KR101142417B1 - 박막태양전지용 버퍼층 증착 장치 및 이를 이용한 버퍼층 증착 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 혼합용액을 가열하는 히터가 구비된 복수 개의 반응탱크를 포함하는 반응부와, 상기 복수 개의 반응탱크 중 어느 하나로부터 가열된 혼합용액이 투입되는 증착조와, 상기 증착조에 박막태양전지 기판을 침지하는 투입수단, 및 상기 혼합용액이 배출되는 배출조를 포함하는 증착부, 및 상기 반응탱크 중 어느 하나에서 혼합용액이 투입되어 상기 박막태양전지 기판과 반응이 완료되면 상기 증착조에 유입된 혼합용액을 배출하고, 나머지 반응탱크 중 어느 하나에서 혼합용액을 상기 증착조에 투입하고 또 다른 박막태양전지 기판을 상기 증착조로 투입하도록 제어하는 제어부를 포함하여,
박막태양전지의 버퍼층을 연속적으로 형성이 가능하고, 재현성 확보가 가능한 한편, 황화 카드뮴 용액을 제조하는 재료를 최소화할 수 있는 박막태양전지용 버퍼층 증착 장치에 관한 것이다.
박막태양전지의 버퍼층을 연속적으로 형성이 가능하고, 재현성 확보가 가능한 한편, 황화 카드뮴 용액을 제조하는 재료를 최소화할 수 있는 박막태양전지용 버퍼층 증착 장치에 관한 것이다.
Description
본 발명은 박막태양전지용 버퍼층 증착 장치 및 증착방법에 관한 것으로서, 더욱 자세하게는 화학적 용액성장법(chemical bath deposition, CBD)을 이용하여 광흡수층에 버퍼층을 연속적으로 형성하면서도 재현성이 확보될 수 있는 박막태양전지용 버퍼층 증착 장치 및 이를 이용한 버퍼층 증착 방법에 관한 것이다.
최근 환경 문제와 에너지 고갈 문제를 극복하기 위하여 차세대 전지에 대한 개발이 활발해지고 있으며, 이러한 차세대 전지 중 태양전지는 광흡수층에 의하여 흡수된 전자와 정공을 이용하여 광에너지를 전기에너지로 변환하는 기술이다.
태양전지의 구성을 살펴보면 일반적으로 단위 박막, 배면 전극, 광흡수층, 버퍼층, 투명전극, 및 반사방지막이 순차적으로 적층되어 형성된다.
이때 배면전극, 광흡수층, 버퍼층, 투명전극 및 반사방지막은 일반적인 스퍼터링 장치에 의하여 순차적으로 증착될 수 있다. 그러나 버퍼층을 스퍼터링에 의하여 형성하는 경우 광흡수층에 결함이 생기는 문제가 발생한다.
이러한 문제를 해결하기 위하여 최근에는 화학적 용액성장법(chemical bath deposition, CBD)을 이용한 버퍼층을 형성하는 방법이 개시되고 있다.(한국 공개특허 제1999-0002817호, 일본공개특허 제2007-242646호)
그러나 이러한 화학적 용액성장법(chemical bath deposition, CBD)은 비이커 또는 용기에 복수의 화학물질을 넣고 교반 및 가열하여 황화카드뮴 용액을 제조하고 이후에 박막태양전지 기판을 침지하여 광흡수층 상면에 버퍼층을 형성하는 구성이다.
따라서 박막태양전지 기판에 버퍼층을 형성할 때마다 반복적으로 황화카드뮴 용액을 다시 제조하여야 하므로 연속적으로 버퍼층을 증착하는 것이 불가능한 문제가 있다.
또한, 복수 회 제조시 정확한 황화카드뮴 용액의 농도를 제어하기 어려워 버퍼층의 증착이 반복되는 경우 증착 두께가 균일하지 않은 문제가 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로, 화학적 용액성장법(chemical bath deposition, CBD)을 이용하여 버퍼층을 연속적으로 형성할 수 있고 재현성 확보가 가능한 박막태양전지용 버퍼층 증착 장치 및 이를 이용한 버퍼층 증착 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 특징은 혼합용액을 가열하는 히터가 구비된 복수 개의 반응탱크를 포함하는 반응부와, 상기 복수 개의 반응탱크 중 어느 하나로부터 가열된 혼합용액이 투입되는 증착조와, 상기 증착조에 박막태양전지 기판을 침지하는 투입수단, 및 상기 혼합용액이 배출되는 배출조를 포함하는 증착부, 및 상기 반응탱크 중 어느 하나에서 혼합용액이 투입되어 상기 박막태양전지 기판과 반응이 완료되면 상기 증착조에 유입된 혼합용액을 배출하고, 나머지 반응탱크 중 어느 하나에서 혼합용액을 상기 증착조에 투입하고 또 다른 박막태양전지 기판을 상기 증착조로 투입하도록 제어하는 제어부를 포함한다.
이때 반응부의 전단에는 교반부가 더 형성되고, 상기 교반부는 상기 혼합용액의 구성물질 저장조와, 증류수 저장조, 및 상기 저장장치와 증류수 저장조에 각각 연결되어 구성물질과 증류수를 혼합하는 복수 개의 믹싱탱크를 포함하고, 상기 믹싱탱크에는 상기 증류수와 혼합된 구성물질을 상기 복수 개의 반응탱크로 선택적으로 이송하는 복수 개의 노즐이 형성될 수 있다.
그리고 구성물질은 암모니아(NH3), 싸이오요소(N2H4CS), 황산카드뮴(CdSO4)으로 구성되고, 복수 개의 믹싱탱크에 투입되는 구성물질은 서로 상이하도록 구성될 수 있다.
또한, 복수 개의 반응탱크는 제1반응탱크와 제2반응탱크로 구성되고, 상기 제1반응탱크와 제2반응탱크는 상기 증착조로 혼합용액이 투입된 이후에 상기 믹싱탱크로부터 구성물질을 공급받아 혼합용액을 제조하도록 제어되도록 구성된다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 또 다른 특징은 제1반응탱크에서 가열된 황(S) 이온과 카드뮴(cd) 이온이 혼합된 혼합용액이 증착조에 투입되고, 상기 증착조에 박막태양전지 기판이 침지되어 버퍼층이 증착되는 제1단계, 및 상기 제1반응탱크에서 투입된 상기 혼합용액이 배출되고 제2반응탱크로부터 황(S) 이온과 카드뮴(cd) 이온이 혼합된 혼합용액이 증착조에 유입된 뒤, 또 다른 박막태양전지 기판이 상기 증착조에 침지되어 버퍼층이 증착되는 제2단계를 포함하고, 상기 제1단계와 제2단계는 반복적으로 수행되도록 구성된다.
본 발명에 따르면, 박막태양전지 기판에 버퍼층을 균일한 두께로 연속적으로 형성하는 것이 가능하고, 황화카드뮴 용액을 제조하는 구성물질의 소비량을 최소화할 수 있다.
또한, 구성 장비의 제작이 최소화되는 한편, 대량화가 가능하며, 모든 공정이 메인 PC에 의하여 제어되므로 작업환경이 개선되는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 버퍼층 증착 장치의 개략도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 버퍼층 증착 장치의 구성도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 교반부의 구성도,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 반응부의 구성도,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 증착부의 구성도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 버퍼층 증착 장치의 구성도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 교반부의 구성도,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 반응부의 구성도,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 증착부의 구성도.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다.
그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다.
상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제2 구성요소는 제1 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제1 구성요소도 제2 구성요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급될 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 본 출원에서 첨부된 도면은 설명의 편의를 위하여 확대 또는 축소하여 도시된 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 버퍼층 증착 장치의 개략도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 버퍼층 증착 장치의 구성도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 교반부의 구성도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 반응부의 구성도이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 증착부의 구성도이다.
본 발명의 실시예에 따른 박막태양전지용 버퍼층 증착 장치는 도 1을 참조할 때 크게 증착조(310)에 황(S) 이온과 카드뮴(cd) 이온이 혼합된 혼합용액의 구성물질을 각각 용해하는 교반부(100)와, 상기 교반부(100)로부터 구성물질을 공급받아 일정한 온도를 유지하고 대기하는 반응부(200)와, 상기 반응부(200)로부터 혼합용액을 공급받아 박막태양전지 기판에 버퍼층을 형성하는 증착부(300), 및 이들을 제어하는 제어부(400)를 포함한다.
먼저, 도 2와 도 3을 참조하여 본 발명의 교반부(100)에 대하여 설명한다.
상기 교반부(100)는 구성물질 저장조(111)(121)(131)와, 증류수 저장조(150), 및 상기 구성물질 저장조(111)(121)(131)와 증류수 저장조(150)에 각각 연결된 복수 개의 믹싱탱크(110)(120)(130)를 포함하여 구성된다.
상기 구성물질 저장조(111)(121)(131)는 황(S) 이온과 카드뮴(cd) 이온이 혼합된 혼합용액의 구성물질인 암모니아(NH3), 싸이오요소(N2H4CS), 황산카드뮴(CdSo4)이 각각 저장되어 있고, 투입량을 조절할 수 있는 센서(112)(122)가 장착될 수 있다.
상기 복수 개의 믹싱탱크(110)(120)(130)는 싸이오요소(N2H4CS)가 투입되는 제1믹싱탱크(110)와, 황산카드뮴(CdSo4)이 투입되는 제2믹싱탱크(120), 및 암모니아(NH3)가 투입되는 제3믹싱탱크(130)로 구성될 수 있다.
이때 복수 개의 믹싱탱크(110)(120)(130)에는 각각 수위조절센서(114)(124)(132)가 장착되어 믹싱탱크(110)(120)(130)의 내부에 충진된 구성물질의 양을 센싱할 수 있다. 이때 상기 수위조절센서(114)(124)(132)를 복수 개로 구성하여 믹싱탱크(110)(120)(130) 내부에 구성물질의 유입 상태를 더욱 자세하게 측정할 수도 있다.
상기 복수 개의 믹싱탱크(110)(120)(130)에는 증류수 저수조(150)로부터 노즐(140)을 통하여 증류수가 유입되어 상기 구성물질과 교반된다. 상기 구성물질과 증류수의 교반은 순환배관(115)(125)(133)에 의하여 이루어지나 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 교반 방법(Stir system)이 사용될 수 있다. 이때 교반은 상온에서 이루어질 수 있으나 실시 형태에 따라 상온보다 높은 온도에서 이루어질 수도 있다.
상기 순환배관(115)(125)(133)에 의하여 구성물질이 증류수에 용해되고 계속 순환되므로 구성물질이 침전되지 않은 상태에서 반응부(200)로 투입될 수 있게 된다.
상기 복수 개의 믹싱탱크(110)(120)(130)에는 상기 반응부(200)에 구성물질을 투입하는 복수 개의 노즐이 구비된다. 구체적으로는 상기 반응부(200)에 제1반응탱크(210)와 제2반응탱크(220)가 구성된 경우 각각의 믹싱탱크(110)(120)(130)에는 제1반응탱크(210)에 구성물질을 투입하는 제1노즐(116)(126)(134)과 제2반응탱크(220)에 구성물질을 투입하는 제2노즐(117)(127)(135)이 각각 형성된다.
도 2 및 도 4를 참조할 때, 본 발명의 실시예에 따른 반응부(200)는 혼합용액을 가열하는 히터(213)(223)가 구비된 복수 개의 반응탱크(210)(220)를 포함한다.
상기 복수 개의 반응탱크(210)(220)는 혼합용액을 제조하고 서로 스위칭되어 상기 증착부(300)에 혼합용액을 공급하도록 구성된다. 일반적으로 버퍼층 증착 시간에 비하여 혼합용액 제조 시간이 더 오래 소요되므로 연속공정이 가능하도록 적어도 두 개 이상의 반응탱크를 구비하는 것이 바람직하다.
본 발명에서는 2개의 반응탱크가 구비된 것으로 설명하나, 실시 형태에 따라 그 이상의 개수로 구비될 수도 있음은 당연하다.
상기 제1반응탱크(210)와 제2반응탱크(220)는 상기 복수 개의 믹싱탱크(110)(120)(130)로부터 유입된 암모니아(NH3)용액, 싸이오요소(N2H4CS) 용액, 및 황산카드뮴(CdSo4) 용액을 혼합하고 이를 40℃에서 90℃로 가열하여 황(S) 이온과 카드뮴(cd) 이온이 혼합된 혼합용액을 제조한다.
이때 각각의 믹싱탱크(110)(120)(130)로부터 상이한 구성물질 용액이 유입되어 혼합되므로 반응탱크에 각각의 고체물질을 투입하고 혼합하는 경우보다 상대적으로 빠른 속도로 혼합이 가능해져 반응탱크의 개수를 절약할 수 있게 된다.
또한, 상기 각각의 믹싱탱크(110)(120)(130)로부터 정량화된 용액이 유입되므로 일정한 농도의 혼합용액을 반복적으로 제조할 수 있어 일정한 두께의 버퍼층 제작이 가능해진다.
상기 제1반응탱크(210)와 제2반응탱크(220)에는 각각 순환 배관(212)(222)이 형성되어 있어 상기 혼합용액이 계속 순환되며 40℃에서 90℃로 유지되므로 상기 증착부(330)에 혼합용액이 투입되면 박막태양전지의 광흡수층에 바로 증착이 가능해지는 장점이 있다.
이때, 상기 제1반응탱크(210)와 제2반응탱크(220)에 상기 구성물질 용액이 투입되는 시기는 상기 제1반응탱크(210)와 제2반응탱크(220) 내부의 혼합용액이 상기 증착조(310)에 투입된 이후인 것이 바람직하다.
도 2 및 도 5를 참조할 때, 본 발명의 실시예에 따른 증착부(300)는 복수 개의 반응탱크(210)(220) 중 어느 하나로부터 가열된 혼합용액이 투입되는 증착조(310)와, 상기 증착조(310)에 박막태양전지 기판을 침지하는 투입수단(500), 및 상기 혼합용액이 배출되는 배출조(340)를 포함한다.
상기 증착조(310)는 제1반응탱크(210)와 제2반응탱크(220)가 스위칭되어 상기 혼합용액을 투입할 수 있도록 각각 형성된 노즐(214)(224)과 연결되어 있다.
상기 증착조(310)는 적어도 하나 이상으로 구성되며, 광흡수층이 형성된 박막태양전지 기판(600)이 투입되는 투입구(미도시)가 형성될 수 있다. 상기 증착조(310)는 도 5를 참조할 때 혼합용액의 사용을 최소한으로 하기 위하여 상기 박막태양전지 기판(600)의 두께에 대응되는 소정의 두께(d)로 좁은 투입구가 형성되고, 박막태양전지 기판(600)이 투입될 정도로 깊이로 형성될 수 있다.
따라서 박막태양전지 기판(600)이 상기 증착조(310)에 투입되면 내부에 충진된 혼합용액이 화학적 용액성장법 (chemical bath deposition, CBD)에 의하여 상기 박막태양전지 기판(600)의 광흡수층의 상면에 cds 버퍼층을 형성하게 된다. 박막태양전지 버퍼층이 화학적 용액성장법 (chemical bath deposition, CBD)에 의하여 형성하는 것 자체는 일반적인 기술이므로 더 이상의 자세한 설명은 생략한다.
상기 배출조(340)는 상기 박막태양전지 기판(600)과 반응이 끝난 혼합용액을 배출하는 것으로 반응된 혼합용액을 재사용하는 경우 설정된 시간 내에 원하는 증착 두께를 제어할 수 없으므로 이를 배출조(340)로 배출하고, 다른 반응탱크로부터 혼합용액이 다시 유입되도록 구성된다.
이때 상기 증착조(310) 역시 버퍼층 증착 도중 반응분위기를 유지하기 위하여 순환 배관(320)에 의하여 용액을 순환시키고, 순환배관(320)에 히터(330)를 장착하여 반응에 요구되는 40℃ ~ 90℃의 온도를 유지시키도록 구성될 수 있다.
상기 투입수단(500)은 상기 박막태양전지 기판(600)을 상기 증착조(310)에 투입시키는 구성이면 제한 없이 다양하게 적용가능하다. 예를 들면, 일반적인 자동화 설비 또는 반도체 설비의 로봇 암(arm)을 이용할 수도 있다.
이때 상기 박막태양전지 기판(600)의 광흡수층이 CIGS 계인 경우에는 제조과정에서 이차상(Cu2Se) 물질이 형성되어 누설전류가 발생할 염려가 있으므로, 도 1과 같이 시안화칼륨(KCN)을 포함하는 용액을 이용하여 상기 이차상(Cu2Se) 물질을 제거하는 에칭 공정 및 표면을 세척하는 린스공정(11)을 수행하고난 후, 증착부(300)에서 버퍼층을 형성하는 것이 바람직하다. 버퍼층이 형성된 이후에는 추가적으로 린스공정(12)과 건조공정(13)을 더 수행하게 된다.
상기 제어부(400)는 메인 PC로 구성되어 상기 교반부(100), 반응부(200), 증착부(300) 및 박막태양전지 기판 처리공정(10)을 전체적으로 컨트롤하며, 구체적으로는 반응탱크 중 어느 하나(210)에서 혼합용액이 투입되어 증착이 완료되면 상기 증착조(310)에 유입된 혼합용액을 배출하고, 나머지 반응탱크(220)에서 혼합용액을 상기 증착조(310)에 투입하고 또 다른 박막태양전지 기판을 상기 증착조(310)로 투입하도록 제어할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 태양전지용 버퍼층 형성방법은 도 2를 참조할 때 상기 증착조(310)에 제1반응탱크(210)에서 가열된 혼합용액이 투입되고, 박막태양전지 기판이 침지되어 버퍼층이 증착되는 제1단계, 및 상기 제1반응탱크(210)에서 투입된 혼합용액이 배출되고 제2반응탱크(220)로부터 혼합용액이 증착조(310)에 유입된 뒤, 또 다른 박막태양전지 기판이 상기 증착조(310)에 침지되어 버퍼층이 연속적으로 증착되는 제2단계를 포함한다.
먼저 제1단계는 제1반응탱크(210)가 복수 개의 믹싱탱크(110)(120)(130)로부터 상기 혼합용액의 구성물질을 공급받아 황(S) 이온과 카드뮴(cd) 이온이 혼합된 혼합용액을 제조하게 된다.
이후, 제1반응탱크(210)에서 혼합용액을 상기 침전조(310)에 투입하게 되고 이후, 증착조(310)에 박막태양전지 기판이 침지되어 화학적 용액 성장법(CBD)에 의하여 버퍼층이 증착된다.
이때 상기 박막태양전지의 광흡수층은 상기 증착조(310)에 투입 전에 표면에 형성된 이차상을 제거하는 에칭 공정과 표면을 세척하는 린스공정을 먼저 수행하고 버퍼층을 형성하게 된다.
상기 제2단계는 상기 제1단계에서 박막태양전지 기판에 버퍼층이 형성되고 나면, 앞서 서술한 배출구(340)를 통해 제1반응탱크(210)에서 투입된 혼합용액을 배출하고, 제2반응탱크(220)에서 혼합용액이 유입되고, 또 다른 박막태양전지 기판을 침지시켜 연속적으로 버퍼층을 형성하며, 이러한 제1단계와 제2단계는 반복수행된다.
이러한 과정을 통하여 박막태양전지 기판에 버퍼층을 형성하는 과정이 연속적으로 수행될 수 있고, 박막층의 재현성 확보가 용이한 정점이 있으며, 모든 공정을 메인 PC의 제어 신호에 의하여 자동으로 이루어지게 되므로 작업환경 및 작업자의 편리성이 극대화되는 장점이 있다.
100: 교반부 110: 제1믹싱탱크
120: 제2믹싱탱크 130: 제3믹싱탱크
200: 반응부 210: 제1반응탱크
220: 제2반응탱크 300: 증착부
310: 증착조 340: 배출조
400: 제어부 500: 투입 수단
600: 박막태양전지 기판
120: 제2믹싱탱크 130: 제3믹싱탱크
200: 반응부 210: 제1반응탱크
220: 제2반응탱크 300: 증착부
310: 증착조 340: 배출조
400: 제어부 500: 투입 수단
600: 박막태양전지 기판
Claims (12)
- 혼합용액을 가열하는 히터가 구비된 복수 개의 반응탱크를 포함하는 반응부;
상기 복수 개의 반응탱크 중 어느 하나로부터 가열된 혼합용액이 투입되는 증착조와, 상기 증착조에 박막태양전지 기판을 침지하는 투입수단, 및 상기 혼합용액이 배출되는 배출조를 포함하는 증착부; 및
상기 반응탱크 중 어느 하나에서 혼합용액이 투입되어 상기 박막태양전지 기판과 반응이 완료되면 상기 증착조에 유입된 혼합용액을 배출하고, 나머지 반응탱크 중 어느 하나에서 혼합용액을 상기 증착조에 투입하고 또 다른 박막태양전지 기판을 상기 증착조로 투입하도록 제어하는 제어부;를 포함하는 박막태양전지용 버퍼층 증착 장치. - 제1항에 있어서, 상기 반응부의 전단에는 교반부가 더 형성되고,
상기 교반부는 상기 혼합용액의 구성물질 저장조와, 증류수 저장조, 및 상기 구성물질 저장조와 증류수 저장조에 각각 연결되어 구성물질과 증류수를 혼합하는 복수 개의 믹싱탱크를 포함하고,
상기 믹싱탱크에는 상기 증류수와 혼합된 구성물질을 상기 복수 개의 반응탱크로 선택적으로 이송하는 복수 개의 노즐이 형성된 박막태양전지용 버퍼층 증착 장치. - 제2항에 있어서, 상기 구성물질은 암모니아(NH3), 싸이오요소(N2H4CS), 황산카드뮴(CdSO4)인 박막태양전지용 버퍼층 증착 장치.
- 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 복수 개의 믹싱탱크에 투입되는 구성물질은 서로 상이한 박막태양전지용 버퍼층 증착 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 복수 개의 반응탱크는 제1반응탱크와 제2반응탱크로 구성되고, 상기 제1반응탱크와 제2반응탱크는 상기 증착조로 혼합용액이 투입된 이후에 상기 복수 개의 믹싱탱크로부터 구성물질을 공급받아 혼합용액을 제조하는 박막태양전지용 버퍼층 증착 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 반응탱크와 증착조에는 순환 배관이 각각 형성되어 있는 박막태양전지용 버퍼층 증착 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 증착조는 히터가 장착된 박막태양전지용 버퍼층 증착 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 증착조는 적어도 하나 이상으로 구성되는 박막태양전지용 버퍼층 증착 장치.
- 제1반응탱크에서 가열된 황(S) 이온과 카드뮴(cd) 이온이 혼합된 혼합용액이 증착조에 투입되고, 상기 증착조에 박막태양전지 기판이 침지되어 버퍼층이 증착되는 제1단계; 및
상기 제1반응탱크에서 투입된 상기 혼합용액이 배출되고 제2반응탱크로부터 황(S) 이온과 카드뮴(cd) 이온이 혼합된 혼합용액이 증착조에 유입된 뒤, 또 다른 박막태양전지 기판이 상기 증착조에 침지되어 버퍼층이 증착되는 제2단계;를 포함하고,
상기 제1단계와 제2단계는 반복적으로 수행되는 박막태양전지용 버퍼층 형성방법. - 제9항에 있어서, 상기 제1반응탱크와 제2반응탱크는 상기 증착조에 혼합용액이 투입된 후에 복수 개의 믹싱탱크로부터 상기 혼합용액의 구성물질을 공급받아 혼합용액을 제조하는 박막태양전지용 버퍼층 형성방법.
- 제10항에 있어서, 상기 구성물질은 암모니아(NH3), 싸이오요소(N2H4CS), 황산카드뮴(CdSo4)이고, 상기 구성물질은 각각 믹싱탱크에서 증류수와 교반되어 용액 상태로 상기 반응탱크에 투입되는 박막태양전지용 버퍼층 형성방법.
- 제9항에 있어서, 상기 박막태양전지 기판은 광흡수층이 형성되고. 에칭공정과 린스공정이 수행된 박막태양전지용 버퍼층 형성방법.
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| KR1020100085136A KR101142417B1 (ko) | 2010-08-31 | 2010-08-31 | 박막태양전지용 버퍼층 증착 장치 및 이를 이용한 버퍼층 증착 방법 |
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| KR20120021087A KR20120021087A (ko) | 2012-03-08 |
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| KR1020100085136A KR101142417B1 (ko) | 2010-08-31 | 2010-08-31 | 박막태양전지용 버퍼층 증착 장치 및 이를 이용한 버퍼층 증착 방법 |
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|---|---|---|---|---|
| KR101297422B1 (ko) * | 2012-03-30 | 2013-08-19 | 주식회사 엔씨디 | 태양전지 버퍼층 증착장치 |
| KR101964696B1 (ko) * | 2018-12-13 | 2019-04-02 | 김경림 | 원재료의 위치 이동이 가능한 전처리 장치를 구비한 젤라틴 제조 시스템 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009259938A (ja) | 2008-04-15 | 2009-11-05 | Honda Motor Co Ltd | カルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法およびその装置 |
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- 2010-08-31 KR KR1020100085136A patent/KR101142417B1/ko not_active IP Right Cessation
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