KR101215962B1 - Ｅｆｅｍ의 버퍼 스토리지 박스 - Google Patents

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efem
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cassette
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고은호
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이프로링크텍(주)
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Abstract

본 발명에 따른 EFEM의 버퍼 스토리지 박스는, EFEM의 내부와 연통되도록 개방된 앞면은 EFEM의 측벽에 부착 설치되고 뒷면은 상기 EFEM의 측벽에서 돌출되어 나오도록 설치되는 스토리지 박스(100); 스토리지 박스(100) 내에 장착되며 복수개의 웨이퍼가 탑재되는 버퍼 카세트(200); 및 스토리지 박스(100)의 내부와 연통되도록 개방된 앞면이 스토리지 박스(100)의 뒷면에 부착되어 뒷면이 돌출되도록 설치되고 스토리지 박스(100) 내의 기체가 외부로 배출되도록 배기관(310)이 연결 설치되는 버퍼배기포트(300);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 런 카세트(50)에 있던 공정 투입 전의 웨이퍼(60)가 공정챔버(30)에서 처리공정을 마친 후에 중간에 버퍼 카세트(200)로 모두 옮겨 탑재되어 이물질 제거 과정을 거친 후에, 비어 있는 런 카세트(50)에 이송 탑재되기 때문에, 런 카세트(50)에는 공전 전과 후의 웨이퍼가 혼재하는 상황이 발생되지 않게 되고, 또한 공정을 마친 웨이퍼에 이물질이 존재하지 않게 되어 공정의 신뢰성이 향상되게 된다.

Description

ＥＦＥＭ의 버퍼 스토리지 박스{buffer storage box for equipment front end module}
본 발명은 EFEM의 버퍼 스토리지 박스(buffer storage box for equipment front end module)에 관한 것으로서, 특히 공정을 마친 웨이퍼가 런 카세트(run cassette)에 탑재되기 전에 임시로 보관될 수 있는 버퍼 카세트(buffer cassette)를 포함하여 이루어지되, 공정을 마친 웨이퍼와 함께 공정챔버나 로드락 챔버에서 묻어 나오는 이물질을 EFEM의 외부로 반출시켜 제거할 수 있는 EFEM의 버퍼 스토리지 박스에 관한 것이다.
EFEM(equipment front end module)은 반도체 제조라인에서 런 카세트에 있는 웨이퍼를 공정모듈로 공급하는데 사용되는 인터페이스 모듈이다.
도 1은 종래의 EFEM을 설명하기 위한 도면이다. 도 1을 참조하면, EFEM(10)은 공정모듈(20, 30)에 웨이퍼를 공급하기 위한 인터페이스 모듈로서, 공정챔버(30)의 전단에 위치하는 로드락 챔버(20)에 연결 설치된다. 복수개의 웨이퍼(60)가 탑재된 런 카세트(run cassette, 50)는 로드 스테이션(40) 상에 올려 놓이며, 런 카세트(50)와 EFEM(10) 사이에는 도어(51)가 설치된다.
런 카세트(50)에 탑재되어 있는 웨이퍼(60)는 도어(51)가 개방된 후에 이송로봇(70)에 의하여 로드락 챔버(20)로 이송된 후 공정챔버(30)에서 제조공정을 거치게 된다. 공정챔버(30)에서 제조공정을 마친 웨이퍼(60)는 로드락 챔버(20)를 거쳐 이송로봇(70)을 통해서 다시 런 카세트(50)에 탑재된다.
이 과정에서 웨이퍼(60)는 EFEM(10)의 내부를 지나게 되는데, 이 때 EFEM(10)내에서 웨이퍼(60)가 오염될 우려가 있으므로 이를 방지하기 위하여 EFEM(10)에는 외부로부터 청정 공기가 유입되도록 팬(11)과 필터(12)가 설치되며, 또한 유입된 공기의 배출을 위한 배기구(80)가 설치된다.
상술한 종래의 EFEM(10)은 공정챔버(30)에서 제조공정을 거친 웨이퍼(60)가 다시 런 카세트(50)에 탑재되기 때문에 런 카세트(60)에는 공정 전의 웨이퍼(60)와 공정 후의 웨이퍼(60)가 혼재하게 된다. 이 때 공정 후의 웨이퍼(60)에 의하여 아직 공정에 투입되지 않은 웨이퍼(60)가 오염되는 문제가 발생하게 된다. 예컨대 공정 후의 웨이퍼(60)에 산소나 습기 등이 잔존하고 있으면 그로 인해 공정 투입전의 웨이퍼(60)가 원하지 않게 산화되어 공정투입 전부터 공정불량의 문제를 소지하게 된다.
따라서 공정 후의 웨이퍼(60)를 로드락 챔버(20)에서 런 카세트(50)로 곧바로 탑재시키지 않고 중간에 버퍼 카세트를 설치하여 상기 버퍼 카세트에 임시로 탑재시켰다가 런 카세트(50)로 이동 탑재시킬 필요가 있다. 그러면 런 카세트(60)에 있던 공정 투입전의 웨이퍼(60)가 제조공정을 마친 후 하나씩 모두 상기 버퍼 카세트로 옮겨 탑재되기 때문에 런 카세트(60)가 비게 될 것이고, 이 때 상기 버퍼 카세트에 있던 웨이퍼를 모두 런 카세트(60)로 옮겨 담으면 상술한 바와 같이 런 카세트(60)에 공정 전과 후의 웨이퍼(60)가 혼재하는 종래의 문제를 해결할 수 있게 된다.
그러나 상기 버퍼 카세트를 설치한다고 하여도 공정 직후의 웨이퍼(60)를 상기 버퍼 카세트로 반출하는 과정에서 기체성분이나 기타 이물질이 웨이퍼(60)와 함께 묻어나올 수 있기 때문에 공정 후의 웨이퍼(60)에 존재하는 이물질이 제거된다는 보장은 없으며, 또한 반복적으로 상기 버퍼 카세트를 사용하다보면 이러한 이물질에 의하여 상기 버퍼 카세트도 오염되는 문제가 발생한다.
따라서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 공정을 마친 웨이퍼가 런 카세트에 탑재되기 전에 임시로 보관될 수 있는 버퍼 카세트를 포함하여 이루어지되, 공정을 마친 웨이퍼와 함께 공정챔버나 로드락 챔버에서 묻어 나오는 이물질을 EFEM의 외부로 반출시켜 제거할 수 있는 EFEM의 버퍼 스토지리 박스를 제공하는 데 있다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 EFEM의 버퍼 스토리지 박스는,
EFEM의 내부와 연통되도록 개방된 앞면은 EFEM의 측벽에 부착 설치되고 뒷면은 상기 EFEM의 측벽에서 돌출되어 나오도록 설치되는 스토리지 박스;
상기 스토리지 박스 내에 장착되며 복수개의 웨이퍼가 탑재되는 버퍼 카세트; 및
상기 스토리지 박스의 내부와 연통되도록 개방된 앞면이 상기 스토리지 박스의 뒷면에 부착되어 뒷면이 돌출되도록 설치되고 상기 스토리지 박스 내의 기체가 외부로 배출되도록 배기관이 연결 설치되는 버퍼배기포트;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 스토리지 박스는 윗면이 분리 가능하게 설치되며 상기 버퍼 카세트는 상기 윗면의 분리에 의해 형성되는 개방부를 통해서 상기 스토리지 박스 내에 장착되는 것이 바람직하다.
상기 버퍼 카세트에 탑재되는 웨이퍼를 육안으로 볼 수 있도록 상기 스토리지 박스의 측면에 웨이퍼 확인 윈도우가 설치되는 것이 바람직하다.
상기 스토리지 박스 내의 압력을 측정할 수 있도록 상기 스토리지 박스에 배기압력센서가 설치되고 상기 배기압력센서에서 측정되는 압력을 입력받아 공정제어의 피드백 신호를 제어수단으로 출력하도록 압력 모니터링 수단이 상기 배기압력 센서에 연결 설치되는 것이 바람직하다.
상기 버퍼 카세트는 상기 EFEM을 바라보는 앞면쪽으로 웨이퍼가 장입 반출되도록 앞면이 개방되며, 상기 스토리지 박스 내의 기체가 상기 버퍼 카세트를 통과하여 상기 배기관으로 배출되도록 뒷면, 측면, 및 저면 중 적어도 어느 하나의 면이 개방되도록 형성되는 것이 바람직하다.
상기 배기관은 상기 버퍼배기포트의 밑면에 설치되고 상기 스토리지 박스 내의 기체 흐름이 상기 배기관이 있는 밑으로 유도되도록 상기 버퍼배기포트 내에 경사지게 판형상의 배기제어댐퍼가 설치되는 것이 바람직하다.
상기 배기제어댐퍼는 가로축을 축으로 하여 회동가능하게 설치되는 것이 바람직하다.
상기 버퍼배기포트의 뒷면은 비스듬하게 위를 바라보도록 경사지게 설치되는 것이 바람직하다.
상기 배기제어댐퍼를 육안으로 볼 수 있도록 상기 버퍼배기포트의 뒷면에 댐퍼 확인 윈도우가 설치되는 것이 바람직하다.
상기 배기관은 상기 버퍼배기포트에 연결되는 부위는 직경이 크고 상기 버퍼배기포트에서 멀어질수록 직경이 작아지는 축경부를 가지는 것이 바람직하다.
상기 배기관 내의 압력을 측정할 수 있도록 상기 배기관에 배기압력센서가 설치되는 것이 바람직하다.
상기 스토리지 박스의 앞면쪽에서 뒷면쪽으로 퍼지기체를 분사하도록 상기 스토리지 박스의 양측면 앞쪽에 퍼지블록이 세로로 각각 설치되는 것이 바람직하다. 이 때 상기 퍼지블록은 서로 다른 각도로 상기 퍼지기체를 분사하도록 상기 스토리지 박스의 양측면에 각각 복수개가 설치되는 것이 바람직하다.
상기 퍼지블록은 세로축을 중심으로 회동 가능하도록 설치되는 것이 바람직하다.
상기 퍼지블록에 세로로 긴 분사슬릿이 형성되고 상기 분사슬릿을 통하여 상기 퍼지기체가 분사되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 버퍼 스토리지 박스가 설치되는 EFEM의 경우, 공정 전의 웨이퍼가 탑재되어 대기하는 런 카세트가 상기 EFEM에 설치되고, 상기 EFEM의 내부에 상기 버퍼 카세트에서 상기 런 카세트로 웨이퍼를 이송하는 이송 로봇이 설치되는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 런 카세트에 있던 공정 투입 전의 웨이퍼가 공정챔버에서 처리공정을 마친 후에 중간에 버퍼 카세트로 모두 옮겨 탑재되어 이물질 제거 과정을 거친 후에, 비어 있는 런 카세트에 이송 탑재되기 때문에, 런 카세트에는 공전 전과 후의 웨이퍼가 혼재하는 상황이 발생되지 않게 되고, 또한 공정을 마친 웨이퍼에 이물질이 존재하지 않게 되어 공정의 신뢰성이 향상되게 된다.
도 1은 종래의 EFEM을 설명하기 위한 도면;
도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 버퍼 스토리지 박스를 설명하기 위한 외부 사시도들;
도 4 내지 도 6은 본 발명에 따른 버퍼 스토리지 박스를 설명하기 위한 분해 사시도들;
도 7은 본 발명에 따른 버퍼 스토리지 박스를 설명하기 위한 정면도;
도 8 내지 도 10은 본 발명에 따른 버퍼 스토리지 박스의 배기제어댐퍼(330)를 설명하기 위한 도면들;
도 11 및 도 12는 본 발명에 따른 버퍼 스토리지 박스의 퍼지블록(400)을 설명하기 위한 도면이다.
이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 아래의 실시예는 본 발명의 내용을 이해하기 위해 제시된 것일 뿐이며 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상 내에서 많은 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 권리범위가 이러한 실시예에 한정되는 것으로 해석돼서는 안 된다.
도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 EFEM의 버퍼 스토리지 박스에 대한 외부 사시도들이고, 도 4 내지 도 6은 분해 사시도들이며, 도 7은 정면도이다. 그리고 도 8 내지 도 10은 배기제어댐퍼(330)를 설명하기 위한 도면들이고, 도 11 및 도 12는 퍼지블록(400)을 설명하기 위한 도면이다.
도 2 내지 도 11을 참조하면, 본 발명에 따른 EFEM의 버퍼 스토리지 박스는 스토리지 박스(100), 버퍼 카세트(200), 및 버퍼배기포트(300)를 포함하여 이루어진다.
스토리지 박스(100)는 윗면(101), 밑면(103), 및 양측면(106)으로 이루어지며 앞면과 뒷면은 개방된다. 스토리지 박스(100)는 EFEM의 내부와 연통되도록 개방된 앞면이 상기 EFEM의 측면에 부착 설치되고 뒷면은 상기 EFEM의 측벽에서 돌출되어 나오도록 설치된다. 스토리지 박스(100)는 윗면(101)이 분리 가능하게 설치된다. 스토리지 박스(100)의 윗면(101)을 분리하고 그로 인해 생기는 개방부를 통해서 버퍼 카세트(200)를 스토리지 박스(100) 내에 장착한 후 다시 윗면(101)을 조립함으로써 버퍼 카세트(200)가 스토리지 박스(100) 내에 장착된다. 버퍼 카세트(200)에는 복수개의 웨이퍼가 탑재된다. 스토리지 박스(100)의 측면에는 버퍼 카세트(200)에 탑재되는 웨이퍼를 외부에서 육안으로 볼 수 있도록 웨이퍼 확인 윈도우(102)가 설치된다. 웨이퍼 확인 윈도우(102)와 후술하는 댐퍼 확인 윈도우(340)는 투명하면서도 정전기가 발생하지 않는 재질, 예컨대 무정전 아크릴 등으로 이루어지는 것이 바람직하다.
스토리지 박스(100)에는 스토리지 박스(100) 내의 압력을 측정할 수 있도록 배기압력센서(104)가 설치된다. 배기압력센서(104)에는 압력 모니터링 수단(105)이 연결 설치되며, 배기압력센서(104)에서 측정되는 압력은 압력 모니터링 수단(105)으로 입력된다. 압력 모니터링 수단(105)은 배기압력센서(104)를 통해서 입력되는 압력을 토대로 공정제어의 피드백 신호를 제어수단(미도시)으로 출력한다.
버퍼 카세트(200)는 EFEM을 바라보는 앞면쪽으로 웨이퍼가 장입 반출될 수 있도록 앞면이 개방되며, 스토리지 박스(100) 내의 기체가 버퍼 카세트(200)를 통과하여 배기관(310)으로 배출되도록 뒷면, 측면, 및 저면 중 적어도 어느 하나의 면이 개방되도록 형성된다.
스토리지 박스(100)의 앞면쪽에서 뒷면쪽으로 퍼지기체, 예컨대 N2 기체를 분사하도록 스토리지 박스(100)의 양측면 앞쪽에 퍼지블록(400)이 세로로 각각 설치된다. 퍼지블록(400)은 세로축을 중심으로 회동 가능하도록 스토리지 박스(100)에 힌지(410) 체결된다. 퍼지블록(400)에는 분사슬릿(420)이 세로로 길게 형성되며 분사슬릿(420)을 통하여 상기 퍼지기체가 분사된다.
도 12에서와 같이 퍼지블록(200)을 양측에 각각 복수개 설치하여 다른 각도로 퍼지기체(B)를 분사하도록 함으로써 퍼지기체(B)의 흐름 범위를 넓게 하는 것이 바람직하다. 이 때 종래와 같이 EFEM에서 위에서 밑으로 청정기체가 분사되는 경우에는 EFEM 내의 청정기체(A)가 퍼지기체(B)의 흐름에 편승하여 스토리지 박스(100) 내로 따라 유입되어 버퍼배기포트(300)를 통하여 외부로 배출된다.
버퍼배기포트(300)는 스토리지 박스(100)의 내부와 연통되도록 개방된 앞면이 상기 스토리지 박스(100)의 뒷면에 부착되어 뒷면이 돌출되도록 설치되고 스토리지 박스(100) 내의 기체가 외부로 배출되도록 배기관(310)이 버퍼배기포터(300)에 연결 설치된다.
퍼지 카세트(200)에 탑재된 웨이퍼는 윗면이 공정처리된 것이기에 밑면보다는 윗면쪽에 이물질이 존재할 가능성이 크므로 상기 퍼지기체의 흐름이 완전한 수평방향인 것 보다는 위에서 밑으로 약간 비스듬하게 흐르도록 하는 것이 바람직하다.
따라서 배기관(310)은 버퍼배기포트(300)의 밑면에 설치되고, 스토리지 박스(100)내의 퍼지기체 흐름이 배기관(310)이 있는 밑으로 유도되도록 버퍼배기포트(300) 내에 판형상의 배기제어댐퍼(330)가 경사지게 설치되는 것이 바람직하다. 이때 배기제어댐퍼(330)는 상황에 따라 적절히 경사각을 조절할 수 있도록 가로축(332)을 축으로 하여 회동 가능하게 설치되는 것이 바람직하다. 버퍼배기포트(300)에는 가로축(332)을 돌릴 수 있도록 경사조절 손잡이(331)가 설치된다. 사용자는 회전 손잡이(331)의 조작을 통해서 배기제어댐퍼(330)의 경사각을 조절할 수 있으며, 경우에 따라서는 경사조절 손잡이(331)의 설치없이 모터(미도시)의 구동을 통하여 가로축(332)을 자동 제어할 수도 있다.
배기제어댐퍼(330)에 의한 퍼지기체의 흐름이 방해를 받지 않도록 버퍼배기포터(300)의 뒷면이 비스듬하게 위를 바라보도록 경사지는 것이 바람직하다. 그리고 배기제어댐퍼(330)의 경사 정도를 외부에서 육안으로 볼 수 있도록 버퍼배기포트(300)의 경사진 뒷면에 댐퍼 확인 윈도우(340)가 설치된다.
배기관(310)의 입구에서 병목현상으로 인하여 와류가 생기지 않도록 배기관(310)은 버퍼배기포트(300)에 연결되는 부위는 직경이 크고 버퍼배기포트(300)에서 멀어질수록 직경이 작아지는 축경부(311)를 가지는 것이 바람직하다. 그러면 일단 퍼지기체가 배기관(310)의 입구로 무리없이 빨려 들어가게 되므로 행여 와류가 생기더라도 이는 배기관(310) 입구 내부에서 일어날 것이고, 따라서 와류의 발생없이 배기용량을 크게 할 수 있어 바람직하다.
배기관(310)에도 배기관(310) 내의 압력을 측정할 수 있도록 배기압력센서(320)가 설치되는 것이 바람직하다. 그러면 배기관(310)에 설치되는 배기압력센서(320)와 스토리지 박스(100)에 설치되는 배기압력센서(104)에서 측정되는 압력을 통해서 퍼지블록(400)에서의 퍼지기체 분사량이나 배기관(310)에 설치되는 배출펌프(미도시)의 회전속도를 적절히 조절하여 스토리지 박스(100) 내에서의 퍼지기체 유속을 제어할 수 있게 된다.
상기 EFEM에는 공정전의 웨이퍼가 탑재되어 대기하는 런 카세트(미도시)가 스토리지 박스(100)와는 별도로 설치되고, 상기 EFEM의 내부에는 버퍼 카세트(200)에서 상기 런 카세트로 웨이퍼를 이송하는 이송로봇(미도시)이 설치된다.
본 발명에 따른 버퍼 스토리지 박스가 설치된 EFEM의 작동과정을 도 1과 결부하여 설명하면 다음과 같다.
런 카세트(50)에 있는 웨이퍼(60)를 이송로봇(70)을 통하여 로드락 챔버(20)로 장입하여 공정챔버(30)에서 처리공정을 진행한 후에, 처리공정을 마친 웨이퍼를 공정챔버(30)에서 로드락 챔버(20)로 반출시킨다. 그 후에 로드락 챔버(20)에 있는 웨이퍼를 이송로봇(70)을 통하여 버퍼 카세트(200)에 탑재시킨 후에 퍼지기체의 흐름을 이용하여 버퍼 카세트(200) 내의 웨이퍼에 잔류하는 이물질을 배기관(310)을 통하여 외부로 배출시킨다. 런 카세트(50)에 있던 웨이퍼(60)들이 이러한 일련의 과정을 거쳐 버퍼 카세트(200)로 모두 옮겨진 후에는 런 카세트(50)가 비게 될 것이고, 이 때 버퍼 카세트(200)에 있는 웨이퍼를 런 카세트(50)로 모두 이송 탑재시킨다. 그리고 런 카세트(50)를 상기 EFEM에서 분리하여 후속 공정으로 이동시킨다.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 런 카세트(50)에 있던 공정 투입 전의 웨이퍼(60)가 공정챔버(30)에서 처리공정을 마친 후에 중간에 버퍼 카세트(200)로 모두 옮겨 탑재되어 이물질 제거 과정을 거친 후에, 비어 있는 런 카세트(50)에 이송 탑재되기 때문에, 런 카세트(50)에는 공전 전과 후의 웨이퍼가 혼재하는 상황이 발생되지 않게 되고, 또한 공정을 마친 웨이퍼에 이물질이 존재하지 않게 되어 공정의 신뢰성이 향상되게 된다.
10: EFEM
11: 팬
12: 필터
20: 로드락 챔버
30: 공정챔버
40: 로드 스테이션
50: 런 카세트
51: 도어
60: 웨이퍼
80: 배기구
100: 스토리지 박스
101: 윗면
102: 웨이퍼 확인 윈도우
103: 밑면
104: 배기압력센서
105: 압력 모니터링 수단
106: 측면
200: 버퍼 카세트
300: 버퍼배기포트
310: 배기관
311: 축경부
320: 배기압력센서
330: 배기제어댐퍼
331: 경사조절 손잡이
332: 가로축
340: 댐퍼 확인 윈도우
400: 퍼지블록
410: 힌지
420: 분사슬릿

Claims (16)

  1. EFEM의 내부와 연통되도록 개방된 앞면은 상기 EFEM의 측벽에 부착 설치되고 뒷면은 상기 EFEM의 측벽에서 돌출되어 나오도록 설치되는 스토리지 박스;
    상기 스토리지 박스 내에 장착되며 복수개의 웨이퍼가 탑재되는 버퍼 카세트; 및
    상기 스토리지 박스에 부착 설치되는 버퍼배기포트; 를 포함하여 이루어지되,
    상기 스토리지 박스의 뒷면과 상기 버퍼배기포트의 앞면에 개방부가 형성되며, 상기 버퍼배기포트의 앞면이 상기 스토리지 박스의 뒷면에 부착되고 상기 배기포트의 뒷면은 상기 스토리지 박스의 뒷면에서 돌출되어 나오도록 상기 버퍼배기포트가 상기 스토리지 박스에 부착 설치됨으로써 상기 버퍼배기포트와 상기 스토리지 박스가 상기 개방부를 통하여 서로 연통되며, 상기 스토리지 박스 내의 기체가 외부로 배출되도록 상기 버퍼배기포트에 배기관이 연결 설치되는 것을 특징으로 하는 EFEM의 버퍼 스토리지 박스.
  2. 제1항에 있어서, 상기 스토리지 박스는 윗면이 분리 가능하게 설치되며 상기 버퍼 카세트는 상기 윗면의 분리에 의해 형성되는 개방부를 통해서 상기 스토리지 박스 내에 장착되는 것을 특징으로 하는 EFEM의 버퍼 스토리지 박스.
  3. 제1항에 있어서, 상기 버퍼 카세트에 탑재되는 웨이퍼를 육안으로 볼 수 있도록 상기 스토리지 박스의 측면에 웨이퍼 확인 윈도우가 설치되는 것을 특징으로 하는 EFEM의 버퍼 스토리지 박스.
  4. 제1항에 있어서, 상기 스토리지 박스 내의 압력을 측정할 수 있도록 상기 스토리지 박스에 배기압력센서가 설치되고 상기 배기압력센서에서 측정되는 압력을 입력받아 공정제어의 피드백 신호를 제어수단으로 출력하도록 압력 모니터링 수단이 상기 배기압력 센서에 연결 설치되는 것을 특징으로 하는 EFEM의 버퍼 스토리지 박스.
  5. 제1항에 있어서, 상기 버퍼 카세트는 상기 EFEM을 바라보는 앞면쪽으로 웨이퍼가 장입 반출되도록 앞면이 개방되며, 상기 스토리지 박스 내의 기체가 상기 버퍼 카세트를 통과하여 상기 배기관으로 배출되도록 뒷면, 측면, 및 저면 중 적어도 어느 하나의 면이 개방되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 EFEM의 버퍼 스토리지 박스.
  6. 제1항에 있어서, 상기 배기관이 상기 버퍼배기포트의 밑면에 설치되고 상기 스토리지 박스 내의 기체 흐름이 상기 배기관이 있는 밑으로 유도되도록 상기 버퍼배기포트 내에 경사지게 판형상의 배기제어댐퍼가 설치되는 것을 특징으로 하는 EFEM의 버퍼 스토리지 박스.
  7. 제6항에 있어서, 상기 배기제어댐퍼가 가로축을 축으로 하여 회동가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 EFEM의 버퍼 스토리지 박스.
  8. 제6항에 있어서, 상기 버퍼배기포트의 뒷면이 비스듬하게 위를 바라보도록 경사지게 설치되는 것을 특징으로 하는 EFEM의 버퍼 스토리지 박스.
  9. 제8항에 있어서, 상기 배기제어댐퍼를 육안으로 볼 수 있도록 상기 버퍼배기포트의 뒷면에 댐퍼 확인 윈도우가 설치되는 것을 특징으로 하는 EFEM의 버퍼 스토리지 박스.
  10. 제1항에 있어서, 상기 배기관은 상기 버퍼배기포트에 연결되는 부위는 직경이 크고 상기 버퍼배기포트에서 멀어질수록 직경이 작아지는 축경부를 가지는 것을 특징으로 하는 EFEM의 버퍼 스토리지 박스.
  11. 제10항에 있어서, 상기 배기관 내의 압력을 측정할 수 있도록 상기 배기관에 배기압력센서가 설치되는 것을 특징으로 하는 EFEM의 버퍼 스토리지 박스.
  12. 제1항에 있어서, 상기 스토리지 박스의 앞면쪽에서 뒷면쪽으로 퍼지기체를 분사하도록 상기 스토리지 박스의 양측면 앞쪽에 퍼지블록이 세로로 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 EFEM의 퍼지 스토리지 박스.
  13. 제12항에 있어서, 상기 퍼지블록이 서로 다른 각도로 상기 퍼지기체를 분사하도록 상기 스토리지 박스의 양측면에 각각 복수개가 설치되는 것을 특징으로 하는 EFEM의 퍼지 스토리지 박스.
  14. 제12항에 있어서, 상기 퍼지블록은 세로축을 중심으로 회동 가능하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 EFEM의 퍼지 스토리지 박스.
  15. 제12항에 있어서, 상기 퍼지블록에 세로로 긴 분사슬릿이 형성되고 상기 분사슬릿을 통하여 상기 퍼지기체가 분사되는 것을 특징으로 하는 EFEM의 퍼지 스토리지 박스.
  16. 삭제
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