KR101213496B1 - Laser irradiation device and method for manufacturing organic light emitting display device using the same - Google Patents
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Abstract
본 발명의 일 실시예는 레이저 열전사법에 의한 유기 발광 표시 장치의 제조 공정 중에 클리닝과 전사를 수행할 수 있는 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.An embodiment of the present invention provides a laser irradiation apparatus capable of cleaning and transferring during a manufacturing process of an organic light emitting display device by a laser thermal transfer method and a method of manufacturing an organic light emitting display device using the same.
Description
본 발명의 일 측면은 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 레이저 열전사 공정 중에 클리닝과 전사를 수행할 수 있는 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치에 관한 것이다. An aspect of the present invention relates to a laser irradiation apparatus and a method of manufacturing an organic light emitting display device using the same, and more particularly, a laser irradiation apparatus capable of cleaning and transferring during a laser thermal transfer process and an organic light emitting display device using the same. It is about.
평판표시장치(Flat Panel Display Device)는 경량 및 박형 등의 특성으로 인해, 음극선관 표시장치(Cathode-ray Tube Display Device)를 대체하는 표시장치로서 사용되고 있다. 이러한 평판표시장치의 대표적인 예로서 액정표시장치(Liquid Crystal Display Device; LCD)와 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting Diode; OLED)가 있다. 이 중, 유기전계발광표시장치는 액정표시장치에 비하여 휘도 특성 및 시야각 특성이 우수하고 백라이트(Back Light)를 필요로 하지 않아 초박형으로 구현할 수 있는 장점이 있다.Flat panel display devices are used as display devices replacing cathode ray-ray tube display devices due to their light weight and thinness. Representative examples of such a flat panel display include a liquid crystal display (LCD) and an organic light emitting diode (OLED). Among these, the organic light emitting display device has excellent luminance characteristics and viewing angle characteristics as compared to the liquid crystal display device, and does not require a backlight, and thus, an organic light emitting display device may have an ultra-thin shape.
이와 같은 유기전계발광표시장치는 유기박막에 음극(Cathode)과 양극(Anode)을 통하여 주입된 전자(Electron)와 정공(Hole)이 재결합하여 여기자를 형성하고, 형성된 여기자로부터의 에너지에 의해 특정한 파장의 빛이 발생되는 현상을 이용한 표시장치이다.Such an organic light emitting display device combines electrons and holes injected through a cathode and an anode to an organic thin film to recombine to form excitons, and a specific wavelength is determined by energy from the excitons formed. The display device using the phenomenon that light is generated.
상기 유기전계발광표시장치는 구동 방법에 따라 수동 구동(Passive matrix) 방식과 능동 구동(Active matrix) 방식으로 나뉘는데, 능동 구동 방식은 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT)를 사용하는 회로를 가진다. 상기 수동 구동 방식은 그 표시 영역이 양극과 음극에 의하여 단순히 매트릭스 형태의 소자로 구성되어 있어 제조가 용이하다는 장점이 있으나, 해상도, 구동 전압의 상승, 재료 수명의 저하 등의 문제로 인하여 저해상도 및 소형 디스플레이의 응용 분야로 제한된다. 상기 능동 구동 방식은 표시 영역이 각 화소마다 박막트랜지스터를 장착함으로써, 각 화소마다 일정한 전류를 공급함에 따라 안정적인 휘도를 나타낼 수 있다. 또한, 전력소모가 적어 고해상도 및 대형 디스플레이를 구현할 수 있는 중요한 역할을 한다.The organic light emitting display device is classified into a passive matrix method and an active matrix method according to a driving method, and an active driving method has a circuit using a thin film transistor (TFT). The passive driving method has an advantage in that the display area is composed of a matrix-type device by an anode and a cathode, and thus is easy to manufacture, but due to problems such as resolution, an increase in driving voltage, and a decrease in material life, Limited to the application of the display. In the active driving method, a thin film transistor is mounted in each pixel to display a stable luminance as a constant current is supplied to each pixel. In addition, low power consumption plays an important role in realizing high resolution and large display.
상기 유기전계발광표시장치가 풀 컬러를 구현하기 위하여 적색, 녹색 및 청색 발광층을 형성하는 방법 중 레이저를 이용한 레이저 열전사법(Laser Induced Thermal Imaging)이 있다. 상기 레이저 열전사법은 레이저 소오스로부터 발생된 레이저 빔을 마스크 패턴을 이용하여 패터닝하고, 상기 패터닝된 레이저 빔을 기재 기판, 광열변환층 및 발광층을 포함하는 유기막층인 전사층을 포함하는 도너 기판 상에 조사하여 상기 전사층의 일부를 소자 기판에 전사시킴으로써, 상기 소자 기판에 발광층을 포함하는 유기막층 패턴을 형성하는 방법으로, 각 발광층을 미세하게 패터닝할 수 있고, 건식 공정이라는 장점이 있다.Laser induced thermal imaging (Laser Induced Thermal Imaging) is a method of forming red, green, and blue light emitting layers in order for the organic light emitting display device to realize full color. In the laser thermal transfer method, a laser beam generated from a laser source is patterned using a mask pattern, and the patterned laser beam is formed on a donor substrate including a transfer layer, which is an organic layer including a base substrate, a photothermal conversion layer, and a light emitting layer. By irradiating a portion of the transfer layer to the device substrate by irradiation, a method of forming an organic film layer pattern including the light emitting layer on the device substrate, each light emitting layer can be finely patterned, there is an advantage that the dry process.
본 발명의 주된 목적은 레이저 열전사법에 의한 유기 발광 표시 장치의 제조 공정 중에 클리닝과 전사를 수행할 수 있는 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.A main object of the present invention is to provide a laser irradiation apparatus capable of cleaning and transferring during a manufacturing process of an organic light emitting display device by a laser thermal transfer method and a method of manufacturing an organic light emitting display device using the same.
본 발명의 일 실시예에 관한 레이저 조사 장치는, 레이저 빔을 발생시키는 본체부와, 상기 레이점 빔의 이동 경로를 제공하는 헤드부를 구비하며, 상기 헤드부는 진동을 발생시켜 상기 레이저 빔이 조사되는 피조사체의 표면 상에 있는 이물질을 제거할 수 있다.A laser irradiation apparatus according to an embodiment of the present invention includes a main body portion for generating a laser beam, and a head portion for providing a movement path of the ray point beam, wherein the head portion generates vibration to irradiate the laser beam. Foreign matter on the surface of the object can be removed.
본 발명에 있어서, 상기 헤드부는, 상기 레이저 빔이 외부로 방출될 수 있도록 상기 이동 경로를 제공하는 레이저 방출부와, 기체가 유입되고 유출되면서 진동을 발생시키는 진동 발생부와, 상기 이물질을 흡수하는 흡입구를 구비할 수 있다.In the present invention, the head portion, a laser emitting portion for providing the movement path so that the laser beam is emitted to the outside, a vibration generating portion for generating a vibration while the gas is introduced and discharged, and absorbs the foreign matter A suction port may be provided.
본 발명에 있어서, 상기 진동 발생부는, 상기 기체가 유입되는 입구부와, 상기 기체가 유출되는 출구부와, 상기 입구부와 상기 출구부를 연결하고 상기 기체의 통로를 제공하는 통로부와, 상기 통로부 내에 배치되는 진동입자를 구비할 수 있다.In the present invention, the vibration generating portion, the inlet portion to which the gas flows in, the outlet portion through which the gas flows out, the passage portion connecting the inlet portion and the outlet portion and providing a passage of the gas, and the passage It may be provided with vibration particles disposed in the portion.
본 발명에 있어서, 상기 진동입자는 상기 입구부를 통하여 외부로 배출되지 않을 수 있다.In the present invention, the vibration particles may not be discharged to the outside through the inlet.
본 발명에 있어서, 상기 진동입자는 상기 입구부 또는 상기 출구부의 직경 보다 더 크게 형성될 수 있다.In the present invention, the vibration particles may be formed larger than the diameter of the inlet or the outlet.
본 발명에 있어서, 상기 진동입자는 상기 기체의 흐름에 의해 움직일 수 있는 재질로 이루어질 수 있다.In the present invention, the vibrating particles may be made of a material that can move by the flow of the gas.
본 발명에 있어서, 상기 진동입자는 세라믹으로 이루어질 수 있다.In the present invention, the vibrating particles may be made of ceramic.
본 발명에 있어서, 상기 진동 발생부는 상기 기체가 상기 입구로 유입되어 상기 출구로 배출될 때 상기 진동입자가 상기 기체의 흐름에 의해 움직임으로써 상기 진동을 발생시킬 수 있다.In the present invention, the vibration generating unit may generate the vibration by moving the vibration particles by the flow of the gas when the gas is introduced into the inlet and discharged to the outlet.
본 발명에 있어서, 상기 진동 발생부는 초음파를 발생시킬 수 있다.In the present invention, the vibration generating unit may generate ultrasonic waves.
본 발명에 있어서, 상기 흡입구는 그 내부의 압력을 외부의 압력보다 작게 유지하여 상기 피조사체 상에 있는 상기 이물질을 흡입할 수 있다.In the present invention, the suction port may suck the foreign matter on the irradiated object by maintaining the pressure inside thereof less than the pressure outside.
본 발명에 있어서, 상기 흡입구의 내부는 진공 상태를 유지할 수 있다.In the present invention, the inside of the suction port can maintain a vacuum state.
본 발명에 있어서, 상기 기체는 질소 가스 또는 공기일 수 있다.In the present invention, the gas may be nitrogen gas or air.
본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은, 레이저 열전사법에 의한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 도너필름과 억셉터 기판을 라미네이션하는 단계와, 상기 도너필름의 일면을 클리닝하는 단계와, 상기 도너필름 상에 레이저 빔을 조사하여 상기 도너필름의 전사층이 상기 억셉터 기판으로 전사되는 단계를 구비할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an organic light emitting display device. The method of manufacturing an organic light emitting display device by a laser thermal transfer method includes laminating a donor film and an acceptor substrate, and a surface of the donor film. Cleaning and irradiating a laser beam onto the donor film to transfer the transfer layer of the donor film to the acceptor substrate.
본 발명에 있어서, 상기 클리닝 단계는, 상기 도너필름의 일면에 기체를 분사하는 단계와, 상기 도너필름의 일면에 진동을 가하는 단계와, 상기 분사된 기체와 상기 가해진 진동에 의해 상기 도너필름의 일면 상에 존재하는 이물질을 상기 도너필름의 일면에서 떨어지게 하는 단계와, 상기 이물질을 흡입하는 단계를 구비할 수 있다.In the present invention, the cleaning step, spraying a gas on one surface of the donor film, applying a vibration to one surface of the donor film, one surface of the donor film by the sprayed gas and the applied vibration It may include the step of separating the foreign matter present on one surface of the donor film, and the step of sucking the foreign matter.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 레이저 열전사법에 의한 유기 발광 표시 장치의 제조 공정 중에 클리닝과 전사를 동시에 수행함으로써 열전사 중에 발생하는 파티클에 의해 전사 불량을 방지할 수 있으며, 전사 품질을 향상시킬 수 있다.According to an embodiment of the present invention, by performing cleaning and transfer at the same time during the manufacturing process of the organic light emitting display device by the laser thermal transfer method, it is possible to prevent the transfer failure by the particles generated during the thermal transfer, to improve the transfer quality Can be.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 레이저 조사 장치를 개략적으로 나타내는 사시도이며,
도 2는 도 1에 도시된 레이저 조사 장치를 개략적으로 나타내는 단면도이다.1 is a perspective view schematically showing a laser irradiation apparatus according to an embodiment of the present invention,
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the laser irradiation apparatus shown in FIG. 1.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. The terms first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by terms. Terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, components, or a combination thereof.
이하, 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, an embodiment of an organic light emitting diode display according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and in the following description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are assigned the same reference numerals and duplicated thereto. The description will be omitted.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 레이저 조사 장치를 개략적으로 나타내는 사시도이며, 도 2는 도 1에 도시된 레이저 조사 장치의 헤드부를 개략적으로 나타내는 단면도이다.1 is a perspective view schematically showing a laser irradiation apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view schematically showing a head portion of the laser irradiation apparatus shown in FIG.
도 1 및 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 관한 레이저 조사 장치(100)는 도너필름(210) 상부에 위치한다. 레이저 조사 장치(100)는 챔버(미도시)의 외부 또는 내부에 설치될 수 있으며, 레이저 빔이 도너필름(210)의 상부에서 비춰질 수 있도록 설치되는 것이 바람직하다. 1 and 2, the
레이저 조사 장치(100)는 본체부(110)와 헤드부(120)를 구비할 수 있다. The
본체부(110)는 레이저 빔을 발생시킨다. 본체부(110)는 CW ND:YAG 레이저(1604nm)를 사용하고, 갈바노미터 스캐너를 구비하며, 스캔렌즈 및 실린더렌즈를 구비할 수 있다. 그러나, 본 발명은 이에 한정하는 것은 아니다. The
헤드부(120)는 레이저 방출부(121), 진동 발생부(122), 및 흡입구(123)를 구비할 수 있다.The
레이저 방출부(121)는 본체부(110)에서 발생된 레이저 빔이 이동하는 경로이다. 레이저 빔은 레이저 방출부(121)를 통해 외부로 조사된다. 레이저 방출부(121)는 일단은 본체부(110)를 향하고 타단은 피조사체인 도너 필름(210)를 향하도록 관통되어 있다.The
진동 발생부(122)는 입구부(122a), 출구부(122b), 통로부(122c), 및 진동입자(122d)를 구비할 수 있다. 입구부(122a)로는 기체가 유입되며, 출구부(122b)로는 입구부(122a)로는 유입된 기체가 유출된다. 출구부(122b)로 유출된 기체는 도너필름(210)을 향할 수 있다. 도너필름(210)으로 유출된 기체는 그 흐름에 의해 도너필름(210) 상에 존재하는 이물질을 불어버려 도너필름(210) 상에서 이물질을 제거할 수 있다. 상기 기체는 질소 가스 또는 공기일 수 있다. The
통로부(122c)는 입구부(122a)와 출구부(122b)를 연결하며 상기 기체의 통로를 제공한다. 통로부(122c) 내에는 진동입자(122d)가 배치될 수 있다. 진동입자(122d)는 출구부(122b)에 배치될 수 있다. 진동입자(122d)는 출구부(122b)의 직경보다 더 크게 형성될 수 있다. 따라서, 진동입자(122d)는 출구부(122b)로 빠져나오지 않는다. 진동입자(122d)는 입구부(122a)에서 출구부(122b)로 이동하는 기체의 흐름에 의해 움직일 수 있는 재질로 만들어질 수 있다. 예를 들면, 진동입자(122d)는 세라믹으로 이루어질 수 있다. The
진동입자(122d)는 기체의 흐름에 의해 진동을 발생시킨다. 상세하게는, 진동입자(122d)는 통로부(122c) 내부에 존재하면서, 진동입자(122d)는 The vibrating
입구부(122a)로 유입되어 통로부(122c)를 거쳐 출구부(122b)로 유출되는 기체의 흐름에 따라 움직이며 진동을 발생시킬 수 있다. 특히, 진동입자(122d)는 기체의 흐름에 따라 움직이면서 통로부(122c)와 충돌하면서 진동을 발생시킬 수 있다. 진동 발생부(122)는 초음파를 발생시킬 수 있다.The
진동 발생부(122)에서 발생된 음파는 도너필름(210) 상에 존재하는 이물질에 전달되며, 상기 음파에 의해 진동하는 이물질은 흡입구(123)에 의해 흡수되어 도너필름(210)의 표면이 클리닝된다. 흡입구(123) 내의 압력은 헤드부(120) 외부의 압력보다 작게 유지되며, 따라서, 진동 발생부(122)에서 유출된 기체는 흡입구(123)으로 흡입된다. 흡입구(123) 내의 압력은 진공으로 유지할 수 있다. The sound wave generated by the
또한, 도너필름(210) 상의 이물질 역시 흡입구(123)으로 흡입되어 도너필름(210)의 상의 표면이 클리닝된다. 도너필름(210) 상의 이물질은 진동 발생부(122)에서 유출된 기체와 진동에 의해 도너필름(210)의 표면에서 이탈되어 상승할 수 있으며, 도너필름(210) 표면에서 상승한 이물질은 흡입구(123)를 통해 용이하게 흡입될 수 있어서 도너필름(210)의 표면이 보다 청결해진다. In addition, the foreign matter on the
도너필름(210) 상의 이물질은 도너필름(210)으로 조사되는 레이저 빔의 경로를 방해하여 도너필름(210)에서 전사층이 충분히 억셉터 기판(220)으로 전사되지 못하는 전사 불량이 발생할 수 있다. 그러나, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 도너필름(210)의 표면 상의 이물질은 진동 발생부(122)에서 유출되는 기체뿐만 아니라 진동 발생부(122)에서 발생하는 진동에 의해 도너필름(210)의 표면에서 보다 용이하게 떨어지게 되고, 상기 이물질이 흡입구(123)으로 흡입되어 제거되므로 이물질에 의해 전사 불량을 방지할 수 있다. The foreign matter on the
이하에서는, 레이저 조사 장치(100)를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관하여 설명한다. Hereinafter, a method of manufacturing the organic light emitting display apparatus using the
레이저 조사 장치(100)에서 조사된 레이저 빔은 억셉터 기판(220)과 라이네이션된 도너필름(210)의 일면에 조사된다. 레이저 빔이 조사된 도너필름(210)은 전사층(미도시)이 억셉터 기판(220) 상에 전사된다. 상술하면 다음과 같다. The laser beam irradiated from the
도너필름(210)은 억셉터기판(220) 전체를 덮을 수 있을 정도의 크기를 갖는 것이 바람직하나, 필요에 따라서는 억셉터 기판(220) 보다 작은 크기를 갖는 것을 사용할 수도 있을 것이다. The
억셉터기판(220) 상에는 유기발광소자를 구성하는 소정의 소자가 형성되어 있을 수 있다. 즉, 박막트랜지스터 및 그 상부에 위치한 평탄화막과 상기 평탄화막 상에 화소전극이 형성되어 있을 수 있다. Predetermined elements constituting the organic light emitting diode may be formed on the
도너필름(210)은 유기발광소자용 도너필름일 수 있다. 도너필름(210)ㅇ은 기재 기판, 광열변환층, 및 전사층이 적층되어 이루어질 수 있다. 전사층이 억셉터 기판(220)을 향하며, 기재 기판을 향하여 레이저 조사 장치(100)가 배치될 수 있다.The
기재기판은 투명성 고분자로 이루어질 수 있는바, 이러한 고분자로는 폴레에틸렌, 테레프탈레이트와 같은 폴리에스테르, 폴리아크릴, 폴리에폭시, 폴리에틸렌, 폴리스티렌 등을 사용할 수 있다. The base substrate may be made of a transparent polymer, and such polymers may include polyester such as polyethylene and terephthalate, polyacryl, polyepoxy, polyethylene, polystyrene, and the like.
광열변환층은 광원 즉, 레이저빔을 흡수하여 열로 변환하는 층으로서, 레이저빔 흡수 물질이 포함되어 있는 유기막, 금속 및 이들의 복합층 중 하나로 이루어질 수 있다. The light-to-heat conversion layer is a light source, that is, a layer that absorbs and converts a laser beam into heat, and may be formed of one of an organic layer, a metal, and a composite layer thereof, in which a laser beam absorbing material is included.
광열변환층과 인접한 위치에 가스 생성층(도시하지 않음)을 형성할 수 있다. 가스 생성층은 광 또는 열을 흡수하면 분해반응을 일으켜 질소가스나 수소가스 등을 방출함으로써 전사에너지를 제공하는 역할을 하며, 사질산펜타에리트리트(PETN), 트리니트로톨루엔(TNT) 등으로부터 선택된 물질로 이루어질 수 있다. 가스 생성층은 광열변환층으로부터 열을 전달받아야 하므로 상기 광열변환층의 상부나 하부에 인접하거나 광열변환층을 이루는 물질과 혼합하여 하나의 층을 이룰 수 있다. A gas generating layer (not shown) may be formed at a position adjacent to the photothermal conversion layer. When the gas generating layer absorbs light or heat, it generates a decomposition reaction and releases nitrogen gas or hydrogen gas to provide transfer energy, and is selected from pentaerythrite tetranitrate (PETN) and trinitrotoluene (TNT). It may be made of. Since the gas generating layer needs to receive heat from the photothermal conversion layer, the gas generating layer may form a single layer by adjoining the upper or lower portion of the photothermal conversion layer or by mixing with a material forming the photothermal conversion layer.
전사층은 억셉터기판 상에 패터닝하고자 하는 물질막으로서 유기물질로 이루어질 있다. 도너필름을 사용하여 유기발광소자를 제조하는 경우, 도너필름은 정공주입층용 유기막, 정공수송층용 유기막, 발광층용 유기막, 정공억제층용 유기막, 전자수송층용 유기막 및 전자주입층용 유기막으로 이루어진 군에서 선택되는 1종의 단층막 또는 2종 이상의 다층막 구조를 가질 수 있다. 더 나아가서, 상기 유기막들은 고분자 물질 또는 저분자 물질일 수 있다. 한편, 상기 전사층은 압출, 스핀코팅, 나이프코팅, 진공증착 및 CVD(chemical vapor deposition)으로 이루어진 군에서 선택되는 하나의 방법을 사용하여 형성할 수 있다. The transfer layer is made of an organic material as a material film to be patterned on the acceptor substrate. When the organic light emitting device is manufactured using the donor film, the donor film includes an organic film for a hole injection layer, an organic film for a hole transport layer, an organic film for a light emitting layer, an organic film for a hole suppression layer, an organic film for an electron transport layer, and an organic film for an electron injection layer. It may have a single layer film or two or more types of multilayer film structure selected from the group consisting of. Furthermore, the organic layers may be a high molecular material or a low molecular material. On the other hand, the transfer layer may be formed using one method selected from the group consisting of extrusion, spin coating, knife coating, vacuum deposition and CVD (chemical vapor deposition).
광열변환층과 전사층 사이에 위치하는 버퍼층을(도시하지 않음)을 더욱 형성할 수 있다. 버퍼층은 전사패턴 특성이 향상될 수 있도록 상기 전사층과의 접착력을 제어하는 역할을 한다.A buffer layer (not shown) may be further formed between the photothermal conversion layer and the transfer layer. The buffer layer controls the adhesion with the transfer layer so that the transfer pattern characteristics can be improved.
도너필름(210)은 상기한 층들 뿐만 아니라 다양한 용도를 갖는 층들을 더욱 포함할 수 있으며, 그 용도에 따라서 적층 구조를 변경하여 사용할 수 있다.The
억셉터기판(220) 상에 라미네이션되어 있는 상기 도너필름(210)의 소정 영역에 레이저 빔을 조사하여 전사층을 억셉터기판(220) 상에 전사시킨다. The transfer layer is transferred onto the
이때, 상기 도너필름(210) 상에 조사되는 광원으로서 레이저 조사 장치(100)에서 발생되는 레이저빔을 사용한다. In this case, a laser beam generated by the
레이저 조사 장치(100)는 전사층을 도너필름(210)으로부터 떼어내어 상기 억셉터 기판(220) 상에 전사시켜 소정의 패턴을 형성하는데 필요한 레이저빔을 발생시킨다. 따라서, 레이저 조사 장치(100)에서 발생한 레이저 빔의 강도(intensity)는 전사층 내의 결합을 끊을 수 있을 정도의 강도를 가진다. The
도너필름(210)의 일면에는 각종 증착 챔버 및 이송 챔버를 거치면서 이물질들이 존재하게 된다. 이물질들은 레이저 빔의 경로를 방해함으로써 충분한 양의 레이저 빔이 전사층에 도달되지 못하여 불완전하게 전사되는 문제점이 발생한다. 따라서, 본 발명에서는 상술한 바와 같이 레이저 빔 조사 전에 도너필름(210)의 표면을 클리닝한다. One surface of the
도너필름(210)의 표면의 클리닝은 우선 도너필름(210)의 표면에 질소 가스나 공기와 같은 기체를 분사한다. 도너필름(210)에 분사된 기체는 이물질이 도너필름(210)의 표면에서 이탈되도록 한다. 또한, 본 발명에서는 도너필름(210)의 표면에 진동을 가하여 이물질이 도너필름(210)의 표면에서 보다 용이하게 이탈되도록 한다. 즉, 기체는 레이저 조사 장치(100)의 헤드부(120)에서 유출되며, 기체가 유출하면서 진동 발생부(122)의 진동입자(122d)가 회전하거나 충돌하여 진동을 발생시키고, 이와 같이 발생된 진동이 도너필름(210) 상의 이물질에 전달되어 이물질이 도너필름(210)의 표면에서 보다 용이하게 떨어지게 된다. To clean the surface of the
도너필름(210)에서 떨어진 이물질은 레이저 조사 장치(100)의 흡입구(123)로 흡입되어 제거된다. The foreign matter dropped from the
레이저 빔 조사 전에 도너필름(210) 상의 이물질을 제거할 수 있으므로 이물질에 의한 전사불량을 방지할 수 있다. Foreign matter on the
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.
100: 레이저 조사 장치 110: 본체부
120: 헤드부 121: 레이저 방출부
122: 진동 발생부 123: 흡입부100: laser irradiation device 110: the main body
120: head portion 121: laser emitting portion
122: vibration generating unit 123: suction unit
Claims (14)
상기 레이점 빔의 이동 경로를 제공하는 헤드부;를 구비하며,
상기 헤드부는,
상기 레이저 빔이 외부로 방출될 수 있도록 상기 이동 경로를 제공하는 레이저 방출부;
기체가 유입되고 유출되면서 진동을 발생시키는 진동 발생부; 및
상기 이물질을 흡수하는 흡입구;를 구비하고,
상기 헤드부는 상기 기체를 진동시키고, 상기 진동이 상기 레이저 빔이 조사되는 피조사체의 표면 상에 있는 이물질을 진동시켜서 이물질을 상기 흡입구가 흡입으로써 제거되는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.A main body unit generating a laser beam; And
And a head unit providing a moving path of the ray point beam,
Wherein:
A laser emitter providing the movement path so that the laser beam can be emitted to the outside;
Vibration generating unit for generating a vibration as the gas flows in and out; And
A suction port for absorbing the foreign matter;
And the head portion vibrates the gas, and the vibration vibrates the foreign matter on the surface of the irradiated object to which the laser beam is irradiated so that the foreign matter is removed by the suction port.
상기 진동 발생부는,
상기 기체가 유입되는 입구부;
상기 기체가 유출되는 출구부;
상기 입구부와 상기 출구부를 연결하고 상기 기체의 통로를 제공하는 통로부; 및
상기 통로부 내에 배치되는 진동입자;를 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.The method of claim 1,
The vibration generating unit may include:
An inlet for introducing the gas;
An outlet portion through which the gas flows out;
A passage portion connecting the inlet portion and the outlet portion and providing a passage of the gas; And
And a vibrating particle disposed in the passage portion.
상기 진동입자는 상기 입구부를 통하여 외부로 배출되지 않는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.The method of claim 3,
The vibrating particle is a laser irradiation device, characterized in that not discharged to the outside through the inlet.
상기 진동입자는 상기 입구부 또는 상기 출구부의 직경 보다 더 큰 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.The method of claim 3,
The vibration particle is a laser irradiation apparatus, characterized in that larger than the diameter of the inlet or the outlet.
상기 진동입자는 상기 기체의 흐름에 의해 움직일 수 있는 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.The method of claim 3,
The vibration particle is a laser irradiation device, characterized in that made of a material that can move by the flow of the gas.
상기 진동입자는 세라믹으로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.The method according to claim 6,
The vibration particle is a laser irradiation apparatus, characterized in that made of ceramic.
상기 진동 발생부는 상기 기체가 상기 입구부로 유입되어 상기 출구부로 배출될 때 상기 진동입자가 상기 기체의 흐름에 의해 움직임으로써 상기 진동을 발생시키는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.The method of claim 3,
And the vibration generating unit generates the vibration by moving the vibration particles by the flow of the gas when the gas is introduced into the inlet and discharged to the outlet.
상기 진동 발생부는 초음파를 발생하는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.The method according to claim 1 or 8,
The vibration generator is a laser irradiation apparatus, characterized in that for generating ultrasonic waves.
상기 흡입구는 그 내부의 압력을 외부의 압력보다 작게 유지하여 상기 피조사체 상에 있는 상기 이물질을 흡입하는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.The method of claim 1,
And the suction port keeps the pressure inside thereof smaller than the outside pressure to suck the foreign matter on the object to be irradiated.
상기 흡입구의 내부는 진공 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.The method of claim 10,
The inside of the suction port is a laser irradiation apparatus, characterized in that to maintain a vacuum state.
상기 기체는 질소 가스 또는 공기인 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.The method of claim 1,
The gas is a laser irradiation apparatus, characterized in that the nitrogen gas or air.
상기 레이저 조사 장치는,
레이저 빔을 발생시키는 본체부; 및 상기 레이저 빔의 이동 경로를 제공하는 헤드부;를 구비하며,
상기 헤드부는,
상기 레이저 빔이 외부로 방출될 수 있도록 상기 이동 경로를 제공하는 레이저 방출부;
기체가 유입되고 유출되면서 진동을 발생시키는 진동 발생부; 및
상기 이물질을 흡수하는 흡입구;를 구비하고,
상기 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은,
도너필름과 억셉터 기판을 라미네이션하는 단계;
상기 도너필름의 일면을 클리닝하는 단계; 및
상기 도너필름 상에 레이저 빔을 조사하여 상기 도너필름의 전사층이 상기 억셉터 기판으로 전사되는 단계;를 구비하고,
상기 클리닝 단계는,
상기 진동 발생부에서 유출되는 기체를 상기 도너필름의 일면에 분사하는 단계;
상기 진동 발생부에 의해 발생되는 진동을 상기 도너필름의 일면에 가하는 단계;
상기 분사된 기체와 상기 가해진 진동에 의해 상기 도너필름의 일면 상에 존재하는 이물질을 상기 도너필름의 일면에서 떨어지게 하는 단계; 및
상기 흡입구로 이물질을 흡입하는 단계:를 구비하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.In the method of manufacturing an organic light emitting display device using a laser irradiation device,
The laser irradiation device,
A main body unit generating a laser beam; And a head unit providing a movement path of the laser beam.
Wherein:
A laser emitter providing the movement path so that the laser beam can be emitted to the outside;
Vibration generating unit for generating a vibration as the gas flows in and out; And
A suction port for absorbing the foreign matter;
The manufacturing method of the organic light emitting display device,
Laminating the donor film and the acceptor substrate;
Cleaning one surface of the donor film; And
Irradiating a laser beam on the donor film to transfer the transfer layer of the donor film to the acceptor substrate,
The cleaning step,
Spraying the gas flowing out of the vibration generating unit on one surface of the donor film;
Applying vibration generated by the vibration generator to one surface of the donor film;
Separating foreign matter present on one surface of the donor film from one surface of the donor film by the sprayed gas and the applied vibration; And
Inhaling a foreign material through the suction hole; and manufacturing the organic light emitting display device.
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Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101284360B1 (en) * | 2011-11-10 | 2013-07-08 | 한국표준과학연구원 | An analyzer from particles and by-products generating in the vacuum process having device to prevent the contamination of the surface |
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20060020044A (en) * | 2004-08-30 | 2006-03-06 | 삼성에스디아이 주식회사 | The fabricating method of oled and the fabricating method of donor device |
KR20060066324A (en) * | 2004-12-13 | 2006-06-16 | 삼성전자주식회사 | Apparatus for manufacturing lcd and method of manufacturing lcd using the same |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20060020044A (en) * | 2004-08-30 | 2006-03-06 | 삼성에스디아이 주식회사 | The fabricating method of oled and the fabricating method of donor device |
KR20060066324A (en) * | 2004-12-13 | 2006-06-16 | 삼성전자주식회사 | Apparatus for manufacturing lcd and method of manufacturing lcd using the same |
KR20080001271A (en) * | 2006-06-29 | 2008-01-03 | 삼성전자주식회사 | Repair device of display substrate and repair method of display substrate |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150105539A (en) * | 2014-03-07 | 2015-09-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | Laser crystallization apparatus |
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