KR101217170B1 - Substrate tray and apparatus for supplying organic matter using the same - Google Patents

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Abstract

기판과 마스크를 함께 지지할 수 있도록 한 기판 트레이 및 이를 이용한 유기물 증착장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기판 트레이는 플레이트와, 상기 플레이트의 일면으로부터 돌출되어 기판의 일면을 점착력에 의해 지지하는 점착돌기와, 상기 플레이트의 내부에 삽입되어 상기 기판 상에 위치하는 마스크를 자력에 의해 지지하는 자석을 포함한다.Disclosed is a substrate tray and an organic vapor deposition apparatus using the same, which support a substrate and a mask together. The substrate tray according to the present invention includes a plate, a sticking protrusion protruding from one surface of the plate to support one surface of the substrate by adhesive force, and a magnet inserted into the plate to support a mask positioned on the substrate by magnetic force. It includes.

Description

기판 트레이 및 이를 이용한 유기물 증착장치{Substrate tray and apparatus for supplying organic matter using the same }Substrate tray and apparatus for supplying organic matter using the same}

본 발명은 기판 트레이 및 이를 이용한 유기물 증착장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판을 지지한 상태로 유기물 증착장치로 이송되는 기판 트레이 및 이를 이용한 유기물 증착장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a substrate tray and an organic material deposition apparatus using the same, and more particularly, to a substrate tray and an organic material deposition apparatus using the same is transferred to the organic material deposition apparatus while supporting the substrate.

오엘이디(OLED;Organic Light Emitting Diodes)는 다른 평판 디스플레이 장치에 비해 얇고, 무게가 가벼우며, 구조 및 제조공정이 단순하고 소비전력이 절약되는 장점을 가지고 있다.OLED (Organic Light Emitting Diodes) has the advantages of being thinner, lighter, simpler structure and manufacturing process, and lower power consumption than other flat panel display devices.

이러한 오엘이디는 기판 상에 양극, 유기막, 음극이 순차적으로 적층된 구조를 가진다. 이 중에서 유기막은 정공수송층(Hole trancport layer), 발광층(Emitting Layer), 전자 수송층(Electron Transfer Layer)의 다층 구조로 이루어진다. 이러한 오엘이디는 정공수송층으로부터 공급받는 정공과 전자수송층으로부터 공급받는 전자가 발광층으로 전달되어 정공-전자로 결합되는 여기자(勵起子)를 형성하고, 다시 여기자가 바닥상태로 돌아오면서 발생되는 에너지에 의해 발광하게 된다. The OID has a structure in which an anode, an organic film, and a cathode are sequentially stacked on a substrate. Among them, the organic layer has a multilayer structure of a hole transport layer, an emission layer, and an electron transfer layer. These ODLs form an exciton in which holes supplied from the hole transport layer and electrons supplied from the electron transport layer are transferred to the light emitting layer and are combined with hole-electrons, and again by energy generated when the excitons return to the ground state. It will emit light.

한편, 기판에 원하는 패턴의 유기막을 형성하기 위해서는 기판과 소스공급원의 사이에 마스크를 위치시켜야 한다. 따라서 종래에는 챔버의 내부에 기판을 지지하는 스테이지와 같은 구성요소와, 스테이지의 상측에 마스크를 지지하는 마그네틱 척과 같은 구성요소를 설치하여 운용되고 있다. On the other hand, in order to form an organic film of a desired pattern on the substrate, a mask must be placed between the substrate and the source supply source. Therefore, conventionally, a component such as a stage for supporting a substrate in a chamber and a component such as a magnetic chuck for supporting a mask are provided and operated in the chamber.

하지만, 챔버의 내부에 기판을 지지하는 구성요소와, 마스크를 지지하는 구성요소를 각각 별도로 설치하여 운용하면, 챔버 내부의 구성이 복잡해질 뿐만 아니라 초기설비 비용이 증가되는 문제점이 있다.
However, if the components for supporting the substrate and the components for supporting the mask are separately installed and operated in the chamber, the configuration of the chamber is complicated and the initial equipment cost is increased.

본 발명의 목적은 기판과 마스크를 함께 지지할 수 있도록 한 기판 트레이 및 이를 이용한 유기물 증착장치를 제공하기 위한 것이다.
An object of the present invention is to provide a substrate tray and an organic vapor deposition apparatus using the same that can support the substrate and the mask together.

본 발명에 따른 기판 트레이는 플레이트와, 상기 플레이트의 일면으로부터 돌출되어 기판의 일면을 점착력에 의해 지지하는 점착돌기와, 상기 플레이트의 내부에 삽입되어 상기 기판 상에 위치하는 마스크를 자력에 의해 지지하는 자석을 포함한다.The substrate tray according to the present invention includes a plate, a sticking protrusion protruding from one surface of the plate to support one surface of the substrate by adhesive force, and a magnet inserted into the plate to support a mask positioned on the substrate by magnetic force. It includes.

상기 플레이트는 하판과, 상기 하판으로부터 이격되는 상판과, 상기 하판의 가장자리에 배치되어 상기 하판으로부터 상기 상판을 지지하는 측벽을 포함하며, 상기 자석은 상기 하판과 상기 상판의 사이에 설치되어 상기 측벽과 함께 상기 하판으로부터 상기 상판을 지지할 수 있다.The plate includes a lower plate, an upper plate spaced apart from the lower plate, and a side wall disposed at an edge of the lower plate to support the upper plate from the lower plate, wherein the magnet is installed between the lower plate and the upper plate and The upper plate can be supported from the lower plate together.

상기 점착돌기에는 중공이 형성되며, 상기 하판과 상기 상판에는 상기 중공에 연통되는 연통홀이 각각 형성될 수 있다.A hollow is formed in the adhesive protrusion, and a communication hole communicating with the hollow may be formed in the lower plate and the upper plate, respectively.

한편, 본 발명에 따른 유기물 증착장치는 증착챔버와, 기판의 일면을 지지하여 상기 증착챔버의 내부로 반입되는 기판 트레이를 지지하는 스테이지와, 상기 스테이지에 대향되어 상기 기판을 향해 유기물을 공급하는 소스공급원을 포함하며, 마스크는 상기 기판 상으로 이송되어 상기 기판 트레이에 함께 지지될 수 있다.Meanwhile, the organic material deposition apparatus according to the present invention includes a deposition chamber, a stage supporting a surface of a substrate to support a substrate tray carried into the deposition chamber, and a source for supplying an organic material toward the substrate opposite to the stage. And a source, wherein a mask can be transferred onto the substrate and supported together in the substrate tray.

상기 기판 트레이는 플레이트와, 상기 플레이트의 일면으로부터 돌출되어 상기 기판의 일면을 점착력에 의해 지지하는 점착돌기와, 상기 플레이트의 내부에 삽입되어 상기 마스크를 자력에 의해 지지하는 자석을 포함할 수 있다.The substrate tray may include a plate, an adhesive protrusion protruding from one surface of the plate to support one surface of the substrate by adhesive force, and a magnet inserted into the plate to support the mask by magnetic force.

상기 플레이트는 하판과, 상기 하판으로부터 이격되는 상판과, 상기 하판의 가장자리에 배치되어 상기 하판으로부터 상기 상판을 지지하는 측벽을 포함하며, 상기 자석은 상기 하판과 상기 상판의 사이에 설치되어 상기 측벽과 함께 상기 하판으로부터 상기 상판을 지지할 수 있다.The plate includes a lower plate, an upper plate spaced apart from the lower plate, and a side wall disposed at an edge of the lower plate to support the upper plate from the lower plate, wherein the magnet is installed between the lower plate and the upper plate and The upper plate can be supported from the lower plate together.

상기 유기물 증착장치는 상기 스테이지에 지지되고 상기 기판 트레이를 관통하여 상기 기판을 상기 기판 트레이로부터 분리시키는 분리유닛을 더 포함할 수 있다.The organic material deposition apparatus may further include a separation unit supported on the stage and penetrating the substrate tray to separate the substrate from the substrate tray.

상기 점착돌기에는 중공이 형성되고, 상기 기판 트레이에는 상기 중공에 연통되는 연통홀이 형성되며, 상기 분리유닛은 상기 중공의 내측에 배치되어 기체가 공급됨에 따라 확장되어 상기 점착돌기로부터 돌출되는 분리막을 포함할 수 있다.A hollow is formed in the adhesive protrusion, and a communication hole communicating with the hollow is formed in the substrate tray, and the separation unit is disposed inside the hollow to expand as the gas is supplied to the separation membrane protruding from the adhesive protrusion. It may include.

상기 기판 트레이는 상기 스테이지를 향해 돌출되는 복수의 정렬핀을 더 포함하며, 상기 스테이지에는 상기 복수의 정렬핀에 각각 대응되는 복수의 정렬홈이 형성될 수 있다.
The substrate tray may further include a plurality of alignment pins protruding toward the stage, and the stage may have a plurality of alignment grooves corresponding to the plurality of alignment pins, respectively.

본 발명에 따른 기판 트레이 및 이를 이용한 유기물 증착장치는 챔버의 내부를 간단하게 구성할 수 있으며, 초기설비 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
The substrate tray and the organic material deposition apparatus using the same according to the present invention can simply configure the interior of the chamber, there is an effect that can reduce the initial equipment cost.

도 1은 본 실시예에 따른 기판 트레이를 나타낸 분해사시도이다.
도 2는 본 실시예에 따른 기판 트레이의 일부를 도 1에 표기된 I-I'선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 3은 본 실시예에 따른 유기물 증착장치를 나타낸 단면도이다.
도 4는 본 실시예에 따른 유기물 증착장치에서 증착챔버의 내부로 기판 트레이가 반입되는 상태를 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 실시예에 따른 유기물 증착장치에서 증착챔버의 내부로 마스크가 반입되는 상태를 나타낸 단면도이다.
도 6은 본 실시예에 따른 유기물 증착장치에서 유기물이 증착되는 상태를 나타낸 단면도이다.
도 7은 본 실시예에 따른 유기물 증착장치에서 기판 트레이로부터 기판이 분리되는 상태를 도 6에 표기된 Ⅱ부를 확대하여 나타낸 단면도이다. 1 is an exploded perspective view showing a substrate tray according to the present embodiment.
FIG. 2 is a cross-sectional view of a portion of the substrate tray according to the present exemplary embodiment based on line II ′ shown in FIG. 1.
3 is a cross-sectional view showing an organic material deposition apparatus according to the present embodiment.
4 is a cross-sectional view illustrating a state in which the substrate tray is loaded into the deposition chamber in the organic material deposition apparatus according to the present embodiment.
5 is a cross-sectional view showing a state in which a mask is introduced into the deposition chamber in the organic material deposition apparatus according to the present embodiment.
6 is a cross-sectional view showing a state in which an organic material is deposited in the organic material deposition apparatus according to the present embodiment.
FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view of part II shown in FIG. 6 illustrating a state in which the substrate is separated from the substrate tray in the organic vapor deposition apparatus according to the present embodiment.

이하, 본 실시예에 따른 기판 트레이에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다. Hereinafter, a substrate tray according to the present embodiment will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 실시예에 따른 기판 트레이를 나타낸 분해사시도이며, 도 2는 본 실시예에 따른 기판 트레이의 일부를 도 1에 표기된 I-I'선을 기준으로 절단한 단면도이다.FIG. 1 is an exploded perspective view illustrating a substrate tray according to the present embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view of a portion of the substrate tray according to the present embodiment based on a line II ′ shown in FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 트레이(100)는 플레이트(110), 점착돌기(130) 및 자석(150)을 포함한다.1 and 2, the substrate tray 100 includes a plate 110, an adhesive protrusion 130, and a magnet 150.

플레이트(110)는 하판(111)과, 하판(111)으로부터 이격되어 배치되는 상판(113)과, 하판(111)의 가장자리에 배치되어 하판(111)으로부터 상판(113)을 지지하는 측벽(115)을 포함한다. The plate 110 includes a lower plate 111, an upper plate 113 spaced apart from the lower plate 111, and a side wall 115 disposed at an edge of the lower plate 111 to support the upper plate 113 from the lower plate 111. ).

점착돌기(130)는 기판의 일면을 점착 지지한다. 점착돌기(130)는 상판(113)의 상면으로부터 돌출되도록 설치된다. 점착돌기(130)의 중앙부에는 중공(131)이 형성되며, 하판(111)과 상판(113)에는 중공(131)에 연통되는 제1, 2 연통홀(111a, 113a)이 형성된다. 중공(131)은 점착돌기(130)에 점착된 기판을 분리하기 위한 분리유닛이 제1, 2 연통홀(111a, 113a)을 관통하여 점착돌기(130)의 중앙부에 위치할 수 있도록 한다. The adhesive protrusion 130 adhesively supports one surface of the substrate. The adhesion protrusions 130 are installed to protrude from the upper surface of the upper plate 113. The hollow 131 is formed at the center of the adhesive protrusion 130, and the first and second communication holes 111a and 113a communicating with the hollow 131 are formed in the lower plate 111 and the upper plate 113. The hollow 131 allows the separation unit for separating the substrate adhered to the adhesive protrusion 130 to be positioned at the center of the adhesive protrusion 130 through the first and second communication holes 111a and 113a.

자석(150)은 점착돌기(130)에 의해 점착된 기판의 이면으로 공급되는 마스크를 자력에 의해 지지한다. 자석(150)은 하판(111)과 상판(113)의 사이에 배치된다. 자석(150)의 상단부는 상판(113)의 하면에 결합되고, 자석(150)의 하단부는 하판(111)의 상면에 결합된다. 이와 같이 하판(111)과 상판(113)의 사이에 설치되는 자석(150)은 플레이트(110)에 작용하는 응력을 저하시켜 플레이트(110)가 왜곡, 또는 변형되는 것을 방지한다. The magnet 150 supports the mask supplied to the rear surface of the substrate adhered by the adhesive protrusion 130 by magnetic force. The magnet 150 is disposed between the lower plate 111 and the upper plate 113. The upper end of the magnet 150 is coupled to the lower surface of the upper plate 113, and the lower end of the magnet 150 is coupled to the upper surface of the lower plate 111. As such, the magnet 150 installed between the lower plate 111 and the upper plate 113 lowers the stress applied to the plate 110 to prevent the plate 110 from being distorted or deformed.

이러한 기판 트레이(100)는 기판을 지지하는 상태로 이송되며, 기판을 처리하는 챔버로 반입되어 챔버의 내부에 배치되는 스테이지에 놓여질 수 있다. (도 3 참조.)The substrate tray 100 may be transported while supporting the substrate, and may be loaded into a chamber for processing the substrate and placed on a stage disposed inside the chamber. (See Figure 3.)

따라서, 하판(111)에는 하판(111)의 하면으로부터 하판(111)의 하방으로 돌출되는 복수의 정렬핀(170)이 설치될 수 있다. 각 정렬핀(170)의 하단부에는 단면적이 점차 축소되는 테이퍼(taper)가 형성된다. 이러한 복수의 정렬핀(170)은 챔버의 스테이지에 형성되는 정렬홈에 삽입됨에 따라 기판 트레이(100)에 지지되는 기판이 챔버의 내부에서 정위치에 정렬될 수 있도록 한다. Therefore, the lower plate 111 may be provided with a plurality of alignment pins 170 protruding downward of the lower plate 111 from the lower surface of the lower plate 111. At the lower end of each alignment pin 170, a taper is formed in which the cross-sectional area is gradually reduced. As the plurality of alignment pins 170 are inserted into the alignment grooves formed in the stage of the chamber, the substrate supported by the substrate tray 100 may be aligned in place in the chamber.

그리고 복수의 정렬핀(170)은 스테이지에 형성되는 정렬홈의 깊이보다 길게 마련된다. 따라서 스테이지에 놓여지는 기판 트레이(100)는 스테이지의 상면으로부터 이격된다. 이와 같이 기판 트레이(100)가 스테이지의 상면으로부터 이격됨에 따라 기판 트레이(100)를 이송하는 이송로봇은 기판 트레이(100)를 스테이지에 내려놓고, 단부를 기판 트레이(100)로부터 원활하게 이탈시킬 수 있다.And the plurality of alignment pins 170 is provided longer than the depth of the alignment groove formed in the stage. Therefore, the substrate tray 100 placed on the stage is spaced apart from the upper surface of the stage. As the substrate tray 100 is spaced apart from the upper surface of the stage as described above, the transfer robot for transporting the substrate tray 100 may lower the substrate tray 100 onto the stage and smoothly detach the end portion from the substrate tray 100. have.

이와 같은 기판 트레이(100)는 기판을 지지한 상태로, 기판이 처리되는 챔버의 내부로 반입된다. 그리고 챔버의 내부로 반입된 기판 트레이(100)는 챔버의 내부로 반입되는 마스크를 기판과 함께 지지할 수 있다. The substrate tray 100 is carried into the chamber in which the substrate is processed while supporting the substrate. The substrate tray 100 carried into the chamber may support the mask carried into the chamber together with the substrate.

따라서 기판 트레이(100)는 마스크를 지지하기 위한 마그네틱 척과 같은 별도의 마스크 지지수단을 챔버의 내부에 별도로 구성하지 않고 설비를 간편하게 구성할 수 있도록 한다.
Therefore, the substrate tray 100 can easily configure the equipment without separately configuring a separate mask support means such as a magnetic chuck for supporting the mask.

이하, 본 실시예에 따른 유기물 증착장치에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다. Hereinafter, an organic vapor deposition apparatus according to the present embodiment will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 실시예에 따른 유기물 증착장치를 나타낸 단면도이다.3 is a cross-sectional view showing an organic material deposition apparatus according to the present embodiment.

도 3을 참조하면, 유기물 증착장치(200)는 증착챔버(210), 스테이지(230), 분리유닛(250) 및 소스공급원(270)을 포함한다. Referring to FIG. 3, the organic material deposition apparatus 200 includes a deposition chamber 210, a stage 230, a separation unit 250, and a source supply source 270.

증착챔버(210)의 내부에는 기판(10)에 유기물이 증착되는 공정이 수행되는 공간이 형성된다. 이러한 증착챔버(210)의 내부는 진공분위기로 전환이 가능하게 마련된다. 증착챔버(210)의 일측벽에는 기판(10)의 출입을 위한 게이트밸브(211)가 설치될 수 있다. In the deposition chamber 210, a space in which an organic material is deposited on the substrate 10 is performed. The interior of the deposition chamber 210 is provided to be converted into a vacuum atmosphere. One side wall of the deposition chamber 210 may be provided with a gate valve 211 for entering and exiting the substrate 10.

여기서, 기판(10)은 상술된 기판 트레이(100)에 일면 점착된 상태로 증착챔버(210)의 내, 외부로 출입될 수 있다. 이하의 설명에서는 상술된 기판 트레이(100)와 유사한 구성요소에 대해서 동일한 참조부호를 부여하고 상세한 설명은 생략하도록 한다. 따라서, 이하의 설명에서 상세한 설명이 생략된 기판 트레이(100)에 대해서는 상술된 기판 트레이(100)에 대한 설명을 참조하여 이해할 수 있을 것이다. Here, the substrate 10 may enter and exit the inside and outside of the deposition chamber 210 in a state of being adhered to one side of the substrate tray 100 described above. In the following description, the same reference numerals are given to components similar to those of the substrate tray 100 described above, and detailed description thereof will be omitted. Therefore, the substrate tray 100 in which the detailed description is omitted in the following description will be understood with reference to the description of the substrate tray 100 described above.

한편, 증착챔버(210)의 내부에는 기판 트레이(100)를 지지하는 스테이지(230)가 배치된다. 스테이지(230)에는 복수의 정렬홈(231)이 형성된다. 복수의 정렬홈(231)은 기판 트레이로부터 돌출되는 복수의 정렬핀(170)이 삽입되어 기판 트레이(100)가 정위치에 정렬될 수 있도록 한다. 각 정렬홈(231)은 각 정렬핀(170)의 하단부에 형성된 테이퍼에 대응되도록 개방단부의 직경이 점차 확대대도록 형성된다. Meanwhile, a stage 230 for supporting the substrate tray 100 is disposed in the deposition chamber 210. The stage 230 is provided with a plurality of alignment grooves 231. The plurality of alignment grooves 231 may be inserted with a plurality of alignment pins 170 protruding from the substrate tray so that the substrate tray 100 may be aligned in position. Each of the alignment grooves 231 is formed so that the diameter of the open end is gradually enlarged to correspond to the taper formed at the lower end of each alignment pin 170.

분리유닛(250)은 기판 트레이(100)에 점착된 기판(10)을 기판 트레이(100)로부터 분리시키기 위한 것으로, 스테이지(230)의 상면에 설치된다. 분리유닛(250)은 스테이지(230)에 내설되고 스테이지(230)의 상측으로 분기되어 단부가 개방되는 공급관(251), 공급관(251)의 단부에 결합되는 분리막(253) 및 공급관(251)을 통해 분리막(253)으로 기체를 공급하는 공급펌프(255)를 포함한다. The separation unit 250 is to separate the substrate 10 adhered to the substrate tray 100 from the substrate tray 100 and is installed on the upper surface of the stage 230. The separation unit 250 includes a supply pipe 251 which is built in the stage 230 and branches to an upper side of the stage 230 to open an end, a separation membrane 253 coupled to an end of the supply pipe 251, and a supply pipe 251. It includes a feed pump 255 for supplying gas to the separator 253 through.

분리막(253)은 공급관(251)을 통해 기체가 공급됨에 따라 확장되어 점착돌기(130)의 중앙부에서 부풀어올라 점착돌기(130)로부터 돌출된다. 이에 따라 점착돌기(130)에 점착된 기판(10)은 점착돌기(130)로부터 분리될 수 있다.The separation membrane 253 expands as gas is supplied through the supply pipe 251 and swells from the central portion of the adhesion protrusion 130 to protrude from the adhesion protrusion 130. Accordingly, the substrate 10 adhered to the adhesive protrusion 130 may be separated from the adhesive protrusion 130.

소스공급원(270)은 유기물을 기화시켜 기판 트레이(100)에 점착된 기판의 이면으로 분사되도록 하는 것으로, 스테이지(230)에 대향되도록 배치된다. 도시되지 않았지만, 소스공급원(270)은 유기물이 담긴 도가니, 도가니를 가열하여 유기물을 기화시키는 가열기, 기화된 유기물이 기판(10)으로 분사되도록 하는 노즐 등을 포함할 수 있다.
The source source 270 vaporizes the organic material to spray the back surface of the substrate adhered to the substrate tray 100, and is disposed to face the stage 230. Although not shown, the source supply source 270 may include a crucible containing an organic material, a heater for heating the crucible to vaporize the organic material, a nozzle for spraying the vaporized organic material onto the substrate 10, and the like.

이하, 본 실시예에 따른 유기물 증착장치의 동작에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다. Hereinafter, an operation of the organic material deposition apparatus according to the present embodiment will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 실시예에 따른 유기물 증착장치에서 증착챔버의 내부로 기판 트레이가 반입되는 상태를 나타낸 단면도이다. 4 is a cross-sectional view illustrating a state in which the substrate tray is loaded into the deposition chamber in the organic material deposition apparatus according to the present embodiment.

도 4를 참조하면, 기판(10)은 기판 트레이(100)에 지지된 상태로 증착챔버(210)의 내부로 반입된다. 즉, 기판(10)은 일면이 점착돌기(130)에 점착된 상태로 이송로봇(30)에 의해 증착챔버(210)의 내부로 반입된다. Referring to FIG. 4, the substrate 10 is loaded into the deposition chamber 210 while being supported by the substrate tray 100. That is, the substrate 10 is carried into the deposition chamber 210 by the transfer robot 30 with one surface adhered to the adhesive protrusion 130.

이송로봇(30)은 기판 트레이(100)를 스테이지(230)에 내려놓는다. 이때, 기판 트레이(100)에 돌출되는 복수의 정렬핀(170)은 스테이지(230)에 형성된 복수의 정렬홈(231)에 삽입된다. 그리고 분리유닛(250)의 분리막(253)은 제1, 2 연통홀(111a, 113a)을 관통하여 중공(131)의 내측에 위치한다. 이와 같이 기판(10)은 복수의 정렬핀(170)이 복수의 정렬홈(231)에 삽입되고, 분리유닛(250)의 분리막(253)이 중공(131)의 내측에 위치함에 따라 증착챔버(210)의 내부에서 정위치에 정렬될 수 있다. The transfer robot 30 lowers the substrate tray 100 on the stage 230. In this case, the plurality of alignment pins 170 protruding from the substrate tray 100 are inserted into the plurality of alignment grooves 231 formed in the stage 230. The separation membrane 253 of the separation unit 250 penetrates through the first and second communication holes 111a and 113a and is positioned inside the hollow 131. As described above, the substrate 10 includes a plurality of alignment pins 170 inserted into the plurality of alignment grooves 231, and the separation membrane 253 of the separation unit 250 is positioned inside the hollow 131. 210 may be aligned in place.

그리고 기판 트레이(100)는 스테이지(230)로부터 이격된 상태로 스테이지(230)에 놓여진다. 따라서 이송로봇(30)의 단부는 기판 트레이(100)로부터 원활하게 이탈되어 증착챔버(210)의 외부로 빠져나간다. The substrate tray 100 is placed on the stage 230 while being spaced apart from the stage 230. Therefore, the end of the transfer robot 30 is smoothly separated from the substrate tray 100 and exits to the outside of the deposition chamber 210.

도 5는 본 실시예에 따른 유기물 증착장치에서 증착챔버의 내부로 마스크가 반입되는 상태를 나타낸 단면도이다. 5 is a cross-sectional view showing a state in which a mask is introduced into the deposition chamber in the organic material deposition apparatus according to the present embodiment.

도 5를 참조하면, 이송로봇(30)은 마스크(20)를 증착챔버(210)의 내부로 반입시킨다. 이송로봇(30)은 기판(10) 위에 마스크(20)를 내려놓는다. 마스크(20)는 기판 트레이(100)에 내설된 자석(150)에서 발생되는 자력에 의해 기판(10) 위에 견고하게 지지된다. Referring to FIG. 5, the transfer robot 30 carries the mask 20 into the deposition chamber 210. The transfer robot 30 lowers the mask 20 on the substrate 10. The mask 20 is firmly supported on the substrate 10 by the magnetic force generated by the magnet 150 embedded in the substrate tray 100.

이어, 게이트밸브(미도시)에 의해 증착챔버(210)는 밀폐되며, 증착챔버(210)는 진공배기가 수행되어 진공분위기로 전환된다. Subsequently, the deposition chamber 210 is sealed by a gate valve (not shown), and the deposition chamber 210 is converted into a vacuum atmosphere by performing vacuum evacuation.

도 6은 본 실시예에 따른 유기물 증착장치에서 유기물이 증착되는 상태를 나타낸 단면도이다. 6 is a cross-sectional view showing a state in which an organic material is deposited in the organic material deposition apparatus according to the present embodiment.

도 6을 참조하면, 소스공급원(270)은 유기물을 기화시키고, 기화된 유기물을 기판(10)을 향해 분사시킨다. 기판(10)을 향해 분사되는 유기물은 마스크(20)에 형성된 패턴에 따라 기판(10) 위에 증착된다.Referring to FIG. 6, the source source 270 vaporizes the organic material and sprays the vaporized organic material toward the substrate 10. The organic material sprayed toward the substrate 10 is deposited on the substrate 10 according to the pattern formed on the mask 20.

도 7은 본 실시예에 따른 유기물 증착장치에서 기판 트레이로부터 기판이 분리되는 상태를 도 6에 표기된 Ⅱ부를 확대하여 나타낸 단면도이다. FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view of part II shown in FIG. 6 illustrating a state in which the substrate is separated from the substrate tray in the organic vapor deposition apparatus according to the present embodiment.

도 7을 참조하면, 유기물 증착장치(200)는 유기물이 증착된 기판(10)을 기판 트레이(100)로부터 분리시켜 증착챔버(210)의 외부로 반출시킬 수 있다.Referring to FIG. 7, the organic material deposition apparatus 200 may separate the substrate 10 on which the organic material is deposited from the substrate tray 100 and carry it out of the deposition chamber 210.

즉, 기판(10)에 유기물이 증착이 완료되면, 공급펌프(255)는 공급관(251)을 통해 분리막(253)으로 기체를 공급한다. 분리막(253)으로 기체가 공급됨에 따라 분리막(253)은 부풀어올라 점착돌기(130)로부터 돌출된다. 분리막(253)은 점착돌기(130)에 점착된 기판(10)의 이면을 밀어올리고, 기판(10)은 점착돌기(130)로부터 이격된다. That is, when deposition of the organic material on the substrate 10 is completed, the supply pump 255 supplies gas to the separator 253 through the supply pipe 251. As gas is supplied to the separator 253, the separator 253 swells and protrudes from the adhesive protrusion 130. The separator 253 pushes up the back surface of the substrate 10 adhered to the adhesive protrusion 130, and the substrate 10 is spaced apart from the adhesive protrusion 130.

이와 같이 기판(10)이 점착돌기(130)로부터 이격되면, 외부로부터 이송로봇(30)의 단부가 반입되고, 이송로봇(30)의 단부는 플레이트(110)와 기판(10)의 사이로 진입된다. 이송로봇(30)은 단부를 상승시켜 기판(10)과 마스크(20)를 함께 지지하고, 기판(10)과 마스크(20)를 증착챔버(210)의 외부로 반출시킨다.When the substrate 10 is spaced apart from the adhesive protrusion 130 as described above, the end of the transfer robot 30 is carried in from the outside, and the end of the transfer robot 30 enters between the plate 110 and the substrate 10. . The transfer robot 30 raises the end to support the substrate 10 and the mask 20 together, and transports the substrate 10 and the mask 20 to the outside of the deposition chamber 210.

상술된 설명에서, 마스크(20)는 기판(10)을 지지하는 기판 트레이(100)가 증착챔버(210)의 내부로 반입된 이후, 이송로봇(30)에 의해 증착챔버(210)의 내부로 반입되어 기판 트레이(100)에 지지되는 것으로 설명하고 있다. In the above description, the mask 20 is moved into the deposition chamber 210 by the transfer robot 30 after the substrate tray 100 supporting the substrate 10 is loaded into the deposition chamber 210. It is described as being carried in and supported by the substrate tray 100.

다른 실시예로, 마스크(20)는 기판 트레이(100)가 증착챔버(210)의 내부로 반입되기 전, 기판 트레이(100)에 기판(10)과 함께 지지된 상태로 증착챔버(210)의 내부토 반입될 수 있다.
In another embodiment, the mask 20 may be formed in the deposition chamber 210 in a state where the substrate tray 100 is supported together with the substrate 10 in the substrate tray 100 before the substrate tray 100 is carried into the deposition chamber 210. Internal soil can be imported.

100 : 기판 트레이 110 : 플레이트
130 : 점착돌기 150 : 자석100: substrate tray 110: plate
130: adhesion protrusion 150: magnet

Claims (9)

플레이트와,
상기 플레이트의 일면으로부터 돌출되어 점착력에 의해 기판을 지지하는 점착돌기와,
상기 플레이트의 내부에 삽입되어 상기 기판 상에 위치하는 마스크를 자력에 의해 지지하는 자석을 포함하며,
상기 점착돌기로부터 상기 기판을 분리시키는 분리유닛이 상기 점착돌기 상으로 출몰할 수 있도록 상기 점착돌기에는 중공이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 트레이.Plate,
An adhesive protrusion protruding from one surface of the plate to support the substrate by adhesive force,
A magnet inserted into the plate to support a mask positioned on the substrate by magnetic force;
The substrate tray, characterized in that the hollow is formed in the adhesive projection so that the separation unit for separating the substrate from the adhesive projection can be protruded onto the adhesive projection. 제 1항에 있어서, 상기 플레이트는
하판과,
상기 하판으로부터 이격되는 상판과,
상기 하판의 가장자리에 배치되어 상기 하판으로부터 상기 상판을 지지하는 측벽을 포함하며,
상기 자석은
상기 하판과 상기 상판의 사이에 설치되어 상기 측벽과 함께 상기 하판으로부터 상기 상판을 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 트레이.The method of claim 1, wherein the plate
Bottom Plate,
An upper plate spaced apart from the lower plate,
A side wall disposed at an edge of the lower plate to support the upper plate from the lower plate,
The magnet is
And a substrate tray disposed between the lower plate and the upper plate to support the upper plate from the lower plate together with the sidewalls. 제 2항에 있어서,
상기 하판과 상기 상판에는 상기 중공에 연통되는 연통홀이 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 트레이.The method of claim 2,
The lower plate and the upper plate is characterized in that the communication tray is formed in the communication hole communicating with the hollow, respectively. 증착챔버와,
기판의 일면을 지지하여 상기 증착챔버의 내부로 반입되는 기판 트레이를 지지하는 스테이지와,
상기 스테이지에 지지되고 기체가 공급됨에 따라 상기 기판 트레이와 상기 기판의 사이로 확장되어 상기 기판 트레이로부터 상기 기판이 분리되도록 하는 분리유닛과,
상기 스테이지에 대향되어 상기 기판을 향해 유기물을 공급하는 소스공급원을 포함하며,
마스크가 상기 기판 상으로 이송되어 상기 기판 트레이에 함께 지지되는 것을 특징으로 하는 유기물 증착장치. Deposition chamber,
A stage for supporting a substrate tray to support one surface of a substrate and to be carried into the deposition chamber;
A separation unit which is supported by the stage and is expanded between the substrate tray and the substrate as the gas is supplied to separate the substrate from the substrate tray;
A source supply source opposite the stage to supply organic matter toward the substrate,
And a mask is transferred onto the substrate and supported together with the substrate tray. 제 4항에 있어서, 상기 기판 트레이는
플레이트와,
상기 플레이트의 일면으로부터 돌출되어 상기 기판의 일면을 점착력에 의해 지지하는 점착돌기와,
상기 플레이트의 내부에 삽입되어 상기 마스크를 자력에 의해 지지하는 자석을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착장치.The method of claim 4, wherein the substrate tray is
Plate,
An adhesive protrusion protruding from one surface of the plate to support one surface of the substrate by adhesive force;
And a magnet inserted into the plate to support the mask by magnetic force. 제 5항에 있어서, 상기 플레이트는
하판과,
상기 하판으로부터 이격되는 상판과,
상기 하판의 가장자리에 배치되어 상기 하판으로부터 상기 상판을 지지하는 측벽을 포함하며,
상기 자석은
상기 하판과 상기 상판의 사이에 설치되어 상기 측벽과 함께 상기 하판으로부터 상기 상판을 지지하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착장치.The method of claim 5, wherein the plate
Bottom Plate,
An upper plate spaced apart from the lower plate,
A side wall disposed at an edge of the lower plate to support the upper plate from the lower plate,
The magnet is
And an upper plate disposed between the lower plate and the upper plate to support the upper plate from the lower plate together with the sidewalls. 삭제delete 제 6항에 있어서,
상기 점착돌기에는 중공이 형성되고, 상기 하판과 상판에는 상기 중공에 연통되는 연통홀이 형성되며,
상기 분리유닛은 상기 중공의 내측에 배치되어 기체가 공급됨에 따라 확장되어 상기 점착돌기로부터 돌출되는 분리막을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착장치. The method according to claim 6,
A hollow is formed in the adhesive protrusion, and a communication hole communicating with the hollow is formed in the lower plate and the upper plate.
The separation unit is disposed inside the hollow organic material deposition apparatus characterized in that it comprises a separator which is extended as the gas is supplied and protrudes from the adhesive projections. 제 4항에 있어서,
상기 기판 트레이는 상기 스테이지를 향해 돌출되는 복수의 정렬핀을 더 포함하며,
상기 스테이지에는 상기 복수의 정렬핀에 각각 대응되는 복수의 정렬홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 유기물 증착장치.5. The method of claim 4,
The substrate tray further includes a plurality of alignment pins protruding toward the stage,
And a plurality of alignment grooves corresponding to the plurality of alignment pins, respectively, on the stage.
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