KR101163600B1 - Plate for holding the substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명은 규격이 다른 글라스 기판이 놓일지라도 흔들림 없이 글라스 기판을 견고하게 고정할 수 있는 플레이트를 개시한다. 본 발명에 따른 플레이트는, 글라스 기판의 설정된 부분과 대응하는 위치에 고정되어 있는 다수의 기판 고정 수단을 포함하되, 각 기판 고정 수단은 하단부가 플레이트에 고정된 지지 로드; 지지 로드 내측에 위치하는 제 1 금속 로드; 및 제 1 금속 로드 내측면에 밀착되어 있는 제 2 금속 로드로 이루어지며, 제 2 금속 로드를 제 1 금속 로드를 구성하는 금속의 열팽창 계수보다 작은 열팽창계수를 갖는 금속로 이루어진다. 한편, 기판 고정 수단은 글라스 기판의 모든 코너부의 양변에 대응하도록 설치되나, 글라스 기판의 대각선 방향의 2개소의 코너부의 양변 또는 글라스 기판의 각 변에 대응하도록 설치되어도 동일한 효과를 얻을 수 있다.The present invention discloses a plate capable of firmly fixing a glass substrate without shaking even if glass substrates having different specifications are placed. The plate according to the present invention includes a plurality of substrate fixing means fixed to a position corresponding to the set portion of the glass substrate, each substrate fixing means includes a support rod fixed to the lower end plate; A first metal rod located inside the support rod; And a second metal rod in close contact with the inner side of the first metal rod, and the second metal rod is made of a metal having a coefficient of thermal expansion smaller than that of the metal constituting the first metal rod. On the other hand, the substrate fixing means is provided so as to correspond to both sides of all corner portions of the glass substrate, but the same effect can be obtained even if provided to correspond to both sides of two corner portions in the diagonal direction of the glass substrate or to each side of the glass substrate.

글라스 기판, 고정 플레이트 Glass substrate, fixed plate

Description

기판 고정용 플레이트{Plate for holding the substrate}Plate for holding the substrate

도 1은 글라스 기판을 고정하는 일반적인 플레이트의 개략적인 평면도.1 is a schematic plan view of a general plate for fixing a glass substrate.

도 2는 도 1의 "B" 부분의 대응 도면으로서, 본 발명에 따른 플레이트에 장착된 단일의 기판 고정 수단의 구성을 도시함.FIG. 2 is a corresponding view of part “B” of FIG. 1, showing the configuration of a single substrate holding means mounted to a plate according to the invention. FIG.

도 3은 도 2의 대응 도면으로서, 도 2에 도시된 기판보다 작은 규격의 기판이 놓여진 경우의 기판 고정 수단의 고정 기능을 도시함.FIG. 3 is a corresponding view of FIG. 2, showing the fixing function of the substrate holding means in the case where a substrate having a smaller size than that shown in FIG.

본 발명은 기판 고정용 플레이트에 관한 것으로서, 특히 다양한 규격의 기판을 견고하게 고정할 수 있는 플레이트에 관한 것이다.The present invention relates to a plate for fixing a substrate, and more particularly to a plate capable of firmly fixing a substrate of various standards.

글라스 기판(glass substrate)은 유기 전계 발광 소자 또는 반도체 소자를 제조하는데 있어 가장 기본적인 부재로서, 기판 표면에 다양한 구성 요소들을 형성함으로서 개별적인 소자가 형성된다.Glass substrates are the most basic members in manufacturing organic electroluminescent devices or semiconductor devices, and individual devices are formed by forming various components on the substrate surface.

소자의 제조 공정에서는, 글라스 기판을 각 공정 단계로 투입하게 된다. 각 공정 단계로의 글라스 기판 투입 과정에서 재질이 유리인 기판에 대한 세심한 취급이 요구된다. 이송 과정에서 글라스 기판이 제조 설비 및 장비에 접촉하는 경우, 그 표면에 스크래치(scratch)가 발생되어 기판으로서의 기능에 큰 영향을 초래하게 된다. 심한 경우, 제조 설비 및 장비와의 접촉시 가해지는 외력에 의하여 글라스 기판이 파손되는 경우도 발생할 수 있다. In the manufacturing process of the device, a glass substrate is introduced into each process step. Careful handling of glass substrates is required during the glass substrate loading process. When the glass substrate contacts the manufacturing equipment and equipment during the transfer process, scratches are generated on the surface thereof, which greatly affects the function as the substrate. In severe cases, the glass substrate may be broken by an external force applied upon contact with manufacturing facilities and equipment.

글라스 기판 이송 과정에서 발생할 수 있는 이러한 문제점을 해결하기 위하여 글라스 기판을 고정하는 플레이트를 이용한다. 즉, 플레이트 상에 글라스 기판을 고정시킨 상태에서 플레이트를 이동시킴으로서 글라스 기판의 흔들림이 방지되며, 그에 따라 글라스 기판에는 스크래칭 등과 같은 손상이 발생되지 않는다.In order to solve this problem that may occur during the glass substrate transfer process, a plate fixing the glass substrate is used. That is, by moving the plate in a state where the glass substrate is fixed on the plate, shaking of the glass substrate is prevented, so that damage such as scratching does not occur on the glass substrate.

한편, 글라스 기판은 그 제조 단계에서 대형 규격으로 제조된 후, 소자 제조 단계에서 소정의 규격으로 절단된다. 소정 규격으로 절단된 글라스 기판에 대하여 각종 공정을 수행하며, 이후 각 단위 소자로 개별화시킨다.On the other hand, the glass substrate is manufactured to a large standard in the manufacturing step, and then cut to a predetermined standard in the device manufacturing step. Various processes are performed on the glass substrate cut to a predetermined standard, and then individualized into individual unit elements.

단위 소자의 크기 및 공정 조건에 의하여 공정에 투입될 글라스 기판의 규격이 결정되며, 따라서 절단 공정을 통하여 대형 글라스 기판을 다양한 규격의 기판들, 예를 들어 730mmX920mm의 대형 글라스 기판을 365mmX460mm 규격의 글라스 기판들로 분리하게 된다.The size of the unit element and the process conditions determine the size of the glass substrate to be introduced into the process. Therefore, the large glass substrate is cut into various substrates, for example, the large glass substrate of 730mmX920mm, and the glass substrate of 365mmX460mm. To separate them.

이와 같이 소정의 규격으로 절단된 글라스 기판은 위에서 설명한 플레이트 상에 고정된 상태에서 각종 공정 장비로 투입된다. The glass substrate cut to a predetermined standard as described above is introduced into various process equipment in a state of being fixed on the plate described above.

도 1은 글라스 기판을 고정하는 일반적인 플레이트의 개략적인 평면도로서, 편의상 플레이트(1)의 주변 장비(예를 들어, 이송 수단 등)는 도시하지 않았다.FIG. 1 is a schematic plan view of a general plate for fixing a glass substrate, and for convenience the peripheral equipment (for example, conveying means, etc.) of the plate 1 is not shown.

글라스 기판이 놓여지는 플레이트(1)의 상부 표면에는 다수의 수직 핀(1A)이 고정되어 있다. 플레이트(1) 표면 상에 놓여지는 글라스 기판의 각 코너부에는 2개 의 수직 핀(1A)이 대응하며, 따라서 플레이트(1)에는 8개의 수직 핀(1A)이 고정된다. A plurality of vertical pins 1A are fixed to the upper surface of the plate 1 on which the glass substrate is placed. Two vertical pins 1A correspond to each corner portion of the glass substrate placed on the surface of the plate 1, so that eight vertical pins 1A are fixed to the plate 1.

글라스 기판의 각 코너부에는 2개의 수직 핀(1A)이 코너부의 양변에 접촉하게 되며, 결과적으로 8개의 수직 핀(1A)이 글라스 기판의 4개의 변에 2개씩 접촉하게 되어 글라스 기판의 흔들림을 방지한다. In each corner portion of the glass substrate, two vertical pins 1A come in contact with both sides of the corner portion. As a result, eight vertical pins 1A come in contact with two of the four sides of the glass substrate. prevent.

이러한 기능을 수행하는 수직 핀(1A)은 플레이트(1)에 고정된 상태이므로 수직 핀(1A)에 의하여 고정되는 글라스 기판의 규격은 제한적일 수 밖에 없다. 예를 들어, 8개의 수직 핀(1A)들이 370mmX470mm 규격의 글라스 기판(S1)을 고정하도록 배치되어 있다면, 그보다 작은 규격, 예를 들어 대형 글라스 기판에서 절단된 365mmX460mm 규격의 글라스 기판(S2)이 플레이트(1) 상에 놓여질 경우, 수직 핀(1A)들은 글라스 기판(S2)의 변에 접촉하지 않고 소정의 간격(C)이 존재하게 된다.Since the vertical pin 1A performing this function is fixed to the plate 1, the specification of the glass substrate fixed by the vertical pin 1A is inevitably limited. For example, if eight vertical pins 1A are arranged to fix a glass substrate S 1 having a size of 370 mm X 470 mm, a glass substrate S 2 having a size of 365 mm X 460 mm cut out from a smaller size, for example, a large glass substrate. When placed on the plate 1, the vertical pins 1A do not contact the sides of the glass substrate S 2 , and a predetermined distance C is present.

이와 같이 수직 핀(1A)과 글라스 기판(S2)의 변 사이에 간격(C)이 존재하는 상태에서 플레이트(1)를 이동시킬 경우, 글라스 기판(S2)은 플레이트(1) 표면 상에서 움직이게 되며, 따라서 글라스 기판(S2) 표면에 스크래치 등과 같은 손상이 발생할 수 있다. 특히, 플레이트(1)에 외력이 작용할 경우, 글라스 기판(S2)이 플레이트(1)에서 이탈되어 부러지는 최악의 경우도 발생하게 된다.Thus, moving the vertical pin (1A) and the glass substrate plate (1) in a state in which a gap (C) existing between the sides of a (S 2), a glass substrate (S 2) is moved on a surface plate (1) Therefore, damage such as scratches may occur on the surface of the glass substrate S 2 . In particular, when an external force acts on the plate 1, the worst case in which the glass substrate S 2 is separated from the plate 1 and broken is generated.

본 발명은 글라스 기판이 놓여진 플레이트에서 발생할 수 있는 위와 같은 문 제점을 해결하기 위한 것으로서, 규격이 다른 글라스 기판이 놓여질지라도 흔들림 없이 글라스 기판을 견고하게 고정시킬 수 있는 플레이트를 제공하는데 그 목적이 있다. The present invention is to solve the above problems that may occur in the plate on which the glass substrate is placed, an object of the present invention is to provide a plate that can be firmly fixed to the glass substrate without shaking even if the glass substrate of different specifications.

상술한 목적을 실현하기 위한 본 발명에 따른 플레이트는, 글라스 기판의 설정된 부분과 대응하는 위치에 고정되어 있는 다수의 기판 고정 수단을 포함하되, 각 기판 고정 수단은 하단부가 플레이트에 고정된 지지 로드; 지지 로드 내측에 위치하는 제 1 금속 로드; 및 제 1 금속 로드 내측면에 밀착되어 있는 제 2 금속 로드로 이루어지며, 제 2 금속 로드를 제 1 금속 로드를 구성하는 금속의 열팽창 계수보다 작은 열팽창계수를 갖는 금속로 이루어진다. The plate according to the present invention for realizing the above object comprises a plurality of substrate fixing means fixed to a position corresponding to the set portion of the glass substrate, each substrate fixing means is a lower end fixed to the plate; A first metal rod located inside the support rod; And a second metal rod in close contact with the inner side of the first metal rod, and the second metal rod is made of a metal having a coefficient of thermal expansion smaller than that of the metal constituting the first metal rod.

한편, 기판 고정 수단은 글라스 기판의 모든 코너부의 양변에 대응하도록 설치되나, 글라스 기판의 대각선 방향의 2개소의 코너부의 양변 또는 글라스 기판의 각 변에 대응하도록 설치되어도 동일한 효과를 얻을 수 있다.On the other hand, the substrate fixing means is provided so as to correspond to both sides of all corner portions of the glass substrate, but the same effect can be obtained even if provided to correspond to both sides of two corner portions in the diagonal direction of the glass substrate or to each side of the glass substrate.

첨부된 도면을 참고로 한 바람직한 실시예의 상세한 설명에 의하여 본 발명은 보다 완전하게 이해될 것이다. The invention will be more fully understood by the detailed description of the preferred embodiment with reference to the attached drawings.

도 2는 도 1의 "B" 부분의 대응 도면으로서, 본 발명에 따른 플레이트에 장착된 단일의 기판 고정 수단의 구성을 도시하고 있다. FIG. 2 is a corresponding view of part “B” of FIG. 1, showing the configuration of a single substrate holding means mounted to a plate according to the invention.

도 2에는 단일의 기판 고정 수단을 도시하고 있으나, 도 1에서와 같이, 본 발명에 따른 글라스 기판 고정용 플레이트(10)의 상부 표면에는 다수의 기판 고정 수단(11)이 장착되어 있다. 플레이트(10) 표면 상에 놓여지는 글라스 기판의 각 코 너부에는 2개의 기판 고정 수단(11)이 대응된다. Although a single substrate fixing means is shown in FIG. 2, as shown in FIG. 1, a plurality of substrate fixing means 11 is mounted on the upper surface of the glass substrate fixing plate 10 according to the present invention. Two substrate fixing means 11 correspond to each corner portion of the glass substrate placed on the surface of the plate 10.

글라스 기판의 각 코너부에는 2개의 기판 고정 수단(11)이 모서리의 양변에 접촉하게 되며, 결과적으로 8개의 기판 고정 수단(11)이 글라스 기판의 4개의 변에 2개씩 접촉하게 되어 글라스 기판의 흔들림을 방지한다. At each corner of the glass substrate, two substrate fixing means 11 come into contact with both sides of the corner. As a result, eight substrate fixing means 11 come into contact with two of four sides of the glass substrate. Prevent shake.

도 2에 도시된 바와 같이, 각 기판 고정 수단(11)은 플레이트(10)에 하단이 고정되어 있는 소정 높이의 지지 로드(11-1), 지지 로드(11-1) 내측에 위치하는 가변 로드부(11-2)로 이루어진다. 지지 로드(11-1)는 형태가 변형되는 가변 로드부(11-2)를 지지하는 부재로서, 가변 로드부(11-2)가 단일 방향으로만 변형될 수 있도록 고정되어 있다. As shown in FIG. 2, each substrate fixing means 11 includes a support rod 11-1 having a predetermined height at which a lower end thereof is fixed to the plate 10, and a variable rod positioned inside the support rod 11-1. It consists of a part 11-2. The supporting rod 11-1 is a member for supporting the variable rod portion 11-2 whose shape is deformed, and is fixed so that the variable rod portion 11-2 can be deformed only in a single direction.

가변 로드부(11-2)는 하단이 플레이트(10)에 고정된 소정 높이의 제 1 및 제 2 금속 로드(11-2A 및 11-2B)로 이루어진다. 제 1 금속 로드(11-2A)는 그 일면이 지지 로드(11-1)의 일면에 접촉하며, 또 다른 일면은 제 2 금속 로드(11-2B)의 이면과 접촉하게 된다.The variable rod part 11-2 is made up of first and second metal rods 11-2A and 11-2B of predetermined heights whose lower ends are fixed to the plate 10. One surface of the first metal rod 11-2A contacts one surface of the support rod 11-1, and the other surface of the first metal rod 11-2A contacts the rear surface of the second metal rod 11-2B.

제 1 및 제 2 금속 로드(11-2A 및 11-2B)는 열팽창 계수가 서로 다른 금속으로 구성되며, 특히 본 발명의 목적을 이루기 위하여 기판에 대응하는 제 2 금속 로드(11-2B)를 구성하는 금속의 열팽창 계수가 제 1 금속 로드(11-2A)를 구성하는 금속의 열팽창 계수보다 작다. The first and second metal rods 11-2A and 11-2B are made of metals having different coefficients of thermal expansion, and in particular, constitute a second metal rod 11-2B corresponding to a substrate for achieving the object of the present invention. The thermal expansion coefficient of the metal to be made is smaller than the thermal expansion coefficient of the metal constituting the first metal rod 11-2A.

한편, 제 1 및 제 2 금속 로드(11-2A 및 11-2B)에는 도시되지 않은 전원 공급장치에 의하여 전원이 공급된다.On the other hand, power is supplied to the first and second metal rods 11-2A and 11-2B by a power supply not shown.

이상과 같은 본 발명의 기능을 도 2 및 도 3을 통하여 설명하면 다음과 같 다. The function of the present invention as described above will be described with reference to FIGS. 2 and 3 as follows.

도 3은 도 2의 대응 도면으로서, 도 2에 도시된 기판보다 작은 규격의 기판이 놓여졌을 때의 기판 고정 수단(11)의 고정 기능을 도시하고 있다. FIG. 3 is a corresponding figure of FIG. 2, showing the fixing function of the substrate fixing means 11 when a substrate having a smaller size than that shown in FIG.

기판 고정 수단(11)은 어느 한 규격, 예를 들어 370mmX470mm 규격의 글라스 기판(S1)을 고정하도록 배치되어 있다. 즉, 설정된 규격과 동일한 글라스 기판(S1)이 플레이트(10) 상에 놓여질 경우, 각 기판 고정 수단(11)의 제 2 금속 로드(11-2B)가 글라스 기판(S1)의 대응 면에 접촉하게 되며(도 2의 상태), 따라서, 글라스 기판(S1)은 플레이트(10) 상에 흔들림 없이 유지될 수 있다. Substrate holding means 11 is arranged to hold the glass substrate (S 1) of any of the standard, for example 370mmX470mm standard. That is, when the same glass substrate S 1 as the set standard is placed on the plate 10, the second metal rods 11-2B of each substrate fixing means 11 are placed on the corresponding surface of the glass substrate S 1 . In contact (state of FIG. 2), the glass substrate S 1 can thus be maintained on the plate 10 without shaking.

한편, 설정된 규격보다 작은 규격, 예를 들어 365mmX460mm 규격의 글라스 기판(S2)이 플레이트(10) 상에 놓여질 경우, 작업자는 각 기판 고정 수단(11)에 전원을 공급한다.On the other hand, when a glass substrate S 2 having a size smaller than the set size, for example, 365 mm × 460 mm size, is placed on the plate 10, the operator supplies power to each substrate fixing means 11.

각 기판 고정 수단(11), 즉 제 1 및 제 2 금속 로드(11-2A 및 11-2B)에 전원이 인가되면, 제 1 및 제 2 금속 로드(11-2A 및 11-2B)는 열팽창하게 된다. 특히 제 2 금속 로드(11-2B)의 열팽창 계수보다 큰 열팽창 계수를 갖는 제 1 금속 로드(11-2A)는 2 금속 로드(11-2B)보다 팽창량이 크게 나타나며, 제 1 금속 로드(11-2A)는 제 2 금속 로드(11-2B)쪽으로 휘어지게 된다. When power is applied to each of the substrate fixing means 11, that is, the first and second metal rods 11-2A and 11-2B, the first and second metal rods 11-2A and 11-2B are thermally expanded. do. In particular, the first metal rod 11-2A having a thermal expansion coefficient larger than that of the second metal rod 11-2B appears to have a larger amount of expansion than the second metal rod 11-2B, and the first metal rod 11-2B. 2A) is bent toward the second metal rod 11-2B.

결과적으로 도 3에 도시된 바와 같이 각 기판 고정 수단(11)의 제 2 금속 로드(11-2B)는 기판(S2)의 대응면에 접촉하게 되며, 따라서 기판(S2)은 흔들림없이 플 레이트(10) 상에 위치할 수 있다.As a result, second metal rod (11-2B) of each of the substrate holding means 11 as shown in Figure 3 is brought into contact with the corresponding surface of the substrate (S 2), thus the substrate (S 2) is flat without shaking May be located on rate 10.

한편, 위의 설명에서는 기판 고정 수단(11)이 글라스 기판의 모든 코너부에 대응하는 위치(4개소)에 1쌍씩 설치되어 있음을 설명하고 있으나, 글라스 기판의 대각선 방향의 2개소의 모서리에만 1쌍씩 설치함으로서 동일한 기능을 수행할 수 있음은 물론이다.Meanwhile, in the above description, the substrate fixing means 11 is provided in pairs at positions (four locations) corresponding to all corner portions of the glass substrate. However, only one corner at two corners in the diagonal direction of the glass substrate is provided. Of course, by installing a pair can perform the same function.

또한, 도 2에 도시된 단일의 기판 고정 수단(11)을 글라스 기판의 각 변에 대응하는 위치에, 예를 들어, 사각형 글라스 기판인 경우 4개소에 설치한다면 본 발명의 목적을 달성할 수 있다. In addition, if the single substrate fixing means 11 shown in Fig. 2 is provided at a position corresponding to each side of the glass substrate, for example, at four places in the case of a rectangular glass substrate, the object of the present invention can be achieved. .

한편, 글라스 기판 표면과 접촉하는 제 2 금속 로드의 표면에 고무 계열의 재료를 부착함으로서 접촉에 의한 글라스 기판의 손상을 방지할 수 있다. On the other hand, by attaching a rubber-based material to the surface of the second metal rod in contact with the glass substrate surface, it is possible to prevent damage to the glass substrate by contact.

이상과 같은 간단한 구조를 가지면서도 그 형상이 변형되는 기판 고정 수단을 플레이트 표면에 장착함으로서 단일의 플레이트를 이용하여 다양한 규격의 글라스 기판을 흔들림 및 손상없이 이송시킬 수 있다. By attaching a substrate fixing means having a simple structure as described above, the shape of which is deformed on the plate surface, it is possible to transfer glass substrates of various specifications without shaking and damage using a single plate.

위에 설명된 예시적인 실시예는 제한적이기보다는 본 발명의 모든 관점들 내에서 설명적인 것이 되도록 의도되었다. 따라서 본 발명은 본 기술 분야의 숙련된 자들에 의하여 본 명세서 내에 포함된 설명으로부터 얻어질 수 있는 많은 변형과 상세한 실행이 가능하다. 다음의 청구범위에 의하여 한정된 바와 같이 이러한 모든 변형과 변경은 본 발명의 범위 및 사상 내에 있는 것으로 고려되어야 한다. The exemplary embodiments described above are intended to be illustrative, not limiting, in all aspects of the invention. Accordingly, the present invention is capable of many modifications and implementations that can be made by those skilled in the art from the description contained herein. All such modifications and variations are considered to be within the scope and spirit of the invention as defined by the following claims.

Claims (6)

글라스 기판을 고정시킨 상태에서 공정 위치로 이송되는 글라스 기판 고정용 플레이트에 있어서,In the glass substrate fixing plate that is transferred to the process position in a state where the glass substrate is fixed, 글라스 기판의 설정된 부분과 대응하는 위치에 고정되어 있는 다수의 기판 고정 수단을 포함하되, 각 기판 고정 수단은 A plurality of substrate fixing means fixed to a position corresponding to the set portion of the glass substrate, wherein each substrate fixing means 하단부가 플레이트에 고정된 지지 로드;A support rod having a lower end fixed to the plate; 지지 로드 내측에 위치하는 제 1 금속 로드; 및A first metal rod located inside the support rod; And 제 1 금속 로드 내측면에 밀착되어 있는 제 2 금속 로드로 이루어지며, 제 2 금속 로드를 구성하는 금속 재료는 제 1 금속 로드를 구성하는 금속의 열팽창 계수보다 작고, 상기 지지 로드는 상기 제 1 금속 로드 및 상기 제 2 금속 로드가 단일 방향으로만 변형할 수 있도록 상기 제 1 금속 로드 및 상기 제 2 금속 로드를 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 고정용 플레이트.And a second metal rod in close contact with the inner side of the first metal rod, wherein the metal material constituting the second metal rod is smaller than the coefficient of thermal expansion of the metal constituting the first metal rod, and the support rod is the first metal rod. And the first metal rod and the second metal rod to support the rod and the second metal rod in a single direction. 제 1 항에 있어서, 상기 기판 고정 수단은 글라스 기판의 모든 코너부의 양변에 대응하도록 설치되어 있는 기판 고정용 플레이트. The substrate fixing plate according to claim 1, wherein the substrate fixing means is provided so as to correspond to both sides of all corner portions of the glass substrate. 제 1 항에 있어서, 상기 기판 고정 수단은 글라스 기판의 대각선 방향의 2개소의 코너부의 양변에 대응하도록 설치되어 있는 기판 고정용 플레이트. The said board | substrate fixing means is a board | substrate fixing plate of Claim 1 provided so as to correspond to both sides of the two corner | angular parts of the diagonal direction of a glass substrate. 제 1 항에 있어서, 상기 기판 고정 수단은 글라스 기판의 각 변에 대응하도록 설치되어 있는 기판 고정용 플레이트. The substrate fixing plate according to claim 1, wherein the substrate fixing means is provided to correspond to each side of the glass substrate. 제 2 항 내지 제 4 항중 어느 한 항에 있어서, 제 2 금속 로드는 글라스 기판 표면과 접촉하는 표면에 고무 계열의 재료가 부착되어 있는 기판 고정용 플레이트. The plate for fixing a substrate according to any one of claims 2 to 4, wherein the second metal rod is attached with a rubber-based material on a surface in contact with the glass substrate surface. 삭제delete
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