of light beam emitted by fiber lens
CN212340167U (en) Multi-point jitter tester
CN205228822U (en) Bearing installation accuracy testing device
JP5397882B2 (en) Lens meter
KR20140014482A (en) Error measurement devices of shaft
CN105136567B (en) Test equipment for composite materials property
JP2020197658A (en) Eccentricity measuring device
JP4210789B2 (en) Bobbin inspection apparatus and inspection method using the same
CN204788270U (en) Fine module gear precision measurement device
JP7275165B2 (en) Omnidirectional optical measurement device
CN213336718U (en) Testing arrangement of camera lens transmissivity

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee