KR101203416B1 - 차압 센서용 센터 다이어프램의 장력 조절 장치 및 이를 이용한 차압 센서의 제조방법 - Google Patents

차압 센서용 센터 다이어프램의 장력 조절 장치 및 이를 이용한 차압 센서의 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101203416B1
KR101203416B1 KR1020110090978A KR20110090978A KR101203416B1 KR 101203416 B1 KR101203416 B1 KR 101203416B1 KR 1020110090978 A KR1020110090978 A KR 1020110090978A KR 20110090978 A KR20110090978 A KR 20110090978A KR 101203416 B1 KR101203416 B1 KR 101203416B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
center diaphragm
fixing jig
sensor
differential pressure
center
Prior art date
Application number
KR1020110090978A
Other languages
English (en)
Inventor
김종진
Original Assignee
두온 시스템 (주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 두온 시스템 (주) filed Critical 두온 시스템 (주)
Priority to KR1020110090978A priority Critical patent/KR101203416B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101203416B1 publication Critical patent/KR101203416B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L7/00—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
    • G01L7/02—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges
    • G01L7/08—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

본 발명은 센터 다이어프램의 테두리 일면을 지지하는 제1고정지그와, 상기 센터 다이어프램의 테두리 타면을 지지하며 상기 센터 다이어프램이 고정될 수 있도록 상기 제1고정지그와 체결되는 제2고정지그와, 상기 제2고정지그에 상기 제1고정지그를 향하여 이동 가능하게 설치되며, 상기 센터 다이어프램 테두리의 내측 부분을 가압하여 상기 센터 다이어프램의 장력을 조절하는 가압 이동체를 포함하는 차압 센서용 센터 다이어프램의 장력 조절 장치 및 이를 이용한 차압 센서의 제조방법에 관한 것으로서, 센터 다이어프램의 장력을 편리하게 조절할 수 있는 새로운 구조의 장력 조절 장치를 제공한다.

Description

차압 센서용 센터 다이어프램의 장력 조절 장치 및 이를 이용한 차압 센서의 제조방법{TENSION CONTROLLING DEVICE OF CENTER DIAPRAGM AND MANUFACTURING METHOD OF DIFFERENTIAL PRESSURE SENSOR USING THE SAME}
본 발명은 차압 센서의 제조공정에서 센터 다이어프램에 장력을 인가함과 아울러 장력을 조절하기 위한 장력 조절 장치 및 이를 이용한 차압 센서의 제조방법에 관한 것이다.
차압센서는 2개의 관로를 통해 양단간의 압력편차를 검출하는 센서를 말한다. 차압센서는 다이어프램식, 정전용량식, 압전방식, 및 전기저항식 등 다양한 형태를 갖는다.
이들 중 다이어프램식 차압센서는 양단에 격리 다이어프램이 설치된 센서 바디와, 센서 바디 내부의 전극과 이격되게 배치되는 센터 다이어프램을 포함하는 구조, 센서 바디의 내부에 설치된 오일 이송관을 포함하는 구조를 갖는다. 측정 대상 압력이 격리 다이어프램으로 작용하면 오일이 오일 이송관을 통해 이송되어 그 압력이 센터 다이어프램 측으로 작용하게 된다. 그에 따라 센서 바디 양단의 차압에 의해 센터 다이어프램의 이동이 발생하며, 센터 다이어프램과 전극과의 거리변화에 의해 정전 용량의 변화가 발생한다. 이러한 정전용량의 변화를 압력 신호를 변환하여 차압을 측정하게 된다.
센터 다이어프램은 한 쌍의 센서 바디에 사이에 삽입되어 설치된다. 센터 다이어프램의 설치시 센터 다이어프램에 장력을 인가하여 팽팽하게 만든 후 센터 다이어프램의 양측에 센서 바디를 설치하게 된다. 이 과정에서 센터 다이어프램에 인가되는 장력은 차압 센서의 성능에 지대한 영향을 미치는 바, 센터 다이어프램의 장력을 적정한 크기로 조절하는 것이 매우 중요하다.
본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로서, 센터 다이어프램의 장력을 편리하게 조절할 수 있는 장력 조절 장치 및 이를 이용한 차압 센서의 제조방법을 제공하기 위한 것이다.
상기한 과제를 실현하기 위해 본 발명은 센터 다이어프램의 테두리 일면을 지지하는 제1고정지그와, 상기 센터 다이어프램의 테두리 타면을 지지하며 상기 센터 다이어프램이 고정될 수 있도록 상기 제1고정지그와 체결되는 제2고정지그와, 상기 제2고정지그에 상기 제1고정지그를 향하여 이동 가능하게 설치되며, 상기 센터 다이어프램 테두리의 내측 부분을 가압하여 상기 센터 다이어프램의 장력을 조절하는 가압 이동체를 포함하는 차압 센서용 센터 다이어프램의 장력 조절 장치를 개시한다.
상기 가압 이동체는 상기 제2고정지그의 내벽에 나사 체결되는 나사 체결부와, 상기 나사 체결부로부터 돌출 형성되며 상기 센터 다이어프램을 가압하는 가압부를 포함할 수 있다.
상기 제1 및 제2고정지그와 가압 이동체는 센서 바디의 설치 공간을 제공하는 관통공을 구비할 수 있다. 여기서, 상기 가압 이동체의 관통공은 상기 센서 바디의 직경보다 큰 직경을 가질 수 있다.
한편 본 발명은 상기 제1 및 제2고정지그의 사이에 상기 센터 다이어프램을 두고 상기 제1 및 제2고정지그를 체결하여 상기 센터 다이어프램을 고정시키는 단계와, 상기 가압 이동체를 이동시켜 상기 센터 다이어프램을 가압하여 가압량에 따라 상기 센터 다이어프램의 장력을 조절하는 단계와, 상기 센터 다이어프램이 상기 장력 조절 장치에 설치된 상태에서 상기 센터 다이어프램의 양측에 한 쌍의 센서 바디를 설치하는 단계를 포함하는 차압 센서의 제조방법을 개시한다.
상기 센서 바디의 설치 단계는 한 쌍의 센서 바디를 상기 센터 다이어프램의 양면에 배치하고, 상기 센서 바디를 상기 센터 다이어프램을 향하여 가압하는 단계와, 상기 센서 바디의 가압 상태에서 상기 센서 바디의 외주면을 따라 상기 센터 다이어프램을 절단하는 단계와, 상기 장력 조절 장치를 수평 이동시킨 후 상기 센서 바디와 센터 다이어프램을 접합하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 센서 바디에는 취성 물질이 융착되는 요홈부가 형성되며, 상기 취성 물질의 표면에는 상기 센터 다이어프램과의 간극을 형성하는 전극이 형성될 수 있다.
상기 취성 물질의 융착 전에는 상기 요홈부의 표면에 요철을 형성시키는 단계가 추가로 수행될 수 있으며, 상기 요철 형성 단계는 샌드 블라스트에 의해 수행 가능하다.
상기와 같은 구성의 본 발명에 의하면, 제1 및 제2고정지그에 센터 다이어프램을 고정시킨 후 가압 이동체의 이동에 의해 센터 다이어프램에 장력을 인가할 수 있으며 가압 이동체의 이동량에 따라 장력을 조절할 수 있는바, 본 발명의 장력 조절 장치를 이용하면 센터 다이어프램의 장력 인가 및 장력 조절을 편리하게 수행할 수 있다.
또한, 본 발명의 센터 다이어프램의 장력 인가 상태에서 센터 다이어프램의 절단 및 센서 바디의 접합 공정을 수행할 수 있는 장력 조절 장치 구조를 제공한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 차압 센서의 단면도.
도 2는 센서 바디의 요홈부 가공 공정을 나타내는 도면.
도 3a 및 3b는 오일 이송관 설치 및 취성 물질의 융착 공정을 나타내는 도면.
도 4는 센서 바디의 그루브 가공 공정을 나타내는 도면.
도 5 및 6은 취성 물질의 평면 가공 및 곡면 가공을 나타내는 도면.
도 7은 전극 증착 공정을 나타내는 도면.
도 8은 센서 바디 및 센터 다이어프램의 접합 공정을 나타내는 도면.
도 9는 어댑터 및 격리 다이어프램의 접합 공정을 나타내는 도면.
도 10은 어댑터 및 센서 바디의 접합 공정을 나타내는 도면.
도 11은 오일 주입 공정을 나타내는 도면.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 센터 다이어프램 장력 조절 장치의 사시도.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 센터 다이어프램 장력 조절 장치의 단면도.
도 14 내지 16은 센터 다이어프램 장력 조절 장치를 이용한 센터 다이어프램의 장력 조절 및 센터 바디의 조립 공정을 나타낸 도면들.
이하, 본 발명과 관련된 차압 센서용 센터 다이어프램의 장력 조절 장치 및 이를 이용한 차압 센서의 제조방법에 대하여 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.
도 1을 참조하면, 차압 센서는 센서 바디(111,112), 센터 다이어프램(120), 전극(131,132), 오일 이송관(141,142), 어댑터(151,152), 격리 다이어프램(161,162)을 포함한다.
한 쌍의 센서 바디(111,112)는 센터 다이어프램(120)을 사이에 두고 서로 접합된다. 각 센서 바디(111,112)의 일측에는 일정 공간의 요홈부(113,114)가 형성되며, 요홈부(113,114)에는 취성 물질(예를 들어, 유리)이 충전된다. 각 센서 바디(111,112)의 타측에는 그루브(115,116)가 형성되며, 이는 오일이 배치되는 공간을 제공을 제공한다.
센터 다이어프램(120)은 변형 가능한 재질로서 각 센서 바디(111,112)의 취성 물질(181,182) 사이에 위치한다. 센터 다이어프램(120) 및 격리 다이어프램(161,162)은 금속 박막의 형태를 가질 수 있다. 센터 다이어프램(120)과 취성 물질(181,182) 사이에는 일정 공간이 형성되며, 이를 위하여 취성 물질(181,182)의 표면은 오목한 형태로 형성된다.
전극(131,132)은 취성 물질(181,182)의 표면에 형성되며, 이는 도전성 물질이 취성 물질(181,182)의 표면에 증착되어 형성될 수 있다. 전극(131,132)에는 전선(171,172)이 연결되며, 전선(171,172)은 취성 물질(181,182)을 관통하여 센서 바디(111,112)의 외부로 노출된다. 전선(171,172)은 전기 신호를 압력 신호로 변환하기 위한 전자 회로와 연결된다.
오일 이송관(141,142)은 센서 바디(111,112)와 취성 물질(181,182)의 내부에 배치되며, 그루브(115,116)의 외측 공간과 취성 물질(181,182)의 외측 공간을 연통시키는 기능을 한다. 오일 이송관(141,142)은 복수의 모세관(143,144)을 갖는 형태로 형성될 수 있으며, 세라믹 재질로 형성 가능하다.
어댑터(151,152)는 센서 바디(111,112)의 외측에 접합되며, 센서 바디(111,112)를 관로와 연결하는 매개체로서의 기능을 한다.
격리 다이어프램(161,162)은 각 센서 바디(111,112)와 어댑터(151,152)의 사이에 게재되며, 차압 센서 양단의 압력에 의해 변형되도록 구성된다.
오일은 격리 다이어프램(161,162)과 센서 바디(111,112)의 사이 공간과, 오일 이송관(141,142)의 내부와, 센서 바디(111,112)와 센터 다이어프램(120)의 사이 공간에 충전되어 있다.
격리 다이어프램(161,162)에 관로의 압력이 전달되면, 격리 다이어프램(161,162)에 변형이 일어나게 되며, 이러한 압력은 오일을 통해 센터 다이어프램(120)으로 작용하게 된다. 격리 다이어프램(161,162) 양측의 차압에 의해 센터 다이어프램(120)의 이동이 발생하게 되며, 이는 센터 다이어프램(120)과 양 전극 사이의 거리에 변화를 발생시킨다. 이러한 거리 변화에 따라 정전 용량에 변화가 발생하며, 이러한 전기 신호를 압력 신호로 변환하여 차압을 측정하게 된다.
이하, 상기와 같은 구성의 차압 센서를 제조하는 방법에 대해 살펴 보기로 한다. 도 2 내지 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 차압 센서의 제조방법을 순차적으로 나타낸 도면들이다.
먼저, 도 2와 같이 센서 바디(111,112)에 요홈부(113,114)를 형성시킨다. 요홈부(113,114)는 원추 형상을 갖도록 형성될 수 있으며, 이는 금속봉을 가공하여 형성 가능하다. 아울러, 오일 이송관(141,142) 및 전선(171,172)이 설치될 수 있도록 관통홀(117.118)을 가공한다.
요홈부(113,114)의 표면에는 취성 물질(181,182)과 요홈부(113,114)와의 부착 면적을 증가시킬 수 있도록 요철(113a,114a)을 형성시킨다. 이는 고압의 공기로 모래를 분사하는 샌드 블라스트(sand blast)에 의해 수행될 수 있다. 이와 같이 요홈부(113,114)에 요철을 형성함으로써 취성 물질(181,182)과 요홈부(113,114) 사이의 부착력을 증대시킬 수 있다.
다음으로, 도 3a와 같이 오일 이송관(141,142) 및 전선(171,172)을 설치한다. 여기서, 전선(171,172)을 고정부재(119)에 고정시킨 후 고정부재(119)를 센서 바디(111,112)의 홀에 고정시킬 수 있다. 그리고, 도 3b와 같이 요홈부(113,114) 내에 취성 물질(181,182)을 융착시킨다. 취성 물질(181,182)의 융착은 요홈부(113,114)에 유리 분말을 충전한 후 열을 가함으로써 이루어질 수 있다. 이 때 전선(171,172)은 취성 물질(181,182)의 외부로 노출되도록 한다.
전선(171,172)은 오일 주입관의 기능을 동시에 수행하도록 파이프(관) 형상을 가질 수 있다. 전선(171,172)에는 와이어(173)가 삽입되며, 이는 다른 공정의 수행시 오일 주입 유로가 막히는 것을 방지하는 기능을 한다. 추후 오일 주입시 와이어를 제거하고 전선(171,172)을 통해 오일을 주입하게 된다.
다음으로, 도 4와 같이 센서 바디(111,112)의 표면에 그루브(115,116)를 가공한다. 그루부(115,116)는 센서 바디(111,112)의 표면으로부터 일정 깊이만큼 함몰되게 형성되어 오일의 배치공간을 제공한다.
다음으로, 도 5와 같이 취성 물질(181,182)의 표면을 평면 가공한 후, 도 6과 같이 취성 물질(181,182)의 표면에 곡면 가공을 수행한다. 곡면 가공을 통해 취성 물질(181,182)의 표면이 오목한 형태를 가지게 되며, 이러한 형상은 전극(131,132)과 센터 다이어프램(120)과의 간극을 형성한다. 곡면 가공 후 취성 물질(181,182) 표면의 불순물 제거를 위한 세척 및 건조 공정이 수행될 수 있다.
다음으로, 도 7과 같이 취성 물질(181,182)의 표면에 전극(131,132)을 형성시킨다. 전극(131,132) 형성 공정은 도전성 물질(예를 들어, Cr)의 진공 증착에 의해 수행된다. 여기서, 전선(171,172)은 전극(131,132)에 연결되게 됨과 아울러 전선(171,172)의 내부 공간이 취성 물질(181,182)의 외측 공간과 연통되게 된다.
다음으로, 도 8과 같이 각 센서 바디(111,112)의 사이에 센터 다이어프램(120)을 두고 이들을 접합시킨다.
센터 다이어프램(120)의 접합 전에 장력 조절 장치를 이용하여 센터 다이어프램(120)의 장력을 조절한다. 장력 조절 장치의 구성 및 이를 이용한 센터 다이어프램(120)의 장력 조절 방법에 대해서는 추후 상세히 설명하기로 한다.
장력 조절을 마친 후 센터 다이어프램(120)을 각 센서 바디(111,112)의 사이에 두고 이들을 가압한 상태에서 센서 바디(111,112)와 센터 다이어프램(120)의 외주를 레이저 용접하면 접합이 이루어지게 된다.
센서 바디(111,112) 및 센터 다이어프램(120)의 접합 후 전선(171,172)을 통해 전극(131,132)간의 정전용량을 측정하여 기준 정전용량과 비교한다.
다음으로, 도 9와 같이 어댑터(151,152)와 격리 다이어프램(161,162)을 접합한다. 본 실시예에서는 SEAM 용접에 의해 이들을 접합하였다. 그리고, 도 10과 같이 격리 다이어프램(161,162)이 각각 부착된 한 쌍의 어댑터(151,152)를 센서 바디(111,112)의 외측에 접합시킨다. 이는 레이저 용접에 의해 수행될 수 있다.
다음으로, 접합 부분(용접 부분)의 누설 테스트를 거친 후, 도 11과 같이 오일 주입 공정을 수행하게 된다. 진공 챔버(C) 내에서 파이프 형태의 전선(171,172)에 오일을 주입하면, 오일은 오일 이송관(141,142)을 통해 격리 다이어프램(161,162)의 위치까지 충전되게 되는 것이다. 오일 주입의 완료 후 오일의 정량을 측정한 후 전선(171,172)을 밀봉한다. 그리고, 접합 부분의 오일 누설 테스트 및 센서 기능 테스트를 거치면 차압 센서의 제조 과정이 완료되게 된다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 센터 다이어프램 장력 조절 장치의 사시도이고, 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 센터 다이어프램 장력 조절 장치의 단면도이다.
도 12 및 13을 참조하면, 센터 다이어프램 장력 조절 장치는 제1고정지그(210), 제2고정지그(220), 및 가압 이동체(230)를 포함한다.
제1고정지그(210)는 센터 다이어프램(120)의 테두리 일면을 지지하는 구성을 갖는다. 제1고정지그(210)는 한 쪽 센서 바디(112)의 설치 공간을 제공하는 관통공(215)을 구비하며, 관통공(215)의 외측으로 센터 다이어프램(120)을 지지하는 지지면을 갖는다.
제2고정지그(220)는 센터 다이어프램(120)의 테두리 타면을 지지하는 구성을 갖는다. 즉, 제1 및 제2고정지그(210,220)는 센터 다이어프램(120)의 양면을 지지하여 그 사이에 센터 다이어프램(120)이 고정되도록 한다. 제2고정지그(220)는 다른 쪽 센서 바디(111)의 설치 공간 및 가압 이동체(230)의 이동 공간을 제공하는 관통공(225)을 구비하는 구조로서, 제1고정지그(210)와 동일한 형상을 가질 수 있다.
제1 및 제2고정지그(210,220)는 센터 다이어프램(120)이 견고히 고정되도록 서로 체결되는 구조를 이룬다. 제1 및 제2고정지그(210,220)에는 볼트 체결을 위한 나사 체결홀(217,227)이 형성된다. 센터 다이어프램(120)을 제1 및 제2고정지그(210,220)의 사이에 두고 볼트로 제1 및 제2고정지그(210,220)를 체결하여 센터 다이어프램(120)을 고정한다.
가압 이동체(230)는 제2고정지그(220)에 제1고정지그(210)를 향하여 이동 가능하게 설치되며, 이동에 의해 센터 다이어프램(120) 테두리의 내측 부분을 가압하는 기능을 한다. 가압 이동체(230)의 이동량(가압량)에 따라 센터 다이어프램(120)에 인가하는 장력의 크기를 조절할 수 있다.
가압 이동체(230)는 나사 체결 방식에 의해 제2고정지그(220)에 체결될 수 있으며, 이러한 경우 회전 동작에 의해 전진하거나 후퇴하게 된다. 제2고정지그(220)에 내벽에는 암나사산(223)이 형성되며, 가압 이동체(230)에는 이와 체결되는 수나사산(233)이 형성된다.
가압 이동체(230)는 제2고정지그(220)에 나사 체결되는 나사 체결부(231)와, 나사 체결부(231)로부터 돌출 형성되는 가압부(232)를 포함할 수 있다.
나사 체결부(231)는 도넛 형태의 구조로서 그 외주면에 수나사산(233)이 형성된 구조를 가질 수 있으며, 가압부(232)는 나사 체결부(231)의 단부에서 연장되어 센터 다이어프램(120)을 가압하는 구조를 갖는다. 가압부(232)는 그 가압면의 형태가 원형 링 형태를 갖도록 형성 가능하다.
가압 이동체(230)의 중앙에는 센서 바디(111)의 설치 공간을 제공하는 관통공(235)이 구비된다. 가압 이동체(230)의 관통공(235)은 나사 체결부(231)와 가압부(232)를 모두 관통하도록 형성되며, 센서 바디(111,112)의 직경보다 큰 직경을 갖는다.
가압 이동체(230)의 외면에는 공구와 결합되는 커플링이 연결되는 연결홀(237)이 복수로 형성될 수 있다. 커플링은 복수의 연결 돌기가 형성된 플레이트 형태로 형성될 수 있으며, 연결 돌기가 연결홀(237)에 삽입되어 커플링이 가압 이동체(230)에 연결된다. 커플링에 공구를 결합시켜 공구를 조작함으로써 가압 이동체(230)를 편리하게 회전시킬 수 있도록 한다.
도 14 내지 16은 센터 다이어프램 장력 조절 장치를 이용한 센터 다이어프램의 장력 조절 공정 및 센터 바디의 조립 공정을 나타낸 도면들이다.
도 13에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2고정지그(210,220)의 사이에 센터 다이어프램(120)을 두고 제1 및 제2고정지그(210,220)를 체결하여 센터 다이어프램(120)을 고정시킨다.
다음으로, 도 14와 같이 가압 이동체(230)를 전진 이동시켜 가압 이동체(230)가 센터 다이어프램(120)을 가압하도록 한다. 가압 이동체(230)의 이동에 따라 센터 다이어프램(120)이 변형되면서 센터 다이어프램(120)에 장력이 인가되며, 가압 이동체(230)의 가압량(이동량)에 따라 센터 다이어프램(120)의 장력을 조절할 수 있다.
다음으로, 센터 다이어프램(120)이 장력 조절 장치에 설치된 상태에서 센터 다이어프램(120)의 양측에 한 쌍의 센서 바디(111,112)를 접합 설치한다.
이에 대하여 상세히 설명하면, 도 15와 같이 센터 다이어프램(120)의 양면에 한 쌍의 센서 바디(111,112)를 배치한다. 이 때 센서 바디(111,112)는 제1고정지그(210)의 관통공(215)과 가압 이동체(230)의 관통공(235)을 통해 센터 다이어프램(120)까지 이동될 수 있다. 이 상태에서 각 센서 바디(111,112)를 센터 다이어프램(120)을 항하여 가압한다. 센서 바디(111,112)의 가압은 유압 실린더 장치에 의해 수행될 수 있다.
센서 바디(111,112)의 가압 상태에서 센서 바디(111,112)의 외주면을 따라 센터 다이어프램(120)을 절단한다. 절단 공구는 제1고정지그(210)의 관통공(215) 또는 가압 이동체(230)의 관통공(235)을 통해 절단 위치까지 삽입되며, 센서 바디(111,112)의 외주면을 따라 이동하여 절단을 수행하게 된다.
센터 다이어프램(120)의 절단에 따라 장력 조절 장치는 센서 바디(111,112)로부터 분리되게 되며 그에 따라 센서 바디(112)의 수평 방향을 따라 이동 가능한 상태가 된다. 장력 조절 장치를 수형 방향으로 이동시키면, 센터 다이어프램(120)이 외부로 노출되게 되고, 그 상태에서 센서 바디(111,112)와 센터 다이어프램(120)을 용접하면 접합 공정이 완료되게 된다. 여기서, 센터 다이어프램(120)의 절단면이 거칠게 형성될 경우, 그 외주면을 깨끗하게 가공한 후 용접 공정을 수행하는 것이 바람직할 것이다.
이상에서는 본 발명에 따른 차압 센서용 센터 다이어프램의 장력 조절 장치 및 이를 이용한 차압 센서의 제조방법을 첨부한 도면들을 참조로 하여 설명하였으나,　본 발명은 본 명세서에 개시된 실시예와 도면에 의해 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 당업자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있다.

Claims (9)

  1. 센터 다이어프램의 테두리 일면을 지지하는 제1고정지그;
    상기 센터 다이어프램의 테두리 타면을 지지하며, 상기 센터 다이어프램이 고정될 수 있도록 상기 제1고정지그와 체결되는 제2고정지그; 및
    상기 제2고정지그에 상기 제1고정지그를 향하여 이동 가능하게 설치되며, 상기 센터 다이어프램 테두리의 내측 부분을 가압하여 상기 센터 다이어프램의 장력을 조절하는 가압 이동체를 포함하고,
    상기 제1 및 제2고정지그와 가압 이동체는 센서 바디의 설치 공간을 제공하는 관통공을 구비하는 것을 특징으로 하는 차압 센서용 센터 다이어프램의 장력 조절 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 가압 이동체는,
    상기 제2고정지그의 내벽에 나사 체결되는 나사 체결부; 및
    상기 나사 체결부로부터 돌출 형성되며, 상기 센터 다이어프램을 가압하는 가압부를 포함하는 것을 특징으로 하는 차압 센서용 센터 다이어프램의 장력 조절 장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 가압 이동체의 관통공은 상기 센서 바디의 직경보다 큰 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 차압 센서용 센터 다이어프램의 장력 조절 장치.
  5. 제1항을 따르는 차압 센서용 센터 다이어프램의 장력 조절 장치를 이용한 차압 센서의 제조방법에 있어서,
    상기 제1고정지그와 상기 제2고정지그의 사이에 상기 센터 다이어프램을 두고 상기 제1고정지그와 상기 제2고정지그를 체결하여 상기 센터 다이어프램을 고정시키는 단계;
    상기 가압 이동체를 이동시켜 상기 센터 다이어프램을 가압하여 가압량에 따라 상기 센터 다이어프램의 장력을 조절하는 단계; 및
    상기 센터 다이어프램이 상기 장력 조절 장치에 설치된 상태에서 상기 센터 다이어프램의 양측에 한 쌍의 센서 바디를 설치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 차압 센서의 제조방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 센서 바디의 설치 단계는,
    한 쌍의 센서 바디를 상기 센터 다이어프램의 양면에 배치하고, 상기 센서 바디를 상기 센터 다이어프램을 향하여 가압하는 단계;
    상기 센서 바디의 가압 상태에서 상기 센서 바디의 외주면을 따라 상기 센터 다이어프램을 절단하는 단계; 및
    상기 장력 조절 장치를 수평 이동시킨 후 상기 센서 바디와 센터 다이어프램을 접합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 차압 센서의 제조방법.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 센서 바디에는 취성 물질이 융착되는 요홈부가 형성되며,
    상기 취성 물질의 표면에는 상기 센터 다이어프램과의 간극을 형성하는 전극이 형성되는 것을 특징으로 하는 차압 센서의 제조 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 취성 물질의 융착 전에 상기 요홈부의 표면에 요철을 형성시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 차압 센서의 제조방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 요철 형성 단계는 샌드 블라스트에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 차압 센서의 제조방법.

KR1020110090978A 2011-09-08 2011-09-08 차압 센서용 센터 다이어프램의 장력 조절 장치 및 이를 이용한 차압 센서의 제조방법 KR101203416B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110090978A KR101203416B1 (ko) 2011-09-08 2011-09-08 차압 센서용 센터 다이어프램의 장력 조절 장치 및 이를 이용한 차압 센서의 제조방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110090978A KR101203416B1 (ko) 2011-09-08 2011-09-08 차압 센서용 센터 다이어프램의 장력 조절 장치 및 이를 이용한 차압 센서의 제조방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101203416B1 true KR101203416B1 (ko) 2012-11-21

Family

ID=47565090

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110090978A KR101203416B1 (ko) 2011-09-08 2011-09-08 차압 센서용 센터 다이어프램의 장력 조절 장치 및 이를 이용한 차압 센서의 제조방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101203416B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140110779A (ko) * 2013-03-07 2014-09-17 센사타 테크놀로지스, 인크 자가 정렬 특징부를 갖는 압력 변환기 기판

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2524256B2 (ja) * 1990-10-31 1996-08-14 タツタ電線株式会社 圧力センサ―におけるダイヤフラムの支持構造

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2524256B2 (ja) * 1990-10-31 1996-08-14 タツタ電線株式会社 圧力センサ―におけるダイヤフラムの支持構造

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140110779A (ko) * 2013-03-07 2014-09-17 센사타 테크놀로지스, 인크 자가 정렬 특징부를 갖는 압력 변환기 기판
KR102038156B1 (ko) 2013-03-07 2019-11-26 센사타 테크놀로지스, 인크 자가 정렬 특징부를 갖는 압력 변환기 기판

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1311228C (zh) 具有流体隔离阻障的传感器
KR101158401B1 (ko) 파이프용 수압 테스트기
US10067023B2 (en) Differential pressure measuring pickup
KR101496774B1 (ko) 다이어프램 스트레스를 경감하기 위한 홈을 구비하는 정전 용량 압력 센서
US10554004B2 (en) Sonotrode, device and method for producing a join
CN107825046B (zh) 薄壁波纹管薄片的焊接工装及焊接方法
KR20130020878A (ko) 연소압 검지센서를 가진 글로 플러그
CN102334019A (zh) 具有半导体压力测量换能器的压力传感器
KR101203416B1 (ko) 차압 센서용 센터 다이어프램의 장력 조절 장치 및 이를 이용한 차압 센서의 제조방법
JP5735652B2 (ja) 溶接プロセスで使用するための試験ブロックおよび製造ワークピース上の溶接プロセスを認定する方法
JP6313649B2 (ja) ガスセンサの製造方法
CN102686948A (zh) 带金属指部的预加热火花塞
CN105490076A (zh) 适用于真空、高压环境下的电容式传感器引线密封插头
KR101203415B1 (ko) 물결 형상 격리 다이어프램을 갖는 차압 센서의 제조 방법 및 그에 의해 제조된 차압 센서
CN110849558B (zh) 一种太阳轮总成焊缝密封测试的治具
FR2458810A1 (fr) Capteur de vitesse angulaire, et procede pour sa fabrication et son etanchage hermetique
CN204148703U (zh) 螺柱焊枪定位装置
CN214583782U (zh) 压力传感器密封结构
CN113566914B (zh) 非焊接式压电振子连接装置及采用其的超声流量检测装置
CN107843379B (zh) 装配式定电极的电容压力传感器
CN105252481A (zh) 一种密封组件装配工装及方法
KR102085037B1 (ko) 트랜스미터 제조 방법
CN210997311U (zh) 一种长距离钢管对拼焊接辅助装置
KR20140085958A (ko) 원터치식 배관 연결장치
CN209175045U (zh) 一种薄壁齿轮加工工装

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151117

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161116

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171103

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181102

Year of fee payment: 7