KR101155961B1 - Two dimension driving inspection apparatus replaced 1 axis by conveyor - Google Patents

Two dimension driving inspection apparatus replaced 1 axis by conveyor Download PDF

Info

Publication number
KR101155961B1
KR101155961B1 KR1020110120488A KR20110120488A KR101155961B1 KR 101155961 B1 KR101155961 B1 KR 101155961B1 KR 1020110120488 A KR1020110120488 A KR 1020110120488A KR 20110120488 A KR20110120488 A KR 20110120488A KR 101155961 B1 KR101155961 B1 KR 101155961B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
axis
conveyor
rail
inspection
coupled
Prior art date
Application number
KR1020110120488A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
서재석
Original Assignee
에스엔티코리아 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 에스엔티코리아 주식회사 filed Critical 에스엔티코리아 주식회사
Priority to KR1020110120488A priority Critical patent/KR101155961B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101155961B1 publication Critical patent/KR101155961B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956Inspecting patterns on the surface of objects
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G15/00Conveyors having endless load-conveying surfaces, i.e. belts and like continuous members, to which tractive effort is transmitted by means other than endless driving elements of similar configuration
    • B65G15/60Arrangements for supporting or guiding belts, e.g. by fluid jets
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G17/00Conveyors having an endless traction element, e.g. a chain, transmitting movement to a continuous or substantially-continuous load-carrying surface or to a series of individual load-carriers; Endless-chain conveyors in which the chains form the load-carrying surface
    • B65G17/24Conveyors having an endless traction element, e.g. a chain, transmitting movement to a continuous or substantially-continuous load-carrying surface or to a series of individual load-carriers; Endless-chain conveyors in which the chains form the load-carrying surface comprising a series of rollers which are moved, e.g. over a supporting surface, by the traction element to effect conveyance of loads or load-carriers
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/08Monitoring manufacture of assemblages
    • H05K13/081Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Operations Research (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

PURPOSE: An apparatus for inspecting biaxial driving of a conveyor instead of one axis driving is provided to remarkably reduce vibration in a checking procedure by designing an X-axis assembly to have a lower center. CONSTITUTION: An inspection conveyor(12) is installed on the top of a base frame. An X-axis assembly(14) precisely transfers a subject to an X axial direction of a checking area. The X-axis assembly is substantially installed on the same plane as the inspection conveyor. An Y-axis assembly(16) is installed on the inspection conveyor at an upper side of the base frame. The Y-axis assembly is arranged at a Y-axis of a right angle direction to the inspection conveyor. The Y-axis assembly precisely horizontally transfers an inspection device to the Y-axis. The inspection conveyor installed on the top of the base frame is installed on the same line as a transfer conveyor in pre-processing and post-processing. A conveyor belt is respectively installed in each front rail and back rail along a longitudinal direction of a rail.

Description

컨베이어가 1축을 대체한 2축 구동 검사장치{TWO DIMENSION DRIVING INSPECTION APPARATUS REPLACED 1 AXIS BY CONVEYOR}TWO DIMENSION DRIVING INSPECTION APPARATUS REPLACED 1 AXIS BY CONVEYOR}

본 발명은 피검체가 탑재되어 있는 플레이트 또는 피검체를 검사하는 검사기 자체를 X축과 Y축 방향으로 이송하여 피검체를 검사영역에 위치시킬 수 있도록 하는 2축 구동 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피검체를 이송하는 컨베이어가 X축을 대체하도록 하여 장비의 공간 활용성이 뛰어나고 부피와 무게를 감소하며 구동시 진동을 감소할 수 있도록 하는, 컨베이어가 1축을 대체한 2축 구동 검사장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a two-axis drive test apparatus for transferring the tester itself for inspecting a plate or a test object mounted in the X-axis and Y-axis direction to position the test object in the test area, and more specifically, For example, a two-axis drive inspection device in which the conveyor replaces one axis, which allows the conveyor to transfer the inspected object to replace the X axis, thereby providing excellent space utilization of the equipment, reducing volume and weight, and reducing vibration during operation. will be.

각종 산업분야에서는 생산성 향상과 원가절감을 위해 제조 현장에 자동화 시스템을 많이 도입하고 있다.Many industrial fields are introducing automation systems to manufacturing sites to improve productivity and reduce costs.

통상 자동화시스템에서는 컨베이어 위에 반제품을 얹은 후 공정별로 조립, 가공, 검사 등이 이루어질 수 있도록 이송된다. In an automated system, semi-finished products are placed on a conveyor and then transported so that they can be assembled, processed, and inspected by process.

예컨대, SMD와 같이 크기가 작은 부품들이 다수 실장되어 복잡한 회로를 구현하도록 하는 표면실장기판에는 한정된 크기의 기판에 고집적화된 회로가 설계되므로 표면실장기판에 형성된 회로의 구조는 매우 복잡하고 선폭 또한 미세하게 형성된다. 따라서 표면실장기판에 전자부품을 장착하기 전에 검사공정으로 이송하여 표면실장기판 검사기로 표면실장기판에 형성된 패턴의 이상 유무를 검사하거나, 표면실장기판에 전자소자가 정상적으로 부착되었는지 여부를 검사하게 된다. 이때 생산성을 높이기 위해 전공정에서 검사공정으로는 컨베이러를 통해 이송하게 되고, 검사에 사용되는 검사장치는 표면실장기판의 모든 영역을 검사할 수 있도록 표면실장기판을 X축 방향과 Y축 방향으로 이동시키면서 검사하게 되며, 이를 위해 검사장치에는 피검체인 표면실장기판을 X축 방향과 Y축 방향으로 이동할 수 있는 수단이 구비된다.
For example, a surface integrated board designed to implement a complex circuit by mounting a large number of small components such as SMD is designed with a highly integrated circuit designed on a limited size board, so the circuit structure formed on the surface mounted board is very complicated and the line width is minute. Is formed. Therefore, before the electronic component is mounted on the surface mount substrate, it is transferred to the inspection process to check whether there is an abnormality in the pattern formed on the surface mount substrate by the surface mount substrate inspector, or whether the electronic device is normally attached to the surface mount substrate. At this time, in order to increase productivity, the conveying process is transferred to the inspection process through the conveyor. The inspection apparatus used for the inspection moves the surface mounting substrate in the X-axis direction and Y-axis direction so that all areas of the surface-mount substrate can be inspected. The inspection is performed while moving, and for this purpose, the inspection apparatus is provided with means for moving the surface-mount substrate, which is a subject, in the X-axis direction and the Y-axis direction.

[특허문헌 1] 등록실용신안공보 20-0447630(2010.02.11 공고)[Patent Document 1] Registered Utility Model Publication 20-0447630 (August 11, 2010) 도 1에 도시된 특허문헌 1은 본출원인에 의하여 선출원된 것으로, 표면실장기판의 상태를 촬영하는 비젼(2); 상기 비젼이 장착되어 X축 방향으로 이동되는 X축 슬라이드블록(124); 상기 X축 슬라이드블록이 수평이동되도록 나사결합 방식으로 연결되고 양단은 서포트 유니트(117b)(118b)에 관통되어 지지되는 X축 볼스크류(125); 상기 X축 슬라이드블록의 하부가 슬라이딩 가능하게 안착되는 X축 가이드레일(126); 상기 X축 볼스크류를 정방향 또는 역방향으로 회전 구동시키는 X축 모터(122); 상기 X축 모터와 상기 서포트 유니트와 상기 X축 가이드레일이 고정되는 X축 프레임(121); 상기 X축 프레임의 양단에 각각 결합되어 상기 X축 프레임과 일체로 Y축 방향으로 이동되는 Y축 슬라이드블록(114)(114a); 상기 Y축 슬라이드블록이 수평이동되도록 나사결합 방식으로 연결되고 양단은 서포트 유니트에 관통되어 지지되는 Y축 볼스크류(115)(115a); 상기 Y축 슬라이드블록의 하부가 슬라이딩 가능하게 안착되는 Y축 가이드레일(116)(116a); 상기 X축 프레임 양측의 Y축 볼스크류에 각각 하나씩 연결되어 상기 양측의 Y축 볼스크류를 동시에 정방향 또는 역방향으로 회전 구동시키는 Y축 모터(112)(112a);및 상기 Y축 모터와 상기 서포트 유니트와 상기 Y축 가이드레일이 고정되는 Y축 프레임(11);을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 표면실장기판 검사기가 개시되어 있다.Patent Document 1 shown in Fig. 1 is a filed by the present applicant, the vision (2) for photographing the state of the surface-mount substrate; An X-axis slide block 124 to which the vision is mounted and moved in the X-axis direction; An X-axis ball screw 125 connected to the X-axis slide block by a screwing method so as to move horizontally and both ends of the X-axis slide block passing through the support units 117b and 118b; An X-axis guide rail 126 in which a lower portion of the X-axis slide block is slidably seated; An X-axis motor 122 driving the X-axis ball screw to rotate in the forward or reverse direction; An X-axis frame 121 to which the X-axis motor, the support unit, and the X-axis guide rail are fixed; Y-axis slide blocks (114) (114a) coupled to both ends of the X-axis frame and integrally moved in the Y-axis direction with the X-axis frame; A Y-axis ball screw (115) (115a) connected to the Y-axis slide block by a screwing method so as to move horizontally and both ends of which are supported by a support unit; A Y-axis guide rail 116 and 116a on which a lower portion of the Y-axis slide block is slidably seated; Y-axis motors 112 and 112a connected to the Y-axis ball screws on both sides of the X-axis frame to rotate the Y-axis ball screws on both sides simultaneously in the forward or reverse direction simultaneously; and the Y-axis motor and the support unit. And a Y-axis frame (11) to which the Y-axis guide rail is fixed is disclosed. 특허문헌 1의 표면실장기판 검사기에는 표면실장기판의 상태를 촬영하는 비젼(2)을 검사영역의 각 검사위치로 이동시키기 위한 수단으로서, X축 어셈블리(120)와 Y축 어셈블리(110)(110a)가 구비되어 있는데, 비젼(2)이 X축 슬라이드블록(124)에 고정되고, X축 어셈블리(120)는 Y축 어셈블리(110)(110a)의 상부에 설치되어 있다. 그리하여 Y축 모터(112)(112a)가 작동되면 X축 어셈블리(120)가 설치되어 있는 Y축 슬라이드블록(114)(114a)이 Y축 볼스크류(115)(115a)를 따라 이동되는 한편 X축 모터(122)가 작동되면 X축 슬라이드블록(124)이 X축 볼스크류(125)를 따라 이동됨으로써 베이스 프레임(5)의 상면으로 이송되어온 표면실장기판의 불량여부를 검사하게 된다.The surface mount substrate inspector of Patent Literature 1 includes an X-axis assembly 120 and a Y-axis assembly 110 (110a) as a means for moving the vision (2) for photographing the state of the surface mount substrate to each inspection position of the inspection area. ) Is provided, the vision 2 is fixed to the X-axis slide block 124, the X-axis assembly 120 is installed on the top of the Y-axis assembly (110) (110a). Thus, when the Y-axis motors 112 and 112a are operated, the Y-axis slide blocks 114 and 114a on which the X-axis assembly 120 is installed are moved along the Y-axis ball screws 115 and 115a, while X When the shaft motor 122 is operated, the X-axis slide block 124 is moved along the X-axis ball screw 125 to check whether the surface-mount substrate that has been transferred to the upper surface of the base frame 5 is defective. 상기의 표면실장기판 검사기에서는 피검체를 이송하기 위한 컨베이어수단과 비젼(2)을 X축과 Y축으로 이동시켜 검사영역의 각 검사위치로 이동시키기 위한 X축 어셈블리(120)와 Y축 어셈블리(110)(110a)가 각각 별도로 구비되어 설치됨에 따라 장비를 구성하는 부품수도 많아져 구조가 복잡하고 제조원가가 상승될 뿐만 아니라, 부피가 커지고 중량이 많이 나가 운반 및 설치가 불편하였다.In the surface-mount substrate inspection apparatus, the X-axis assembly 120 and the Y-axis assembly for moving the conveyor means and the vision 2 to move the object to the X and Y axes to each inspection position of the inspection area. As the 110 and 110a are separately provided and installed, the number of parts constituting the equipment is also increased, and the structure is complicated and the manufacturing cost is increased.

본 발명은 상기한 사정을 감안하여 발명한 것으로, 표면실장기판과 같은 피검체를 X축 방향으로 이송하는 컨베이어상에 피검체 이송수단과 함께 피검체를 컨베이어방향으로 정밀하게 이동할 수 있는 수단을 구비하여, 실질적으로 X축 어셈블리를 구비하지 않고 컨베이어가 그 기능을 대신하도록 함으로써, X축이 저중심 설계되어 검사시 방해요소인 진동이 대폭 감소되고, 장비의 크기 및 무게를 줄여 공간 효율성을 높일 수 있으며, 구동시 갠트리의 흔들림을 방지하기 위해 필요로 하던 구동프레임 및 구동프레임을 지지하던 부품 등이 필요치 않게 되어 원가도 절감할 수 있도록 된 컨베이어가 1축을 대체한 2축 구동 검사장치를 제공하고자 함에 목적이 있다.
The present invention has been made in view of the above circumstances, and has a means for precisely moving a subject in a conveyor direction along with a subject transfer means on a conveyor for transferring a subject such as a surface-mount substrate in the X-axis direction. Thus, by having the conveyor replace its function without substantially having an X-axis assembly, the X-axis is designed to be low center of gravity, greatly reducing vibration, which is an obstacle to inspection, and increasing space efficiency by reducing the size and weight of the equipment. In order to provide a two-axis drive inspection device in which a conveyor replaces one axis, the drive frame, which is needed to prevent the gantry from shaking, and the parts that support the drive frame are not needed. There is this.

상기한 목적을 실현하기 위한 본 발명은, The present invention for realizing the above object,

검사기의 베이스 프레임 상면에 설치되어 피검체를 전공정으로부터 이송받거나 후공정으로 이송하는 이송벨트가 하나의 폐루프 형태로 각각 설치되어 있는 전면레일과 후면레일 한 쌍으로 이루어진 검사기 컨베이어; 상기 전면레일 및 후면레일의 이송벨트 일측에 각각 설치되어 피검체의 검사시에 이송벨트에 탑재되어있던 피검체를 이송벨트로부터 소정간격 이격시켜 일시적으로 고정하는 클램핑 유닛; 상기 이송벨트의 길이방향으로 이송벨트의 길이에 따라 소정간격으로 설치되어 이송벨트의 장력을 유지하는 다수의 가이드롤러와 이송벨트에 회전동력을 전달하는 구동풀리 및 상기 구동풀리를 회전시키는 이송벨트 구동모터로 이루어진 컨베이어 구동유닛; 상기 검사기 컨베이어내에서 클램핑 유닛을 X축 방향인 컨베이어 길이방향을 따라 수평이동시키는 X축 구동유닛; 상기 베이스 프레임 상면에서 검사기 컨베이어 위에 검사기 컨베이어와 직각방향의 Y축 방향으로 배치되어 검사기구를 Y축 방향으로 수평이동시키는 Y축 어셈블리;를 포함하여 이루어져 있다.
An inspection conveyor comprising a pair of front rails and a rear rail installed on an upper surface of the base frame of the inspector, each of which has a conveying belt configured to receive a test object from a previous process or to be transferred to a post process in a closed loop form; A clamping unit installed at one side of the conveyance belt of the front rail and the rear rail to temporarily fix the subject mounted on the conveyance belt at a predetermined interval from the conveyance belt at the time of inspecting the subject; A plurality of guide rollers installed at predetermined intervals along the length of the conveying belt in the longitudinal direction of the conveying belt and a driving pulley for transmitting rotational power to the conveying belt and a conveying belt driving rotating the driving pulley A conveyor drive unit made of a motor; An X-axis driving unit for horizontally moving the clamping unit in the conveyor conveyor in the X-axis direction in the inspector conveyor; And a Y-axis assembly disposed on the inspector conveyor in the Y-axis direction perpendicular to the inspector conveyor on the base frame upper surface to horizontally move the inspection mechanism in the Y-axis direction.

상기 클램핑 유닛은 이송벨트의 상측으로 소정거리 이격되어 컨베이어의 길이방향을 따라 LM블럭에 고정된 상부 고정플레이트와; 이송벨트의 하측으로 소정거리 이격되어 컨베이어의 길이방향을 따라 설치되되, 베이스 플레이트 및 고정브라켓을 통해 클램프 승강실린더에 고정되어 상승시 피검체를 상부 고정플레이트와 함께 클램핑할 수 있도록 된 하부 가동플레이트;로 이루어진 것을 특징으로 한다.
The clamping unit comprises: an upper fixing plate spaced apart from the upper side of the conveying belt by a predetermined distance and fixed to the LM block along the longitudinal direction of the conveyor; A lower movable plate spaced apart from the lower side of the conveying belt by a predetermined distance and installed along the longitudinal direction of the conveyor, the lower movable plate being fixed to the clamp elevating cylinder through the base plate and the fixing bracket so that the subject can be clamped together with the upper fixing plate when raised; Characterized in that consisting of.

상기 X축 구동유닛은 전면레일과 후면레일에 길이방향을 따라 설치되는 LM가이드레일; 상기 LM가이드레일에 체결되어 슬라이딩되는 LM블럭; 상기 LM블럭이 고정되고 X축 아이들러와 X축 타이밍풀리에 폐루프형태로 결합되어 있는 타이밍벨트; 상기 X축 타이밍풀리에 구동축을 통해 연결되어 타이밍벨트를 회전시키는 X축 구동모터로 이루어진 것을 특징으로 한다.
The X-axis drive unit is an LM guide rail installed along the longitudinal direction on the front rail and the rear rail; An LM block coupled to the LM guide rail and sliding; A timing belt in which the LM block is fixed and coupled to the X-axis idler and the X-axis timing pulley in a closed loop shape; The X-axis timing pulley is connected via a drive shaft, characterized in that consisting of an X-axis drive motor for rotating the timing belt.

상기 전면레일과 상기 후면레일을 직각으로 관통하여, 일단은 아이들러에 결합되는 한편 다른 일단은 타이밍풀리에 결합되어 폐루프 형태로 설치되어 있는 복수의 폭조절 타이밍벨트; 상기 전면레일과 상기 후면레일 중에서 폭조절을 위해 이동할 레일과 폭조절 타이밍벨트를 일체로 연결하는 홀더; 상기 타이밍풀리에 결합되어 폭조절 타이밍벨트를 회전시키는 폭조절모터; 상기 전면레일과 상기 후면레일을 직각으로 관통하여, 양단은 각각 가이드샤프트 홀더에 결합되어 상기 전면레일과 상기 후면레일을 지지함과 아울러 상기 전면레일 또는 상기 후면레일이 이동될 때 슬라이드 가능하게 결합되는 레일 가이드샤프트;를 포함하여 이루어진 폭조절유닛이 추가로 설치되어 있다.
A plurality of width adjustment timing belts penetrating the front rail and the rear rail at right angles, one end of which is coupled to an idler while the other end of which is coupled to a timing pulley and installed in a closed loop shape; A holder for integrally connecting the moving rail and the width adjusting timing belt to adjust the width of the front rail and the rear rail; A width adjusting motor coupled to the timing pulley to rotate the width adjusting timing belt; Through the front rail and the rear rail at right angles, both ends are respectively coupled to the guide shaft holder to support the front rail and the rear rail and to be slidably coupled when the front rail or the rear rail is moved. Rail guide shaft; is made of a width adjustment unit comprising a further.

상기 Y축 어셈블리는 상기 베이스 프레임 상면에서 검사기 컨베이어의 상측에 검사기 컨베이어와 직각방향의 Y축 방향으로 설치되는 Y축 베이스 프레임; 상기 Y축 베이스 프레임에 길이방향을 따라 설치되는 Y축 LM 가이드레일; 상기 Y축 LM 가이드레일을 따라 Y축 방향으로 수평이동되는 Y축 LM블럭; 상기 Y축 LM블록이 수평이동되도록 나사결합 방식으로 연결되고 양단은 서포트 유니트에 관통되어 지지되는 Y축 볼스크류; 상기 Y축 볼스크류에 연결되어 Y축 볼스크류를 정방향 또는 역방향으로 회전 구동시키는 Y축 모터;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
The Y-axis assembly is a Y-axis base frame which is installed in the Y-axis direction perpendicular to the inspector conveyor on the upper side of the inspector conveyor on the base frame upper surface; A Y-axis LM guide rail installed along the longitudinal direction in the Y-axis base frame; A Y-axis LM block horizontally moved in the Y-axis direction along the Y-axis LM guide rail; A Y-axis ball screw connected to the Y-axis LM block by a screwing method so as to move horizontally and both ends thereof being supported by a support unit; And a Y-axis motor connected to the Y-axis ball screw to drive the Y-axis ball screw to rotate in the forward or reverse direction.

상기와 같은 본 발명은 피검체를 이송하는 컨베이어가 X축을 대체하도록 하여 X축 어셈블리가 저중심으로 설계되어 검사시 방해요인인 진동이 대폭 감소하고, 검사기 자체의 크기가 대폭 줄어 공간 효율성이 뛰어날 뿐만 아니라 묵가 감소하여 구동시 안정감을 줄 수 있으며, 갠트리 구조에서 구동시 발생되던 끝단에서의 흔들림이 감소하는 장점이 있다. 아울러 X축 프레임을 지지하던 부품을 별도로 설치하지 않아도 되어서 원가절감의 효과와 조립할 부품 및 공정이 줄어 인건비 절감효과도 동시에 누릴 수 있는 장점이 있다.
In the present invention as described above, the conveyor for transporting the subject to replace the X-axis, the X-axis assembly is designed with a low center of gravity, which significantly reduces the vibration that is an obstacle in the inspection, the size of the inspector itself is significantly reduced, as well as excellent space efficiency Reduction of the silencer can give a sense of stability when driving, there is an advantage that the shaking at the end generated when driving in the gantry structure is reduced. In addition, there is no need to install a separate component that supports the X-axis frame, thereby reducing costs and reducing labor costs.

도 1은 종래 2축 구동 검사기의 사시도,
도 2는 본 발명의 사시도,
도 3은 도 2에서 Y축 어셈블리를 제외한 상태의 X축 어셈블리 사시도,
도 4는 도 2에서 Y축 어셈블리를 제외한 상태의 평면도,
도 5는 도 2의 A-A선 단면도로서, 도 5의 (a)는 클램프 하강시, 도 5의 (b)는 클램프 상승시를 나타내는 도면,
도 6은 본 발명의 Y축 어셈블리의 사시도를 나타낸다.
1 is a perspective view of a conventional two-axis drive checker,
2 is a perspective view of the present invention,
3 is a perspective view of the X-axis assembly in a state excluding the Y-axis assembly in FIG.
4 is a plan view of the state excluding the Y-axis assembly in FIG.
5 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 2, FIG. 5 (a) shows when the clamp is lowered, and FIG. 5 (b) shows when the clamp is raised,
6 shows a perspective view of the Y-axis assembly of the present invention.

이하 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the configuration and operation of the preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 사시도, 도 3은 도 2에서 Y축 어셈블리를 제외한 상태의 X축 사시도 그리고 도 4는 도 2에서 Y축 어셈블리를 제외한 상태의 평면도를 나타낸다. FIG. 2 is a perspective view of the present invention, FIG. 3 is an X-axis perspective view of the state excluding the Y-axis assembly in FIG. 2, and FIG. 4 is a plan view of the state excluding the Y-axis assembly in FIG. 2.

본 발명에 따른 검사장치에서 피검체의 검사는 피검체의 전체 영역을 국부적인 영역으로 나누어 각 국부적인 검사영역마다 검사기구를 일일이 위치시켜 수행하게 된다. 이를 위해 본 발명에 따른 검사장치에서는 피검체를 X축방향으로 이동시키고 검사기구를 Y축 방향으로 이동시켜 피검체의 검사영역에 검사기구를 위치시킬 수 있도록 이루어져 있다.In the inspection apparatus according to the present invention, the inspection of the inspected object is performed by dividing the entire region of the inspected object into the local region by locating the inspection mechanism for each local inspection region. To this end, in the inspection apparatus according to the present invention, the inspection apparatus is moved in the X-axis direction and the inspection mechanism is moved in the Y-axis direction so that the inspection apparatus can be positioned in the inspection region of the subject.

피검체를 X축방향으로 이동시키는 수단으로서는 도 2에 도시된 바와 같이, 표면실장기판과 같은 피검체(도시되지 않음)를 전 공정의 컨베이어로부터 이송받아서 소정의 검사공정을 거친 후 다음 공정으로 이송할 수 있는 검사기 컨베이어(12)가 베이스 프레임(10) 상에 구비됨과 아울러, 피검체를 검사영역의 X축방향으로 정밀하게 이동시키는 X축 어셈블리(14)가 실질적으로 상기 검사기 컨베이어(12)와 동일 평면상에 설치된다. 그리고, 상기 베이스 프레임(10) 상면에서 검사기 컨베이어(12) 위에 검사기 컨베이어(12)와 직각방향의 Y축 방향으로 배치되어 검사기구를 Y축 방향으로 정밀하게 수평이동시키는 Y축 어셈블리(16)가 구비된다.As a means for moving the test object in the X-axis direction, as shown in FIG. In addition to the inspection conveyor 12 is provided on the base frame 10, the X-axis assembly 14 for precisely moving the subject in the X-axis direction of the inspection area substantially the inspection conveyor 12 and It is installed on the same plane. Then, the Y-axis assembly 16 is disposed on the upper surface of the base frame 10 in the Y-axis direction perpendicular to the inspector conveyor 12 on the inspector conveyor 12 to precisely horizontally move the inspection mechanism in the Y-axis direction. It is provided.

베이스 프레임(10) 상에 설치되는 검사기 컨베이어(12)는 전공정과 후공정의 이송컨베이어와 동일 라인상에 설치되며, 도 3과 도 4에 도시된 바와 같이 전면레일(12a)과 후면레일(12b) 한 쌍으로 이루어진다.The inspector conveyor 12 installed on the base frame 10 is installed on the same line as the transfer conveyor of the previous process and the subsequent process, and as shown in FIGS. 3 and 4, the front rail 12a and the rear rail ( 12b) in pairs.

상기 전면레일(12a)과 후면레일(12b) 각각에는 레일의 길이방향을 따라 이송벨트(18)가 설치된다.Each of the front rail 12a and the rear rail 12b is provided with a conveyance belt 18 along the longitudinal direction of the rail.

상기 이송벨트(18)는 이송벨트의 장력을 유지하는 다수의 가이드롤러(20)와 이송벨트(18)에 회전동력을 전달하는 컨베이어 구동풀리(22)에 폐루프 형태로 결합되며, 상기 컨베이어 구동풀리(22)에는 컨베이어 구동축(24)을 통해 컨베이어 구동모터(26)가 연결된다.The conveying belt 18 is coupled in a closed loop form to a plurality of guide rollers 20 to maintain the tension of the conveying belt and a conveyor driving pulley 22 that transmits rotational power to the conveying belt 18. The conveyor drive motor 26 is connected to the pulley 22 through the conveyor drive shaft 24.

따라서 컨베이어 구동모터(26)가 작동되면 컨베이어 구동풀리(22)가 회전되어 이송벨트(18)를 회전 즉 수평방향으로 이동시키게 되며, 이때 전면레일(12a)과 후면레일(12b) 각각에 설치되어 있는 이송벨트(18)에 피검체의 양측 가장자리가 얹혀져 이송된다. Therefore, when the conveyor drive motor 26 is operated, the conveyor drive pulley 22 is rotated to move the conveying belt 18 in a horizontal direction, which is installed at each of the front rail 12a and the rear rail 12b. Both edges of the subject are placed on the conveying belt 18 and are conveyed.

한편, 전면레일(12a)과 후면레일(12b) 각각에는 피검체를 검사기 컨베이어레일(12) 상에서 검사기 컨베이어레일(12)과는 별도로 X축 방향으로 정밀하게 수평이동시켜 피검체가 실질적으로 검사영역에 위치할 수 있도록 이동하는 클램핑 유닛(30)이 설치된다.On the other hand, each of the front rail (12a) and the rear rail (12b) on the inspector conveyor rail (12) to move the test object precisely horizontally in the X-axis direction apart from the inspector conveyor rail 12, the subject is substantially the inspection area The clamping unit 30 is installed to move to be located in.

상기 클램핑 유닛(30)은 이송벨트(18)의 상측에 얹혀 검사기 컨베이어(12)로 이송되어온 피검체를 이송벨트(18)의 상측으로 들어올려 이송벨트(18)와 이격시킨 후 피검체를 X축 방향으로 정밀하게 수평이동시켜 검사영역에 위치시키키는 작용을 한다. 상기 클램핑 유닛(30)은 수평 방향으로 왕복 이동할 수 있게 설치되어 피검체를 검사영역으로 이동시킨다.The clamping unit 30 is mounted on the upper side of the conveying belt 18 to lift the inspected object transferred to the inspector conveyor 12 to the upper side of the conveying belt 18 to separate from the conveying belt 18 and then remove the subject. It precisely moves horizontally in the axial direction to place it in the inspection area. The clamping unit 30 is installed to reciprocate in the horizontal direction to move the subject to the inspection area.

이를 위해 클램핑 유닛(30)은 전면레일(12a)과 후면레일(12b) 각각에 X축 방향인 그 길이방향을 따라 설치되는 LM가이드레일(31), 상기 LM가이드레일(31)에 X축 방향으로 슬라이딩 가능하게 결합되어 수평이동되는 LM블럭(32), 이송벨트(18)의 상부에 위치하도록 상기 LM블럭(32)의 상부에 고정되는 상부 고정플레이트(33), 상기 상부 고정플레이트(33)와 대응되어 피검체를 클램핑하는 하부 가동플레이트(34), 상기 하부 가동플레이트(34)를 승강실린더(40)측에 고정하는 베이스 플레이트(35)로 이루어져 있다. 클램핑 유닛(30)의 각 구성요소들은 도 3의 전면레일(12a)과 후면레일(12b)에서 일부분만 도시되어 있으나, 실질적으로 양측에 동일하게 구성된 것이며, 구체적인 구성은 도 5에 도시된 바와 같다.To this end, the clamping unit 30 is an LM guide rail 31 installed along the longitudinal direction of the X-axis direction on each of the front rail 12a and the rear rail 12b, and the X-axis direction on the LM guide rail 31. LM block 32, which is slidably coupled horizontally, and an upper fixing plate 33 fixed to an upper portion of the LM block 32 so as to be positioned above the conveying belt 18, the upper fixing plate 33 Corresponding to the lower movable plate 34 for clamping the subject, and the lower movable plate 34 is composed of a base plate 35 for fixing the lifting cylinder 40 side. Each of the components of the clamping unit 30 is only partially shown in the front rail 12a and the rear rail 12b of FIG. 3, but is substantially identically configured at both sides, and the detailed configuration thereof is shown in FIG. 5. .

상기 클램핑 유닛(30)을 작동시키는 승강실린더(40)는 전면레일(12a)과 후면레일(12b)의 각 외측에 설치되어 있다. 따라서 하부 가동플레이트(34)를 승강실린더(40)측에 고정하는 베이스 플레이트(35)는 전면레일(12a)과 후면레일(12b)에 그 길이방향을 따라 길게 관통되어 형성된 클램프 이동홈(36)을 관통하여 설치되어 있다. 그리고 승강실린더(40)의 작동에 따라 클램프 이동홈(36) 내에서 수직 이동되면서 하부 가동플레이트(34)를 승강시켜 피검체를 클램핑하여 상승시키거나 클램핑 해제하면서 이송벨트(18)에 안착시키는 작용을 한다.The lifting cylinder 40 for operating the clamping unit 30 is installed at each outside of the front rail 12a and the rear rail 12b. Therefore, the base plate 35 for fixing the lower movable plate 34 to the lifting cylinder 40 side has a clamp moving groove 36 formed to penetrate the front rail 12a and the rear rail 12b along its length direction. It is installed penetrating through. And the vertical movement in the clamp moving groove 36 in accordance with the operation of the lifting cylinder 40, the lower movable plate 34 is raised and lowered by clamping the object to be lifted or released by clamping belt 18 while seating Do it.

클램핑 유닛(30)의 설치구조 및 작동상태는 도 5에 도시된 도 2의 A-A선 단면도에 상세히 도시되어 있다. 도 5의 (a)는 클램핑 유닛(30)이 하강되어 있는 상태를 나타내고, 도 5의 (b)는 승강실린더(40)가 상승하여 클램핑 유닛(30)을 상승시킨 상태를 나타낸다. 승강실린더(40)가 상승하면 실린더로드측에 연결되어 있는 베이스 플레이트(35)가 클램프 이동홈(36)내에서 수직상승함에 따라 하부 가동플레이트(34)가 상부 고정플레이트(33)의 저면과 맞닿게 되는데, 이때 하부 가동플레이트(34)가 이송벨트(18) 위에 안착되어 있는 피검체를 들어올리면서 상부 고정플레이트(33)에 밀착시켜 클램핑하게 된다.The installation structure and the operating state of the clamping unit 30 are shown in detail in the sectional view taken along the line A-A of FIG. FIG. 5A illustrates a state in which the clamping unit 30 is lowered, and FIG. 5B illustrates a state in which the lifting cylinder 40 is raised to raise the clamping unit 30. When the lifting cylinder 40 rises, the lower movable plate 34 fits the bottom surface of the upper fixing plate 33 as the base plate 35 connected to the cylinder rod side rises vertically in the clamp moving groove 36. In this case, the lower movable plate 34 is clamped by being in close contact with the upper fixing plate 33 while lifting the subject seated on the transfer belt 18.

X축 구동유닛(50)은 클램핑 유닛(30)을 X축 방향으로 정밀하게 수평이동시켜 피검체를 검사기의 검사영역에 정밀하게 위치시키기 위한 것으로서, 전면레일(12a)과 후면레일(12b) 각각에 X축 방향인 그 길이방향을 따라 설치되는 LM가이드레일(31), 상기 LM가이드레일(31)에 X축 방향으로 슬라이딩 가능하게 결합되어 수평이동되는 LM블럭(32), 상기 LM블럭(32)이 고정되고 X축 아이들러(51)와 X축 타이밍풀리(52)에 폐루프형태로 결합되어 있는 타이밍벨트(53), 상기 X축 타이밍풀리(52)에 구동축(54)을 통해 연결되어 타이밍벨트(53)를 회전시키는 X축 구동모터(55)로 이루어져 있다. 상기 구동축(54)은 전면레일(12a)과 후면레일(12b)을 관통하여 일단은 X축 구동모터(55)가 연결되어 있는 한편 다른 일단은 서포트 유닛(56)에 지지되어 있다.The X-axis driving unit 50 is for precisely horizontally moving the clamping unit 30 in the X-axis direction to precisely position the subject in the inspection region of the inspector, and each of the front rail 12a and the rear rail 12b. LM guide rails 31 installed along the longitudinal direction in the X-axis direction, LM blocks 32 slidably coupled to the LM guide rails 31 in the X-axis direction, and LM blocks 32 ) Is fixed and coupled to the X-axis idler 51 and the X-axis timing pulley 52 in the form of a closed loop, and is connected to the X-axis timing pulley 52 via a drive shaft 54 for timing. X-axis drive motor 55 for rotating the belt (53). The drive shaft 54 penetrates the front rail 12a and the rear rail 12b so that one end of the drive shaft 54 is connected to the X-axis drive motor 55 while the other end is supported by the support unit 56.

이와 같은 X축 구동유닛(50)은 전면레일(12a)과 후면레일(12b) 각각에 동일하게 설치되는 것으로, 다만 본 실시예에서는 하나의 X축 구동모터(55)에 의해 회전되는 구동축(54)에 전면레일(12a)과 후면레일(12b) 각각의 X축 타이밍풀리(52)가 결합되어 하나의 X축 구동모터(55)의 작동으로 각 클램핑 유닛(30)이 동기되어 동시에 X축 방향으로 정밀하게 작동되도록 이루어져 있다.The X-axis drive unit 50 is installed on each of the front rail (12a) and the rear rail (12b) the same, but in this embodiment, the drive shaft 54 is rotated by one X-axis drive motor 55 X-axis timing pulleys 52 of the front rail 12a and the rear rail 12b are coupled to each other so that each clamping unit 30 is synchronized with the operation of one X-axis driving motor 55 to simultaneously operate in the X-axis direction. It is made to work precisely.

본 실시예에 따른 전면레일(12a)과 후면레일(12b)은 다양한 크기의 폭을 갖는 피검체의 검사에 사용할 수 있도록 폭조절 유닛(60)이 구비되어 있다.The front rail 12a and the rear rail 12b according to the present embodiment are provided with a width adjusting unit 60 so that the front rail 12a and the rear rail 12b can be used for inspecting a subject having various sizes of widths.

이를 위해 상기 전면레일(12a)과 후면레일(12b)은 폭조절이 가능하도록 상기 전면레일(12a)과 후면레일(12b)을 직각으로 관통하는 레일 가이드샤프트(61) 상에서 슬라이드 가능하게 결합되어 지지된다. 상기 레일 가이드샤프트(61)의 양단은 각각 가이드샤프트 홀더(62)에 결합되어 있다.To this end, the front rail 12a and the rear rail 12b are slidably coupled to and supported on the rail guide shaft 61 penetrating the front rail 12a and the rear rail 12b at right angles to allow width adjustment. do. Both ends of the rail guide shaft 61 are coupled to the guide shaft holder 62, respectively.

아울러, 상기 폭조절유닛(60)에는 상기 전면레일(12a) 또는 후면레일(12b)을 상기 레일 가이드샤프트(61) 상에서 이동시키기 위한 수단으로서, 전면레일(12a)과 후면레일(12b)을 직각으로 관통하여, 일단은 아이들러(67)에 결합되는 한편 다른 일단은 타이밍풀리(63)에 결합되어 폐루프 형태로 설치되어 있는 복수의 폭조절 타이밍벨트(64)가 구비된다. In addition, the width adjusting unit 60 is a means for moving the front rail 12a or the rear rail 12b on the rail guide shaft 61, and the front rail 12a and the rear rail 12b at right angles. Through, the one end is coupled to the idler 67 while the other end is coupled to the timing pulley 63 is provided with a plurality of width adjustment timing belt 64 is installed in a closed loop form.

상기 폭조절 타이밍벨트(64)에는 홀더(65)를 통해 상기 전면레일(12a) 또는 후면레일(12b) 중에서 폭조절을 위해 이동할 레일이 연결되어 상기 폭조절 타이밍벨트(64)의 회전시 홀더(65)에 의해 연결되어 있는 레일이 레일 가이드샤프트(61)를 따라 이동하게 된다. 상기 홀더(65)에 의해 폭조절 타이밍벨트(64)에 연결되어 있지 않은 전면레일(12a) 또는 후면레일(12b)은 상기 폭조절 타이밍벨트(64)가 회전되더라도 동력이 전달되지 않아서 정지된 상태가 유지된다. 도시된 예에서는 홀더(65)가 후면레일(12b)에 결합되어 후면레일(12b)이 이동되어 폭을 조절할 수 있는 상태를 나타낸다.The width adjustment timing belt 64 is connected to a rail to move for width adjustment of the front rail 12a or the rear rail 12b through the holder 65, so that the holder when the width adjustment timing belt 64 rotates ( The rail connected by 65 is moved along the rail guide shaft 61. The front rail 12a or the rear rail 12b, which is not connected to the width adjustment timing belt 64 by the holder 65, is stopped because no power is transmitted even when the width adjustment timing belt 64 is rotated. Is maintained. In the illustrated example, the holder 65 is coupled to the rear rail 12b, and thus the rear rail 12b is moved to adjust the width.

상기 폭조절 타이밍벨트(64)에는 폭조절 타이밍벨트 구동샤프트(66)에 결합되어 있는 타이밍풀리(63)를 매개로 폭조절 모터(68)가 연결되어 있다.The width adjustment motor 68 is connected to the width adjustment timing belt 64 via a timing pulley 63 coupled to the width adjustment timing belt driving shaft 66.

본 실시예에서 폭조절 타이밍벨트(64)는 전면레일(12a)과 후면레일(12b)의 길이방향을 따라 양측에 2개 설치되어 있으나, 필요에 따라 증감할 수 있다. 또한 본 실시예에서는 하나의 폭조절 모터(68)에 결합되어 있는 폭조절 타이밍벨트 구동샤프트(66)에 타이밍풀리(63)를 2개 설치하여 각각의 폭조절 타이밍벨트(64)를 결합함으로써 하나의 폭조절 모터(68)의 구동으로 2개의 폭조절 타이밍벨트(64)를 동시에 이동시킬 수 있도록 되어 있다.
In the present embodiment, two width adjustment timing belts 64 are provided at both sides along the longitudinal direction of the front rail 12a and the rear rail 12b, but may be increased or decreased as necessary. In addition, in the present embodiment, two timing pulleys 63 are installed on the width adjustment timing belt drive shaft 66 coupled to one width adjustment motor 68 to combine the respective width adjustment timing belts 64. The two width adjustment timing belts 64 can be moved simultaneously by the drive of the width adjustment motor 68.

도 5는 본 발명에 따른 Y축 어셈블리의 사시도를 나타낸다.5 shows a perspective view of a Y-axis assembly according to the invention.

Y축 어셈블리(16)는 상기 베이스 프레임(10) 상면에 설치되어 있는 검사기 컨베이어(12)의 상측에서 검사기 컨베이어(12)와 직각방향의 Y축 방향으로 설치된다.The Y-axis assembly 16 is installed in the Y-axis direction perpendicular to the inspector conveyor 12 on the upper side of the inspector conveyor 12 installed on the upper surface of the base frame 10.

이를 위해 Y축 어셈블리(16)는 베이스 프레임(10) 상면에 설치되는 Y축 어셈블리 지지대(71) 위에 Y축 베이스 프레임(72)이 설치되는데, 상기 Y축 베이스 프레임(72)은 검사기 컨베이어(12)의 상부에 위치하도록 설치된다.To this end, the Y-axis assembly 16 has a Y-axis base frame 72 is installed on the Y-axis assembly support 71 is installed on the upper surface of the base frame 10, the Y-axis base frame 72 is a tester conveyor 12 It is installed to be located at the top of).

상기 Y축 베이스 프레임(72)에는 그 길이방향을 따라 Y축 LM 가이드레일(73)이 설치되고, 상기 Y축 LM 가이드레일(73)에는 Y축 LM블럭(74)이 Y축 LM 가이드레일(73)을 따라 Y축 방향으로 수평이동될 수 있도록 설치되어 있다.The Y-axis base frame 72 is provided with a Y-axis LM guide rail 73 along its longitudinal direction, and the Y-axis LM guide rail 73 is a Y-axis LM block 74 with a Y-axis LM guide rail ( It is installed to be able to move horizontally along the Y axis along 73).

또한, Y축 LM블록(74)에는 상기 Y축 LM블록(74)을 이동시킬 수 있도록 Y축 볼스크류(75)가 나사결합 방식으로 관통결합되어 있으며, 상기 Y축 볼스크류(75)의 양단은 서포트 유니트(76)에 관통되어 지지되는 한편 일단에는 Y축 볼스크류(75)를 정방향 또는 역방향으로 회전 구동시키는 Y축 구동모터(77)가 연결되어 있다.In addition, the Y-axis LM block 74 is coupled to the Y-axis ball screw 75 through the screw coupling method to move the Y-axis LM block 74, both ends of the Y-axis ball screw 75 The Y-axis drive motor 77 for driving the Y-axis ball screw 75 in a forward or reverse direction is connected to one end thereof while being supported by the support unit 76.

상기 Y축 LM블록(74)의 일측에는 본 장치를 사용하고자 하는 목적에 따라 검사구, 광학기구, 스캔 카메라 또는 레이저 등과 같은 다양한 옵션 장치를 장착하여 다양한 작업환경에 적용할 수 있다.One side of the Y-axis LM block 74 may be equipped with various optional devices such as an inspection tool, an optical instrument, a scan camera, or a laser according to the purpose of using the apparatus, and may be applied to various working environments.

본 발명에 따른 컨베이어가 1축을 대체한 2축 구동 검사장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the two-axis drive inspection apparatus in which the conveyor according to the present invention replaced one axis as follows.

피검체가 전공정의 이송 컨베이어를 통해 본 검사장치로 이송되어 올 때 컨베이어 구동모터(26)도 동시에 작동하게 된다. 이때 컨베이어 구동모터(26)의 구동에 따라 컨베이어 구동풀리(22)가 회전되면서 컨베이어 구동풀리(22)에 결합되어 있는 이송벨트(18)가 가이드롤러(20)들에 지지된 상태로 회전된다.When the test object is transferred to the present inspection device through the transfer conveyor of the previous process, the conveyor drive motor 26 is also operated at the same time. At this time, the conveyor drive pulley 22 is rotated in accordance with the drive of the conveyor drive motor 26, and the conveying belt 18 coupled to the conveyor drive pulley 22 is rotated while being supported by the guide rollers 20.

이에 따라 전공정의 이송 컨베이어를 통해 이송되어오던 피검체는 이송벨트(18)위에 안착된 상태로 본 검사장치내로 인입된다.Accordingly, the object to be transferred through the conveyance conveyor of the previous process is introduced into the inspection apparatus in a state seated on the conveyance belt (18).

피검체가 본 검사장치내로 인입완료된 상태에서는 승강실린더(40)가 작동되어 베이스 플레이트(35)를 통해 하부 가동플레이트(34)를 상승시키며, 이때 하부 가동플레이트(34)가 피검체를 들어올리면서 상부 고정플레이트(33)에 밀착시켜 클램핑한다.The lift cylinder 40 is operated to lift the lower movable plate 34 through the base plate 35 in the state in which the test object has been drawn into the test apparatus. At this time, the lower movable plate 34 lifts the test object, Clamping is in close contact with the fixing plate (33).

이후, X축 구동모터(50)의 구동을 제어하면서 클램핑 유닛(30)을 X축 방향으로 피치이송 또는 구간이송을 통하여 정밀이동시켜 Y축 어셈블리(16)에 달려 있는 검사기구(도시되지 않음)의 검사영역에 국부적으로 대응시킴으로써 검사 및 작업이 가능하도록 한다. After that, while controlling the driving of the X-axis drive motor 50, the clamping unit 30 is precisely moved through the pitch feed or the section feed in the X-axis direction to the inspection mechanism (not shown) that depends on the Y-axis assembly 16 The inspection and work is made possible by local correspondence to the inspection area of

이와 같이 X축 어셈블리(14)를 통해 피검체를 X축 검사영역에 위치시킨 후, Y축 어셈블리(16)를 구동하여 검사기구가 장착되어 있는 Y축 LM블럭(74)을 Y축 방향으로 이동시키면서 Y축 방향의 검사를 수행한다.In this way, after placing the subject in the X-axis inspection region through the X-axis assembly 14, the Y-axis assembly 16 is driven to move the Y-axis LM block 74 in which the inspection mechanism is mounted in the Y-axis direction. Y-axis inspection is performed.

즉, 상기 X축 어셈블리(14)가 X축 방향으로 설정된 거리만큼 이동된 다음, Y축 구동모터(77)가 구동되면 Y축 구동모터(77)에 커플링으로 결합된 Y축 볼스크류(75)가 회전됨과 동시에 Y축 볼스크류(75)와 나사결합된 Y축 LM블럭(74)은 Y축 LM가이드레일(73)을 따라서 Y축 방향으로 설정된 좌표만큼 수평이동하여 고정된 후에, Y축 LM블럭(74)에 장착된 검사기구를 작동시켜 피검체의 검사동작을 수행하게 된다.That is, the X-axis assembly 14 is moved by a distance set in the X-axis direction, and then Y-axis ball screw 75 coupled to the Y-axis drive motor 77 by coupling when the Y-axis drive motor 77 is driven. The Y-axis LM block 74 screwed with the Y-axis ball screw 75 at the same time as being rotated is fixed by moving horizontally by the coordinate set in the Y-axis direction along the Y-axis LM guide rail 73, and then Y-axis. The inspection mechanism mounted on the LM block 74 is operated to perform the inspection operation of the subject.

상기와 같은 본 발명은 X축이 컨베이어레일(12)에 일체로 결합되는 클램핑 유닛(30)으로 이루어지고 Y축이 단축 로봇으로 구성됨으로써, 구동시의 틀어짐이나 방행 요소가 없어 구성 프로그램의 복잡한 인터록의 요소를 필요로 하지 않는다.The present invention as described above is composed of a clamping unit 30 is integrally coupled to the conveyor rail 12 and the Y axis is composed of a single-axis robot, there is no twisting or direction elements during driving, the complex interlock of the configuration program Does not require the element of

아울러, Y축 LM블럭(74)에 장착되는 검사기구는 라인 스캐너, 레이저기구 등으로 대체하여 소정의 목적에 맞는 작업을 수행하게 할 수 있다.
In addition, the inspection mechanism mounted on the Y-axis LM block 74 may be replaced with a line scanner, a laser mechanism, or the like to perform a task suitable for a predetermined purpose.

10 -- 베이스 프레임, 12 -- 컨베이어,
14 -- X축 어셈블리, 16 -- Y축 어셈블리,
18 -- 이송벨트, 22 -- 컨베이어 구동풀리,
24 -- 컨베이어 구동축, 26 -- 컨베이어 구동모터,
30 -- 클램핑 유닛, 31 -- LM가이드레일,
32 -- LM블럭, 33 -- 상부 고정플레이트,
34 -- 하부 가동플레이트, 40 -- 승강실린더,
50 -- X축 구동유닛, 55 -- X축 구동모터,
60 -- 폭조절유닛, 66 -- 폭조절 타이밍벨트,
72 -- Y축 베이스 프레임, 73 -- Y축 LM가이드레일,
74 -- Y축 LM블럭, 75 -- Y축 볼스크류,
77 -- Y축 구동모터.
10-base frame, 12-conveyor,
14-X-axis assembly, 16-Y-axis assembly,
18-conveying belt, 22-conveyor driven pulley,
24-conveyor drive shaft, 26-conveyor drive motor,
30-clamping unit, 31-LM guide rail,
32-LM block, 33-upper fixing plate,
34-lower movable plate, 40-lifting cylinder,
50-X-axis drive unit, 55-X-axis drive motor,
60-width adjustment unit, 66-width adjustment timing belt,
72-Y-axis base frame, 73-Y-axis LM guide rail,
74-Y axis LM block, 75-Y axis ball screw,
77-Y-axis drive motor.

Claims (5)

검사기의 베이스 프레임 상면에 설치되어 피검체를 전공정으로부터 이송받거나 후공정으로 이송하는 이송벨트가 하나의 폐루프 형태로 각각 설치되어 있는 전면레일과 후면레일 한 쌍으로 이루어진 검사기 컨베이어;
상기 전면레일 및 후면레일의 이송벨트 일측에 각각 설치되어 피검체의 검사시에 이송벨트에 탑재되어있던 피검체를 이송벨트로부터 소정간격 이격시켜 일시적으로 고정하는 클램핑 유닛;
상기 이송벨트의 길이방향으로 이송벨트의 길이에 따라 소정간격으로 설치되어 이송벨트의 장력을 유지하는 다수의 가이드롤러와 이송벨트에 회전동력을 전달하는 구동풀리 및 상기 구동풀리를 회전시키는 이송벨트 구동모터로 이루어진 컨베이어 구동유닛;
상기 검사기 컨베이어내에서 클램핑 유닛을 X축 방향인 컨베이어 길이방향을 따라 수평이동시키는 X축 구동유닛;
상기 베이스 프레임 상면에서 검사기 컨베이어 위에 검사기 컨베이어와 직각방향의 Y축 방향으로 배치되어 검사기구를 Y축 방향으로 수평이동시키는 Y축 어셈블리;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 컨베이어가 1축을 대체한 2축 구동 검사장치.
An inspection conveyor comprising a pair of front rails and a rear rail installed on an upper surface of the base frame of the inspector, each of which has a conveying belt configured to receive a test object from a previous process or to be transferred to a post process in a closed loop form;
A clamping unit installed at one side of the conveyance belt of the front rail and the rear rail to temporarily fix the subject mounted on the conveyance belt at a predetermined interval from the conveyance belt at the time of inspecting the subject;
A plurality of guide rollers installed at predetermined intervals along the length of the conveying belt in the longitudinal direction of the conveying belt and a driving pulley for transmitting rotational power to the conveying belt and a conveying belt driving rotating the driving pulley A conveyor drive unit made of a motor;
An X-axis driving unit for horizontally moving the clamping unit in the conveyor conveyor in the X-axis direction in the inspector conveyor;
A two-axis conveyor comprising one axis, wherein the conveyor comprises a Y-axis assembly disposed on the inspector conveyor in a Y-axis direction perpendicular to the inspector conveyor and horizontally moving the inspection mechanism in the Y-axis direction. Drive test device.
제1항에 있어서, 상기 클램핑 유닛은
이송벨트의 상측으로 소정거리 이격되어 컨베이어의 길이방향을 따라 LM블럭에 고정된 상부 고정플레이트와;
이송벨트의 하측으로 소정거리 이격되어 컨베이어의 길이방향을 따라 설치되되, 베이스 플레이트 및 고정브라켓을 통해 클램프 승강실린더에 고정되어 상승시 피검체를 상부 고정플레이트와 함께 클램핑할 수 있도록 된 하부 가동플레이트;로 이루어진 것을 특징으로 하는 컨베이어가 1축을 대체한 2축 구동 검사장치.
The method of claim 1, wherein the clamping unit
An upper fixing plate spaced apart from the upper side of the conveying belt by a predetermined distance and fixed to the LM block along the longitudinal direction of the conveyor;
A lower movable plate spaced apart from the lower side of the conveying belt by a predetermined distance and installed along the longitudinal direction of the conveyor, the lower movable plate being fixed to the clamp elevating cylinder through the base plate and the fixing bracket so that the subject can be clamped together with the upper fixing plate when raised; Two-axis drive inspection device in which the conveyor is replaced with one axis, characterized in that consisting of.
제1항에 있어서, 상기 X축 구동유닛은
전면레일과 후면레일에 길이방향을 따라 설치되는 LM가이드레일;
상기 LM가이드레일에 체결되어 슬라이딩되는 LM블럭;
상기 LM블럭이 고정되고 X축 아이들러와 X축 타이밍풀리에 폐루프형태로 결합되어 있는 타이밍벨트;
상기 X축 타이밍풀리에 구동축을 통해 연결되어 타이밍벨트를 회전시키는 X축 구동모터로 이루어진 것을 특징으로 하는 컨베이어가 1축을 대체한 2축 구동 검사장치.
According to claim 1, wherein the X-axis drive unit
LM guide rails installed along the longitudinal direction on the front rail and the rear rail;
An LM block coupled to the LM guide rail and sliding;
A timing belt in which the LM block is fixed and coupled to the X-axis idler and the X-axis timing pulley in a closed loop shape;
The X-axis timing pulley is connected to the X-axis drive shaft for rotating the timing belt, characterized in that the conveyor replaces one axis of the two-axis drive inspection apparatus.
제1항 또는 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전면레일과 상기 후면레일을 직각으로 관통하여, 일단은 아이들러에 결합되는 한편 다른 일단은 타이밍풀리에 결합되어 폐루프 형태로 설치되어 있는 복수의 폭조절 타이밍벨트;
상기 전면레일과 상기 후면레일 중에서 폭조절을 위해 이동할 레일과 폭조절 타이밍벨트를 일체로 연결하는 홀더;
상기 타이밍풀리에 결합되어 폭조절 타이밍벨트를 회전시키는 폭조절모터;
상기 전면레일과 상기 후면레일을 직각으로 관통하여, 양단은 각각 가이드샤프트 홀더에 결합되어 상기 전면레일과 상기 후면레일을 지지함과 아울러 상기 전면레일 또는 상기 후면레일이 이동될 때 슬라이드 가능하게 결합되는 레일 가이드샤프트;를 포함하여 이루어진 폭조절유닛이 추가로 설치된 것을 특징으로 하는 컨베이어가 1축을 대체한 2축 구동 검사장치.
According to any one of claims 1 to 3, wherein the front rail and the rear rail through a plurality of right angles, one end is coupled to the idler while the other end is coupled to the timing pulley is installed in a closed loop form Adjustable timing belt;
A holder for integrally connecting the moving rail and the width adjusting timing belt to adjust the width of the front rail and the rear rail;
A width adjusting motor coupled to the timing pulley to rotate the width adjusting timing belt;
Through the front rail and the rear rail at right angles, both ends are respectively coupled to the guide shaft holder to support the front rail and the rear rail and to be slidably coupled when the front rail or the rear rail is moved. Rail guide shaft; Conveyor is a two-axis drive inspection device, characterized in that the width adjustment unit further comprises a shaft installed.
제1항 또는 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 Y축 어셈블리는
상기 베이스 프레임 상면에서 검사기 컨베이어의 상측에 검사기 컨베이어와 직각방향의 Y축 방향으로 설치되는 Y축 베이스 프레임;
상기 Y축 베이스 프레임에 길이방향을 따라 설치되는 Y축 LM 가이드레일;
상기 Y축 LM 가이드레일을 따라 Y축 방향으로 수평이동되는 Y축 LM블럭;
상기 Y축 LM블록이 수평이동되도록 나사결합 방식으로 연결되고 양단은 서포트 유니트에 관통되어 지지되는 Y축 볼스크류;
상기 Y축 볼스크류에 연결되어 Y축 볼스크류를 정방향 또는 역방향으로 회전 구동시키는 Y축 모터;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 컨베이어가 1축을 대체한 2축 구동 검사장치.
The Y-axis assembly of claim 1, wherein the Y-axis assembly
A Y-axis base frame installed in an Y-axis direction perpendicular to the tester conveyor at an upper side of the tester conveyor on the base frame;
A Y-axis LM guide rail installed along the longitudinal direction in the Y-axis base frame;
A Y-axis LM block horizontally moved in the Y-axis direction along the Y-axis LM guide rail;
A Y-axis ball screw connected to the Y-axis LM block by a screwing method so as to move horizontally and both ends thereof being supported by a support unit;
And a Y-axis motor connected to the Y-axis ball screw to drive the Y-axis ball screw to rotate in the forward or reverse direction in the forward or reverse direction.
KR1020110120488A 2011-11-17 2011-11-17 Two dimension driving inspection apparatus replaced 1 axis by conveyor KR101155961B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110120488A KR101155961B1 (en) 2011-11-17 2011-11-17 Two dimension driving inspection apparatus replaced 1 axis by conveyor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110120488A KR101155961B1 (en) 2011-11-17 2011-11-17 Two dimension driving inspection apparatus replaced 1 axis by conveyor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101155961B1 true KR101155961B1 (en) 2012-06-18

Family

ID=46688915

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110120488A KR101155961B1 (en) 2011-11-17 2011-11-17 Two dimension driving inspection apparatus replaced 1 axis by conveyor

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101155961B1 (en)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107561090A (en) * 2017-10-21 2018-01-09 珠海盈致科技有限公司 A kind of automatic optical detection device
KR20180081914A (en) * 2017-01-09 2018-07-18 이노6 주식회사 Transferring apparatus
CN108340329A (en) * 2018-04-24 2018-07-31 深圳市劲拓自动化设备股份有限公司 A kind of plate position corrector
CN108565230A (en) * 2018-04-17 2018-09-21 无锡市精电技术有限公司 A kind of solar battery sheet typesetting is taped device
CN108593651A (en) * 2018-04-10 2018-09-28 安徽利珀科技有限公司 A kind of light guide plate automatic detection device
CN110015544A (en) * 2019-05-08 2019-07-16 济南菲德自动化设备有限公司 Unpowered spacing can accurate electrodeless adjustment belt feeder
CN112453713A (en) * 2020-12-01 2021-03-09 广东镭泰激光智能装备有限公司 Automatic device for PCB laser marking machine
CN115112565A (en) * 2022-06-14 2022-09-27 江苏才道精密仪器有限公司 PI film online macro-micro AOI inspection machine linkage lifting device and method
CN116116759A (en) * 2022-09-21 2023-05-16 东莞市勤邦电子科技有限公司 Defective product removing device and application thereof

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR940019202A (en) * 1993-01-07 1994-08-19 모리시타 요이찌 Board Vision Inspection System
JP2010121969A (en) * 2008-11-17 2010-06-03 Micronics Japan Co Ltd Alignment device for substrate to be inspected
KR20100113949A (en) * 2009-04-14 2010-10-22 에스엔티코리아 주식회사 Inspection machine of surface mounting board and method for setting a right angle between y-axis guide rail and x-axis guide rail in inspection machine of surface mounting board

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR940019202A (en) * 1993-01-07 1994-08-19 모리시타 요이찌 Board Vision Inspection System
JPH06260800A (en) * 1993-01-07 1994-09-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Visual inspection equipment for board
JP2010121969A (en) * 2008-11-17 2010-06-03 Micronics Japan Co Ltd Alignment device for substrate to be inspected
KR20100113949A (en) * 2009-04-14 2010-10-22 에스엔티코리아 주식회사 Inspection machine of surface mounting board and method for setting a right angle between y-axis guide rail and x-axis guide rail in inspection machine of surface mounting board

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180081914A (en) * 2017-01-09 2018-07-18 이노6 주식회사 Transferring apparatus
KR101893818B1 (en) * 2017-01-09 2018-08-31 이노6 주식회사 Transferring apparatus
CN107561090B (en) * 2017-10-21 2024-02-20 珠海盈致科技有限公司 Automatic optical detection device
CN107561090A (en) * 2017-10-21 2018-01-09 珠海盈致科技有限公司 A kind of automatic optical detection device
CN108593651A (en) * 2018-04-10 2018-09-28 安徽利珀科技有限公司 A kind of light guide plate automatic detection device
CN108565230A (en) * 2018-04-17 2018-09-21 无锡市精电技术有限公司 A kind of solar battery sheet typesetting is taped device
CN108565230B (en) * 2018-04-17 2024-03-29 无锡市精电技术有限公司 Typesetting and tape adhering device for solar cell
CN108340329A (en) * 2018-04-24 2018-07-31 深圳市劲拓自动化设备股份有限公司 A kind of plate position corrector
CN110015544A (en) * 2019-05-08 2019-07-16 济南菲德自动化设备有限公司 Unpowered spacing can accurate electrodeless adjustment belt feeder
CN112453713A (en) * 2020-12-01 2021-03-09 广东镭泰激光智能装备有限公司 Automatic device for PCB laser marking machine
CN115112565A (en) * 2022-06-14 2022-09-27 江苏才道精密仪器有限公司 PI film online macro-micro AOI inspection machine linkage lifting device and method
CN116116759A (en) * 2022-09-21 2023-05-16 东莞市勤邦电子科技有限公司 Defective product removing device and application thereof
CN116116759B (en) * 2022-09-21 2023-09-08 东莞市勤邦电子科技有限公司 Defective product removing device and application thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101155961B1 (en) Two dimension driving inspection apparatus replaced 1 axis by conveyor
CN103376269B (en) The check device of printed circuit board (PCB)
JP4864381B2 (en) Device transfer device for semiconductor device test handler
EP3369683A1 (en) Item transfer apparatus, item inspection apparatus, item transfer method, and item inspection method
CN201438174U (en) Conveyer for automatic optical inspection systems
WO2013105149A1 (en) X-ray inspection device
CN104081193A (en) Complex inspection device for printed-circuit board
JP5803015B2 (en) Conveying apparatus, processing apparatus, and conveying method
CN109521017B (en) Inline gantry with AOI theta axis alignable transport apparatus
US20180154522A1 (en) Robot system and robot
CN106181540A (en) A kind of full-automatic CCD feeder
KR101169063B1 (en) The diamond wire saw for cutting apparatus of semiconductor panel
KR200463519Y1 (en) Device for inspecting printed circuited board
KR101663648B1 (en) Turnover apparatus for measuring flexible display panel
CN110712969A (en) Conveying equipment capable of adjusting orientation of articles on line
CN112394066B (en) Keyboard automatic detection system and method
KR101446576B1 (en) Single arm transfer robot
CN209853315U (en) Reciprocating type transmission device
KR100813291B1 (en) Apparatus for inspecting and repairing substrate
KR100354103B1 (en) Panel Sending Apparatus of Liquid Crystal Display Panel Inspection System
KR102353206B1 (en) Scribing apparatus
US10165716B2 (en) Substrate conveyance mechanism and component mounting method
US9615494B2 (en) Substrate conveyance mechanism and component mounting device
JP2004018237A (en) Double approach conveyor
KR20090085741A (en) Loading-hand

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150427

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170324

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee