KR101132324B1 - 광픽업장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정시스템의 자동촛점 스폿조정방법 - Google Patents

광픽업장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정시스템의 자동촛점 스폿조정방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 광픽업장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정시스템의 자동촛점 스폿조정방법에 관한 것으로서, 종래에는 스폿조정기에서 틸트 조정시 촛점이 어긋나기 때문에 매번 촛점을 다시 조정하면서 틸트 조정을 해야 하는 분편함이 있었다. 이에 본 발명은 스폿 조정시스템의 스폿 조정 콘트롤러에 틸트 조정시 자동으로 촛점이 맞도록 액츄에이터의 높이를 조정할 수 있도록 하는 자동촛점 조정부를 더 포함시켜 구성하되, 자동촛점 조정방법은, 스폿빔 영상을 분석하는 광검출과정과; 촛점이 맞는지는 판단하는 촛점 판단과정과; 촛점이 맞지 않으면 자동으로 액츄에이터의 높이 조정을 위한 업/다운 제어신호를 스폿조정기에 출력하여 촛점을 자동 조정하는 촛점 조정과정; 을 수행하며, 촛점 판단 방법으로는, 스폿빔 영상을 가우시안 피팅 연산처리하여 스폿 빔의 프로파일을 생성하고, 스폿빔의 프로파일 정보에 의해 제로링 영역, 최고점 밝기 레벨, 제로링 영역의 그레이레벨 중 어느 하나를 각각의 기준값과 비교하는방법으로 촛점판단을 한다.

Description

광픽업장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정시스템의 자동촛점 스폿조정방법{Auto focusing control method for spot beam control system of optical pickup actuator}
본 발명은 광픽업장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정시스템의 자동촛점 스폿조정방법에 관한 것으로서, 스폿조정기를 이용하여 픽업장치의 액츄에이터를 정렬시킬때에 틸트조정시 자동으로 액츄에이터 높이를 조정하여 자동 촛점 조정이 이루어지도록 한 광픽업장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정시스템의 자동촛점 스폿조정 방법에 관한 것이다.
광픽업은 광기록 및/또는 재생기기에 채용되어 광기록매체인 광디스크의 반경 방향으로 이동하면서 비접촉식으로 광디스크에 대해 정보의 기록 및/또는 재생을 수행하는 장치이다.
이러한 광픽업은 광원에서 출사된 광이 광디스크 상의 올바른 위치에 광스폿으로 형성되도록, 대물렌즈를 트랙킹 방향, 포커스 방향 및/또는 틸트 방향으로 구동하는 액츄에이터를 필요로 한다. 여기서, 트랙킹 방향 구동은 광스폿이 트랙 중심에 형성될 수 있도록, 대물렌즈를 광디스크의 래디얼 방향으로 조정하는 것을 말한다.
광픽업 액츄에이터는 4면 사용 자기 회로를 설계하는 구조가 일반적이고, 4면 사용 자기 회로란 보빈의 네 측면에 구동 코일 및 자석을 배치한 구조를 말한다. 이러한 액츄에이터는 베이스의 상면에 액츄에이터를 삽입 설치하는데, 이때 액츄에이터를 정렬시켜 베이스의 안착부에 정확하게 정렬시킨 후, 용접하여 고정설치하게 된다.
도 1은 일반적인 광픽업 장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정시스템의 개요도로서, 이에 도시된 바와 같이,
안착홈이 구비된 픽업 베이스(1)에 액츄에이터(2)를 배치하고 액츄에이터(2)의 하면에는 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정기(10)가 설치된다. 상기 스폿조정기(10)는 통상 상기 픽업 베이스(1)를 상면에 로딩시키고, 픽업 베이스(1)의 안착홈을 통해서 액츄에이터(2)를 마그네트에 의해 높이 및 틸트 조정을 함과 아울러 픽업 구동에 따른 촛점 조정을 함께할 수 있도록 구성되며, 상기 액츄에이터(2)의 상부에는 대구경 광학 렌즈를 구비한 광학계(20)가 설치되어 액츄에이터(2)에서 발생되는 광을 입사받아 스폿빔 영상으로 검출하고, 스폿조정 콘트롤러(40)에서 분석 프로그램에 의해 광정렬 및 분포상태 분석하고 이를 모니터(30)에서 화상으로 표시하도록 이루어진다.
상기 광학계(20)는 영상카메라를 이용하여 대구경 렌즈에 입사된 액츄에이터의 광을 검출하고, 검출된 광의 정렬 및 분포상태를 스폿조정 콘트롤러(40)에서 분석하여 모니터(30)에 자동으로 분석정보를 표시하게 되며, 작업자가 모니터(30)에 표시되는 분석 정보를 보면서 틸트 및 높이 제어에 대한 조작을 하게 되면 스폿 조정기(10)에서 액츄에이터의 정렬을 조정하게 된다.
이와 같은 일반적인 스폿 조정 시스템을 이용한 광픽업 장치의 액츄에이터 정렬은, 스폿 조정기(10)를 이용하여 픽업장치의 광학계를 구동시켜 광을 발생시키면서 액츄에이터를 정렬시키게 된다. 액츄에이터 정렬은 높이, X,Y,Z 방향의 틸트 조정을 하게 되고, 광학계(20)를 이용하여 광축 틸트 측정, 광 분포 측정(광 중심 측정), 촛점 측정을 하여 액츄에이터 정렬을 조정하는 것이다.
이러한 액츄에이터의 틸트 조정 및 높이 조정은 수동조정으로서 작업자가 광 영상 검출에 의한 모니터 화면을 보고 분석된 정보에 따라 최적 상태가 되도록 수동 조작한다. 광학계(20)에서 검출되는 광 영상이 최적의 상태가 되도록 조정하고, 최적의 상태로 정렬되면 액츄에이터를 픽업 베이스에 용접시켜 픽업장치의 제조를 완료한다.
그런데, 종래의 픽업 장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정 시스템에서는 액츄에이터의 틸트 조정을 하게 되면 그때마다 촛점이 가변되기 때문에 틸트 조정을 할때마다 촛점도 수동으로 맞추어야만 한다.
따라서 액츄에이터의 틸트 조정시 촛점을 매번 조정해야 하기 때문에 작업속도가 매우 떨어지고 생산성이 저하되는 단점이 있었다.
따라서 본 발명은 광픽업장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정 방법에 있어서, 액츄에이터의 틸트 조정시 자동으로 촛점이 조정되게 함으로써, 작업자는 촛점에 신경쓰지 않고 틸트 조정만을 수행하여 액츄에이터를 정렬시킬 수 있도록 한 광픽업장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정시스템의 자동촛점 스폿조정 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명에 의한 광픽업장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정시스템의 자동촛점 스폿조정방법은,
액츄에이터의 정렬을 위한 틸트 조정시 액츄에이터에서 출력된 스폿빔 영상을 광학계를 통해 수신받아 스폿빔 영상을 분석하는 광검출과정과;
상기 광검출과정에서 분석된 스폿빔의 상태를 분석하여 미리 설정된 촛점 범위에 속하는 지를 판단하여 촛점이 맞는지는 판단하는 촛점 판단과정과;
상기 촛점 판단과정에서 촛점이 맞지 않으면 자동으로 액츄에이터의 높이 조정을 위한 업/다운 제어신호를 스폿조정기에 출력하여 촛점을 자동 조정하면서 상기 촛점 판단 과정에서 촛점이 맞을때까지 상기 광검출과정, 촛점판단과정을 연속 수행하는 촛점 조정과정; 을 포함함에 특징이 있다.
상기 촛점 판단과정은,
액츄에이터를 구동시키는 파워레벨에 따라 스폿빔 영상의 중심영역인 제로링 사이즈에 대해 촛점 범위를 설정하고, 상기 광검출과정에서 검출된 스폿빔 영상의 제로링 사이즈를 검출하여 설정된 촛점 범위의 제로링 사이즈와 비교하여 촛점이 맞는지의 여부를 판단하는 것을 특징으로 한다.
상기 촛점 판단과정은,
액츄에이터를 구동시키는 파워레벨에 따라 스폿빔 영상의 중심영역인 제로링 영역의 그레이 레벨에 대해 촛점 범위를 설정하고, 상기 광검출과정에서 검출된 스폿빔 영상의 제로링 영역의 그레이 레벨을 검출하여 설정된 촛점 범위의 제로링 영역 그레이레벨과 비교하여 촛점이 맞는지의 여부를 판단하는 것을 특징으로 한다.
상기 촛점 판단과정은,
액츄에이터를 구동시키는 파워레벨에 따라 스폿빔 영상의 중심영역인 제로링 사이즈에 대해 촛점 범위를 설정하고, 상기 광검출과정에서 검출된 스폿빔 영상의 제로링 사이즈를 검출하여 설정된 촛점 범위의 제로링 사이즈와 비교하여 촛점이 맞는지의 여부를 판단하는 것을 특징으로 한다.
상기 촛점 판단과정은,
액츄에이터를 구동시키는 파워레벨에 따라 스폿빔 영상의 영역중 가장 밝은 점의 밝기 값에 대해 촛점 범위를 설정하고, 상기 광검출과정에서 검출된 스폿빔 영상의 영역중 가장 밝은 점의 밝기 값을 검출하여 설정된 촛점 범위의 밝기 값과 비교하여 촛점이 맞는지의 여부를 판단하는 것을 특징으로 한다.
상기 촛점 판단과정은,
검출된 스폿빔 영상을 가우시안 피팅 연산처리하여 스폿 빔의 프로파일을 생성하고, 스폿빔의 프로파일 정보에 의해 제로링 영역, 최고점 밝기 레벨, 그레이레벨 중 어느 하나에 대한 비교 판단하는 것을 특징으로 한다.
또한 광픽업장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정시스템의 자동촛점 스폿조정장치는, 스폿 조정시스템의 스폿 조정 콘트롤러에 틸트 조정시 자동으로 촛점이 맞도록 액츄에이터의 높이를 조정할 수 있도록 하는 자동촛점 조정부를 더 포함시켜 구성하되,
상기 자동촛점 조정부는,
광학계로부터 스폿빔 영상을 입력받아 분석처리하고 화면 표시제어를 하는 스폿빔 영상 분석부로부터 스폿빔 영상 분석정보를 입력받아 촛점 정보를 추출하고, 추출된 촛점 정보가 설정된 촛점 기준값 범위에 속하는지는 판단하는 촛점 판단부와;
액츄에이터의 스폿빔 파워레벨을 설정하는 파워레벨 설정부로부터 설정된 파워레벨 정보를 입력받아 파워 레벨에 따른 촛점 기준값 범위를 설정하는 촛점 기준값 설정부와;
상기 촛점 판단부의 추출된 촛점 정보와 상기 촛점 기준값 설정부의 촛점 기준값 비교에 따른 차이에 의거하여 상기 스폿 조정기(10)의 높이 조정부로 액츄에이터의 높이를 업/다운 시킬 수 있도록 제어신호를 출력하는 촛점 조정부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 스폿조정기를 이용하여 광픽업 장치의 액츄에이터를 정렬하는 과정에서 액츄에이터의 틸트를 조정할 때 스폿빔 영상을 분석하여 자동으로 높이를 조정해줌으로써 자동 촛점 조정이 이루어지는 효과가 있다. 이에 따라 작업자는 액츄에이터의 광정렬 상태만을 보면서 틸트 조정만 하면 자동 촛점이 이루어지므로 매우 편리하고 정확하게 액츄에이터 정렬이 이루어질 수 있고, 촛점에 신경쓰지 않아도 되기 때문에 제품의 신뢰도를 높일 수 있으며, 작업성이 향상되어 생산성이 좋아지는 효과가 있다.
도 1은 일반적인 광픽업 장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정시스템의 개요도.
도 2는 본 발명을 설명하기 위한 스폿 조정 시스템의 구성도.
도 3은 본 발명에 의한 픽업장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정시스템의 자동촛점 제어방법 흐름도.
도 4는 본 발명을 설명하기 위한 스폿 조정시스템의 영상 분석 화면 예시도.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면을 참조해서 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명을 설명하기 위한 스폿 조정 시스템의 구성도이다. 이에 도시된 바와 같이,
스폿조정기(10)의 마그네트에 의해 조정가능하기 픽업 장치 베이스(1)의 안착홈에 액츄에이터(2)가 배치되, 스폿 조정기(10)에 높이조정부(11), X,Y,Z 틸트 조정부(12) 및 액츄에이터 제어부(13)가 포함되어 액츄에이터 정렬 조정이 가능하도록 구성된다. 그리고, 상기 액츄이이터의 상부에는 영상 카메라를 포함하는 광학계(20)가 설치되어 액츄에이터(2)에서 발생되는 스폿빔 영상을 촬영하며, 상기 광학계(20)에서 촬영된 스폿빔 영상을 스폿 조정 콘트롤러(40)에서 입력받아 스폿빔 분석에 의해 분석 정보를 모니터(30)에 출력하고, 모니터(30)의 분석 영상 및 분석 결과 정보에 의거하여 스폿 조정기(10)를 조정하여 액츄에이터(2)를 픽업 베이스의 안착홈에 정렬시킨 후, 용접등을 통해 고정시켜 액츄에이터의 정렬작업을 완료한다.
상기와 같은 스폿 조정시스템에 있어서, 상기 스폿 조정 콘트롤러(40)에 본 발명에 의한 자동촛점 조정부(100)를 더 포함시켜 구성한다. 자동촛점 조정부(100)는 프로그램 모듈로 설치될 수 있으며, 광학계(20)로부터 스폿빔 영상을 입력받아 분석처리하고 화면 표시제어를 하는 스폿빔 영상 분석부(41)로부터 스폿빔 영상 분석정보를 입력받아 촛점 정보를 추출하고, 추출된 촛점 정보가 설정된 촛점 기준값 범위에 속하는지는 판단하는 촛점 판단부(110)와; 액츄에이터의 스폿빔 파워레벨을 설정하는 파워레벨 설정부(42)로부터 설정된 파워레벨 정보를 입력받아 파워 레벨에 따른 촛점 기준값 범위를 설정하는 촛점 기준값 설정부(120)와; 상기 촛점 판단부(110)의 추출된 촛점 정보와 상기 촛점 기준값 설정부(120)의 촛점 기준값 비교에 따른 차이에 의거하여 상기 스폿 조정기(10)의 높이 조정부(11)로 액츄에이터(2)의 높이를 업/다운 시킬 수 있도록 제어신호를 출력하는 촛점 조정부(130)를 포함하여 구성된다.
상기 촛점 조정부(130)의 업/다운제어신호에 의해 스폿 조정기(10)의 높이 조정부(11)는 액츄에이터(2)의 높이를 조정하기 위한 전압신호를 발생시켜 액츄에이터의 높이를 조정함으로써 촛점을 조정하게 된다.
도 3은 본 발명에 의한 픽업장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정시스템의 자동촛점 제어방법 흐름도이다.
광픽업장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정시스템의 스폿조정방법에 있어서, 액츄에이터(2)의 정렬을 위한 틸트 조정시 액츄에이터(2)에서 출력된 스폿빔 영상을 광학계(20)를 통해 수신받아 스폿빔 영상을 분석하는 광검출과정(S10)과;
상기 광검출과정(S10)에서 분석된 스폿빔의 상태를 분석하여 미리 설정된 촛점 기준값 범위에 속하는지를 판단하여 촛점이 맞는지는 판단하는 촛점 판단과정(S20)과;
상기 촛점 판단과정(S20)에서 촛점이 맞지 않으면 자동으로 액츄에이터(2)의 높이 조정을 위한 업/다운 제어신호를 스폿조정기(10)에 출력하여 촛점을 자동 조정하면서 촛점이 맞을때까지 상기 광검출과정(S10), 촛점판단과정(S20)을 연속 수행하는 촛점 조정과정(S30); 을 포함하여 이루어진다.
도 4는 본 발명을 설명하기 위한 스폿 조정시스템의 영상 분석 화면 예시도이다.
이에 도시된 바와 같이 스폿 조정 시스템에서는 모니터에 스폿빔 분석에 따른 정보를 도 4와 같이 메인 화면으로 표시하는데, 고밀도 카메라(High Camera)에 의한 이진화 영상 화면(101), 스폿빔의 T축 분석에 의한 T축 프로파일(102), 스폿빔의 코마(coma) 화면(103), 스폿빔의 R축 프로파일(104), 스폿빔 화면(105), 로우 카마라 이진화 영상 화면(106), 분석 정보 표시화면(107)으로 메인 화면을 표시한다.
상기와 같은 스폿빔 분석 정보 화면중에서, 스폿빔의 프로파일 화면(102)(104)의 스폿빔 프로파일 정보를 이용하여 자동 촛점 조정을 할 수 있다.
본 발명에서는 촛점 판단과정(S20)에서 촛점 판단 방법으로서, 첫번째 제로링 사이즈를 이용하는 방법, 두번째 제로링 영역의 그레이레벨을 이용하는 방법, 세번째 스폿빔 프로파일의 밝기 정보에 의해 최고점의 밝기 정보를 이용하는 방법을 제시한다. 다만 꼭 이에 한정되는 것은 아니고, 촛점이 맞는지를 판단하고 촛점 기준값에 수렴될 수 있도록 액츄에이터의 높이를 자동조정할 수 있으면 된다.
상기 촛점 판단과정(S20)은, 액츄에이터(2)를 구동시키는 파워레벨에 따라 스폿빔 영상의 중심영역인 제로링 사이즈에 대해 촛점 기준값과 기준값을 포함하는 상하한 범위를 설정하고, 상기 광검출과정(S10)에서 검출된 스폿빔 영상의 제로링 사이즈를 검출하여 설정된 촛점 기준값 범위의 제로링 사이즈와 비교하여 촛점이 맞는지의 여부를 판단한다. 제로링 사이즈란, 스폿빔이 흩어지지않고 모여진 중심부의 빔영역을 의미하며 이는 통상의 스폿 조정에서 제로링 사이즈를 이용한다.
따라서 본 발명은 스폿빔 영상 분석부(41)에서 스폿빔 영상을 분석할때 제로링 사이즈를 검출하고, 제로링 사이즈에 대해서 촛점 기준값 설정부(120)에 설정된 촛점 기준값 및 그 상하한 범위에 속하는 지를 판단한다. 설정된 기준값 범위에 속하면 촛점이 맞는 것으로 자동판단한다. 촛점이 맞지 않으면 촛점 조정부(130)는 액츄에이터의 높이를 업/다운 시키기 위한 제어신호를 발생시키고, 스폿조정기(10)의 높이 조정부(11)가 상기 촛점 조정부(130)의 업/다운 제어신호에 의해 액츄에이터의 높이를 업/다운 시킴으로써 촛점이 조정된다. 이때 촛점 조정을 위한 업/다운제어 방법은, 선형적인 높이 조정이 되게 제어신호를 생성하거나, 일정한 간격을 가지는 스템으로 높이 조정이 되게 제어신호를 생성할 수 있다.
또한 상기 촛점 판단과정(S20)은,
액츄에이터를 구동시키는 파워레벨에 따라 스폿빔 영상의 중심영역인 제로링 영역의 그레이 레벨에 대해 촛점 기준값 범위를 설정하고, 상기 광검출과정에서 검출된 스폿빔 영상의 제로링 영역의 그레이 레벨을 검출하여 설정된 촛점 기준값 범위의 제로링 영역 그레이레벨과 비교하여 촛점이 맞는지의 여부를 판단할 수 있다.
또한 상기 촛점 판단과정(S20)은,
액츄에이터를 구동시키는 파워레벨에 따라 스폿빔 영상의 영역중 가장 밝은 점의 밝기 값에 대해 촛점 범위를 설정하고, 상기 광검출과정에서 검출된 스폿빔 영상의 영역중 가장 밝은 점의 밝기 값을 검출하여 설정된 촛점 범위의 밝기 값과 비교하여 촛점이 맞는지의 여부를 판단할 수 있다. 즉 스폿빔 프로파일 에서 최고점의 밝기를 비교하는 방법이다.
또한, 상기 촛점 판단과정(S20)은,
검출된 스폿빔 영상을 가우시안 피팅 연산처리하여 스폿 빔의 프로파일을 생성하고, 스폿빔의 프로파일 정보에 의해 제로링 영역(프로파일 그래프의 면적), 최고점 밝기 레벨(프로파일 그래프의 최고점 높이), 그레이레벨(프로파일 그래프의 면적의 그레이레벨) 중 어느 하나에 대한 비교 판단한다.
본 발명은 스폿 조정 콘트롤러(40)의 스폿빔 분석부(41)에서 분석한 스폿빔 프로파일 정보를 이용하여 촛점 판단을 하고, 촛점 판단에 의거하여 액츄에이터의 높이를 자동조정하여 자동 촛점 조정이 이루어지게 한다. 따라서 작업자가 틸트 조정시 촛점이 틀어짐에 따른 문제점을 해결하고, 자동 촛점 조정이 이루어지기 때문에 작업자는 별도로 촛점 조정에 신경쓰지 않고서 틀트 조정만 수행하여 액츄에이터를 정렬시킬 수 있게 되는 것이다.
1 : 픽업 베이스 2 : 액츄에이터
10 : 스폿 조정기 20 : 광학계
30 : 모니터 40 : 스폿조정 콘트롤러
41 : 스폿빔 분석부 42 : 파워레벨 설정부
43 : 스폿 조정 제어부 100 : 자동 촛점 조정부
110 : 촛점 판단부 120 : 촛점 기준값 설정부
130 : 촛점 조정부

Claims (6)

  1. 광픽업장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정시스템의 스폿조정방법에 있어서,
    액츄에이터의 정렬을 위한 틸트 조정시 액츄에이터에서 출력된 스폿빔 영상을 광학계를 통해 수신받아 스폿빔 영상을 분석하는 광검출과정(S10)과;
    상기 광검출과정(S10)에서 분석된 스폿빔의 상태를 분석하여 미리 설정된 촛점 기준값 범위에 속하는지를 판단하여 촛점이 맞는지는 판단하는 촛점 판단과정(S20)과;
    상기 촛점 판단과정(S20)에서 촛점이 맞지 않으면 자동으로 액츄에이터(2)의 높이 조정을 위한 업/다운 제어신호를 스폿조정기(10)에 출력하여 촛점을 자동 조정하면서 촛점이 맞을때까지 상기 광검출과정(S10), 촛점판단과정(S20)을 연속 수행하는 촛점 조정과정(S30); 을 포함하여 이루어지되,
    상기 촛점 판단과정(S20)은,
    액츄에이터를 구동시키는 파워레벨에 따라 스폿빔 영상의 중심영역인 제로링 사이즈에 대해 촛점 기준값과 기준값을 포함하는 상하한 범위를 설정하고, 상기 광검출과정(S10)에서 분석된 스폿빔 영상의 제로링 사이즈를 검출하여 설정된 촛점 기준값 범위의 제로링 사이즈와 비교하여 촛점이 맞는지의 여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 광픽업장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정시스템의 자동촛점 스폿조정방법.
  2. 삭제
  3. 광픽업장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정시스템의 스폿조정방법에 있어서,
    액츄에이터의 정렬을 위한 틸트 조정시 액츄에이터에서 출력된 스폿빔 영상을 광학계를 통해 수신받아 스폿빔 영상을 분석하는 광검출과정(S10)과;
    상기 광검출과정(S10)에서 분석된 스폿빔의 상태를 분석하여 미리 설정된 촛점 기준값 범위에 속하는지를 판단하여 촛점이 맞는지는 판단하는 촛점 판단과정(S20)과;
    상기 촛점 판단과정(S20)에서 촛점이 맞지 않으면 자동으로 액츄에이터(2)의 높이 조정을 위한 업/다운 제어신호를 스폿조정기(10)에 출력하여 촛점을 자동 조정하면서 촛점이 맞을때까지 상기 광검출과정(S10), 촛점판단과정(S20)을 연속 수행하는 촛점 조정과정(S30); 을 포함하여 이루어지되,
    상기 촛점 판단과정(S20)은,
    액츄에이터를 구동시키는 파워레벨에 따라 스폿빔 영상의 중심영역인 제로링 영역의 그레이 레벨에 대해 촛점 기준값 범위를 설정하고, 상기 광검출과정에서 검출된 스폿빔 영상의 제로링 영역의 그레이 레벨을 검출하여 설정된 촛점 기준값 범위의 제로링 영역 그레이레벨과 비교하여 촛점이 맞는지의 여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 광픽업장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정시스템의 자동촛점 스폿조정방법.
  4. 광픽업장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정시스템의 스폿조정방법에 있어서,
    액츄에이터의 정렬을 위한 틸트 조정시 액츄에이터에서 출력된 스폿빔 영상을 광학계를 통해 수신받아 스폿빔 영상을 분석하는 광검출과정(S10)과;
    상기 광검출과정(S10)에서 분석된 스폿빔의 상태를 분석하여 미리 설정된 촛점 기준값 범위에 속하는지를 판단하여 촛점이 맞는지는 판단하는 촛점 판단과정(S20)과;
    상기 촛점 판단과정(S20)에서 촛점이 맞지 않으면 자동으로 액츄에이터(2)의 높이 조정을 위한 업/다운 제어신호를 스폿조정기(10)에 출력하여 촛점을 자동 조정하면서 촛점이 맞을때까지 상기 광검출과정(S10), 촛점판단과정(S20)을 연속 수행하는 촛점 조정과정(S30); 을 포함하여 이루어지되,
    상기 촛점 판단과정(S20)은,
    액츄에이터를 구동시키는 파워레벨에 따라 스폿빔 영상의 영역중 가장 밝은 점의 밝기 값에 대해 촛점 범위를 설정하고, 상기 광검출과정에서 검출된 스폿빔 영상의 영역중 가장 밝은 점의 밝기 값을 검출하여 설정된 촛점 범위의 밝기 값과 비교하여 촛점이 맞는지의 여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 광픽업장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정시스템의 자동촛점 스폿조정방법.
  5. 광픽업장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정시스템의 스폿조정방법에 있어서,
    액츄에이터의 정렬을 위한 틸트 조정시 액츄에이터에서 출력된 스폿빔 영상을 광학계를 통해 수신받아 스폿빔 영상을 분석하는 광검출과정(S10)과;
    상기 광검출과정(S10)에서 분석된 스폿빔의 상태를 분석하여 미리 설정된 촛점 기준값 범위에 속하는지를 판단하여 촛점이 맞는지는 판단하는 촛점 판단과정(S20)과;
    상기 촛점 판단과정(S20)에서 촛점이 맞지 않으면 자동으로 액츄에이터(2)의 높이 조정을 위한 업/다운 제어신호를 스폿조정기(10)에 출력하여 촛점을 자동 조정하면서 촛점이 맞을때까지 상기 광검출과정(S10), 촛점판단과정(S20)을 연속 수행하는 촛점 조정과정(S30); 을 포함하여 이루어지되,
    상기 촛점 판단과정(S20)은,
    검출된 스폿빔 영상을 가우시안 피팅 연산처리하여 스폿 빔의 프로파일을 생성하고, 스폿빔의 프로파일 정보에 의해 제로링 영역, 최고점 밝기 레벨, 제로링 영역의 그레이레벨 중 어느 하나와 해당 촛점 기준값과의 비교 판단으로 촛점을 판단하는 것을 특징으로 하는 광픽업장치의 액츄에이터 정렬을 위한 스폿 조정시스템의 자동촛점 스폿조정방법.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020028003A (ko) * 2000-10-06 2002-04-15 구자홍 광픽업에서의 광축 틀어짐 보상방법
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Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020028003A (ko) * 2000-10-06 2002-04-15 구자홍 광픽업에서의 광축 틀어짐 보상방법
KR20050015403A (ko) * 2003-08-05 2005-02-21 엘지전자 주식회사 광픽업 시스템의 초점 조정방법
KR20050058671A (ko) * 2003-12-12 2005-06-17 엘지전자 주식회사 광 디스크의 틸트 검출장치
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