KR101213092B1 - Apparatus mask for flat display divice and method of mask fixing using the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 마스크 프레임의 사용횟수를 증가시켜 편판 표시소자의 제조비용을 절감할 수 있는 평판 표시소자용 마스크 장치 및 이를 이용한 마스크 고정방법에 관한 것이다. The present invention relates to a mask device for a flat panel display device that can reduce the manufacturing cost of a flat panel display device by increasing the frequency of use of the mask frame, and a mask fixing method using the same.

본 발명은 소정방향으로 스트레칭된 마스크와; 상기 스트레칭된 마스크를 고정 및 지지하기 위한 사각 틀 형태의 마스크 프레임을 구비하고, 상기 마스크 프레임은 상기 마스크와의 중첩영역 외곽에 소정 각도로 기울어진 경사면을 가지며 상기 마스크는 상기 마스크 프레임의 경사면에 용접되어 고정된다.The present invention is a mask stretched in a predetermined direction; A mask frame having a rectangular frame shape for fixing and supporting the stretched mask, wherein the mask frame has an inclined surface inclined at an angle outside the overlapping area with the mask, and the mask is welded to the inclined surface of the mask frame Is fixed.

Description

평판 표시소자용 마스크 장치 및 이를 이용한 마스크 고정방법{APPARATUS MASK FOR FLAT DISPLAY DIVICE AND METHOD OF MASK FIXING USING THE SAME} Mask device for flat panel display device and mask fixing method using same {{APPARATUS MASK FOR FLAT DISPLAY DIVICE AND METHOD OF MASK FIXING USING THE SAME}

도 1은 종래의 유기 전계발광 표시소자의 하나의 픽셀을 나타내는 도면.1 is a view showing one pixel of a conventional organic electroluminescent display.

도 2는 종래의 마스크 및 마스크 프레임의 정렬을 나타내는 도면.2 shows the alignment of a conventional mask and a mask frame.

도 3은 도 2의 Ⅰ-Ⅰ' 선을 따라 절취한 단면도. 3 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 2.

도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 장치를 나타내는 단면도.4 is a cross-sectional view showing a mask device according to an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마스크 장치를 나타내는 단면도.5 is a sectional view showing a mask device according to another embodiment of the present invention.

도 6a 내지 6d는 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 고정방법을 설명하기 위한 단면도.6A to 6D are cross-sectional views illustrating a mask fixing method according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명> <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

42,142 : 레이저 60,160 : 마스크42,142: laser 60,160: mask

70,170 : 마스크 프레임 72, 172 : 상부면70, 170: mask frame 72, 172: upper surface

76 : 단차 174 : 홈76: step 174: home

176 : 경사면176: slope

본 발명은 마스크 프레임에 관한 것으로 특히, 마스크 프레임의 사용횟수를 증가시켜 평판 표시소자의 제조비용을 절감할 수 있는 평판 표시소자용 마스크 장치 및 이를 이용한 마스크 고정방법에 관한 것이다. The present invention relates to a mask frame, and more particularly, to a mask device for a flat panel display device and a mask fixing method using the same, which can reduce the manufacturing cost of the flat panel display device by increasing the frequency of use of the mask frame.

최근 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시 장치들이 대두되고 있다. 이러한 평판 표시 장치로는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시패널(Plasma Display Panel) 및 유기 전계발광(Electro-Luminescence : 이하, EL이라 함) 표시소자 등이 있다. Recently, various flat panel display devices that can reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes, have emerged. Such a flat panel display includes a liquid crystal display, a field emission display, a plasma display panel, and an organic electroluminescence display. Etc.

이들 중 유기 EL 표시소자는 전자와 정공의 재결합으로 형광체를 발광시키는 자발광 소자로, 그 형광체로 무기 화합물을 사용하는 무기 EL과 유기 화합물을 사용하는 유기 EL로 대별된다. 이러한 EL 표시소자는 액정표시장치와 같이 별도의 광원을 필요로 하는 수동형 발광소자에 비하여 응답속도가 음극선관과 같은 수준으로 빠르다는 장점을 갖고 있다. 또한, EL 표시소자는 저전압 구동, 자기발광, 박막형, 넓은 시야각, 빠른 응답속도, 높은 콘트라스트 등의 많은 장점을 가지고 있어 차세대 표시 장치로 기대되고 있다. Among them, organic EL display devices are self-luminous devices that emit phosphors by recombination of electrons and holes, and are classified into inorganic ELs using inorganic compounds and organic ELs using organic compounds. Such an EL display device has an advantage that the response speed is as fast as that of a cathode ray tube compared to a passive light emitting device requiring a separate light source such as a liquid crystal display device. In addition, the EL display element has many advantages such as low voltage driving, self-luminous, thin film type, wide viewing angle, fast response speed, high contrast, and the like, and is expected to be the next generation display device.

도 1은 유기 EL 표시소자의 발광원리를 설명하기 위한 일반적인 유기 EL 셀 구조를 도시한 단면도이다. 유기 EL 셀은 애노드전극(4)과 캐소드전극(12) 사이에 위치하는 유기발광층(10)을 구비하고, 유기발광층(10)은 전자주입층(10a), 전자수송층(10b), 발광층(10c), 정공수송층(10d), 정공주입층(10e)을 구비한다. 1 is a cross-sectional view showing a general organic EL cell structure for explaining the light emission principle of an organic EL display element. The organic EL cell includes an organic light emitting layer 10 positioned between the anode electrode 4 and the cathode electrode 12, and the organic light emitting layer 10 includes an electron injection layer 10a, an electron transport layer 10b, and a light emitting layer 10c. ), A hole transport layer 10d, and a hole injection layer 10e.

애노드전극(4)과 캐소드전극(12) 사이에 전압을 인가하면, 캐소드전극(12)으로부터 발생된 전자는 전자주입층(10a) 및 전자수송층(10b)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동한다. 또한, 에노드전극(4)으로부터 발생된 정공은 정공주입층(10e) 및 정공수송층(10d)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동한다. 이에 따라, 발광층(10c)에서는 전자수송층(10b)과 정공수송층(10d)으로부터 공급되어진 전자와 정공이 충돌하여 재결합함에 의해 빛이 발생하게 되고, 이 빛은 애노드전극(4)을 통해 외부로 방출되어 화상이 표시하게 된다. When a voltage is applied between the anode electrode 4 and the cathode electrode 12, electrons generated from the cathode electrode 12 move toward the light emitting layer 10c through the electron injection layer 10a and the electron transport layer 10b. In addition, holes generated from the anode electrode 4 move toward the light emitting layer 10c through the hole injection layer 10e and the hole transport layer 10d. Accordingly, in the light emitting layer 10c, light is generated by collision and recombination of electrons and holes supplied from the electron transport layer 10b and the hole transport layer 10d, and the light is emitted to the outside through the anode electrode 4. The image is displayed.

한편, 종래의 유기 EL 표시소자의 박막들은 마스크를 이용한 열증착 및 진공증착 공정에 의해 형성되며, 이 때 이용되는 마스크는 별도의 공정에 의해 제작, 원하는 크기로 스트레칭 된 후 마스크 프레임에 고정되어 소정의 유기물 등을 형성하는 경우에 이용된다. Meanwhile, the thin films of the conventional organic EL display device are formed by a thermal deposition and vacuum deposition process using a mask, and the mask used at this time is manufactured by a separate process, stretched to a desired size, and then fixed to a mask frame. It is used when forming an organic substance and the like.

도 2는 마스크를 마스크 프레임에 고정시키기 위한 공정을 나타내는 도면이고, 도 3은 도 2의 Ⅰ-Ⅰ' 선을 따라 절취한 마스크가 마스크 프레임에 용접된 상태를 나타내는 단면도이다. FIG. 2 is a diagram illustrating a process for fixing a mask to a mask frame, and FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a state in which a mask cut along the line II ′ of FIG. 2 is welded to the mask frame.

도 2 및 도 3을 참조하면, 마스크(60)는 유기물 등의 증착공정시 모기판 상의 다수의 유기 EL 표시소자들의 형성영역과 대응될 어레이영역(P1)과, 어레이영역(P1)을 제외한 영역으로써 마스크 프레임(70)과 중첩되는 비어레이영역(P2)으로 구분된다. 2 and 3, the mask 60 is an area except for the array area P1 and the array area P1 to correspond to the formation area of the plurality of organic EL display elements on the mother substrate during the deposition process of the organic material. As a result, it is divided into the vialay region P2 overlapping the mask frame 70.

마스크 프레임(70)은 사각 틀 형태로 제조되며 마스크(60)와 마주보는 면에는 소정의 단차(76)가 마련되고, 단차(76)에 의해 마스크(60) 방향으로 돌출된 마스크 프레임(70)의 상부면(72)은 마스크(60)의 비어레이영역(P2)과 중첩되며, 마스크(60)는 마스크 프레임(70)의 상부면(72)에 용접되어 마스크 프레임(70)에 고정된다.The mask frame 70 is manufactured in a rectangular frame shape, and a predetermined step 76 is provided on a surface facing the mask 60, and the mask frame 70 protrudes toward the mask 60 by the step 76. The upper surface 72 of the mask overlaps the vialay region P2 of the mask 60, and the mask 60 is welded to the upper surface 72 of the mask frame 70 and fixed to the mask frame 70.

이러한 구조를 가지는 마스크(60) 및 마스크 프레임(70)은 마스크(60)가 마스크 프레임(70) 상에서 스트레칭됨으로써 도 2와 같이 정렬된 후, 도 3에 도시된 바와 같이 마스크(60)의 비어레이영역(P2)과 마스크 프레임(70)의 상부면(72)이 접촉된 상태에서 레이저(42)를 이용하여 용접이 실시됨으로써 마스크(60)는 마스크 프레임(70)에 고정되게 된다. 정렬 및 용접을 통하여 마스크 프레임(70)에 고정된 마스크(60)는 모기판 상에 정렬되며 유기물 등이 마스크(60)를 통하여 선택적으로 투과됨으로써 유기발광층을 포함하는 다수의 박막들이 모기판 상에 형성된다.The mask 60 and the mask frame 70 having such a structure are aligned as shown in FIG. 2 by stretching the mask 60 on the mask frame 70, and then the vialay of the mask 60 as shown in FIG. 3. The welding is performed using the laser 42 in a state where the region P2 and the upper surface 72 of the mask frame 70 are in contact with each other so that the mask 60 is fixed to the mask frame 70. The mask 60 fixed to the mask frame 70 through alignment and welding is aligned on the mother substrate, and the organic material and the like are selectively transmitted through the mask 60 so that a plurality of thin films including the organic light emitting layer are formed on the mother substrate. Is formed.

이와 같이 마스크 프레임(70)에 고정된 마스크(60)를 이용하여 다수 번의 증착공정이 실시되게 되면 다수 번의 증착공정이 실시된 마스크(60)는 폐기된다. 하지만, 마스크 프레임(70)은 다수 번의 증착공정이 실시된 후 폐기되는 마스크(60)와는 달리 마스크(60)를 제거한 후 새로운 마스크와 용접되어 다른 증착공정에 사용되게 된다.When the deposition process is performed a plurality of times using the mask 60 fixed to the mask frame 70 as described above, the mask 60 on which the deposition process is performed a plurality of times is discarded. However, unlike the mask 60 which is discarded after a plurality of deposition processes, the mask frame 70 is removed from the mask 60 and welded with a new mask to be used in another deposition process.

이 때, 새로운 마스크와의 용접 전에 마스크 프레임(70)은 이전 마스크(60)와의 용접에 의한 용접흔적을 제거하기 위한 연마(polishing)공정을 거치게 되는데 이 연마공정은 마스크 프레임(70)의 상부면(72) 전체에 실시된다. 즉, 마스크 프 레임(70)에는 레이저(42)에 의한 하나의 용접흔적만이 잔존함에도 불구하고 마스크 프레임(70)의 상부면(72) 전체가 연마됨으로써 마스크 프레임(70)의 상부면(72) 전체가 마모된다. 따라서, 마스크 프레임(70)은 상부면(72)의 마모로 인해 공정 상에서 요구되는 마스크 프레임(70)의 높이를 좌우하는 마스크 프레임(70)의 상부면(72)이 연마되어 마스크 프레임(70)은 그 수명이 단축되게 되며 이에 따라, 유기 EL 표시소자의 제조공정에서 마스크 프레임(70)을 자주 교체하여야 하는 문제가 발생 유기 EL 표시소자의 제조비용이 상승된다. At this time, before welding with the new mask, the mask frame 70 undergoes a polishing process to remove the welding traces by welding with the previous mask 60. This polishing process is performed on the upper surface of the mask frame 70. 72 is carried out in its entirety. That is, although only one welding trace by the laser 42 remains in the mask frame 70, the entire upper surface 72 of the mask frame 70 is polished so that the upper surface 72 of the mask frame 70 is polished. ) The whole wears out. Accordingly, the mask frame 70 is polished by the upper surface 72 of the mask frame 70 that influences the height of the mask frame 70 required in the process due to the wear of the upper surface 72 to the mask frame 70. The lifespan of the organic EL display device is shortened, and thus, a problem of frequently replacing the mask frame 70 in the manufacturing process of the organic EL display device occurs, thereby increasing the manufacturing cost of the organic EL display device.

따라서, 본 발명의 목적은 마스크 프레임의 사용횟수를 증가시켜 평판 표시소자의 제조비용을 절감할 수 있는 마스크 프레임 및 이를 이용한 마스크 고정 및 스트레칭 방법을 제공하는 것이다. Accordingly, an object of the present invention is to provide a mask frame capable of reducing the manufacturing cost of a flat panel display device by increasing the frequency of use of the mask frame and a mask fixing and stretching method using the same.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 평판 표시소자용 마스크 장치는 소정방향으로 스트레칭된 마스크와; 상기 스트레칭된 마스크를 고정 및 지지하기 위한 사각 틀 형태의 마스크 프레임을 구비하고, 상기 마스크 프레임은 상기 마스크와의 중첩영역 외곽에 소정 각도로 기울어진 경사면을 가지며 상기 마스크는 상기 마스크 프레임의 경사면에 용접되어 고정되며, 상기 마스크 프레임은 상기 마스크와의 중첩영역에 홈을 구비하고, 상기 홈은 상기 마스크 프레임의 세정공정 및 건조공정시 수분 및 열풍의 이동통로로 이용된다.In order to achieve the above object, a mask device for a flat panel display device according to an embodiment of the present invention comprises a mask stretched in a predetermined direction; A mask frame having a rectangular frame shape for fixing and supporting the stretched mask, wherein the mask frame has an inclined surface inclined at an angle outside the overlapping area with the mask, and the mask is welded to the inclined surface of the mask frame The mask frame is provided with a groove in an overlapping area with the mask, and the groove is used as a moving passage for moisture and hot air during a cleaning process and a drying process of the mask frame.

상기 마스크를 새로운 마스크로 교체하기 위해 상기 마스크를 상기 마스크 프레임에서 제거하는 경우, 상기 마스크 프레임의 경사면 상에 잔존하는 용접흔적은 연마공정에 의해 제거된다.When the mask is removed from the mask frame to replace the mask with a new mask, the welding traces remaining on the inclined surface of the mask frame are removed by the polishing process.

상기 마스크 프레임은 상기 마스크와의 중첩영역에 홈을 구비하고, 상기 홈은 상기 마스크 프레임의 세정공정 및 건조공정시 수분 및 열풍의 이동통로로 이용된다.The mask frame has a groove in an overlapping area with the mask, and the groove is used as a moving passage for moisture and hot air during a cleaning process and a drying process of the mask frame.

본 발명의 실시 예에 따른 마스크 고정방법은 소정방향으로 스트레칭된 마스크를 마련하는 단계와; 상기 마스크와의 중첩영역 외곽에서 소정 각도로 기울어진 경사면을 가지는 사각 틀 형태의 마스크 프레임을 마련하는 단계와; 상기 마스크와 상기 마스크 프레임을 정렬시키는 단계와; 상기 마스크 프레임의 경사면에 상기 마스크를 용접하여 상기 마스크를 상기 마스크 프레임에 고정시키는 단계를 포함하며, 상기 마스크 프레임은 상기 마스크와의 중첩영역에 홈을 구비하고, 상기 홈은 상기 마스크 프레임의 세정공정 및 건조공정시 수분 및 열풍의 이동통로로 이용된다.Mask fixing method according to an embodiment of the present invention comprises the steps of preparing a mask stretched in a predetermined direction; Providing a mask frame having a rectangular frame shape having an inclined surface inclined at a predetermined angle outside the overlap area with the mask; Aligning the mask with the mask frame; Welding the mask to an inclined surface of the mask frame to fix the mask to the mask frame, wherein the mask frame has grooves in an overlapping area with the mask, and the grooves are cleaned in the mask frame. And it is used as a moving passage of moisture and hot air during the drying process.

상기 마스크를 상기 마스크 프레임에 고정시키는 단계는, 상기 마스크를 상기 마스크 프레임과 평행한 방향으로 1차 스트레칭하는 단계와; 상기 1차 스트레칭 된 마스크를 상기 마스크 프레임에 접착시키는 단계와; 상기 마스크 프레임에 고정된 상기 마스크를 상기 마스크 프레임의 경사면이 기울어진 각도와 평행한 각도로 2차 스트레칭하는 단계를 포함한다.The fixing of the mask to the mask frame may include: first stretching the mask in a direction parallel to the mask frame; Adhering the primary stretched mask to the mask frame; And secondly stretching the mask fixed to the mask frame at an angle parallel to the angle at which the inclined surface of the mask frame is inclined.

상기 마스크 고정방법은 새로운 마스크로의 교체를 위해 상기 마스크를 상기 마스크 프레임에서 제거하는 단계와; 상기 기존의 마스크와 용접되었던 상기 마스크 프레임의 경사면 상에 위치하는 용접흔적을 연마하는 단계를 더 포함한다.The mask holding method includes removing the mask from the mask frame for replacement with a new mask; And polishing a welding trace located on an inclined surface of the mask frame that has been welded with the existing mask.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. Other objects and features of the present invention in addition to the above object will be apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 4 및 도 6d를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 and 6D.

도 4는 본 발명에서 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자용 마스크 장치를 나타내는 단면도이다.4 is a cross-sectional view showing a mask device for an organic EL display device according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자용 마스크 장치는 사각틀 형태의 마스크 프레임(170)과 마스크 프레임(170)에 고정되는 마스크(160)를 구비한다.Referring to FIG. 4, a mask device for an organic EL display device according to an exemplary embodiment of the present invention includes a mask frame 170 having a rectangular frame shape and a mask 160 fixed to the mask frame 170.

마스크(160)는 유기물 등의 증착공정시 모기판 상의 다수의 유기 EL 표시소자들이 형성될 영역과 대응되는 어레이영역(P1)과, 어레이영역(P1)을 제외한 영역 즉, 마스크 프레임(170)과 중첩되는 비어레이영역(P2)으로 구분된다.The mask 160 may include an array region P1 corresponding to a region where a plurality of organic EL display elements on the mother substrate are to be formed during a deposition process of an organic material, and a region other than the array region P1, that is, the mask frame 170 and the like. It is divided into the overlapped via area P2.

마스크 프레임(170)은 사각 틀 형태로 제조되며, 마스크(160)의 비어레이영역(P2)과 중첩되는 영역의 외곽에 소정의 기울기를 가지는 경사면(176) 및 경사면(176)에 의해 마스크(160) 방향으로 돌출된 마스크 프레임(170)의 상부면(172)을 구비한다.The mask frame 170 is manufactured in the form of a rectangular frame, and the mask 160 is inclined by the inclined surface 176 and the inclined surface 176 having a predetermined inclination outside the region overlapping the vialay region P2 of the mask 160. The upper surface 172 of the mask frame 170 protruding in the () direction is provided.

마스크(160)는 마스크 프레임(170) 상에서 스트레칭됨으로써 마스크 프레임(170) 상에서 마스크(160)의 어레이영역(P1)을 제외한 마스크(160)의 비어레이영역(P2)과 마스크 프레임(170)의 상부면(172) 및 마스크 프레임(170)의 경사면(176)과 접촉되도록 정렬되며 이 후, 마스크(160)가 접촉된 마스크 프레임(170)의 경사면(176)에 용접을 실시함으로써 마스크(160)는 마스크 프레임(170)에 고정된다. The mask 160 is stretched on the mask frame 170, so that the vialay region P2 of the mask 160 and the upper portion of the mask frame 170 except the array region P1 of the mask 160 on the mask frame 170 may be stretched. The mask 160 is aligned by contacting the inclined surface 176 of the mask frame 170 with which the face 172 and the inclined surface 176 of the mask frame 170 are contacted. It is fixed to the mask frame 170.

이와 같은 정렬 및 용접을 통하여 마스크 프레임(170)에 고정된 마스크(160)는 모기판 상에 정렬되며 유기물 등이 마스크(160)를 통하여 선택적으로 투과됨으로써 유기발광층을 포함하는 다수의 박막들이 모기판 상에 형성된다.Through such alignment and welding, the mask 160 fixed to the mask frame 170 is aligned on the mother substrate, and the organic material and the like are selectively transmitted through the mask 160, such that a plurality of thin films including the organic light emitting layer are formed on the mother substrate. Is formed on the phase.

마스크 프레임(170)에 고정된 마스크(160)를 이용하여 다수 번의 증착공정이 실시되면 다수 번의 증착공정이 실시된 마스크(160)는 폐기되며, 마스크 프레임(170)은 다수 번의 증착공정이 실시된 마스크(160)를 제거한 후 새로운 마스크와 용접되어 다른 증착공정에서 사용되게 된다.When a plurality of deposition processes are performed using the mask 160 fixed to the mask frame 170, the mask 160 having been subjected to a plurality of deposition processes is discarded, and the mask frame 170 is subjected to a plurality of deposition processes. After removing the mask 160, it is welded with the new mask to be used in another deposition process.

여기서, 마스크 프레임(170)은 새로운 마스크를 마스크 프레임(170)에 고정시키기 위하여 이전 마스크(160)와의 용접흔적을 제거되어야 하며, 용접흔적은 용접이 실시된 마스크 프레임(170)의 경사면(172)에만 연마(polishing)공정을 실시함으로써 제거될 수 있다. Here, the mask frame 170 should remove the welding trace with the previous mask 160 to fix the new mask to the mask frame 170, the welding trace is the inclined surface 172 of the mask frame 170 is welded Can only be removed by performing a polishing process.

이와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 마스크 장치는 공정 상에서 요구되는 마스크 프레임(170)의 높이를 좌우하는 마스크 프레임(170)의 상부면(172)을 연마하지 않음으로써 마스크 프레임(170)의 사용횟수를 증가시킬 수 있으며 이에 따라, 유기 EL 표시소자의 제조비용을 절감시킬 수 있다. As described above, the mask device of the organic EL display device according to the exemplary embodiment of the present invention does not polish the upper surface 172 of the mask frame 170 that influences the height of the mask frame 170 required in the process, thereby preventing the mask frame. The number of times of use of the 170 can be increased, thereby reducing the manufacturing cost of the organic EL display device.

또한, 도 5에 도시된 바와 같이 본 발명의 다른 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자용 마스크 장치는 전술한 실시 예와 비교하여 마스크 프레임(170)의 상부면(172)에 홈(174)을 더 구비한다.In addition, as shown in FIG. 5, the mask device for an organic EL display device according to another exemplary embodiment of the present invention further includes a groove 174 in the upper surface 172 of the mask frame 170 as compared with the aforementioned exemplary embodiment. Equipped.

이러한 홈(174)은 마스크 프레임(170)의 세정 및 건조 공정시 수분 및 열풍의 이동통로를 제공하며 그 결과, 마스크 프레임(170)의 건조 및 세정공정의 효율 을 향상시킬 수 있다.The groove 174 may provide a moving passage of moisture and hot air during the cleaning and drying process of the mask frame 170, and as a result, may improve the efficiency of the drying and cleaning process of the mask frame 170.

본 발명의 마스크 장치의 마스크 프레임(170)은 그 외곽영역에 경사면(176)이 형성되며, 마스크(160)를 마스크 프레임(170)의 경사면(176)에 용접시키기 위하여 마스크 프레임(170)의 상부면(172)을 거쳐 마스크 프레임(170)의 경사면(176)까지 중첩되도록 마스크(160)를 마스크 프레임(170)에 접촉시켜야 한다.In the mask frame 170 of the mask device of the present invention, an inclined surface 176 is formed in an outer region thereof, and an upper portion of the mask frame 170 is welded to the inclined surface 176 of the mask frame 170. The mask 160 should contact the mask frame 170 so as to overlap the inclined surface 176 of the mask frame 170 via the face 172.

이에 따라, 종래 마스크(160)를 마스크 프레임(170)의 상부면(172)에 용접시키던 것과는 다른 방법으로 마스크(160)를 마스크 프레임(170)의 경사면(172)에 용접 고정하여야 한다. Accordingly, the mask 160 must be welded to the inclined surface 172 of the mask frame 170 in a manner different from that of the conventional mask 160 to the upper surface 172 of the mask frame 170.

이러한 본 발명의 마스크 프레임(170)에 마스크(160)를 고정하는 방법을 도 6a 내지 6d를 참조하여 설명하면 다음과 같다.The method of fixing the mask 160 to the mask frame 170 of the present invention will be described with reference to FIGS. 6A to 6D.

도 6a를 참조하면, 마스크(160)를 마스크 프레임(170) 상에 정렬시킨 후, 마스크 프레임(170)의 상부면(172)과 평행한 방향으로 모기판의 유기 EL 표시소자들이 형성된 영역과 마스크(160)의 어레이영역(P1)이 대응되도록 마스크(160)를 1차 스트레칭한다.Referring to FIG. 6A, after the mask 160 is aligned on the mask frame 170, an area and a mask on which the organic EL display elements of the mother substrate are formed in a direction parallel to the upper surface 172 of the mask frame 170. The mask 160 is first stretched to correspond to the array region P1 of 160.

이 후, 모기판 상에 유기 EL 표시소자들이 형성된 영역과 마스크(160의 어레이영역(P1)이 대응되도록 마스크(160)가 스크레칭되면 도 6b와 같이, 마스크(160)를 마스크 프레임(170)에 접촉시킨다.Subsequently, when the mask 160 is scratched such that the region where the organic EL display elements are formed on the mother substrate and the array region P1 of the mask 160 correspond to each other, as shown in FIG. 6B, the mask 160 is replaced with the mask frame 170. ).

그런 다음, 도 6c에 도시된 바와 같이 마스크(160)를 마스크 프레임(170)의 경사면(176)과 평행한 방향으로 2차 스트레칭하며, 2차 스트레칭에 의해 마스크(160)의 비어레이영역(P2)이 마스크 프레임(170)의 경사면(176)에 접촉되게 되면 도 6d와 같이 마스크 프레임(170)의 경사면(176)에 레이저(142)를 조사하여 마스크(160)를 마스크 프레임(170)에 용접함으로써 마스크(160)를 마스크 프레임(170) 상에 고정시킨다.Then, as shown in FIG. 6C, the mask 160 is secondarily stretched in a direction parallel to the inclined surface 176 of the mask frame 170, and the vialay region P2 of the mask 160 is secondly stretched. 6) comes into contact with the inclined surface 176 of the mask frame 170, the laser 160 is irradiated to the inclined surface 176 of the mask frame 170 to weld the mask 160 to the mask frame 170 as shown in FIG. As a result, the mask 160 is fixed on the mask frame 170.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 평판 표시소자용 마스크 장치 및 마스크 고정방법은 마스크 프레임의 외곽영역에 형성된 경사면에 마스크를 용접하여 마스크를 마스크 프레임에 고정함으로써 마스크 프레임에서 마스크를 제거할 때 마스크 프레임의 경사면만을 연마할 뿐 마스크 프레임의 상부면은 연마하지 않음으로 마스크 프레임의 사용횟수를 증가시킬 수 있다. 이에 따라, 평판 표시소자의 제조비용을 절감시킬 수 있다. As described above, the mask device and mask fixing method for a flat panel display device according to the present invention by welding the mask to the inclined surface formed in the outer region of the mask frame to fix the mask to the mask frame when removing the mask from the mask frame It is possible to increase the number of times of use of the mask frame by polishing only the inclined surface of the mask frame and not the upper surface of the mask frame. Accordingly, the manufacturing cost of the flat panel display device can be reduced.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification, but should be defined by the claims.

Claims (6)

소정방향으로 스트레칭되고 유기 EL 표시소자들이 형성될 영역과 대응되는 어레이영역과, 상기 어레이영역과 구분되는 비어레이영역이 형성된 마스크와; A mask having an array region stretched in a predetermined direction and corresponding to a region where organic EL display elements are to be formed, and a via region separated from the array region; 상기 스트레칭된 마스크를 고정 및 지지하기 위한 사각 틀 형태의 마스크 프레임을 구비하고, A mask frame having a rectangular frame shape for fixing and supporting the stretched mask, 상기 마스크 프레임은 상기 마스크와의 중첩영역 외곽에 소정 각도로 기울어진 경사면을 가지며 상기 마스크는 상기 마스크 프레임의 경사면에 용접되어 고정되며,The mask frame has an inclined surface inclined at a predetermined angle outside the overlapping area with the mask, and the mask is welded and fixed to the inclined surface of the mask frame, 상기 마스크 프레임은 상기 마스크와의 중첩영역에 홈을 구비하고,The mask frame has a groove in an overlapping area with the mask, 상기 홈은 상기 마스크 프레임의 세정공정 및 건조공정시 수분 및 열풍의 이동통로로 이용되는 것을 특징으로 하는 평판 표시소자용 마스크 장치.The groove is a mask device for a flat panel display device, characterized in that used as a movement passage of moisture and hot air during the cleaning process and drying process of the mask frame. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 마스크를 새로운 마스크로 교체하기 위해 상기 마스크를 상기 마스크 프레임에서 제거하는 경우, 상기 마스크 프레임의 경사면 상에 잔존하는 용접흔적은 연마공정에 의해 제거되는 것을 특징으로 하는 평판 표시소자용 마스크 장치.And when the mask is removed from the mask frame to replace the mask with a new mask, welding traces remaining on the inclined surface of the mask frame are removed by a polishing process. 삭제delete 소정방향으로 스트레칭되고 유기 EL 표시소자들이 형성될 영역과 대응되는 어레이영역과, 상기 어레이영역과 구분되는 비어레이영역이 형성된 마스크를 마련하는 단계와; Providing a mask in which an array region is stretched in a predetermined direction and corresponds to a region where organic EL display elements are to be formed, and a via region is formed to be separated from the array region; 상기 마스크와의 중첩영역 외곽에서 소정 각도로 기울어진 경사면을 가지는 사각 틀 형태의 마스크 프레임을 마련하는 단계와;Providing a mask frame having a rectangular frame shape having an inclined surface inclined at a predetermined angle outside the overlap area with the mask; 상기 마스크와 상기 마스크 프레임을 정렬시키는 단계와;Aligning the mask with the mask frame; 상기 마스크 프레임의 경사면에 상기 마스크를 용접하여 상기 마스크를 상기 마스크 프레임에 고정시키는 단계를 포함하며,Welding the mask to an inclined surface of the mask frame to fix the mask to the mask frame, 상기 마스크를 상기 마스크 프레임에 고정시키는 단계는,Fixing the mask to the mask frame, 상기 마스크를 상기 마스크 프레임과 평행한 방향으로 1차 스트레칭하는 단계와;First stretching the mask in a direction parallel to the mask frame; 상기 1차 스트레칭 된 마스크를 상기 마스크 프레임에 접착시키는 단계와;Adhering the primary stretched mask to the mask frame; 상기 마스크 프레임에 고정된 상기 마스크를 상기 마스크 프레임의 경사면이 기울어진 각도와 평행한 각도로 2차 스트레칭하는 단계를 포함하고,Secondly stretching the mask fixed to the mask frame at an angle parallel to the angle at which the inclined surface of the mask frame is inclined; 상기 마스크 프레임은 상기 마스크와의 중첩영역에 홈을 구비하고,The mask frame has a groove in an overlapping area with the mask, 상기 홈은 상기 마스크 프레임의 세정공정 및 건조공정시 수분 및 열풍의 이동통로로 이용되는 것을 특징으로 하는 평판 표시소자용 마스크 고정방법.The groove is a mask fixing method for a flat panel display device, characterized in that used as a movement passage of moisture and hot air during the cleaning process and drying process of the mask frame. 삭제delete 제 4 항에 있어서,5. The method of claim 4, 새로운 마스크로의 교체를 위해 상기 마스크를 상기 마스크 프레임에서 제거하는 단계와; Removing the mask from the mask frame for replacement with a new mask; 상기 기존의 마스크와 용접되었던 상기 마스크 프레임의 경사면 상에 위치하는 용접흔적을 연마하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시소자용 마스크 고정 방법.And polishing a welding trace located on an inclined surface of the mask frame that has been welded with the existing mask.
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