KR101127830B1 - Automatic guided vehicle - Google Patents

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Abstract

본 발명은 LCD 제조 장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 LCD제조에 사용되는 기판이 탑재된 카세트를 반송하는 AGV의 접지수단에 관한 것이다. The present invention relates to an LCD manufacturing equipment, and more particularly to a grounding means of AGV for conveying a cassette on which a substrate used in LCD manufacturing.

본 발명은 제어부의 제어에 따라 정해진 경로를 주행하는 본체와; 상기 본체의 일측에 구비되고, 다수개의 기판이 수납된 카세트가 안착되는 탑재부와; 상기 본체의 일측에 구비되어 바퀴의 형태로 지면에 접지되는 접지수단:을 포함하여 이루어지는 자동 반송 장치를 제공한다. The present invention comprises a main body for driving a predetermined route under the control of the controller; A mounting part provided at one side of the main body and on which a cassette containing a plurality of substrates is seated; Provided on one side of the main body is provided with an automatic conveying device comprising a grounding means: grounded to the ground in the form of a wheel.

또한, 상기 접지수단은 상기 본체의 일측에 대략 원형의 단면으로 구비된 레그와; 상기 레그의 끝단에 회동 가능하게 축결합하여 바닥면과의 접지가 이루어지는 휠과: 상기 본체의 내측에 상기 레그를 수용하도록 대략 원형으로 형성된 레그 수용부와; 상기 레그 수용부의 내부에 구비되어 상기 레그에 상/하 방향으로 탄성력을 인가하는 스프링을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the grounding means and the leg is provided with a substantially circular cross section on one side of the main body; A wheel that is pivotally coupled to an end of the leg to be grounded to a bottom surface, the leg receiving portion being formed in a substantially circular shape to receive the leg inside the body; It is provided in the leg receiving portion is characterized in that it comprises a spring for applying an elastic force to the leg in the up / down direction.

따라서, 본 발명의 자동 반송 장치에 의하면 상기 접지수단의 내구성이 반영구적이므로 생산성이 향상되며 정비소요가 감소되는 효과가 있다.Therefore, according to the automatic conveying apparatus of the present invention, since the durability of the grounding means is semi-permanent, productivity is improved and maintenance requirements are reduced.

LCD, 자동 반송 장치, AGV, 접지, 휠 LCD, Automatic Carrier, AGV, Ground, Wheel

Description

자동 반송 장치{Automatic guided vehicle}Automatic conveying device

도 1 은 일반적인 카세트 반송 시스템을 설명하기 위한 개요도1 is a schematic diagram for explaining a typical cassette conveyance system

도 2 는 종래의 억세스 플로어를 도시한 단면도.2 is a cross-sectional view showing a conventional access floor.

도 3 은 종래의 접지수단을 도시한 사시도.3 is a perspective view showing a conventional grounding means.

도 4 는 본 발명에 따른 카세트 반송 시스템을 설명하기 위한 개요도.4 is a schematic diagram for explaining a cassette conveyance system according to the present invention;

도 5 는 도 4의 자동 반송 장치를 나타낸 측면도.FIG. 5 is a side view illustrating the automatic conveyance device of FIG. 4. FIG.

도 6 은 본 발명에 따른 자동 반송 장치의 접지수단을 도시한 단면도6 is a cross-sectional view showing the grounding means of the automatic conveying apparatus according to the present invention;

도 7 은 도 6의 측면도.7 is a side view of FIG. 6;

* 도면의 주요한 부분에 대한 부호설명 ** Explanation of Signs of Major Parts of Drawings *

101 : 제 1 호스트 102 : 제 2 호스트101: first host 102: second host

103 : 제 3 호스트 104 : 제 4 호스트103: third host 104: fourth host

105 : 제 5 호스트 150 : 카세트105: fifth host 150: cassette

151 : ID표시부 200 : 장비151: ID display unit 200: equipment

300 : AGV 310 : 본체300: AGV 310: main body

320: 탑재부 330 : 로봇암320: mounting portion 330: robot arm

360 : 접지수단 362 : 휠360: Grounding means 362: Wheel

364 : 레그 365 : 플랜지364 Leg 365: Flange

366 : 레그 수용부 367 : 스토퍼366: leg receiving portion 367: stopper

368 : 스프링 380 : 바닥면368: spring 380: bottom

400 : 스토커 410 : 입력포트400: Stocker 410: Input port

420 : 출력포트 430 : 리더기420: output port 430: reader

본 발명은 LCD 제조 장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 LCD제조에 사용되는 기판이 탑재된 카세트를 반송하는 AGV의 접지수단에 관한 것이다.The present invention relates to an LCD manufacturing equipment, and more particularly to a grounding means of AGV for conveying a cassette on which a substrate used in LCD manufacturing.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다. In recent years, there has been a demand for a display device in accordance with the development of an information society, and in recent years, a display device such as a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), an electro luminescent display (ELD), a vacuum fluorescent display ) Have been studied, and some of them have already been used as display devices in various devices.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, the LCD is the most widely used in place of a CRT (Cathode Ray Tube) for the purpose of a portable image display device because of its excellent image quality, light weight, thinness and low power consumption. A television for receiving and displaying a broadcast signal, and a monitor for a computer.

상기와 같은 LCD는 액정기판과 상기 액정기판을 구동하는 구동회로를 포함하 여 이루어지며, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 기판을 각 공정을 수행하는 장비(20a, 20b)들에 운반하기 위해서 카세트 반송 장치(30)(Cassette transfer vehicle; CTV)가 사용된다. The LCD includes a liquid crystal substrate and a driving circuit for driving the liquid crystal substrate, and as shown in FIG. 1, to transport the substrate to equipment 20a and 20b for performing each process. A cassette transfer vehicle (CTV) is used.

이때, 상기 카세트 반송 장치(30)의 반송 효율을 높이기 위해 상기 기판들을 다수개 수납할 수 있는 카세트(10)에 수납한 뒤, 상기 카세트(10)를 상기 카세트 반송 장치(30)가 반송하게 된다.In this case, in order to increase the conveyance efficiency of the cassette conveying apparatus 30, the cassette conveying apparatus 30 conveys the cassette 10 after storing the plurality of substrates in the cassette 10. .

따라서, 상기 카세트 반송 장치(30)는 카세트(10)가 임시로 저장된 스토커(40)와 각 공정을 수행하는 장비(20a, 20b)들 사이를 왕복하면서 상기 카세트(10)를 상기 스토커(40)에서 각 장비(20a, 20b)들로, 그리고 각 장비(20a, 20b)들에서 상기 스토커(40)로 각각 반송하게 된다.Accordingly, the cassette conveying apparatus 30 may move the cassette 10 to the stocker 40 while reciprocating between the stocker 40 in which the cassette 10 is temporarily stored and the equipment 20a and 20b for performing each process. To each of the equipment (20a, 20b) and from each of the equipment (20a, 20b) to the stocker 40, respectively.

또한, 근래에 들어 상기 카세트 반송 장치(30)는 바닥에 매설된 유도선을 따라 지정된 위치에 운반물을 이적재하는 AGV(Auto Guided Vehicle)가 적용되고 있다.Also, in recent years, the cassette conveying apparatus 30 has been applied with an AGV (Auto Guided Vehicle) which loads a package at a designated position along a guide line embedded in the floor.

이를 위해, 생산 라인의 바닥에는 상기 AGV(30)가 정해진 경로를 따라 이동할 수 있도록 안내해주는 반송 라인(11)이 제공된다.To this end, a conveying line 11 is provided at the bottom of the production line to guide the AGV 30 to move along a predetermined path.

따라서, 상기 반송 라인(11)에 상기 AGV(30)의 경로를 유도할 수 있는 유도 장치가 구비된다.Therefore, the induction apparatus which can guide the path | route of the AGV 30 is provided in the said conveyance line 11.

상기 유도장치는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 AGV(30)가 이동하는 공간인 억세스 플로어(Access Floor:50)에 매설된 마그네틱 스팟 마크(Magnetic spot mark:60)가 주로 사용된다.As shown in FIG. 2, a magnetic spot mark 60 embedded in an access floor 50, which is a space in which the AGV 30 moves, is mainly used.

여기서, 상기 억세스 플로어(50)는 다수개의 홀(55)이 형성되어 있고, 상기 마그네틱 스팟 마크(60)가 상기 억세스 플로어(50)의 상기 카세트 반송 장치(30)의 반송 라인(11)에 해당하는 곳의 홀(55)에 삽입되어 반송 라인(11)을 구성한다.In the access floor 50, a plurality of holes 55 are formed, and the magnetic spot mark 60 corresponds to the conveying line 11 of the cassette conveying device 30 of the access floor 50. It is inserted in the hole 55 of the place, and comprises the conveyance line 11. As shown in FIG.

따라서, 상기 카세트 반송 장치(30)에 상기 마그네틱 스팟 마크(60)를 인식할 수 있는 센서(미도시)가 구비되어 상기 마그네틱 스팟 마크(60)를 통해 반송 라인(11)을 인식하면서 움직인다.Therefore, the cassette conveying apparatus 30 is provided with a sensor (not shown) capable of recognizing the magnetic spot mark 60 and moves while recognizing the conveying line 11 through the magnetic spot mark 60.

또한, 상기 AGV의 내부에는 여러 가지 제어를 위한 전자장치가 탑재되는데, 상기 전자장치가 예기치 못한 정전기 등에 의해 손상되는 것을 방지하기 위하여, 상기 AGV에는 지면과의 접지를 위한 접지수단이 구비된다.In addition, an electronic device for various controls is mounted inside the AGV. In order to prevent the electronic device from being damaged by unexpected static electricity, the AGV is provided with a grounding means for grounding the ground.

도 3은 상기 접지수단을 도시한 도면이다. 3 is a view showing the grounding means.

상기 접지수단은 상기 AGV(30)의 하부에 여러가닥 늘여진 도전성의 브러쉬(brush)의 형태를 취하고 있다. 이하, 상기 브러쉬 형태의 접지수단을 접지 브러쉬(36)라 칭하기로 한다.The grounding means is in the form of a conductive brush extended in the lower part of the AGV (30). Hereinafter, the brush-type grounding means will be referred to as a grounding brush 36.

상기 접지 브러쉬(36)는 상기 억세스 플로어(50)에 연접하도록 실처럼 여러 가닥 늘여진 형태로 제작됨으로써, 상기 억세스 플로어(50)를 통해 지면과의 접지가 이루어지게 된다.The ground brush 36 is manufactured in the form of a plurality of strands extending like threads to be in contact with the access floor 50, so that the ground brush 36 is grounded with the ground through the access floor 50.

또한, 상기 접지 브러쉬(36)가 실처럼 연성이 있으므로, 상기 AGV(30)가 전진 및 후진 또는 좌/우방향전환등 진행방향이 바뀌어도 상기 억세스 플로어(50)와의 접촉을 유지하게 된다.In addition, since the ground brush 36 is soft as a thread, the AGV 30 maintains contact with the access floor 50 even when the traveling direction such as forward and backward or left / right switching is changed.

그러나, 상기와 같은 종래의 브러쉬 형태의 접지수단은 다음과 같은 문제점 이 있다. However, the conventional brush-type grounding means as described above has the following problems.

첫째, 상기 접지 브러쉬는 AGV의 이동에 따라 억세스 플로어에 끌리게 되는데, 이로 인해 마찰이 발생하여 접지 브러쉬가 마모되거나, 상기 AGV의 방향전환으로 인해 접지 브러쉬가 서로 얽히게 되어 접지상태가 불량해지는 문제점이 있다.First, the grounding brush is attracted to the access floor according to the movement of the AGV, which causes friction and wears the grounding brush, or the grounding brush is entangled with each other due to the change of direction of the AGV. .

둘째, 상기한 접지 브러쉬의 마모 및 얽힘 등으로 인한 접지상태 불량을 예방하기 위하여 상기 접지 브러쉬의 주기적인 점검 및 교체가 필요한데, 상기 접지 브러쉬를 점검 및 교체할 때 액정기판의 제조공정이 중단됨으로 인해 생산성이 저하될 뿐만 아니라, 상기 접지 브러쉬를 교체할 경우 교체 부속에 의한 금전적 손실이 발생하는 문제점이 있다.Second, periodic inspection and replacement of the grounding brush is necessary in order to prevent the grounding state defect due to wear and entanglement of the grounding brush. In addition to the deterioration in productivity, there is a problem in that monetary loss due to replacement parts occurs when the grounding brush is replaced.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 상기 접지수단의 내 마모성 및 내 변형성을 향상시킨 AGV를 제공하는 것이다. The present invention is to solve the above problems, it is an object of the present invention to provide an AGV improved the wear resistance and deformation resistance of the grounding means.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 제어부의 제어에 따라 정해진 경로를 주행하는 본체와; 상기 본체의 일측에 구비되고, 다수개의 기판이 수납된 카세트가 안착 되는 탑재부와; 상기 본체의 일측에 구비되어 바퀴의 형태로 지면에 접지되는 접지수단:을 포함하여 이루어지는 자동 반송 장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention includes a main body for driving a predetermined path under the control of the controller; A mounting part provided at one side of the main body and on which a cassette containing a plurality of substrates is seated; Provided on one side of the main body is provided with an automatic conveying device comprising a grounding means: grounded to the ground in the form of a wheel.

또한, 상기 접지수단은 상기 본체에 대하여 좌/우 회동 및 상/하 이동이 가능한 것을 특징으로 한다.In addition, the grounding means is characterized in that the left / right rotation and up / down movement with respect to the main body.

또한, 상기 접지수단은 상기 본체의 일측에 대략 원형의 단면으로 구비된 레 그와; 상기 레그의 끝단에 회동 가능하게 축결합하여 바닥면과의 접지가 이루어지는 휠과: 상기 본체의 내측에 상기 레그를 수용하도록 대략 원형으로 형성된 레그 수용부와; 상기 레그 수용부의 일측 끝단에 내측으로 소정길이 연장된 스토퍼와; 상기 레그의 일측 끝단은 상기 스토퍼에 연접되어 상기 레그가 상기 레그 수용부에서 탈거되지 않도록 반경방향 외측으로 소정길이 연장된 플랜지와; 상기 레그 수용부의 내부에 구비되어 상기 레그에 상/하 방향으로 탄성력을 인가하는 스프링을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the grounding means and the leg is provided with a substantially circular cross section on one side of the main body; A wheel that is pivotally coupled to an end of the leg to be grounded to a bottom surface, the leg receiving portion being formed in a substantially circular shape to receive the leg inside the body; A stopper extending a predetermined length inward at one end of the leg receiving portion; One end of the leg is connected to the stopper and the flange extends a predetermined length radially outward so that the leg is not detached from the leg receiving portion; It is provided in the leg receiving portion is characterized in that it comprises a spring for applying an elastic force to the leg in the up / down direction.

따라서, 본 발명의 자동 반송 장치에 의하면 상기 접지수단의 내구성이 반영구적이므로 생산성이 향상되며 정비소요가 감소되는 효과가 있다.Therefore, according to the automatic conveying apparatus of the present invention, since the durability of the grounding means is semi-permanent, productivity is improved and maintenance requirements are reduced.

이하, 상기의 목적을 구체적으로 실현할 수 있는 본 발명의 자동 반송 장치에 따른 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a preferred embodiment according to the automatic conveying apparatus of the present invention that can specifically realize the above object will be described.

여기서, 종래와 동일한 구성요소는 설명의 편의상 동일 명칭 및 동일 부호를 부여하며, 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.Here, the same components as in the prior art are given the same names and the same reference numerals for convenience of description, and description thereof will be omitted.

먼저, 도 4를 참조하여 본 발명에 따른 자동 반송 장치를 설명한다.First, the automatic conveying apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG.

제1 호스트(101)는 카세트(150)를 이동시키는 반송 명령을 작업자(operator)로부터 접수하는 최상위 호스트이다. 작업자가 상기 제1 호스트(101)에 반송 명령을 입력하면, 상기 제1 호스트(101)는 상기 반송 명령을 제2 호스트(102)와 제3 호스트(103)로 전달한다. The first host 101 is an uppermost host that receives from the operator a conveyance command for moving the cassette 150. When a worker inputs a return command to the first host 101, the first host 101 transmits the return command to the second host 102 and the third host 103.

상기 제2 호스트(102)는 상기 제1 호스트(101) 및 제3 호스트(103)와 통신하며, 임의의 공정을 수행하는 장비(200)를 통제한다. 상기 제1 호스트(101)에서 상 기 제2 호스트(102)로 전송된 반송 명령은 상기 장비(200)에 전달된다.The second host 102 communicates with the first host 101 and the third host 103 and controls the equipment 200 to perform any process. The return command sent from the first host 101 to the second host 102 is transmitted to the equipment 200.

상기 제3 호스트(103)는 상기 제1 호스트(101) 및 제2 호스트(102)와 통신하며, 제4 호스트(104) 및 제5 호스트(105)를 통제한다. 상기 제1 호스트(101)에서 상기 제3 호스트(103)로 전송된 반송 명령은 상기 제4 호스트(104) 및 제5 호스트(105)로 전달된다.The third host 103 communicates with the first host 101 and the second host 102 and controls the fourth host 104 and the fifth host 105. The return command transmitted from the first host 101 to the third host 103 is transmitted to the fourth host 104 and the fifth host 105.

상기 제4 호스트(104)는 상기 제3 호스트(103)와 통신하며, AGV(300)(Automatic guided vehicle)의 동작을 제어한다. 물론, 상기 제4 호스트(104)에 수신된 반송 명령은 상기 자동 반송 장치 (이하, AGV라 칭함(300))에 전달된다.The fourth host 104 communicates with the third host 103 and controls the operation of an AGV 300 (automatic guided vehicle). Of course, the conveying command received by the fourth host 104 is transmitted to the automatic conveying apparatus (hereinafter referred to as AGV 300).

상기 제5 호스트(105)는 상기 제3 호스트(103)와 통신하며, 다수 개의 기판(glasses) 들이 탑재된 카세트(150)를 다수개 저장하는 스토커(400)(stocker)를 통제한다. 물론, 상기 제5 호스트(105)에 수신된 반송 명령은 상기 스토커(400)에 전달된다.The fifth host 105 communicates with the third host 103 and controls a stocker 400 that stores a plurality of cassettes 150 on which a plurality of glasses are mounted. Of course, the return command received at the fifth host 105 is transmitted to the stocker 400.

한편, 상기 스토커(400)는 임의의 공정이 완료된 기판들이 탑재된 카세트(150) 들을 다음 공정을 수행하는 다른 임의의 장비로 공급하기 전에, 각 공정을 수행하는 각 장비들의 기판 처리 능력 및 처리 시간의 차이에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위해, 상기 카세트(150)를 임시로 보관하는 설비이다. 따라서, 임의의 장비에서 소정 공정을 마친 기판들이 탑재된 카세트(150)들은 상기 스토커(400)에 임시로 저장된 후 다른 공정을 수행하는 다른 장비에 공급된다.Meanwhile, before the stocker 400 supplies the cassettes 150 on which the substrates of which process is completed to other equipment that performs the next process, the substrate processing capability and the processing time of the equipments that perform each process. In order to solve the buffering (buffering) problem caused by the difference of the, is a facility for temporarily storing the cassette 150. Therefore, the cassettes 150 on which substrates which have been finished in a certain process are mounted are temporarily stored in the stocker 400 and then supplied to other equipment which performs another process.

상기한 기능을 수행하는, 상기 스토커(400)에는 임의의 공정이 완료된 기판들이 탑재된 카세트(150)가 입고되는 입력 포트(410)(input port), 상기 카세트(150)들을 저장하는 다수의 선반(미도시)들, 상기 카세트(150)가 출고되는 출력 포트(420)(output port), 그리고 상기 입력 포트(410)와 선반 사이 및 상기 선반과 출력 포트(420) 사이를 이동하면서 상기 스토커(400) 내에서 상기 카세트(150)를 운반하는 스태커 로봇(미도시)을 포함하여 이루어진다.The stocker 400, which performs the above functions, includes an input port 410 on which a cassette 150 on which substrates of any process are completed is received, and a plurality of shelves storing the cassettes 150. (Not shown), the output port 420 from which the cassette 150 is shipped, and the stocker while moving between the input port 410 and the shelf and between the shelf and the output port 420. And a stacker robot (not shown) that carries the cassette 150 within 400.

한편, 상기와 같이 다수 개의 카세트(150)를 오차 없이 처리하기 위해서 각 카세트(150)들은 고유의 ID 정보를 가지고 있으며, 상기 스토커(400)는 상기 각 카세트(150)들의 각 ID 정보를 확인한 후 상기 선반에 저장하게 된다.Meanwhile, in order to process the plurality of cassettes 150 without errors as described above, each cassette 150 has unique ID information, and the stocker 400 checks each ID information of each cassette 150. Stored on the shelf.

이를 위해, 상기 스토커(400)의 입력 포트(410)에는 상기 카세트(150)의 ID 정보를 확인할 수 있는 리더기(430)가 구비된다. 또한, 상기 카세트(150)의 일측, 예를 들면 정면에는 상부와 하부 중 적어도 어느 한 곳 이상에 해당 카세트(150)의 ID 정보가 기록된 ID 표시부(151)가 구비된다. 본 발명에서는, 상기 ID 표시부(151)의 일 례로써, 바 코드(bar code)를 제시한다.To this end, the input port 410 of the stocker 400 is provided with a reader 430 that can check the ID information of the cassette 150. In addition, an ID display unit 151 in which ID information of the cassette 150 is recorded is provided on at least one of an upper side and a lower side of the cassette 150. In the present invention, as an example of the ID display unit 151, a bar code is presented.

상기한 구조를 가지면, 상기 리더기(430)가 상기 ID 표시부(151)를 읽음으로써 상기 스토커(400)는 입고되는 카세트(150)의 ID 정보를 확인할 수 있게 된다. 그리고, 상기 카세트(150)를 출고할 때에는 상기 스토커(400)에 수신된 반송 정보와 일치하는 ID 정보를 가진 카세트(150)의 저장 위치를 확인한 후 상기 스태커 로봇을 이용하여 선반으로부터 출력 포트(420)로 카세트(150)를 운송하게 된다.With the above structure, the reader 430 reads the ID display unit 151 so that the stocker 400 can check the ID information of the cassette 150. When the cassette 150 is shipped, the storage port of the cassette 150 having the ID information corresponding to the conveying information received by the stocker 400 is checked, and then the output port 420 from the shelf using the stacker robot. The cassette 150 is transported.

한편, 상기 AGV(300)는 상기 제4 호스트(104)의 제어에 따라, 상기 카세트 (150)를 상기 장비(200)에서 상기 스토커(400)의 입력 포트(410)로, 그리고 상기 스토커(400)의 상기 출력 포트(420)에서 다른 장비(200)로 반송한다. 여기서, 상기 제4 호스트(104)는 적어도 한 대 이상의 AGV(300)를 제어하며, 상기 각 AGV(300)에는 상기 제4 호스트(104)의 명령에 따라 AGV(300)의 각 구성요소를 제어하는 제어부(미도시)가 구비된다.The AGV 300, on the other hand, controls the cassette 150 from the equipment 200 to the input port 410 of the stocker 400 and the stocker 400 under the control of the fourth host 104. Return from the output port 420 to the other equipment (200). Here, the fourth host 104 controls at least one AGV 300, and each AGV 300 controls each component of the AGV 300 according to the command of the fourth host 104. A control unit (not shown) is provided.

상기한 AGV(300)는 상기 제어부(115)의 제어에 따라 정해진 구간을 운행하는 본체(310), 그리고 상기 본체(310)의 일측, 예를 들면 상부에 구비되며, 상기 카세트(150)가 올려지는 탑재부(320)를 포함하여 이루어진다. The AGV 300 is provided on a main body 310 for driving a predetermined section under the control of the controller 115, and on one side of the main body 310, for example, the upper portion of the main body 310, and the cassette 150 is placed thereon. Loss includes a mounting portion (320).

여기서, 상기 본체(310)의 하단에는 도 5에 도시된 바와 같이 다수 개의 바퀴(311)가 구비되며, 상기 바퀴(311)는 제어부(미도시)에 의해 제어되는 주행 모터(미도시)에 의해 구동된다.Here, a plurality of wheels 311 are provided at the bottom of the main body 310 as shown in FIG. 5, and the wheels 311 are driven by a traveling motor (not shown) controlled by a controller (not shown). Driven.

한편, 상기 AGV(300)에는, 상기 카세트(150)를 상기 탑재부(320)에 로딩(loading)하거나, 상기 탑재부(320)로부터 언로딩(unloading)하는 로봇 암(330)이 더 구비될 수 있다. Meanwhile, the AGV 300 may further include a robot arm 330 for loading the cassette 150 into the mounting unit 320 or unloading from the mounting unit 320. .

상기와 같이 AGV(300)에 로봇 암(330)이 구비되면, 상기 AGV(300)는 상기 장비(200), 그리고 스토커(400)의 입력 포트(410) 및 출력 포트(420)에 있는 카세트(150)를 직접 상기 탑재부(320)에 로딩하거나, 상기 탑재부(320)에 로딩된 카세트(150)를 상기 장비(200) 및 스토커(400)에 언로딩할 수 있게 된다. When the robot arm 330 is provided in the AGV 300 as described above, the AGV 300 includes the cassette 200 in the input port 410 and the output port 420 of the apparatus 200 and the stocker 400. 150 may be directly loaded onto the mount 320, or the cassette 150 loaded on the mount 320 may be unloaded onto the equipment 200 and the stocker 400.

그러나, 상기 AGV(300)에 상기 로봇 암(330)이 구비되지 않고, 상기 스토커(400) 및 장비(200) 인근에 상기 카세트(150)를 로딩하거나 언로딩하는 별도의 로 봇 암이 구비되어도 무방할 것이다.However, the robot arm 330 is not provided in the AGV 300, and a separate robot arm for loading or unloading the cassette 150 is provided near the stocker 400 and the equipment 200. It will be alright.

상기와 같은 구조를 가지는 본 발명에 따른 카세트 반송 시스템은 다음과 같은 과정을 통해 카세트(150)를 스토커(400) 또는 장비(200)에 반송해준다. The cassette conveying system according to the present invention having the structure as described above conveys the cassette 150 to the stocker 400 or the equipment 200 through the following process.

먼저, 작업자(operator)가 반송할 카세트(150)의 ID를 확인한 후 상기 제1 호스트(101)에 해당 카세트(150)의 반송 명령을 입력하면, 상기 제1 호스트(101)는 상기 제2 호스트(102)와 제3 호스트(103)에 상기 반송 명령을 내린다.First, when an operator confirms the ID of the cassette 150 to be conveyed and then inputs a conveyance command of the cassette 150 to the first host 101, the first host 101 transmits the second host. The transfer command is issued to 102 and the third host 103.

반송 명령을 받은 제2 호스트(102)는 이를 상기 장비(200)에 전달하고, 상기 제3 호스트(103)는 제4 호스트(104) 및 제5 호스트(105)에 전달한다. 그리고, 제4 호스트(104)는 상기 반송 명령을 상기 AGV(300)에 전달하고, 상기 제5 호스트(105)는 상기 스토커(400)에 전달한다.The second host 102 having received the return command forwards it to the equipment 200, and the third host 103 forwards it to the fourth host 104 and the fifth host 105. In addition, the fourth host 104 transmits the transfer command to the AGV 300, and the fifth host 105 transmits the stocker 400 to the stocker 400.

상기 반송 명령을 전달받은 스토커(400)는 스태커 로봇을 제어하여 해당 카세트(150)를 출력 포트(420)로 운반한다. 그리고 반송 명령을 받은 AGV(300)는 상기 스토커(400) 앞으로 이동하여 상기 출력 포트(420)에 놓인 카세트(150)를 탑재부(320)에 로딩한다.The stocker 400 receiving the transfer command controls the stacker robot and transports the cassette 150 to the output port 420. Then, the AGV 300 receiving the transfer command moves in front of the stocker 400 and loads the cassette 150 placed at the output port 420 on the mounting unit 320.

상기 카세트(150)를 로딩한 AGV(300)는 상기 장비(200)로 이동한다. 제1 센서(340)의 도움으로 상기 장비(200) 앞에 정확하게 위치한 AGV(300)는 상기 제2 센서(350)의 도움을 받아 상기 카세트(150)를 상기 장비(200)에 정확하게 언로딩한다.The AGV 300 loaded with the cassette 150 moves to the equipment 200. The AGV 300, located precisely in front of the device 200 with the aid of the first sensor 340, correctly unloads the cassette 150 into the device 200 with the help of the second sensor 350.

상기 카세트(150)가 상기 장비(200)에 완전히 언로딩되면, 상기 장비(200)는 리더기(210)를 이용하여 상기 카세트(150)에 있는 ID 표시부(151)를 읽어 들인다. 상기 장비(200)의 리더기(210)에서 읽은 카세트(150)의 ID 정보는 상기 제2 호스트(102)로 전송되며, 상기 제2 호스트(102)는 상기 제1 호스트(101)로 부터 전달 받아서 상기 장비(200)로 전송한 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보를 비교한다.When the cassette 150 is completely unloaded into the equipment 200, the equipment 200 reads the ID display unit 151 of the cassette 150 using the reader 210. The ID information of the cassette 150 read by the reader 210 of the device 200 is transmitted to the second host 102, and the second host 102 receives the information from the first host 101. The transport information transmitted to the equipment 200 is compared with the ID information of the cassette 150.

비교 결과, 상기 장비(200)로 전달된 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보가 일치하면, 상기 장비(200)는 상기 카세트(150)에 탑재된 기판들을 꺼내어 소정 공정을 수행한다.As a result of comparison, when the conveyed information transmitted to the equipment 200 and the ID information of the cassette 150 match, the equipment 200 takes out the substrates mounted on the cassette 150 and performs a predetermined process.

그러나, 상기 장비(200)와 상기 스토커(400)가 서로 다른 호스트 들로 부터 통제를 받기 때문에 각 통제 라인 중 어느 하나가 오동작을 일으킬 경우, 상기 장비(200)로 전달된 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보가 불일치할 수 있다. 따라서, 비교 결과, 상기 장비(200)로 전달된 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보가 불일치하면, 반송 시스템은 경보음을 발생시키고, 상기 AGV(300)는 상기 장비(200)에 언로딩된 카세트(150)를 다시 상기 탑재부(320)에 로딩한다.However, since the equipment 200 and the stocker 400 are controlled by different hosts, when any one of the control lines causes a malfunction, the conveyance information and the cassette ( ID information of 150 may be inconsistent. Therefore, when the comparison results, the conveying information transmitted to the equipment 200 and the ID information of the cassette 150 is inconsistent, the conveying system generates an alarm sound, and the AGV 300 freezes the equipment 200. The loaded cassette 150 is loaded on the mounting unit 320 again.

상기 카세트(150)를 재 로딩한 AGV(300)는 상기 카세트(150)를 상기 스토커(400)로 재 반송한 후 스토커(400)의 입력 포트(410)에 언로딩한다. 그리고, 작업자는 오류가 발생한 제어 라인을 찾아 문제를 해결한 후 상기 제1 호스트(101)에 다시 반송 명령을 입력하면, 상기한 과정의 카세트(150)의 반송 절차가 다시 수행된다.The AGV 300 reloading the cassette 150 unloads the cassette 150 back to the stocker 400 and then unloads the input port 410 of the stocker 400. When the operator finds a control line in which an error occurs and solves the problem, the operator inputs a transfer command to the first host 101 again, and the transfer procedure of the cassette 150 of the above process is performed again.

한편, 상기 AGV(300)의 내부에는 센싱 및 제어를 위한 다수개의 전자부품(미도시)이 탑재되는데, 상기 전자부품은 정전기등으로 인한 예기치 못한 손상을 방지 하고자 지면(ground)와 접지(earth)를 하여야 하며, 이러한 접지를 위하여 상기 본체(310)의 일측에는 접지수단(360)이 구비된다.Meanwhile, a plurality of electronic components (not shown) are mounted in the AGV 300 for sensing and control, and the electronic components are grounded and grounded to prevent unexpected damage due to static electricity. The grounding means 360 is provided on one side of the main body 310 for such grounding.

여기서, 상기 접지수단(360)은 내구성을 위하여 마찰방식이 아닌 굴림방식으로 바닥면(380)과의 접지가 이루어지는 것이 바람직하다.Here, the grounding means 360 is preferably grounded with the bottom surface 380 in a rolling manner rather than a friction method for durability.

상기한 굴림방식의 접지를 위하여, 본 실시예에서의 접지수단은 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 본체(310)의 일측에 하부로 연장된 레그(364)와, 상기 레그(364)에 축결합되어 바닥면(380)에 연접되어 회동하는 휠(362)을 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.For the grounding of the rolling method, the grounding means in this embodiment is a leg 364 extending downward on one side of the main body 310, as shown in Figs. 6 and 7 and the leg 364 It is preferably made to include a wheel 362 is axially coupled to the bottom surface 380 to rotate.

따라서, 상기 휠(362)이 억세스 플로어등의 바닥면(380)에 연접되면서 AGV(300)의 움직임에 따라 회동되어 바닥면(380)과 굴림방식으로서 연접되는 것이다.Accordingly, the wheel 362 is connected to the bottom surface 380 such as an access floor and rotated in accordance with the movement of the AGV 300 to be connected to the bottom surface 380 in a rolling manner.

여기서, 상기 레그(364) 및 휠(362)은 접지를 위하여 상기 AGV(300) 내부의 전자부품들과 전기적으로 연결되어 있는 것은 당연하다. Here, the leg 364 and the wheel 362 is naturally connected to the electronic components inside the AGV 300 for grounding.

또한, 상기 AGV(300)는 직선운동만 하는것이 아니고 여러방향으로 방향전환을 하면서 이동하므로 상기 접지수단(360)은 상기 AGV(300)의 방향전환에 대응할 수 있도록 좌측 또는 우측으로 회동이 가능한 것이 바람직하다.In addition, since the AGV 300 is not only linear movement but moves in various directions, the grounding means 360 may rotate left or right to correspond to the change of direction of the AGV 300. desirable.

또한, 상기 AGV(300)가 이동되는 바닥면(380)이 평면이 아니고 다소간의 상/하 굴곡이 있을 수 있는데, 이러한 경우에도 상기 접지수단(360)이 바닥면(380)과의 접촉을 잃지 않도록 상기 접지수단(360)은 탄성적으로 상/하 이동이 가능하게 구비되는 것이 바람직하다.In addition, the bottom surface 380 to which the AGV 300 is moved may not be flat but may have some up / down bending. In this case, the grounding means 360 may not lose contact with the bottom surface 380. The grounding means 360 is preferably provided to be able to move up / down elastically.

이를 위하여, 상기 접지수단(360)은 상기 레그(364)의 단면이 대략 원형이며, 상기 본체(310) 내부에 상기 레그(364)를 수용하는 레그 수용부(366)가 구비되는 것이 바람직하다.To this end, the grounding means 360 is preferably a circular cross section of the leg 364, the leg receiving portion 366 for accommodating the leg 364 inside the body 310 is provided.

여기서, 상기 레그 수용부(366)는 상기 레그(364)의 단면에 대응하도록 대략 원형의 단면으로 소정깊이 상기 본체(310)의 내부로 형성된다.Here, the leg receiving portion 366 is formed into the body 310 of a predetermined depth in a substantially circular cross section so as to correspond to the cross section of the leg 364.

따라서, 상기 레그(364)는 상기 본체(310)의 레그 수용부(366) 내에 위치되며, 상기 레그(364)가 레그 수용부(366)에서 탈거되지 않도록 상기 레그(364)의 상측 끝단에 반경방향 외측으로 소정길이 연장된 플랜지(365)가 형성되며, 상기 레그 수용부(366)의 하측끝단에 반경방향 내측으로 소정길이 연장되어 스토퍼(367)가 형성되는 것이 바람직하다.Thus, the leg 364 is located in the leg receiving portion 366 of the body 310, the radius at the upper end of the leg 364 so that the leg 364 is not removed from the leg receiving portion 366 A flange 365 extending a predetermined length outwardly in a direction is formed, and a stopper 367 is formed by extending a predetermined length radially inward at a lower end of the leg receiving portion 366.

즉, 상기 레그(364)가 최하단으로 내려오면 상기 레그(364)의 플랜지(365)가 상기 스토퍼(367)에 연접되어 레그(364)가 레그 수용부(366)에서 탈거되지 않게 되는 것이다.That is, when the leg 364 is lowered to the bottom end, the flange 365 of the leg 364 is connected to the stopper 367 so that the leg 364 is not removed from the leg receiving portion 366.

또한, 상기 레그(364)가 바닥면(380)에 밀착되도록 하기 위하여 상기 레그(364)에 바닥면 방향으로 탄성적인 압력을 가하는 스프링(368)이 상기 레그 수용부(366) 내에 구비되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that a spring 368 is provided in the leg receiving portion 366 to apply elastic pressure to the leg 364 in the bottom direction so that the leg 364 is in close contact with the bottom surface 380. Do.

그러므로, 상기 AGV(300)가 방향전환을 할 때엔 상기 원형 단면의 레그(364)가 상기 레그 수용부(366) 내에서 회전을 하여 상기 휠(362)의 방향이 상기 AGV(300)의 방향과 일치하게 된다.Therefore, when the AGV 300 changes direction, the leg 364 of the circular cross section rotates in the leg receiving portion 366 so that the direction of the wheel 362 is the direction of the AGV 300. To match.

또한, 상기 스프링(368)이 상기 레그(364)를 항시 하측으로 밀고 있으므로, 상기 AGV(300)의 운행중에 바닥면에 굴곡이 생기면 상기 레그(364)가 탄성적으로 상/하 이동을 하게되어 바닥면(380)과의 접지를 항시 유지함으로써 내장된 전자부품의 안전성을 보장하게 된다.In addition, since the spring 368 always pushes the leg 364 downward, when the bending occurs on the bottom surface of the AGV 300, the leg 364 moves up / down elastically. By maintaining the ground with the bottom surface 380 at all times to ensure the safety of the embedded electronic components.

따라서, 본 발명의 자동 반송 장치에 의하면 접지수단이 마찰식이 아닌 굴림방식으로 바닥면과 접촉되기 때문에 마모등으로 인한 문제가 발생하지 않아 반 영구적인 수명을 갖게 되는 효과가 있다.Therefore, according to the automatic conveying apparatus of the present invention, since the grounding means is in contact with the bottom surface in a rolling manner rather than a friction type, there is an effect of having a semi-permanent life without a problem due to wear or the like.

상기에서 설명한 본 발명의 자동 반송 장치에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.According to the automatic conveyance apparatus of the present invention described above has the following advantages.

첫째, 접지수단이 바닥면과 마찰방식이 아닌 굴림방식으로 접촉되기 때문에 마모등으로 인한 문제가 발생하지 않으므로 반 영구적인 수명을 갖게 되는 효과가 있다.First, since the grounding means is in contact with the floor in a rolling manner rather than a friction method, there is no effect due to abrasion, and thus has a semi-permanent lifespan.

둘째, 상기 접지수단이 반 영구적인 수명을 갖게 됨으로써, 상기 접지수단의 정비 및 수리에 의하여 액정기판의 제조공정이 정지되는 시간이 없어지게 되므로 생산성이 향상되는 효과가 있다.Second, since the grounding means has a semi-permanent lifespan, there is no time for stopping the manufacturing process of the liquid crystal substrate by the maintenance and repair of the grounding means, thereby improving productivity.

셋째, 상기 접지수단이 반 영구적인 수명을 갖게 됨으로써, 상기 접지수단의 정비 및 수리에 소요되는 경비가 절약되는 효과가 있다.Third, since the grounding means has a semi-permanent life, there is an effect that the cost required for maintenance and repair of the grounding means is saved.

Claims (6)

제어부의 제어에 따라 정해진 경로를 주행하는 본체;A main body driving a predetermined route under the control of the controller; 상기 본체의 일측에 구비되고, 다수개의 기판이 수납된 카세트가 안착되는 탑재부; 및A mounting part provided at one side of the main body and on which a cassette containing a plurality of substrates is mounted; And 상기 본체의 일측에 구비되어 바퀴의 형태로 지면에 접지되도록 상기 본체의 일측에 구비된 레그 및 상기 레그의 끝단에 회동 가능하게 축결합하여 바닥면과 접지가 이루어지는 휠을 포함하여 이루어진 접지수단을 포함하고;And a grounding means provided on one side of the main body and including a wheel provided on one side of the main body so as to be grounded to the ground in the form of a wheel, and a wheel which is pivotally coupled to the end of the leg to be grounded. and; 상기 레그 및 휠은 상기 본체 내부의 전자부품들과 전기적으로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 자동 반송 장치.The leg and the wheel is an automatic conveying device, characterized in that electrically connected with the electronic components inside the body. 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 레그는 상기 본체에 대하여 좌/우로 회동 가능하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 자동 반송 장치.And the leg is provided to be rotatable left / right with respect to the main body. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 레그는 상기 본체에 대하여 상/하로 탄성적으로 이동이 가능하도록 구 비되는 것을 특징으로 하는 자동 반송 장치.The leg is provided with an automatic conveying device characterized in that it is provided to be movable elastically up and down with respect to the main body. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 레그는 원형의 단면으로 형성되며;The leg is formed in a circular cross section; 상기 본체의 내측에 상기 레그를 수용하도록 원형으로 형성된 레그 수용부;A leg receiving portion formed in a circular shape to receive the leg inside the main body; 상기 레그 수용부의 내부에 구비되어 상기 레그에 상/하 방향으로 탄성력을 인가하는 스프링이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 자동 반송 장치.And a spring provided inside the leg receiving portion to apply an elastic force to the leg in an up / down direction. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 레그 수용부의 일측 끝단에 반경방향 내측으로 소정길이 연장된 스토퍼;A stopper extending a predetermined length radially inward at one end of the leg receiving portion; 상기 레그가 상기 레그 수용부에서 탈거되지 않도록 상기 레그의 일측 끝단에 상기 스토퍼에 연접되도록 반경방향 외측으로 소정길이 연장된 플랜지가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 자동 반송 장치.And a flange extending a predetermined length radially outward so as to be connected to the stopper at one end of the leg so that the leg is not detached from the leg receiving portion.
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