KR101184705B1 - Ｌｃｄ 패널 세정용 연마롤러 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 LCD 패널의 표면에 부착된 고착성 이물질과 유기성 이물질을 동시에 제거할 수 있는 LCD 패널 세정용 연마롤러 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 LCD 패널 세정용 연마롤러는, 샤프트(11)(11')와, 상기 샤프트(11)(11')의 외측에 완충부재를 재질로 한 탄성지지체(12)(12')와, 상기 탄성지지체(12)(12')의 외측면에 경질의 합성수지가 돌출되게 형성된 제1 연마부(13)(13')가 형성되는 LCD 세정용 연마롤러에 있어서, 연질의 합성수지로 형성되고, 돌출된 상기 제1 연마부(13)(13')들 사이에 형성된 홈을 메우도록 형성되는 제2 연마부(14)(14')가 더 구비되어 이루어지고, 제1 연마부(13)(13')까지 제조된 반제품의 연마롤러를 몰드의 내부에 삽입하고 수지를 주입 발포하여 제2 연마부(14)(14')를 성형하여 제조한다.
LCD 패널, 세정, 연마, 롤러, 고착성 이물질, 유기성 이물질

Description

ＬＣＤ 패널 세정용 연마롤러 및 그 제조방법{POLISHING ROLLER FOR CLEANING LCD PANEL AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME }
본 발명은 LCD 패널의 세정에 사용되는 연마롤러에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 LCD 패널의 표면에 부착된 고착성 이물질과 유기성 이물질을 동시에 제거할 수 있는 LCD 패널 세정용 연마롤러 및 그 제조방법에 관한 것이다.
LCD 패널의 제조과정중에는 절단된 LCD 패널의 표면에 잔존하는 이물질은 제거하는 세정 또는 연마 과정이 수반되고, 구체적인 수단의 하나로서 회전하는 연마롤러를 이용하여 LCD 패널의 표면에 잔존하는 이물질을 제거하고 있다.
종래 기술에 따른 연마롤러를 살펴보면, 도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이, 샤프트(111)와, 상기 샤프트(111)의 둘레에 원통형으로 구비되는 탄성지지체(112)와, 상기 탄성지지체(112)의 둘레에 구비되고 연마, 세정작업을 수행하는 연마부(113)로 이루어진다. 상기 연마부(113)는 경질의 합성수지를 이용하여 박판형 플랩의 형태로 돌출되게 형성된다. 상기 연마롤러(100)는 회전에 의해서 플랩의 외측면이 상기 LCD 패널(1)의 표면에 잔존하는 이물질을 제거한다.
또한, 종래기술에 따른 연마롤러의 다른 형태로서, 도 2에 도시된 바와 같 이, 샤프트(111')의 외측에 구비된 탄성지지체(112')에 도트의 형태로 연마부(113)(113')가 돌출되게 연마롤러(100')가 형성될 수도 있다.
그러나, 상기와 같은 종래 기술에 따른 연마롤러(100)(100')에 의하면, 도 3에 도시된 바와 같이 연마롤러(100)(100')의 표면에 형성된 연마부(113)(113')에 의해서 고착성 이물질(2)을 제거하기에는 유리하나, 도 4에 도시된 바와 같은 유기성 이물질(3)은 효과적으로 제거하지 못하는 문제점이 있다.
즉, 고착성 이물질(2)의 한 예로서 LCD 패널(1)을 절단하는 과정에서 발생하는 글래스 칩(glass chip) 등은 LCD 패널의 표면에서 높이를 가지고 돌출되므로 경질의 연마부에 의해서 용이하게 제거할 수 있지만, 오일, 지문, 물방울, 유기성 용제 등의 자국과 같은 유기성 이물질(3)은 거의 높이를 가지고 있지 않는 상태로 LCD 패널(1)의 표면에 존재하므로 종래기술에 따른 연마롤러(100)(100')에 의해서는 유기성 이물질(3)을 제거할 수 없는 문제점이 있다. 상기 탄성지지체(112)(112')가 연마부(113)(113')를 LCD 패널(1)로 지지하지만, 연마부(113)(113')가 LCD 패널(1)에 밀착되지 않아, 유기성 이물질(3)이 완전히 제거되지 않는다. 상기 LCD 패널(1)과 연마부(113)(113')는 서로 접촉을 하게 되지만 서로 경질의 재료이므로 완벽하게 선접촉 또는 면접촉이 되지 않고 부분적으로 이격되게 되고, 서로 이격되는 부분에 유기성 이물질(3)이 존재하는 경우에 효율적으로 세척되지 않는 문제가 발생한다.
따라서, 종래기술에 따른 LCD 패널 세정용 연마롤러(100)(100')에 의하면, 경질의 수지로 된 연마부(113)(113')에 의해 고착성 이물질(2)의 제거에는 유리하 였지만, LCD 패널(1)의 표면에 고착성 이물질(2)과 함께 존재하는 유기성 이물질(3)은 효과적으로 제거하지 못하는 문제점이 있다.
이러한 문제점은 LCD 패널(1)뿐만 아니라, 다른 평판 디스플레이의 제조나, 반도체 웨이퍼의 가공 또는 각종 유리기판 등의 세정, 연마 시에도 발생한다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로서, LCD 패널의 표면에 부착된 고착성 이물질과 더불어 유기성 이물질도 동시에 제거할 수 있는 LCD 패널 세정용 연마롤러 및 그 제조방법을 제공하는데 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 LCD 패널 세정용 연마롤러는, 샤프트와, 상기 샤프트의 외측에 완충부재를 재질로 한 탄성지지체와, 상기 탄성지지체의 외측면에 경질의 합성수지가 서로 간격을 두고 돌출되게 형성되는 복수개의 제1 연마부가 형성되는 LCD 세정용 연마롤러에 있어서, 연질의 합성수지로 형성되고, 돌출된 상기 제1 연마부들 사이에 형성된 홈을 메우도록 형성되는 제2 연마부가 더 구비되는 것을 특징으로 한다.
상기 제2 연마부는, 다공성의 발포 폴리우레탄 수지인 것이 바람직하다.
상기 제1 연마부와 제2 연마부는 Al2O3, SiC, ZrO2, CeO2, SiO2, Fe2O3, Cr2O3, CBN, 합성다이아몬드 파우더 중에서 선택된 하나 이상의 연마제를 포함할 수 있다.
아울러, 상기 제1 연마부와 제2 연마부에는 상기 샤프트의 둘레방향을 따라 배수홈이 형성되도록 한다.
한편, 상기 제1 연마부는, 상기 샤프트의 길이방향에 대하여 10~45도 경사지도록 형성된 박판형 플랩으로 이루어지고, 상기 박판형 플랩이 샤프트의 길이방향 과 원주방향을 따라 간격을 두고 배치되는 것을 특징으로 한다.
상기 제1 연마부는, 상기 탄성지지체의 표면에 다각형의 형태로 돌출되고, 웨이브패턴으로 반복 형성할 수도 있다.
한편, 본 발명에 따른 LCD 패널 세정용 연마롤러의 제조방법은, 제1 연마부가 돌출되게 형성된 반제품의 롤러형 연마롤러를 몰드의 내부에 장착시키는 반제품 장착단계와, 상기 몰드의 내부로 수지를 주입시키는 수지주입단계와, 상기 몰드의 내부로 주입된 수지를 발포시켜, 상기 제1 연마부들 사이를 수지가 메우도록 하는 수지발포단계와, 발포된 수지를 경화시키고 숙성시키는 경화 및 숙성단계와, 몰드를 제거하고, 연마롤러를 배출하는 탈형단계와, 상기 연마롤러의 외표면에 제1 연마부와 제2 연마부가 교번하여 노출되도록 상기 연마롤러의 외표면을 드레싱하는 드레싱단계와, 상기 연마롤러의 외표면에 상기 연마롤러의 회전방향을 따라 배수홈이 형성되도록 하는 배수홈 형성단계를 포함한다.
상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 LCD 패널 세정용 연마롤러에 따르면, 연마롤러의 표면에 교번하여 형성되는 경질의 제1 연마부와 연질의 제2 연마부가 연속적으로 LCD 패널의 표면에 접함으로써, 제1 연마부가 세정하는 못하는 유기성 이물질을 제2 연마부가 세정함으로써, 별도의 세정, 연마공정없이 한 번에 고착성 이물질과 유기성 이물질을 제거할 수 있다.
또한, 종래의 LCD 패널을 세정, 연마하는 설비를 그대로 사용할 수 있고, 소모성인 연마롤러를 본 발명에 따른 연마롤러로 변경하는 것으로도 고착성 이물질과 유기성 이물질을 한 번에 제거할 수 있다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명에 따른 LCD 세정용 연마롤러의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 LCD 세정용 연마롤러(10)는, 샤프트(11)와, 상기 샤프트(11)의 외측에 완충부재를 재질로 한 탄성지지체(12)와, 상기 탄성지지체(12)의 외측면에 경질의 합성수지가 돌출되게 형성된 제1 연마부(13)와, 연질의 합성수지로 형성되고, 돌출된 상기 제1 연마부(13)들 사이에 형성된 홈을 메우도록 형성되는 제2 연마부(14)를 포함한다.
샤프트(11)는 LCD 패널 세정 장치에 장착되어 회전할 수 있도록 형성되어, 연마롤러(10)가 회전되도록 한다.
탄성지지체(12)는 상기 샤프트(11)의 외측에 통형(筒形)으로, 즉 상기 샤프트(11)를 둘러싸는 형태로 구비되어, 후술되는 제1 연마부(13)와 제2 연마부(14)가 LCD 패널(1)을 세정, 연마하는 동안, 제1 연마부(13)와 제2 연마부(14)를 LCD 패널(1)로 밀착시키는 역할을 하며, 이를 위해서, 상기 탄성지지체(12)는 발포 합성수지를 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.
제1 연마부(13)는 상기 탄성지지체(12)의 외표면 전체에 대하여 외표면으로부터 돌출되는 형태로 형성된다. 상기 제1 연마부(13)의 구체적인 형태의 한 예로서, 도 5에 도시된 바와 같이, 박판형 플랩의 형태로 형성될 수 있다. 상기 제1 연마부(13)는 박판형의 플랩이 탄성지지체(12)의 외표면 전체에 돌출되게 형성된다.
한편, 상기와 같이 제1 연마부(13)를 박판형 플랩의 형태로 형성하는 경우에는 상기 탄성지지체(12)의 외표면에 샤프트(11)의 축방향을 따라 분할배치되도록 하고, 이러한 배열이 샤프트(11)의 둘레방향으로도 형성되도록 하여 상기 탄성지지체(12)의 외표면 전체에 박판형 플랩 형태의 제1 연마부(13)가 형성하여, 세정제나 연마제 등의 유동 및 배출을 용이하게 한다.
아울러, 상기 제1 연마부(13)를 상기 샤프트(11)의 길이방향으로 따라 10~45도의 각도로 경사지게 배열함으로써, LCD 패널(1)에 진입시 안정을 도모하도록 한다.
제2 연마부(14)는 상기 제1 연마부(13)들 사이의 홈을 메우도록 형성된다. 상기 제2 연마부(14)는 경질의 합성수지로 형성되는 제1 연마부(13)에 비하여, 연질의 합성수지로 형성된다. 상기 탄성지지체(12)의 외표면에 1차적으로 제1 연마부(13)가 간격을 두고 돌출된 상태에서 상기 제2 연마부(14)가 제1 연마부(13)들의 사이를 메움으로써, 탄성지지체(12)의 외표면이 제1 연마부(13)와 제2 연마부(14)로 형성된다. 상기 제1 연마부(13)와 제2 연마부(14)가 교번하여 LCD 패널(1)에 접촉하여 LCD 패널(1)의 표면을 연마, 세정하므로, 상기 제1 연마부(13)는 글래스 칩과 같은 고착성 이물질을 제거하고, 제2 연마부(14)는 오일, 지문, 워터마크 등과 같은 유기성 이물질을 제거할 수 있다.
상대적으로 경도가 높은 제1 연마부(13)는 회전하면서 LCD 패널(1)에 접촉됨으로써, LCD 패널(1)의 표면에 높이를 가지고 부착된 고착성 이물질과 부딪히면서 고착성 이물질(2)을 효과적으로 제거할 수 있으나, 실질적으로 높이가 없는 유기성 이물질(3)의 제거에는 효과적이지 못하게 된다.
따라서, 제1 연마부(13) 사이를 제2 연마부(14)로 메워, 상기 제1 연마부(13)와 순차적으로 LCD 패널(1)에 접촉하도록 함으로써, 마치 상기 제2 연마부(14)가 LCD 패널(1)을 문지르는 것과 같은 작용을 하므로, LCD 패널(1)의 표면에 부착된 유기성 이물질(3)을 제거할 수 있다.
상기 제2 연마부(14)는 연마롤러(10)가 세정용으로 사용될 때에는 내부에 다수의 미세한 기포를 포함한 다공성의 발포 폴리우레탄 수지를 재질로 하고, 연마롤러(10)가 연마용으로 사용될 때에는 폴리우레탄 수지에 Al2O3, SiC, ZrO2, CeO2, SiO2, Fe2O3, Cr2O3, CBN, 합성다이아몬드 파우더 등과 같은 연마제가 함유되도록 한다. 상기 연마제는 제1 연마부(13)에도 포함될 수 있다.
배수홈(15)은 상기 제1 연마부(13)와 제2 연마부(14)에 의해서 형성된 연마롤러(10)의 외표면에 형성된다. 상기 배수홈(15)은 상기 샤프트(11)의 길이방향으로도 형성되는 것이 아니라, 대략적으로 연마롤러(10)의 둘레방향으로 형성된다.
특히, 상기 배수홈(15)의 제1 연마부(13)가 배열된 방향으로 형성되는 것이 바람직하다. 상기 배수홈(15)은 도 5에 도시된 바와 같이, 박판형 플랩의 형태로 형성되고, 서로 샤프트(11)의 길이방향으로 인접된 제1 연마부(13)의 사이에 형성되는 간극을 샤프트(11)의 둘레방향으로 연통하도록 형성된다.
상기와 같은 구성을 갖는 LCD 세정용 연마롤러(10)를 이용하여 LCD 패널(1) 을 연마, 세정하는 과정을 설명하기로 한다.
LCD 패널(1)이 장착된 디스플레이 장치를 제조하는 과정중에, LCD 패널(1)은 LCD 패널(1)의 표면에 부착된 이물질을 제거하기 위해 세정장치로 인입된다. 상기 LCD 패널(1)의 표면에는 절단과정 중에 발생하는 글래스 칩과 같은 고착성 이물질(2)이 부착될 수 있고, 지문, 오일, 물 자국 등의 유기성 이물질(3)도 부착될 수 있다.
상기 LCD 패널(1)은 본 발명에 따른 LCD 패널 세정용 연마롤러(10)가 구비된 세정장치를 통과하면서, 연마롤러(10)의 연마, 세정 작용에 의해 LCD 패널(1)에 부착된 고착성 이물질(2)과 유기성 이물질(3)이 제거된다. 즉, LCD 패널(1)의 표면에 부착된 고착성 이물질(2)은 경질의 합성수지로 된 제1 연마부(13)가 마치 쳐내듯이 LCD 패널(1)의 표면으로부터 제거되고, 유기성 이물질(3)은 연질의 합성수지로 된 제2 연마부(14)가 마치 문지르듯이 LCD 패널(1)의 표면에서 제거된다.
이때, 유기성 이물질(3)은 앞서 언급한 바와 같이, 제1 연마부(13)에 의해서는 쉽게 제거되지 않는데, 도 7에 도시된 바와 같이, 제2 연마부(14)가 LCD 패널(1)에 밀착되면서, LCD 패널(1)의 표면에 부착된 유기성 이물질(3)을 효과적으로 제거할 수 있다.
도 6을 참조로 하여, 본 발명에 따른 LCD 세정용 연마롤러(10')의 다른 실시예를 설명하기로 한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 LCD 세정용 연마롤러(10')는, 샤프트(11')와, 상기 탄성지지체(12')의 외측에 구비되는 발포 합성수지 재질의 탄성지지체(12')와, 상기 탄성지지체(12')의 외표면에 도트의 형태로 돌출되게 형성되는 제1 연마부(13')와, 연질의 합성수지로 이루어져 상기 제1 연마부(13')들 사이의 홈을 메우는 제2 연마부(14')를 포함한다.
본 실시예에서의 샤프트(11')와 탄성지지체(12')의 구성은 앞선 실시예의 샤프트(11)와 탄성지지체(12)의 구성와 동일하므로 자세한 설명은 생략하기로 한다.
제1 연마부(13')는 경질의 합성수지로 상기 탄성지지체(12')의 표면에 마름모꼴과 같은 다각형의 도트 형태로 돌출되게 형성되어, 상기 탄성지지체(12')의 표면에 웨이브 패턴으로 배열된다. 상기 제1 연마부(13')는 경질의 LCD 패널(1)의 표면에 부착된 고착성 이물질(2)의 제거에 유리하도록 앞선 실시예의 제1 연마부(13)와 동일한 재질로 형성되되, 다각형의 형태로 탄성지지체(12')의 표면에서 돌출되게 형성되고, 탄성지지체(12')의 표면상에 웨이브 패턴으로 배열되는 것이다.
제2 연마부(14')는 서로 인접되게 탄성지지체(12')로부터 돌출되게 형성된 제1 연마부(13')들 사이의 홈을 메우도록 한다. 상기 제2 연마부(14')도 앞선 실시예서의 제2 연마부(14)와 같은 연질의 합성수지 재질로 이루어져 제1 연마부(13') 사이의 홈을 메워, 상기 제1 연마부(13')에 의해서 쉽게 제거되지 않는 LCD 패널(1) 상의 유기성 이물질(3)을 제거하도록 한다.
한편, 상기 제1 연마부(13')가 웨이브 패턴으로 탄성지지체(12')의 표면상에 배열되므로, 서로 실질적으로 수직하게 교차하는 2방향의 홈이 형성되는데, 일방향의 홈에는 연질의 합성수지를 채워 제2 연마부(14')가 형성될 수 있도록 하고, 다 른 일방향의 홈은 배수홈(15')이 되도록 하는 것이 바람직하다.
상기 연마롤러(10')를 이용하여 LCD 패널(1)을 연마, 세정할 때에 상기 배수홈(15')을 통하여 세정액, 연마액 등이 용이하게 배출될 수 있도록 한다.
이하에서는 도 8을 참조로 하여, 본 발명에 따른 LCD 패널 세정용 연마롤러의 제조방법을 설명하기로 한다.
본 발명에 따른 LCD 패널 세정용 연마롤러의 제조방법은, 몰드의 내부에 제1 연마부가 돌출되게 형성된 연마롤러를 장착시키는 반제품 장착단계(S110)와, 상기 몰드의 내부로 수지를 주입시키는 수지주입단계(S120)와, 상기 몰드의 내부로 주입된 수지를 발포시켜, 상기 제1 연마부들 사이를 수지가 메우도록 하는 수지발포단계(S130)와, 발포된 수지를 경화시키고 숙성시키는 경화 및 숙성단계(S140)와, 몰드를 제거하고, 연마롤러를 배출하는 탈형단계(S150)와, 상기 연마롤러의 외표면을 드레싱하여, 상기 연마롤러의 외표면에 제1 연마부와 제2 연마부가 교번하여 노출되도록 하는 드레싱단계(S160)와, 상기 연마롤러의 외표면에 상기 연마롤러의 회전방향을 따라 배수홈이 형성되도록 하는 배수홈 형성단계(S170)를 포함한다.
한편, 본 발명에 따른 LCD 패널 세정용 연마롤러의 제조방법은, 앞서 설명한 두 실시예의 롤러형의 연마롤러(10)(10')에 공통적으로 적용될 수 있다.
장착단계(S110)는 제1 연마부(13)(13')까지 가공된 연마롤러(10)(10')를 몰드의 내부에 장착시키는 단계이다. 탄성지지체(12)(12')의 외표면에 박판형 플랩 또는 도트형태로 제1 연마부(13)(13')가 돌출되게 형성된 연마롤러의 반제품을 몰 드의 내부에 장착한다. 이때, 상기 몰드의 일측에는 벤트홀을 형성함으로써, 폴리우레탄 수지의 발포시 몰드 내부의 공기가 외부로 배출되도록 함으로써, 연마롤러(10)(10')의 제2 연마부(14)(14')를 형성하는 과정에서 빈 공간이 없이 고르게 발포할 수 있도록 한다. 반제품 상태의 연마롤러가 몰드의 내부에 장착된 상태에서는 연마롤러(10)(10')의 외주면과 몰드의 내주면 사이에 공간이 형성되고, 그 사이로 수지가 주입되어 제2 연마부(14)(14')를 형성하게 된다.
수지주입단계(S120)에서는 상기 몰드의 내부로 제2 연마부(14)(14')가 될 수지를 주입시킨다. 예컨대, 상기 연마롤러(10)(10')가 세정용으로 사용될 것이면 폴리우레탄 수지만을 주입하고, 연마용으로 될 것이라면 연마제를 함유한 폴리우레탄 수지를 몰드의 내부로 주입시키는 것이다.
수지발포단계(S130)에서는 상기 몰드의 내부로 주입된 수지를 발포시켜 상기 몰드와 제1 연마부(13)(13')가 형성된 반제품의 연마롤러(10)(10') 사이의 공간을 메우도록 한다. 수지는 몰드의 내부에서 발포하면서, 몰드와 제1 연마부(13)(13') 사이의 공간을 메우고, 미세한 기포가 고르게 분포함으로써, 탄력성이 있는 상태가 되어 제2 연마부(14)(14')의 역할을 수행 하게된다.
상기와 같이, 몰드의 내부에서 수지가 발포되면, 발포된 수지는 몰드의 내부에서 일정한 시간동안 경화되고 숙성되도록 한다(S140).
몰드의 내부에서 수지의 경화 및 숙성이 완료되면, 탈형단계(S150)가 수행된다. 즉, 몰드를 연마롤러(10)(10')로부터 제거하여, 연마롤러(10)(10')를 외부로 배출시킨다.
이후, 상기 연마롤러(10)(10')의 표면을 드레싱하는 드레싱 단계(S160)를 수행한다. 몰드의 내부에서 수지를 발포시켜 제2 연마부(14)(14')를 형성하는 과정에서 수지의 일부가 돌출된 제1 연마부(13)(13')와 몰드 사이에 위치하여, 상기 제1 연마부(13)(13')가 외부로 노출되지 않게된다. 따라서, 드레싱을 통하여 연마롤러(10)(10')의 외표면의 일부를 제거하여, 제1 연마부(13)(13')와 제2 연마부(14)(14')가 교번하여 나타나도록 한다.
마지막으로 상기 연마롤러(10)(10')의 회전방향을 따라 세정액, 연마액이 용이하게 배출되도록 배수홈(15)(15')을 형성함(S170)으로써, 연마롤러(10)(10')의 제조가 완료된다.
한편, 상기 배수홈(15)(15')은 상기와 같이 후가공을 통하여 형성될 수도 있지만, 상기 반제품을 몰드의 내부에 장착시키는 과정에서 미리 배수홈이 형성될 부분을 몰드에 돌출되게 형성함으로써 별도의 후가공 없이도 형성될 수도 있다.
상기와 같이, 제조된 연마롤러(10)(10')를 LCD 패널을 비롯하여, 반도체 웨이퍼, 각종 유리기판 등을 세정하는 세정장치에 장착하여, 이들을 연마, 세정할 수 있다.
도 1a 및 도 1b는 종래 기술에 따른 LCD 패널 세정용 연마롤러의 사시도 및 단면도.
도 2는 종래 기술의 다른 형태에 따른 LCD 패널 세정용 연마롤러의 사시도 및 단면도.
도 3은 종래 기술의 LCD 패널 세정용 연마롤러로 고착성 이물질이 부착된 LCD 패널의 표면을 세정, 연마하는 과정을 도시한 확대단면도.
도 4는 종래 기술의 LCD 패널 세정용 연마롤러로 유기성 이물질이 부착된 LCD 패널의 표면을 세정, 연마하는 과정을 도시한 확대단면도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 LCD 패널 세정용 연마롤러의 사시도.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 LCD 패널 세정용 연마롤러의 사시도.
도 7은 본 발명의 LCD 패널 세정용 연마롤러를 이용하여 유기성 이물질이 부착된 LCD 패널의 표면을 세정, 연마하는 과정을 도시한 확대단면도.
도 8은 본 발명에 따른 LCD 패널 세정용 연마롤러의 제조방법을 도시한 순서도.
* 도면의 주요 부분에 대한 설명 *
1 : LCD 패널 2 : 고착성 이물질
3 : 유기성 이물질 10, 10' : 연마롤러
11, 11' : 샤프트 12, 12' : 탄성지지체
13, 13' : 제1 연마부 14, 14' : 제2 연마부
15, 15' : 배수홈 100, 100' : 연마롤러
111, 111' : 샤프트 112, 112' : 탄성지지체
113, 113' : 연마부

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  7. 표면에 다각형 형태의 도트가 복수로 돌출되거나 중심에서 둘레방향으로 원호형상으로 복수 개가 돌출되는 연마부들을 갖는 LCD 세정용 연마롤러의 제조방법에 있어서,
    복수의 경질의 제1 연마부가 돌출되게 형성되는 롤러형 연마롤러를 성형하되, 상기 복수의 제1 연마부의 사이에는 일정 공간이 형성되는 반제품 성형단계와,
    상기 반제품 롤러형 연마롤러를 몰드의 내부에 장착시키는 반제품 장착단계와,
    상기 몰드의 내부로 수지를 주입시키는 수지주입과정과, 주입된 수지를 발포시켜 상기 제1 연마부들 사이의 공간에 수지가 메우도록 하는 수지발포과정과, 발포된 수지를 경화 및 숙성시키는 경화 및 숙성과정과, 상기 몰드를 제거하여 연마롤러를 배출하는 탈형과정을 포함하는 연질의 제2 연마부 형성단계와,
    상기 연마롤러의 외표면에 상기 제1 연마부와 제2 연마부가 교번하여 노출되도록 상기 연마롤러의 외표면을 드레싱하는 드레싱단계와,
    상기 연마롤러의 외표면에 상기 연마롤러의 회전방향을 따라 배수홈이 형성되도록 하는 배수홈 형성단계를 포함하는 LCD 세정용 연마롤러의 제조방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH10249711A (ja) * 1997-03-17 1998-09-22 Internatl Business Mach Corp <Ibm> Ｃｍｐ用複合研磨パッド
JP2005230988A (ja) * 2004-02-20 2005-09-02 Sankyo Rikagaku Co Ltd 回転砥石
JP2008288316A (ja) * 2007-05-16 2008-11-27 Toyo Tire & Rubber Co Ltd 研磨パッドの製造方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10249711A (ja) * 1997-03-17 1998-09-22 Internatl Business Mach Corp <Ibm> Ｃｍｐ用複合研磨パッド
JP2005230988A (ja) * 2004-02-20 2005-09-02 Sankyo Rikagaku Co Ltd 回転砥石
JP2008288316A (ja) * 2007-05-16 2008-11-27 Toyo Tire & Rubber Co Ltd 研磨パッドの製造方法

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