KR101189536B1 - Panel transfering apparatus - Google Patents
Panel transfering apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- KR101189536B1 KR101189536B1 KR1020100102040A KR20100102040A KR101189536B1 KR 101189536 B1 KR101189536 B1 KR 101189536B1 KR 1020100102040 A KR1020100102040 A KR 1020100102040A KR 20100102040 A KR20100102040 A KR 20100102040A KR 101189536 B1 KR101189536 B1 KR 101189536B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- panel
- guide plate
- guide
- fixed
- plate
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/22—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
패널 이송장치에 대한 발명이 개시된다. 개시된 패널 이송장치는, 베이스의 전측과 후측에 베이스 면으로부터 상측으로 분리되도록 각각 설치되는 설치브라켓과, 설치브라켓에 패널의 너비만큼의 좌우 간격을 갖도록 한 쌍 배치되고, 설치브라켓의 전 후측에 각각 연결되는 가이드플레이트와, 가이드플레이트의 양단에 구비된 구동롤러와 피동롤러를 감싸도록 설치되고, 회전에 의해 패널의 모서리가 안치되어 공중 부양 상태로 이송하는 복수의 안착이송벨트와, 안착이송벨트를 구동하도록 가이드플레이트에 형성된 각각의 구동롤러에 연결되는 복수의 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.An invention for a panel conveying device is disclosed. The disclosed panel conveying apparatus is disposed on the front and rear sides of the base so as to be separated from the base surface, respectively, by a pair of mounting brackets, and a pair of left and right intervals as wide as the width of the panel is disposed on the front and rear sides of the mounting brackets, respectively. The guide plate to be connected, and the driving roller and the driven rollers provided at both ends of the guide plate are installed to surround, and a plurality of seating conveying belts and seating conveying belts are placed in the levitation state by the edge of the panel is settled by the rotation It characterized in that it comprises a plurality of drives connected to each drive roller formed in the guide plate to drive.
Description
본 발명은 패널 이송장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 패널의 상하 양측면을 비 접촉방식으로 세정하기 위해 패널과의 접촉 부위를 줄여주고, 패널의 상하면을 개방시킨 공중 부양 상태로 패널을 이송하도록 하는 패널 이송장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a panel conveying apparatus, and more particularly, to reduce the contact area with the panel to clean the upper and lower sides of the panel in a non-contact manner, and to transport the panel in the levitation state with the upper and lower sides of the panel open. It relates to a panel conveying apparatus.
일반적으로 평판 표시 장치는 액정을 이용하는 액정 표시 장치(LCD), 플라즈마를 이용하는 플라즈마 표시 장치(PDP), 유기 발광 소자를 이용하는 유기 발광 표시 장치(OLED) 등을 들 수 있다.In general, a flat panel display includes a liquid crystal display (LCD) using liquid crystal, a plasma display (PDP) using plasma, an organic light emitting display (OLED) using an organic light emitting element, and the like.
평판 표시 장치는 기본적으로 영상을 표시하는 패널을 포함하여 이루어진다. 패널은 유리기판 등의 대면적을 갖는 기판을 모 기판으로 하여 기판에 증착 공정, 에칭 공정, 포토리소그래피 공정, 세정 공정, 검사 공정 등의 다양한 처리 공정을 반복적으로 수행하여 제조된다.The flat panel display basically includes a panel displaying an image. The panel is manufactured by repeatedly performing various processing processes such as a deposition process, an etching process, a photolithography process, a cleaning process, and an inspection process on a substrate using a substrate having a large area such as a glass substrate as a mother substrate.
상기 처리 공정들 중에서 특히 세정 공정은 각 공정들이 수행한 뒤에 반복적으로 수행된다. 예를 들어 에칭공정을 수행한 뒤에는 기판상에 잔류하는 불순물 및 에칭에 사용된 케미컬 등의 파티클(particle)을 세정하기 위하여 에칭 공정을 거친 기판을 대상으로 세정 공정을 수행하게 된다.Among the treatment processes, in particular, the cleaning process is repeatedly performed after each process. For example, after the etching process, the cleaning process is performed on the substrate which has undergone the etching process in order to clean the impurities remaining on the substrate and particles such as chemicals used for etching.
특히 파티클의 부착은 디바이스의 수율에 미치는 영향이 크다.In particular, the adhesion of particles has a large effect on the yield of the device.
따라서 공정 전,후 신뢰성 확보 및 수율 향상을 위해 파티클을 제거해 주어야하며, 기술이 진보함에 따라서 패널의 대형화 및 패턴의 미세화가 이루어지면서 세정 공정 또한 기술적 발전을 요하고 있다.Therefore, particles must be removed to secure the reliability before and after the process and to improve the yield. As the technology advances, the cleaning process also requires technical development as the panel is enlarged and the pattern is made finer.
기존에는 패널을 세정하기 위하여 주로 롤 브러쉬 타입 세정장치를 이용하여 접촉방식으로 패널에 묻은 이물질을 제거하는 방식을 주로 이용하였다.Conventionally, in order to clean the panel, a method of removing foreign substances on the panel by a contact method using a roll brush type cleaning device is mainly used.
이때, 패널을 안정적으로 이송하기 위해 주로 이송장치를 이용한다.At this time, the conveying apparatus is mainly used to stably transport the panel.
이 종래의 이송장치는 롤러, 컨베이어를 사용하여 이루어지며, 모터와 체인에 의해 자동으로 구동되어 이송되는 패널 양측 면에 여러 가지 세정 공정을 진행하여 패널을 깨끗하게 세정하도록 한다.This conventional conveying apparatus is made by using a roller, a conveyor, and various cleaning processes are performed on both sides of the panel which are automatically driven by the motor and the chain to clean the panel.
즉, 종래의 패널 이송장치는 패널을 이송하기 위해 패널이 안치되는 롤러는 전 후 방향으로 다수 배치된 롤러축에 좌우 방향으로 설정된 간격으로 배치되고, 롤러 축의 양측에 체인이 무한궤도 방식으로 연결되어 구동하므로 패널의 상하면을 개방시킨 상태에서 이송되는 구성이다.That is, in the conventional panel conveying apparatus, the rollers on which the panels are placed to transport the panels are arranged at intervals set in the left and right directions on the roller shafts disposed in the front and rear directions, and the chains are connected in an endless track manner to both sides of the roller shafts. As it is driven, the upper and lower surfaces of the panel are transported in an open state.
패널의 상 하 양측에는 세정장치들이 패널면을 향하도록 배치되어 세정액을 분사하고, 패널 면을 세정하도록 하였다.Cleaning devices were disposed on the upper and lower sides of the panel to face the panel surface to spray the cleaning liquid and to clean the panel surface.
전술한 발명은 본 발명이 속하는 기술분야의 배경기술을 의미하며, 종래 기술을 의미하는 것은 아니다.
The above-mentioned invention means the background art of the technical field to which the present invention belongs, and does not mean the prior art.
그런데, 종래의 패널 이송장치는 패널 상측 부분은 세정액 분사시 방해물이 없는 것과는 달리, 패널 하측 부분에는 롤러, 롤러축 등의 여러 구성이 배치되어 세정액 분사시 방해를 받으므로 패널 저면부 세정이 깨끗하게 이루어지지 않아 세정 성능이 현저하게 저하되는 문제점이 있었다.However, in the conventional panel conveying apparatus, unlike the upper part of the panel without obstacles when spraying the cleaning liquid, various configurations such as rollers and roller shafts are disposed on the lower part of the panel, and the lower part of the panel is cleaned because the panel cleaning device is disturbed when the cleaning liquid is sprayed. There was a problem that the cleaning performance is not significantly lowered.
또한, 종래에는 패널을 좌우 양측에서 정확하게 잡아주는 구성이 없으므로 패널 이송시 정확한 패널 위치를 잡지 못한 상태에서 이송되어 이송성능 및 세정 정확도가 현저하게 떨어지는 문제점이 있었다.In addition, conventionally, since there is no configuration to hold the panel accurately at both left and right sides, there is a problem in that the transfer performance and cleaning accuracy are remarkably deteriorated since the panel is transferred in a state of not grasping the correct panel position.
따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.Therefore, there is a need to improve this.
본 발명은 상기와 같은 필요성에 의해 창출된 것으로서, 패널의 상하 양측면을 비 접촉방식으로 세정하기 위해 패널과의 접촉 부위를 줄여주고, 패널의 상하면을 개방시킨 공중 부양 상태로 패널을 이송하도록 하는 패널 이송장치를 제공하는 것이 목적이다.The present invention has been created by the necessity as described above, the panel to reduce the contact area with the panel in order to clean the upper and lower sides of the panel in a non-contact manner, and to move the panel to the levitation state that opened the upper and lower sides of the panel It is an object to provide a conveying device.
또한, 패널을 양측에서 지지하는 안착이송벨트를 나사축 방식으로 벌려지거나 오므려지는 간격조절부를 이용하여 좌우 간격을 간편하게 조절하고, 패널위치를 정확하게 잡아주는 상태로 이송하는 패널 이송장치를 제공하는 것이 목적이다.
In addition, it is easy to provide a panel conveying device for easily adjusting the left and right spacing by using a gap adjusting part that spreads or retracts the seating transfer belt that supports the panel on both sides, and accurately conveys the panel position. Purpose.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 이송장치는, 베이스의 전측과 후측에 상기 베이스 면으로부터 상측으로 분리되도록 각각 설치되는 설치브라켓; 상기 설치브라켓에 상기 패널의 너비만큼의 좌우 간격을 갖도록 한 쌍 배치되고, 설치브라켓의 전 후측에 각각 연결되는 가이드플레이트; 상기 가이드플레이트의 양단에 구비된 구동롤러와 피동롤러를 감싸도록 설치되고, 회전에 의해 상기 패널의 모서리가 안치되어 공중 부양 상태로 이송하는 복수의 안착이송벨트; 및 상기 안착이송벨트를 구동하도록 상기 가이드플레이트에 형성된 각각의 구동롤러에 연결되는 복수의 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the panel conveying apparatus according to an embodiment of the present invention, the mounting bracket is installed to be separated from the base surface to the upper side and the front side of the base, respectively; A guide plate disposed on the mounting bracket so as to have a left and right distance as much as the width of the panel and connected to the front and rear sides of the mounting bracket; A plurality of seating and transporting belts installed to surround the driving rollers and the driven rollers provided at both ends of the guide plate, and the edges of the panels are settled by rotation to be transported in a levitation state; And a plurality of driving parts connected to respective driving rollers formed on the guide plate to drive the seating transfer belt.
또한, 상기 가이드플레이트의 좌우측면에는 상기 안착이송벨트가 안정적으로 이동하도록 가이드홈을 구비하는 것을 특징으로 한다.In addition, the left and right side surfaces of the guide plate is characterized in that it is provided with a guide groove so that the seating transfer belt to move stably.
또한, 상기 가이드플레이트는 하중을 지지하기 위해 챔버 내에 고정되는 하나 이상의 지지부재를 구비하는 것을 특징으로 한다.In addition, the guide plate is characterized in that it comprises one or more support members fixed in the chamber to support the load.
또한, 상기 지지부재는 상기 가이드플레이트에 고정되는 슬라이딩 베어링부재; 및 상기 슬라이딩 베어링부재에 삽입되고, 양단이 챔버의 내벽 면에 나사 또는 볼트로 체결 고정되는 고정축부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the support member is a sliding bearing member fixed to the guide plate; And a fixed shaft member inserted into the sliding bearing member, and both ends of which are fastened and fixed to the inner wall surface of the chamber by screws or bolts.
또한, 상기 설치브라켓과 상기 가이드플레이트에는 상기 가이드플레이트의 좌우 간격이 조절되도록 간격조절부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the installation bracket and the guide plate is characterized in that it comprises a gap adjusting portion to adjust the left and right spacing of the guide plate.
또한, 상기 간격조절부는 상기 설치브라켓에 구비되고, 복수의 가이드플레이트의 중심을 기준으로 양측으로 서로 반대방향 나사산이 각각 형성된 수나사축부재; 상기 수나사축부재가 결합되는 암나사부재가 구비되고 상기 가이드플레이트에 고정되어 좌우이동하는 연결브라켓; 상기 설치브라켓과 상기 가이드플레이트에 각각 구비되어 상기 가이드플레이트의 좌우 이동을 안내하는 엘엠가이드; 및 상기 수나사축부재에 축결합되어 동력을 제공하는 구동모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the spacing adjuster is provided on the mounting bracket, the male screw shaft member formed in opposite directions to each other on both sides with respect to the center of the plurality of guide plates; A connection bracket having a female screw member to which the male screw shaft member is coupled and fixed to the guide plate to move left and right; An LM guide provided in each of the mounting bracket and the guide plate to guide left and right movement of the guide plate; And a drive motor axially coupled to the male screw member to provide power.
또한, 상기 설치브라켓과 상기 연결브라켓에는 복수의 상기 가이드플레이트의 좌우 위치의 기준점을 세팅하기 위해 위치를 감지하는 위치감지부가 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the installation bracket and the connection bracket is characterized in that the position sensing unit for detecting the position to set the reference point of the left and right positions of the plurality of guide plates.
또한, 상기 위치감지부는 상기 설치브라켓 상에 좌우 이동방향으로 배열 설치되는 설치블럭; 상기 연결브라켓에 구비되는 감지용 판체; 및 상기 감지용 판체가 좌우 방향으로 이동함에 따라 기준점을 세팅하도록 이동 위치를 감지하는 위치감지센서를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the position detecting unit is installed on the installation bracket in the horizontally arranged in the direction of movement; A sensing plate provided on the connection bracket; And a position detecting sensor for detecting a moving position to set a reference point as the sensing plate moves in a left and right direction.
또한, 상기 엘엠가이드는 상기 설치브라켓 또는 가이드플레이트에 형성된 가이드레일; 및 상기 가이드레일에 결합되어 가이드하도록 가이드플레이트 또는 설치브라켓에 구비된 가이드슬롯을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the LM guide is a guide rail formed on the mounting bracket or guide plate; And a guide slot provided on the guide plate or the mounting bracket to guide the guide rail to the guide rail.
또한, 상기 안착이송벨트는 상기 가이드플레이트에 구비된 장력조절부에 의해 장력이 조절되는 것을 특징으로 한다.In addition, the seating transfer belt is characterized in that the tension is adjusted by the tension control unit provided in the guide plate.
또한, 상기 장력조절부는 상기 가이드플레이트의 상하 측에 결합되는 고정플레이트; 상기 고정플레이트에 형성되는 복수의 고정롤러; 및 상기 고정롤러 사이에 배치되어 상기 고정플레이트에 형성된 장공을 따라 이동하여 장력을 조절하는 장력조절롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.
In addition, the tension control unit fixed plate coupled to the upper and lower sides of the guide plate; A plurality of fixed rollers formed on the fixed plate; And a tension control roller disposed between the fixed rollers to adjust the tension by moving along the long hole formed in the fixed plate.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 패널 이송장치는 패널의 상하 양측면을 비 접촉방식으로 세정하기 위해 패널과의 접촉 부위를 줄여주고, 패널의 상하면을 개방시킨 공중 부양 상태로 패널을 이송할 수 있다.As described above, the panel conveying apparatus according to the present invention can reduce the contact area with the panel in order to clean the upper and lower sides of the panel in a non-contact manner, and can transport the panel in a levitation state in which the upper and lower sides of the panel are opened. have.
또한, 패널을 양측에서 지지하는 안착이송벨트를 나사축 방식으로 벌려지거나 오므려지는 간격조절부를 이용하여 좌우 간격을 간편하게 조절할 수 있고, 패널위치를 정확하게 잡아주는 상태로 이송할 수 있다.
In addition, the left and right gaps can be easily adjusted by using a gap adjusting part that is spread or retracted in a screw shaft manner to support the panel on both sides, and can be transported in a state of accurately grasping the panel position.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 이송장치를 구비한 세정장치의 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 이송장치를 구비한 세정장치의 정면도.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 이송장치를 구비한 세정장치의 평면도.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 이송장치의 사시도.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 이송장치의 평면도.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 이송장치의 배출측 확대 사시도.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 이송장치의 감지부 확대 사시도.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 이송장치의 진입측 확대 사시도.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 이송장치의 진입측 측단면도.
도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 이송장치의 사용 상태 정면도.1 is a perspective view of a cleaning device having a panel transfer device according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a front view of the cleaning device having a panel conveying apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a plan view of the cleaning apparatus having a panel transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a perspective view of a panel transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 is a plan view of a panel transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
Figure 6 is an enlarged perspective view of the discharge side of the panel conveying apparatus according to an embodiment of the present invention.
Figure 7 is an enlarged perspective view of the sensing unit of the panel transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
8 is an enlarged perspective view of the entry side of the panel transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
9 is a side cross-sectional view of the entry side of the panel conveying apparatus according to an embodiment of the present invention.
10 is a front view of a state of use of the panel conveying apparatus according to an embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 패널 이송장치를 설명하도록 한다.Hereinafter, a panel transport apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
In this process, the thicknesses of the lines and the sizes of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of explanation. In addition, terms to be described below are terms defined in consideration of functions in the present invention, which may vary according to the intention or convention of a user or an operator. Therefore, definitions of these terms should be made based on the contents throughout the specification.
우선, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 이송장치를 구비한 일 실시예에 따른 세정장치는, 베이스(2), 패널 이송장치(40), 프리샤워부(90), 초음파세정부(100), 파이널샤워부(110), 건조부(120) 및 챔버(4)를 포함하여 이루어진다.First, as shown in Figures 1 to 3, the cleaning apparatus according to an embodiment provided with a panel conveying apparatus according to an embodiment of the present invention, the
본 발명의 패널 이송장치(40)를 세정장치와 조합하여 사용하는 일 실시예를 도시하고 있으나, 본 발명에 따른 패널 이송장치(40)는 다른 여러 실시예의 기계, 기기 또는 설비 구성과 조합하여 사용하는 것이 가능하다.While an embodiment of using the
베이스(2)는 상부면이 넓은 판체 형상으로 이루어지고 하측에는 다수의 다리가 구비된다.The
패널 이송장치(40)는 베이스(2)에 지지되어 상측으로 분리된 상태로 패널을 이송한다.The
패널 이송장치(40)의 전후 측에는 베이스(2) 상에 설치되어 패널을 로딩시키거나 언 로딩시키는 이송유닛(10)을 포함한다.The front and rear sides of the
본 발명에 적용되는 패널은, 주로 액정 표시 장치(LCD), 플라즈마 표시 장치(PDP) 및 유기 발광 표시 장치(OLED)용 패널을 지칭하지만, 그 이외에도 다양한 용도로 사용되는 패널을 포괄적으로 모두 포함한다.The panel applied to the present invention mainly refers to a panel for a liquid crystal display (LCD), a plasma display device (PDP), and an organic light emitting display device (OLED), but also includes all of the panels used for various purposes inclusively. .
이송유닛(10)은 제1롤러(14)와 제2롤러(16) 사이에서 감겨져 구동하는 이송벨트(12)에 패널이 안치되어 로딩 된다.The
제1롤러(14)는 구동부(18)에 축 연결되어 구동한다.The
이송벨트(12)에 안치된 패널의 양측 면에는 공회전하는 아이들롤러(24)가 설정된 간격을 갖도록 다수 개 배치된다.A plurality of idle
아이들롤러(24)는 패널의 좌우 크기에 따라 좌우 간격이 나사축에 의해 조절되도록 구성된다.The
프리샤워부(90)는 패널 이송장치(40)에 의해 이송되는 패널에 상측,하측 또는 양측에 세정액을 미리 분사하여 파티클을 세척한다.The
프리샤워부(90)는 챔버(4) 내에 구비되어 패널 이송장치(40)에 의해 이송되는 패널에 세정액을 미리 분사하는 제1분사노즐(92), 제1분사노즐(92)이 수평 저면으로 지지되고, 세정액을 공급하도록 양단이 지지되는 제1공급파이프(94) 및 제1공급파이프(94)를 챔버(4) 내에 지지하는 제1지지블럭(96)을 포함한다.The
이때, 프리샤워부(90)에서 분사하는 세정액은 물, 특히 순수인 것이 바람직하다.At this time, the washing liquid sprayed from the pre-shower 90 is preferably water, in particular pure water.
초음파세정부(100)는 프리샤워부(90)에서 패널 이송장치(40)에 의해 이송된 패널을 세정액이 담겨진 저장조(102)의 이송공으로 통과시켜 초음파 세정을 수행하여 파티클을 제거한다.The
저장조(102)의 바닥면에는 초음파세정기(미도시)가 구비된다.The bottom surface of the
저장조(102)의 하부 일측면에는 세정액을 공급하기 위한 공급관(108)이 구비된다.The lower one side of the
도 10을 참조하면, 공급관(108)을 통하여 공급된 세정액의 량이 저장조(102)에 형성된 이송공(미도시)으로 배출되는 량보다 많게 하여 이송공을 통과하는 패널 전체 면이 세정액에 담겨져 저장조(102)에 구비된 초음파세정기(미도시)로 초음파 세정되도록 구성된다.Referring to FIG. 10, the amount of the cleaning liquid supplied through the
파이널샤워부(110)는 초음파세정부(100)에서 패널 이송장치(40)에 의해 이송된 패널에 상측,하측 또는 양측에 세정액을 분사하여 마무리 세척한다.The
파이널샤워부(110)는 챔버(4) 내에 구비되어 패널 이송장치(40)에 의해 이송되는 패널에 세정액을 최종 분사하여 세척하는 제2분사노즐(112), 제2분사노즐(112)이 수평 저면으로 지지되고, 세정액을 공급하도록 양단이 지지되는 제2공급파이프(114) 및 제2공급파이프(114)를 챔버(4) 내에 지지하는 제2지지블럭(116)을 포함한다.The
이때, 파이널샤워부(110)에서 분사하는 세정액은 물, 특히 순수인 것이 바람직하다.At this time, the cleaning liquid sprayed from the
건조부(120)는 파이널샤워부(110)에서 이송된 패널의 상측,하측 또는 상하 양측에 구비된 에어나이프(126)에서 에어를 분사하여 패널에 묻은 세정액을 건조한다.The drying
챔버(4)는 프리샤워부(90), 초음파세정부(100), 파이널샤워부(110) 및 건조부(120)에서 패널 이송장치(40)에 의해 이송되는 패널의 주변을 보호하면서 통과공으로 통과시키는 역할을 한다.The
즉, 세정액이 외부로 튀는 것을 챔버(4)가 보호하는 것이다.In other words, the
챔버(4)는 프리샤워부(90) 및 초음파세정부(100) 사이와, 파이널샤워부(110) 및 건조부(120) 사이에 세정액의 이동 및 간섭을 방지하기 위해 격벽(170)으로 분리 형성된다.The
챔버(4)는 프리샤워부(90), 초음파 세정부(100)와 파이널샤워부(110), 건조부(120)의 일측에 세정액 분사 및 공급시 발생되는 공기 공급에 의한 내부압력을 낮추기 위한 배기 덕트(180)를 각각 구비한다.The
챔버(4)의 상측에는 구간마다 또는 전체 면에 걸쳐 투명 또는 불투명 덮개가 덮여진다.
The upper side of the
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 이송장치의 구성을 상세하게 살펴 본다.Hereinafter, with reference to the drawings looks at in detail the configuration of the panel transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 4 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 이송장치(40)는 베이스(2)에 지지되어 상측으로 분리된 상태로 패널을 이송한다.As shown in Figure 4 to 10, the
패널 이송장치(40)는 설치브라켓(42), 가이드플레이트(44), 안착이송벨트(52) 및 구동부(54)를 포함한다.The
설치브라켓(42)은 베이스(2)의 전측과 후측에 베이스 면으로부터 상측으로 분리되도록 각각 설치된다.The mounting
베이스(2) 전측의 설치브라켓(42)은 진입측 로딩용 이송유닛(10)과 연결되고, 베이스(2) 후측의 설치브라켓(42)은 배출측 언로딩용 이송유닛(10)과 연결된다.The mounting
설치브라켓(42)은 베이스(2)에 2개 부분이 지지되고, 상측으로 각각 수직 연장되어 다시 수평으로 일체로 연결되도록 구성된다.The mounting
가이드플레이트(44)는 설치브라켓(42)에 패널의 너비만큼의 좌우 간격을 갖도록 한 쌍 배치되고, 설치브라켓(42)의 전 후 양측에 각각 연결된다.The
안착이송벨트(52)는 가이드플레이트(44)의 전후 양단부에 구비된 구동롤러(48)와 피동롤러(50)를 감싸도록 설치되고, 회전에 의해 패널의 좌우 모서리가 걸림턱(53)에 안치되어 공중 부양 상태로 이송하도록 복수 개 형성된다.The seating and
구동롤러(48)와 피동롤러(50)의 설치 위치는 반대로 배치될 수 있다.The installation position of the driving
가이드플레이트(44)의 좌우측면에는 안착이송벨트(52)가 안정적으로 이동하도록 가이드홈(46)을 구비한다.Right and left side surfaces of the
가이드플레이트(44)는 하중을 지지하기 위해 챔버(4) 내에 고정되는 하나 이상의 지지부재(60)를 구비한다.The
즉, 가이드플레이트(44)는 전후방향으로 길게 형성되고, 중간 영역에 지지하는 구조가 없다면 하측으로 처질 우려가 있으므로 이를 방지하기 위하여 지지플레이트(44) 상측에 연결되는 지지부재(60)를 구비하는 것이다.That is, the
지지부재(60)는 금속 재, 합성수지재 또는 어떠한 재질을 사용하여도 무방하지만, 금속 재 중에서 알루미늄 재를 사용하는 것이 바람직하다.The
지지부재(60)는 가이드플레이트(44)에 고정되는 슬라이딩 베어링부재(62) 및 슬라이딩 베어링부재(62)에 삽입되고, 양단이 챔버(4)의 내벽 면에 나사 또는 볼트로 체결 고정되는 고정축부재(64)를 포함한다.The
가이드플레이트(40가 벌려지거나 오므려지는 경우, 슬라이딩 베어링부재(62)에 삽입된 고정축부재(64)를 따라서 이동하게 된다.When the
구동부(54)는 안착이송벨트(52)를 구동하도록 가이드플레이트(44)에 형성된 각각의 구동롤러(48)에 복수 개 연결된다.The driving
구동부(54)는 구동롤러(48)에 직접 연결되거나 감속기를 통해 연결되는 구동모터인 것이 바람직하다.The
설치브라켓(42)과 가이드플레이트(44)에는 가이드플레이트(44)의 좌우 간격이 조절되도록 간격조절부(70)를 포함한다.The mounting
간격조절부(70)는 수나사축부재(72), 연결브라켓(74), 엘엠가이드(76) 및 구동모터(78)를 포함한다.The
수나사축부재(72)는 설치브라켓(42)에 구비되고, 복수의 가이드플레이트(44)의 중심을 기준으로 양측으로 서로 반대방향 나사산이 각각 형성된다.The male
연결브라켓(74)은 수나사축부재(72)가 결합되는 암나사부재가 구비되고 가이드플레이트(44)에 고정되어 수나사축부재(72)의 회동에 의해 좌우이동한다.The connecting
설치브라켓(42)과 연결브라켓(74)에는 복수의 가이드플레이트(44)의 좌우 위치의 기준점을 세팅하기 위해 좌우 이동 위치를 감지하는 위치감지부(30)가 구비된다.The
위치감지부(30)는 설치브라켓(42) 상에 좌우 이동방향으로 배열 설치되는 설치블럭(32), 연결브라켓(74)에 구비되는 감지용 판체(34) 및 감지용 판체(34)가 좌우 방향으로 이동함에 따라 기준점을 세팅하도록 이동 위치를 감지하는 위치감지센서(36)를 포함한다.The
설치블럭(32)의 하측에는 연결브라켓(74)이 이동하도록 이동공간이 구비된다.The lower side of the
감지용 판체(34)는 직사각형 판체인 것이 바람직하다.The
위치감지센서(36)는 감지용 판체(34)가 통과하도록 ㄷ자 형상의 공간부(37)를 형성한다.The
위치감지센서(36)는 공간부(37)로 통과하는 감지용 판체(34)의 이동 여부를 감지하기 위해 광을 공간부(37)의 상하면 중 일측면에 구비되어 발광하는 발광센서와, 발광센서에서 조사되는 광의 수광 여부를 감지하도록 공간부(37)의 반대 측면에 구비된 수광센서를 포함한다.The
엘엠가이드(76)는 설치브라켓(42)과 가이드플레이트(44)에 각각 구비되어 가이드플레이트(44)의 좌우 이동을 안내한다.The L guide 76 is provided on the mounting
엘엠가이드(76)는 설치브라켓(42)에 형성된 가이드레일(76a); 및 가이드레일(76a)에 결합되어 가이드하도록 가이드플레이트(44)에 구비된 가이드슬롯(76b)을 포함한다.The EL guide 76 includes a
가이드플레이트(44)의 좌우 간격을 조정하고자 한다면, 전측 및 후측의 설치브라켓(42)에 구비된 구동모터(78)를 구동하면, 수나사축부재(72)를 회전하게 된다.If the left and right spacing of the
그리고, 수나사축부재(72)에 나사결합된 암나사부재에 의해 연결브라켓(74)이 좌우로 벌려지거나 오므려짐에 따라 연결브라켓(74)에 고정된 가이드플레이트(44)가 엘엠가이드(76)를 따라 슬라이딩 이동하여 가이드플레이트(44)의 간격이 조절되는 것이다.In addition, the
안착이송벨트(52)는 가이드플레이트(44)에 구비된 장력조절부(80)에 의해 장력이 조절된다.The
장력조절부(80)는 가이드플레이트(44)의 상하 측에 결합되는 고정플레이트(82), 고정플레이트(82)에 형성되는 복수의 고정롤러(84) 및 고정롤러(84) 사이에 배치되어 고정프레이트(82)에 형성된 장공을 따라 이동하고, 볼트 또는 너트 등에 의해 체결되어 장력을 조절하는 장력조절롤러(86)를 포함한다.The tension adjusting unit 80 is disposed between and fixed to the fixed plate 82 coupled to the upper and lower sides of the
장력조절부(80)는 1개의 가이드플레이트(44)의 전측과 후측에 각각 하나씩 2개 형성되므로, 한 쌍의 가이드플레이트(44)에 모두 4개 형성되는 것이 바람직하다.
Since two tension adjusting units 80 are formed, one each at the front side and the rear side of one
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 이송장치를 구비한 세정장치의 작용 및 효과를 살펴보도록 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings to look at the action and effect of the cleaning device having a panel transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
우선, 패널을 세정하고자 한다면, 베이스(2)의 진입 측에 있는 진입측 로딩용 이송유닛(10)의 이송벨트(12)에 적재기구(미도시)를 이용하여 다수 개의 패널을 순서대로 안치하면, 구동부(18)에 축연결된 제1롤러(14)가 제2롤러(16)에 대해 무한궤도상으로 구동한다.First, if the panel is to be cleaned, a plurality of panels are placed in order by using a loading mechanism (not shown) on the
이송벨트(12)를 따라 이동하는 패널의 양측에는 아이들롤러(24)가 접촉되어 좌우 양측을 지지하면서 이동하게 된다.
한편, 이송벨트(12)에 놓여져 후측으로 이동한 패널은 패널 이송장치(40)의 안착이송벨트(52)의 안착턱에 안치되면서 2개의 구동부(54)에 의해 구동하는 구동롤러(48)의 구동에 의해 패널이 안착이송벨트(52)를 따라 후측으로 이동하게 된다.On the other hand, the panel placed on the conveying
안착이송벨트(52)는 구동롤러(48)와 피동롤러(50)에 의해 가이드플레이트(44)의 주위를 구동한다.The
가이드플레이트(44)의 좌우 양측면에는 가이드홈(46)에 구비되어 안착이송벨트(52)가 삽입 이동하므로 가이드플레이트(44)의 외주면에서 안정적으로 이동한다.The left and right sides of the
이송유닛(10)의 좌우 간격에 맞도록 가이드플레이트(44)의 좌우 간격을 조정하고자 한다면, 전측 및 후측의 설치브라켓(42)에 구비된 구동모터(78)를 구동하면, 수나사축부재(72)를 회전하게 된다.If you want to adjust the left and right spacing of the
그리고, 수나사축부재(72)에 나사결합된 암나사부재에 의해 연결브라켓(74)이 좌우로 벌려지거나 오므려짐에 따라 연결브라켓(74)에 고정된 가이드플레이트(44)가 엘엠가이드(76)를 따라 슬라이딩 이동하여 가이드플레이트(44)의 간격이 조절되는 것이다.In addition, the
한편, 가이드플레이트(44)의 좌우 이동시 기준점을 세팅하고자 한다면, 좌우로 벌려지거나 오므려지면서 이동하는 연결브라켓(74)에 고정된 감지용 판체(34)가 좌우로 함께 이동하면서 위치감지센서(36)의 공간부(37)로 이동하게 된다.On the other hand, if you want to set the reference point when the left and right movement of the
이때, 위치감지센서(36)의 발광센서에서 조사되는 광이 감지용 판체(34)의 벌려지거나 오므려짐의 이동 여부에 따라 공간부(37)의 반대 면에 위치한 수광센서에서 감지하게 되고, 좌우 위치에 따른 기준점을 세팅할 수 있는 정보로 이용된다.At this time, the light irradiated from the light emitting sensor of the
그리고, 가이드플레이트(44)를 이동하는 각각의 안착이송벨트(52)의 장력을 조절하고자 한다면, 고정플레이트(82)의 장공(88)으로 노출된 장력조절롤러(86) 축의 단부에 형성된 나사산에 체결된 너트를 풀어준다.And, if you want to adjust the tension of each
연이어, 장공(88)을 따라 장력조절롤러(86)의 축을 이동시켜 장력을 조절한 후 다시 너트를 조여주어 고정하므로 안착이송벨트(52)의 장력을 조절하는 것이다.Subsequently, after adjusting the tension by moving the axis of the
계속하여, 안착이송벨트(52)를 따라 이송한 패널은 챔버(4)의 관통공을 거쳐 프리샤워부(90)로 진입하게 되고, 상 하측에 배치된 제1분사노즐(92)에서 분사되는 세정액에 의해 파티클이 미리 세정 된다.Subsequently, the panel transferred along the
그리고, 안착이송벨트(52)를 따라 이송한 패널은 챔버(4)의 관통공을 거쳐 격벽(170)의 관통공을 거쳐 초음파세정부(100)의 저장조(102)로 진입하게 된다.The panel transferred along the
연이어, 저장조(102)의 이송공으로 진입한 패널은 공급관(108)을 통하여 공급된 세정액의 량이 이송공으로 배출되는 량보다 많게 하여 이송공을 통과하는 패널 전체 면이 세정액에 담겨져 저장조(102)의 바닥면에 구비된 초음파세정기로 초음파 세정된다.Subsequently, the panel entering the transfer hole of the
연이어서, 저장조(102)의 이송공으로 빠져나온 패널은 파이널샤워부(110)로 진입하게 되고, 상 하측에 배치된 제2분사노즐(112)에서 분사되는 세정액에 의해 깨끗하게 마무리 세정 된다.Subsequently, the panel escaping into the transfer hole of the
그리고, 안착이송벨트(52)를 따라 이송한 패널은 격벽(170)의 관통공을 거쳐 건조부(120)로 진입하게 된다.In addition, the panel transferred along the
건조부(120)로 진입한 패널은 상 하측에 2열로 배열된 에어나이프(126)에서 에어를 경사지게 분사하여 세정액을 건조시키므로 패널의 표면을 깨끗한 상태를 유지하게 한다.The panel entering the
연이어, 안착이송벨트(52)를 따라 이송한 패널은 격벽(170)의 관통공을 벗어나 건조부(120)에서 빠져 나와 패널 이송장치(40)에 연결된 배출측 언로딩용 이송유닛(10)의 이송벨트(12)에 안착되어 이송된다.Subsequently, the panel transported along the
그리고, 이송벨트(12) 상에 높여진 패널은 언로딩 기구(미도시)를 사용하여 소정 장소로 이송하고, 이송된 패널에 후속 공정을 진행한다.Then, the panel raised on the conveying
본 발명에 따른 패널 이송장치를 일 실시예에 따른 세정장치와 조합하여 사용하는 상태를 도시하였으나, 필요에 따라 본 발명의 패널 이송장치를 다른 기계, 기기 또는 설비 구성과 조합하여 사용하는 것이 가능하다.Although the state in which the panel conveying apparatus according to the present invention is used in combination with the cleaning apparatus according to the embodiment is illustrated, it is possible to use the panel conveying apparatus of the present invention in combination with other machines, devices or facility configurations as necessary. .
본 발명에 따른 패널 이송장치는 패널의 상하 양측면을 비 접촉방식으로 세정하기 위해 패널과의 접촉 부위를 줄여주고, 패널의 상하면을 개방시킨 공중 부양 상태로 패널을 이송할 수 있다.The panel conveying apparatus according to the present invention can reduce the contact area with the panel to clean the upper and lower sides of the panel in a non-contact manner, and can convey the panel in a levitation state in which the upper and lower surfaces of the panel are opened.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. I will understand.
삭제delete
따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the claims below.
2 : 베이스 4 : 챔버
10 : 이송유닛 12 : 이송벨트
30 : 위치감지부 32 : 설치블럭
34 : 감지용 판체 36 : 위치감지센서
40 : 이송장치 42 : 설치브라켓
44 : 가이드플레이트 52 : 안착이송벨트
53 : 걸림턱 54 : 구동부
60 : 지지부재 70 : 간격조절부
72 : 수나사축부재 74 : 연결브라켓
76 : 엘엠가이드 80 : 장력조절부
82 : 고정플레이트 84 : 장력조절롤러
90 ; 프리샤워부 100 : 초음파세정부
110 : 파이널샤워부 120 : 건조부2: base 4: chamber
10: transfer unit 12: transfer belt
30: position detection unit 32: installation block
34: sensing plate 36: position detection sensor
40: feeder 42: mounting bracket
44: guide plate 52: seating transfer belt
53: engaging jaw 54: drive unit
60: support member 70: spacing adjuster
72: male shaft member 74: connecting bracket
76: LM guide 80: tension control unit
82: fixing plate 84: tension control roller
90; Pre-shower 100: Ultrasonic Cleaner
110: final shower 120: drying unit
Claims (11)
상기 설치브라켓에 패널의 너비만큼의 좌우 간격을 갖도록 한 쌍 배치되고, 설치브라켓의 전 후측에 각각 연결되는 가이드플레이트;
상기 가이드플레이트의 양단에 구비된 구동롤러와 피동롤러를 감싸도록 설치되고, 회전에 의해 상기 패널의 모서리가 안치되어 공중 부양 상태로 이송하는 복수의 안착이송벨트; 및
상기 안착이송벨트를 구동하도록 상기 가이드플레이트에 형성된 각각의 구동롤러에 연결되는 복수의 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 이송장치.
Mounting brackets installed on the front and rear sides of the base so as to be separated from the base surface upwardly;
A pair of guide plates disposed on the mounting brackets so as to have left and right intervals as wide as the width of the panel, and connected to the front and rear sides of the mounting brackets;
A plurality of seating and transporting belts installed to surround the driving rollers and the driven rollers provided at both ends of the guide plate, and the edges of the panels are settled by rotation to be transported in a levitation state; And
And a plurality of driving parts connected to the respective driving rollers formed on the guide plate to drive the seating transport belt.
상기 가이드플레이트의 좌우측면에는 상기 안착이송벨트가 안정적으로 이동하도록 가이드홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 패널 이송장치.
The method of claim 1,
The panel conveying apparatus, characterized in that the left and right sides of the guide plate is provided with a guide groove so that the seating and transport belt moves stably.
상기 가이드플레이트는 하중을 지지하기 위해 챔버 내에 고정되는 하나 이상의 지지부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 패널 이송장치.
The method of claim 1,
And the guide plate has one or more support members fixed in the chamber to support the load.
상기 가이드플레이트에 고정되는 슬라이딩 베어링부재; 및
상기 슬라이딩 베어링부재에 삽입되고, 양단이 챔버의 내벽 면에 나사 또는 볼트로 체결 고정되는 고정축부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 이송장치.
The method of claim 3, wherein the support member
A sliding bearing member fixed to the guide plate; And
And a fixed shaft member inserted into the sliding bearing member and fixed to the inner wall surface of the chamber by a screw or a bolt.
상기 설치브라켓과 상기 가이드플레이트에는 상기 가이드플레이트의 좌우 간격이 조절되도록 간격조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 이송장치.
The method of claim 1,
The mounting bracket and the guide plate, the panel transport apparatus, characterized in that it comprises a gap adjusting portion to adjust the left and right spacing of the guide plate.
상기 설치브라켓에 구비되고, 복수의 가이드플레이트의 중심을 기준으로 양측으로 서로 반대방향 나사산이 각각 형성된 수나사축부재;
상기 수나사축부재가 결합되는 암나사부재가 구비되고 상기 가이드플레이트에 고정되어 좌우이동하는 연결브라켓;
상기 설치브라켓과 상기 가이드플레이트에 각각 구비되어 상기 가이드플레이트의 좌우 이동을 안내하는 엘엠가이드; 및
상기 수나사축부재에 축결합되어 동력을 제공하는 구동모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 이송장치.
The method of claim 5, wherein the gap adjusting portion
A male screw shaft member provided in the mounting bracket and having opposite threads formed on opposite sides of the center of the plurality of guide plates;
A connection bracket having a female screw member to which the male screw shaft member is coupled and fixed to the guide plate to move left and right;
An LM guide provided in each of the mounting bracket and the guide plate to guide left and right movement of the guide plate; And
And a drive motor axially coupled to the male screw member to provide power.
상기 설치브라켓과 상기 연결브라켓에는 복수의 상기 가이드플레이트의 좌우 위치의 기준점을 세팅하기 위해 위치를 감지하는 위치감지부가 구비되는 것을 특징으로 하는 패널 이송장치.
The method according to claim 6,
The mounting bracket and the connection bracket is a panel transfer device, characterized in that for detecting the position to set the reference point of the left and right positions of the plurality of guide plates.
상기 설치브라켓 상에 좌우 이동방향으로 배열 설치되는 설치블럭;
상기 연결브라켓에 구비되는 감지용 판체; 및
상기 감지용 판체가 좌우 방향으로 이동함에 따라 기준점을 세팅하도록 이동 위치를 감지하는 위치감지센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 이송장치.
The method of claim 7, wherein the position detecting unit
An installation block arranged on the installation bracket in a horizontal direction;
A sensing plate provided on the connection bracket; And
And a position detecting sensor for detecting a moving position to set a reference point as the sensing plate moves in a left and right direction.
상기 설치브라켓 또는 가이드플레이트에 형성된 가이드레일;및
상기 가이드레일에 결합되어 가이드하도록 가이드플레이트 또는 설치브라켓에 구비된 가이드슬롯을 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 이송장치.
The method of claim 6, wherein the LM guide
A guide rail formed on the mounting bracket or guide plate; and
And a guide slot provided on the guide plate or the mounting bracket to guide the guide rail to the guide rail.
상기 안착이송벨트는 상기 가이드플레이트에 구비된 장력조절부에 의해 장력이 조절되는 것을 특징으로 하는 패널 이송장치.
The method of claim 1,
The seat transfer belt is a panel transport apparatus, characterized in that the tension is adjusted by the tension control unit provided in the guide plate.
상기 가이드플레이트의 상하 측에 결합되는 고정플레이트;
상기 고정플레이트에 형성되는 복수의 고정롤러; 및
상기 고정롤러 사이에 배치되어 상기 고정플레이트에 형성된 장공을 따라 이동하여 장력을 조절하는 장력조절롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 이송장치.
The method of claim 10, wherein the tension control unit
A fixed plate coupled to upper and lower sides of the guide plate;
A plurality of fixed rollers formed on the fixed plate; And
And a tension adjusting roller disposed between the fixed rollers to adjust the tension by moving along the long hole formed in the fixed plate.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100102040A KR101189536B1 (en) | 2010-10-19 | 2010-10-19 | Panel transfering apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100102040A KR101189536B1 (en) | 2010-10-19 | 2010-10-19 | Panel transfering apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20120040562A KR20120040562A (en) | 2012-04-27 |
KR101189536B1 true KR101189536B1 (en) | 2012-10-16 |
Family
ID=46140437
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020100102040A KR101189536B1 (en) | 2010-10-19 | 2010-10-19 | Panel transfering apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101189536B1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101413032B1 (en) * | 2013-11-20 | 2014-07-02 | 유진디스컴 주식회사 | Touch window attaching apparatus |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1041691A (en) | 1996-07-26 | 1998-02-13 | Sanyo Electric Co Ltd | Substrate transfer device and substrate positioning device |
-
2010
- 2010-10-19 KR KR1020100102040A patent/KR101189536B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1041691A (en) | 1996-07-26 | 1998-02-13 | Sanyo Electric Co Ltd | Substrate transfer device and substrate positioning device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20120040562A (en) | 2012-04-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100935463B1 (en) | Cylinder liner washing apparatus | |
JP2007301427A (en) | Panel cleaner and method for cleaning panel | |
JP2009148699A (en) | Substrate treatment device | |
KR101614423B1 (en) | System for Cleaning Panel | |
US11449040B2 (en) | Cleaning device for display panel | |
KR101833456B1 (en) | Cleaning apparatus for profile | |
KR101189536B1 (en) | Panel transfering apparatus | |
KR20140029128A (en) | Cleaning apparatus for amoled panel | |
KR100962362B1 (en) | apparatus for cleaning substrate | |
JP6322977B2 (en) | Recording device | |
KR101186610B1 (en) | Contactless cleaning apparatus for panel | |
CN110369352A (en) | Cleaning device and substrate-cleaning method | |
JPH03283429A (en) | Cleaning device | |
JP2006245125A (en) | Substrate treatment apparatus and method therefor | |
JP4504839B2 (en) | Substrate processing equipment | |
KR20100107692A (en) | Apparatus for cleaning small size flat panel | |
KR101876979B1 (en) | Cleaning device of Conveyor belt | |
KR20060004308A (en) | Cleaning equipment and the method for photo mask | |
KR101194697B1 (en) | Decive for cleaning buffer zone in wet station | |
JP4914279B2 (en) | Substrate processing equipment | |
KR101189535B1 (en) | Dry nozzle controlling apparatus for panel | |
KR101768655B1 (en) | Drying apparatus for cleaning system of float glass | |
KR101596925B1 (en) | substrate treatment apparatus | |
JP2007217752A (en) | Etching device | |
KR20080109495A (en) | Ion air knife and cleaning system of glass using the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |