KR101158866B1 - 액정표시장치의 제조 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시장치의 제조장치에 관한 것이다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치는 챔버 내부의 진공상태를 형성 및 해제하는 진공조절부와; 상기 진공조절부에 포함된 펌프의 일측에 접속되어 상기 펌프로 유입되는 이물질을 저장하는 저장부와; 상기 저장부의 일측에 접속되어 저장부내의 배기흐름을 조절하는 공기조절부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

액정표시장치의 제조 장치{FABRICATING APPARATUS OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}
도 1은 종래의 액정표시장치의 제조장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치의 진공상태를 나타내는 도면이다.
도 4는 도 2의 액정표시장치의 제조장치에 의하여 제조되는 액정패널을 나타내는 도면이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
10, 110 : 챔버 20, 120 : 펌프
30, 130 : 밸브 40, 140 : 드레인 탱크
142 : 공기 흡입구 144 : 배출펌프
146 : 공기조절장치 148 : 레벨센서
본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 특히 액정표시장치의 제조 장치에 관한 것이다.
액정표시장치는 영상신호에 대응하도록 광빔의 투과량을 조절함에 의해 화상을 표시하는 대표적인 평판 표시장치이다. 특히, 액정표시장치는 경량화, 박형화, 저소비 전력구동 등의 특징으로 인해 그 응용범위가 점차 넓어지고 있는 추세에 있다. 이러한 추세에 따라 액정표시장치는 사무자동화(Office Automation) 장치 및 노트북 컴퓨터의 표시장치로 적용되고 있다. 또한, 액정표시장치는 사용자의 요구에 부응하여 대화면화, 고정세화, 저소비전력화의 방향으로 진행되고 있어서 많은 응용분야에서 음극선관을 빠른 속도로 대체하고 있다. 특히, 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하, "TFT"라 한다)를 이용하여 액정셀을 구동하는 액티브 매트릭스 타입의 액정표시장치는 화질이 우수하고 소비전력이 낮은 장점이 있으며, 최근의 양산기술 확보와 연구개발의 성과로 대형화와 고해상도화로 급속히 발전하고 있다.
액티브 매트릭스 타입의 액정표시장치를 제조하기 위한 제조공정은 기판 세정 공정, 기판 패터닝 공정, 배향막형성/러빙 공정, 기판합착/액정주입 공정, 검사 공정, 리페어(Repair) 공정, 실장 공정 등으로 나뉘어진다.
기판세정 공정에서는 액정표시장치의 기판 표면에 오염된 이물질을 세정액으 로 제거하게 된다.
기판 패터닝 공정에서는 상판(컬러필터 기판)의 패터닝과 하판(TFT-어레이 기판)의 패터닝으로 나뉘어진다. 상판에는 칼라필터, 공통전극, 블랙 매트릭스 등이 형성된다. 하판에는 데이터라인과 게이트라인 등의 신호배선이 형성되고, 데이터라인과 게이트라인의 교차부에 TFT가 형성되며, TFT의 소오스전극에 접속되는 데이터라인과 게이트라인 사이의 화소영역에 화소전극이 형성된다.
배향막형성/러빙 공정에서는 상부기판과 하부기판 각각에 배향막을 도포하고 그 배향막을 러빙포 등으로 러빙하게 된다.
기판합착/액정주입 공정에서는 실재(Sealant)를 이용하여 상부기판과 하부기판을 합착하고 액정주입구를 통하여 액정과 스페이서를 주입한 다음, 그 액정주입구를 봉지하는 공정으로 진행된다.
검사 공정은 하부기판에 각종 신호배선과 화소전극이 형성된 후에 실시되는 전기적 검사와 기판합착 및 액정주입 공정 후에 실시되는 전기적검사 및 육안검사를 포함한다.
리페어 공정은 검사 공정에 의해 리페어가 가능한 것으로 판정된 기판에 대한 복원을 실시하는 한편, 검사 공정에서 리페어가 불가능한 불량기판들에 대하여는 폐기처분된다.
이와 같은 액정표시장치의 제조 공정 중 기판 패터닝 공정에서 사용되는 제조장치가 도 1에 도시되어 있다.
도 1을 참조하면, 종래의 액정표시장치의 제조장치는 기판에 박막을 형성한 후 솔벤트(Solvent)를 제거하기 위한 챔버(10)와, 챔버(10) 내부의 진공상태를 조절하는 펌프(20)와, 챔버(10)와 펌프(20)를 연결하는 밸브(30)와, 펌프(20)의 일측과 체결되어 챔버(10)로부터 흡입된 솔벤트를 건조시키는 드레인 탱크(40)를 구비한다.
챔버(10)는 기판에 패턴을 증착시킨다. 이 챔버(10)는 기판의 패턴이 완성되는 한 공정기간의 2/3기간 동안에는 박막을 형성하기 위하여 진공상태를 유지한다. 이때, 챔버(10)를 진공상태를 유지하기 위하여 폐쇄된다. 또한, 챔버(10)는 1/3기간 동안에는 기판상에 박막 형성이 완료된 후, 기판을 이동시키기 위하여 진공상태가 해제되고 오픈되게 된다.
펌프(20)는 챔버(10) 내부의 진공상태를 만들기 위하여 공기를 흡입하는 부스터 펌프(22)와, 챔버(10)로부터 유입된 공기를 건조시키는 드라이 펌프(24)를 구비한다.
부스터 펌프(22)는 챔버(10)내에 박막이 형성될 기판이 이동되고 코팅 작업의 셋팅이 완료되면 챔버(10) 내부의 압력을 증가시킴으로써 챔버(10) 내부의 공기가 밸브(30)를 통하여 챔버(10)로부터 방출된다.
드라이 펌프(24)는 챔버(10) 내부의 공기가 부스터 펌프(22)를 통하여 유입되면, 공기 내에 포함된 기판 패터닝 공정시 사용되었던 물질들을 공기를 건조시킴으로써 액체형태로 만든다.
밸브(30)는 챔버(10)에 유입 및 방출되는 공기의 흐름을 조절한다. 이러한 밸브(30)는 챔버(10) 내부의 공기가 유입 및 방출되는 통로인 메인 밸브(32)와, 메 인 밸브(32)를 통하여 이동되는 공기의 흐름의 양을 조절하는 슬로우 밸브(34)를 구비한다. 또한, 이 슬로우 밸브(34)는 챔버(10)가 폐쇄된 상태에서 코팅이 완료된 기판을 이동하기 위하여 챔버(10)의 진공상태 해제하기 시작할 경우에도 사용된다. 즉, 슬로우 밸브(34)는 챔버(10) 내부의 진공상태를 천천히 해제함으로써 공기 유입 및 방출에 의한 기판의 손상을 최소화하기 위해 사용된다. 이러한 슬로우 밸브(34)는 메인 밸브(32)와 챔버(10)사이의 일측과, 메인 밸브(32)와 펌프(20)사이의 일측에 형성된다.
드레인 탱크(40)는 챔버(10)로부터 방출된 공기가 드라이 펌프(24)를 통하여 건조되면서 만들어지는 공기 속에 포함된 이물질 및 솔벤트를 일정기간 동안 저장한다. 이를 상세히 설명하면, 챔버(10) 내부의 공기가 방출되는 시기에는 공기속에 이물질 및 솔벤트 등이 기체상태를 유지하게된다. 이러한 공기 및 기체상태의 이물질 및 솔벤트 등은 드라이 펌프(24)에 유입되면 공기가 건조되면서 공기로부터 이탈하게 된다. 이에 따라, 기체 상태의 이물질 및 솔벤트 등이 액체 상태로 변환하게 되고, 이러한 액체 상태의 이물질 및 솔벤트 등은 드레인 탱크(40)에 일정기간 동안 저장하게 된다. 드레인 탱크(40) 내에 일정기간동안 저장된 이물질 및 솔벤트는 드레인 탱크(40)의 하부에 연결된 파이프(44)를 통하여 제거된다. 이때, 드레인 탱크(40)의 상부에 위치된 공기 흡입구(42)는 이물질 및 솔벤트 제거가 용이하도록 공기의 흐름을 유지하는 통로로 이용된다.
이와 같은 구조를 가지는 종래의 액정표시장치의 제조장치는 공기 흡입구(42)를 통하여 솔벤트 등의 물질이 기체상태로 소량 방출되게 된다. 구체적 으로, 액체상태의 물질은 공기와 접촉되는 그 표면에서 분자운동이 활발하게 진행되어 물질의 표면으로부터 이탈하여 공기속으로 승화되는 성질이 있다. 이에 따라, 공기 흡입구(42)를 통하여 방출된 기체 상태의 솔벤트 등은 작업공간의 공기를 오염시키게 되어, 작업자의 작업능률을 저하시키게 된다. 또한, 드레인 탱크(40)에 솔벤트 등의 물질이 가득차게 된 후, 드레인 탱크(40)로부터 솔벤트 등의 물질을 제거하게 될 경우, 배기 저하에 의한 제조장치의 다운 현상이 발생한다. 또한, 이러한 드레인 탱크(40) 내부의 용적은 2일 가량의 작업공정기간에 발생하는 솔벤트 등의 물질을 저장할 수 있다. 그러나, 이러한 용량은 작업자가 2일당 1회씩 배출작업을 하게 됨으로써 안전사고가 발생할 수 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 드레인 탱크의 공기를 조절함으로써 드레인 탱크내의 물질 배출을 용이하게 함과 아울러 자동으로 배출될 수 있도록 하는 액정표시장치의 제조장치를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치는 챔버 내부의 진공상태를 형성 및 해제하는 진공조절부와; 상기 진공조절부에 포함된 펌프의 일측에 접속되어 상기 펌프로 유입되는 이물질을 저장하는 저장부와; 상기 저장부의 일측에 접속되어 저장부내의 배기흐름을 조절하는 공기조절부를 구비한다.
상기 챔버는 기판상에 박막을 코팅하기 위한 스핀리스 코터기 및 스핀 코터기 중 적어도 하나가 위치된다.
상기 이물질은 솔벤트 및 고형분 중 적어도 하나로 형성된다.
상기 진공조절부는 상기 챔버 내부의 공기를 흡입 및 방출하는 펌프와; 상기 챔버와 연결되어 챔버에 유입 및 챔버로부터 방출되는 공기의 흐름을 조절하는 밸브와; 상기 펌프와 상기 밸브를 연결하는 파이프를 구비한다.
상기 펌프는 상기 챔버 내부의 압력을 변화시키는 부스터 펌프와; 상기 챔버 내부로부터 유입되는 공기를 건조시키는 드라이 펌프를 구비한다.
상기 밸브는 상기 챔버에 유입 및 방출되는 공기의 주 통로인 메인 밸브와; 상기 챔버와 메인 밸브사이 및 상기 메인 밸브와 상기 펌프사이에 연결되어 상기 메인 밸브의 공기조절을 보조하는 슬로우 밸브를 구비한다.
상기 액정표시장치의 제조장치는 상기 저장부에 저장되는 이물질의 수위를 검사하는 검사부를 추가로 구비한다.
상기 액정표시장치의 제조장치는 상기 저장부의 일측에 접속되어 상기 저장부에 저장되는 이물질을 배출시키는 배출부를 추가로 구비한다.
상기 검사부는 상기 저장부의 이물질 수위의 상하 경계점을 기준으로 상기 배출부의 작동을 온-오프시킨다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치를 나타 내는 도면들이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치는 기판에 박막을 코팅한후 솔벤트를 제거하기 위한 작업이 이루어지는 챔버(110)와, 챔버(110) 내부의 진공상태를 조절하는 펌프(120)와, 챔버(110)와 펌프(120)를 연결하는 밸브(130)와, 펌프(120)의 일측과 체결되어 챔버(110)로부터 흡입된 솔벤트(Solvent)를 건조시키는 드레인 탱크(140)와, 드레인 탱크(140)내에 공기흐름을 조절하는 공기유입장치(146)와, 드레인 탱크(140)와 체결되어 드레인 탱크(140)내의 물질을 배출시키는 배출펌프(144)를 구비한다. 여기서, 솔벤트의 종류 사용되는 것은 티너(Thinner)종류의 MA, PGMEA, Cyclohexanone, 부틸 에스테트(Butyl Acetat)등이 있다.
챔버(110) 내부에서는 기판에 박막을 형성하는 작업이 이루어진다. 이 챔버(110)는 기판의 박막 형성이 완성되는 한 공정기간의 2/3기간 동안에는 박막을 코팅하기 위하여 진공상태를 유지한다. 이때, 챔버(110)를 진공상태를 유지하기 위하여 폐쇄된다. 또한, 챔버(110)는 1/3기간 동안에는 기판상에 박막 형성이 완료된 후, 기판을 이동시키기 위하여 진공상태가 해제되고 오픈되게 된다.
펌프(120)는 챔버(110) 내부의 진공상태를 만들기 위하여 공기를 흡입하는 부스터 펌프(122)와, 챔버(110)로부터 유입된 공기를 건조시키는 드라이 펌프(124)를 구비한다.
부스터 펌프(122)는 챔버(110)내에 패턴을 형성할 기판이 이동되고 코팅 작업의 셋팅이 완료되면 챔버(110) 내부의 압력을 증가시킴으로써 챔버(110) 내부의 공기가 밸브(130)를 통하여 챔버(110)로부터 방출된다.
드라이 펌프(124)는 챔버(110) 내부의 공기가 부스터 펌프(122)를 통하여 유입되면, 공기 내에 포함된 기판 패터닝 공정시 사용되었던 물질들을 공기를 건조시킴으로써 액체형태로 만든다.
밸브(130)는 챔버(110)에 유입 및 방출되는 공기의 흐름을 조절한다. 이러한 밸브(130)는 챔버(110) 내부의 공기가 유입 및 방출되는 통로인 메인 밸브(132)와, 메인 밸브(132)를 통하여 이동되는 공기의 흐름의 양을 조절하는 슬로우 밸브(134)를 구비한다. 또한, 이 슬로우 밸브(134)는 챔버(110)가 폐쇄된 상태에서 코팅이 완료된 기판을 이동하기 위하여 챔버(110)의 진공상태 해제하기 시작할 경우에도 사용된다. 즉, 슬로우 밸브(134)는 챔버(110) 내부의 진공상태를 천천히 해제함으로써 공기 유입 및 방출에 의한 기판의 손상을 최소화하기 위해 사용된다. 이러한 슬로우 밸브(134)는 메인 밸브(132)와 챔버(110)사이의 일측과, 메인 밸브(134)와 펌프(120)사이의 일측에 형성된다.
드레인 탱크(140)는 챔버(110)로부터 방출된 공기가 드라이 펌프(124)를 통하여 건조되면서 만들어지는 공기 속에 포함된 이물질 및 솔벤트를 일정기간 동안 저장한다. 이를 상세히 설명하면, 챔버(110) 내부의 공기가 방출되는 시기에는 공기속에 이물질 및 솔벤트 등이 기체상태를 유지하게된다. 이러한 공기 및 기체상태의 이물질 및 솔벤트 등은 드라이 펌프(124)에 유입되면 공기가 건조되면서 공기로부터 이탈하게 된다. 이에 따라, 기체 상태의 이물질 및 솔벤트 등이 액체 상태로 변환하게 되고, 이러한 액체 상태의 이물질 및 솔벤트 등은 드레인 탱크(140)에 일정기간 동안 저장하게 된다. 또한, 드레인 탱크(140)의 일측에는 레벨 센서(148)가 설치된다. 이 레벨 센서(148)는 드레인 탱크(140)내에 이물질 및 솔벤트 등의 수위를 감지하여 이물질 및 솔벤트 등이 직정이상 누적 될 경우 드레인 탱크(140)의 하부에 결합되는 배출펌프(144)를 작동시키고, 적정이하로 배출될 경우 배출펌프(144)의 작동을 정지시킨다.
공기 흡입장치(146)는 드레인 탱크(140)의 내부의 공기흐름을 조절하기 위하여 드레인 탱크(140)의 내부와 연결되는 파이프를 구비한다.
이와 같은 구조를 가지는 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치의 구동방법에 대해서 살펴보기로 하자.
먼저, 챔버(110)의 기판 패터닝 공정을 위하여 펌프(120)는 챔버(110) 내부를 진공상태로 형성한다. 이에 따라, 챔버(110) 내부의 공기가 펌프(120)내로 유입되게 된다. 이때, 챔버(110)와 펌프(120)사이에 위치하는 밸브(130)는 챔버(110)의 진공동작을 위하여 대략 25초 ~ 30초 가량 오픈된다. 이후, 밸브(130)가 폐쇄되면 대략 30초동안 배기 내 흐름이 발생하지 않기 때문에 솔벤트 등이 드레인 탱크(140)내에 모이게 된다. 일 예로써, 스핀리스(Spin_less)용 PR(Photo Resist)코팅은 블랙 매트릭스 PR을 예를 들면 80%가 솔벤트이며 20%가 고형분으로 구성되어져 있기 때문에 솔벤트의 처리가 필요하다. 여기서, 스핀리스 코팅 방법은 기판을 회전시키지 않고 고정시킨 후 기판의 상부에 롤러 등을 이용하여 박막을 증착하는 방법이다. 이러한 솔벤트의 처리를 위하여 드라이 펌프(124)를 이용하여 기체상태의 솔벤트 등을 액체상태로 변환한 후 드레인 탱크(140)에 저 장하게 된다. 여기서, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치는 예시된 스핀리스 코팅 방법이외에 기판을 회전시킴과 아울러 코팅하는 방법인 스핀 코팅 방법에도 사용될 수 있다.
이러한 진공 펌프 건조 공정 동작의 변화는 도 3에 도시되어 있다. 이를 상세히 살펴보면, 제 1 단계에서는 슬로우 밸브(134)를 오픈시켜서 공기를 서서히 배기시킨다. 제 2 단계에서 챔버(110)내의 공기는 메인 밸브(132)를 오픈 시켜 감압 건조 처리를 한다. 제 3 단계에서는 진공상태에서 대기압으로 전환하기 위하여 챔버(110)내에 공기를 유입시키기 위하여 대기압의 검지한다. 제 4 단계에서는 챔버(110)내에 공기를 유입시켜 진공상태를 해제한다. 이러한 단계를 거치면서 챔버(110)로부터 방출된 공기는 건조되게 된다. 이후, 드레인 탱크(140)내에 솔벤트가 누적되게 되면 레벨 센서의 상위수위를 감지하는 센서가 배출펌프(144)를 작동시켜 솔벤트를 제거하게 된다. 솔벤트가 제거되고 레벨센서(148)의 하위수위를 감지하는 센서가 작동하면 배출펌프(144)가 정지하게 된다. 이때, 공기유입장치(146)는 밸브(130)의 개폐와 관계없이 드레인 탱크(140)내의 공기 흐름을 원하게 하기 위해 드레인 탱크(140) 내부에 공기를 유입시키게 된다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조 장치 중 챔버(110) 내부에 기판 패터닝 되는 액정패널을 나타낸 도면이다.
도 4를 참조하면, 액정패널은 액정(86)을 사이에 두고 합착된 컬러필터 어레이 기판(81)과 박막트랜지스터 어레이 기판(91)을 구비한다.
액정(86)은 자신에게 인가된 전계에 응답하여 회전됨으로써 박막트랜지스터 어레이 기판(91)을 경유하여 입사되는 빛의 투과량을 조절하게 된다.
컬러필터 어레이 기판(81)은 상부기판(80a)의 배면 상에 형성되는 블랙매트릭스(96), 컬러필터(82), 공통전극(84)을 구비한다. 블랙매트릭스(96)는 불투명물질로 형성되어 인접한 셀로부터 입사되는 빛을 흡수함으로써 콘트라스트의 저하를 방지하게 된다. 컬러필터(82)는 적(R), 녹(G) 및 청(B) 색의 컬러필터층이 스트라이프(Stripe) 형태로 배치되어 특정 파장대역의 빛을 투과시킴으로써 컬러표시를 가능하게 한다.
박막트랜지스터 어레이 기판(91)은 하부기판(80b)의 전면에 데이터라인(98)과 게이트라인(94)이 상호 교차되도록 형성되며, 그 교차부에 TFT(90)가 형성된다. TFT(90)는 게이트라인(94)에 접속된 게이트전극, 데이터라인(98)에 접속된 소스전극, 채널을 사이에 두고 소스전극과 마주보는 드레인전극으로 이루어진다. 이 TFT(90)는 드레인전극을 관통하는 접촉홀을 통해 화소전극(92)과 접속된다. 이러한 TFT(90)는 게이트라인(94)으로부터의 게이트신호에 응답하여 데이터라인(98)으로부터의 데이터신호를 선택적으로 화소전극(92)에 공급한다.
화소전극(92)은 데이터라인(98)과 게이트라인(94)에 의해 분할된 셀 영역에 위치하며 광투과율이 높은 투명전도성물질로 이루어진다. 이 화소전극(92)은 드레인전극을 경유하여 공급되는 데이터신호에 의해 상부기판(80a)에 형성되는 공통전극(84)과 전위차를 발생시키게 된다. 이 전위차에 의해 하부기판(80b)과 상부기판(80a) 사이에 위치하는 액정(86)은 유전율이방성에 의해 회전하게 된다. 이에 따라, 광원으로부터 화소전극(92)을 경유하여 공급되는 광이 상부기판(80a) 쪽으로 투과된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치는 드레인 탱크에 레벨 센서를 추가하여 드레인 탱크 내의 물질을 자동으로 제거할 수 있으므로 작업자의 실수로 인해 발생하는 안전사고를 예방할 수 있을 뿐만아니라 물질 배출작업이 용이하게 이루어 진다. 또한, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치는 드레인 탱크 내부로 지속적으로 공기를 유입 시키는 공기 유입장치를 두어 드레인 탱크의 내부 배기 저하에 의해 제조장치가 다운되는 현상을 방지할 수 있다. 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치는 드레인 탱크의 내부와 연결된 파이프를 이용하여 공기를 유입하기 때문에 드레인 탱크로부터 발생되는 솔벤트에 의한 공기오염을 방지할 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (9)

  1. 챔버 내부의 공기를 흡입 및 방출하는 펌프와, 상기 챔버와 연결되어 챔버에 유입 및 챔버로부터 방출되는 공기의 흐름을 조절하는 밸브와, 상기 펌프와 상기 밸브를 연결하는 파이프를 포함하여 상기 챔버 내부의 진공상태를 형성 및 해제하는 진공조절부와;
    상기 진공조절부에 포함된 펌프의 일측에 접속되어 상기 펌프로 유입되는 이물질을 저장하는 저장부와;
    상기 저장부의 일측에 접속되어 저장부내의 배기 흐름을 조절하는 공기조절부를 구비하고;
    상기 공기 조절부는 상기 저장부 내의 배기 흐름을 원활하게 하기 위해 상기 밸브의 개폐와 관계없이 상기 저장부 내부에 공기를 유입시키는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 챔버는 기판상에 박막을 코팅하기 위한 스핀리스 코터기 및 스핀 코터기 중 적어도 하나가 위치되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 이물질은 솔벤트 및 고형분 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 펌프는
    상기 챔버 내부의 압력을 변화시키는 부스터 펌프와;
    상기 챔버 내부로부터 유입되는 공기를 건조시키는 드라이 펌프를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 밸브는
    상기 챔버에 유입 및 방출되는 공기의 주 통로인 메인 밸브와;
    상기 챔버와 메인 밸브사이 및 상기 메인 밸브와 상기 펌프사이에 연결되어 상기 메인 밸브의 공기조절을 보조하는 슬로우 밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 저장부에 저장되는 이물질의 수위를 검사하는 검사부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 저장부의 일측에 접속되어 상기 저장부에 저장되는 이물질을 배출시키는 배출부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 검사부는
    상기 저장부의 이물질 수위의 상하 경계점을 기준으로 상기 배출부의 작동을 온-오프시키는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
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