KR101211394B1 - 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈 - Google Patents

유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈 Download PDF

Info

Publication number
KR101211394B1
KR101211394B1 KR1020120111176A KR20120111176A KR101211394B1 KR 101211394 B1 KR101211394 B1 KR 101211394B1 KR 1020120111176 A KR1020120111176 A KR 1020120111176A KR 20120111176 A KR20120111176 A KR 20120111176A KR 101211394 B1 KR101211394 B1 KR 101211394B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass
etchant
etching
outlet
pipe
Prior art date
Application number
KR1020120111176A
Other languages
English (en)
Inventor
김준모
문병석
최선우
정돈규
김윤지
Original Assignee
주식회사 지디
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 지디 filed Critical 주식회사 지디
Priority to KR1020120111176A priority Critical patent/KR101211394B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101211394B1 publication Critical patent/KR101211394B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67063Apparatus for fluid treatment for etching
    • H01L21/67075Apparatus for fluid treatment for etching for wet etching
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C15/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/6715Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133302Rigid substrates, e.g. inorganic substrates

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)

Abstract

본 발명은 유리의 표면을 식각시키기 위한 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈을 제공하고자 한다. 특히 챔버 내부에 적재되는 글라스의 적재열에 대하여 직각의 방향으로 식각액을 흘려 보낼 수 있도록 내부관과 외부관의 2중관 구조로 이루어진 유출관유닛을 형성하되, 내부관의 최상단에는 장형의 토출관을 형성하고, 외부관의 측면에는 유출구를 형성하여 토출관에서 흘러 넘친 식각액이 외부관의 유입공간으로 적재된 후 유출구로 흘러 내리도록 한 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈을 제공하고자 한다.

Description

유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈{Etchant Input Module in Glass Etching System}
본 발명은 유리의 표면을 식각시키기 위한 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈에 관한 것이다. 특히 챔버 내부에 적재되는 글라스의 적재열에 대하여 직각의 방향으로 식각액을 흘려 보낼 수 있도록 내부관과 외부관의 2중관 구조로 이루어진 유출관유닛을 형성하되, 내부관의 최상단에는 장형의 토출관을 형성하고, 외부관의 측면에는 유출구를 형성하여 토출관에서 흘러 넘친 식각액이 외부관의 유입공간으로 적재된 후 유출구로 흘러 내리도록 한 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈에 관한 것이다.
일반적으로 글라스를 식각 하는 방법으로는 식각액(Etchant)이 채워진 용기에 글라스를 담가 글라스의 표면을 식각(Etching)하는 침지형 식각 방법과 글라스의 양측면에 식각액을 분사시키는 분사 식각 방법이 있다.
하지만, 상기 침지형 식각 방법은 글라스 자체의 불균일성에 의해 글라스의 외형이 균일하게 식각 되지 않을 뿐만 아니라 식각 과정에서 발생되는 불순물이 글라스에 달라붙게 되어 글라스의 표면이 매끄럽지 못하다는 문제점이 있었고, 글라스의 하단과 상단의 두께가 동일하게 식각 되지 않는다는 문제점이 있었다.
한편, 상기 분사 식각 방법으로는 글라스의 양옆에서 식각액을 분사시켜 주는 측부 분사 방식과 글라스의 상부에서 식각액을 흘려주는 다운 스트림 방식이 있다.
이때, 상기 측부 분사 방식은 글라스의 양측면에서 소정의 압력을 가진 식각액을 글라스의 양측면에 분사시켜 주는 방식으로 글라스 표면에 부착된 슬러지를 효과적으로 제거할 수 있다는 장점이 있으나 글라스로부터 발생된 슬러지가 노즐의 입구에 고착화 되기 쉽다는 문제점이 있었다.
또한, 상기 노즐의 입구에 고착화 된 슬러지는 노즐을 통해 분사되는 식각액의 분사 경로를 흐트러트릴 수 있다는 문제점이 있으며, 식각액의 분사 압력을 약화시킬 수 있다는 문제점이 있었다.
한편, 상기 다운 스트림 방식은 측부 분사 방식에 대한 문제점을 해결하고자 글라스의 상부에서 하부로 식각액을 흘려 보내 주는 방식으로 노즐 막힘에 대한 문제점은 없으나 식각액 중에 포함된 큰 입자의 슬러지가 식각 중인 유리에 달라붙는다는 문제점이 있었고, 식각 중인 유리의 어느 한 부분을 집중적으로 식각 할 수 있다는 문제점이 있었다. 또한 대다수의 스트림 방식의 식각장치는 챔버의 내측에 유입된 글라스 패널의 적재 방향과 동일 방향으로 식각액이 흘러내리기에 글라스의 일부분만 식각액이 흘러내릴 소지가 있었다.
1. 특허등록 제10-0860294호(공고일자 2008. 09. 25) 2. 특허등록 제10-1092471호(공고일자 2011. 12. 13)
본 발명은 유리의 표면을 식각시키기 위한 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈을 제공하고자 한다. 특히 챔버 내부에 적재되는 글라스의 적재열에 대하여 직각의 방향으로 식각액을 흘려 보낼 수 있도록 내부관과 외부관의 2중관 구조로 이루어진 유출관유닛을 형성하되, 내부관의 최상단에는 장형의 토출관을 형성하고, 외부관의 측면에는 유출구를 형성하여 토출관에서 흘러 넘친 식각액이 외부관의 유입공간으로 적재된 후 유출구로 흘러 내리도록 한 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈을 제공하고자 한다.
본 발명에 따른 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈은, 챔버의 내측에 다층 다열로 적재되도록 설치되는 글라스적재부(3)가 있는 챔버; 상기 챔버의 상부로 배열된 식각액 공급관(12)에서 하단으로 내려서도록 조인트 연결된 식각액 유입관(13); 유입관(13)의 끝단에 고정되어 하단의 적재된 글라스(1)의 상부로 고르게 넘쳐 흐르는 식각액(2)을 흘려보내기 위한 분사체(K); 및 챔버 내측의 적재된 글라스(1)를 수평방향으로 좌우 연동시키는 좌우연동수단(A);을 포함하여 구성되어, 적재된 글라스(1)의 적재열에 비하여 수직된 방향으로 넘쳐 흐르는 식각액(2)을 흘려보내고, 좌우연동수단(A)이 좌우 방향으로 연동을 하여 보다 고른 식각액(2)의 공급을 가능하도록 한다.
또한 본 발명 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈에 따른, 분사체(K)는, 수직의 유입관(13)과 연통되도록 수평방향으로 배열하되, 좌우 양단에 글라스(1)의 열과 동일한 방향으로 끝단에만 수평되게 배열되는 좌우 주공급관(31); 상기 좌우 주공급관(31)의 측면을 일정한 간격을 두고 연통한 상태로 배열되어 식각액(2)을 외측으로 넘쳐 흘려보내는 다수의 유출관유닛(40); 상기 각각의 유출관유닛(40)의 측면에서 식각액(2)이 흘러내리도록 하는 장형의 유출구(53);를 통해 유리의 배열방향에 직각의 방향으로 상부에서 하부로 넘치는 식각액(2)을 통해서 글라스(1)의 식각 작업을 달성하고 : 유입관(13)을 통해 식각액(2)을 공급받는 유출관유닛(40)은, 유출관유닛(40)의 상부로 유출관유닛(40)과 직각의 방향으로 배열되는 중앙공급관(33)을 설치하고, 중앙공급관(33)은 조인트(34)를 통해서 상부의 유입관(13)과 연통된 상태로 하단에 배열된 각각의 유출관유닛(40)의 중심부분과 연통시켜 유출관유닛(40)의 중심부분으로도 식각액(2)을 공급할 수 있도록 하며 : 유출관유닛(40)은, 원형관의 외곽부를 감싸며 흘러내린 식각액(2)을 흘려보내기 위하여 측면에 장형의 유출구(53)를 형성한 외부관(41); 외부관(41) 내측에 내장되는 2개의 내부관(42) 좌우측단에는 주공급관(31)과 연통하되, 내부관(42) 연결부위와 상부의 중앙공급관(33)도 연통시켜 식각액(2)을 내부관(42)의 중심부분으로도 공급하도록 하는 "T"자형의 조인트(43); 상기 외부관(41)의 내측에 형성되는 식각액(2) 유입공간(52)에는 외부관(41)의 길이방향으로 내장하되, 최상단에 장형의 토출공(B)이 형성되고 측단의 주공급관(31)과 좌우측단에서 조인트(45) 연통되는 내부관(42); 상기 내부관(42)의 토출공(B)에서 넘쳐흐른 식각액(2)이 타고 내릴 수 있도록 외부관(41)의 하단 내주면에 사선의 방향으로 체결되는 가이드판(51);으로 이루어져 공급되는 식각액(2)이 내부관(42)의 토출공(B)으로 토출되어 흘러내려와 가이드판(51)을 타고 유입공간(52)에 적재된 후, 외부관(41)의 유출구(53)로 흘러내려 글라스(1)에 식각액(2)을 고르게 흘려보낸다.
또한 본 발명 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈에 따른, 외부관(41)에 형성되는 장형의 유출구(53)의 하단 내주면으로, 사선의 방향으로 흘러내리도록 테이퍼지게 돌출되는 슬라브판(47)을 형성하고 : 외부관(41)의 유출구(53) 내주면과 슬라브판(47)으로 이루어진 유출구(53) 도입부는 파형의홈(48)을 형성하여 식각액(2)이 고르게 흐를 수 있도록 하고, 최하단의 슬라브판(47) 끝단에는 단면의 형상이 굴곡(49)이 형성되도록 하여 흘러내린 고른 식각액(2)이 고르게 떨어질 수 있도록 하며 : 내부관(42)의 최상단 토출공(B)은, 고르게 흘러 넘치도록 파형의 물결단면을 갖도록 한다.
또한 본 발명 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈에 따른, 유출관유닛(40)과 연통되는 유입관(13)은 연동과 길이조절이 가능한 주름관으로 설치되고 : 좌우연동수단(A)은, 챔버의 내측에 글라스(1)를 적재하는 글라스적재부(A)의 하단에 다수개로 설치되는 회전롤(72); 회전롤(72)의 측단에 2개씩 고정되는 각각의 쌍의 스프로켓(73);을 형성하되, 모터(70)의 회전을 통해서 일측단의 회전롤(72)을 회전시키기 위해서 모터(70)의 스프로켓과 제1 스프로켓(73)에 걸어주는 주동체인(71)을 두고, 좌우 근접한 회전롤(72)의 측단에 형성되는 2개의 스프로켓(72)을 서로 겹치게 걸어 모터(70)의 회전이 회전롤(72)의 일방향 회전을 가져오고, 모터(70)의 역방향 회전이 회전롤(72)의 타방향 회전을 가져와 글라스적재부(A)가 좌우방향으로 연동할 수 있도록 한다.
본 발명에 따라 유리 적재 방향과 직각의 방향으로 상부에서 하부로 식각액을 흘려 넣기에, 보다 안정적인 식각의 효과를 볼 수 있으며, 간혹 슬러지가 글라스에 달라붙었던 현상을 방지할 수 있다는 장점이 있다.
또한 본 발명에 따라 내부관에서 상부로 흘러 넘치는 물을 잔잔하게 받아 외부관에서 테이퍼진 슬라브판으로 흘려주기에 아주 고른 량으로 식각액을 흘려보낼 수 있으며, 그에 따라 식각의 효과가 높고 질적으로 우수하다는 장점이 있다.
또한 본 발명에 따라 유출관유닛을 형성함에 있어서, 내부관이 외부관에 쌓여 있도록 하고, 내부관으로 펌프의 식각액이 공급되도록 하되, 내부관에 채워져 상부로 흘러 넘치는 식각액만을 외부관으로 받아 흘려 보내기에 식각액이 출렁이지 않고 조용히 흐를 수 있도록 했다는 점에서 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 작동의 방식을 간략하게 도시한 작동상태도,
도 2는 본 발명의 식각장치를 정면에서 도시한 전체 정면도,
도 3은 본 발명의 식각장치를 측면에서 도시한 측면도,
도 4는 본 발명에서 식각액을 흘려주기 위한 분사체를 상면과 정면에서 도시한 요부도,
도 5는 본 발명의 유출관유닛을 분해하여 도시한 분해단면도,
도 6은 본 발명의 유출관유닛의 단면을 도시한 단면도,
도 7은 본 발명의 분사체가 유입관에 고정된 상태를 도시한 도면,
도 8은 본 발명의 좌우연동수단을 확대하여 도시한 도면이다.
본 발명은 글라스의 표면을 식각시켜주는 식각장치에 관한 것이며, 특히 식각장치에서 식각액을 글라스에 흘려주기 위한 식각액 공급모듈에 관한 것이다.
따라서 본 발명의 구성과 그 작동을 도시된 도 1 내지 8을 통해서 살펴본다.
본 발명은 도시된 것처럼, 챔버의 내측에 다층 다열로 적재되도록 설치되는 글라스적재부(3)가 있는 챔버가 있고, 상기 챔버의 상부로 배열된 식각액 공급관(12)에서 하단으로 내려서도록 조인트 연결된 식각액 유입관(13)이 있으며, 유입관(13)의 끝단에 고정되어 하단의 적재된 글라스(1)의 상부로 고르게 넘쳐 흐르는 식각액(2)을 흘려보내기 위한 분사체(K)가 있다. 또한 챔버 내측의 적재된 글라스(1)를 수평방향으로 좌우 연동시키는 좌우연동수단(A)이 있다. 따라서 이들이 결합하여 적재된 글라스(1)의 적재열에 비하여 수직된 방향으로 넘쳐 흐르는 식각액(2)을 흘려보내고, 좌우연동수단(A)이 좌우 방향으로 연동을 하여 보다 고른 식각액(2)의 공급을 가능하도록 한다.
먼저 본 발명은 식각액(2)을 글라스(1)의 상부에서 하부로 흘려 보내서 글라스(1)의 표면을 식각시키는 식각장치이다. 노즐을 이용하여 식각액(2)을 뿌리는 것과는 달리 식각액(2)을 흘려 보내는 식각장치이다. 이러한 식각장치는 하단에 식각액(2)을 저장시키는 탱크를 형성하고, 탱크(10)에서 배열되어 챔버의 상단부분에 형성되는 분사체(K)와 연동하는 공급관(12)과 유입관(13)이 설치된다. 식각액(2)은 공급관(12)과 유입관(13)을 타고 분사체(K)로 이동한다.
그리고 챔버의 상단에서 하단으로 식각액(2)을 흘려 보내면서 글라스(1)의 표면을 식각하고, 챔버의 내측에 떨어진 식각액(2)은 별도의 드레인관(15)을 통해서 탱크(10)로 유입시킨다. 이러한 작동을 반복하는 본 발명의 식각장치는 식각액(2)을 고르게 글라스(1)에 흘려보내는 것이 중요하다. 모든 글라스(1)의 표면에 고르게 식각액(2)이 흘려보내기 위해서 고른 량을 공급해야 한다.
특히 본 발명은 종래 글라스(1)의 적재방향과 평행한 상태로 식각액(2)을 흘려보내는 식각장치가 아니다. 본 발명은 도시된 도 1에 도시된 것처럼, 글라스적재부(3)에 글라스(1)를 적재할 때 세워서 적재를 한다. 다수의 열로 적재하는 것이다. 이 적재열은 상단에 형성되는 분사체(K)의 식각액(2) 흘리는 방향에 비하여 직각이다. 종래의 대부분의 식각장치는 유리면에 평행하게 식각액(2)을 흘려보냈다. 이 방식은 식각액(2)이 유리면을 타고 용이하게 흘러내리는 장점은 있지만, 어느 일측으로 더 많은 량의 식각액(2)을 흘려보낼 수 있다는 점에서 문제가 있다. 일부분만 식각이 이루어질 수 있다는 것이다.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위해서 글라스(1)의 배열에 직각의 방향으로 식각액(2)을 뿌려준다. 도시된 도 1에서처럼 식각액(2)이 글라스(1) 배열방향과 직각의 방향으로 흘러들어가고, 혹시 식각액(2)이 묻지 않는 부분이 없도록 하기 위해서 상기 글라스(1)를 적재하는 글라스적재함(3)을 좌우방향으로 수평이송시킨다. 밀폐형 구조로 이루어진 챔버는 글라스적재함(3)을 내측에서 좌측방향과 우측방향으로 연동시키며, 식각액(2)을 흘려 글라스(1)의 표면을 식각한다. 다른 중요한 점으로는 본 발명에서 상기 식각액(2)을 흘려보낼 때, 펌프(11)의 분출력이 식각액(2)에 전혀 작용되지 않도록 식각액(2)은 항상 흘러넘치는 형태로 글라스(1)에 흘러들어가게 한다는 점이다.
그럼 이러한 본 발명의 보다 상세한 실시예들을 설명한다.
즉, 식각액(2)을 글라스(1)의 상부로 흘려보내는 본 발명의 분사체(K)는, 수직의 유입관(13)과 연통되도록 수평방향으로 배열하되, 좌우 양단에 글라스(1)의 열과 동일한 방향으로 끝단에만 수평되게 배열되는 좌우 주공급관(31)이 있고, 상기 좌우 주공급관(31)의 측면을 일정한 간격을 두고 연통한 상태로 배열되어 식각액(2)을 외측으로 넘쳐 흘려보내는 다수의 유출관유닛(40)이 있으며, 상기 각각의 유출관유닛(40)의 측면에서 식각액(2)이 흘러내리도록 하는 장형의 유출구(53)를 통해 유리의 배열방향에 직각의 방향으로 상부에서 하부로 넘치는 식각액(2)을 통해서 글라스(1)의 식각 작업을 달성한다.
도시된 도 4 내지 6에서처럼, 본 발명의 분사체(K)는 다수의 관이 결합된 형태이다. 좌우 측단에 주공급관(31)을 배열하고, 상기 주공급관(31)을 양단에서 연통시키도록 하는 유출관유닛(40)을 다수 개 결합시킨다. 조인트(45)를 통해서 결합되며, 주공급관(31)과 유출관유닛(40)은 연통된 상태를 유지한다. 그리고 상기 유출관유닛(40)을 형성하는 외부관(40)의 경우 도시된 도면에서처럼 측면을 장형으로 절단하여 유출구(53)를 형성하는데, 식각액(2)이 넘쳐서 흘러 상기 유출구(53)를 통해서 글라스(1)로 식각액(2)을 흘려보낼 수 있도록 하기 위함이다. 결국 본 발명의 분사체(K)는 도시된 도면에서처럼 탱크(10) 내측의 식각액(2)을 펌프(10)를 통해서 흡입하고, 공급관(12)을 통해서 식각액(2)을 공급 받는다. 상기 분사체(K)는 공급관(12)과 연통된 유입관(13)의 끝단에 조인트(32, 34)로 연결되어, 식각액(2)을 공급받는다. 본 발명에서 중요한 분사체(K)의 작동은 상기 펌프(11)의 펌핑력이 작용하여 어느 일측으로 더 많은 량의 식각액(2)이 흘러내리지 않도록 넘쳐서 흐르는 식각액(2)만을 흘려보낸다는 사실이다.
한편 본 발명의 유입관(13)을 통해 식각액(2)을 공급받는 유출관유닛(40)은, 유출관유닛(40)의 상부로 유출관유닛(40)과 직각의 방향으로 배열되는 중앙공급관(33)을 설치하고, 중앙공급관(33)은 조인트(34)를 통해서 상부의 유입관(13)과 연통된 상태로 하단에 배열된 각각의 유출관유닛(40)의 중심부분과 연통시켜 유출관유닛(40)의 중심부분으로도 식각액(2)을 공급할 수 있도록 한다.
즉, 본 발명의 유출관유닛(40)은 식각액(2)을 공급받아 글라스(1)의 상부로 식각액(2)을 흘려보내기 위한 구성이다. 공급관(12)과 유입관(13)으로 연통된 식각액(2)의 이동통로의 끝단에 고정되어 직접적으로 식각액(2)을 흘려주는 구성이다. 이를 용이하게 하기 위해서 본 발명의 유출관유닛(40)은 그 좌우측단과 중심부분으로도 모두 식각액(2)을 공급받을 수 있는 구조로 이루어졌다. 좌우측단으로 식각액(2)이 공급됨과 동시에 중앙으로도 식각액(2)이 공급되어 빠른 시간 내에 식각액(2)을 채울 수 있도록 하고, 상부로 흘러넘치는 식각액(2)만을 사용할 수 있도록 배려한 것이다.
그럼 이러한 본 발명의 유출관유닛(40)의 보다 구체적인 형태를 도시된 도 4 내지 6을 통해서 살펴본다. 본 발명의 유출관유닛(40)은, 원형관의 외곽부를 감싸며 흘러내린 식각액(2)을 흘려보내기 위하여 측면에 장형의 유출구(53)를 형성한 외부관(41)이 있고, 외부관(41) 내측에 내장되는 2개의 내부관(42) 좌우측단에는 주공급관(31)과 연통하되, 내부관(42) 연결부위와 상부의 중앙공급관(33)도 연통시켜 식각액(2)을 내부관(42)의 중심부분으로도 공급하도록 하는 "T"자형의 조인트(43)가 있으며, 상기 외부관(41)의 내측에 형성되는 식각액(2) 유입공간(52)에는 외부관(41)의 길이방향으로 내장하되, 최상단에 장형의 토출공(B)이 형성되고 측단의 주공급관(31)과 좌우측단에서 조인트(45) 연통되는 내부관(42)이 있다. 또한 상기 내부관(42)의 토출공(B)에서 넘쳐흐른 식각액(2)이 타고 내릴 수 있도록 외부관(41)의 하단 내주면에 사선의 방향으로 체결되는 가이드판(51)이 있다. 따라서 이들이 결합하여, 공급되는 식각액(2)이 내부관(42)의 토출공(B)으로 토출되어 흘러내려와 가이드판(51)을 타고 유입공간(52)에 적재된 후, 외부관(41)의 유출구(53)로 흘러내려 글라스(1)에 식각액(2)을 고르게 흘려보내는 것이다.
즉, 본 발명에서 제안하는 가장 바람직한 형태의 유출관유닛(40)인데, 내부관(42)과 외부관(41)으로 이루어진 2중관구조로 제안한다. 원형 단면의 내부관(42)은 외부관(41)의 내측에 수용되고, 내부관(42)의 상단 중심부분에 장형의 토출공(B)을 형성한다. 내부관(42)으로 공급된 식각액(2)이 내부관(42)에 가득 차게 되면 상부 토출공(B)으로 잔잔하게 흘러내릴 수 있도록 하기 위함이다. 이는 식각액(2)의 유체 운동성을 줄이고, 상승하여 외부로 흘러 넘치는 힘만이 작용할 수 있도록 한 것이다. 전술된 설명에서 일부 언급된 것처럼 본 발명의 유출관유닛(40)은 좌우 양단으로 식각액(2)을 공급받음과 동시에 중앙으로도 식각액(2)을 공급받아 유출관유닛(40)의 내부에 빠른 속도로 식각액(2)이 채워질 수 있도록 하고 있다. 이때 본 발명의 바람직한 실시예는 내부관(42)의 좌우 양단과 내부관(42)의 중심부분에서 식각액(2)을 공급받고, 내부관(42)의 상단 중심부분에 형성되는 토출공(B)으로 식각액(2)이 흘러내릴 수 있도록 한다.
외부관(41) 하단에는 테이퍼지게 결합된 가이드판(51)이 형성되는데, 이 가이드판(51)은 토출공(B)으로 흘러넘치는 식각액(2)이 원형 단면의 내부관(42)의 외주면을 타고 내려와 가이드판(51)을 타고 흘러 외부관(41)의 내측 식각액 유입공간(52) 내에 잔잔하게 적재되어 수위가 올라감에 따라 외부관(41)의 측방으로 형성되는 유출구(53)으로 조용히 흘러 넘칠 수 있게 하기 위함이다.
보다 상세히 본 발명의 식각액(2) 2가지 이동경로를 살펴보면, 펌프(11)의 힘에 의해서 공급관(12)을 타고 하단의 유입관(13)으로 내려오는 식각액(2)은 조인트(32)로 연결된 좌우의 주공급관(31)으로 식각액(2)을 흘려 넣는다. 물론 이와 동시에 또 다른 경로의 식각액(2)은 공급관(12)과 유입관(13)을 타고 분사체(K)의 상단에 조인트(34) 고정되는 중앙공급관(33)으로 흘러들어간다.
전자의 식각액(2)은 주공급관(31)의 내측에 채워져서 연통된 내부관(42)의 양단을 타고 흘러들어가 내부관(42)을 채우게 된다. 후자의 식각액(2)은 중앙공급관(33)의 하단으로 내려가 조인트(43)를 타고 내부관(42)의 중앙부분을 채워 사실상 내부관(42)의 내측에는 식각액(2)이 가득차게 된다. 이 후 식각액(2)은 내부관(42)의 상단 토출공(B)으로 흘러 넘쳐서 외부관(41)의 내측 유입공간(52)에 적재되는데, 토출공(B)으로 흘러내릴 때에도 내부 가이드판(51)을 타고 흘러 적재되어 잔 물결도 없는 잔잔한 적재를 달성한다. 이러한 잔잔한 적재가 완성되고 계속되는 식각액(2)의 공급으로 인하여 상기 외부관(41)의 상부로 식각액(2)이 그 수위를 올리게 되면, 외부관(41)의 측면에 형성되는 장형의 유출구(53)로 식각액(2)은 흘러넘치게 된다. 글라스(1)의 상부로 식각액(2)이 떨어지는 것이다. 이 식각액(2)은 아주 잔잔한 상태로 동일한 량씩 장형의 유출구(53)으로 전체적으로 떨어지기에 식각의 효과가 높다.
한편 본 발명은 상기 외부관(41)에 형성되는 장형의 유출구(53)의 하단 내주면으로, 사선의 방향으로 흘러내리도록 테이퍼지게 돌출되는 슬라브판(47)을 형성한 것이 바람직하다. 즉, 외부관(41)에 형성되는 장형의 유출구(53)에서 흘러내리는 식각액(2)이 테이퍼지게 연결된 슬라브판(47)을 타고 흐르다가 하단의 글라스(1) 상부로 떨어질 수 있도록 슬라브판(47)을 댄 것이다. 잔잔하게 넘쳐서 흐르는 식각액(2)은 유출구(53)을 지나 슬라브판(47)으로 흘러 약간 테이퍼진 형태로 글라스(1)의 상부로 떨어지는 것이다. 이 작용에 따라서 보다 고른 식각의 효과를 달성할 수 있다.
한편 외부관(41)의 유출구(53) 내주면과 슬라브판(47)으로 이루어진 유출구(53) 도입부는 파형의홈(48)을 형성하여 식각액(2)이 고르게 흐를 수 있도록 하고, 최하단의 슬라브판(47) 끝단에는 단면의 형상이 굴곡(49)이 형성되도록 하여 흘러내린 고른 식각액(2)이 고르게 떨어질 수 있도록 한다. 즉, 도시된 도 5의 부분 확대도에서처럼, 슬라브판(47)과 유출구(53)의 면접부분에 파형의홈(48)을 형성하는데 있다. 파형의홈(48)은 식각액(2)이 파형의 라인을 타고 졸졸 흘러내릴 수 있도록 하는 효과를 갖는다. 수평의 면은 식각액(2)이 흐를 때 어느 일부분으로 더 많이 흘러내리고, 또는 적게 흘러내리는 현상이 발생될 소지가 있어서, 이를 차단하고자 파형의홈(48)을 형성한 것이다. 그리고 슬라부판(47)의 끝단에 굴곡을 형성시킨 것도 슬라브판(47)으로 흘러내리는 식각액(2)이 일측으로 몰리는 현상을 차단하고자 한 것이다.
이와 동일 내지 유사한 기능을 부여하기 위해서 본 발명에서는 상기 내부관(42)의 최상단 토출공(B)은, 고르게 흘러 넘치도록 파형의 물결단면(46)을 갖도록 한다. 도 5와 6에서처럼, 내부관(42)의 토출공(B)은 식각액(2)이 흘러 넘치기 위한 구멍이다. 이 구멍도 흘러넘칠 때, 일측이 먼저 터지게 되면 계속해서 그 부분이 더 많이 흘러 넘치는 현상을 차단하고자 수평면으로 형성하지 않고 약간의 파형을 가진 물결단면(46)을 형성한 것이다.
또한 본 발명에서는 상기 도시된 도 7에서처럼, 분사체(K)가 기체의 상면에 고정되어 메달린 형태로 장착된다. 어느 정도의 유동을 허용하기 위해서 분사체(K)는 견고히 결합되는 형태가 아니고 메달려 결합되는 형태이다. 이는 분사체(K)의 수평방향의 연동을 허용하게 되는데, 만일 분사체(K)와 연통되는 유입관(13)이 연동을 허용하지 않게 되면 파손의 우려가 있다. 결국 본 발명은 유출관유닛(40)과 연통되는 유입관(13)은 연동과 길이조절이 가능한 주름관으로 설치한다.
주름관의 경우 어느 정도의 유동을 허용하면서 유체의 흐름에 방해를 가하지 않고, 연통이 용이하여 조립이나 기체의 유지 보수가 용이하다. 본 발명은 이를 위해서 유입관(13)을 주름관으로 사용하였다.
마지막으로 본 발명의 상기 좌우연동수단(A)은, 챔버의 내측에 글라스(1)를 적재하는 글라스적재부(A)의 하단에 다수개로 설치되는 회전롤(72)이 있고, 회전롤(72)의 측단에 2개씩 고정되는 각각의 쌍의 스프로켓(73)이 있다. 따라서 모터(70)의 회전을 통해서 일측단의 회전롤(72)을 회전시키기 위해서 모터(70)의 스프로켓과 제1 스프로켓(73)에 걸어주는 주동체인(71)을 두고, 좌우 근접한 회전롤(72)의 측단에 형성되는 2개의 스프로켓(72)을 서로 겹치게 걸어 모터(70)의 회전이 회전롤(72)의 일방향 회전을 가져오고, 모터(70)의 역방향 회전이 회전롤(72)의 타방향 회전을 가져와 글라스적재부(A)가 좌우방향으로 연동할 수 있도록 한다.
본 발명의 식각장치는 글라스(1)의 적재방향에 비하여 직각의 방향으로 식각액(2)을 흘러 내려 글라스(1) 표면을 식각하는 기계이다. 분사체(K)의 크기와 글라스적재부(3)의 크기에 따라 간혹 글라스(1)에 식각액(2)이 흘러내리지 않는 부위가 생길 우려가 있다. 이러한 문제점을 해결하기 위해서 본 발명은 상기 글라스적재부(3)를 일정한 정도 수평방향으로 좌우연동시킨다. 보다 완전한 식각액(2)의 고른 투입을 가능하게 하기 위함이다. 본 발명의 도시된 도 8에는 이러한 본 발명의 좌우연동수단(A)이 명확하게 도시되어 있는데, 글라스적재부(3)의 하단에 다수의 롤이 동일한 방향으로 배열된다. 상기 회전롤(72)의 측단에는 각각 2개씩의 스프로켓(73)이 고정되어 체인(74)으로 연결되어 있다. 상세히 살펴보면, 모터(70)의 축단에도 스프로켓(미도시)이 체결되어 주동체인(71)을 통해서 첫 단의 회전롤 스프로켓(73)과 연결된다. 처음의 스프로켓(73)은 모터(70)의 회전을 통해서 스프로켓(73)과 체인(74)을 통해서 운동이 전달되어 처음의 회전롤(12)을 회전시킨다.
이때 상기 회전롤(72)에는 각각 쌍의 스프로켓(73)이 고정된 상태이고, 상기 처음의 회전롤(72)에서 주동체인(71)이 감기지 않은 나머지 스프로켓(73)에도 별도의 체인(74)이 감겨 두 번째 회전롤(72)의 스프로켓(73)과 감긴다. 또한 두 번째 회전롤(72)에서 체인(74)이 감기지 않았던 스프로켓(73)도 체인(74)이 감겨 다음의 세 번째 회전롤(72)의 스프로켓(73)이 감긴다. 이렇게 일련의 회전롤(72)에는 전술된 방식으로 연속되어 체인(74)이 감겨 모터(70)의 회전운동에 따라서 모두 동일한 방향으로 회전을 달성할 수 있다.
결국 모터(70)가 일 방향 회전을 하면 모든 회전롤(72)이 같은 방향으로 회전을 하여 글라스적재부(3)를 동일방향으로 이동시키고, 다시 모터(70)가 역방향으로 회전을 하면 모든 회전롤(72)이 역방향으로 회전을 하여 글라스적재부(3)를 타측 방향으로 이동시킨다. 수평으로 좌우 방향으로 연동을 하는 것이다. 이 작동은 모든 글라스(1)에 전면적으로 식각액(2)을 흘려 보낼 수 있는 여건을 마련한다.
1; 글라스 2; 식각액
3; 글라스적재부 12; 공급관
13; 유입관 31; 주공급관
33; 중앙공급관 34; 조인트
40; 유출관유닛 41; 외부관
42; 내부관 51; 가이드판
53; 유출구 72; 회전롤
73; 스프로켓

Claims (9)

  1. 챔버의 내측에 다층 다열로 적재되도록 설치되는 글라스적재부(3)가 있는 챔버;
    상기 챔버의 상부로 배열된 식각액 공급관(12)에서 하단으로 내려서도록 조인트 연결된 식각액 유입관(13);
    상기 유입관(13)의 끝단에 고정되어 하단의 적재된 글라스(1)의 상부로 고르게 넘쳐 흐르는 식각액(2)을 흘려보내기 위한 분사체(K); 및
    챔버 내측의 적재된 글라스(1)를 수평방향으로 좌우 연동시키는 좌우연동수단(A);을 포함하여 구성되어, 적재된 글라스(1)의 적재열에 비하여 수직된 방향으로 넘쳐 흐르는 식각액(2)을 흘려보내고, 좌우연동수단(A)이 좌우 방향으로 연동을 하여 보다 고른 식각액(2)의 공급을 가능하도록 한 것을 특징으로 하는 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 분사체(K)는, 수직의 유입관(13)과 연통되도록 수평방향으로 배열하되, 좌우 양단에 글라스(1)의 열과 동일한 방향으로 끝단에만 수평되게 배열되는 좌우 주공급관(31);
    상기 좌우 주공급관(31)의 측면을 일정한 간격을 두고 연통한 상태로 배열되어 식각액(2)을 외측으로 넘쳐 흘려보내는 다수의 유출관유닛(40);
    상기 각각의 유출관유닛(40)의 측면에서 식각액(2)이 흘러내리도록 하는 장형의 유출구(53);를 통해 유리의 배열방향에 직각의 방향으로 상부에서 하부로 넘치는 식각액(2)을 통해서 글라스(1)의 식각 작업을 달성하는 것을 특징으로 하는 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 유출관유닛(40)의 상부로 유출관유닛(40)과 직각의 방향으로 배열되는 중앙공급관(33)을 설치하고, 중앙공급관(33)은 조인트(34)를 통해서 상부의 유입관(13)과 연통된 상태로 하단에 배열된 각각의 유출관유닛(40)의 중심부분과 연통시켜 유출관유닛(40)의 중심부분으로도 식각액(2)을 공급할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 유출관유닛(40)은,
    원형관의 외곽부를 감싸며 흘러내린 식각액(2)을 흘려보내기 위하여 측면에 장형의 유출구(53)를 형성한 외부관(41);
    외부관(41) 내측에 내장되는 2개의 내부관(42) 좌우측단에는 주공급관(31)과 연통하되, 내부관(42) 연결부위와 상부의 중앙공급관(33)도 연통시켜 식각액(2)을 내부관(42)의 중심부분으로도 공급하도록 하는 "T"자형의 조인트(43);
    상기 외부관(41)의 내측에 형성되는 식각액(2) 유입공간(52)에는 외부관(41)의 길이방향으로 내장하되, 최상단에 장형의 토출공(B)이 형성되고 측단의 주공급관(31)과 좌우측단에서 조인트(45) 연통되는 내부관(42);
    상기 내부관(42)의 토출공(B)에서 넘쳐흐른 식각액(2)이 타고 내릴 수 있도록 외부관(41)의 하단 내주면에 사선의 방향으로 체결되는 가이드판(51);으로 이루어져 공급되는 식각액(2)이 내부관(42)의 토출공(B)으로 토출되어 흘러내려와 가이드판(51)을 타고 유입공간(52)에 적재된 후, 외부관(41)의 유출구(53)로 흘러내려 글라스(1)에 식각액(2)을 고르게 흘려보내는 것을 특징으로 하는 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 외부관(41)에 형성되는 장형의 유출구(53)의 하단 내주면으로, 사선의 방향으로 흘러내리도록 테이퍼지게 돌출되는 슬라브판(47)을 형성한 것을 특징으로 하는 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 외부관(41)의 유출구(53) 내주면과 슬라브판(47)으로 이루어진 유출구(53) 도입부는 파형의홈(48)을 형성하여 식각액(2)이 고르게 흐를 수 있도록 하고, 최하단의 슬라브판(47) 끝단에는 단면의 형상이 굴곡(49)이 형성되도록 하여 흘러내린 고른 식각액(2)이 고르게 떨어질 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 내부관(42)의 최상단 토출공(B)은, 고르게 흘러 넘치도록 파형의 물결단면(46)을 갖도록 한 것을 특징으로 하는 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 유출관유닛(40)과 연통되는 유입관(13)은 연동과 길이조절이 가능한 주름관으로 설치되는 것을 특징으로 하는 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 좌우연동수단(A)은,
    챔버의 내측에 글라스(1)를 적재하는 글라스적재부(A)의 하단에 다수개로 설치되는 회전롤(72);
    상기 회전롤(72)의 측단에 2개씩 고정되는 각각의 쌍의 스프로켓(73);을 형성하되, 모터(70)의 회전을 통해서 일측단의 회전롤(72)을 회전시키기 위해서 모터(70)의 스프로켓과 제1 스프로켓(73)에 걸어주는 주동체인(71)을 두고, 좌우 근접한 회전롤(72)의 측단에 형성되는 2개의 스프로켓(72)을 서로 겹치게 걸어 모터(70)의 회전이 회전롤(72)의 일방향 회전을 가져오고, 모터(70)의 역방향 회전이 회전롤(72)의 타방향 회전을 가져와 글라스적재부(A)가 좌우방향으로 연동할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈.
KR1020120111176A 2012-10-08 2012-10-08 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈 KR101211394B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120111176A KR101211394B1 (ko) 2012-10-08 2012-10-08 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120111176A KR101211394B1 (ko) 2012-10-08 2012-10-08 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101211394B1 true KR101211394B1 (ko) 2012-12-11

Family

ID=47907480

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120111176A KR101211394B1 (ko) 2012-10-08 2012-10-08 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101211394B1 (ko)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001205158A (ja) 2000-01-28 2001-07-31 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板浸漬処理装置
JP2003151898A (ja) 2001-09-03 2003-05-23 Tokyo Electron Ltd 液処理方法及び液処理装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001205158A (ja) 2000-01-28 2001-07-31 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板浸漬処理装置
JP2003151898A (ja) 2001-09-03 2003-05-23 Tokyo Electron Ltd 液処理方法及び液処理装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101284597B (zh) 一种理瓶方法及利用该理瓶方法的理瓶机
CN104884394A (zh) 散气装置和其运行方法及水处理装置
CN205623597U (zh) 一种园林绿化用滴灌管
US20180010326A1 (en) Sewage System Agitator
CN202034130U (zh) 油膏雾化装置
KR101211394B1 (ko) 유리 식각장치에서의 식각액 공급 모듈
KR101477284B1 (ko) 폐수열 회수기
RU2018104062A (ru) Устройство и способ для очистки текучей среды посредством фильтрующего слоя
JP5226134B1 (ja) 氷菓モールド冷却装置
JP2017502831A (ja) 沈殿池用スラッジ排出装置
CN112403247B (zh) 废气处理装置
CN210915483U (zh) 一种河道治理移动式加药装置
KR101187824B1 (ko) 분사장치
CN210642176U (zh) 一种油炸食品生产线
CN108781606B (zh) 一种一体化种子包衣机
CN106852293A (zh) 温度可控的幼鱼养殖池
KR101085429B1 (ko) 노즐유닛의 교체가 용이한 식각 장치
KR101904027B1 (ko) 기판 처리 장치
US20170268215A1 (en) Sewage System Agitator
CN206143335U (zh) 一种水刀及喷洒装置
KR101867682B1 (ko) 냉각장치
KR101661502B1 (ko) 약액 혼합용 매니폴드 및 이를 포함하는 실시간 혼합 약액 공급 장치
CN205492164U (zh) 一种鱼缸顶部滴流过滤器
CN217121087U (zh) 一种洗瓶机注水装置
CN205310641U (zh) 一种避孕套生产用消泡装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151012

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161202

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180103

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181203

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191203

Year of fee payment: 8