KR101130208B1 - Treating fluid dispensing method - Google Patents
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Abstract
본 발명은 처리액 토출 방법을 개시한 것으로서, 처리액 토출 공정의 진행 시, 픽셀의 길이 방향을 처리액 토출 공정의 진행 방향에 정렬시키는 것을 특징으로 한다.The present invention discloses a method for discharging a processing liquid, wherein the longitudinal direction of the pixel is aligned with the advancing direction of the processing liquid discharging step when the processing liquid discharging step proceeds.
이러한 특징에 의하면, 노즐의 온/오프 회수 등 처리액 토출 공정 조건이 변화되는 것을 최소화할 수 있으며, 이를 통해 처리액 토출 공정의 품질 저하를 방지할 수 있다.According to this feature, it is possible to minimize the change in the processing liquid discharge process conditions, such as the on / off recovery of the nozzle, it is possible to prevent the degradation of the processing liquid discharge process through this.
잉크젯, 헤드, 처리액 토출, 픽셀 방향 Inkjet, head, processing liquid discharge, pixel direction
Description
본 발명은 처리액 토출 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 잉크젯 방식으로 처리액의 액적을 토출하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a process liquid ejecting method, and more particularly, to a method of ejecting droplets of a process liquid by an inkjet method.
최근에, 휴대 전화기, 휴대형 컴퓨터 등의 전자 기기의 표시부에 액정 장치, 전계 발광 장치 등으로 불리는 전기 광학 장치인 표시 장치가 널리 이용되고 있으며, 표시 장치에 의해서 풀 컬러를 표시하는 일이 많아지고 있다.In recent years, display devices which are electro-optical devices called liquid crystal devices, electroluminescent devices, and the like have been widely used in the display portions of electronic devices such as mobile phones and portable computers, and display of full colors has been increasing by display devices. .
액정 장치에 의한 풀 컬러 표시는, 예를 들어, 액정 층에 의해서 변조되는 광을 컬러 필터에 통과시킴으로써 표시된다. 그리고 컬러 필터는, 예를 들어, 유리 등에 의해 형성된 기판의 표면에 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 도트상의 각색의 필터 요소를 소위 스트라이프 배열, 델타 배열 또는 모자이크 배열 등이라 불리는 소정의 배열로 나란히 함에 의해서 형성된다.Full color display by a liquid crystal device is displayed by, for example, passing light modulated by the liquid crystal layer through a color filter. The color filter is, for example, a filter element of red (R), green (G), and blue (B) dots on the surface of a substrate formed of glass or the like as a so-called stripe arrangement, delta arrangement, or mosaic arrangement. Formed by side by side in a predetermined arrangement.
종래, 컬러 필터의 R, G, B 등의 각색의 필터 요소를 패터닝하는 경우, 포토리소그래피법을 사용함이 알려져 있다. 그러나, 포토리소그래피법을 사용하는 경우에는 공정이 복잡하거나, 각색의 재료 혹은 포토레지스트 등을 다량으로 소비하므로, 코스트가 높게 되는 등의 문제가 있다.It is known that the photolithographic method is conventionally used when patterning various filter elements, such as R, G, and B of a color filter. However, in the case of using the photolithography method, the process is complicated, or a large amount of various materials, photoresist, and the like are consumed, so that there is a problem such as high cost.
이러한 문제점을 해결하기 위해, 액적을 토출하는 잉크젯 방식에 의해서 필터 요소의 재료(잉크)를 도트상으로 토출함으로써, 도트상 배열의 필터 요소를 형성하는 방법이 제안되어 있다.In order to solve such a problem, the method of forming the filter element of a dot arrangement by the discharge of the material (ink) of a filter element in a dot form by the inkjet system which discharges a droplet is proposed.
본 발명은 처리액 토출 공정의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 처리액 토출 방법을 제공하기 위한 것이다.The present invention is to provide a processing liquid discharge method that can improve the reliability of the processing liquid discharge step.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited thereto, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
상기한 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 실시 예에 따른 처리액 토출 방법은, 잉크젯 방식으로 기판에 처리액을 토출하는 방법에 있어서, 기판에 형성된 픽셀의 길이 방향을 확인하는 것; 처리액 토출 공정의 진행 방향과 상기 픽셀의 길이 방향의 일치 여부에 따라 상기 기판의 회전 여부를 판단하는 것; 및 상기 회전 여부의 판단에 따라 위치가 정렬된 상기 기판에 상기 처리액을 토출하는 것을 포함한다.In order to achieve the above object, the processing liquid discharge method according to an embodiment of the present invention, the method for discharging the processing liquid to the substrate by the inkjet method, comprising: checking the longitudinal direction of the pixel formed on the substrate; Determining whether the substrate is rotated according to whether the advancing direction of the processing liquid discharge process coincides with the longitudinal direction of the pixel; And discharging the processing liquid to the substrate whose positions are aligned according to the determination of the rotation.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 처리액 토출 공정의 진행 방향과 상기 픽셀의 길이 방향이 상이한 경우, 상기 픽셀의 길이 방향이 상기 처리액 토출 공정의 진행 방향에 정렬되도록 상기 기판을 회전시키는 것을 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present disclosure, when the advancing direction of the processing liquid discharge process and the longitudinal direction of the pixel are different, rotating the substrate so that the longitudinal direction of the pixel is aligned with the advancing direction of the processing liquid discharge process. It may include.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 픽셀의 피치를 확인하는 것; 및 헤드에 제공된 노즐들의 처리액 토출 피치가 상기 픽셀의 피치와 일치하도록 상기 헤드를 회전시키는 것을 더 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, checking the pitch of the pixel; And rotating the head so that the treatment liquid discharge pitch of the nozzles provided in the head matches the pitch of the pixel.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 기판은 엘씨디(LCD)용 컬러 필터(CF) 기 판이며, 상기 처리액은 적색 잉크, 녹색 잉크, 청색 잉크 및 이들의 조합 중 어느 하나일 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the substrate is a color filter (CF) substrate for an LCD (LCD), and the treatment liquid may be any one of red ink, green ink, blue ink, and a combination thereof.
본 발명에 의하면, 픽셀의 길이 방향을 처리액 토출 공정의 진행 방향에 정렬시킴으로써, 처리액 토출 공정 조건의 변화를 최소화할 수 있다.According to the present invention, by changing the longitudinal direction of the pixel in the advancing direction of the processing liquid discharge step, it is possible to minimize the change in the processing liquid discharge step conditions.
그리고 본 발명에 의하면, 처리액 토출 공정의 품질 저하를 방지할 수 있다.And according to this invention, the quality deterioration of a process liquid discharge process can be prevented.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 처리액 토출 방법을 상세히 설명하기로 한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, a processing liquid discharge method according to a preferred embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings will be described in detail. First, in adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same reference numerals are assigned to the same components as much as possible, even if shown on different drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.
( 실시 예 )(Example)
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 처리액 토출 방법이 사용되는 처리액 도포 설비의 구성을 보여주는 도면이다. 도 1의 처리액 도포 설비(1)는 대상물에 잉크젯 방식으로 처리액을 도포한다. 예를 들어, 대상물은 액정 디스플레이 패널의 컬러 필터 기판일 수 있으며, 처리액은 용매에 안료 입자가 혼합된 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 잉크일 수 있다. 잉크는 컬러 필터 기판상에 격자 모양의 패턴으로 배열 된 블랙매트릭스의 내부 영역에 도포될 수 있다.1 is a view showing the configuration of a treatment liquid application facility in which a treatment liquid discharge method according to an embodiment of the present invention is used. The treatment
도 1을 참조하면, 처리액 도포 설비(1)는 처리액 토출부(10), 기판 이송부(20), 베이크부(30), 로딩부(40), 언로딩부(50), 처리액 공급부(60), 그리고 제어부(70)를 포함한다. 처리액 토출부(10)와 기판 이송부(20)는 제 1 방향(Ⅰ)으로 일렬로 배치되고, 서로 간에 인접하게 위치할 수 있다. 처리액 토출부(10)를 중심으로 기판 이송부(20)와 마주하는 위치에 처리액 공급부(60)와 제어부(70)가 배치되며, 처리액 공급부(60)와 제어부(70)는 제 2 방향(Ⅱ)으로 일렬 배치될 수 있다. 기판 이송부(20)를 중심으로 처리액 토출부(10)와 마주하는 위치에 로딩부(40)와 언로딩부(50)가 배치되며, 로딩부(40)와 언로딩부(50)는 제 2 방향(Ⅱ)으로 일렬 배치될 수 있다. 그리고 베이크부(30)는 기판 이송부(20)의 일측에 인접하게 배치될 수 있다.Referring to FIG. 1, the treatment
여기서, 제 1 방향(Ⅰ)은 처리액 토출부(10)와 기판 이송부(20)의 배열 방향이고, 제 2 방향(Ⅱ)은 수평면 상에서 제 1 방향(Ⅰ)에 수직한 방향이고, 제 3 방향(Ⅲ)은 제 1 방향(Ⅰ)과 제 2 방향(Ⅱ)에 수직한 방향이다.Here, the first direction (I) is an arrangement direction of the processing
처리액(잉크)이 도포될 기판은 로딩부(40)로 반입된다. 기판 이송부(40)는 로딩부(40)에 반입된 기판을 처리액 토출부(10)로 이송한다. 처리액 토출부(10)는 처리액 공급부(60)로부터 처리액을 공급받고, 잉크젯 방식으로 기판상에 처리액을 토출한다. 기판 이송부(20)는 처리액 토출부(10)로부터 베이크부(30)로 기판을 이송한다. 베이크부(30)는 기판을 가열하여 기판에 토출된 처리액(잉크)의 고형 성분 을 제외한 나머지 액상 물질(용매)을 증발시킨다. 기판 이송부(20)는 베이크부(30)로부터 언로딩부(50)로 기판을 이송한다. 처리액이 도포된 기판은 언로딩부(50)로부터 반출된다. 그리고, 제어부(70)는 처리액 토출부(10), 기판 이송부(20), 베이크부(30), 로딩부(40), 언로딩부(50), 그리고 처리액 공급부(60)의 전반적인 동작을 제어한다.The substrate to which the treatment liquid (ink) is to be applied is loaded into the
도 2는 도 1의 처리액 토출부의 사시도이고, 도 3은 도 2의 처리액 토출부의 평면도이다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 처리액 토출부(10)는 기판 지지 유닛(100), 헤드 유닛(200), 이동 유닛(300,400), 제 1 헤드 세정 유닛(500), 그리고 제 2 헤드 세정 유닛(600)을 포함한다.FIG. 2 is a perspective view of the processing liquid discharge part of FIG. 1, and FIG. 3 is a plan view of the processing liquid discharge part of FIG. 2. 2 and 3, the processing
기판 지지 유닛(100)은 기판이 놓이는 지지판(110)을 가진다. 지지판(110)은 사각형 형상의 판일 수 있다. 지지판(110)의 하면에는 회전 구동 모터(120)의 회전 축이 연결된다. 회전 구동 모터(120)는 지지판(110)에 놓인 기판이 기설정된 위치에 정렬되도록 지지판(110)을 회전시킨다. The
지지판(110)과 회전 구동 모터(120)는 직선 구동 부재(130)에 의해 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동된다. 직선 구동 부재(130)는 슬라이더(132)와 가이드 부재(134)를 포함한다. 회전 구동 모터(120)는 슬라이더(132)의 상면에 설치된다. 가이드 부재(134)는 베이스(B)의 상면 중앙부에 제 1 방향(Ⅰ)으로 길게 연장된다. 슬라이더(132)에는 리니어 모터(미도시)가 내장되며, 슬라이더(132)는 가이드 부재(134)를 따라 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동한다.The
헤드 유닛(200)은 기판에 처리액을 토출한다. 헤드 유닛(200)은 잉크젯 헤드들(210a, 210b)과 브라켓(220)을 포함한다. 잉크젯 헤드들(210a, 210b) 중 하나의 잉크젯 헤드(210a)는 브라켓(220)의 제 1 방향(Ⅰ)을 향하는 일 측면에 설치되고, 다른 하나의 잉크젯 헤드(210b)는 브라켓(220)의 제 1 방향(Ⅰ)을 향하는 다른 일 측면에 설치될 수 있다.The
각각의 잉크젯 헤드들(210a, 210b)은 적색(R) 헤드(212), 녹색(G) 헤드(214) 및 청색(B) 헤드(216)를 가진다. 적색(R) 헤드(212), 녹색(G) 헤드(214) 및 청색(B) 헤드(216)는 제 2 방향(Ⅱ)으로 일렬로 배열되며, 액적을 토출하는 잉크젯 방식으로 지지판(110)에 놓인 기판(S)에 처리액을 토출한다.Each of the
이동 유닛(300,400)들은 지지판(110)이 이동되는 경로의 상부에서 헤드 유닛(200)을 이동시킬 수 있다. 제 1 이동 유닛(300)은 헤드 유닛(200)을 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동시키고, 제 2 이동 유닛(400)은 헤드 유닛(200)을 제 2 방향(Ⅱ)과 제 3 방향(Ⅲ)으로 직선 이동시킬 수 있다.The
제 2 이동 유닛(400)은 수평 지지대(410)와 슬라이더(420)를 포함한다. 수평 지지대(410)는 길이 방향이 제 2 방향(Ⅱ)을 향하도록 베이스(B)의 상부에 위치한다. 수평 지지대(410)에는 길이 방향을 따라 가이드 레일(412)이 제공된다. 슬라이더(420)에는 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있으며, 슬라이더(420)는 가이드 레일(412)을 따라 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동한다. 헤드 유닛(200)의 브라켓(220)이 슬라이더(420)에 연결되고, 슬라이더(420)의 직선 이동에 의해 브라켓(220)에 설치된 잉크젯 헤드들(210a,210b)이 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동한다. 한편, 슬라 이더(420)에는 헤드 유닛(200)의 브라켓(220)을 제 3 방향(Ⅲ)으로 직선 이동시키는 구동 부재(미도시)가 설치될 수 있다.The second moving
제 1 이동 유닛(300)은 가이드 레일(310)과 슬라이더(320)를 포함한다. 가이드 레일(310)은 길이 방향이 제 1 방향(Ⅰ)을 향하고, 기판 지지 유닛(100)의 가이드 부재(134)를 중심으로 베이스(B) 상면의 양측 가장자리부에 각각 배치된다. 슬라이더(320)는 리니어 모터(미도시)를 내장하고, 가이드 레일(310)을 따라 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동한다. 제 2 이동 유닛(400)의 수평 지지대(410)의 양단이 슬라이더(320)에 각각 연결된다. 슬라이더(320)의 직선 이동에 의해 수평 지지대(410)를 포함하는 제 2 이동 유닛(400)이 제 1 방향(Ⅰ)으로 이동되고, 제 2 이동 유닛(400)의 이동에 의해 제 2 이동 유닛(400)에 연결된 헤드 유닛(200)이 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동된다.The first moving
헤드 유닛(200)은 제 1 이동 유닛(300)과 제 2 이동 유닛(400)에 의해 제 1 방향(Ⅰ), 제 2 방향(Ⅱ), 그리고 제 3 방향(Ⅲ)으로 직선 이동할 수 있고, 기판이 놓이는 지지판(110)은 슬라이더(132) 및 가이드 부재(134)에 의해 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동할 수 있다. 기판상에 처리액 토출시, 헤드 유닛(200)은 기설정된 위치에 고정되고, 기판이 놓이는 지지판(110)이 제 1 방향(Ⅰ)으로 이동될 수 있다. 이와 달리, 기판이 놓이는 지지판(110)이 기설정된 위치에 고정되고, 헤드 유닛(200)이 제 1 방향(Ⅰ)으로 이동될 수 있다.The
제 1 및 제 2 헤드 세정 유닛(500,600)은 잉크젯 헤드들(210a,210b)의 처리액 토출면, 즉 처리액을 토출하는 노즐들이 형성된 면을 주기적으로 세정한다. 통상적으로, 1 매의 기판에 대한 처리액 토출 공정이 진행된 후, 잉크젯 헤드들(210a,210b)의 처리액 토출면의 세정이 진행될 수 있다.The first and second
제 1 헤드 세정 유닛(500)과 제 2 헤드 세정 유닛(600)은 베이스(B) 상면의 기판 지지 유닛(100)의 일측에 제공될 수 있으며, 제 1 방향(Ⅰ)으로 일렬로 배치될 수 있다. 잉크젯 헤드들(210a,210b)은 제 1 이동 유닛(300)과 제 2 이동 유닛(400)에 의해 제 1 및 제 2 헤드 세정 유닛(500,600)의 상부로 이동되고, 세정 공정의 진행 중 제 1 및 제 2 헤드 세정 유닛(500,600)의 상부에서 제 1 방향(Ⅰ)으로 이동될 수 있다.The first
제 1 헤드 세정 유닛(500)은 퍼징(Purging) 공정과 블레이딩(Blading) 공정을 진행하고, 제 2 헤드 세정 유닛(600)은 블로팅(Blotting) 공정을 진행한다. 퍼징(Purging) 공정, 블레이딩(Blading) 공정, 그리고 블로팅(Blotting) 공정은 순차적으로 진행된다. 퍼징(Purging) 공정은 잉크젯 헤드들(210a,210b)의 내부에 수용된 처리액의 일부를 고압으로 분사하는 공정이다. 블레이딩(Blading) 공정은, 퍼징(Purging) 공정 후, 잉크젯 헤드들(210a,210b)의 처리액 토출면에 잔류하는 처리액을 비접촉 방식으로 제거하는 공정이다. 블로팅(Blotting) 공정은, 블레이딩(Blading) 공정 후, 잉크젯 헤드들(210a,210b)의 처리액 토출면에 잔류하는 처리액을 접촉 방식으로 제거하는 공정이다.The first
상기와 같은 구성을 가지는 처리액 토출부(10)를 이용하여 기판에 처리액을 토출하는 과정을 설명하면 다음과 같다.Referring to the process of discharging the processing liquid to the substrate using the processing
도 4는 처리액 토출 공정의 진행 흐름을 보여주는 순서도이다. 도 5는 지지판에 로딩된 기판을 보여주는 도면이고, 도 6은 지지판의 회전에 의해 기판이 회전된 예를 보여주는 도면이다.4 is a flowchart showing a flow of a process liquid discharge process. 5 is a view showing a substrate loaded on the support plate, Figure 6 is a view showing an example in which the substrate is rotated by the rotation of the support plate.
도 4 내지 도 6을 참조하면, 먼저 지지판(110)에 기판(S)이 로딩된다. 로딩되는 기판(S)의 픽셀(Pi)에 관한 정보는, 기판에 표시된 정보로부터 판독되거나, 처리액 토출부(10)의 동작을 제어하는 메인 제어부(70)로 입력될 수 있다. 기판의 픽셀 정보로부터 픽셀의 길이 방향을 확인한다. 도 5에 도시된 기판(S)의 경우, 픽셀(Pi)의 길이 방향은 처리액 토출 공정의 진행 방향인 제 1 방향(Ⅰ)에 수직한 제 2 방향(Ⅱ)을 향하고 있다.4 to 6, the substrate S is first loaded on the
픽셀의 길이 방향을 확인한 후, 픽셀의 길이 방향과 처리액 토출 공정의 진행 방향(프린팅 방향이라고도 함.)의 일치 여부를 판단한다. 판단 결과, 두 방향이 일치하는 경우 기판의 픽셀 정보로부터 픽셀 피치를 확인한다. 이와 달리, 두 방향이 일치하지 않는 경우, 도 6에 도시된 바와 같이, 기판을 회전시켜 픽셀의 길이 방향을 처리액 토출 공정의 진행 방향에 정렬시키고, 이후 기판의 픽셀 정보로부터 픽셀 피치를 확인한다.After confirming the longitudinal direction of the pixel, it is determined whether or not the longitudinal direction of the pixel coincides with the advancing direction (also referred to as printing direction) of the processing liquid discharge process. As a result, when the two directions coincide, the pixel pitch is checked from the pixel information of the substrate. In contrast, when the two directions do not coincide with each other, as shown in FIG. 6, the substrate is rotated to align the longitudinal direction of the pixel with the advancing direction of the processing liquid discharge process, and then the pixel pitch is confirmed from the pixel information of the substrate. .
픽셀 피치를 확인한 후, 제 2 방향(Ⅱ)으로 정렬된 헤드의 노즐들의 피치와 픽셀 피치의 일치 여부를 판단한다. 판단 결과, 피치가 일치하는 경우, 헤드 및/또는 기판을 제 1 방향(Ⅰ)으로 이동시키면서 기판에 대한 처리액 토출 공정을 진행 한다. 이와 달리, 피치가 일치하지 않는 경우, 노즐들의 처리액 토출 피치가 픽셀 피치와 일치되도록 헤드를 수평면 상에서 회전시킨다. 이후, 헤드 및/또는 기판을 제 1 방향(Ⅰ)으로 이동시키면서 기판에 대한 처리액 토출 공정을 진행한다. 처리액 토출 공정이 완료된 후, 처리된 기판을 언로딩한다.After checking the pixel pitch, it is determined whether or not the pitch of the nozzles of the head aligned in the second direction (II) coincides with the pixel pitch. As a result of the determination, when the pitches match, the process liquid ejecting process for the substrate is performed while moving the head and / or the substrate in the first direction (I). Alternatively, if the pitch does not match, the head is rotated on the horizontal plane so that the treatment liquid ejection pitch of the nozzles coincides with the pixel pitch. Subsequently, the process liquid discharge process to the substrate is performed while moving the head and / or the substrate in the first direction (I). After the process liquid discharge step is completed, the processed substrate is unloaded.
픽셀의 길이 방향을 처리액 토출 공정의 진행 방향에 정렬시킨 상태에서 처리액 토출 공정을 진행하면, 노즐의 온/오프 회수 등의 처리액 토출 공정 조건이 변화되는 것을 최소화할 수 있으며, 이를 통해 처리액 토출 공정의 품질 저하를 방지할 수 있다.When the processing liquid ejecting process is performed while the longitudinal direction of the pixels is aligned with the advancing direction of the processing liquid discharging process, the processing liquid discharging process conditions such as the on / off number of nozzles can be minimized. The quality deterioration of a liquid discharge process can be prevented.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The foregoing description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The protection scope of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the equivalent scope should be interpreted as being included in the scope of the present invention.
이하에 설명된 도면들은 단지 예시의 목적을 위한 것이고, 본 발명의 범위를 제한하기 위한 것이 아니다.The drawings described below are for illustrative purposes only and are not intended to limit the scope of the invention.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 처리액 토출 방법이 사용되는 처리액 도포 설비의 구성을 보여주는 도면이다.1 is a view showing the configuration of a treatment liquid application facility in which a treatment liquid discharge method according to an embodiment of the present invention is used.
도 2는 도 1의 처리액 토출부의 사시도이다.FIG. 2 is a perspective view of the processing liquid discharge part of FIG. 1. FIG.
도 3은 도 2의 처리액 토출부의 평면도이다.3 is a plan view of the processing liquid discharge part of FIG. 2.
도 4는 처리액 토출 공정의 진행 흐름을 보여주는 순서도이다.4 is a flowchart showing a flow of a process liquid discharge process.
도 5는 지지판에 로딩된 기판을 보여주는 도면이다.5 shows a substrate loaded on a support plate.
도 6은 지지판의 회전에 의해 기판이 회전된 예를 보여주는 도면이다.6 is a view showing an example in which the substrate is rotated by the rotation of the support plate.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>
S: 기판 Pi: 픽셀S: Substrate Pi: Pixel
100: 기판 지지 유닛 110: 지지판100: substrate support unit 110: support plate
200: 헤드 유닛 300: 제 1 이동 유닛200: head unit 300: first moving unit
400: 제 2 이동 유닛 500: 제 1 헤드 세정 유닛400: second moving unit 500: first head cleaning unit
600: 제 2 헤드 세정 유닛 600: second head cleaning unit
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- 2009-11-26 KR KR1020090115400A patent/KR101130208B1/en active IP Right Grant
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