KR101168826B1 - 분광측정기를 구비한 분석장치용 냉각장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 분광측정기에 결로 현상이 생기는 것을 방지하는 분광측정기를 구비한 분석장치용 냉각장치에 관한 것으로, 상기 분광측정기를 냉각시키는 냉각장치에 있어서, 상기 분광측정기를 냉각시키는 냉매가 순환되는 냉매배출선 및 냉매인입선과; 상기 냉매배출선 및 냉매인입선에 흐르는 냉매를 열교환시키는 냉각부와; 상기 분광측정기로 불활성가스를 공급하는 불활성가스공급부와; 상기 분광측정기로 공급되는 불활성가스의 공급시간이 미리 설정되는 타이머와; 상기 타이머로 시간 설정을 입력시키는 입력부와; 상기 냉각장치의 전원이 차단되고, 상기 타이머를 통해 미리 설정된 시간이 지났다는 신호가 입력되면, 상기 불활성가스공급부에서 상기 분광측정기로 공급되는 불활성가스가 차단되도록 하는 제어부가 포함된다.
본 발명의 분광측정기를 구비한 분석장치용 냉각장치에 따르면, 분광측정기가 구비된 시료가스 분석장치에 연결되어 분광측정기로 불활성가스가 공급되도록 하고, 분광측정기가 저온 상태를 유지하면서 가동되도록 하며, 분석장치 및 냉각장치의 전원을 차단시키면, 일정 시간 동안 분광측정기로 불활성가스가 공급되도록 하여 분광측정기에 결로 현상이 생기는 것을 방지하는 효과가 있다.

Description

분광측정기를 구비한 분석장치용 냉각장치{Cooling Apparatus for Analyzing Apparatus with Spectrometer}
본 발명은 분광측정기를 구비한 분석장치용 냉각장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 분석 측정시 저온 상태로 유지되는 분광측정기가 구비된 시료가스 분석장치가 가동이 중지되었을 때 분광측정기에 결로 현상이 생기는 것을 방지하는 분광측정기를 구비한 분석장치용 냉각장치에 관한 것이다.
일반적으로 황을 함유한 화합물을 분석하는 방법으로서 황화합물이 함유된 시료가스를 플라즈마 방전시켜 여기된 분자 S2 또는 SO2를 생성하고, 이 여기된 분자가 바닥상태로 복귀할 때 발생하는 특정 파장의 빛의 세기를 측정하여 황화합물의 농도를 분석하였다.
이러한 종래의 분석장치는 도 1에 도시한 바와 같이, 황이 함유된 시료가스의 플라즈마 반응을 통하여 여기된 S2 또는 SO2를 생성하는 플라즈마 반응기(10)와, 상기 플라즈마 반응기(10)에 플라즈마 방전에 필요한 전원을 공급하는 전원공급기(20)를 구비하고 있다.
상기 플라즈마 반응기(10) 내에는 양극과 음극으로 이뤄진 공동전극(미도시)이 배치되어 있다.
플라즈마 방전을 위해 상기 전원공급기(20)에서 공동전극에 공급되는 전원으로는 직류(DC), 교류(AC) 또는 라디오 주파수(RF) 전원이 사용된다.
상기 플라즈마 반응기(10)와 공동전극 사이에는 전기절연과 진공을 위하여 오링(O-ring; 미도시)이 장착되어 있다.
상기 플라즈마 반응기(10)는 10-3 torr 정도를 유지하도록 설계된다.
상기 플라즈마 반응기(10)의 가스주입구는 스테인리스 스틸 재질로 제조된다. 공동전극도 시료가스에 포함된 황화합물과의 화학반응을 방지하기 위하여 스테인리스 스틸 재질로 제조된다.
상기 분석장치는 플라즈마 반응기(10)의 내부압력을 진공으로 조절하기 위한 진공펌프(30)와, 플라즈마 반응기(10)의 진공도를 확인하기 위한 압력계(40)를 구비하고 있다.
상기 플라즈마 반응기(10)로 시료가스를 공급할 때 시료가스를 희석하고 산소를 첨가하여 시료가스를 반응기로 투입하기 위하여 가스투입장치(50)가 마련되어 있다.
가스투입장치(50)는 황이 함유된 시료가스를 저장하고 있는 시료가스저장통과, 시료가스의 희석을 위해 제공되는 아르곤(Ar), 헬륨(He) 또는 네온(Ne) 가스를 저장하고 있는 희석가스저장통과, 산소를 저장하고 있는 산소저장통을 구비하고 있다.
이 가스투입장치(50)와 플라즈마 반응기(10)의 유입구 사이에는 유량계(60)가 설치되어 있다.
상기 플라즈마 반응기(10)에는 분광측정기(Spectroscopic Detect or CCD; 70)가 연결되어 있다. 이 분광측정기(70)는 플라즈마 반응기(10) 내에 광학센서(미도시)를 구비하고 플라즈마의 분자발광도를 검출한다.
상기 광학센서에서 검출된 분자발광도는 상기 분광측정기(70)의 분광부(CCD ＆ Monochromator; 미도시)에서 특정 파장의 발광도를 추출하여 시료가스에 포함된 황화합물의 농도를 측정하게 된다.
즉, 분광부에서는 특정 파장(예를 들어, S2의 경우 394nm, SO2의 경우 350nm)에서 방출하는 빛의 발광도(세기)와 황화합물의 농도가 선형적으로 비례하는 특성으로부터 검출된 분자발광도를 가지고 황화합물의 농도를 측정하게 된다.
이러한 분광측정기(70)는 알루미늄 재질로 제조되며, 분광측정이 이루어지는 광학센서 부분에는 수정렌즈(Quartz Lens)가 부착되어 있다. 분광측정기(70)에는 추가로 레코더(Recorder; 미도시)를 마련하여 측정된 데이터를 기록하게 된다.
이러한 분석장치에서 상기 분광측정기(70)는 영하의 저온 상태에서 가동되며, 분광측정기(70)를 영하의 저온 상태로 유지하기 위한 냉각장치(미도시)가 연결된다.
종래의 분석장치에서, 시료가스의 분석이 끝난 후 분석장치와 냉각장치의 전원을 차단 시키면, 상기 분광측정기(70)의 온도가 상승하게 되는데, 이때 상기 분광측정기(70)는 초기에 영하의 온도이므로 주변 공기와 접촉되어 결로 현상이 발생 될 수 있다.
따라서, 분석이 끝난 후 분석장치와 냉각장치의 전원이 차단된 후에도 일정시간 불활성 가스를 분광측정기(70)로 공급하여 분광측정기(70)가 공기와 접촉되는 것을 차단하여야 하는 문제점이 있었다.
대한민국 등록특허공보 등록번호 제10-0565171호
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 분광측정기가 구비된 분석장치에 연결되어 분광측정기로 불활성가스가 공급되도록 하고, 분광측정기가 저온 상태를 유지하면서 가동되도록 하며, 분석장치 및 냉각장치의 전원을 차단시키면, 일정 시간 동안 분광측정기로 불활성가스가 공급되도록 하여 분광측정기에 결로 현상이 생기는 것을 방지하는 분광측정기를 구비한 분석장치용 냉각장치를 제공하는 것이다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 분광측정기를 구비한 분석장치용 냉각장치는 분광측정기를 구비하는 분석장치에 연결되어 상기 분광측정기를 냉각시키는 냉각장치에 있어서, 상기 분광측정기를 냉각시키는 냉매가 순환되는 냉매배출선 및 냉매인입선과; 상기 냉매배출선 및 냉매인입선에 흐르는 냉매를 열교환시키는 냉각부와; 상기 분광측정기로 불활성가스를 공급하는 불활성가스공급부와; 상기 분광측정기로 공급되는 불활성가스의 공급시간이 미리 설정되는 타이머와; 상기 타이머로 시간 설정을 입력시키는 입력부와; 상기 냉각장치의 전원이 차단되고, 상기 타이머를 통해 미리 설정된 시간이 지났다는 신호가 입력되면, 상기 불활성가스공급부에서 상기 분광측정기로 공급되는 불활성가스가 차단되도록 하는 제어부가 포함된다.
상기 냉각장치의 일측에는 상기 냉매배출선이 배출되는 냉매배출구와, 상기 냉매인입선이 인입되는 냉매인입구가 구비되며; 상기 냉각부를 통해 열교환 된 냉매가 상기 냉매배출선으로 배출되어 상기 분광측정기를 냉각시키며, 상기 분광측정기를 냉각시킨 후 열교환 된 냉매가 상기 냉매인입선을 통해 상기 냉각부로 인입될 수 있다.
상기 냉각장치의 일측에는 상기 불활성가스공급부에 연결되는 가스인입구와, 상기 분광측정기에 연결되는 가스배출구가 각각 구비되고; 상기 냉각장치의 내측에는 상기 가스인입구와 상기 가스배출구를 연결시키는 밸브경유선과, 상기 밸브경유선 상에 구비된 밸브가 구비되며; 상기 제어부는 상기 밸브에 연결되어 상기 타이머로부터 미리 설정된 시간이 지났다는 신호가 입력되면 밸브가 잠기도록 제어할 수 있다.
상기 냉각장치에는 상기 불활성가스공급부를 통해 공급되는 불활성가스를 상기 가스인입구로 인입받는 가스인입선과, 상기 가스배출구로부터 상기 분광측정기로 불활성가스를 공급시키기 위한 가스배출선이 구비될 수 있다.
상기 분석장치에는 분석장치를 제어하는 제어부가 포함되며; 상기 분석장치의 전원이 차단되었다는 신호가 분석장치를 제어하는 제어부를 통해 상기 제어부에 입력되면, 상기 제어부는 상기 타이머를 작동시킨 후 미리 설정된 시간이 지나면 상기 불활성가스공급부에서 상기 분광측정기로 공급되는 불활성가스가 차단되도록 할 수 있다.
상기 분광측정기에는 펠티어소자가 구비될 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 분광측정기를 구비한 분석장치용 냉각장치에 따르면, 분광측정기가 구비된 분석장치에 연결되어 분광측정기로 불활성가스가 공급되도록 하고, 분광측정기가 저온 상태를 유지하면서 가동되도록 하며, 분석장치 및 냉각장치의 전원을 차단시키면, 일정 시간 동안 분광측정기로 불활성가스가 공급되도록 하여 분광측정기에 결로 현상이 생기는 것을 방지하는 효과가 있다.
도 1은 종래의 시료가스 분석장치를 도시한 블록도이며,
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 시료가스 분석장치를 도시한 블록도이며,
도 3 및 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 시료가스 분석장치에 연결된 냉각장치의 외관을 도시한 사시도이며,
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 시료가스 분석장치에 연결된 냉각장치를 도시한 블록도이며,
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 시료가스 분석장치에 연결된 냉각장치를 도시한 다른 블록도이다.
이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 시료가스 분석장치를 도시한 블록도이며, 도 3 및 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 시료가스 분석장치에 연결된 냉각장치의 외관을 도시한 사시도이며, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 시료가스 분석장치에 연결된 냉각장치를 도시한 블록도이다.
본 발명의 일실시예에 따른 시료가스 분석장치는 도 2에 도시한 바와 같이, 시료가스의 플라즈마 반응을 통하여 분석가스를 여기하는 플라즈마 반응기(300)와, 상기 플라즈마 반응기(300)에서 플라즈마 방전에 필요한 전원을 공급하는 전원공급기(390)를 구비하고 있다.
상기 시료가스 분석장치는 플라즈마 반응기(300)의 내부압력을 진공으로 조절하기 위한 진공펌프(370)와, 플라즈마 반응기(300)의 진공도를 확인하기 위한 압력계(350)를 구비하고 있다.
상기 플라즈마 반응기(300)로 시료가스를 투입하기 위하여 가스투입장치(400)가 마련되어 있다.
가스투입장치(400)는 시료가스를 저장하고 있는 시료가스공급부(410)와, 시료가스의 희석을 위해 제공되는 아르곤(Ar), 헬륨(He) 또는 네온(Ne) 등의 불활성가스를 저장하고 있는 불활성가스공급부(430)를 구비하고 있다.
상기 가스투입장치(400)와 플라즈마 반응기(300)의 유입구 사이에는 유량계(450)가 설치되어 있다.
상기 플라즈마 반응기(300)에는 분광측정기(200)가 연결되어 있다. 상기 분광측정기(200)는 플라즈마 반응기(300) 내에 광학센서(미도시)를 구비하고, 상기 광학센서를 통해 플라즈마의 분자 발광도를 검출한다.
상기 광학센서에서 검출된 분자 발광도는 상기 분광측정기(200)의 분광부(CCD ＆ Monochromator; 미도시)에서 특정 파장의 발광도를 추출하여 시료가스에 포함된 화합물의 농도를 측정하게 된다.
즉, 상기 분광부에서는 특정 파장(예를 들어, S2의 경우 394nm, SO2의 경우 350nm)에서 방출하는 빛의 발광도(세기)와 화합물의 농도가 선형적으로 비례하는 특성으로부터 검출된 분자 발광도를 가지고 화합물의 농도를 측정하게 된다.
이러한 분광측정기(200)는 알루미늄 재질로 제조되며, 분광측정이 이루어지는 광학센서 부분에는 수정렌즈(Quartz Lens)가 부착되어 있다. 상기 분광측정기(200)에는 추가로 레코더(Recorder; 미도시)가 구비되어 측정된 데이터를 기록하게 된다.
상기 분광측정기(200)는 영하의 저온 상태에서 가동되어야 하므로, 상기 시료가스 분석장치에는 상기 분광측정기(200)가 저온 상태가 유지되도록 냉각시키는 냉각장치(100)가 연결된다.
상기 냉각장치(100)는 상기 광학센서에 연결될 수 있다.
본 발명에 따른 상기 냉각장치(100)에는 도 3 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 전방 일측에 압력계(155)와 입력부(160)와 디스플레이(170)와 온도계(199)가 구비되고, 후방 일측에 냉매배출구(1911)와 냉매인입구(1951)와 가스인입구(4311)와 가스배출구(4351)가 구비된다.
상기 냉각장치(100)의 내측에는 냉각부(110)와, 밸브(150)와, 모터(120)와, 타이머(140)와, 제어부(130)와, 저장부(180)와, 펌프(199)가 포함되어 구비된다.
상기 냉각부(110)에서는 압축부(111), 응축부(113), 팽창부(115) 및 증발부(117)를 거치며 냉각 과정이 이루어진다.
상기 냉각 과정은 본 분야에서 공지된 사항이므로 자세한 설명은 생략한다.
상기 모터(120)는 상기 냉각부(110)의 압축부(111)와 상기 펌프(199)를 구동시키며, 상기 모터(120)는 상기 제어부(130)에 의해 제어된다.
상기 냉각부(110)와 상기 분광측정기(200) 사이에는 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 분광측정기(200)를 저온 상태로 냉각시키기 위해 냉매가 내장되어 순환되는 냉매출력선(191) 및 냉매인입선(195)이 구비된다.
상기 냉매출력선(191)은 상기 냉매배출구(1911)로부터 배출되어 상기 분광측정기(200)에 접촉되며, 상기 냉매인입선(195)은 상기 냉매인입구(1951)로부터 배출되어 상기 분광측정기(200)에 접촉된다.
상기 냉매출력선(191) 및 냉매인입선(195)의 일측은 연통되도록 일체로 이루어져 상기 분광측정기(200)에 접촉되며, 타측은 상기 냉각장치(100)의 내부로 연장되어 연통되도록 일체로 이루어져 상기 증발부(117)에 접촉된다.
상기 펌프(199)는 상기 냉매출력선(191) 및 냉매입력선(195)에 내장된 냉매를 순환시킨다. 상기 펌프(199)는 상기 제어부(130)에 의해 제어된다.
상기 펌프(199)는 상기 모터(120)에 의해 구동되지 않고 별도로 구비될 수도 있다.
상기 가스인입구(4311)와 상기 가스배출구(4351)를 연결시키는 밸브경유선(155)이 상기 냉각장치(100)의 내측에 구비되며, 상기 밸브(150)는 상기 밸브경유선(155) 상에 구비된다.
따라서, 상기 밸브(150)의 일측은 상기 가스인입구(4311)에 연결되고, 타측은 상기 가스배출구(4351)에 연결된다.
상기 가스인입구(4311)에는 상기 불활성가스공급부(430)로 연결되는 가스인입선(431)이 구비되고, 가스배출구(4351)에는 상기 분광측정기(200)로 연결되는 가스배출선(435)이 구비된다.
상기 입력부(160)는 상기 타이머(140)가 실행되는 시간을 설정하며, 상기 입력부(160)를 통해 설정된 시간은 상기 저장부(180)에 저장된다.
상기 타이머(140)가 실행되는 시간은 주변 기온에 따라 달리 설정할 수 있다.
상기 입력부(160)를 통해 상기 타이머(140)에 설정된 시간은 상기 디스플레이(450)로 표시된다.
상기 제어부(130)는 상기 타이머(140)를 작동시키며, 상기 밸브(150)에 연결되어 상기 타이머(140)로부터 설정된 시간이 지났다는 신호가 입력되면 밸브(150)가 잠기도록 제어한다.
상기 밸브(150)는 솔레노이드 밸브이다.
상술한 바와 같이, 시료가스 분석장치와 냉각장치(100)가 구비되면, 시료가스 분석장치와 냉각장치의 전원을 온 시켜, 상기 시료가스 분석장치와 냉각장치를 작동시킨다.
이어서, 상기 시료가스공급부(410)에 저장된 시료가스와, 상기 불활성가스공급부(430)에 저장된 불활성가스를 상기 플라즈마 반응기(300)로 공급하여, 불활성가스로 희석된 시료가스를 플라즈마 반응기(300) 내로 주입한다.
이때, 상기 플라즈마 반응기(300)는 진공펌프(370)를 작동시켜 내부를 진공상태로 유지시키고, 공동전극은 상기 전원공급기(390)로부터 전원을 공급받아 방전을 일으켜 플라즈마를 형성시킨다.
상기 플라즈마 방전에 의해 시료가스는 분해되어 여기되며, 여기된 분자는 바닥상태로 되돌아오면서 빛을 방출하게 된다.
이때, 발생하는 빛의 세기를 상기 분광측정기(200)에서 측정하여 시료가스에 포함된 화합물의 농도를 분석한다.
상기 냉각장치(100)에서는 제어부(130)를 통해 모터(120)가 구동되도록 하여 냉각부(110)와 펌프(199)를 작동시키고, 밸브(150)가 열리도록 하여 상기 가스입력선(431) 및 가스출력선(435)를 통해 상기 분광측정기(200)로 불활성가스가 공급되도록 한다.
상기 냉매출력선(191)과 냉매인입선(195)에 내장된 냉매는 펌프(199)의 작동에 의해 상기 냉각부(110)와 상기 분광측정기(200) 사이를 경유하면서 순환하게 된다.
상기 냉각부(110)에서 냉각 작용이 이루어지면서 상기 증발부(117)를 경유하는 냉매는 저온으로 열교환 되어 상기 냉매출력선(191)을 통해 상기 분광측정기(200)로 유입되어 상기 분광측정기(200)를 냉각시킨다.
이어서, 상기 분광측정기(200)를 경유한 냉매는 고온으로 열교환 되어 상기 냉매인입선(195)을 통해 상기 증발부(117)를 경유하면서 다시 저온으로 열교환 된다. 이렇게 반복하여 순환함으로써 상기 분광측정기(200)를 냉각시킬 수가 있다.
한편, 상기 증발부(117)를 통과하여 냉각된 공기를 상기 분광측정기(200)로 직접 전달시킴으로써, 상기 냉매출력선(191), 냉매인입선(195) 및 상기 냉매출력선(191)과 냉매인입선(195)의 내부를 순환하는 냉매가 없어도 상기 분광측정기(200)를 냉각시킬 수가 있다.
이어서, 분광측정기(200)를 통해 시료가스의 분석이 마무리되면, 상기 시료가스 분석장치와 냉각장치(100)의 전원을 오프시킨다.
상기 냉각부(110)는 작동이 정지되어 냉각 작용이 중단되고, 상기 펌프(199)의 작동도 중단되어 상기 냉매출력선(191)과 냉매인입선(195)에 내장된 냉매의 순환도 정지된다.
이때, 상기 분광측정기(200)는 저온 상태로 존재하며, 상기 제어부(130)에서는 상기 타이머(140)를 작동시키고, 상기 밸브(150)를 열림 상태로 유지시켜, 상기 분광측정기(200)로 불활성가스가 계속 공급되도록 한다.
이렇게 함으로써, 저온의 분광측정기(200)가 외부 공기와 접촉되는 것이 차단되어, 분광측정기(200)의 온도가 상승하면서 결로 현상이 생기는 것이 방지한다.
이어서, 타이머(140)를 통해 미리 설정된 시간이 경과 하였다는 신호가 제어부(130)로 입력되면, 상기 밸브(150)가 잠기도록 하여 불활성가스가 상기 분광측정기(200)로 공급되는 것을 차단시킨다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 시료가스 분석장치에 연결된 냉각장치를 도시한 다른 블록도이다.
도 6에 도시한 바와 같이, 상기 분광측정기(200)에 펠티어소자(500)를 더 구비하고, 상기 펠티어소자(500)와 냉각부(110) 사이에 상기 냉매배출선(191)과 냉매인입선(195)이 위치되도록 구비한다.
상기 펠티어소자(500)는 전원을 공급하면 일측은 온도가 낮아지고, 타측은 상대적으로 온도가 높아지는데, 일측과 타측 사이에는 일정한 온도차가 유지되는 성질이 있으므로, 온도가 낮아지는 일측이 분광측정기(200)에 위치되도록 하고, 온도가 높아지는 타측이 냉매배출선(191) 및 냉매인입선(195)이 위치되도록 한다.
따라서, 상기 냉매배출선(191)을 통해 저온의 냉매가 펠티어소자(500)의 타측을 경유하면 타측의 온도는 낮아지게 되는데, 일측과 타측은 일정한 온도가 유지되어야 하므로, 일측의 온도는 더욱 낮아지게 된다.
이렇게 함으로써, 펠티어소자(500)를 통하여 상기 분광측정기(200)를 냉각시킬 수가 있다.
한편, 상기 분석장치에는 분석장치를 제어하는 제어부(미도시)가 포함되며, 상기 분석장치를 제어하는 제어부는 상기 제어부(130)에 연결된다.
따라서, 상기 분광측정기(200)를 통해 시료가스의 분석이 마무리되어 상기 시료가스 분석장치의 전원 및 냉각장치(100)의 전원을 오프시키면, 상기 분석장치를 제어하는 제어부에서 상기 제어부(130)로 분석장치의 전원이 차단되었다는 신호가 입력된다.
이어서, 상기 제어부(130)에서는 상기 타이머(140)를 작동시킨 후 미리 설정된 시간이 지나면 상기 불활성가스공급부(430)에서 상기 분광측정기(200)로 공급되는 불활성가스가 차단되도록 할 수도 있다.
이상의 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 제시하여 설명하였으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경할 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.
100: 냉각장치 110: 냉각부
130: 제어부 140: 타이머
160: 입력부 191: 냉매배출선
195: 냉매인입선 200: 분광측정기
430: 불활성가스공급부

Claims (6)

  1. 분광측정기(200)를 구비하는 분석장치에 연결되어 상기 분광측정기(200)를 냉각시키는 냉각장치(100)에 있어서; 상기 분광측정기(200)를 냉각시키는 냉매가 순환되는 냉매배출선(191) 및 냉매인입선(195)과, 상기 냉매배출선(191) 및 냉매인입선(195)에 흐르는 냉매를 열교환시키는 냉각부(110)와, 상기 분광측정기(200)로 불활성가스를 공급하는 불활성가스공급부(430)와, 제어부(130)에 연결되며 상기 분광측정기(200)로 공급되는 불활성가스의 공급시간이 미리 설정되는 타이머(140)와, 제어부(130)에 연결되며 상기 타이머(140)로 시간 설정을 입력시키는 입력부(160)와, 제어부(130)를 포함하여 구성되며; 일측으로 상기 불활성가스공급부(430)에 연결되는 가스인입구(4311)와 분광측정기(200)에 연결되는 가스배출구(4351)가 각각 구비되고, 내측으로 상기 가스인입구(4311)와 상기 가스배출구(4351)를 연결시키는 밸브경유선(155)이 구비되며, 상기 밸브경유선(155) 상에 위치하며 제어부(130)에 연결되어 제어되는 밸브(150)가 구비되며; 냉각장치(100)의 전원이 차단될 때 상기 제어부(130)는 타이머(140)를 작동시키고 타이머(140)로부터 설정된 시간이 지났다는 신호가 입력되면 밸브(150)가 잠기도록 제어하는 것을 특징으로 한 분광측정기를 구비한 분석장치용 냉각장치(100).
  2. 제1항에 있어서, 상기 분석장치의 전원이 차단되었다는 신호가 분석장치를 제어하는 제어부를 통해 상기 제어부(130)에 입력되면, 상기 제어부(130)는 타이머(140)를 작동시키고 타이머(140)로부터 설정된 시간이 지났다는 신호가 입력되면 상기 불활성가스공급부(430)에서 상기 분광측정기(200)로 공급되는 불활성가스가 차단되도록 상기 밸브(150)를 제어하는 것을 특징으로 한 분광측정기를 구비한 분석장치용 냉각장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서, 상기 냉각장치(100)에는 상기 불활성가스공급부(430)를 통해 공급되는 불활성가스를 상기 가스인입구(4311)로 인입받는 가스인입선(431)과, 상기 가스배출구(4351)로부터 상기 분광측정기(200)로 불활성가스를 공급시키기 위한 가스배출선(435)이 구비된 것을 특징으로 한 분광측정기를 구비한 분석장치용 냉각장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 냉각장치(100)의 일측에는 상기 냉매배출선(191)이 배출되는 냉매배출구(1911)와, 상기 냉매인입선(195)이 인입되는 냉매인입구(1951)가 구비되며; 상기 냉각부(110)를 통해 열교환 된 냉매가 상기 냉매배출선(191)으로 배출되어 상기 분광측정기(200)를 냉각시키며, 상기 분광측정기(200)를 냉각시킨 후 열교환 된 냉매가 상기 냉매인입선(195)을 통해 상기 냉각부(110)로 인입되는 것을 특징으로 한 분광측정기를 구비한 분석장치용 냉각장치.
  6. 삭제
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