KR101220991B1 - Probe station for multi-sensors - Google Patents

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한국과학기술연구원
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Abstract

본 발명은 상부 몸체 및 상기 상부 몸체에 힌지 연결된 하부 몸체; 프로브가 하단으로 연장되게 고정되어 있으며 상기 상부 몸체의 하단으로 상기 프로브가 노출되도록 상기 상부 몸체에 결합되는 프로브 척; 상기 프로브 척을 승강 동작시키며 상기 상부 몸체에 설치되는 프로브 승강부; 및 상기 상부 몸체가 상기 하부 몸체에 대하여 닫혔을 때 상기 하부 몸체에는 상기 프로브 척의 하부 위치에 센서 안착홈이 형성되고, 상기 센서 안착홈의 바닥면을 이루며 상기 프로브가 접촉 가능하게 설치되는 센서 지지판;을 포함하며, 외부에서 인가되는 검사 전류가 상기 프로브를 통하여 상기 센서 지지판에 안착되는 다중 센서에 인가되는 다중 센서용 프로브 스테이션을 제공한다. The present invention includes an upper body and a lower body hinged to the upper body; A probe chuck fixed to the lower end of the probe and coupled to the upper body to expose the probe to the lower end of the upper body; A probe lifter mounted on the upper body to move the probe chuck up and down; And a sensor support plate formed at a lower position of the probe chuck in the lower body when the upper body is closed with respect to the lower body, forming a bottom surface of the sensor seating groove, and allowing the probe to be in contact with the lower body. It includes, and provides a probe station for a multi-sensor is applied to the multi-sensor to be mounted on the sensor support plate through the probe is applied from the outside.

Description

다중 센서용 프로브 스테이션{PROBE STATION FOR MULTI-SENSORS} PROBE STATION FOR MULTI-SENSORS}

본 발명은 다중 센서용 프로브 스테이션에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 화학 물질 등과 같은 기체 및 액체 상태의 물질, 바이오 물질, 분자 단위 물질 등의 검지가 가능하고, 프로브 및 센서 불량 점검이 용이하며, 다중 센서를 용이하게 교체하여 사용할 수 있는 다중 센서용 프로브 스테이션에 관한 것이다.
The present invention relates to a probe station for multiple sensors, and more particularly, it is possible to detect gaseous and liquid substances such as chemicals, biomaterials, molecular unit substances, etc., and to easily check defects of probes and sensors. The present invention relates to a probe station for multiple sensors that can be easily replaced by a sensor.

산업 안전, 보건, 환경 감시 및 공정 제어에 있어서 다양한 물질을 검출할 수 있는 장비에 대한 요구가 날로 증가하고 있으며, 이와 같은 요구를 충족시키기 위해 국내외로 새로운 센서의 개발에 대한 많은 연구가 진행되고 있다. 기존에는 단일의 물질만을 검지할 수 있는 단일 센서가 주로 개발되어 있으나 근래에는 전계 효과 트랜지스터를 기반으로 나노 센서 기술 등을 이용하여 다수의 물질을 동시에 검지할 수 있는 다중 센서에 개발을 위한 연구가 활발히 진행되고 있다. 다중 센서는 하나의 기판에 단일 센서들을 집약하여 군을 이룸으로써 군마다 다른 종의 물질 검지가 하나의 군에서 다수의 센서를 이용하여 검지가 이루어짐으로 측정 오차를 줄여주는 효과가 있다. There is an increasing demand for equipment capable of detecting various substances in industrial safety, health, environmental monitoring and process control, and many studies on the development of new sensors at home and abroad have been conducted to meet such demands. . In the past, a single sensor capable of detecting only a single substance has been mainly developed, but recently, research for developing a multi-sensor capable of simultaneously detecting a large number of substances using nano sensor technology based on field effect transistors has been actively conducted. It's going on. The multiple sensors form a group by integrating single sensors on a single substrate, and thus, different types of substances are detected in each group using multiple sensors in one group, thereby reducing measurement errors.

프로브 스테이션은 검지 센서와 측정 장치 간의 전기적 접촉을 위한 프로브가 구비된 장치를 의미한다. 이러한 프로브 스테이션에서 검지 센서로 다중 센서가 사용될 경우 전극 패드의 개수에 맞추어 프로브의 개수 역시 증가하여야 하는 데, 기존 프로브 장치의 경우 제한된 공간 내에 다수의 프로브의 정렬하는 것과 그 불량 여부 판단이 쉽지 않으며, 센서가 교체 및 이에 따른 프로브의 변경이 쉽지 않아 프로브 장치 전체를 새로이 설계해야 하는 문제점이 있다.
Probe station means a device equipped with a probe for electrical contact between a detection sensor and a measuring device. When multiple sensors are used as detection sensors in such probe stations, the number of probes must also increase according to the number of electrode pads. In the case of a conventional probe device, it is not easy to align a plurality of probes within a limited space and determine whether they are defective. Since the sensor is not easy to replace and change the probe accordingly, there is a problem in that the entire probe device must be newly designed.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 화학 물질 등과 같은 기체 및 액체 상태의 물질, 바이오 물질, 분자 단위 물질 등의 전기적 분석을 위한 다중 센서가 센서 지지판에 안착되어 사용됨으로써 다양한 다중 센서를 용이하게 교체하여 사용 가능하며 사용 편의성이 향상된 다중 센서용 프로브 스테이션을 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention has been made to solve the above problems, a multi-sensor for electrical analysis of gas and liquid materials, such as chemicals, biomaterials, molecular unit materials, etc. are mounted on the sensor support plate to be used for various multiple sensors It is an object of the present invention to provide a probe station for a multi-sensor, which can be easily replaced and used with ease of use.

또한, 본 발명은 조작성이 향상된 간단한 구조의 다중 센서용 프로브 스테이션을 제공하는 것을 목적으로 한다. It is also an object of the present invention to provide a probe station for multiple sensors having a simple structure with improved operability.

또한, 본 발명은 프로브 척에 구비된 프로브들이 불량 점검, 및 센서 불량 점검이 용이하게 이루어질 수 있는 다중 센서용 프로브 스테이션을 제공하는 것을 목적으로 한다. In addition, an object of the present invention is to provide a probe station for a multi-sensor that the probes provided in the probe chuck can be easily checked for defects, and the sensor failure check.

또한 본 발명은 다중 센서의 물리적 특성 분석을 위한 전기적 특성 측정이 가능할 뿐만 아니라, 화학 물질 등과 같은 기체 및 액체 상태의 물질, 바이오 물질, 분자 단위 물질 등의 전기적 분석이 용이한 다중 센서용 프로브 스테이션을 제공하는 것을 목적으로 한다. In addition, the present invention is not only possible to measure the electrical properties for the physical properties of the multi-sensor, but also to the probe station for the multi-sensor probe that is easy to electrical analysis of gaseous and liquid materials such as chemicals, bio-materials, molecular unit materials, etc. It aims to provide.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해, 상부 몸체 및 상기 상부 몸체에 힌지 연결된 하부 몸체; 프로브가 하단으로 연장되게 고정되어 있으며 상기 상부 몸체의 하단으로 상기 프로브가 노출되도록 상기 상부 몸체에 결합되는 프로브 척; 상기 프로브 척을 승강 동작시키며 상기 상부 몸체에 설치되는 프로브 승강부; 및 상기 상부 몸체가 상기 하부 몸체에 대하여 닫혔을 때 상기 하부 몸체에는 상기 프로브 척의 하부 위치에 센서 안착홈이 형성되고, 상기 센서 안착홈의 바닥면을 이루며 상기 프로브가 접촉 가능하게 설치되는 센서 지지판;을 포함하며, 외부에서 인가되는 검사 전류가 상기 프로브를 통하여 상기 센서 지지판에 안착되는 다중 센서에 인가되는 다중 센서용 프로브 스테이션을 제공한다. The present invention to achieve the above object, the upper body and the lower body hinged to the upper body; A probe chuck fixed to the lower end of the probe and coupled to the upper body to expose the probe to the lower end of the upper body; A probe lifter mounted on the upper body to move the probe chuck up and down; And a sensor support plate formed at a lower position of the probe chuck in the lower body when the upper body is closed with respect to the lower body, forming a bottom surface of the sensor seating groove, and allowing the probe to be in contact with the lower body. It includes, and provides a probe station for a multi-sensor is applied to the multi-sensor to be mounted on the sensor support plate through the probe is applied from the outside.

본 발명에 의하면, 상기 상부 몸체는 중심부에 관통된 제1 관통공을 구비하고, 상기 프로브 척은 상기 제1 관통공 내에서 상기 프로브 승강부에 결합되어 승강 가능하게 설치되며, 상기 프로브 승강부는, 원통형으로 형성되고, 외주면에 나선 돌기가 형성된 나사 결합부가 형성되며, 하단으로 상기 프로브 척이 결합되는 다이얼 지지구; 및 상기 다이얼 지지구가 내부로 삽입되는 상하부가 개방된 관통구멍을 가진 원통형으로 형성되고 내주면에 상기 다이얼 지지구의 상기 나사 결합부와 나사 결합하는 대응 나사 결합부가 형성되며 상기 상부 몸체에 대해 승강이 규제되게 설치된 회전 다이얼을 포함한다.According to the present invention, the upper body has a first through hole penetrated in the center, the probe chuck coupled to the probe lifting portion in the first through hole is installed to be elevated, the probe lifting portion, A dial supporter formed in a cylindrical shape, having a screw engaging portion having a spiral protrusion formed on an outer circumferential surface thereof, and having the probe chuck coupled to a lower end thereof; And a corresponding thread engaging portion for screwing with the screw engaging portion of the dial support on an inner circumferential surface of which the upper and lower portions into which the dial support is inserted are formed in a cylindrical shape and having a through-hole opened therein, and the lifting and lowering of the upper body are restricted. It includes an installed rotary dial.

본 발명에 의하면, 상기 프로브 척은 중심부에 관통구멍이 형성되고, 상기 다이얼 지지구는 상하부가 개방되며 상기 프로브 척의 관통구멍과 연통되는 관통구멍을 가진 원통형으로 형성됨으로써, 상기 회전다이얼, 상기 다이얼 지지구 및 상기 프로브 척에 각각 형성된 관통구멍을 통해 상기 센서 지지판이 외부로 노출된다. 이를 통해 액체 상태 및 기체 상태 물질의 검지가 간편하게 이루어질 수 있다.According to the present invention, the probe chuck has a through hole formed in a central portion thereof, and the dial support is formed in a cylindrical shape having a through hole communicating with the through hole of the probe chuck. And the sensor support plate through the through holes formed in the probe chuck, respectively. This makes it easy to detect the liquid and gaseous substances.

본 발명에 의하면, 상기 프로브 척은, 하단 중심부의 주변으로 설치된 다수의 프로브와 상기 프로브 각각과 전기적으로 연결되고 상기 상부 몸체의 외부로 노출되어 외부 장치와 연결되는 프로브 소켓을 포함하며, 상기 상부 몸체에 대하여 탈착가능하게 형성된다. According to the present invention, the probe chuck includes a plurality of probes installed around a lower center portion and probe sockets electrically connected to each of the probes and exposed to the outside of the upper body to be connected to an external device. It is formed detachably with respect to.

본 발명에 의하면, 상기 센서 지지판은 전기적 도체 물질로 형성된 도체판을 포함하며, 일측으로 형성된 단자가 상기 하부 몸체 외부로 노출된다. According to the present invention, the sensor support plate includes a conductor plate formed of an electrical conductor material, and a terminal formed on one side is exposed to the outside of the lower body.

본 발명에 의하면, 상기 센서 지지판은, 상기 도체판의 하부로 배치되는 절연판; 및 상기 절연판의 하부로 배치되며 온도 조절이 가능한 핫플레이트를 포함한다. According to the present invention, the sensor support plate, the insulating plate disposed under the conductor plate; And a hot plate disposed under the insulating plate and having a temperature control.

본 발명에 의하면, 상기 센서 지지판의 상부로 안착되는 다중 센서를 포함하며, 상기 다중 센서는 중심부에 위치하며 외부로 노출되는 센싱 부분에 액상 물질을 수용할 수 있는 원통형 포트를 구비한다.
According to the present invention, the sensor includes a multiple sensor seated on top of the support plate, the multiple sensor is located in the center and has a cylindrical port that can accommodate the liquid material in the sensing portion exposed to the outside.

본 발명에 따른 다중 센서용 프로브 스테이션에 의하면, 다중 센서가 센서 지지판에 안착되어 사용됨으로써 다양한 다중 센서를 용이하게 교체하여 사용 가능하고, 상부 몸체 및 하부 몸체가 힌지 타입으로 형성되어 조작이 용이하고 사용이 편리하다. 또한, 프로브가 회전 다이얼의 회전 조작에 의하여 수직으로 승강되므로 프로브의 조작이 용이하다. According to the probe station for a multi-sensor according to the present invention, the multi-sensor is mounted on the sensor support plate can be used to easily replace a variety of multiple sensors, the upper body and the lower body is formed in a hinge type, easy to operate and use This is convenient. In addition, since the probe is vertically lifted by the rotation operation of the rotary dial, the operation of the probe is easy.

또한, 본 발명에 따른 다중 센서용 프로브 스테이션에 의하면, 프로브 척의 교체가 필요한 경우 프로브 소켓을 포함한 어셈블리 형태의 프로브 척을 교체할 수 있으므로 프로브 척의 교체가 용이하다. In addition, according to the probe station for a multi-sensor according to the present invention, it is easy to replace the probe chuck because it is possible to replace the probe chuck of the assembly form including the probe socket when the replacement of the probe chuck.

또한, 본 발명에 의하면, 조작성이 향상된 간단한 구조의 다중 센서용 프로브 스테이션을 제공하는 것이 가능하다. Moreover, according to this invention, it is possible to provide the probe station for multiple sensors of a simple structure with improved operability.

또한 본 발명에 의하면, 다중 센서의 물리적 특성 분석을 위한 전기적 특성 측정이 가능할 뿐만 아니라, 기체 및 액체 상태의 물질 검지도 용이하게 이루어질 수 있다. In addition, according to the present invention, not only the electrical property measurement for the physical characteristic analysis of the multiple sensors can be performed, but also the gas and liquid state material detection can be easily performed.

또한 본 발명에 의하면, 프로브가 센서 지지판 또는 다중 센서에 항시 접촉하여 특정 위치의 센서 측정에 용이하며, 프로브의 불량 점검 및 센서 불량 점검이 간편하게 이루어질 수 있다. 또한, 본 발명에 의하면, 프로브 척을 센서 지지판에 대하여 천천히 하강시키고 각 프로브들의 저항을 측정하는 것에 의해 프로브척에 프로브들을 용이하게 정렬할 수 있다.
In addition, according to the present invention, the probe is always in contact with the sensor support plate or multiple sensors to facilitate the measurement of the sensor at a specific position, the defect check and the sensor defect check of the probe can be made easily. Further, according to the present invention, the probe chuck can be easily aligned with the probe chuck by slowly lowering the probe chuck with respect to the sensor support plate and measuring the resistance of each probe.

도 1 은 본 발명의 실시예에 따른 다중 센서용 프로브 스테이션의 결합 사시도이다.
도 2 는 본 발명의 실시예에 따른 다중 센서용 프로브 스테이션의 분해 사시도이다.
도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 다중 센서용 프로브 스테이션에서 상부 몸체를 개방시킨 상태를 도시한 도면이다.
도 4 는 본 발명에 따른 센서 지지판의 다른 예를 도시한 사시도이다.
도 5 는 본 발명에 따른 다중 센서용 프로브 스테이션에 사용되는 다중 센서의 일 예를 도시한 도면이다.
도 6 은 본 발명에 따른 다중 센서용 프로브 스테이션에 사용가능한 다중 센서의 또 다른 일 예를 도시한 도면이다.1 is a combined perspective view of a probe station for multiple sensors according to an embodiment of the present invention.
2 is an exploded perspective view of a probe station for multiple sensors according to an embodiment of the present invention.
3 is a view showing a state in which the upper body is opened in the probe station for multiple sensors according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view showing another example of the sensor support plate according to the present invention.
5 is a diagram illustrating an example of multiple sensors used in a probe station for multiple sensors according to the present invention.
FIG. 6 is a diagram illustrating another example of multiple sensors usable in a probe station for multiple sensors according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 은 본 발명의 실시예에 따른 다중 센서용 프로브 스테이션의 결합 사시도이고, 도 2 는 본 발명의 실시예에 따른 다중 센서용 프로브 스테이션의 분해 사시도이다.1 is a combined perspective view of a probe station for multiple sensors according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is an exploded perspective view of a probe station for multiple sensors according to an embodiment of the present invention.

도면을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 다중 센서용 프로브 스테이션은, 상부 및 하부 몸체(10, 20), 프로브 승강부(30), 프로브 척(50) 및 센서 지지판(60)을 포함한다. Referring to the drawings, a multi-sensor probe station according to an embodiment of the present invention, the upper and lower body 10, 20, the probe lifting portion 30, the probe chuck 50 and the sensor support plate 60. .

본 발명에 따르면, 프로브 스테이션의 몸체는 상부 몸체(10)와 하부 몸체(20)로 이루어진다. 상부 및 하부 몸체(10, 20)는 힌지 연결부(11)를 힌지 타입으로 연결되어 상부 몸체(10)를 하부 몸체(20)에 대하여 여닫을 수 있다. According to the invention, the body of the probe station consists of an upper body 10 and a lower body 20. The upper and lower bodies 10 and 20 may be hinged to the hinge connecting portion 11 to open and close the upper body 10 with respect to the lower body 20.

상부 몸체(10)의 일측면으로 돌출된 제1 힌지부(12)가 구비되며, 제1 힌지부(12)는 하부 몸체(20)의 제2 힌지부(22)와 연결핀(13)으로 연결된다. 따라서 상부 몸체(10)는 하부 몸체(20)에 대하여 일측으로 젖혀지고 닫혀지면서 개폐된다. A first hinge portion 12 protruding to one side of the upper body 10 is provided, and the first hinge portion 12 is connected to the second hinge portion 22 and the connecting pin 13 of the lower body 20. Connected. Therefore, the upper body 10 is opened and closed while being folded to one side with respect to the lower body 20.

상부 몸체(10)는 중심부에 관통된 사각 형상의 제1 관통공(15)이 형성된다. 제1 관통공(15)에는 프로브 척(50)이 삽입되어 상부 몸체(10)가 하부 몸체(20)에 대하여 닫혀질 때, 프로브 척(50)에 설치된 프로브(52)가 하부 몸체(20)에 설치된 센서 지지판(60) 또는 센서 지지판(60) 위에 안착된 다중 센서(70)와 접촉한다. The upper body 10 is formed with a first through hole 15 of the rectangular shape penetrated in the center. When the probe chuck 50 is inserted into the first through hole 15 and the upper body 10 is closed with respect to the lower body 20, the probe 52 installed in the probe chuck 50 is lower body 20. Contact with the multiple sensor 70 seated on the sensor support plate 60 or the sensor support plate 60 installed in the.

바람직하게는 상부 몸체(10)는 덮음판(17)을 포함한다. 상부 몸체(10)의 상면에 제1 관통공(15)의 측면과 부분적으로 연통되는 홈(16)이 형성되고, 홈(16)에는 프로브(52)와 프로브 소켓(54)을 연결하는 연결부(51)가 놓여진다. Preferably the upper body 10 comprises a covering plate 17. A groove 16 is formed on the upper surface of the upper body 10 to partially communicate with the side surface of the first through hole 15, and a connection portion connecting the probe 52 and the probe socket 54 to the groove 16. 51) is placed.

덮음판(17)은 제1 관통공(15)이 연장되어 형성되어 있으며, 회전 다이얼(41)의 플랜지(37)가 안착되는 안착홈(14)이 형성된다. 이러한 구성에 의하여 프로브 척(50)의 연결부(51)가 상부 몸체(10)를 관통하고 상부 몸체(10)의 외측으로 프로브 소켓(54)이 설치된다. The covering plate 17 is formed by extending the first through hole 15, and a seating groove 14 in which the flange 37 of the rotary dial 41 is seated is formed. By this configuration, the connecting portion 51 of the probe chuck 50 passes through the upper body 10 and the probe socket 54 is installed outside the upper body 10.

상부 몸체(10)의 타측에는 상부 몸체(10)가 하부 몸체(20)에 덮힌 상태에서 서로 결속 가능한 걸림부(19)가 형성되어 있다. On the other side of the upper body 10 is formed a locking portion 19 that can be bound to each other in a state in which the upper body 10 is covered with the lower body 20.

하부 몸체(20)는 일측면으로 상부 몸체(10)의 제1 힌지부(12)와 협동하여 힌지 연결부(11)를 형성하는 제2 힌지부(22)가 구비된다. 제1 힌지부(12) 및 제2 힌지부(22)는 관통하는 연결핀(13)에 의해 결합되어 회동한다. The lower body 20 is provided with a second hinge portion 22 that forms a hinge connection portion 11 in cooperation with the first hinge portion 12 of the upper body 10 on one side. The first hinge portion 12 and the second hinge portion 22 are coupled and rotated by the connecting pin 13 penetrating.

하부 몸체(20)의 중심부에는 제2 관통공(25)이 형성된다. 제2 관통공(25)에는 센서 지지판(60)이 설치된다. 상부 몸체(10)의 제1 관통공(15)을 통해 설치된 프로브 척(50)이 제1 관통공(15)을 통해 승강이동하면서, 프로브 척(50)에 설치된 프로브(52)가 센서 지지판(60)에 접촉할 수 있다. 제2 관통공(25)의 내측면 일측으로 측면으로 개구된 단자홈(26)이 형성되어 센서 지지판(60) 일측의 단자(61)가 하부 몸체(20) 외부로 노출될 수 있도록 한다. A second through hole 25 is formed in the center of the lower body 20. The sensor support plate 60 is installed in the second through hole 25. As the probe chuck 50 installed through the first through hole 15 of the upper body 10 moves up and down through the first through hole 15, the probe 52 installed in the probe chuck 50 is attached to the sensor support plate ( 60). The terminal groove 26 is opened to the side of the inner side of the second through hole 25 to the side so that the terminal 61 on one side of the sensor support plate 60 can be exposed to the outside of the lower body 20.

하부 몸체(20)의 하측으로는 하부 지지판(28)이 설치된다. 하부 지지판(28)은 센서 지지판(60)을 받치며 고정한다. 하부 지지판(28)은 제2 관통공(15)의 크기에 대응하여 형성될 수 있다. 센서 지지판(60)이 설치된 상태에서 제2 관통공(25)은 센서 지지판(60)이 바닥면이 되는 센서 안착홈(24)을 이룬다. 즉, 센서 지지판(60)의 상부로 다중 센서(70)가 안착될 수 있다. The lower support plate 28 is installed below the lower body 20. The lower support plate 28 supports and fixes the sensor support plate 60. The lower support plate 28 may be formed to correspond to the size of the second through hole 15. In the state in which the sensor support plate 60 is installed, the second through hole 25 forms a sensor seating groove 24 in which the sensor support plate 60 becomes a bottom surface. That is, the multiple sensor 70 may be seated on the sensor support plate 60.

본 발명에 따른 다중 센서용 프로브 스테이션은 프로브를 승강 조작하기 위한 프로브 승강부(30)를 포함한다. The probe station for multiple sensors according to the present invention includes a probe lift unit 30 for lifting and lowering the probe.

본 발명에 따르면, 프로브 승강부(30)는 회전 다이얼(31)과 다이얼 지지구(41)를 포함한다. According to the present invention, the probe elevating unit 30 includes a rotary dial 31 and a dial support 41.

먼저, 다이얼 지지구(41)에 대하여 살펴보면, 다이얼 지지구(41)는 상하부가 개구된 관통구멍(42)을 갖는 원통형으로 형성되며, 외주면으로 나선 돌기가 형성된 나사 결합부(43)가 형성된다. 나사 결합부(43)는 후술하는 회전 다이얼(31)의 내주면에 형성된 대응 나사 결합부(33)와 나사 체결 방식으로 결합한다. First, with reference to the dial support 41, the dial support 41 is formed in a cylindrical shape having a through hole 42 of the upper and lower portions, the screw engaging portion 43 is formed with a spiral projection on the outer peripheral surface is formed. . The screw engaging portion 43 is coupled to the corresponding screw engaging portion 33 formed on the inner circumferential surface of the rotary dial 31 to be described later in a screw fastening manner.

다이얼 지지구(41)의 하단으로는 프로브 척(50)이 나사 체결되어 결합된다. 따라서 다이얼 지지구(41)가 상부 몸체(10)의 제1 관통공(15)을 통해 삽입되면 프로브 척(50)의 제1 관통공(15)의 하부로 노출된다. 따라서 상부 몸체(10)를 열면 도 3 에 도시된 바와 같이 프로브 척(50) 및 프로브(52)가 육안으로 관찰된다. Probe chuck 50 is screwed and coupled to the lower end of the dial support 41. Therefore, when the dial support 41 is inserted through the first through hole 15 of the upper body 10, it is exposed to the lower portion of the first through hole 15 of the probe chuck 50. Therefore, when the upper body 10 is opened, the probe chuck 50 and the probe 52 are visually observed as shown in FIG. 3.

회전 다이얼(31)은 다이얼 지지구(41)와 결합된다. 회전 다이얼(31)은 상하부가 개구된 관통구멍(32)을 가진 원통형으로 형성되며 관통구멍(32) 내로 다이얼 지지구(41)가 삽입된다. 내주면에는 다이얼 지지구(41)에 형성된 나사 결합부(43)의 나선 돌기와 나사체결되는 나사 홈을 가진 대응 나사 결합부(33)가 형성된다. 회전 다이얼(31)과 다이얼 지지구(41)는 나사 결합부들(33, 43) 끼리 나사 결합하게 되고, 이에 따라 회전 다이얼(31)을 돌리면 다이얼 지지구(41)가 상승 및 하강하게 된다. 다이얼 지지구(41)는 프로브 척(50)과 결합되어 있으므로, 회전 다이얼(31)과 다이얼 지지구(41)는 프로브(52)의 승강을 제어하게 된다. The rotary dial 31 is engaged with the dial support 41. The rotary dial 31 is formed in a cylindrical shape with a through hole 32 having an upper and a lower part open, and a dial support 41 is inserted into the through hole 32. On the inner circumferential surface, a corresponding screw engaging portion 33 having a screw groove which is screwed with the spiral protrusion of the screw engaging portion 43 formed on the dial support 41 is formed. The rotary dial 31 and the dial supporter 41 are screwed together with the screw coupling parts 33 and 43. Accordingly, when the rotary dial 31 is turned, the dial supporter 41 is raised and lowered. Since the dial support 41 is coupled to the probe chuck 50, the rotary dial 31 and the dial support 41 control the lifting of the probe 52.

회전 다이얼(31)의 외주면 하단에는 방사 방향으로 플랜지(37)가 형성된다. 플랜지(37)는 안착홈(14)에 안착된다. 플랜지(37)의 상부로 고정링(39)이 배치되어 상부 몸체(10)와 결합되므로 회전 다이얼(31)은 상부 몸체(10)에 대하여 승강이 규제되도록 고정된다. 따라서 회전 다이얼(31)이 회전하면 다이얼 지지구(41)가 상하 방향으로 동작하게 된다.A flange 37 is formed in the radial direction at the lower end of the outer circumferential surface of the rotary dial 31. The flange 37 is seated in the seating groove 14. Since the fixing ring 39 is disposed at the upper portion of the flange 37 and coupled to the upper body 10, the rotary dial 31 is fixed so that the lifting and lowering is restricted with respect to the upper body 10. Accordingly, when the rotary dial 31 rotates, the dial supporter 41 operates in the vertical direction.

도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 다중 센서용 프로브 스테이션에서 상부 몸체(10)를 개방 시킨 상태를 도시한 도면이다. 3 is a view showing a state in which the upper body 10 is opened in the probe station for multiple sensors according to an embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3 에 도시된 바와 같이, 프로브 척(50)은 중심부에 관통구멍(55)이 형성되어 있으며, 관통구멍(55) 주변 영역으로 다수의 프로브(52)가 설치되어 아래로 연장되어 있다. 다수의 프로브(52)가 설치되므로 프로브(52)를 통한 전기적 접촉을 제어하여 동시적으로 또는 순차적으로 다수의 전기적 특성을 측정할 수 있다. As shown in FIGS. 2 and 3, the probe chuck 50 has a through hole 55 formed at a central portion thereof, and a plurality of probes 52 are installed to extend to the area around the through hole 55. have. Since a plurality of probes 52 are installed, a plurality of electrical characteristics may be measured simultaneously or sequentially by controlling electrical contact through the probes 52.

프로브(52)는 내부에 스프링을 구비하여 접촉면에 탄성접촉이 가능하도록 형성된다. 따라서 과도한 접촉압에 의해 프로브(52) 또는 프로브(52)와 접촉하는 다중 센서(70)가 손상되는 것을 방지할 수 있다. The probe 52 has a spring therein and is formed to allow elastic contact with the contact surface. Therefore, it is possible to prevent damage to the probe 52 or the multiple sensors 70 in contact with the probe 52 by excessive contact pressure.

또한 프로브(52)의 저항을 측정하면서 프로브(52)를 센서 지지판(60)을 향하여 천천히 하강시킴으로써, 모든 저항값이 0에 가깝게 나오도록 프로브(52)를 용이하게 정렬시킬 수 있다. In addition, by slowly lowering the probe 52 toward the sensor support plate 60 while measuring the resistance of the probe 52, the probe 52 can be easily aligned so that all resistance values come close to zero.

프로브 척(50)에는 프로브 척(50)에 설치된 각각의 프로브(52)가 전기적으로 연결된 프로브 소켓(54)이 구비된다. 프로브 소켓(54)에는 측정장치의 플러그가 삽입되어 측정 장치와 각각의 프로브(52)가 전기적으로 연결된다. The probe chuck 50 is provided with a probe socket 54 to which each probe 52 installed in the probe chuck 50 is electrically connected. The plug of the measuring device is inserted into the probe socket 54 so that the measuring device and each probe 52 are electrically connected.

프로브 척(50)은 다이얼 지지구(41)의 하단에 체결구를 통해 결합되므로, 프로브 척(50)을 교환할 필요가 있는 경우 프로브 척(50)을 다이얼 지지구(41)로부터 용이하게 분리 교체할 수 있다. Since the probe chuck 50 is coupled to the bottom of the dial support 41 via a fastener, when the probe chuck 50 needs to be replaced, the probe chuck 50 can be easily separated from the dial support 41. Can be replaced.

센서 지지판(60)은 하부 몸체의 제2 관통공(25) 삽입 설치되며, 하부 지지판(28)에 의해 받혀진다. The sensor support plate 60 is inserted into the second through hole 25 of the lower body, and is supported by the lower support plate 28.

본 발명에 따르면, 센서 지지판(60)은 전기적 도체 물질 예컨대, 구리와 같은 도체판으로 형성되며 측면으로 단자(61)가 형성되어 하부 몸체(20)의 일 측면으로 노출된다. 센서 지지판(60)에는 프로브 척(50)의 프로브(52)가 접촉가능하며, 프로브(52)와 센서 지지판(60) 간의 저항을 측정하여 프로브(52)의 불량 유무 판단이 가능하고, 다중 센서(70)를 센서 지지판(60)의 상부에 안착하여 다중 센서를 통해 다양한 물질의 전기적 특성 측정이 용이하게 이루어질 수 있다. According to the present invention, the sensor support plate 60 is formed of an electrically conductive material, for example, a conductive plate such as copper, and a terminal 61 is formed on a side thereof and exposed to one side of the lower body 20. The probe 52 of the probe chuck 50 may be in contact with the sensor support plate 60, and the resistance between the probe 52 and the sensor support plate 60 may be measured to determine whether the probe 52 is defective or not, and the multi-sensor The 70 may be mounted on the sensor support plate 60 to easily measure electrical characteristics of various materials through multiple sensors.

또한 센서 지지판(60)은 전기적 도체 물질로 형성되므로 트랜지스터 형태의 다중 센서의 게이트 전극 접촉판으로 사용가능하다. In addition, since the sensor support plate 60 is formed of an electrical conductor material, the sensor support plate 60 may be used as a gate electrode contact plate of a multiple sensor in the form of a transistor.

도 4 는 본 발명에 따른 센서 지지판(60)의 다른 예를 도시하고 있다. 도 4 를 참조하면, 센서 지지판(60)은 도체판(62)의 하부로 절연판(64)이 위치하며 그 하부로 핫플레이트(65)가 배치된다. 핫플레이트(65)에 의해 다중 센서가 안착되는 센서 지지판(60)이 설정된 온도를 가지며, 일정한 온도로 항온 유지되는 것이 가능하다. 4 shows another example of the sensor support plate 60 according to the present invention. Referring to FIG. 4, in the sensor support plate 60, an insulating plate 64 is positioned below the conductor plate 62, and a hot plate 65 is disposed below the conductive plate 62. The sensor support plate 60 on which the multiple sensors are seated by the hot plate 65 has a set temperature, and it is possible to maintain constant temperature at a constant temperature.

따라서 물질의 특성이 소정 온도에서 측정될 필요가 있거나 온도 변화에 따른 특성 변화 측정이 필요한 경우 핫플레이트를 이용하여 물질 검지 온도를 제어한다. Therefore, when the property of the material needs to be measured at a predetermined temperature or when the change in the property is measured according to the temperature change, the material detection temperature is controlled using a hot plate.

도 5 는 본 발명에 따른 다중 센서용 프로브 스테이션에 사용되는 다중 센서의 일 예를 도시한 것으로, 전계 효과 트랜지스터 타입의 8ㅧ8 센서 어레이를 포함하는 다중 센서이다. 중심부는 센싱 부분(72)을 이루며, 외곽으로 게이트, 소오스 및 드레인 전극 각각에 대한 전극 패드(74)가 형성되어 각 전극과 배선으로 연결된다(도 6 참조). 프로브 척(50)의 프로브(52)는 전극 패드(70)에 접촉하여 검사 전류를 인가한다. 센싱 부분(72)에는 서로 다른 물질을 동시에 측정할 수 있도록 전극이 배치되어 있다. 5 illustrates an example of multiple sensors used in a probe station for multiple sensors according to the present invention, and is a multiple sensor including an 8 × 8 sensor array of a field effect transistor type. The central portion forms a sensing portion 72, and an electrode pad 74 for each of the gate, source, and drain electrodes is formed outside and connected to each electrode by a wire (see FIG. 6). The probe 52 of the probe chuck 50 contacts the electrode pad 70 to apply a test current. In the sensing portion 72, electrodes are disposed to simultaneously measure different materials.

도 6 은 본 발명에 따른 다중 센서용 프로브 스테이션에 사용가능한 다중 센서의 또 다른 일 예를 도시한 도면이다. FIG. 6 is a diagram illustrating another example of multiple sensors usable in a probe station for multiple sensors according to the present invention.

도 6 에 도시된 다중 센서는 중심부의 센싱 부분(72)을 둘러싸고 원통형 포트(75)가 구비된다. 원통형의 포트(75)는 다중 센서가 액상을 감지할 수 있도록 설치된 것으로, 점성이 약한 액상의 화학 물질이나, 특성 검지를 위해 소정의 양이 필요한 경우에 사용되어 주변 전극 패드로 액상 물질이 유입되는 것을 방지한다.The multiple sensors shown in FIG. 6 surround a sensing portion 72 at the center and are provided with a cylindrical port 75. Cylindrical port 75 is installed so that multiple sensors can detect the liquid phase, the liquid material is weak viscous, or when a predetermined amount is required for the characteristic detection is used to introduce the liquid material into the peripheral electrode pad To prevent them.

본 발명에 다중 센서용 프로브 스테이션은 회전 다어얼(31), 다이얼 지지구(41) 및 프로브 척(50)의 구조에 의하여 다중 센서의 센싱 부분(72)의 상부로 개방된 형태이므로 이와 같은 원통형 포트(75)를 구비한 센서의 적용이 가능하다. The probe station for the multi-sensor according to the present invention is open to the upper portion of the sensing portion 72 of the multi-sensor by the structure of the rotary dial 31, the dial support 41 and the probe chuck 50, such a cylindrical Application of the sensor with port 75 is possible.

이하 본 발명에 따른 다중 센서용 프로브 스테이션의 동작을 설명한다. Hereinafter will be described the operation of the multi-sensor probe station according to the present invention.

먼저, 프로브의 불량 여부를 검사하는 방법을 설명한다. 프로브 척(50)은 프로브 소켓(54)을 통해 측정 장치와 연결되고, 다중 센서(70)가 안착되지 아니한 상태에서 상부 몸체(10)가 하부 몸체(20)의 상부로 닫혀지고, 회전 다이얼(31)이 돌려져 프로브(52)가 하강한다. First, a method of inspecting whether a probe is defective will be described. The probe chuck 50 is connected to the measuring device via the probe socket 54, the upper body 10 is closed to the upper part of the lower body 20 without the multiple sensor 70 seated, and the rotary dial ( 31) is turned and the probe 52 is lowered.

하강한 프로브(52)는 센서 지지판(60)에 접촉하고, 측정장치는 프로브(52)에 순차적으로 전원을 인가하여 인접한 프로브들(52) 사이의 저항값을 측정한다. 이때 측정된 저항값이 무한대이거나 높으면 프로브(52)에 이물질이 묻어 있는 것을 의미하므로, 프로브의 접촉 부분을 클리닝한다. 만약, 클리닝 이후에도 저항값이 무한대로 나온다면 단선, 프로브 이상을 의미한다. The lowered probe 52 contacts the sensor support plate 60, and the measuring device sequentially applies power to the probe 52 to measure resistance between adjacent probes 52. At this time, if the measured resistance value is infinite or high, it means that foreign matters are on the probe 52, and thus cleaning the contact portion of the probe. If the resistance is infinite after cleaning, it means disconnection or probe abnormality.

인접한 프로브들(52)간에 전원을 인가하였을 때 저항값이 0에 가깝게 나오면 프로브(52)는 정상 상태에 있다는 것을 알 수 있다. It can be seen that the probe 52 is in a normal state when the resistance value is close to 0 when power is applied between the adjacent probes 52.

다음으로 센서 지지판(60)에 다중 센서(70)를 안착하고 기체 및 액체 상태의 물질, 바이오 물질, 분자 단위 물질 등을 검지하는 동작을 설명한다. Next, an operation of mounting the multiple sensors 70 on the sensor support plate 60 and detecting a gas, a liquid substance, a bio substance, a molecular unit substance, and the like will be described.

센서 지지판(60)에 다중 센서를 안착하고 물질의 전기적 특성을 검지하게 된다. 본 발명에 따른 다중 센서용 프로브 스테이션은 회전 다이얼(31), 다이얼 지지구(41) 및 프로브 척(50)에 관통구멍(32, 42, 55)이 형성되어 있으므로, 액체나 기체 상태의 물질의 검지가 가능하다. 액체 상태의 물질 검지의 경우, 도 6 에 도시된 바와 같은 원통형 포트(75)를 구비한 형태의 다중 센서가 사용될 수 있다. Multiple sensors are mounted on the sensor support plate 60 to detect electrical properties of the material. In the probe station for a multi-sensor according to the present invention, since the through holes 32, 42, and 55 are formed in the rotary dial 31, the dial support 41, and the probe chuck 50, the material of the liquid or gas state It can be detected. In the case of detection of the substance in the liquid state, multiple sensors of the type with the cylindrical port 75 as shown in FIG. 6 may be used.

기체 상태의 물질 검지의 경우 핀 등에 액체 상태의 물질을 묻힌 후 관통 구멍 내로 기화하는 물질을 유도하는 방식으로 전기적 특성을 측정하게 된다. In the case of detecting a gaseous substance, electrical properties are measured by immersing a liquid substance in a pin or the like and inducing a vaporizing substance into the through hole.

본 발명에 따른 다중 센서용 프로브 스테이션은 다중 센서(70)가 안착가능하고, 다수의 프로브(52)를 구비한 프로브 척(50)이 사용가능하므로, 동시에 서로 다른 전기적 특성 및 다른 물질의 전기적 특성을 간단하게 측정할 수 있게 한다. In the probe station for multiple sensors according to the present invention, since the multiple sensors 70 can be seated and the probe chuck 50 having a plurality of probes 52 can be used, the electrical properties of different materials and different materials at the same time can be used. Make it simple to measure.

또한, 항온이 유지된 상태에서나 온도를 변화시켜 특성 검출이 필요한 경우 핫플레이트(65)를 이용하여 온도 조절이 가능하므로, 보다 다양한 전기적 특성 검출이 가능하다. In addition, since the temperature can be adjusted using the hot plate 65 when the characteristic detection is required in a state where the constant temperature is maintained or by changing the temperature, more various electrical characteristics can be detected.

이상에서 첨부된 도면의 실시예들을 참조하여 본 발명의 기술 사상을 설명하였으나 본 발명의 범위는 예시된 실시예에 의해 한정되지 않는다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구범위에 의해 정해지며 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 본 명세서의 기재로부터 가르침을 받아 이루어진 변형 등은 본 발명의 범위에 속한다.
Although the technical spirit of the present invention has been described above with reference to the embodiments of the accompanying drawings, the scope of the present invention is not limited to the illustrated embodiment. The scope of the present invention is defined by the appended claims, and modifications and the like made by those skilled in the art to which the present invention pertains are taught by the description herein are within the scope of the present invention.

10: 상부 몸체 11: 힌지 연결부
15: 제1 관통공 20: 하부 몸체
25: 제2 관통공 30: 프로브 승강부
31: 회전 다이얼 32: 관통구멍
33: 나사 결합부 39: 고정링
41: 다이얼 지지구 42: 관통구멍
43: 나사 결합부 50: 프로브 척
52: 프로브 54: 프로브 소켓
55: 관통구멍 60: 센서 지지판
64: 절연판 65: 핫플레이트
70: 다중센서 75: 원통형 포트10: upper body 11: hinge connection
15: first through hole 20: lower body
25: second through hole 30: probe lifting portion
31: rotary dial 32: through hole
33: screw connection 39: retaining ring
41: dial support 42: through hole
43: screw connection 50: probe chuck
52: probe 54: probe socket
55: through hole 60: sensor support plate
64: insulation plate 65: hot plate
70: multiple sensor 75: cylindrical port

Claims (7)

하부 몸체 및 상기 하부 몸체에 힌지 연결되어 개폐되는 상부 몸체;
프로브가 하단으로 연장되게 고정되어 있으며 상기 상부 몸체의 하단으로 상기 프로브가 노출되도록 상기 상부 몸체에 결합되는 프로브 척;
상기 프로브 척을 승강 동작시키며 상기 상부 몸체에 설치되는 프로브 승강부; 및
상기 상부 몸체가 상기 하부 몸체에 대하여 닫혔을 때 상기 하부 몸체에는 상기 프로브 척의 하부 위치에 센서 안착홈이 형성되고, 상기 센서 안착홈의 바닥면을 이루며 상기 프로브가 접촉 가능하게 설치되는 센서 지지판;을 포함하여,
외부에서 인가되는 검사 전류가 상기 프로브를 통하여 상기 센서 지지판에 안착되는 다중 센서에 인가 가능하되,
상기 상부 몸체는 중심부에 관통된 제1 관통공을 구비하고,
상기 프로브 척은 상기 제1 관통공 내에서 상기 프로브 승강부에 결합되어 승강 가능하게 설치되며,
상기 프로브 승강부는,
원통형으로 형성되고, 외주면에 나선 돌기가 형성된 나사 결합부가 형성되며, 하단으로 상기 프로브 척이 결합되는 다이얼 지지구; 및
상기 다이얼 지지구가 내부로 삽입되는 상하부가 개방된 관통구멍을 가진 원통형으로 형성되고 내주면에 상기 다이얼 지지구의 나사 결합부와 나사 결합하는 대응 나사 결합부가 형성되며, 상기 상부 몸체에 대해 승강이 규제되게 설치된 회전 다이얼을 포함하여 상기 회전 다이얼의 회전에 의해 상기 프로브 척이 수직 이동하는 것을 특징으로 하는 다중 센서용 프로브 스테이션.
An upper body hinged to the lower body and the lower body to open and close;
A probe chuck fixed to the lower end of the probe and coupled to the upper body to expose the probe to the lower end of the upper body;
A probe lifter mounted on the upper body to move the probe chuck up and down; And
A sensor support plate having a sensor seating groove formed at a lower position of the probe chuck in the lower body when the upper body is closed with respect to the lower body, forming a bottom surface of the sensor seating groove and allowing the probe to be in contact; including,
An inspection current applied from the outside may be applied to the multiple sensors seated on the sensor support plate through the probe,
The upper body has a first through hole penetrated at the center,
The probe chuck is coupled to the probe lifting unit in the first through hole and installed to be elevated.
The probe lifting unit,
A dial supporter formed in a cylindrical shape, having a screw engaging portion having a spiral protrusion formed on an outer circumferential surface thereof, and having the probe chuck coupled to a lower end thereof; And
The dial support is formed into a cylindrical shape having a through hole with an open upper and lower portions inserted therein, and a corresponding screw engaging portion for screwing with a screw engaging portion of the dial support is formed on an inner circumferential surface thereof, and the lifting is restricted with respect to the upper body. Probe station for multiple sensors, characterized in that the probe chuck vertically moved by the rotation of the rotary dial including a rotary dial.
제 1 항에 있어서,
상기 프로브 척은 중심부에 관통구멍이 형성되고,
상기 다이얼 지지구는 상하부가 개방되며 상기 프로브 척의 관통구멍과 연통되는 관통구멍을 가진 원통형으로 형성됨으로써,
상기 회전다이얼, 상기 다이얼 지지구 및 상기 프로브 척에 형성된 관통구멍들을 통해 상기 센서 지지판이 외부로 노출되는 것을 특징으로 하는 다중 센서용 프로브 스테이션.
The method of claim 1,
The probe chuck is formed with a through hole in the center,
The dial support is formed in a cylindrical shape having a through hole in which the upper and lower portions open and communicate with the through hole of the probe chuck,
And the sensor support plate is exposed to the outside through through holes formed in the rotary dial, the dial support, and the probe chuck.
제 1 항에 있어서,
상기 프로브 척은,
다수의 프로브와 상기 프로브 각각과 전기적으로 연결되고 상기 상부 몸체의 외부로 노출되어 외부 장치와 연결가능하게 배치된 프로브 소켓을 포함하며, 상기 상부 몸체에 대하여 탈착 가능하게 형성되는 것을 특징으로 하는 다중 센서용 프로브 스테이션.
The method of claim 1,
The probe chuck,
A plurality of probes and a probe socket electrically connected to each of the probes and exposed to the outside of the upper body to be connected to an external device, the probe socket being detachably formed with respect to the upper body. Probe station.
제 1 항에 있어서,
상기 센서 지지판은 전기적 도체 물질로 형성된 도체판을 포함하며,
일측으로 형성된 단자가 상기 하부 몸체 외부로 노출되어 있는 것을 특징으로 하는 다중 센서용 프로브 스테이션.
The method of claim 1,
The sensor support plate includes a conductor plate formed of an electrical conductor material,
Probe station for multiple sensors, characterized in that the terminal formed on one side is exposed to the outside of the lower body.
제 4 항에 있어서, 상기 센서 지지판은,
상기 도체판의 하부로 배치되는 절연판; 및
상기 절연판의 하부로 배치되며 온도 조절이 가능한 핫플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 센서용 프로브 스테이션.
The method of claim 4, wherein the sensor support plate,
An insulation plate disposed under the conductor plate; And
Probe station for multiple sensors, characterized in that it comprises a hot plate which is disposed under the insulating plate and the temperature control.
제 2 항에 있어서,
상기 센서 지지판의 상부로 안착되는 다중 센서를 포함하며,
상기 다중 센서는 중심부에 위치하며 외부로 노출되는 센싱 부분에 액상 물질을 수용할 수 있는 원통형 포트를 구비한 것을 특징으로 하는 다중 센서용 프로브 스테이션.The method of claim 2,
It includes a multi-sensor mounted to the upper portion of the sensor support plate,
The multi-sensor probe station for a multi-sensor, characterized in that having a cylindrical port for receiving a liquid material in the sensing portion exposed to the outside in the center. 삭제delete
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