KR101182316B1 - Liquid Crystal Display and Method for Manufacturing the Same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 하부 기판에 대응되는 칼럼 스페이서의 표면에 홈을 만들고 상기 홈을 통해 하부 기판과의 체결을 강화하여 불량을 개선한 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명의 액정 표시 장치는 서로 대향된 제 1 기판 및 제 2 기판과, 상기 제 1 기판 상에 서로 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인과, 상기 제 1 기판 상의 단차부에 대응되어, 상기 제 2 기판 상에 형성되며, 상기 단차와 대응시 대응되는 제 1 면이 상기 단차의 대응면보다 크고, 상기 제 1 면에 상기 단차가 들어오는 홈을 구비한 제 1 칼럼 스페이서 및 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.

Figure R1020050092258

십자형 홈, 돌기, 칼럼 스페이서, 눌림 테스트, 터치 불량, 하프 톤 마스크, 보상 패턴, 회절 노광 마스크

The present invention relates to a liquid crystal display device and a method of manufacturing the same, which improve a defect by making a groove in a surface of a column spacer corresponding to a lower substrate and strengthening a fastening with the lower substrate through the groove. A first substrate and a second substrate facing each other, a gate line and a data line crossing each other on the first substrate to define a pixel region, and a step portion on the first substrate, A first column spacer formed between the first substrate and the second substrate, the first column spacer having a groove that is larger than the corresponding surface of the step and having the step in which the step enters the first surface. Characterized by including a liquid crystal layer.

Figure R1020050092258

Cross Recess, Groove, Column Spacer, Press Test, Bad Touch, Halftone Mask, Compensation Pattern, Diffraction Exposure Mask

Description

액정 표시 장치 및 이의 제조 방법{Liquid Crystal Display and Method for Manufacturing the Same}Liquid Crystal Display and Method for Manufacturing the Same

도 1은 칼럼 스페이서를 포함하는 액정 표시 장치를 나타낸 단면도1 is a cross-sectional view of an LCD including a column spacer.

도 2a 및 도 2b는 칼럼 스페이서를 포함하는 액정 표시 장치의 터치 불량을 나타낸 평면도 및 단면도2A and 2B are plan and cross-sectional views illustrating a touch failure of a liquid crystal display including a column spacer.

도 3은 중력 불량이 발생된 액정 표시 장치를 나타낸 단면도3 is a cross-sectional view of a liquid crystal display device in which gravity failure occurs.

도 4a는 본 발명의 액정 표시 장치의 돌기 구조를 나타내는 단면도4A is a cross-sectional view illustrating a protrusion structure of the liquid crystal display of the present invention.

도 4b는 돌기와 칼럼 스페이서가 대응되는 모습을 구체적으로 나타낸 단면도4B is a cross-sectional view illustrating in detail a state in which protrusions and column spacers correspond to each other.

도 5는 본 발명의 액정 표시 장치를 나타낸 평면도5 is a plan view showing a liquid crystal display of the present invention.

도 6은 도 5의 박막 트랜지스터 부위 및 제 1, 제 2 칼럼 스페이서를 나타낸 단면도6 is a cross-sectional view illustrating a thin film transistor region and first and second column spacers of FIG. 5.

도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 표시 장치를 나타낸 단면도7 is a cross-sectional view of a liquid crystal display according to a first exemplary embodiment of the present invention.

도 8은 도 7의 칼럼 스페이서를 밑에서 바라보았을 때의 평면도8 is a plan view when the column spacer of FIG. 7 is viewed from below.

도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치에 있어서, 칼럼 스페이서와 이에 대응되는 돌기를 나타낸 단면도9 is a cross-sectional view illustrating a column spacer and protrusions corresponding thereto in the liquid crystal display according to the second exemplary embodiment of the present invention.

도 10은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치를 나타낸 단면도10 is a cross-sectional view of a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 11은 도 10의 칼럼 스페이서를 밑에서 바라보았을 때의 평면도FIG. 11 is a plan view when the column spacer of FIG. 10 is viewed from below.

도 12는 도 10의 돌기와 이에 대응되는 칼럼 스페이서를 자세히 나타낸 단면도12 is a cross-sectional view illustrating in detail the protrusions and the column spacer corresponding to those of FIG. 10.

도 13은 본 발명의 칼럼 스페이서의 형성을 위한 마스크를 나타낸 평면도13 is a plan view showing a mask for forming the column spacer of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호 설명*Description of the Related Art [0002]

100 : 제 1 기판 101 : 게이트 라인100: first substrate 101: gate line

101a : 게이트 전극 102 : 데이터 라인101a: gate electrode 102: data line

102a : 소오스 전극 102b : 드레인 전극102a: source electrode 102b: drain electrode

103 : 화소 전극 103a : 제 1 스토리지 전극103: pixel electrode 103a: first storage electrode

104 : 공통 전극 104a, 104c : 공통 라인104: common electrode 104a, 104c: common line

104b : 제 2 스토리지 전극 105 : 게이트 절연막104b: second storage electrode 105: gate insulating film

106 : 보호막 107b : 보상 패턴106: protective film 107b: compensation pattern

120 : 돌기 120a : 반도체층 패턴120: protrusion 120a: semiconductor layer pattern

120b : 소오스/드레인 금속층 200 : 제 2 기판120b: source / drain metal layer 200: second substrate

201 : 블랙 매트릭스층 202 : 컬러 필터층201: black matrix layer 202: color filter layer

203 : 오버코트층 210 : 제 1 칼럼 스페이서203: overcoat layer 210: first column spacer

220 : 제 2 칼럼 스페이서 230 : 제 1 칼럼 스페이서220: second column spacer 230: first column spacer

240 : 제 2 칼럼 스페이서 240a : 홈240: second column spacer 240a: groove

250 : 액정층250: liquid crystal layer

300 : 마스크 301 : 투과부300: mask 301: transmissive portion

302 : 반투과부 303 : 차광부302: transflective part 303: shading part

본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로 특히, 하부 기판에 대응되는 칼럼 스페이서의 표면에 홈을 만들고 상기 홈을 통해 하부 기판과의 체결을 강화하여 불량을 개선한 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, to a liquid crystal display device and a method of manufacturing the same, which improve a defect by making a groove in a surface of a column spacer corresponding to a lower substrate and strengthening a fastening with the lower substrate through the groove. .

정보화 사회가 발전함에 따라 표시 장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시 장치로 활용되고 있다.(PDP), Electro Luminescent Display (ELD), Vacuum Fluorescent (VFD), and the like have been developed in recent years in response to the demand for display devices. Display) have been studied, and some of them have already been used as display devices in various devices.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징 및 장점으로 인하여 이동형 화상 표시 장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송 신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비젼 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, LCD is the most widely used as the substitute for CRT (Cathode Ray Tube) for mobile image display device because of its excellent image quality, light weight, thinness, and low power consumption. In addition to the use of the present invention has been developed in various ways such as a television and a computer monitor for receiving and displaying broadcast signals.

이와 같은 액정 표시 장치가 일반적인 화면 표시 장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비 전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.In order to use such a liquid crystal display as a general screen display device in various parts, it is a matter of how high quality images such as high definition, high brightness and large area can be realized while maintaining the characteristics of light weight, thinness and low power consumption. Can be.

일반적인 액정 표시 장치는, 일정 공간을 갖고 합착된 제 1 기판 및 제 2 기판과, 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성되어 있다.The general liquid crystal display device is comprised from the 1st board | substrate and the 2nd board | substrate bonded by the fixed space, and the liquid crystal layer injected between the said 1st board | substrate and the 2nd board | substrate.

보다 구체적으로 설명하면, 상기 제 1 기판에는 화소 영역을 정의하기 위하여 일정한 간격을 갖고 일방향으로 복수개의 게이트 라인과, 상기 게이트 라인에 수직한 방향으로 일정한 간격을 갖고 복수개의 데이터 라인이 배열된다. 그리고, 상기 각 화소 영역에는 화소 전극이 형성되고, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차하는 부분에 박막 트랜지스터가 형성되어 상기 게이트 라인에 인가되는 신호에 따라 상기 데이터 라인의 데이터 신호를 상기 각 화소 전극에 인가한다.In more detail, the first substrate has a plurality of gate lines in one direction and a plurality of data lines at regular intervals in a direction perpendicular to the gate line to define a pixel area. A pixel electrode is formed in each of the pixel regions, and a thin film transistor is formed at a portion where the gate line and the data line cross each other, and the data signal of the data line is applied to each pixel electrode according to a signal applied to the gate line. To apply.

그리고, 상기 제 2 기판에는 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층이 형성되고, 상기 각 화소 영역에 대응되는 부분에는 색상을 표현하기 위한 R, G, B 컬러 필터층이 형성되고, 상기 컬러 필터층위에는 화상을 구현하기 위한 공통 전극이 형성되어 있다.In addition, a black matrix layer is formed on the second substrate to block light in portions other than the pixel region, and R, G, and B color filter layers are formed on portions corresponding to the pixel regions. The common electrode is formed on the color filter layer to implement an image.

상기와 같은 액정 표시 장치는 상기 화소 전극과 공통 전극 사이의 전계에 의해 상기 제 1, 제 2 기판 사이에 형성된 액정층의 액정이 배향되고, 상기 액정층의 배향 정도에 따라 액정층을 투과하는 빛의 양을 조절하여 화상을 표현할 수 있다.In the liquid crystal display as described above, the liquid crystal of the liquid crystal layer formed between the first and second substrates is aligned by an electric field between the pixel electrode and the common electrode, and the light passes through the liquid crystal layer according to the degree of alignment of the liquid crystal layer. You can express the image by adjusting the amount of.

이와 같은 액정 표시 장치를 TN(Twisted Nematic) 모드 액정 표시 장치라 하며, 상기 TN 모드 액정 표시 장치는 시야각이 좁다는 단점을 가지고 있어 이러한 TN 모드의 단점을 극복하기 위한 횡전계(IPS: In-Plane Switching) 모드 액정 표시 장치가 개발되었다.Such a liquid crystal display is called a twisted nematic (TN) mode liquid crystal display, and the TN mode liquid crystal display has a disadvantage of having a narrow viewing angle. Switching mode liquid crystal display device has been developed.

상기 횡전계(IPS) 모드 액정 표시 장치는 제 1 기판의 화소 영역에 화소 전극과 공통 전극을 일정한 거리를 갖고 서로 평행하게 형성하여 상기 화소 전극과 공통 전극 사이에 횡 전계(수평 전계)가 발생하도록 하고 상기 횡 전계에 의해 액정층이 배향되도록 한 것이다.In the transverse electric field (IPS) mode liquid crystal display, a pixel electrode and a common electrode are formed parallel to each other at a predetermined distance in a pixel area of the first substrate so that a transverse electric field (horizontal electric field) is generated between the pixel electrode and the common electrode. The liquid crystal layer is aligned by the lateral electric field.

한편, 이와 같이 형성되는 액정 표시 장치의 제 1, 제 2 기판 사이에는 액정층이 형성되는 일정한 간격을 유지하기 위해 스페이서가 형성된다. Meanwhile, spacers are formed between the first and second substrates of the liquid crystal display device formed as described above to maintain a constant gap between the liquid crystal layers.

이러한 스페이서는 그 형상에 따라 볼 스페이서 또는 칼럼 스페이서로 나뉘어진다. Such spacers are divided into ball spacers or column spacers according to their shape.

볼 스페이서는 구 형상이며, 제 1, 제 2 기판 상에 산포하여 제조되고, 상기 제 1, 제 2 기판의 합착 후에도 움직임이 비교적 자유롭고, 상기 제 1, 제 2 기판과의 접촉 면적이 작다.The ball spacer has a spherical shape, is distributed and manufactured on the first and second substrates, the movement is relatively free even after the bonding of the first and second substrates, and the contact area with the first and second substrates is small.

반면, 칼럼 스페이서는 제 1 기판 또는 제 2 기판 상의 어레이 공정에서 형성되는 것으로, 소정 기판 상에 소정 높이를 갖는 기둥 형태로 고정되어 형성된다. 따라서, 제 1, 2 기판과의 접촉 면적이 볼 스페이서에 비하여 상대적으로 크다.On the other hand, the column spacer is formed in an array process on the first substrate or the second substrate, and is fixed in a pillar shape having a predetermined height on the predetermined substrate. Therefore, the contact area with the 1st, 2nd board | substrate is relatively large compared with a ball spacer.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 종래의 칼럼 스페이서를 구비한 액정 표시 장치에 대하여 설명한다.Hereinafter, a liquid crystal display having a conventional column spacer will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 칼럼 스페이서를 포함하는 액정 표시 장치를 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display including a column spacer.

도 1과 같이, 칼럼 스페이서를 포함하는 액정 표시 장치는 서로 대향하는 제 1 기판(30) 및 제 2 기판(40)과, 상기 제 1, 제 2 기판(30, 40) 사이에 형성된 칼 럼 스페이서(20) 및 상기 제 1, 제 2 기판(30, 40) 사이에 충진된 액정층(미도시)을 포함하여 이루어진다. As shown in FIG. 1, a liquid crystal display including a column spacer includes a column spacer formed between a first substrate 30 and a second substrate 40 facing each other, and the first and second substrates 30 and 40. And a liquid crystal layer (not shown) filled between the 20 and the first and second substrates 30 and 40.

상기 제 1 기판(30) 상에는 화소 영역을 정의하기 위해 게이트 라인(31) 및 데이터 라인(미도시)이 서로 수직으로 교차하여 배열되고, 상기 각 게이트 라인(31)과 데이터 라인이 교차하는 부분에 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되며, 각 화소 영역에는 화소 전극(미도시)이 형성된다.On the first substrate 30, the gate lines 31 and the data lines (not shown) are arranged perpendicularly to each other to define pixel regions, and the gate lines 31 and the data lines cross each other. A thin film transistor TFT is formed, and a pixel electrode (not shown) is formed in each pixel area.

상기 제 2 기판(40) 상에는 상기 화소 영역을 제외한 영역에 대응되어 블랙 매트릭스층(41)이 형성되고, 상기 데이터 라인에 평행한 세로선상의 화소 영역들에 대응되는 스트라이프 상의 컬러 필터층(42)이 형성되고, 전면에 공통 전극 또는 오버코트층(43)이 형성된다.The black matrix layer 41 is formed on the second substrate 40 to correspond to an area except the pixel area, and the color filter layer 42 on the stripe corresponding to the pixel areas on the vertical line parallel to the data line is formed. The common electrode or overcoat layer 43 is formed on the front surface.

여기서, 상기 칼럼 스페이서(20)는 상기 게이트 라인(31) 상부의 소정 위치에 대응되어 형성된다. Here, the column spacer 20 is formed corresponding to a predetermined position on the gate line 31.

또한, 상기 제 1 기판(30) 상에는 상기 게이트 라인(31)을 포함한 기판 전면에 게이트 절연막(36)이 형성되며, 상기 게이트 절연막(36)위에 보호막(37)이 형성된다. In addition, a gate insulating layer 36 is formed on the entire surface of the substrate including the gate line 31 on the first substrate 30, and a passivation layer 37 is formed on the gate insulating layer 36.

도 2a 및 도 2b는 칼럼 스페이서를 포함하는 액정 표시 장치의 터치 불량을 나타낸 평면도 및 단면도이다.2A and 2B are plan and cross-sectional views illustrating a touch failure of a liquid crystal display including a column spacer.

도 2a 및 도 2b와 같이, 상술한 종래의 칼럼 스페이서를 포함하는 액정 표시 장치는, 액정 패널(10)의 표면을 손이나 그 밖의 물건을 이용하여 소정 방향으로 터치하여 지나가게 되면, 터치된 부위에서 얼룩이 발생한다. 이러한 얼룩은 터 치시에 발생한 얼룩이라 하여 터치 얼룩이라 하며, 이와 같이 화면에서 얼룩이 관찰되기 때문에 터치 불량이라고도 한다. As shown in FIGS. 2A and 2B, when the liquid crystal display device including the above-described conventional column spacer touches the surface of the liquid crystal panel 10 in a predetermined direction using a hand or other object, the touched portion Stain occurs at Such spots are referred to as touch spots, which are called touch spots, and are also referred to as touch defects because spots are observed on the screen.

이러한 터치 불량은, 이전의 볼 스페이서의 구조에 비해 상기 칼럼 스페이서(20)와 대향하는 제 1 기판(1)간의 접촉 면적이 크기 때문에, 마찰력이 커서 나타나는 것으로 파악된다. 즉, 볼 스페이서에 비해 원기둥 형태로 형성되는 칼럼 스페이서(20)는 도 2b와 같이, 제 1 기판(1)과의 접촉 면적이 크기 때문에, 터치로 인해 제 1, 제 2 기판(1, 2)간이 쉬프트된 후, 원 상태로 복원하는데 오랜 시간이 걸리기 때문에 원 상태로 복원하기 전까지 얼룩이 잔존하게 된다.Such a touch failure is considered to be large because the contact area between the column spacer 20 and the first substrate 1 facing the column spacer 20 is larger than the structure of the previous ball spacer. That is, since the column spacer 20 formed in a cylindrical shape compared to the ball spacer has a large contact area with the first substrate 1 as shown in FIG. 2B, the first and second substrates 1 and 2 are touched. After the liver is shifted, it takes a long time to restore to the original state, so the stain remains until the original state is restored.

도 3은 중력 불량이 발생된 액정 표시 장치를 나타낸 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display device in which gravity failure occurs.

도 3과 같이, 서로 대향된 제 1, 제 2 기판(1, 2) 사이에 액정(3)이 충진되고, 상기 제 1, 제 2 기판 사이의 소정 부위에 칼럼 스페이서(20)가 형성되는 액정 표시 장치는 세워져 있는 상태로, 고온 환경에 있게 되면, 액정이 열 팽창이 일어나고 이에 따라 칼럼 스페이서(20)의 높이에 따라 셀 갭이 늘어날 경우 액정(3)이 하단부로 흘러내려 하단부가 불룩하게 관찰되어 보이는 중력 불량이 관찰된다.As shown in FIG. 3, the liquid crystal 3 is filled between the first and second substrates 1 and 2 facing each other, and the liquid crystal in which the column spacer 20 is formed at a predetermined portion between the first and second substrates. When the display device is in a standing state and is in a high temperature environment, when the liquid crystal is thermally expanded and the cell gap increases according to the height of the column spacer 20, the liquid crystal 3 flows to the lower end and the lower end is bulged. The visible gravity failure is observed.

상기와 같은 종래의 칼럼 스페이서를 포함한 액정 표시 장치는 다음과 같은 문제점이 있다.The conventional liquid crystal display including the column spacer has the following problems.

첫째, 칼럼 스페이서와 대향 기판간의 접촉 면적이 크기 때문에, 마찰력이 커서 터치시 기판이 쉬프트되었을 때, 원 상태로 복원되는데 시간이 오래 걸려 복원시간동안 터치 불량이 관찰된다.First, since the contact area between the column spacer and the opposing substrate is large, when the substrate is shifted during the touch due to the large frictional force, it takes a long time to recover to the original state, and touch failure is observed during the restoration time.

둘째, 칼럼 스페이서를 포함하는 액정 패널이 세워져있는 상태로, 고온 환경에 놓이게 되면 액정의 열팽창이 발생하고 심한 경우 칼럼 스페이서의 높이보다 더한 두께로 셀 갭이 늘어나 하측으로 액정이 흘러 하단부가 불룩하게 보이며, 시감적으로 불투명하게 보이는 현상이 관찰된다.Second, when the liquid crystal panel including the column spacer is upright, when it is placed in a high temperature environment, thermal expansion of the liquid crystal occurs. The phenomenon of visual opacity is observed.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 하부 기판에 대응되는 칼럼 스페이서의 표면에 홈을 만들고 상기 홈을 통해 하부 기판과의 체결을 강화하여 불량을 개선한 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법을 제공하는 데, 그 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve the above problems, a liquid crystal display device and a method of manufacturing the same to improve the defects by making a groove on the surface of the column spacer corresponding to the lower substrate and strengthening the fastening with the lower substrate through the groove To provide it, its purpose is.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정 표시 장치는 서로 대향된 제 1 기판 및 제 2 기판과, 상기 제 1 기판 상에 서로 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인과, 상기 제 1 기판 상의 단차부에 대응되어, 상기 제 2 기판 상에 형성되며, 상기 단차와 대응시 대응되는 제 1 면이 상기 단차의 대응면보다 크고, 상기 제 1 면에 상기 단차가 들어오는 홈을 구비한 제 1 칼럼 스페이서 및 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하여 이루어짐에 그 특징이 있다.In order to achieve the above object, a liquid crystal display of the present invention includes a first substrate and a second substrate facing each other, a gate line and a data line crossing each other on the first substrate to define a pixel region, and the first substrate. A first surface formed on the second substrate corresponding to the stepped portion on the first substrate, the first surface corresponding to the stepped portion being larger than the corresponding surface of the stepped portion, and having a groove into which the step enters the first surface; It is characterized in that it comprises one column spacer and a liquid crystal layer formed between the first substrate and the second substrate.

상기 홈은 상기 돌기보다 크게 형성된다.The groove is formed larger than the protrusion.

상기 홈의 형상은 십자형이다.The groove is cross-shaped.

또한, 동일한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정 표시 장치는 서로 대향된 제 1 기판 및 제 2 기판과, 상기 제 1 기판 상에 서로 교차하여 화소 영역을 정 의하는 게이트 라인 및 데이터 라인과, 상기 게이트 라인과 평행한 공통 라인과, 상기 게이트 라인과 데이터 라인의 교차부에는 형성된 박막 트랜지스터와, 상기 화소 영역에 형성된 화소 전극과, 상기 게이트 라인 또는 공통 라인 상에 형성된 돌기와, 상기 돌기에 대응되어 상기 제 2 기판 상에 형성되며, 상기 돌기와 대응시 대응되는 제 1 면이 상기 돌기의 대응면보다 크고, 상기 제 1 면에 상기 돌기가 들어오는 홈을 구비한 제 1 칼럼 스페이서 및 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하여 이루어짐에 또 다른 특징이 있다.In addition, the liquid crystal display device of the present invention for achieving the same object includes a first substrate and a second substrate facing each other, a gate line and a data line crossing the first substrate to define a pixel region, A thin film transistor formed at a common line parallel to the gate line, an intersection of the gate line and the data line, a pixel electrode formed at the pixel region, a protrusion formed on the gate line or the common line, and corresponding to the protrusion A first column spacer formed on a second substrate, the first surface corresponding to the protrusion being larger than the corresponding surface of the protrusion, and having a groove into which the protrusion enters the first surface; and the first substrate and the second substrate. Another feature is that the liquid crystal layer is formed between the substrates.

상기 박막 트랜지스터는 상기 게이트 라인으로부터 돌출된 게이트 전극과, 상기 데이터 라인으로부터 돌출된 소오스 전극과, 상기 소오스 전극과 소정 간격 이격된 드레인 전극 및 상기 게이트 전극 상부이며 상기 소오스/드레인 전극 하부에 형성되며, 상기 소오스 전극과 드레인 전극과 접하여 상기 소오스 전극과 드레인 전극 사이에 채널을 형성하는 반도체층을 포함하여 이루어진다.The thin film transistor may include a gate electrode protruding from the gate line, a source electrode protruding from the data line, a drain electrode spaced apart from the source electrode by a predetermined distance, and an upper portion of the gate electrode and a lower portion of the source / drain electrode. And a semiconductor layer contacting the source electrode and the drain electrode to form a channel between the source electrode and the drain electrode.

상기 돌기는 상기 반도체층과 동일층의 반도체층 패턴과 상기 소오스/드레인 전극과 동일층의 소오스/드레인 금속층이 적층되어 이루어진다.The protrusion is formed by stacking a semiconductor layer pattern of the same layer as the semiconductor layer and a source / drain metal layer of the same layer as the source / drain electrode.

상기 홈은 상기 돌기보다 크게 형성된다.The groove is formed larger than the protrusion.

상기 홈의 형상은 십자형이다.The groove is cross-shaped.

상기 화소 영역에는 상기 화소 전극과 서로 교번되는 공통 전극을 더 포함한다.The pixel region further includes a common electrode alternate with the pixel electrode.

상기 공통 전극과 상기 공통 라인은 서로 연결되어 형성된다.The common electrode and the common line are connected to each other.

상기 돌기가 형성되지 않은 상기 게이트 라인 또는 공통 라인의 소정 부위에 대응하여 상기 제 2 기판 상에 제 2 칼럼 스페이서를 더 포함한다.A second column spacer is further included on the second substrate to correspond to a predetermined portion of the gate line or the common line where the protrusion is not formed.

상기 제 2 칼럼 스페이서에 대응되는 상기 제 1 기판 상의 게이트 라인 또는 공통 라인 상에 보상 패턴을 더 구비한다.A compensation pattern is further provided on a gate line or a common line on the first substrate corresponding to the second column spacer.

상기 보상 패턴은 상기 돌기보다 낮은 두께로 형성된다.The compensation pattern is formed to a lower thickness than the protrusion.

또한, 동일한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정 표시 장치는 서로 대향된 제 1 기판 및 제 2 기판과, 상기 제 1 기판 상에 서로 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인과, 상기 게이트 라인과 평행하게 형성된 공통 라인과, 상기 게이트 라인과 데이터 라인의 교차부에는 형성된 박막 트랜지스터와, 상기 화소 영역에 형성된 화소 전극과, 상기 게이트 라인 또는 공통 라인 상에 형성된 돌기와, 상기 돌기에 대응되어 상기 제 2 기판 상에 형성되는 제 1 칼럼 스페이서와, 상기 돌기가 형성되지 않은 게이트 라인 또는 공통 라인 상에 형성된 보상 패턴과, 상기 보상 패턴에 대응되어 상기 제 2 기판 상에 형성되며, 상기 보상 패턴과 대응시 대응되는 제 1 면이 상기 보상 패턴의 대응면보다 크고, 상기 제 1 면에 상기 보상 패턴이 들어오는 홈을 구비한 는 제 2 칼럼 스페이서 및 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하여 이루어짐에 그 특징이 있다.In addition, the liquid crystal display device of the present invention for achieving the same object includes a first substrate and a second substrate facing each other, a gate line and a data line crossing the first substrate to define a pixel region, and the gate A common line formed in parallel with the line, a thin film transistor formed at an intersection of the gate line and the data line, a pixel electrode formed in the pixel region, a protrusion formed on the gate line or the common line, and corresponding to the protrusion A first column spacer formed on a second substrate, a compensation pattern formed on a gate line or a common line on which the protrusion is not formed, and a compensation pattern formed on the second substrate corresponding to the compensation pattern; In response, the corresponding first surface is larger than the corresponding surface of the compensation pattern, and the compensation pattern enters the first surface. Having a groove has its features in the yirueojim a liquid crystal layer formed between the second column spacer and the first and second substrates.

상기 박막 트랜지스터는 상기 게이트 라인으로부터 돌출된 게이트 전극과, 상기 데이터 라인으로부터 돌출된 소오스 전극과, 상기 소오스 전극과 소정 간격 이격된 드레인 전극 및 상기 게이트 전극 상부이며 상기 소오스/드레인 전극 하부에 형성되며, 상기 소오스 전극과 드레인 전극과 접하여 상기 소오스 전극과 드레인 전극 사이에 채널을 형성하는 반도체층을 포함하여 이루어진다.The thin film transistor may include a gate electrode protruding from the gate line, a source electrode protruding from the data line, a drain electrode spaced apart from the source electrode by a predetermined distance, and an upper portion of the gate electrode and a lower portion of the source / drain electrode. And a semiconductor layer contacting the source electrode and the drain electrode to form a channel between the source electrode and the drain electrode.

상기 돌기는 상기 반도체층과 동일층의 반도체층 패턴과 상기 소오스/드레인 전극과 동일층의 소오스/드레인 금속층이 적층되어 이루어진다.The protrusion is formed by stacking a semiconductor layer pattern of the same layer as the semiconductor layer and a source / drain metal layer of the same layer as the source / drain electrode.

상기 보상 패턴은 상기 반도체층과 동일층의 반도체층 패턴으로 이루어진다.The compensation pattern is formed of a semiconductor layer pattern on the same layer as the semiconductor layer.

상기 홈은 상기 보상 패턴보다 크게 형성된다.The groove is formed larger than the compensation pattern.

상기 홈의 형상은 십자형이다.The groove is cross-shaped.

상기 화소 영역에는 상기 화소 전극과 서로 교번되는 공통 전극을 더 포함한다.The pixel region further includes a common electrode alternate with the pixel electrode.

상기 공통 전극과 상기 공통 라인은 서로 연결되어 형성된다.The common electrode and the common line are connected to each other.

또한, 동일한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정 표시 장치의 제조 방버은 제 1 기판 및 제 2 기판을 준비하는 단계와, 상기 제 1 기판 상에 단차를 형성하는 단계와, 상기 제 2 기판 상에 상기 제 1 기판의 단차에 대응되는 위치에 단차가 들어올 수 있는 홈을 구비한 칼럼 스페이서를 형성하는 단계와, 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 중 어느 한 기판 상에 액정을 적하하는 단계 및 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하여 이루어짐에 그 특징이 있다.In addition, the manufacturing method of the liquid crystal display device of the present invention for achieving the same object comprises the steps of preparing a first substrate and a second substrate, forming a step on the first substrate, and on the second substrate Forming a column spacer having a groove in which a step may enter at a position corresponding to the step of the first substrate, dropping a liquid crystal onto any one of the first substrate and the second substrate, and It is characterized in that it comprises the step of bonding the first and second substrate.

상기 칼럼 스페이서를 형성하는 단계는 상기 제 2 기판 전면에 네거티브 감광성 물질을 도포하는 단계와, 상기 칼럼 스페이서가 형성되지 않는 부위에는 차광부가, 상기 홈이 대응되는 부위에는 반투과부가, 홈을 제외한 나머지 칼럼 스페이서 형성 부위에는 투과부가 정의된 마스크를 상기 네거티브 감광성 물질 상부에 대응시키는 단계와, 상기 마스크를 이용하여 상기 네거티브 감광성 물질을 노광 및 현상하여 칼럼 스페이서를 형성하는 단계로 이루어진다.The forming of the column spacer may include applying a negative photosensitive material to the entire surface of the second substrate, a light blocking portion at a portion where the column spacer is not formed, a semi-transmissive portion at a portion where the groove corresponds, In the column spacer forming portion, a mask in which a transmission portion is defined is corresponded to an upper portion of the negative photosensitive material, and a column spacer is formed by exposing and developing the negative photosensitive material by using the mask.

상기 칼럼 스페이서를 형성하는 단계는 상기 제 2 기판 전면에 파지티브 감광성 물질을 도포하는 단계와, 상기 칼럼 스페이서가 형성되지 않는 부위에는 투과부가, 상기 홈이 대응되는 부위에는 반투과부가, 홈을 제외한 나머지 칼럼 스페이서 형성 부위에는 차광부가 정의된 마스크를 상기 파지티브 감광성 물질 상부에 대응시키는 단계와, 상기 마스크를 이용하여 상기 파지티브 감광성 물질을 노광 및 현상하여 칼럼 스페이서를 형성하는 단계로 이루어진다.The forming of the column spacer may include applying a positive photosensitive material to the entire surface of the second substrate, a transmissive portion in a portion where the column spacer is not formed, a semi-transmissive portion in a portion where the groove corresponds, and excluding a groove. The remaining column spacer forming portion may correspond to a mask having a light blocking portion defined on the positive photosensitive material, and exposing and developing the positive photosensitive material by using the mask to form column spacers.

상기 마스크는 하프톤 마스크이다.The mask is a halftone mask.

상기 마스크는 회절 노광 마스크이다.The mask is a diffraction exposure mask.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a liquid crystal display and a manufacturing method thereof according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4a는 본 발명의 액정 표시 장치의 돌기 구조를 개략적으로 나타내는 단면도이며, 도 4b는 도 4a의 돌기와 칼럼 스페이서가 대응되는 모습을 구체적으로 나타낸 단면도이다.FIG. 4A is a cross-sectional view schematically illustrating the protrusion structure of the liquid crystal display of the present invention, and FIG. 4B is a cross-sectional view illustrating a state in which the protrusion and the column spacer of FIG. 4A correspond to each other.

도 4a와 같이, 돌기 구조를 포함한 본 발명의 액정 표시 장치는 서로 대향되는 제 1 기판(60) 및 제 2 기판(70)과, 상기 제 1 기판(60) 상의 소정 부위에 형성된 칼럼 스페이서(80)와, 상기 칼럼 스페이서(80)에 비해 상대적으로 작은 체적을 가지며 상기 칼럼 스페이서(80)와 부분적으로 접촉하도록 상기 제 2 기판(70) 상에 형성된 돌기(85) 및 상기 제 1, 제 2 기판(60, 70) 사이에 충진된 액정층(미도시)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 4A, the liquid crystal display of the present invention including the protrusion structure includes a first substrate 60 and a second substrate 70 facing each other, and a column spacer 80 formed at a predetermined portion on the first substrate 60. ), Protrusions 85 formed on the second substrate 70 and the first and second substrates to have a relatively smaller volume than the column spacers 80 and to partially contact the column spacers 80. It includes a liquid crystal layer (not shown) filled between (60, 70).

이와 같이, 돌기(85)를 포함할 경우, 상기 제 1 기판(60) 또는 제 2 기판 (70)의 표면을 터치(일 방향으로 문지르거나 훑는 동작)시 상기 제 1 기판(60) 또는 제 2 기판(70)이 대향 기판에 비해 쉬프트되었을 때, 상기 칼럼 스페이서(80)와 상기 돌기(85)와의 접촉 면적이, 상기 칼럼 스페이서(80)의 상부면(칼럼 스페이서가 형성되는 제 1 기판(60)을 기준으로 명명, 이 경우, 제 1 기판(60) 표면에 칼럼 스페이서가 대응되는 면은 하부면이라 함)에 비해 상대적으로 작은 돌기(85)의 상부 면적으로 줄게 되어 마찰면적 감소로 인해 상기 칼럼 스페이서(80)와 대향 기판인 제 2 기판(70)과의 마찰력이 줄게 된다. 따라서, 상기 터치에 의해 일 방향으로 제 1 기판(60) 또는 제 2 기판(70)이 밀릴 때, 원 상태로의 복원이 용이하다.As such, when the protrusion 85 is included, the first substrate 60 or the second substrate 60 may be touched when the surface of the first substrate 60 or the second substrate 70 is touched (or rubbed in one direction). When the substrate 70 is shifted relative to the counter substrate, the contact area between the column spacer 80 and the protrusion 85 is formed on the upper surface of the column spacer 80 (the first substrate 60 on which the column spacer is formed). In this case, the surface corresponding to the column spacer on the surface of the first substrate 60 is reduced to the upper area of the relatively small protrusions 85 as compared to the lower surface. The friction force between the column spacer 80 and the second substrate 70 that is the opposite substrate is reduced. Therefore, when the first substrate 60 or the second substrate 70 is pushed in one direction by the touch, restoration to the original state is easy.

도 4b와 같이, 상기 제 1 기판(60) 상에는 블랙 매트릭스층(61) 및 컬러 필터층(62)으로 이루어진 컬러 필터 어레이가 형성되며, 상기 컬러 필터층(62)의 소정 부위 상부에는 칼럼 스페이서(80)가 형성된다. 여기서, 상기 컬러 필터 어레이에는 오버코트층(미도시)을 더 포함할 수 있다.As shown in FIG. 4B, a color filter array including a black matrix layer 61 and a color filter layer 62 is formed on the first substrate 60, and the column spacer 80 is disposed on a predetermined portion of the color filter layer 62. Is formed. Here, the color filter array may further include an overcoat layer (not shown).

그리고, 상기 제 2 기판(70) 상에는 서로 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 라인(71) 및 데이터 라인(미도시)과, 상기 게이트 라인(71)을 포함한 제 2 기판(70) 전면에 형성된 게이트 절연막(72)과, 상기 게이트 라인(71) 상에 상기 칼럼 스페이서의 소정 부분에 대응되어 형성되는 돌기(85) 등이 형성된다. 또한, 도시되어 있지 않지만, 상기 화소 영역에는 화소 전극(미도시)이 형성되고, 상기 게이트 라인(71)과 데이터 라인의 교차부에는 박막 트랜지스터(미도시)가 형성되고, 상기 데이터 라인과 화소 전극의 층간에는 보호막(73)이 더 형성되어 있다. 여기서, 상기 돌기(85)는 반도체층 패턴(85a)과 소오스/드레인 금속 패턴(85b)의 적층체로 이 루어진다.On the second substrate 70, a gate line 71 and a data line (not shown) that cross each other to define a pixel area and a gate formed on the entire surface of the second substrate 70 including the gate line 71. An insulating film 72 and protrusions 85 and the like formed on a portion of the column spacer are formed on the gate line 71. Although not shown, a pixel electrode (not shown) is formed in the pixel region, and a thin film transistor (not shown) is formed at an intersection of the gate line 71 and the data line, and the data line and the pixel electrode are formed. A protective film 73 is further formed between the layers. In this case, the protrusion 85 is formed of a stack of a semiconductor layer pattern 85a and a source / drain metal pattern 85b.

이러한 돌기(85)를 포함하는 구조에 있어서, 제 1, 제 2 기판(60, 70)을 서로 합착시 상기 돌기(85)에 대응되는 칼럼 스페이서(80)의 형상의 변화를 살펴보면, 상기 칼럼 스페이서(80)는 상기 돌기(85)에 대응되는 부위에만 힘이 집중되어, 이에 따라 칼럼 스페이서(80)를 포함한 하부층인 컬러 필터층(62) 및 블랙 매트릭스층(61)이 함께 눌려지게 된다. 이와 같이, 단일 또는 복수개의 층들이 눌려진 경우에는, 액정 패널이 고온의 환경이 놓일 때, 액정의 열 팽창에 의해 셀 갭이 늘어날 경우, 상기 칼럼 스페이서(80) 및 이하의 층들이 눌려진 정도만큼 다시 원 상태로 복원하며 제 1, 제 2 기판(60, 70) 사이를 지지할 수 있어, 돌기가 없는 구조에 비해 액정이 하측으로 처져 발생하는 중력 불량을 개선할 수 있다.In the structure including the protrusions 85, when the first and second substrates 60 and 70 are bonded to each other, the change of the shape of the column spacer 80 corresponding to the protrusions 85 will be described. The force is concentrated only at the portion corresponding to the protrusion 85, and thus the color filter layer 62 and the black matrix layer 61, which are lower layers including the column spacer 80, are pressed together. As such, when a single or a plurality of layers are pressed, when the cell gap is increased by thermal expansion of the liquid crystal when the liquid crystal panel is placed in a high temperature environment, the column spacer 80 and the following layers are pressed again to the extent that the layers are pressed. It can be restored to the original state and can support between the first and second substrates 60 and 70, so that the gravity failure caused by the liquid crystal sag downward can be improved as compared to the structure without the projections.

그러나, 이와 같은 형상의 칼럼 스페이서의 중앙에 대응하여 단순히 체적 및 표면적이 작은 돌기를 이용하는 경우에는, 돌기에 의해 칼럼 스페이서 및 하부층들이 눌려질 때, 상기 돌기(85)가 대응되는 칼럼 스페이서(80)의 부위가 집중적으로 힘을 받아 그 접촉시 제 1, 제 2 기판(60, 70)간의 눌림 압력이 과도하게 되면(제 1 기판과 제 2 기판 중 어느 한 기판의 배면에서 누르는 힘이 과도하게 되면), 상기 칼럼 스페이서(80)가 돌기(85)에 의해 눌려져 변형한 후 원 상태로 되돌아오지 않는 현상이 발생한다. However, in the case of using a projection having a small volume and surface area corresponding to the center of the column spacer having such a shape, when the column spacer and the lower layers are pressed by the projection, the projection 85 corresponds to the column spacer 80. If the part of the intensive force is applied, and the contact pressure between the first and second substrates 60 and 70 becomes excessive at the time of contact (when the pressing force on the rear surface of one of the first and second substrates is excessive) ), The column spacer 80 is pressed by the protrusions 85 and deforms, which does not return to its original state.

이러한 누르는 동작은 액정 표시 장치의 출시 전 별도의 눌림 테스트에서 진행될 수도 있고, 혹은 액정 표시 모듈을 조립하는 조립 공정에서도 이루어질 수 있는 것이다.The pressing operation may be performed in a separate pressing test before the release of the liquid crystal display, or may be performed in an assembly process of assembling the liquid crystal display module.

이하에서는 눌림 압력에 대한 내구성을 구비한 본 발명의 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법을 도면을 참조하여 보다 자세히 설명한다.Hereinafter, the liquid crystal display of the present invention having durability against pressing pressure and a method of manufacturing the same will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 5는 본 발명의 액정 표시 장치를 나타낸 평면도이며, 도 6은 도 5의 박막 트랜지스터 부위 및 제 1, 제 2 칼럼 스페이서를 나타낸 단면도본이다.FIG. 5 is a plan view illustrating the liquid crystal display of the present invention, and FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating the thin film transistor region and the first and second column spacers of FIG. 5.

도 5 및 도 6과 같이, 본 발명의 액정 표시 장치는 크게, 서로 대향되는 제 1 기판(100) 및 제 2 기판(200)과, 상기 제 1, 제 2 기판(100, 200) 사이에 충진된 액정층(250)을 포함하여 이루어진다.5 and 6, the liquid crystal display of the present invention is largely filled between the first substrate 100 and the second substrate 200 facing each other, and the first and second substrates 100 and 200. The liquid crystal layer 250 is formed.

상기 제 1 기판(100) 상에는 서로 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 라인(101)과 데이터 라인(102)과, 상기 게이트 라인(101)과 데이터 라인(102)의 교차부에 형성된 박막 트랜지스터(TFT)와, 상기 박막 트랜지스터(TFT)의 드레인 전극(102b)과 전기적으로 연결된 제 1 스토리지 전극(103a)과, 상기 제 1 스토리지 전극(103a)으로부터 분기되어 형성된 화소 전극(103)과, 상기 화소 전극(103)과 교번되는 분기된 공통 전극(104)과, 상기 화소 영역 내에 상기 현단(現段) 게이트 라인(101) 및 전단(前段) 게이트 라인(미도시)과 인접하여 각각 평행하게 형성된 공통 라인(104a, 104c) 및 상기 공통 라인(104a, 104c)과 공통 전극(104)에 연결되며 상기 제 1 스토리지 전극(103a)과 오버랩된 제 2 스토리지 전극(104b)을 포함하여 이루어진다.On the first substrate 100, a thin film transistor TFT formed at an intersection of the gate line 101 and the data line 102 and the gate line 101 and the data line 102 that cross each other to define a pixel area. ), A first storage electrode 103a electrically connected to the drain electrode 102b of the thin film transistor TFT, a pixel electrode 103 branched from the first storage electrode 103a, and the pixel electrode. A branched common electrode 104 alternated with 103, and a common line formed in the pixel area in parallel with and adjacent to the inlet gate line 101 and the front gate line (not shown), respectively; And a second storage electrode 104b connected to the common lines 104a and 104c and the common lines 104 and the common electrode 104 and overlapping the first storage electrode 103a.

여기서, 상기 박막 트랜지스터(TFT)는 채널이 'U'자형의 소오스 전극(102a)과 드레인 전극(102b) 사이의 영역에 정의되는 것으로, 채널 또한, 소오스 전극(102a)의 형상의 내부를 따라 'U'자형으로 정의된다. 이러한 박막 트랜지스터(TFT) 는, 상기 게이트 라인(101)에서 돌출된 게이트 전극(101a)과, 상기 데이터 라인(102)에서 돌출되어 형성된 'U' 자형의 소오스 전극(102a)과, 상기 'U'자형의 소오스 전극(102a)과 소정 간격 이격되어 상기 'U'자형의 소오스 전극(102a) 내부로 들어오는 드레인 전극(102b)을 포함하여 형성된다. 그리고, 상기 데이터 라인(102), 소오스 전극(102a), 드레인 전극(102b) 하부 및 상기 소오스 전극(102a)과 드레인 전극(102b) 사이의 채널 영역 하부에는 반도체층(도 6의 107a)이 더 형성된다. 여기서, 상기 반도체층은 하부로부터 비정질 실리콘층(미도시)과 n+층(불순물층)(미도시)의 적층체로 이루어지며, 상기 소오스 전극(102a)과 드레인 전극(102b) 사이의 영역에 대응되는 채널 영역에서는 상기 n+층(불순물층)이 제거되어 있다. 이러한 상기 반도체층은 상기 소오스/드레인 전극(102a, 102b) 및 그 사이의 영역 하부에만 선택적으로 형성될 수도 있고, 혹은 상기 채널 영역을 제외한 영역에서는 상기 데이터 라인(102), 소오스 전극(102a) 및 드레인 전극(102b) 하측에 형성될 수도 있다. 한편, 도시된 바에 따르면, 상기 소오스 전극(102a)의 형상이 'U'자인 것으로, 'U'자형 채널을 갖는 액정 표시 장치에 대해서 설명하였으나, 본 발명의 액정 표시 장치는 상기 소오스 전극(102a)의 형상이 상기 데이터 라인(102)으로부터'-'자로 돌출되어 이루어질 수도 있고, 혹은 그 외의 형상으로 이루어질 수도 있을 것이다.In this case, the thin film transistor TFT is defined in a region between a source electrode 102a and a drain electrode 102b having a 'U' shape, and the channel is formed along the inside of the shape of the source electrode 102a. It is defined as U '. The thin film transistor TFT includes a gate electrode 101a protruding from the gate line 101, a 'U' source electrode 102a protruding from the data line 102, and the 'U'. The drain electrode 102b is formed to be spaced apart from the female source electrode 102a by a predetermined interval and enters into the 'U'-shaped source electrode 102a. Further, a semiconductor layer (107a of FIG. 6) is further disposed below the data line 102, the source electrode 102a, the drain electrode 102b, and the channel region between the source electrode 102a and the drain electrode 102b. Is formed. Here, the semiconductor layer is formed of a laminate of an amorphous silicon layer (not shown) and an n + layer (impurity layer) (not shown) from below, and corresponds to a region between the source electrode 102a and the drain electrode 102b. In the channel region, the n + layer (impurity layer) is removed. The semiconductor layer may be selectively formed only under the source / drain electrodes 102a and 102b and the region therebetween, or the data line 102, the source electrode 102a and the region except for the channel region. It may be formed under the drain electrode 102b. Meanwhile, as illustrated, the shape of the source electrode 102a is 'U', and the liquid crystal display having the 'U' channel has been described. However, the liquid crystal display of the present invention is the source electrode 102a. May be formed to protrude from the data line 102 in a '-' shape, or may be formed in other shapes.

여기서, 상기 게이트 라인(101), 상기 공통 라인(104a, 104c) 및 상기 공통 전극(104)들은 동일층에 동일한 금속으로 형성된다.The gate line 101, the common lines 104a and 104c, and the common electrode 104 are formed of the same metal on the same layer.

그리고, 상기 게이트 라인(101)과 반도체층 사이의 층에는 게이트 절연막 (105)이 개재되며, 상기 데이터 라인(102)과 상기 화소 전극(103)의 사이의 층에는 보호막(106)이 개재된다.A gate insulating film 105 is interposed between the gate line 101 and the semiconductor layer, and a protective film 106 is interposed between the data line 102 and the pixel electrode 103.

한편, 상기 화소 영역을 지나는 공통 라인(104a)과 연결된 제 2 스토리지 전극(104b)과, 그 상부에 형성되는 제 1 스토리지 전극(103a) 및 상기 두 전극 사이에 개재되는 게이트 절연막(105) 및 보호막(106)은 스토리지 캐패시터(storage capacitor)를 이룬다. Meanwhile, the second storage electrode 104b connected to the common line 104a passing through the pixel region, the first storage electrode 103a formed thereon, and the gate insulating layer 105 and the passivation layer interposed between the two electrodes. 106 constitutes a storage capacitor.

여기서, 서로 다른 층간에 형성되는 상기 드레인 전극(102b)과 상기 제 1 스토리지 전극(103a)은, 상기 드레인 전극(102b)의 소정 부위의 상부의 상기 보호막(106)을 제거하여 형성된 콘택홀(106a)을 통해 접촉한다.Here, the drain electrode 102b and the first storage electrode 103a formed between the different layers may be contact holes 106a formed by removing the passivation layer 106 on an upper portion of the drain electrode 102b. Contact via).

또한, 상기 게이트 라인(101) 또는 상기 공통 라인(104a, 104c) 상의 소정 부위에는 상기 반도체층(107a)과 동일층의 반도체층 패턴(120a)과 상기 소오스/드레인 전극(102a/102b)과 동일층의 소오스/드레인 금속층(120b)이 적층된 돌기(120)가 형성된다. In addition, a predetermined portion on the gate line 101 or the common lines 104a and 104c is the same as the semiconductor layer pattern 120a and the source / drain electrodes 102a and 102b of the same layer as the semiconductor layer 107a. A protrusion 120 in which the source / drain metal layer 120b of the layer is stacked is formed.

여기서, 상기 반도체층 패턴(120a)의 두께는 약 0.2~0.3㎛, 상기 소오스/드레인 금속층(120b)의 두께는 약 0.2~0.4㎛로, 상기 돌기(120)가 형성되지 않은 나머지 게이트 라인(101) 상의 부위에 비해 상기 돌기(120)가 형성된 부위는, 약 0.4~0.7㎛ 정도 단차가 형성된다. 이러한 돌기(120)를 포함한 액정 표시 장치는 제 1, 제 2 기판(100, 200)의 셀 갭 조성을 위한 합착시 상기 돌기(120)와 상기 제 2 기판(200) 상에 형성된 제 1 칼럼 스페이서(210)가 대응되게 된다. 이 때, 상기 돌기(120)의 상부면은 상대적으로 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)의 상부면(이 경우, 상기 제 2 기판(200) 상에 형성되는 제 1 칼럼 스페이서(210)가 상기 제 2 기판(200)과 대응되는 면은 하부면으로 상정)보다 작으며, 이 때, 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)와 상기 돌기(120)의 접촉시 상기 돌기(120)의 상부면만큼 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)와 돌기(120)가 접촉하게 된다.Here, the thickness of the semiconductor layer pattern 120a is about 0.2 to 0.3 μm, and the thickness of the source / drain metal layer 120b is about 0.2 to 0.4 μm, and the remaining gate lines 101 on which the protrusion 120 is not formed are formed. The step where the protrusion 120 is formed as compared to the site on the step) is formed about 0.4 ~ 0.7㎛. The liquid crystal display including the protrusions 120 may include a first column spacer formed on the protrusions 120 and the second substrate 200 when the first and second substrates 100 and 200 are bonded to each other to form a cell gap. 210 corresponds. At this time, the upper surface of the protrusion 120 is relatively the upper surface of the first column spacer 210 (in this case, the first column spacer 210 formed on the second substrate 200) 2, the surface corresponding to the substrate 200 is assumed to be a lower surface. 1 The column spacer 210 and the protrusion 120 are in contact with each other.

여기서, 상기 돌기(120)의 상부에는 콘택홀(106a)을 제외한 나머지 영역에 형성되는 보호막(106)이 더 개재되어, 실제 제 2 기판(200)에 형성되는 제 1 칼럼 스페이서(210)와 접촉되는 부위는 상기 돌기(120) 상부의 보호막(106)에 해당될 것이다. Here, a passivation layer 106 formed in the remaining region except for the contact hole 106a is further disposed on the protrusion 120 to contact the first column spacer 210 formed on the second substrate 200. The portion to be corresponds to the protective layer 106 on the protrusion 120.

한편, 상기 제 1 기판(100)에 대향되는 제 2 기판(200) 상에는 상기 화소 영역을 제외한 영역(게이트 라인 및 데이터 라인 부위)에 대응되어 형성되는 블랙 매트릭스층(201)과, 상기 제 2 기판(200) 상에 형성된 컬러 필터층(202)과, 상기 블랙 매트릭스층(201)과 컬러 필터층(202)을 포함한 제 2 기판(200) 상에 평탄화를 위한 오버코트층(203)이 형성된다.On the other hand, on the second substrate 200 facing the first substrate 100, a black matrix layer 201 formed corresponding to a region (gate line and data line region) except for the pixel region, and the second substrate An overcoat layer 203 for planarization is formed on the color filter layer 202 formed on the 200 and the second substrate 200 including the black matrix layer 201 and the color filter layer 202.

그리고, 상기 돌기(120)에 대응되는 부위의 오버코트층(203) 상에는 제 1 칼럼 스페이서(210)가 형성되고, 상기 돌기(120)가 형성되지 않은 소정 부위의 게이트 라인(101)에 대응되는 부위의 오버코트층(203) 상에는 제 2 칼럼 스페이서(220)가 형성된다.The first column spacer 210 is formed on the overcoat layer 203 of the portion corresponding to the protrusion 120, and the portion corresponding to the gate line 101 of the predetermined portion where the protrusion 120 is not formed. The second column spacer 220 is formed on the overcoat layer 203.

여기서, 제 1 칼럼 스페이서(210) 및 제 2 칼럼 스페이서(220)는 상기 오버코트층(203) 상에 동일한 높이로 형성된다. Here, the first column spacer 210 and the second column spacer 220 are formed at the same height on the overcoat layer 203.

상기 제 2 칼럼 스페이서(220)는, 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)와 돌기 (120)와 접촉시 작은 접촉 면적으로 접촉하게 하는 효과로 접촉 면적을 감소시켜 터치에 의한 불량을 감소시킬 수는 있으나, 이 경우, 눌림에 대해 특성이 안 좋아지기 때문에, 눌림 특성을 개선시키기 위해 놓여지는 것이다. 이러한 제 2 칼럼 스페이서(220)는 눌림 테스트나 혹은 모듈 공정 등에 있어서, 소정 압력 이상이 제 1, 제 2 기판(100, 200)의 배면에 인가될 때, 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)가 돌기(120)와 접촉 후, 심하게 변하기 전에 상기 제 2 칼럼 스페이서(220)가 돌기(120)가 형성되지 않은 게이트 라인(101) 또는 공통 라인(104a, 104c)의 소정 부위에 대응되도록 하여 눌림 시의 압력을 분산시키게 된다.The second column spacer 220 may reduce the contact area by reducing the contact area due to the effect of contacting the first column spacer 210 with the protrusion 120 with a small contact area. In this case, because the characteristics are poor against the pressing, it is placed to improve the pressing characteristics. The second column spacer 220 is protruded when a predetermined pressure or more is applied to the rear surfaces of the first and second substrates 100 and 200 in a pressing test or a module process. After contact with the 120, the second column spacer 220 corresponds to a predetermined portion of the gate line 101 or the common lines 104a and 104c in which the protrusions 120 are not formed, before being severely changed. To disperse the pressure.

이 때, 상기 돌기(120)가 형성되지 않은 상기 게이트 라인(101) 또는 공통 라인(104a, 104c)과 돌기(120)간의 단차는 약 0.4~0.7㎛ 정도로 크기 때문에, 눌림시 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)와 상기 돌기(120)가 접촉 후, 상기 제 2 칼럼 스페이서(220)가 제 1 기판(100) 상에 닿기 전에 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)의 소성 변형이 심하게 발생할 수 있다. 이를 방지하기 위해, 상기 제 2 칼럼 스페이서(210)가 대응되는 상기 게이트 라인(101) 또는 공통 라인(104a, 104c) 상부에 보상 패턴(107b)을 더 형성하여 둔다. 이 경우, 상기 보상 패턴(107b)은 상기 반도체층(107a)과 동일한 물질로 이루어진다. 따라서, 눌림시 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)가 상기 돌기(120)의 소오스/드레인 금속층(120b)의 두께만큼 눌려진 다음부터는, 상기 제 1, 제 2 칼럼 스페이서(210, 220)가 상기 제 1 기판(100)의 상부면에 접하게 되어, 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)에 집중되는 압력을 상기 제 2 칼럼 스페이서(220)가 분산하여, 소성 변형을 방지할 수 있다.At this time, since the step between the gate line 101 or the common lines 104a and 104c and the protrusion 120 where the protrusion 120 is not formed is about 0.4 to 0.7 μm, the first column spacer when pressed After the contact between the 210 and the protrusion 120, the plastic deformation of the first column spacer 210 may occur severely before the second column spacer 220 contacts the first substrate 100. To prevent this, a compensation pattern 107b is further formed on the gate line 101 or the common lines 104a and 104c to which the second column spacer 210 corresponds. In this case, the compensation pattern 107b is made of the same material as the semiconductor layer 107a. Therefore, when the first column spacer 210 is pressed by the thickness of the source / drain metal layer 120b of the protrusion 120 when pressed, the first and second column spacers 210 and 220 are first pressed. The second column spacer 220 may be in contact with the upper surface of the substrate 100 to distribute the pressure concentrated on the first column spacer 210 to prevent plastic deformation.

한편, 상기 제 1, 제 2 칼럼 스페이서(210, 220)는 그 수평 단면이 원형, 사각형 등의 다각형 등 여러 가지 형상으로 형성할 수 있을 것이다. 공정시 얼라인 마진을 고려하여, 원형 또는 정다각형으로 형성하는 것이 유리할 것이다.Meanwhile, the first and second column spacers 210 and 220 may be formed in various shapes such as a polygonal shape such as a circular cross section or a square. In consideration of the alignment margin in the process, it may be advantageous to form a circular or regular polygon.

- 제 1 실시예 -First Embodiment

이하에서는, 상기 제 1, 제 2 칼럼 스페이서의 상부면의 형상을 변경하여 보다 효과적으로 불량을 방지하는 구조를 살펴본다.Hereinafter, the structure of preventing the defects more effectively by changing the shape of the upper surfaces of the first and second column spacers will be described.

도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 표시 장치를 나타낸 단면도이며, 도 8은 도 7의 칼럼 스페이서를 밑에서 바라보았을 때의 평면도이다.FIG. 7 is a cross-sectional view of a liquid crystal display according to a first exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a plan view when the column spacer of FIG. 7 is viewed from below.

도 7 및 도 8과 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정 표시 장치는, 제 2 칼럼 스페이서(240)의 상부면(제 1 기판(100)에 대응되는 면)에 홈(240a)을 구비한 점을 제외하고는 도 6에 도시된 바와 동일하다.7 and 8, in the liquid crystal display according to the first exemplary embodiment, the groove 240a is formed in the upper surface (the surface corresponding to the first substrate 100) of the second column spacer 240. Same as shown in Figure 6 except for the provided.

상기 제 2 칼럼 스페이서(240)는 상기 게이트 라인(101) 또는 공통 라인(104a, 104c)의 소정 부위에 형성된 보상 패턴(107b) 상에 대응하여 상기 보상 패턴(107b)이 들어올 수 있는 홈(240a)을 구비하여, 눌림시의 압력이 심할 경우에, 상기 제 2 칼럼 스페이서(240)에 미리 마련된 홈(240a)에 상기 보상 패턴(107b)이 삽입되도록 하여, 상기 제 2 칼럼 스페이서(240)의 소성 변형을 최소화할 수 있다.The second column spacer 240 may have a groove 240a through which the compensation pattern 107b may enter, corresponding to the compensation pattern 107b formed at a predetermined portion of the gate line 101 or the common lines 104a and 104c. When the pressure at the time of pressing is severe, the compensation pattern 107b is inserted into the groove 240a provided in the second column spacer 240 so that the second column spacer 240 Plastic deformation can be minimized.

도 8은 상기 제 2 칼럼 스페이서(240)의 상부면을 아래에서 바라보았을 때를 도시한 것으로, 상기 제 2 칼럼 스페이서(240)의 상부면에는 십자형의 홈(240a)이 형성되어 있으며, 눌림 압력이 심할 경우, 상기 십자형의 홈(240a) 내부에 상기 보상 패턴(107b) 상부에 상기 보상 패턴(107b)의해 조성되는 단차 부분이 상기 홈 (240a) 내부에 대응된다. 이 경우, 눌림시 상기 홈(240a) 내부에 상기 제 2 칼럼 스페이서(240)가 이미 마련된 홈(240a) 내부에 끼워진 형태가 되어, 상기 제 2 칼럼 스페이서(240)의 소성 변형을 최소화하며, 상기 보상 패턴(107b)과 상기 제 2 칼럼 스페이서(240)가 대응되게 된다.FIG. 8 illustrates a top view of the second column spacer 240 viewed from below. A cross groove 24a is formed on the top surface of the second column spacer 240, and a pressing pressure is illustrated in FIG. In this severe case, the stepped portion formed by the compensation pattern 107b on the compensation pattern 107b in the cross-shaped groove 240a corresponds to the inside of the groove 240a. In this case, when pressed, the second column spacer 240 is inserted into the groove 240a in which the second column spacer 240 is already provided, thereby minimizing plastic deformation of the second column spacer 240. The compensation pattern 107b and the second column spacer 240 correspond to each other.

도 7은 합착시 셀 갭이 조성되었을 경우를 도시한 경우로, 실제 눌림 테스트 진행시 눌림 압력 인가시에는 상기 제 1, 제 2 칼럼 스페이서(210, 240)가 도시된 상태보다 눌려진 상태이다.FIG. 7 illustrates a case in which a cell gap is formed during bonding, and the first and second column spacers 210 and 240 are pressed when the pressing pressure is applied during the actual pressing test.

이러한 본 발명의 제 1 실시예의 액정 표시 장치의 구조에 있어서는, 터치시에는 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)만이 상기 제 1 기판(100) 상부, 즉, 돌기(120) 상부의 보호막(106)의 접촉하여, 돌기(120)의 상부면에 상응하는 면적으로 접촉하게 된다. 따라서, 터치시 접촉 면적이 작기 때문에, 터치에 의한 제 1, 제 2 기판(100, 200)간의 쉬프트 후, 원 상태로의 복원이 용이하다.In the structure of the liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention, only the first column spacer 210 may be formed on the first substrate 100, that is, on the protrusion 120. In contact with each other, an area corresponding to the upper surface of the protrusion 120 is brought into contact. Therefore, since the contact area at the time of touch is small, restoration to the original state is easy after the shift between the first and second substrates 100 and 200 by touch.

한편, 상기 홈(240a)의 형상은 상기 보상 패턴(107b)보다 크게 형성하며, 도시된 바와 같이, 십자 형상 혹은 좌우 상하 쉬프트가 가능한 여러 가지 형상으로 변형 가능하다.On the other hand, the shape of the groove 240a is formed larger than the compensation pattern 107b, and as shown, it can be deformed into various shapes that can be cross-shaped or left and right up and down shift.

- 제 2 실시예 -Second Embodiment

도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치에 있어서, 칼럼 스페이서와 이에 대응되는 돌기를 나타낸 단면도이다. 그리고, 도 10은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치를 나타낸 단면도이고, 도 11은 도 10의 칼럼 스페이서를 밑에서 바라보았을 때의 평면도이고, 도 12는 도 10의 돌기와 이에 대응되는 칼럼 스페이서를 자세히 나타낸 단면도이다.9 is a cross-sectional view illustrating a column spacer and protrusions corresponding thereto in the liquid crystal display according to the second exemplary embodiment of the present invention. 10 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention, FIG. 11 is a plan view when the column spacer of FIG. 10 is viewed from below, and FIG. 12 is a projection and a corresponding column of FIG. 10. A cross-sectional view showing the spacer in detail.

도 9와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치는 돌기(120)가 형성된 부위에 대응되어 형성된 제 1 칼럼 스페이서(230)의 상부면에 홈(230a)을 구비하여, 상기 돌기(120)에 의해 조성되는 단차가 상기 홈(230a) 내부에 대응되는 구조이다. 이러한 구조에 있어서는, 상기 제 1 기판(100)과 상기 제 2 기판(200) 의 합착시 상기 제 1 칼럼 스페이서(230)의 홈(230a) 내부에 상기 돌기(120)가 끼워진 상태가 된다.As shown in FIG. 9, the liquid crystal display according to the second exemplary embodiment of the present invention includes a groove 230a formed on an upper surface of the first column spacer 230 formed to correspond to a portion where the protrusion 120 is formed. The step formed by the 120 is a structure corresponding to the inside of the groove 230a. In this structure, the protrusion 120 is fitted into the groove 230a of the first column spacer 230 when the first substrate 100 and the second substrate 200 are bonded to each other.

이 경우에는, 상기 제 1 기판(100) 및 제 2 기판(200) 중 어느 한 기판을 일 방향으로 밀거나 훑는 터치시 상기 제 1 칼럼 스페이서(230)가 상기 돌기(120)를 잡고 있어, 터치로 인한 상기 제 1 기판(100) 또는 제 2 기판(200)의 쉬프트가 용이하지 않게 된다.In this case, the first column spacer 230 is holding the protrusion 120 when a touch of pushing or sweeping one of the first substrate 100 and the second substrate 200 in one direction is performed. Due to the shift of the first substrate 100 or the second substrate 200 is not easy.

도시된 도 9에서는 상기 칼럼 스페이서(230) 하부에 블랙 매트릭스층(201) 및 컬러 필터층(202)이 형성되어 있다. 도면상에는 생략되어 있으나, 상기 컬러 필터층(202) 상부이며, 상기 제 1 칼럼 스페이서(230) 하부에 오버코트층(미도시)가 더 형성될 수 있다.In FIG. 9, a black matrix layer 201 and a color filter layer 202 are formed under the column spacer 230. Although omitted in the drawing, an overcoat layer (not shown) may be further formed on the color filter layer 202 and under the first column spacer 230.

그리고, 상기 돌기(120)는 상기 게이트 라인(101) 또는 공통 라인(도 5의 104a, 104c 참조) 상부 소정 부위에 형성되며, 아래에서부터 차례로 반도체층 패턴(120a) 및 소오스/드레인 금속층(120b)이 서로 적층되어 형성된다.The protrusion 120 is formed on a predetermined portion of the gate line 101 or the common line (refer to 104a and 104c in FIG. 5), and the semiconductor layer pattern 120a and the source / drain metal layer 120b are sequentially formed from below. These are stacked on each other.

이러한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치는 도 6에 도시된 액정 표시 장치에서 제 1 칼럼 스페이서에 홈을 구비한 점이 상이하며, 나머지는 동일하 며, 이에 따라 동일 부위는 동일한 부호로 표기한다.The liquid crystal display according to the second exemplary embodiment of the present invention differs in that the grooves are provided in the first column spacer in the liquid crystal display shown in FIG. 6, and the remainders are the same. Mark it.

도 10과 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정 표시 장치는, 상기 제 1, 제 2 기판(100, 200)간의 합착시 상기 제 1 칼럼 스페이서(230) 내의 홈(230a) 내부에 상기 돌기(230a)의 상부 보호막(106)이 들어가도록 대응된다. 이러한 합착시 상기 제 2 칼럼 스페이서(220)는 상기 제 1 기판(100)의 상부, 즉, 보호막(106)과 어느 정도 이격 상태를 유지하고 있다. As shown in FIG. 10, the liquid crystal display according to the second exemplary embodiment of the present invention may be formed inside the groove 230a in the first column spacer 230 when the first and second substrates 100 and 200 are bonded to each other. The upper protective layer 106 of the protrusion 230a corresponds to enter. In this bonding, the second column spacer 220 is maintained at a distance from the upper portion of the first substrate 100, that is, the passivation layer 106.

이러한 상기 제 2 칼럼 스페이서(220)는 터치시 도 11과 같이, 상기 돌기(120)를 포함한 제 1 기판(100)이 상기 제 2 기판(200)에 대해 제 1 칼럼 스페이서(230)의 홈(230a) 내에서 움직일 수 있으며, 터치시 상기 홈(230a) 내부 거리 이상의 미는 힘이 가해져도 구조상 상기 돌기(120)는 상기 홈(230a)을 벗어나기 곤란하다. 또한, 상기 터치시 상기 제 1 칼럼 스페이서(230)의 홈(230a) 내부에서 상기 돌기(120)의 상부면에 상응하는 면적으로 접촉하기 때문에, 상대적으로 상기 제 1 칼럼 스페이서(230)의 상부면보다 작은 면적하게 되어, 원 상태의 복원이 용이하다. 따라서, 터치시 제 1, 제 2기판(100, 200)간의 쉬프트가 용이하지 않으며, 쉬프트가 어느 정도 일어난다 하더라도 원 상태의 복원이 빠르게 일어나 터치 불량에 의한 휘도 불균일이 최소화된다.When the second column spacer 220 is touched, as shown in FIG. 11, the groove of the first column spacer 230 with respect to the second substrate 200 is formed by the first substrate 100 including the protrusion 120. The protrusion 120 may move within the groove 230a, even when a pushing force is applied to the inside of the groove 230a when a touch force is applied. In addition, since the contact with the area corresponding to the upper surface of the protrusion 120 in the groove 230a of the first column spacer 230 when the touch, it is relatively larger than the upper surface of the first column spacer 230 The small area makes it easy to restore the original state. Therefore, the shift between the first and second substrates 100 and 200 during touch is not easy, and even if the shift occurs to some extent, the restoration of the original state occurs quickly, thereby minimizing luminance unevenness due to poor touch.

도 12는 상기 도 9의 구조에, 상기 컬러 필터층(202) 상부에 오버코트층(203)이 더 형성된 구조이며, 눌림시에 압력이 인가되는 상기 제 1 칼럼 스페이서(230)의 홈에 대응되는 형상으로 돌기(120)가 완전히 끼워진 구조를 나타낸다.FIG. 12 is a structure in which the overcoat layer 203 is further formed on the color filter layer 202 in the structure of FIG. 9 and corresponds to a groove of the first column spacer 230 to which pressure is applied when pressed. As shown in Fig. 1, the protrusion 120 is completely fitted.

눌림시에는 도 11 및 도 12와 같이, 상기 돌기(120)의 상부면 외의 단차를 대응되는 측면 부위도 상기 제 1 칼럼 스페이서(230)의 홈(230a) 내부에 눌려지며, 대응되며, 상기 제 2 칼럼 스페이서(220)와 함께 상기 제 1 기판(100)에 대응되어, 눌림시의 압력을 분산시킬 수 있어, 눌림에 의해 일부 칼럼 스페이서가 소성 변형되는 현상을 방지할 수 있다.When pressed, as shown in FIGS. 11 and 12, the side portions corresponding to the steps other than the upper surface of the protrusion 120 are also pressed into the grooves 230a of the first column spacer 230 and correspond to each other. Corresponding to the first substrate 100 together with the two column spacers 220, the pressure at the time of pressing may be dispersed, thereby preventing a phenomenon in which some column spacers are plastically deformed by pressing.

도 13은 본 발명의 칼럼 스페이서의 형성을 위한 마스크를 나타낸 평면도이다.13 is a plan view showing a mask for forming the column spacer of the present invention.

도 13과 같이, 본 발명의 제 1, 제 2 실시예에 있어서, 홈을 포함한 칼럼 스페이서의 형성을 위한 마스크(300)는 상기 칼럼 스페이서의 형성 부위에 대응하여, 상기 칼럼 스페이서의 수평 단면에 상응하는 형상의 투과부(301)를 구비하며, 상기 칼럼 스페이서가 형성되지 않는 부위에는 차광부(303)를 구비하며, 칼럼 스페이서 내 홈이 형성될 부위에는 반투과부(302)를 구비한다. As shown in FIG. 13, in the first and second embodiments of the present invention, the mask 300 for forming the column spacer including the groove corresponds to the horizontal cross section of the column spacer, corresponding to the formation portion of the column spacer. A transparent portion 301 is formed. The light blocking portion 303 is provided at a portion where the column spacer is not formed, and a semi-transmissive portion 302 is provided at the portion where the groove in the column spacer is to be formed.

도 13은 회절 노광 마스크를 형성한 것으로, 상기 반투과부(302) 내에 회절 노광을 위한 슬릿을 복수개 구비한 것으로, 상기 반투과부(302) 내 슬릿은 노광시 이용하는 노광 장치의 해상도보다 낮은 간격으로 형성되어, 노광시 상기 반투과부(302)에 대응되는 부위가 상대적으로 상기 투과부(301)에 비해 적은 노광량이 투과되도록 한다.FIG. 13 illustrates a diffraction exposure mask in which a plurality of slits for diffraction exposure are provided in the transflective portion 302, and slits in the transflective portion 302 are formed at intervals lower than the resolution of an exposure apparatus used for exposure. In this case, a portion corresponding to the transflective portion 302 may be relatively exposed to light when the exposure amount is smaller than that of the transmissive portion 301.

이러한 마스크(300)가 적용될 때, 칼럼 스페이서의 형성 공정은 다음과 같다.When such a mask 300 is applied, the formation process of the column spacer is as follows.

먼저, 칼럼 스페이서의 형성 공정 이전, 돌기 등의 단차 및 TFT 어레이가 형성된 제 1 기판과, 컬러 필터 어레이가 형성된 제 2 기판을 준비한다.First, before forming a column spacer, a first substrate on which a step such as protrusions and a TFT array are formed, and a second substrate on which a color filter array are formed are prepared.

상기 제 2 기판 전면에 네거티브 감광성 물질을 도포한다.A negative photosensitive material is coated on the entire surface of the second substrate.

이어, 상기 마스크(300)를 상기 네거티브 감광성 물질 상부에 정렬시킨 후, 상기 마스크(300)를 이용하여 상기 네거티브 감광성 물질을 노광 및 현상하여 홈을 포함한 칼럼 스페이서를 형성한다.Subsequently, the mask 300 is aligned on the negative photosensitive material, and then the negative photosensitive material is exposed and developed using the mask 300 to form column spacers including grooves.

이 때, 상기 칼럼 스페이서는 상기 마스크(300)의 투과부(301)에 대응되는 부위에 형성되며, 홈은 상기 투과부(301) 내부의 십자 형상의 반투과부(302) 형상으로 형성된다. 이 경우, 형성된 칼럼 스페이서(230 또는 240)의 형성 부위 중 상대적으로 노광량이 적은 반투과부(302)에 대응되는 부위에 홈이 형성된다. In this case, the column spacer is formed in a portion corresponding to the transmission portion 301 of the mask 300, the groove is formed in the shape of a cross-shaped semi-transmissive portion 302 inside the transmission portion 301. In this case, a groove is formed in a portion corresponding to the transflective portion 302 having a relatively low exposure amount among the formation portions of the formed column spacers 230 or 240.

상기 마스크(300)는 상기 반투과부(302)에 대응되는 부위에 하프톤(half-tone) 물질을 적용한 하프톤 마스크를 대체하여 적용할 수도 있다.The mask 300 may be applied by replacing a halftone mask in which a halftone material is applied to a portion corresponding to the transflective portion 302.

그리고, 상기 칼럼 스페이서의 형성시 네거티브 감광성 물질을 파지티브 감광성 물질로 대체하여 형성시에는 상기 마스크의 투과부(301)와 차광부(303)를 반전시켜 형성한다.When the column spacer is formed, the negative photosensitive material is replaced with the positive photosensitive material, and when formed, the transmissive part 301 and the light blocking part 303 of the mask are inverted.

이러한 칼럼 스페이서의 형성 방법은 제 1 실시예의 제 2 칼럼 스페이서(240) 또는 제 2 실시예의 제 1 칼럼 스페이서(230) 형성시 이용한다.This method of forming the column spacer is used when forming the second column spacer 240 of the first embodiment or the first column spacer 230 of the second embodiment.

그리고, 이러한 제 1 또는 제 2 칼럼 스페이서(230 또는 240)의 형성 후, 상기 제 1 기판(100) 및 제 2 기판(200) 중 어느 한 기판 상에 액정을 적하한 후 액정이 적하되지 않은 기판을 반전한 후, 두 기판을 합착한다.After the formation of the first or second column spacers 230 or 240, a liquid crystal is dropped on one of the first substrate 100 and the second substrate 200, and then the liquid crystal is not dropped. After inverting, the two substrates are bonded together.

이상에서 설명한 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법은 횡전계형 액정 표시 장치에 관한 것이다. 여기서, 본 발명의 홈을 구비한 칼럼 스페이서를 적용한 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법은 횡전계형 모드에 한정하지 않고, TN(Twisted Nematic) 모드에도 적용 가능할 것이다. The liquid crystal display device described above and a manufacturing method thereof relate to a transverse electric field type liquid crystal display device. Herein, the liquid crystal display and the manufacturing method using the column spacer having the groove of the present invention are not limited to the transverse electric field mode, but may also be applied to the twisted nematic (TN) mode.

상기 TN 모드의 경우에는 상기 제 1 기판 상의 화소 영역에 화소 전극과 공통 전극이 교번하지 않고, 화소 전극만 형성된 구조이며, 상기 제 2 기판 상에 공통 전극이 전면 형성된 점이 횡전계형 모드의 액정 표시 장치와 상이하며, 나머지는 동일 또는 유사한 구조로 이루어진다.In the TN mode, the pixel electrode and the common electrode do not alternate in the pixel area on the first substrate, and only the pixel electrode is formed. And the remainder of the same or similar structure.

그리고, 제 1, 제 2 실시예에 있어서는, 상기 제 1, 제 2 칼럼 스페이서 중 어느 하나의 칼럼 스페이서의 상부면에 홈이 대응되는 구조에 관해 설명하였으나, 눌림시의 소성 변형을 보다 효과적으로 방지하기 위해 돌기에 대응되는 제 1 칼럼스페이서의 상부면 및 보상 패턴에 대응되는 제 2 칼럼 스페이서의 상부면에 모두 홈을 구비할 수 있다.In the first and second embodiments, a structure in which grooves correspond to an upper surface of any one of the first and second column spacers has been described. However, in order to more effectively prevent plastic deformation during pressing, For example, grooves may be provided on both the upper surface of the first column spacer corresponding to the protrusion and the upper surface of the second column spacer corresponding to the compensation pattern.

상기와 같은 본 발명의 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법은 다음과 같은 효과가 있다.The liquid crystal display of the present invention as described above and a method of manufacturing the same have the following effects.

첫째, 소정의 제 1 칼럼 스페이서에 대응되는 부위에 돌기 구조를 적용하여, 상기 제 1 칼럼 스페이서와 대응 기판간의 접촉 면적을 줄일 수 있어, 터치시의 접촉 면적을 줄여, 터치에 의한 밀림 후 원 상태로의 복원이 용이하다. 따라서, 터치에 의한 휘도 불균일 현상을 방지할 수 있다.First, by applying a protruding structure to a portion corresponding to a predetermined first column spacer, the contact area between the first column spacer and the corresponding substrate can be reduced, thereby reducing the contact area at the time of touch and the original state after pushing by the touch. It is easy to restore the furnace. Therefore, it is possible to prevent luminance unevenness due to touch.

둘째, 상기 터치 불량을 방지하기 위해 돌기 구조 적용시 돌기에 대응되는 제 1 칼럼 스페이서의 적용시 눌림 테스트 등에서 상기 제 1 칼럼 스페이서의 소성 변형을 방지하기 위해 합착시에는 대응 기판과 이격하나, 소정의 압력이 더 가해졌을 경우에는 대응 기판과 접촉이 가능한 별도의 제 2 칼럼 스페이서를 더 구비한다. 이로써, 돌기가 형성된 부위가 돌기가 형성되지 않은 타부위에 비해 단차가 크기 때문에, 별도로 형성하는 제 2 칼럼 스페이서에 대응되는 제 1 기판 상에는 돌기보다 높이가 낮은 보상 패턴을 더 형성하여 둔다. 상기 보상 패턴에 의해 눌림시 상기 제 2 칼럼 스페이서는 눌림에 압력으로 상기 제 1 칼럼 스페이서가 소성 변형 전 보상 패턴 상부와 대응하여, 눌림시의 압력을 분산시켜, 제 1, 제 2 칼럼 스페이서의 소성 변형을 방지할 수 있다.Second, in order to prevent plastic deformation of the first column spacer in a pressing test, etc., when applying the first column spacer corresponding to the protrusion when the protrusion structure is applied to prevent the touch failure, the substrate is spaced apart from the corresponding substrate. If further pressure is applied, a further second column spacer capable of contacting the corresponding substrate is further provided. As a result, since the step where the protrusion is formed is larger than the other part where the protrusion is not formed, a compensation pattern having a lower height than the protrusion is further formed on the first substrate corresponding to the second column spacer to be formed separately. When the second column spacer is pressed by the compensation pattern, the first column spacer corresponds to the upper part of the compensation pattern before plastic deformation by pressing pressure, thereby dispersing the pressure during pressing, thereby firing the first and second column spacers. The deformation can be prevented.

셋째, 돌기에 대응되는 부위의 제 1 칼럼 스페이서의 상부면(돌기 접촉면)에 홈을 구비하여, 합착시 상기 돌기가 상기 제 1 칼럼 스페이서 홈 내에 끼워지게 하여, 터치시에 의해 제 1, 제 2 기판간 밀림의 발생을 방지하여 터치 불량을 구조적으로 방지한다. 이 경우, 눌림시에는 홈을 구비한 돌기의 상부면 및 측면에서도 상기 제 1 칼럼 스페이서와 접촉되고, 또한, 제 2 칼럼 스페이서까지 대응 기판과 접촉이 가능하도록 함으로써, 단순히 돌기 대응 제 1 칼럼 스페이서, 눌림 방지용 제 2 칼럼 스페이서만을 구비한 구조에 비해 눌림시의 접촉 면적을 좀 더 늘려 눌림시의 칼럼 스페이서의 소성 변형을 방지할 수 있다.Third, a groove is provided in the upper surface (protrusion contact surface) of the first column spacer of the portion corresponding to the projection, so that the projection is fitted in the first column spacer groove when the bonding is performed, and the first and second by touch. It prevents the occurrence of the board-to-substrate structurally prevents touch failure. In this case, when pressed, the first column spacer is also in contact with the first column spacer on the upper surface and the side surface of the protrusion having the groove, and further, the second column spacer can be contacted with the corresponding substrate. Compared with the structure having only the second column spacer for preventing the pressing, the contact area during the pressing can be further increased to prevent plastic deformation of the column spacer during the pressing.

넷째, 상기 보상 패턴에 대응되는 부위의 제 2 칼럼 스페이서의 상부면(보상 패턴 접촉 부위)에 홈을 구비하여, 눌림에 의한 가압시 홈 내에 보상 패턴이 대응되도록 하여, 미리 구비된 홈 내로 보상 패턴이 대응되도록 하여 칼럼 스페이서의 변형을 최소화할 수 있다.Fourth, a groove is formed in the upper surface (compensation pattern contact portion) of the second column spacer of the portion corresponding to the compensation pattern, so that the compensation pattern corresponds to the groove when pressed by the pressing, so that the compensation pattern into the previously provided groove This can be counteracted to minimize deformation of the column spacer.

Claims (26)

서로 대향된 제 1 기판 및 제 2 기판;A first substrate and a second substrate facing each other; 상기 제 1 기판 상에 서로 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인;A gate line and a data line crossing each other on the first substrate to define a pixel area; 상기 제 1 기판 상의 단차부에 대응되어, 상기 제 2 기판 상에 형성되며, 상기 단차부와 대응시 대응되는 제 1 면이 상기 단차부의 대응면보다 크고, 상기 제 1 면에 상기 단차부가 들어오는 홈을 구비한 제 1 칼럼 스페이서; 및A groove formed on the second substrate corresponding to the stepped portion on the first substrate, the first surface corresponding to the stepped portion being larger than the corresponding surface of the stepped portion, and the stepped portion entering the first surface; A first column spacer provided; And 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And a liquid crystal layer formed between the first substrate and the second substrate. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 홈은 상기 단차부보다 크게 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The groove is formed larger than the step portion. 제 2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 홈의 형상은 십자형인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the groove is cross-shaped. 서로 대향된 제 1 기판 및 제 2 기판;A first substrate and a second substrate facing each other; 상기 제 1 기판 상에 서로 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인;A gate line and a data line crossing each other on the first substrate to define a pixel area; 상기 게이트 라인과 평행한 공통 라인;A common line parallel to the gate line; 상기 게이트 라인과 데이터 라인의 교차부에 형성된 박막 트랜지스터;A thin film transistor formed at an intersection of the gate line and the data line; 상기 화소 영역에 형성된 화소 전극;A pixel electrode formed in the pixel area; 상기 게이트 라인 또는 공통 라인 상에 형성된 돌기;A protrusion formed on the gate line or the common line; 상기 돌기에 대응되어 상기 제 2 기판 상에 형성되며, 상기 돌기와 대응시 대응되는 제 1 면이 상기 돌기의 대응면보다 크고, 상기 제 1 면에 상기 돌기가 들어오는 홈을 구비한 제 1 칼럼 스페이서; 및A first column spacer formed on the second substrate corresponding to the protrusion, the first surface corresponding to the protrusion being larger than the corresponding surface of the protrusion, and having a groove into which the protrusion enters the first surface; And 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And a liquid crystal layer formed between the first substrate and the second substrate. 제 4항에 있어서,5. The method of claim 4, 상기 박막 트랜지스터는The thin film transistor is 상기 게이트 라인으로부터 돌출된 게이트 전극;A gate electrode protruding from the gate line; 상기 데이터 라인으로부터 돌출된 소오스 전극;A source electrode protruding from the data line; 상기 소오스 전극과 소정 간격 이격된 드레인 전극; 및A drain electrode spaced apart from the source electrode at a predetermined interval; And 상기 게이트 전극 상부이며 상기 소오스/드레인 전극 하부에 형성되며, 상기 소오스 전극과 드레인 전극과 접하여 상기 소오스 전극과 드레인 전극 사이에 채널을 형성하는 반도체층을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And a semiconductor layer formed over the gate electrode and under the source / drain electrode, the semiconductor layer being in contact with the source electrode and the drain electrode to form a channel between the source electrode and the drain electrode. 제 5항에 있어서,6. The method of claim 5, 상기 돌기는 상기 반도체층과 동일층의 반도체층 패턴과 상기 소오스/드레인 전극과 동일층의 소오스/드레인 금속층이 적층되어 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the protrusion is formed by stacking a semiconductor layer pattern of the same layer as the semiconductor layer and a source / drain metal layer of the same layer as the source / drain electrode. 제 4항에 있어서, 5. The method of claim 4, 상기 홈은 상기 돌기보다 크게 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the groove is larger than the protrusion. 제 7항에 있어서,8. The method of claim 7, 상기 홈의 형상은 십자형인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the groove is cross-shaped. 제 5항에 있어서,6. The method of claim 5, 상기 화소 영역에는 상기 화소 전극과 서로 교번되는 공통 전극을 더 포함한 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The pixel area further includes a common electrode alternate with the pixel electrode. 제 9항에 있어서,10. The method of claim 9, 상기 공통 전극과 상기 공통 라인은 서로 연결되어 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the common electrode and the common line are connected to each other. 제 4항에 있어서,5. The method of claim 4, 상기 돌기가 형성되지 않은 상기 게이트 라인 또는 공통 라인의 소정 부위에 대응하여 상기 제 2 기판 상에 제 2 칼럼 스페이서를 더 포함한 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And a second column spacer on the second substrate corresponding to a predetermined portion of the gate line or the common line where the protrusion is not formed. 제 11항에 있어서,12. The method of claim 11, 상기 제 2 칼럼 스페이서에 대응되는 상기 제 1 기판 상의 게이트 라인 또는 공통 라인 상에 보상 패턴을 더 구비한 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And a compensation pattern on a gate line or a common line on the first substrate corresponding to the second column spacer. 제 12항에 있어서,13. The method of claim 12, 상기 보상 패턴은 상기 돌기보다 낮은 두께로 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the compensation pattern is formed to have a thickness lower than that of the protrusion. 서로 대향된 제 1 기판 및 제 2 기판;A first substrate and a second substrate facing each other; 상기 제 1 기판 상에 서로 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인;A gate line and a data line crossing each other on the first substrate to define a pixel area; 상기 게이트 라인과 평행하게 형성된 공통 라인;A common line formed in parallel with the gate line; 상기 게이트 라인과 데이터 라인의 교차부에는 형성된 박막 트랜지스터;A thin film transistor formed at an intersection of the gate line and the data line; 상기 화소 영역에 형성된 화소 전극;A pixel electrode formed in the pixel area; 상기 게이트 라인 또는 공통 라인 상에 형성된 돌기;A protrusion formed on the gate line or the common line; 상기 돌기에 대응되어 상기 제 2 기판 상에 형성되는 제 1 칼럼 스페이서; A first column spacer formed on the second substrate corresponding to the protrusion; 상기 돌기가 형성되지 않은 게이트 라인 또는 공통 라인 상에 형성된 보상 패턴;A compensation pattern formed on the gate line or the common line where the protrusion is not formed; 상기 보상 패턴에 대응되어 상기 제 2 기판 상에 형성되며, 상기 보상 패턴과 대응시 대응되는 제 1 면이 상기 보상 패턴의 대응면보다 크고, 상기 제 1 면에 상기 보상 패턴이 들어오는 홈을 구비한 는 제 2 칼럼 스페이서; 및The first surface corresponding to the compensation pattern is formed on the second substrate, and the first surface corresponding to the compensation pattern is larger than the corresponding surface of the compensation pattern, and the groove includes a groove into which the compensation pattern enters. Second column spacer; And 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And a liquid crystal layer formed between the first substrate and the second substrate. 제 14항에 있어서,15. The method of claim 14, 상기 박막 트랜지스터는The thin film transistor is 상기 게이트 라인으로부터 돌출된 게이트 전극;A gate electrode protruding from the gate line; 상기 데이터 라인으로부터 돌출된 소오스 전극;A source electrode protruding from the data line; 상기 소오스 전극과 소정 간격 이격된 드레인 전극; 및A drain electrode spaced apart from the source electrode at a predetermined interval; And 상기 게이트 전극 상부이며 상기 소오스/드레인 전극 하부에 형성되며, 상기 소오스 전극과 드레인 전극과 접하여 상기 소오스 전극과 드레인 전극 사이에 채널을 형성하는 반도체층을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And a semiconductor layer formed over the gate electrode and under the source / drain electrode, the semiconductor layer being in contact with the source electrode and the drain electrode to form a channel between the source electrode and the drain electrode. 제 15항에 있어서,16. The method of claim 15, 상기 돌기는 상기 반도체층과 동일층의 반도체층 패턴과 상기 소오스/드레인 전극과 동일층의 소오스/드레인 금속층이 적층되어 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the protrusion is formed by stacking a semiconductor layer pattern of the same layer as the semiconductor layer and a source / drain metal layer of the same layer as the source / drain electrode. 제 15항에 있어서,16. The method of claim 15, 상기 보상 패턴은 상기 반도체층과 동일층의 반도체층 패턴으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The compensation pattern is a liquid crystal display device comprising a semiconductor layer pattern of the same layer as the semiconductor layer. 제 14항에 있어서, 15. The method of claim 14, 상기 홈은 상기 보상 패턴보다 크게 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the groove is formed larger than the compensation pattern. 제 18항에 있어서,19. The method of claim 18, 상기 홈의 형상은 십자형인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the groove is cross-shaped. 제 14항에 있어서,15. The method of claim 14, 상기 화소 영역에는 상기 화소 전극과 서로 교번되는 공통 전극을 더 포함한 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The pixel area further includes a common electrode alternate with the pixel electrode. 제 20항에 있어서,The method of claim 20, 상기 공통 전극과 상기 공통 라인은 서로 연결되어 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the common electrode and the common line are connected to each other. 제 1 기판 및 제 2 기판을 준비하는 단계;Preparing a first substrate and a second substrate; 상기 제 1 기판 상에 단차를 형성하는 단계;Forming a step on the first substrate; 상기 제 2 기판 상에 상기 제 1 기판의 단차에 대응되는 위치에 단차가 들어올 수 있는 홈을 구비한 칼럼 스페이서를 형성하는 단계;Forming a column spacer on the second substrate, the column spacer having a groove in which a step may enter at a position corresponding to the step of the first substrate; 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 중 어느 한 기판 상에 액정을 적하하는 단계; 및Dropping liquid crystal onto any one of the first substrate and the second substrate; And 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.And bonding the first and second substrates together. 제 22항에 있어서,23. The method of claim 22, 상기 칼럼 스페이서를 형성하는 단계는Forming the column spacer 상기 제 2 기판 전면에 네거티브 감광성 물질을 도포하는 단계;Applying a negative photosensitive material to the entire surface of the second substrate; 상기 칼럼 스페이서가 형성되지 않는 부위에는 차광부가, 상기 홈이 대응되는 부위에는 반투과부가, 홈을 제외한 나머지 칼럼 스페이서 형성 부위에는 투과부가 정의된 마스크를 상기 네거티브 감광성 물질 상부에 대응시키는 단계;Mapping a mask having a light shielding portion to a portion where the column spacer is not formed, a transflective portion to a portion corresponding to the groove and a transmissive portion to a portion of the column spacer forming portion except for the groove, on the upper portion of the negative photosensitive material; 상기 마스크를 이용하여 상기 네거티브 감광성 물질을 노광 및 현상하여 칼럼 스페이서를 형성하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.And forming a column spacer by exposing and developing the negative photosensitive material by using the mask. 제 22항에 있어서,23. The method of claim 22, 상기 칼럼 스페이서를 형성하는 단계는Forming the column spacer 상기 제 2 기판 전면에 파지티브 감광성 물질을 도포하는 단계;Applying a positive photosensitive material to the entire surface of the second substrate; 상기 칼럼 스페이서가 형성되지 않는 부위에는 투과부가, 상기 홈이 대응되는 부위에는 반투과부가, 홈을 제외한 나머지 칼럼 스페이서 형성 부위에는 차광부가 정의된 마스크를 상기 파지티브 감광성 물질 상부에 대응시키는 단계;Mapping a mask having a transmissive portion to a portion where the column spacer is not formed, a transflective portion to a portion to which the groove corresponds, and a light shielding portion to a portion of the column spacer forming portion except for the groove, on the positive photosensitive material; 상기 마스크를 이용하여 상기 파지티브 감광성 물질을 노광 및 현상하여 칼럼 스페이서를 형성하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.And exposing and developing the positive photosensitive material using the mask to form column spacers. 제 23항 또는 제 24항에 있어서,The method according to claim 23 or 24, 상기 마스크는 하프톤 마스크인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.And said mask is a halftone mask. 제 23항 또는 제 24항에 있어서,The method according to claim 23 or 24, 상기 마스크는 회절 노광 마스크인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.The mask is a method of manufacturing a liquid crystal display device, characterized in that the diffraction exposure mask.
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